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Die
Lichtausbeute von Strahlung emittierenden Halbleiterchips hängt
von verschiedenen Faktoren ab. Mittels einer großflächigen
elektrischen Kontaktierung des Halbleiterchips kann einerseits eine relativ
hohe interne Quanteneffizienz erzielt werden. Andererseits können
jedoch durch eine großflächige Kontaktierung Absorptionsverluste
auftreten, welche die Auskoppeleffizienz und damit die Lichtausbeute des
Halbleiterchips beträchtlich einschränken.
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In
der
DE-Patentanmeldung Nr. 102008021675.5 ist
beschrieben, dass die zur elektrischen Kontaktierung des Leuchtdiodenchips
vorgesehenen Kontakte nicht mehr als 2%–4% einer Stromaufweitungsschicht
bedecken dürfen.
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Eine
zu lösende Aufgabe besteht darin, einen optoelektronischen
Halbleiterchip mit verbesserter Lichtausbeute anzugeben.
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Diese
Aufgabe wird durch einen optoelektronischen Halbleiterchip gemäß dem
Patentanspruch 1 gelöst.
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Ausgestaltungen
und Weiterbildungen des optoelektronischen Halbleiterchips sind
in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform umfasst der optoelektronische
Halbleiterchip eine Halbleiterschichtenfolge, die eine aktive Zone
zur Erzeugung elektromagnetischer Strahlung aufweist, sowie eine
strukturierte Stromaufweitungsschicht, die ein transparentes leitendes
Oxid enthält und auf einer Hauptfläche der Halbleiterschichtenfolge
angeordnet ist, wobei die Stromaufweitungsschicht mindestens 30%
und höchstens 60% der Hauptfläche bedeckt.
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Die
aktive Zone weist zur Strahlungserzeugung einen pn-Übergang
auf. Dieser pn-Übergang kann im einfachsten Fall mittels
einer p-leitenden und einer n-leitenden Halbleiterschicht gebildet
sein, die unmittelbar aneinandergrenzen. Bevorzugt ist zwischen
der p-leitenden und der n-leitenden Schicht die eigentliche Strahlung
erzeugende Struktur, etwa in Form einer dotierten oder undotierten
Quantenstruktur, ausgebildet. Die Quantenstruktur kann als Einfachquantentopfstuktur
(SQW, Single Quantum Well) oder Mehrfachquantentopfstruktur (MQW,
Multiple Quantum Well) oder auch als Quantendraht oder Quantenpunktstruktur
ausgebildet sein.
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Bei
einer vorteilhaften Ausgestaltung des Halbleiterchips enthält
die Halbleiterschichtenfolge AlnGamIn1-n-mN mit 0 ≤ n ≤ 1,
0 ≤ m ≤ 1 und n + m ≤ 1. Ein auf Nitrid-Verbindungshalbleitern
basierender Halbleiterchip ist insbesondere dazu geeignet, Strahlung
mit einer Emissionswellenlänge im kurzwelligen Bereich
des sichtbaren Spektrums zu erzeugen.
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Das
transparente leitende Oxid ist vorzugsweise ein Metalloxid, wie
beispielsweise Zinkoxid, Zinnoxid, Cadmiumoxid, Titanoxid, Indiumzinkoxid, Indiumoxid
oder Indiumzinnoxid (ITO). Neben binären Metallsauerstoffverbindungen,
wie beispielsweise ZnO, SnO2 oder In2O3 können
auch ternäre Metallsauerstoffverbindungen, wie beispielsweise Zn2SnO4, CdSnO3, ZnSnO3, MgIn2O4, GaInO3, Zn2In2O5 oder In4Sn3O12 oder Mischungen
unterschiedlicher transparenter leitender Oxide verwendet werden.
Weiterhin ist keine stöchiometrische Zusammensetzung erforderlich.
Ferner kann das transparente leitende Oxid auch p- oder n-dotiert
sein.
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Durch
die Stromaufweitungsschicht kann eine ausreichend gute Stromaufweitung
und Bestromung des Halbleiterchips erzielt werden.
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Ferner
können mittels der teilweisen Flächenbelegung
optische Absorptionsverluste, die durch die Stromaufweitungsschicht
verursacht werden, gegenüber einer ganzflächigen
Stromaufweitungsschicht reduziert werden.
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Gemäß einer
weiter bevorzugten Ausführungsform bedeckt die Stromaufweitungsschicht 40%
bis 50% der Hauptfläche. Bei einer derartigen Flächenbelegung
sind zum einen die Absorptionsverluste vorteilhaft reduziert, zum
anderen kann bei einer derartigen Flächenbelegung eine
hinreichend gute Stromaufweitung in der Stromaufweitungsschicht
gewährleistet werden.
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Eine
geringere Flächenbelegung ist insbesondere vorteilhaft,
wenn die erzeugte Strahlung eine Emissionswellenlänge zwischen
400 nm und 450 nm aufweist. Denn im kurzwelligeren Bereich des sichtbaren
Spektrums stellt die optische Absorption durch die Stromaufweitungsschicht
einen größeren Verlustmechanismus dar als die
elektrischen Verluste aufgrund der geringeren Flächenbelegung.
Im langwelligeren Bereich des sichtbaren Spektrums sind die Verluste
durch die optische Absorption hingegen geringer, so dass die elektrischen
Verluste bei einer geringeren Flächenbelegung stärker
ins Gewicht fallen. Daher ist in diesem Fall eine größere Flächenbelegung
besser geeignet.
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Die
Dicke der Stromaufweitungsschicht kann mit Vorteil zwischen 10 nm
und 60 nm betragen. Während durch eine Verringerung der
Dicke die optischen Absorptionsverluste abgesenkt werden können,
sinkt hierbei zugleich die Querleitfähigkeit. Bei einer
Dicke zwischen 10 nm und 60 nm stehen Gewinn und Verlust in einem
geeigneten Verhältnis zueinander.
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Weiterhin
ist die Größe, das heißt die Länge und/oder
Breite, von Zwischenräumen der strukturierten Stromaufweitungsschicht,
das heißt von Bereichen, die von der Stromaufweitungsschicht
unbedeckt sind, mit Vorteil an die Querleitfähigkeit des
an die Stromaufweitungsschicht angrenzenden Halbleitermaterials
der Halbleiterschichtenfolge angepasst. Insbesondere kann eine Querleitung
mittels der angrenzenden Halbleiterschichtenfolge über
eine Strecke von 1 μm bis 6 μm hinweg gewährleistet
werden, ohne dass eine Stromaufweitungsschicht erforderlich ist.
Die Zwischenräume weisen daher mit Vorteil eine Größe
auf, die zwischen 1 μm und 6 μm liegt. Vorzugsweise
werden die Zwischenräume mit einer Größe
im Bereich zwischen 3 μm und 4 μm ausgebildet. Unter
Berücksichtigung dieses Zusammenhangs kann die Stromaufweitungsschicht
verschiedenartig strukturiert werden. Denkbar sind beispielsweise
unregelmäßige Strukturen oder regelmäßige
Strukturen wie Gitter.
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Gemäß einer
vorteilhaften Ausgestaltung entspricht die Struktur der Stromaufweitungsschicht einem
rechtwinkligen Gitter. Das Gitter weist insbesondere eine Mehrzahl
von parallelen Streifen aus transparentem leitendem Oxid auf, die sich
in einer ersten Richtung erstrecken, und eine Mehrzahl von parallelen
Streifen aus transparentem leitendem Oxid, die sich in einer zweiten
Richtung erstrecken, wobei die erste Richtung senkrecht zur zweiten
Richtung verläuft. Der Abstand zwischen den sich in der ersten
Richtung erstreckenden parallelen Streifen kann sich von dem Abstand
zwischen den sich in der zweiten Richtung erstreckenden parallelen
Streifen unterscheiden. Die Kreuzungspunkte der Streifen entsprechen
Gitterpunkten.
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Eine
elektrische Kontaktierung der Stromaufweitungsschicht erfolgt vorzugsweise
mittels zumindest eines elektrischen Kontaktstegs. Dieser Kontaktsteg
erstreckt sich insbesondere senkrecht zu einer Ebene, in welcher
die Stromaufweitungsschicht angeordnet ist und berührt
die Stromaufweitungsschicht an einer dafür vorgesehenen
Kontaktstelle. Der Kontaktsteg kann die Form eines Kegelstumpfes,
Pyramidenstumpfes oder Zylinders aufweisen.
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Insbesondere
sind mehrere Kontaktstege regelmäßig über
die Fläche der Stromaufweitungsschicht verteilt. Die jeweilige
Kontaktstelle befindet sich vorzugsweise an einem Gitterpunkt. Hierbei muss
jedoch nicht an jedem Gitterpunkt eine Kontaktstelle vorgesehen
sein.
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Vorteilhafterweise
enthält der Kontaktsteg ein Metall mit hoher Leitfähigkeit.
Ferner wird vorzugsweise für den Kontaktsteg ein Material
mit hohem Reflexionsgrad verwendet. Ein geeignetes Material ist
beispielsweise Ag.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform ist die Stromaufweitungsschicht
zwischen der Halbleiterschichtenfolge und einem Spiegel angeordnet.
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Insbesondere
verläuft der elektrische Kontaktsteg in einer Öffnung
des Spiegels. Weist der Kontaktsteg wie bereits erwähnt
einen hohen Reflexionsgrad auf, so kann durch die Kombination aus Spiegel
und Kontaktsteg insgesamt eine hohe Reflektivität erzielt
werden. Die von der aktiven Zone in Richtung der Stromaufweitungsschicht
emittierte Strahlung kann dadurch ohne große optische Verluste
in Richtung einer Auskoppelfläche reflektiert werden. Die
Auskoppelfläche ist insbesondere auf einer der Stromaufweitungsschicht
gegenüber liegenden Seite der aktiven Zone angeordnet.
Zusätzlich werden die optischen Verluste durch die strukturierte Stromaufweitungsschicht
und die damit verbundene verringerte Flächenbelegung begrenzt.
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Bei
einer vorteilhaften Ausgestaltung weist der Spiegel eine dielektrische
Schicht auf. Insbesondere weist die dielektrische Schicht einen
kleineren Brechungsindex als das Halbleitermaterial der Halbleiterschichtenfolge
auf. Beispielsweise ist die dielektrische Schicht aus einem Siliziumoxid,
einem Siliziumnitrid oder Glas, vorzugsweise einem Spin-on-Glas,
gebildet. Die dielektrische Schicht kann auch als Bragg-Spiegel
ausgeführt sein, bei dem dielektrische Teilschichten mit
verschiedenem Brechungsindex alternierend angeordnet sind.
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Der
Spiegel, insbesondere die dielektrische Schicht, grenzt vorzugsweise
an die Stromaufweitungsschicht an. Die Zwischenräume der
strukturierten Stromaufweitungsschicht können zumindest durch
einen Teil des Spiegels, insbesondere die dielektrische Schicht,
ausgefüllt werden. Darüber hinaus kann zumindest
ein Teil des Spiegels beziehungsweise die dielektrische Schicht
die Stromaufweitungsschicht bedecken.
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Vorzugsweise
ist in der dielektrischen Schicht die Öffnung vorgesehen,
in welcher sich der Kontaktsteg erstreckt.
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Weiterhin
weist der Spiegel mit Vorteil eine durchgehende Metallschicht auf.
Diese ist insbesondere auf einer der Stromaufweitungsschicht abgewandten
Seite des Spiegels angeordnet. Vorzugsweise wird die dielektrische
Schicht von der Metallschicht bedeckt. Die Metallschicht kann zumindest zweischichtig
ausgebildet sein. Beispielsweise kann die Metallschicht eine Schicht
aus Platin und/oder Titan zur Haftvermittlung und eine Schicht mit
hohem Reflexionsgrad, zum Beispiel aus Silber, aufweisen.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform ist der Halbleiterchip ein
Dünnfilm-Leuchtdiodenchip. Hierbei ist die Halbleiterschichtenfolge
frei von einem Aufwachssubstrat, das heißt das zum Aufwachsen der
Halbleiterschichtenfolge benutzte Aufwachssubstrat ist von der Halbleiterschichtenfolge
entfernt oder zumindest stark gedünnt.
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Zur
Stabilisierung der Halbleiterschichtenfolge kann diese ersatzweise
auf einem Trägersubstrat angeordnet sein. Insbesondere
befindet sich das Trägersubstrat auf einer der Auskoppelseite
gegenüber liegenden Rückseite des Halbleiterchips.
Die Stromaufweitungsschicht ist vorzugsweise zwischen der Halbleiterschichtenfolge
und dem Trägersubstrat angeordnet.
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Gemäß einer
vorteilhaften Ausführungsform ist das Trägersubstrat
elektrisch leitend und dient als ein erster elektrischer Kontakt
für den Halbleiterchip. Mit Vorteil ist die Stromaufweitungsschicht
hierbei mittels des elektrischen Kontaktstegs, gegebenenfalls über
die Metallschicht des Spiegels, mit dem Trägersubstrat
elektrisch verbunden. Ein zweiter elektrischer Kontakt kann auf
der Auskoppelfläche angeordnet sein.
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Bei
einer bevorzugten Ausgestaltung ist die Halbleiterschichtenfolge
auf der Seite der Stromaufweitungsschicht p-leitend. Da die p-Seite
typischerweise eine schlechte Leitfähigkeit aufweist, ist
eine Stromaufweitungsschicht mit hoher elektrischer Leitfähigkeit
vorteilhaft. Geeignete Dotierstoffkonzentrationen bewegen sich im
Bereich von 1020/cm3.
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Weitere
Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den folgenden
Erläuterungen in Verbindung mit den 1 bis 8.
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Es
zeigen:
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1 eine
schematische Querschnittsansicht eines optoelektronischen Halbleiterchips,
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2 eine
schematische Ansicht eines Querschnitts entlang der Stromaufweitungsschicht des
in 1 dargestellten Halbleiterchips,
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3A bis 3D die
Stromdichteverteilung über die Hauptfläche bei
unterschiedlicher Flächenbelegung,
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4 ein
Schaubild darstellend die elektrischen Verluste bei verschiedenen
Stromdichten,
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5 ein
Schaubild darstellend die Extraktionseffizienz für verschiedene
Wellenlängen,
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6 bis 8 Schaubilder
darstellend die Wall-plug Effizienzen in Abhängigkeit von
verschiedenen Stromdichten für unterschiedliche Wellenlängen.
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In
den Ausführungsbeispielen und Figuren sind gleiche oder
gleich wirkende Bestandteile mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
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1 zeigt
einen optoelektronischen Halbleiterchip 1, der eine Halbleiterschichtenfolge 2 mit
einer aktiven Zone 4 zur Erzeugung von elektromagnetischer
Strahlung aufweist. Die aktive Zone 4 befindet sich zwischen
einem ersten Halbleiterbereich 3 und einem zweiten Halbleiterbereich 5.
In diesem Ausführungsbeispiel ist der erste Halbleiterbereich 3 p-leitend
und der zweite Halbleiterbereich 5 n-leitend. Vorzugsweise
enthalten die beiden Halbleiterbereiche 3, 5 GaN
und die aktive Zone 4 InGaN. Die beiden Halbleiterbereiche 3, 5 und
die aktive Zone 4 können jeweils mehrere Halbleiterschichten
aufweisen.
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Vorzugsweise
ist die Halbleiterschichtenfolge 2 epitaktisch aufgewachsen,
wobei das Aufwachssubstrat (nicht dargestellt) von der Halbleiterschichtenfolge 2 abgelöst
ist, so dass die Halbleiterschichtenfolge 2 eine Dicke
von weniger als 10 μm aufweist.
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Zur
Stabilisierung ist die Halbleiterschichtenfolge 2 ersatzweise
auf einem Trägersubstrat 13 angeordnet. Vorzugsweise
ist das Trägersubstrat 13 elektrisch leitend.
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Geeignete
Substrate sind beispielsweise Ge- oder Si-Substrate. Alternativ
kann das Trägersubstrat 13 aus Cu durch galvanische
Verstärkung einer vorausgehenden Metallschicht hergestellt
werden.
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Auf
einer Hauptfläche 12 der Halbleiterschichtenfolge 2 ist
eine strukturierte Stromaufweitungsschicht 6 angeordnet.
Die Stromaufweitungsschicht 6, die ein transparentes leitendes
Oxid enthält, kann auf die Hauptfläche 12 gleichmäßig
aufgedampft oder aufgesputtert und anschließend in geeigneter
Weise strukturiert werden. Die Strukturierung kann beispielsweise
lithographisch erfolgen. Die Dicke der Stromaufweitungsschicht 6 liegt
mit Vorteil zwischen 10 nm und 60 nm. Durch eine Verringerung der
Dicke können einerseits die optischen Absorptionsverluste
abgesenkt werden, wodurch andererseits die Querleitfähigkeit
sinkt. Bei einer Dicke zwischen 10 nm und 60 nm besteht ein guter
Kompromiss zwischen optischen und elektrischen Verlusten.
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Auf
der Hauptfläche 12 ist ein Spiegel 9 angeordnet,
so dass die in Richtung der Hauptfläche 12 emittierte
Strahlung in Richtung der Auskoppelfläche 14 umgelenkt
werden kann.
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Bei
diesem Ausführungsbeispiel weist der Spiegel 9 eine
dielektrische Schicht 7 auf, die insbesondere aus einem
Material mit relativ kleinem Brechungsindex, beispielsweise aus
einem Spin-on-Glas mit einem Brechungsindex kleiner 1.4, gebildet
ist. Die dielektrische Schicht 7 kann eine Dicke im Bereich
von 400 nm bis 500 nm aufweisen. Ferner umfasst der Spiegel 9 eine
Metallschicht 8, die an die dielektrische Schicht 7 angrenzt.
Die Metallschicht 8 kann aus einer Haftvermittlungsschicht aus
Pt und einer Reflexionsschicht aus Ag gebildet sein. Die Dicke der
Metallschicht 8 kann so dünn sein, dass sie Unterbrechungen
aufweist. Eine Schichtdicke von etwa 0.2 nm ist ausreichend.
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In
die dielektrische Schicht 7 ist die strukturierte Stromaufweitungsschicht 6 eingebettet.
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Ferner
weist die dielektrische Schicht 7 Öffnungen auf,
in welchen sich Kontaktstege 10 erstrecken. Die Kontaktstege 10 verlaufen
senkrecht zu einer Ebene, in welcher die Stromaufweitungsschicht 6 angeordnet
ist und berühren diese an dafür vorgesehen Kontaktstellen.
Mit Vorteil enthalten die Kontaktstege 10 ein elektrisch
leitendes Material, so dass die Stromaufweitungsschicht 6 mittels
der Kontaktstege 10 bestromt werden kann. Beispielsweise
können die Kontaktstege 10 Ag enthalten, das außerdem
einen relativ hohen Reflexionsgrad aufweist, so dass die Reflektivität
des Spiegels 9 an den Kontaktstegen 10 nicht wesentlich
herabgesetzt ist. In diesem Zusammenhang ist es außerdem
vorteilhaft, wenn die Flächenbelegung der Hauptfläche 12 durch
die Kontaktstege 10 nicht größer ist
als 4%. Um dennoch eine ausreichende Stromzufuhr zu gewährleisten,
sollte die Flächenbelegung nicht kleiner als 2% sein. Die Form
der Kontaktstege 10 gleicht vorzugsweise einem Zylinder.
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Die
Kontaktstege 10 können eine elektrische Verbindung
zwischen der Stromaufweitungsschicht 6 und dem insbesondere
elektrisch leitenden Trägersubstrat 13 herstellen.
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2 zeigt
die Hauptfläche 12, auf welcher die strukturierte
Stromaufweitungsschicht 6 aufgebracht ist. Die Stromaufweitungsschicht 6 weist
die Form eines rechtwinkligen Gitters auf, das aus parallelen Streifen 6a,
die sich in einer ersten Richtung erstrecken, und aus parallelen
Streifen 6b, die sich in einer zweiten Richtung erstrecken,
gebildet ist. An mehreren Gitterpunkten, das heißt an mehreren Kreuzungspunkten
der Streifen 6a und 6b, sind Kontaktstellen 11 vorgesehen,
an welchen die Kontaktstege 10 angeordnet sind.
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Die
Kontaktstellen 11 sind aus dem gleichen Material wie die
Streifen 6a und 6b hergestellt. Sie sind ebenso
wie die Querschnitte der Kontaktstege 10 kreisförmig
und konzentrisch zu diesen angeordnet.
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Bei
einer Flächenbelegung von 50% und einer Chipkantenlänge
von 1 mm weisen die Kontaktstellen 11 mit Vorteil einen
Durchmesser D2 von etwa 6 μm auf.
Die Abstände Ab zwischen den Kontaktstellen 11 in
der ersten Richtung und die Abstände Aa zwischen
den Kontaktstellen 11 in der zweiten Richtung sind vorzugsweise
gleich groß und betragen etwa 20 μm. Der Durchmesser
D1 der Kontaktstege 10 liegt bei
4 μm.
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Die
Streifen 6a sind dünner als die Streifen 6b und
können etwa 2 μm breit sein, während
die Streifen 6b etwa 4 μm breit sind. Außerdem
sind die Streifen 6a dichter angeordnet als die Streifen 6b, das
heißt die Gitterkonstanten unterscheiden sich in der ersten
und in der zweiten Richtung voneinander.
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Die
rechteckförmigen Zwischenräume 15, die
durch die Streifen 6a und 6b begrenzt werden, weisen
eine Länge db von etwa 16 μm
und eine Breite da von etwa 3 μm
auf.
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Die 3A bis 3D zeigen
die Stromdichteverteilung über die Hauptfläche
eines wie in 1 dargestellten Halbleiterchips
für verschiedene Flächenbelegungen. Die Dicke
der Stromaufweitungsschicht 6 beträgt für
alle Varianten 40 nm. Die Bestromung erfolgt bei allen Varianten
mit einer nominellen Stromdichte von 50 A/cm2.
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Bei
der in 3A dargestellten Variante beträgt
die Flächenbelegung 100%, bei der in 3B dargestellten
Variante 50%, bei der in 3C dargestellten
Variante 40% und bei der in 3D dargestellten
Variante 30%. Die Abstände Ab und
Aa (in 2 dargestellt)
werden bei den verschiedenen Varianten der 3B bis 3D konstant
gehalten. Die Streifenbreite wird jedoch verringert. Ferner können
die Zwischenräume 15 vergrößert
werden. Beispielsweise kann die Breite da (in 2 dargestellt) der
Zwischenräume 15 bei der in 3D dargestellten
Variante etwa 4 μm betragen, während sie bei der in 3B dargestellten
Variante 3 μm beträgt.
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Verschiedene
Stromdichten sind durch verschiedenen Graustufen dargestellt, wobei
die Stromdichte in dunkleren Bereichen höher ist als in
helleren Bereichen.
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Wie
in 3A zu sehen ist, treten bei einer 100%igen-Flächenbelegung
im Idealfall keine Inhomogenitäten der Stromdichte auf.
Bei einer 50%igen- und 40%igen-Flächenbelegung sinkt die
Stromdichte jedoch in den Zwischenräumen 15 ab.
Dies kann zu einem Gefälle bis zu 20% führen.
Trotzdem kann hierbei noch von einer relativ homogenen Stromdichteverteilung
gesprochen werden. Kritischer ist die 30%-Flächenbelegung,
bei welcher ein Gefälle von 40% und damit eine inhomogene
Stromdichteverteilung auftreten kann.
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Aus
dem Schaubild der 4 gehen die elektrischen Verluste
1-L, die in der Stromaufweitungsschicht auftreten, hervor.
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Bei
einer 100%igen-Flächenbelegung treten im Idealfall keine
elektrischen Verluste auf (vgl. K1). Mit abnehmender Flächenbelegung
(K2: 50%, K4: 40%, K3: 30%) nehmen jedoch die elektrischen Verluste
1-L zu. Elektrische Verluste ergeben sich durch die geringere Kontaktfläche
und die schlechtere Stromaufweitung. Zusätzlich treten
Verluste durch die Inhomogenität des Stromflusses in der
aktiven Zone auf, welche in der schlechteren Stromaufweitung im
ersten gleitenden Halbleiterbereich begründet sind. Die
Verluste 1-L steigen mit zunehmender Stromdichte J und abnehmender
Flächenbelegung an. Die elektrischen Verluste 1-L sind
im Wesentlichen unabhängig von der Wellenlänge.
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5 zeigt
für verschiedene Emissionswellenlängen λ die
Extraktionseffizienz E eines Halbleiterchips mit einem Spiegel,
der eine 500 nm dicke SiO2-Schicht und eine
0.2 nm dicke Pt/Ag-Schicht aufweist, für den Fall, dass
keine Stromaufweitungsschicht verwendet wird (K1) und für
den Fall, dass eine Stromaufweitungsschicht mit 100%iger-Flächenbelegung
verwendet wird (K2). Die Stromaufweitungsschicht weist eine Dicke
von 30 nm auf.
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K3
stellt die Absorptionsverluste dar, die durch die Stromaufweitungsschicht
verursacht werden. Daraus geht hervor, dass die Absorption der Stromaufweitungsschicht
stark wellenlängenabhängig ist. Im kurzwelligeren
Bereich treten durch die Stromaufweitungsschicht Verluste von etwa
20% auf, während sie im langwelligeren Bereich bei etwa
5% liegen.
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Die 6 bis 8 zeigen
bei Emissionswellenlängen von 400 nm (6),
460 nm (7) und 540 nm (8)
die Wall-plug-Effizienz WP, das heißt die elektrische-zu-optische Effizienz.
Hierbei addiert man die elektrischen Verluste zu dem zu erwartenden
Gewinn an Extraktionseffizienz.
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Die
Wall-plug-Effizienzen WP werden bei jeder Wellenlänge für
verschiedene Stromdichten J und verschiedene Flächenbelegungen
von 100% (K1), 50% (K2), 40% (K3) und 30% (K4) angegeben.
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Wie
aus 6 hervorgeht, ergibt sich für einen Halbleiterchip
mit einer Emissionswellenlänge von 400 nm durch die Strukturierung
der Stromaufweitungsschicht eine Verbesserung von bis zu etwa 10%.
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Im
langwelligeren Bereich ist der Gewinn an Extraktionseffizienz bei
einer Strukturierung der Stromaufweitungsschicht nicht so groß (ungefähr 6%)
wie im kurzwelligeren Bereich, weil die Transparenz der Stromaufweitungsschicht
höher ist und somit elektrische Verluste stärker
ins Gewicht fallen. Bis zu einer Stromdichte von 200 A/cm2 ist aber eine Flächenbelegung
von 40% bis 50% besser als eine Flächenbelegung von 100%.
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Zusammenfassend
kann also gesagt werden, dass insbesondere eine 40%- bis 50%-Flächenbelegung
der Hauptfläche durch die Stromaufweitungsschicht bei allen
Wellenlängen vom kurzwelligeren bis zum langwelligeren
Bereich des sichtbaren Spektrums eine Steigerung der Lichtausbeute
bewirkt.
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Die
Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele
beschränkt. Vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie
jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination
von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch
wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit
in den Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben
ist.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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