DE102008017917B4 - Verfahren und Vorrichtung zur Revolverpositionierung - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Revolverpositionierung Download PDF

Info

Publication number
DE102008017917B4
DE102008017917B4 DE200810017917 DE102008017917A DE102008017917B4 DE 102008017917 B4 DE102008017917 B4 DE 102008017917B4 DE 200810017917 DE200810017917 DE 200810017917 DE 102008017917 A DE102008017917 A DE 102008017917A DE 102008017917 B4 DE102008017917 B4 DE 102008017917B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
revolver
turret
sensor
output signal
positioning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE200810017917
Other languages
English (en)
Other versions
DE102008017917A1 (de
Inventor
Dipl.-Ing. Glock Herbert
Dr.-Ing. Schalz Karl-Josef
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
UWE WELLER FEINWERKTECHNIK GmbH
Original Assignee
UWE WELLER FEINWERKTECHNIK GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by UWE WELLER FEINWERKTECHNIK GmbH filed Critical UWE WELLER FEINWERKTECHNIK GmbH
Priority to DE200810017917 priority Critical patent/DE102008017917B4/de
Publication of DE102008017917A1 publication Critical patent/DE102008017917A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102008017917B4 publication Critical patent/DE102008017917B4/de
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/24Base structure
    • G02B21/248Base structure objective (or ocular) turrets
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/003Alignment of optical elements
    • G02B7/005Motorised alignment

Abstract

Verfahren zur fluchtenden Positionierung eines von mehreren an einem Objektivrevolver (10) angeordneten Objektiven (13 bis 18) auf einer gemeinsamen optischen Achse (26) mit einem Okular, bei dem der Revolver bis zum Erreichen eines die gewünschte Relativposition definierenden Markierungselements (46) vermittels einer elektromotorischen Antriebseinrichtung (19) um eine Revolverachse (25) gedreht wird, wobei das Markierungselement auf einem Lagerflansch (36) einer Revolverscheibe (12) des Objektivrevolvers angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass zunächst eine Vorpositionierung durch eine Drehverstellung des Revolvers bis zum Erreichen einer innerhalb der Grenzen eines Feinpositionierungsbereichs gelegenen Grobposition erfolgt, in der sich das Markierungselement als Bestandteil einer berührungslosen Sensoreinrichtung (48) im Detektierungsbereich einer am Revolverträger angeordneten Ansteuerungseinrichtung (42) des Antriebseinrichtung befindet, und nachfolgend eine Feinpositionierung ohne kraftschluss vermittels eines Regelabgleichs eines die aktuelle Position wiedergebenden Sensorausgangssignals der berührungslosen Sensoreinrichtung (48) mit einem dem jeweiligen Objektiv zugeordneten Referenzwert der Exaktposition erfolgt, derart, dass das Sensorausgangssignal als physikalische Größe definiert ist, deren Wert sich als Funktion der Distanz von den jeweiligen Objektiven (13 bis 18) zugeordneten und auf dem Revolver angeordneten Markierungselemente von einem an dem Revolverträger zur Drehlagerung des Revolvers angeordneten Sensor (47) der Sensoreinrichtung (48) ändert.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur fluchtenden Positionierung eines von mehreren an einem Objektivrevolver angeordneten Objektiven auf einer gemeinsamen optischen Achse mit einem Okular, bei dem der Revolver bis zum Erreichen einer die gewünschte Relativposition anzeigenden Positionsmarkierung vermittels einer elektromotorischen Antriebseinrichtung um eine Revolverachse gedreht wird. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
  • Verschiedene Verfahren und Vorrichtungen sind aus der US 6 154 312 A , der DE 10 2005 041 859 A1 und der DE 36 27 185 A1 bekannt.
  • Die bekannten Verfahren und Vorrichtungen zur Positionierung von Objektivrevolvern an Mikroskopen weisen zur Positionierung eines ausgewählten der Mehrzahl von Objektiven eine elektromotorische Antriebseinrichtung auf, die das ausgewählte Objektiv auf einer gemeinsamen optischen Achse mit dem Okular des Mikroskops anordnet und die zur exakten, wiederholgenauen Positionierung mit einer mechanischen Rasteinrichtung zusammenwirkt. Hierzu wird bei den bekannten Mikroskopen so verfahren, dass der Objektivrevolver über den Drehantrieb mit relativ hoher Winkelgeschwindigkeit soweit verfahren wird, bis sich das ausgewählte Objektiv in Drehrichtung gesehen kurz vor Erreichen der Rastposition befindet. Um ein Überfahren der Rastposition zu verhindern und einer überhöhten Verzögerungsspitze beim Einrasten einer mechanischen Rastklinke in eine entsprechende Ausnehmung des Objektivrevolvers vorzubeugen, wird der Drehantrieb kurz vor Erreichen der Exaktposition verzögert, so dass durch die Massenträgheit der Rastklinke bedingte Stöße bis auf einen aufgrund der Federvorspannung der Rastklinke unvermeidbaren Raststoß weitestgehend verhindert werden können. Aufgrund der im Laborbetrieb häufig auftretenden Notwendigkeit bei der Untersuchung von Proben immer wieder zwischen verschiedenen Vergrößerungsstufen zu wechseln, erfolgt eine Betätigung des elektromotorischen Antriebs, also ein Anfahren und Abbremsen mit anschließendem Verrasten in der Rastpositionierung mit entsprechend hoher Frequenz. Dabei wird durch die notwendige, konstruktionsbedingte Verzögerung der Drehwinkelverstellung kurz vor Erreichen der definierten Rastposition im Zusammenhang mit der hohen Frequenz der Verstellvorgänge viel Zeit verbraucht, die für die tatsächliche Betrachtung der auf den Objektträgern angeordneten Proben nicht mehr zur Verfügung steht. Weiterhin sorgen die konstruktionsbedingt unvermeidbaren Raststöße der Rastklinken für eine Schwingungsanregung des Mikroskops, die es notwendig machen, auch nach Erreichen der Rastpositionen noch eine gewisse Zeit vergehen zu lassen, um ein konturenscharfes Betrachten der Proben zu ermöglichen.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zu Grunde, ein Verfahren bzw. eine Vorrichtung zur Positionierung eines Objektivrevolvers vorzuschlagen, bei dem bzw. der die vorgenannten Nachteile nicht auftreten.
  • Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 10 gelöst.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren erfolgt zunächst zur Vorpositionierung des Objektivs vermittels einer Antriebssteuerung der elektromotorischen Antriebseinrichtung eine Drehverstellung des Revolvers bis zum Erreichen einer innerhalb der Grenzen eines Feinpositionierungsbereichs gelegenen Grobposition. Anschließend erfolgt eine Exaktpositionierung vermittels eines Regelabgleichs eines die aktuelle Position wiedergebenden Sensorausgangssignals einer berührungslosen Sensoreinrichtung mit einem dem jeweiligen Objektiv zugeordneten Referenzwert der Exaktposition.
  • Aufgrund des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es möglich, auf eine mechanisch detektierte Positionierung des Objektivrevolvers zu verzichten. Wegen des somit nicht benötigten Kraftschlusses zur Definition einer exakten Position eines ausgewählten Objektivs des Objektivsrevolvers auf der optischen Achse des Okulars können auch keine Reaktionskräfte auftreten, wie es bei der mechanischen Verklinkung gemäß dem Stand der Technik der Fall ist. Infolgedessen treten auch keine entsprechenden (Rück-)Stöße auf, die zu Vibrationen des Mikroskopaufbaus führen könnten. Weiterhin ermöglicht der Verzicht auf eine kraftschlüssig detektierte Exaktpositionierung, das die Drehverstellung des Objektivrevolvers mit im Wesentlichen konstanter Geschwindigkeit erfolgen kann, ohne dass – wie es bei der Lösung gemäß dem Stand der Technik der Fall ist – eine starke Verzögerung der Zustellbewegung vor Erreichen der Exaktposition notwendig wäre, um bei der Exaktpositionierung auftretende Stöße zu reduzieren.
  • Bei einer bevorzugten Variante des Verfahrens werden zu Ermittlung der Referenzwerte der Exaktposition die den jeweiligen Objektiven zugeordneten Sensorausgangssignale bei definierter optischer Relativausrichtung des Objektivrevolvers im Messbetrieb ermittelt und in einem Reverenzwertspeicher abgelegt. Basierend darauf erfolgt die Exaktpositionierung der ausgewählten Objektive im Mikroskopierbetrieb derart, dass eine Änderung der Relativposition des Revolvers durch einen Drehantrieb des Revolvers so lange erfolgt, bis sich als Sensorausgangssignal der Referenzwert einstellt. Damit beruht die Exaktpositionierung gemäß dem Verfahren im Prinzip darauf, in einer Art „teach in-Verfahren” den einzelnen Objektiven des Objektivrevolvers zugeordnete Referenzwerte als Sollwerte bei einer im Mikroskopierbetrieb erfolgenden Positionierregelung zu verwenden.
  • Erfindungsgemäß ist das Sensorausgangssignal als physikalische Größe definiert ist, deren Wert sich als Funktion der Distanz einer dem jeweiligen Objektiv zugeordneten und auf dem Revolver angeordneten Markierung von dem auf einem Revolverträger zur Drehlagerung des Revolvers angeordneten Sensor ändert, so dass ein unmittelbarer Zusammenhang zwischen der Drehwinkellage des Revolvers und dem Sensorausgangssignal gegeben ist.
  • Als besonders vorteilhaft für eine möglichst einfache und betriebssichere Ausführung des Verfahrens erweist es sich, wenn die Markierungen der Objektive als Magnete und der Sensor als Hall-Sensor ausgebildet ist.
  • Eine besonders einfach zu realisierende und hinsichtlich des Resultats reproduziersichere Realisierung der Grobpositionierung ergibt sich, wenn die Grobpositionierung über die von einem Inkrementalgeber angesteuerte Antriebseinrichtung erfolgt und somit durch das Erreichen eines dem jeweiligen Objektivs zugeordneten Drehwinkels die Lage des Feinpositionierungsbereichs definiert ist.
  • Eine gleichermaßen betriebssichere und einfach zu realisierende Zuordnung der jeweiligen Objektive zu einer die Objektive individualisierenden Drehwinkelposition wird möglich, wenn die Zuordnung über eine vorzugsweise berührungslose Detektierung der Objektive erfolgt.
  • Vorteilhafterweise wird die Detektierung so ausgeführt, dass sie vermittels einer am Revolverträger angeordneten Detektorplatine im Zusammenwirken mit den Objektiven am Revolver zugeordneten Detektionsflächen, beispielsweise im Reflexlichtverfahren, erfolgt.
  • Wenn die Drehrichtung der Antriebseinrichtung in Abhängigkeit vom Bogenabstand der anzufahrenden Grobposition gewählt wird, kann eine Wegoptimierung dahingehend erfolgen, dass stets der kürzere Weg bis zum Erreichen des ausgewählten Objektivs zurückgelegt wird.
  • Um sicherzustellen, dass es bei der Umschaltung von der über den Inkrementalgeber gesteuerten Grobpositionierung auf die vermittels der Sensoreinrichtung geregelten Feinpositionierung nicht zur Ausbildung von Drehmomentspitzen bei der Antriebsrinrichtung kommt, kann es sich als vorteilhaft erweisen, die Antriebseinrichtung vor Erreichen der Grobposition zu verzögern.
  • Dies ermöglicht insbesondere dann einen drehmomentstabilen Betrieb des Antriebs, wenn vorteilhaft sowohl die Einstellung der Grobposition als auch die Einstellung der Exaktposition vermittels derselben elektromotorischen Antriebseinrichtung erfolgt.
  • Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist am Revolver eine Sensoreinrichtung vorgesehen, die ein Sensorausgangssignal erzeugt, wenn durch den Betrieb der elektromotorischen Antriebseinrichtung ein dem jeweiligen Objektiv zugeordneter Drehwinkel des Revolvers als Grobposition des Objektivs definiert ist, und bei der eine mit der Sensoreinrichtung zusammenwirkende Prozessoreinrichtung vorgesehen ist zur Durchführung einer Exaktpositionierung vermittels eines Regelabgleichs eines die aktuelle Position wiedergebenden Sensorausgangssignals der berührungslosen Sensoreinrichtung mit einem dem jeweiligen Objektiv zugeordneten Referenzwert der Exaktposition erfolgt.
  • Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Prozessoreinrichtung einen Referenzwertspeicher umfasst, in dem den einzelnen Objektiven des Objektivrevolvers zugeordnete Sensorausgangssignalwerte gespeichert sind, so dass für jede Mikroskopiereinrichtung eine individualisierte und somit geeichte Referenzwertdatenbank zur Verfügung steht. Diese Datenbank wird quasi durch ein Einmessen der Mikroskopiereinrichtung vermittels der Sensoreinrichtung angelegt.
  • Gemäß der Erfindung weist die Sensoreinrichtung einen Sensor zur Erzeugung einer Ausgangsspannung als Sensorausgangssignal und den Objektiven jeweils zugeordnete, am Revolver angeordnete Markierungselemente zur Auslösung des Sensorausgangssignals auf. Bevorzugt sind die Markierungselemente der Sensoreinrichtung als Magnete und der Sensor als Hall-Sensor ausgebildet.
  • Die elektrische Antriebseinrichtung ist vorteilhaft mit einem Inkrementalgeber zur Verdrehung des Revolvers entsprechend einem dem jeweiligen Objektiv zugeordneten Drehwinkel versehen.
  • Wenn zur Individualisierung der verschiedenen Objektive des Objektivrevolvers am Revolverträger eine Detektorplatine mit einer Leiterbahnstruktur derart angeordnet ist, dass einer Detektionsfläche von jedem am Objektivrevolver angeordneten Objektiv ein definierter Gegenkontakt der Detektorplatine zugeordnet ist, ist mit einfachen elektrischen Mitteln eine sichere Kodierung der Objektive realisiert.
  • Nachfolgend wird eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert.
  • Es zeigen:
  • 1 einen Objektivrevolver mit einer Mehrzahl von in einer Revolverscheibe eingesetzten Objektiven in perspektivischer Darstellung;
  • 2 den in 1 dargestellten Objektivrevolver in einer Schnittdarstellung gemäß Schnittlinienverlauf II-II in 1;
  • 3 eine in der Ansicht der 1 entsprechende Ansicht des Objektivrevolvers mit freiliegenden Augen der Revolverscheibe zur Aufnahme von Objektiven;
  • 4 eine Draufsicht auf den in 3 dargestellten Objektivrevolver.
  • 1 zeigt einen Objektivrevolver 10 mit einem Revolverträger 11 und einer drehbar am Revolverträger 11 gelagerten Revolverscheibe 12, die zur Aufnahme einer Mehrzahl unterschiedlicher Objektive 13 bis 18 dient. Am Revolverträger 11 ist eine elektromotorische Antriebseinrichtung 19 angeordnet, die über ein hier als Riementrieb 20 ausgestaltetes Getriebe kraftschlüssig mit der Revolverscheibe 12 verbunden ist. Der Riementrieb 20 umfasst ein auf einer Motorwelle 21 der Antriebseinrichtung 19 angeordnetes Abtriebsritzel 22, das über einen Zahnriemen 23 mit einer am Umfang der Revolverscheibe 12 ausgebildeten Umfangsverzahnung 24 kraftschlüssig verbunden ist.
  • Die Antriebseinrichtung 19 ermöglicht vermittels des Riementriebs 20 eine Drehverstellung der Revolverscheibe 12 um eine Revolverachse 25 derart, dass eines der an der Revolverscheibe 12 angeordneten Objektive 13 bis 18 auf einer gemeinsamen optischen Achse 26 mit einem hier nicht näher dargestellten Okular einer Mikroskopeinrichtung ausgerichtet werden kann. Zur Verbindung mit der hier ebenfalls nicht näher dargestellten Mikroskopeinrichtung dient eine als Bestandteil des Revolverträgers 11 ausgebildete Montageplatte 27, die mit einer Ausnehmung 28 zur Ausbildung der optischen Achse 26 versehen ist.
  • Wie insbesondere der 2 zu entnehmen ist, ist die Revolverscheibe 12 auf der Revolverachse 25 über ein einstellbares Radiallager 29 mit einer Lageraufnahme 30 des Revolverträgers 11 verbunden. Dabei stützt sich ein Lagerinnenring 31 über einen kugelförmigen Stützkörper 32 an der Revolverscheibe 12 und ein Lageraußenring 33 über eine Lagereinstellmutter 34 an der Lageraufnahme 30 ab. Vermittels eines hier als Innensechskant 35 in der Lagereinstellmutter 34 ausgebildeten Werkzeugsitzes lässt sich das Lagerspiel des Radiallagers 29 einstellen. Neben dem Radiallager 29 ist die Revolverscheibe 12 an der Innenseite eines als Lagerflansch 36 ausgebildeten Umfangsrandes mit einem Axiallager 37 versehen, dessen Lagerkörper 50 sich an einem Stützflansch 38 der Lageraufnahme 30 abstützten. Auf der Außenseite des Lagerflansches 36 ist die Umfangverzahnung 24 zum Eingriff mit dem Zahnriemen 23 ausgebildet.
  • Wie ferner aus 2 zu ersehen ist, befindet sich unterseitig an der Lageraufnahme 30 eine hier kreisringförmig ausgebildete Detektorplatine 43, die mit jeweils den einzelnen Objektiven 13 bis 18 (1) zugeordneten Sensoren 39 versehen ist. Wie 2 zeigt, ragen die Sensoren 39 in die Objektivaufnahmen 40 hinein, die zur Aufnahme bzw. Anordnung der Objektive 13 bis 18 in der Revolverscheibe 12 vorgesehen sind. Die in den Objektivaufnahmen 40 angeordneten, in 2 nicht dargestellten Objektive 13 bis 18 weisen an ihrer Rückseite den Sensoren 39 zugewandt Detektionsflächen auf, die bei einem elektrischen oder sensorischen Kontakt mit den Sensoren 39 eine Detektierung und Differenzierung der Objektive 13 bis 18 ermöglichen.
  • Wie insbesondere einer Zusammenschau der 3 und 4 zu entnehmen ist, ist die Antriebseinrichtung 19 mit einem Inkrementalgeber 41 versehen, der über eine am Revolverträger angeordnete Ansteuerungseinrichtung 42 mit elektrischen Signalen versorgt wird. Die am Revolverträger 11 angeordnete Detektorplatine 43 (3) ermöglicht bei einem Kontakt zwischen den Sensoren 39 und den hier nicht dargestellten Objektivkontakten eine Detektierung der Objektive 13 bis 18 mit Feststellung ihrer Drehwinkelposition bezogen auf die optische Achse 26, die auf einem gemeinsamen Teilkreis 45 mit Mittelachsen 44 der Objektivaufnahmen 40 angeordnet ist.
  • Vermittels der Detektorplatine 43 lassen sich die Objektive 13 bis 18 über ihre relative Drehwinkellage zur optischen Achse 26 identifizieren. In der Teilkreisdarstellung in 3 kennzeichnet jeder Schnittpunkt der Mittelachsen 44 der einzelnen Objektive 13 bis 18 die Relativlage der Objektive zum Schnittpunkt der optischen Achse 26 mit dem Teilkreis 45. So ist beispielsweise gemäß 3 die Ausgangsposition des Objektivs 16 mit einer Drehwinkellage von α16 = 60° definiert. Die Drehwinkellage des Objektivs 13 hingegen ist mit dem Drehwinkel α13 = 240° definiert. Aus der Kenntnis der Ausgangsposition der verschiedenen Objektive 13 bis 18 ergibt sich die notwendige Drehwinkelverstellung, um ein bestimmtes Objektiv auf der optischen Achse 26 anzuordnen. Beispielsweise erfordert gemäß der Darstellung in 3 die Anordnung des Objektivs 13 auf der optischen Achse 26 eine Drehwinkelverstellung von +120°. Andererseits erfordert eine Anordnung des Objektivs 16 auf der optischen Achse 26 eine Drehwinkelverstellung von –60°.
  • Die Drehwinkelverstellung zur Positionierung eines ausgewählten Objektivs 13 bis 18 auf der optischen Achse 26 erfolgt in zwei aufeinander folgenden Phasen. Zunächst erfolgt eine Grobpositionierung des ausgewählten Objektivs durch eine Ansteuerung des Inkrementalgebers 41 der Antriebseinrichtung 19 derart, das beispielsweise zur Grobpositionierung des in 3 dargestellten Objektivs 13 der Inkrementalgeber eine Drehwinkelverstellung von +120° bewirkt. Die hierdurch erreichte Grobposition des Objektivs 13 auf der optischen Achse 26 stellt sicher, dass sich ein dem Objektiv 13 zugeordnetes magnetische Markierungselement 46 auf dem Lagerflansch 36 der Revolverscheibe 12 in der Grobposition des Objektivs 13 im Detektierungsbereich eines an dem Revolverträger 11 bzw. der am Revolverträger 11 angeordneten Ansteuerungseinrichtung 42 angeordneten Magnetsensors 47 befindet (2). Bei dem Magnetsensor handelt es sich bei dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel um einen so genannten „Hall-Sensor”, der zusammen mit den den jeweiligen Objektiven 13 bis 18 zugeordnete Markierungselementen 46 eine Sensoreinrichtung 48 bildet.
  • Nach erfolgter Grobpositionierung wird vermittels der Sensoreinrichtung 48 ein dem Abstand zwischen dem Magnetsensor 47 und dem Markierungselement 46 direkt proportionaler Ausgangsspannungswert erzeugt. Diesem Ausgangsspannungswert wird durch eine vorzugsweise in der Ansteuerungseinrichtung 42 angeordnete Prozessoreinrichtung 49 ein dem ausgewählten Objektiv 13 zugeordneter Referenz-Ausgangsspannungswert zugeordnet, der die exakte Position des Objektivs 13 auf der optischen Achse 26 definiert. Aus der Differenz zwischen dem in der Grobposition detektierten Ausgangsspannungswert und dem Referenzwert wird in einem konventionellen Regelkreis die notwendige Stellgröße ermittelt, um das Objektiv 13 aus der Grobposition in die Exaktposition, in der die gewünschte Koaxialität zwischen der Mittelachse 44 der dem Objektiv 13 zugeordneten Objektivaufnahme 40 und der optischen Achse 26 gewährleistet ist, zu verfahren. Über die Ansteuerungseinrichtung 42 wird der Inkrementalgeber 41 mit einem der Stellgröße proportionalen Signal beaufschlagt, derart, dass die notwendige Drehwinkelkorrektur bewirkt wird.

Claims (14)

  1. Verfahren zur fluchtenden Positionierung eines von mehreren an einem Objektivrevolver (10) angeordneten Objektiven (13 bis 18) auf einer gemeinsamen optischen Achse (26) mit einem Okular, bei dem der Revolver bis zum Erreichen eines die gewünschte Relativposition definierenden Markierungselements (46) vermittels einer elektromotorischen Antriebseinrichtung (19) um eine Revolverachse (25) gedreht wird, wobei das Markierungselement auf einem Lagerflansch (36) einer Revolverscheibe (12) des Objektivrevolvers angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass zunächst eine Vorpositionierung durch eine Drehverstellung des Revolvers bis zum Erreichen einer innerhalb der Grenzen eines Feinpositionierungsbereichs gelegenen Grobposition erfolgt, in der sich das Markierungselement als Bestandteil einer berührungslosen Sensoreinrichtung (48) im Detektierungsbereich einer am Revolverträger angeordneten Ansteuerungseinrichtung (42) des Antriebseinrichtung befindet, und nachfolgend eine Feinpositionierung ohne kraftschluss vermittels eines Regelabgleichs eines die aktuelle Position wiedergebenden Sensorausgangssignals der berührungslosen Sensoreinrichtung (48) mit einem dem jeweiligen Objektiv zugeordneten Referenzwert der Exaktposition erfolgt, derart, dass das Sensorausgangssignal als physikalische Größe definiert ist, deren Wert sich als Funktion der Distanz von den jeweiligen Objektiven (13 bis 18) zugeordneten und auf dem Revolver angeordneten Markierungselemente von einem an dem Revolverträger zur Drehlagerung des Revolvers angeordneten Sensor (47) der Sensoreinrichtung (48) ändert.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ermittlung der Referenzwerte für die Feinpositionierung die den jeweiligen Objektiven (13 bis 18) zugeordneten Sensorausgangssignale bei definierter optischer Relativausrichtung des Objektivrevolvers (10) im Messbetrieb ermittelt und in einem Referenzwertspeicher abgelegt werden, und die Feinpositionierung der ausgewählten Objektive im Mikroskopierbetrieb derart erfolgt, dass eine Änderung der Relativposition des Revolvers durch einen Drehantrieb des Revolvers so lange erfolgt, bis sich als Sensorausgangssignal der Referenzwert einstellt.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Markierungselemente als Magnete (46) und der Sensor (47) als Hall-Sensor ausgebildet ist.
  4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Grobpositionierung über die von einem Inkrementalgeber (41) angesteuerten elektromotorische Antriebseinrichtung (19) erfolgt, bis zum Erreichen eines dem jeweiligen Objektiv (13 bis 18) zugeordneten Drehwinkels, der die Lage des Feinpositionierungsbereichs definiert.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Zuordnung der jeweiligen Objektive (13 bis 18) zu einer die Objektive individualisierenden Drehwinkelposition über eine Detektierung der Objektive erfolgt.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektierung vermittels einer am Revolverträger (11) angeordneten Detektorplatine (43) und den Objektiven (13 bis 18) am Revolver (10) zugeordneten Detektionsflächen erfolgt.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehrichtung der Antriebseinrichtung (19) in Abhängigkeit vom Bogenabstand der anzufahrenden Grobposition gewählt wird, so dass stets der kürzeste Weg bis zum Erreichen des ausgewählten Objektivs zurückgelegt wird.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinrichtung (19) vor Erreichen der Grobposition verzögert wird.
  9. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl die Drehverstellung des Revolvers (10) zur Grobpositionierung als auch die Drehverstellung des Revolvers zur Feinpositionierung vermittels derselben elektromotorischen Antriebseinrichtung (19) erfolgt.
  10. Vorrichtung zur fluchtenden Positionierung eines von mehreren an einem Objektivrevolver (10) angeordneten Objektiven (13 bis 18) auf einer gemeinsamen optischen Achse (26) mit einem Okular mit einem auf einem Revolverträger (11) drehbar gelagerten Revolver und einer den Revolver antreibenden elektromotorischen Antriebseinrichtung (19), die mit einer Ansteuerung versehen ist, welche im Zusammenwirken mit einem Markierungselement (46) die Einstellung einer gewünschten Relativposition des Revolvers ermöglicht, wobei das Markierungselement auf einem Lagerflansch (36) einer Revolverscheibe (12) des Objektivrevolvers angeordnet ist, gekennzeichnet durch eine am Revolver vorgesehene berührungslose Sensoreinrichtung (48) umfassend das Markierungselement, die ein Sensorausgangssignal erzeugt, wenn durch den Betrieb der elektromotorischen Antriebseinrichtung ein dem jeweiligen Objektiv zugeordneter Drehwinkel des Revolvers als Grobposition des Objektivs definiert ist, und eine mit der Sensoreinrichtung zusammenwirkende Prozessoreinrichtung (49) zur Durchführung einer Feinpositionierung ohne kraftschluss vermittels eines Regelabgleichs eines die aktuelle Position wiedergebenden Sensorausgangssignals der berührungslosen Sensoreinrichtung mit einem dem jeweiligen Objektiv zugeordneten Referenzwert der Exaktposition, wobei die Sensoreinrichtung (48) einen Sensor (47) zur Erzeugung einer Ausgangsspannung als Sensorausgangssignal und den Objektiven (13 bis 18) jeweils zugeordnete, am Revolver angeordnete Markierungselemente (46) zur Auslösung des Sensorausgangssignals aufweist, wobei das Sensorausgangssignal als physikalische Größe definiert ist, deren Wert sich als Funktion der Distanz von den jeweiligen Objektiven (13 bis 18) zugeordneten und auf dem Revolver angeordneten Markierungselementen von einem an einem Revolverträger zur Drehlagerung des Revolvers angeordneten Sensor (47) der Sensoreinrichtung (48) ändert.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Prozessoreinrichtung (49) einen Referenzwertspeicher umfasst, in dem den einzelnen Objektiven (13 bis 18) des Objektivrevolvers (10) zugeordnete Sensorausgangssignalwerte gespeichert sind.
  12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Markierungselemente (46) als Magnete und der Sensor (47) als Hall-Sensor ausgebildet ist.
  13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die elektromotorische Antriebseinrichtung (19) einen Inkrementalgeber (41) zur Verdrehung des Revolvers (10) entsprechend einem dem jeweiligen Objektiv (13 bis 18) zugeordneten Drehwinkel aufweist.
  14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Individualisierung der verschiedenen Objektive (13 bis 18) des Objektivrevolvers (10) am Revolverträger eine Detektorplatine (43) mit einer Leiterbahnstruktur derart angeordnet ist, dass einer Detektionsfläche von jedem am Objektivrevolver angeordneten Objektiv ein definierter Gegenkontakt der Detektorplatine zugeordnet ist.
DE200810017917 2008-04-08 2008-04-08 Verfahren und Vorrichtung zur Revolverpositionierung Expired - Fee Related DE102008017917B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200810017917 DE102008017917B4 (de) 2008-04-08 2008-04-08 Verfahren und Vorrichtung zur Revolverpositionierung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200810017917 DE102008017917B4 (de) 2008-04-08 2008-04-08 Verfahren und Vorrichtung zur Revolverpositionierung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102008017917A1 DE102008017917A1 (de) 2009-10-15
DE102008017917B4 true DE102008017917B4 (de) 2014-03-06

Family

ID=41060463

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200810017917 Expired - Fee Related DE102008017917B4 (de) 2008-04-08 2008-04-08 Verfahren und Vorrichtung zur Revolverpositionierung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102008017917B4 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106199942B (zh) * 2016-08-08 2018-07-10 上海大学 一种基于弧面分度凸轮机构的物镜转换器
CN110361859A (zh) * 2018-09-03 2019-10-22 上海北昂医药科技股份有限公司 基于霍尔开关的物镜控制装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3202461C1 (de) * 1982-01-27 1983-06-09 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Befestigung von Mikroskopobjektiven
DE3627185A1 (de) * 1985-11-01 1987-05-07 Jenoptik Jena Gmbh Elektromagnetische wechseleinrichtung
US6154312A (en) * 1997-09-22 2000-11-28 Olympus Optical Co., Ltd. Objective lens switching device
DE10055534B4 (de) * 2000-11-09 2005-03-03 Leica Microsystems Wetzlar Gmbh Mikroskop
DE102005041859A1 (de) * 2005-09-02 2007-03-08 Carl Zeiss Meditec Ag Vorrichtung zum exakten positionieren optischer Bauteile in Strahlengängen

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3202461C1 (de) * 1982-01-27 1983-06-09 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Befestigung von Mikroskopobjektiven
DE3627185A1 (de) * 1985-11-01 1987-05-07 Jenoptik Jena Gmbh Elektromagnetische wechseleinrichtung
US6154312A (en) * 1997-09-22 2000-11-28 Olympus Optical Co., Ltd. Objective lens switching device
DE10055534B4 (de) * 2000-11-09 2005-03-03 Leica Microsystems Wetzlar Gmbh Mikroskop
DE102005041859A1 (de) * 2005-09-02 2007-03-08 Carl Zeiss Meditec Ag Vorrichtung zum exakten positionieren optischer Bauteile in Strahlengängen

Also Published As

Publication number Publication date
DE102008017917A1 (de) 2009-10-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3800427C2 (de) Gerät zum Ermitteln des Abstands eines auf einer Prüffläche liegenden Prüfpunktes von einer Referenzfläche
DE102005036332B4 (de) Positioniereinrichtung
WO2018099688A1 (de) Messvorrichtung, messanordnung und verfahren zur ermittlung von messsignalen während einer eindringbewegung eines eindringkörpers in eine oberfläche eines prüfkörpers
DE102009051843A1 (de) Feindrehwerkzeug
DE102007050111A1 (de) Verfahren und Anlage-Sensorvorrichtung zu einer Anlagemessung bei einer Werkzeugmaschine
WO2011023484A1 (de) Vorrichtung zur optischen distanzmessung sowie verfahren zur justierung einer solchen vorrichtung
DE102008017917B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Revolverpositionierung
EP1918687B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Lage einer Symmetrieachse einer asphärischen Linsenfläche
DE102018210989A1 (de) Messeinrichtung für eine Spindel oder einen Rundtisch
DE102013021693A1 (de) Messsystem
DE102016201466B3 (de) Dreheinheit für ein Koordinatenmessgerät
DE102014217517A1 (de) Vorrichtung zur Steuerung einer relativen Verlagerung einer ersten Halterung und einer zweiten Halterung
EP1668891B1 (de) Bildaufnahmesystem
DE102006036746A1 (de) Positionsmesseinrichtung und Verfahren zur Montage einer Positionsmesseinrichtung
EP0899058A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Positionierung eines Werkzeugs
DE102008011540B4 (de) Verfahren zum zentrierten Montieren einer ersten Komponente an einer zweiten Komponente
DE3432842A1 (de) X-y-flaechenantrieb mit begrenzter (phi)-drehung und z-verschiebung
DE102016107099A1 (de) Rotationslaser zur Ermittlung der Rechtwinkligkeit zweier Maschinenteile
DE102018206967A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur anordnung von kleindimensionierten bauteilen an baugruppen mit exakter ausrichtung der bauteile an der baugruppe
DE102014009269B4 (de) Vorrichtung zur räumlichen Ausrichtung eines berührungslosen Messkopfes
DE102008025138B4 (de) Vorrichtung zur planaren Positionierung von Werkstücken
DE102017200080A1 (de) Laserwerkzeug mit Hohlwellenantrieb und nicht-rotierender Linse
WO2004068925A1 (de) Aufsetz-positioniervorrichtung zum aufsetzen von objekten auf substrate
DE102004053703A1 (de) Stellvorrichtung für eine Verbrennungskraftmaschine
EP2056072B1 (de) Verfahren zur Montage eines Körpers mit einer Winkelskalierung und Vorrichtung hierfür

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8181 Inventor (new situation)

Inventor name: SCHALZ, KARL-JOSEF, DR.-ING., 35781 WEILBURG, DE

Inventor name: GLOCK, HERBERT, DIPL.-ING., 35398 GIESSEN, DE

R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final
R020 Patent grant now final

Effective date: 20141209

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee