DE102018206967A1 - Verfahren und vorrichtung zur anordnung von kleindimensionierten bauteilen an baugruppen mit exakter ausrichtung der bauteile an der baugruppe - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur anordnung von kleindimensionierten bauteilen an baugruppen mit exakter ausrichtung der bauteile an der baugruppe Download PDF

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur definierten Anordnung eines Bauteils (10) an einer Baugruppe (9), bei welchem die Baugruppe in einem Koordinatenmessgerät (1) angeordnet wird und mit mindestens einem Referenzbauteil (8) versehen wird, wobei nach dem Anbringen des Referenzbauteils (8) an der Baugruppe die Baugruppe mit dem Referenzbauteil mit einer Erfassungseinrichtung (4) des Koordinatenmessgeräts vermessen wird und wobei die Anordnung des Bauteils (10) an der Baugruppe (9) in Bezug auf Position und Ausrichtung zumindest mittelbar relativ zum Referenzbauteil (8) erfolgt. Außerdem betrifft die Erfindung eine entsprechende Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur definierten Anordnung eines Bauteils, wie beispielsweise eines Sensors, an einer Baugruppe, wie beispielsweise einer Spiegelanordnung einer Projektionsbelichtungsanlage, wobei trotz einer relativ kleinen Dimensionierung des anzuordnenden Bauteils eine exakte Orientierung des Bauteils bezüglich der Baugruppe erreicht werden soll.
  • STAND DER TECHNIK
  • Bei Projektionsbelichtungsanlagen für die Mikrolithographie zur Herstellung von mikrostrukturierten und nanostrukturierten Bauteilen der Mikrosystemtechnik und Elektrotechnik müssen Komponenten, wie beispielsweise Spiegelanordnungen in EUV - Projektionsbelichtungsanlagen (Anlagen die mit Licht im Wellenlängenbereich des extrem ultravioletten Lichts (EUV Licht) betrieben werden) bewegt und dabei sehr genau geregelt werden, sodass entsprechende Bauteile, wie Sensoren, zur Regelung dieser Komponenten mit einer hohen Genauigkeit, d.h. sehr kleinen Winkeltoleranzen bezüglich der Ausrichtung des anzuordnenden Bauteils, an den entsprechenden Komponenten angeordnet werden müssen.
  • Darüber hinaus sollen entsprechende Anbauteile, wie Sensoren, möglichst klein dimensioniert werden, um die bewegten Massen klein zu halten, sodass eine schnelle Bewegung entsprechend geregelter Komponenten möglich ist.
  • Allerdings ist insbesondere bei sehr klein dimensionierten Bauteilen eine exakte Ausrichtung mit kleinen Winkeltoleranzen schwierig durchzuführen, da zur Justierung entsprechender Bauteile hinsichtlich ihrer Orientierung üblicherweise Oberflächen der Bauteile als Messbasis Verwendung finden, die bei kleinen Dimensionen der Bauteile durch die kleinen Basislängen Probleme bei der Winkelbestimmung verursachen können.
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
  • AUFGABE DER ERFINDUNG
  • Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung bereitzustellen, mit deren Hilfe eine exakte Anordnung eines Bauteils an einer Baugruppe hinsichtlich der Position und / oder Orientierung des Bauteils an der Baugruppe möglich ist, wobei insbesondere klein dimensionierte Bauteile angeordnet werden sollen. Gleichzeitig soll das Verfahren einfach, aber zuverlässig durchführbar und die entsprechende Vorrichtung entsprechend einfach und zuverlässig betreibbar sein.
  • TECHNISCHE LÖSUNG
  • Diese Aufgabe wird gelöst mit einem Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie einer Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 12. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
  • Die Erfindung schlägt zur Lösung der oben genannten Aufgabenstellung vor, ein Koordinatenmessgerät zu verwenden, um die Baugruppe, an der ein Bauteil angeordnet werden soll, zu vermessen, sodass Toleranzabweichungen an der Baugruppe bezüglich der Sollform und der gewünschten Ausrichtung von Komponenten der Baugruppe festgestellt werden können. Durch die Verwendung eines Koordinatenmessgeräts können in einfacher Weise die Dimensionen und / oder Orientierungen der Baugruppe bzw. von Komponenten der Baugruppe festgestellt werden. Entsprechend kann ein an der Baugruppe vorzusehendes Bauteil in gewünschter Weise auf die Baugruppe und die darin vorgesehenen Komponenten ausgerichtet und exakt an dieser bzw. diesen angebracht werden.
  • Um weiterhin das Problem zu geringer Basislängen für die exakte Ausrichtung des anzuordnenden Bauteils bei kleinen Dimensionen des Bauteils zu lösen, wird weiterhin vorgeschlagen ein Referenzbauteil zu verwenden, welches vorübergehend an der Baugruppe angebracht wird und zusammen mit der Baugruppe in dem Koordinatenmessgerät vermessen wird. Das Referenzbauteil kann entsprechend so gewählt werden, dass es mindestens eine ausreichend große Dimension zur exakten Feststellung der Position und / oder Orientierung besitzt. Alternativ oder darüber hinaus kann das Referenzbauteil dazu dienen mit einer zweiten Messeinrichtung zusammen zu wirken, mit der die Position und / oder Ausrichtung des Referenzbauteils und / oder eines insbesondere klein dimensionierten Bauteils bestimmbar ist. Auf diese Weise kann auch für klein dimensionierte Bauteile eine exakte Anordnung an einer Baugruppe realisiert werden, wobei gemäß dem vorgeschlagenen Verfahren die Anordnung des Bauteils an der Baugruppe in Bezug auf Position und Ausrichtung zumindest mittelbar relativ zum Referenzbauteil erfolgt.
  • Unter mittelbar ist hierbei zu verstehen, dass das Referenzbauteil verwendet wird, um eine zweite Messeinrichtung auf die Position und / oder Orientierung der Baugruppe oder von Komponenten davon einzurichten, um anschließend unmittelbar die Position und / oder Orientierung des anzuordnenden Bauteils mit der zweiten Messeinrichtung zu bestimmen und entsprechend gegenüber der Baugruppe oder Komponenten davon zu justieren. Bei einer unmittelbaren Verwendung des Referenzbauteils zur Justierung des anzuordnenden Bauteils für die Anordnung an der Baugruppe kann die Bestimmung der Position und / oder Orientierung des Referenzbauteils mittels der zweiten Messeinrichtung erfolgen, während anschließend das Bauteil in Bezug auf das Referenzbauteil justiert wird und dann an der entsprechenden Baugruppe angeordnet wird.
  • Entsprechend kann das Referenzbauteil ein Referenznormal, also ein Bauteil sein, welches als Referenzobjekt in definierter Weise an der Baugruppe angeordnet werden kann und eine Referenzfläche aufweist, die mit der zweiten Messeinrichtung des Koordinatenmessgeräts zusammenwirken kann.
  • Alternativ oder zusätzlich kann das Referenzbauteil ein Halterahmen sein oder einen Halterahmen umfassen, an dem das an der Baugruppe anzuordnenden Bauteil befestigt ist, um bezüglich des Halterahmens justiert zu werden und anschließend an der Baugruppe angeordnet zu werden.
  • Ferner kann das Referenzbauteil ein Anschlusselement für einen Halterahmen sein, in welches ein Halterahmen, an dem das in an der Baugruppe anzuordnenden Bauteil befestigt ist, in definierter und reproduzierbar Weise eingesetzt werden kann.
  • Das Referenzbauteil kann in jedem Fall nach der Anordnung des Bauteils an der Baugruppe wieder entfernt werden, wobei selbstverständlich das Bauteil, wenn es an dem Referenzbauteil befestigt war, vorher von dem Referenzbauteil gelöst wird, nachdem es an der Baugruppe angeordnet worden ist.
  • Zur Anordnung des Bauteils an der Baugruppe kann nun so vorgegangen werden, dass zunächst an der Baugruppe das Referenzbauteil angeordnet wird und mit einer üblichen Erfassungseinrichtung des Koordinatenmessgerätes, beispielsweise einem Tastelement, die Position und / oder die Ausrichtung sowie die Dimensionen der Baugruppe und des Referenzbauteils erfasst werden. Anschließend wird mithilfe einer zweiten, von der Erfassungseinrichtung unterschiedlichen Messeinrichtung die Position und / oder die Ausrichtung des Referenzbauteils bestimmt, wobei durch einen Abgleich der Messergebnisse der Erfassungseinrichtung des Koordinatenmessgerätes und der zweiten Messeinrichtung des Koordinatenmessgeräts hinsichtlich des Referenzbauteils die Position und / oder die Ausrichtung der Baugruppe relativ zur zweiten Messeinrichtung bestimmt werden kann. Mit der Kenntnis der Position und / oder der Ausrichtung der zweiten Messeinrichtung relativ zur Baugruppe kann das Bauteil, welches nun mit der zweiten Messeinrichtung erfasst werden kann, bezüglich der Baugruppe justiert werden und an der Baugruppe angeordnet werden. Somit ist ersichtlich, dass die Anordnung des Bauteils an der Baugruppe während der Lagerung der Baugruppe im Koordinatenmessgerät erfolgt.
  • Alternativ oder zusätzlich kann die Anordnung des Bauteils an der Baugruppe so erfolgen, dass als Referenzbauteil ein Halterahmen verwendet wird, an welchem das an der Baugruppe anzuordnenden Bauteil befestigt ist und wobei die Positionierung und / oder Ausrichtung des an der Baugruppe anzuordnenden Bauteils bezüglich des Halterahmens erfolgt, wobei auf eine Erfassung des Bauteils durch die zweite Messeinrichtung unter Umständen verzichtet werden kann. Nach der Justierung des Bauteils bezüglich des Halterahmens wird das Bauteil an der Baugruppe angeordnet und anschließend vom Halterahmen gelöst, sodass dieser entfernt werden kann.
  • Nach einer weiteren alternativen Gestaltung kann auf eine zweite Messeinrichtung am Koordinatenmessgerät verzichtet werden, wenn als Referenzbauteil ein Anschlusselement für einen Halterahmen verwendet wird, in welches der Halterahmen mit dem daran befestigten, an der Baugruppe anzuordnenden Bauteil eingesetzt werden kann. Auf Basis der Kenntnis der Position und / oder Orientierung der Baugruppe bzw. der Komponenten davon kann das an der Baugruppe anzuordnenden Bauteil bezüglich des Halterahmens justiert werden, wobei beispielsweise eine externe Justierung vorgenommen werden kann. Nach dem Einsetzen des Halterahmens mit dem daran befestigten Bauteil in das Anschlusselement kann das an dem Halterahmen befestigte Bauteil an der Baugruppe angeordnet werden, um anschließend von dem Halterahmens gelöst zu werden. Wie bei den vorangegangenen Verfahren kann auch hier das Referenzbauteil spätestens nach dem Anordnen des Bauteils an der Baugruppe von der Baugruppe gelöst werden.
  • Die zweite Messeinrichtung kann insbesondere mindestens ein Bauelement aus der Gruppe aufweisen, die Triangulationssensoren, Abstandssensoren, Autokollimatoren, Interferometer und Messtaster umfasst.
  • Die Baugruppe kann eine Spiegelanordnung einer Projektionsbelichtungsanlage, insbesondere einer EUV - Projektionsbelichtungsanlage sein, während das Bauteil ein Sensor oder ein Element einer Sensoreinrichtung sein kann.
  • DEFINITIONEN
  • Unter Orientierung bzw. Ausrichtung eines Gegenstands, wie beispielsweise eines Bauteils oder einer Baugruppe, wird im Rahmen der vorliegenden Anmeldung die Winkelposition des Bauteils oder der Baugruppe in Bezug auf eine oder mehrere unabhängige Drehachsen verstanden, während unter Position die Anordnung des Bauteils oder der Baugruppe entlang unabhängiger Raumrichtungen eines Koordinatensystems zu verstehen ist.
  • Figurenliste
  • Die beigefügten Zeichnungen zeigen in rein schematischer Weise in
    • 1 eine seitliche Darstellung einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
    • 2 eine seitliche Darstellung einer zweiten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
    • 3 eine seitliche Darstellung einer dritten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
    • 4 eine seitliche Darstellung einer vierten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und in
    • 5 eine seitliche Darstellung einer fünften Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung.
  • AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden bei der nachfolgenden detaillierten Beschreibung der Ausführungsbeispiele ersichtlich. Allerdings ist die Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt.
  • Die 1 zeigt in einer rein schematischen Darstellung eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur definierten Anordnung eines Bauteils in Form eines Sensors 10 an eine Baugruppe in Gestalt einer Spiegelanordnung 9. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst ein Koordinatenmessgerät 1, welches eine Basis 2 aufweist, an der eine Baugruppenaufnahme 3 ausgebildet ist, die zur Aufnahme der Spiegelanordnung 9 dient, an welcher der Sensor 10 in einer definierten Position und mit einer bestimmten Ausrichtung angeordnet werden soll.
  • Darüber hinaus umfasst das Koordinatenmessgerät 1 eine Erfassungseinrichtung 4, mit der die Spiegelanordnung 9 vermessen werden kann, sodass die Position der Spiegelanordnung sowie die Dimensionen der Spiegelanordnung 9 erfasst werden können. Bei Kenntnis der Gestalt der Spiegelanordnung 9 kann mithilfe der erfassten Positionen und Dimensionen auch die Ausrichtung bzw. Orientierung der Spiegelanordnung 9 im Raum, also eine Orientierung bezüglich unabhängiger Drehachsen ermittelt werden.
  • Die Erfassungseinrichtung 4 weist im gezeigten Ausführungsbeispiel ein Tastelement 5 auf, welches an einem Portalträger 6 angeordnet ist, mit dem das Tastelement 5 in beliebige Position im Raum gebracht werden kann, um auf diese Weise bei Kontakt mit der Spiegelanordnung 9 die entsprechenden Umrisspositionen der Spiegelanordnung 9 zu erfassen. Beispielsweise können der Portalträger 6 und die Halterung, an der das Tastelement 5 angeordnet ist, so ausgebildet sein, dass das Tastelement entlang dreier unabhängiger Raumrichtungen verfahrbar und zusätzlich um bestimmte Drehachsen drehbar ist.
  • Neben der Erfassungseinrichtung 4 weist das Koordinatenmessgerät 1 weiterhin eine zweite Messeinrichtung in Form eines Autokollimators 7 auf, mit dem die Orientierung einer reflektiven Fläche des zu untersuchenden Gegenstandes ermittelt werden kann.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung aus 1 wird so verwendet, dass zunächst die Spiegelanordnung 9 in der Baugruppenaufnahme 3 des Koordinatenmessgerätes 1 angeordnet wird. Anschließend wird an der Spiegelanordnung 9 ein Referenznormal 8 angeordnet, welches eine reflektive Fläche aufweist, die mit dem Autokollimator 7 in der Weise zusammenwirken kann, dass über den Autokollimators 7 die Orientierung der reflektiven Fläche des Referenznormals 8 ermittelt werden kann. Das Referenznormal 8 kann ein beliebiger Gegenstand sein, der jedoch aufgrund seiner Form in einer definierten Weise an der Spiegelanordnung 9 angeordnet werden kann, sodass aus der Kenntnis der Position und / oder Orientierung des Referenznormals 8 auch die Position und / oder Orientierung der Spiegelanordnung 9 ermittelt werden kann.
  • Allerdings wird gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren zunächst die Spiegelanordnung 9 mit dem Referenznormal 8, die zusammen eine Baueinheit bilden, mittels des Tastelements 5 der Erfassungseinrichtung 4 vermessen, sodass die Umrisspositionen der Baueinheit aus Spiegelanordnung 9 und Referenznormal 8 bekannt sind. Aus diesen Umrisspositionen können bei bekannter Form der Baueinheit die Position und die Orientierung der Spiegelanordnung bezüglich unabhängiger Raumachsen bestimmt werden.
  • Anschließend wird mit dem Autokollimator 7 die Orientierung der reflektiven Fläche des Referenznormals 8 bestimmt. Durch Vergleich der Messergebnisse für die Orientierung des Referenznormals 8 durch die Erfassungseinrichtung 4 und den Autokollimator 7 kann eine eindeutige Beziehung zwischen der Position und / oder der Orientierung der Spiegelanordnung 9 relativ zum Autokollimator 7 hergestellt werden. Auf Basis dieser Beziehung kann nunmehr nach dem Entfernen des Referenznormals 8 der an der Spiegelanordnung 9 anzubringende Sensor 10 an der vorgesehenen Position der Spiegelanordnung 9 angeordnet werden und der Sensor 10 kann mittels des Autokollimators 7 in seiner Position und / oder Orientierung bezüglich der Spiegelanordnung 9 justiert werden, sodass eine exakte Anordnung des Sensors 10 an der Spiegelanordnung 9 erfolgen kann. Nach der Justage kann der Sensor 10 an der Spiegelanordnung 9 beispielsweise mit Hilfe einer Klebung fixiert werden.
  • Die 2 zeigt ein anderes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, wobei bei dieser Vorrichtung die zweite Messeinrichtung des Koordinatenmessgeräts 1 durch ein Interferometer 12 mit großem Sichtfeld gebildet ist. Darüber hinaus unterscheidet sich die Ausführungsform, die in 2 dargestellt ist, dadurch von der vorangegangenen Ausführungsform, dass der an der Spiegelanordnung 9 anzubringende Sensor 10 an einem Halterahmen 11 angeordnet ist, der im Übrigen zusätzlich die Funktion des Referenzbauteils bzw. des Referenznormals übernimmt und entsprechend über eine Referenzfläche mit dem Interferometer 12 zusammenwirkt.
  • Bei der Durchführung des Verfahrens ändert sich beim Ausführungsbeispiel gemäß 2 hinsichtlich der Bestimmung der relativen Anordnung der Spiegelanordnung 9 bezüglich der zweiten Messeinrichtung durch die Verwendung eines Interferometers 12 zunächst nichts, sodass in gleicher Weise, wie bei dem vorangegangenen Ausführungsbeispiel, über die Referenzfläche des Halterahmens 11 die Zuordnung der Position und / oder Orientierung der Spiegelanordnung 9 relativ zum Interferometer 12 erfolgt. Auf Basis dieser Kenntnis kann der an dem Halterahmen 11 angeordnete Sensor 10 bezüglich der Spiegelanordnung 9 in die gewünschte Position und / oder Orientierung gebraucht werden, wobei hierzu wiederum das Interferometer 12 eingesetzt werden kann.
  • Allerdings gibt es neben der Verwendung einer anderen zweiten Messeinrichtung einen weiteren Unterschied zur Vorgehensweise der vorangegangenen Ausführungsform, da gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel nunmehr der Halterahmen, der als Referenzbauteil dient, erst nach der Justage und Anordnung des Sensors 10 an der Spiegelanordnung 9 entfernt wird.
  • Die 3 und 4 zeigen weitere Ausführungsbeispiele, die dem Ausführungsbeispiel der 2 ähnlich sind. Die Justierung und Anordnung des Sensors 10 an der Spiegelanordnung 9 erfolgt in der gleichen Weise wie beim Ausführungsbeispiel der 2. Lediglich die zweite Messeinrichtung, die verwendet wird, um die Position und / oder Ausrichtung des Halterahmens 11 zu erfassen, unterscheidet sich von dem vorangegangenen Ausführungsbeispiel.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel der 3 wird als zweite Messeinrichtung eine Triangulationssensoreinrichtung 13 verwendet, bei der mehrere, insbesondere mindestens drei Abstandssensoren vorgesehen sind, die über Triangulationsverfahren die Position und / oder Ausrichtung des Halterahmens 11 zur Anordnung des Sensors 10 an der Spiegelanordnung 9 bestimmen.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel der 4 werden für die zweite Messeinrichtung Messtaster und insbesondere mindestens 3 hochgenaue Messtaster 14 eingesetzt, um wiederum die Position und / oder Ausrichtung der Referenzfläche des Halterahmens 11 zu ermitteln.
  • Bei der Ausführungsform der 5 wird auf eine zweite Messeinrichtung verzichtet. Stattdessen ist das Referenzbauteil, welches verwendet wird, um den Sensor 10 bezüglich der Spiegelanordnung 9 zu justieren zweiteilig ausgebildet und zwar mit einem Halterahmen 16, an dem wiederum der anzubringende Sensor angeordnet ist, und einem Anschlusselement 17, welches an der Spiegelanordnung 9 angeordnet wird, um den Halterahmen 16 in definierter Weise aufzunehmen.
  • Wie in den vorangegangenen Ausführungsbeispielen wird zunächst nach der Anordnung des Anschlusselements 17, das ebenfalls, wie in 5 gezeigt ist, mehrteilig ausgebildet sein kann, die Spiegelanordnung 9 mit dem Anschlusselement 17 als Baueinheit von der Erfassungseinrichtung 4 mit dem Tastelement 5 vermessen, sodass die Position und / oder Ausrichtung des Anschlusselements 17 zur Spiegelanordnung 9 erfasst wird. Da der Halterahmen 16 mit dem Sensor 10 in definierter Weise an dem Anschlusselement 17 angeordnet wird, kann das Sensorelement 10 zur Justierung gegenüber der Spiegelanordnung 9 zunächst gegenüber dem Halterahmen 16 justiert werden und nach der Anordnung des Halterahmens 16 im Anschlusselement 17 kann der Sensor 10 in der vorbestimmten Ausrichtung an der Spiegelanordnung 9 befestigt werden. Damit erübrigt sich eine zweite Vermessung des Referenzbauteils mittels einer zweiten Messeinrichtung.
  • Durch die beschriebenen Verfahren und Vorrichtungen ist es somit möglich, klein dimensionierte Bauteile, wie beispielsweise Sensoren 10, an Baugruppen, wie Spiegelanordnungen 9, die aufgrund der Herstellung Toleranzen aufweisen können, in definierter Weise, also mit einer bestimmten Position und / oder Ausrichtung relativ zur Baugruppe anzuordnen, wobei durch die Vermessung der Baugruppe mittels der Erfassungseinrichtung des Koordinatenmessgeräts die Herstellungstoleranzen erfasst und berücksichtigt werden können, während mittels des Referenzbauteils auch klein dimensionierte Bauteile mit hoher Genauigkeit exakt justiert werden können.
  • Obwohl die vorliegende Erfindung anhand der Ausführungsbeispiele detailliert beschrieben worden ist, ist für den Fachmann selbstverständlich, dass die Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt ist, sondern dass vielmehr Abwandlungen in der Weise möglich sind, dass einzelne Merkmale weggelassen oder andersartige Kombinationen von Merkmalen verwirklicht werden können, ohne dass der Schutzbereich der beigefügten Ansprüche verlassen wird. Insbesondere schließt die vorliegende Offenbarung sämtliche Kombinationen der in den verschiedenen Ausführungsbeispielen gezeigten Einzelmerkmale mit ein, sodass einzelne Merkmale, die nur in Zusammenhang mit einem Ausführungsbeispiel beschrieben sind, auch bei anderen Ausführungsbeispielen oder nicht explizit dargestellten Kombinationen von Einzelmerkmalen eingesetzt werden können.
  • Bezugszeichenliste
    • 1
    Koordinatenmessgerät
    2
    Basis
    3
    Baugruppenaufnahme
    4
    Erfassungseinrichtung
    5
    Tastelement
    6
    Portal
    7
    Autokollimator
    8
    Referenznormal
    9
    Spiegelanordnung
    10
    Sensor
    11
    Halterahmen
    12
    Interferometer
    13
    Triangulationssensoreinrichtung
    14
    Messtastereinrichtung
    15
    Tastsensoren
    16
    Halterahmen
    17
    Anschlusselement

Claims (14)

  1. Verfahren zur definierten Anordnung eines Bauteils (10) an einer Baugruppe (9), bei welchem die Baugruppe in einem Koordinatenmessgerät (1) angeordnet wird und mit mindestens einem Referenzbauteil (8,11,17) versehen wird, wobei nach dem Anbringen des Referenzbauteils (8,11,17) an der Baugruppe die Baugruppe mit dem Referenzbauteil mit einer Erfassungseinrichtung (4) des Koordinatenmessgeräts vermessen wird und wobei die Anordnung des Bauteils (10) an der Baugruppe (9) in Bezug auf Position und Ausrichtung zumindest mittelbar relativ zum Referenzbauteil (8,11,17) erfolgt.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Referenzbauteil ein Referenznormal (8) oder ein Halterahmen (11) oder ein Anschlusselement (17) für einen Halterahmen ist.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass am Koordinatenmessgerät neben der Erfassungseinrichtung eine zweite Messeinrichtung (7,12,13,14) vorgesehen ist, mit der die Position und / oder Ausrichtung des Bauteils (10) und / oder des Referenzbauteils (8,11,17) bestimmbar sind.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass nach der Vermessung der Baugruppe (9) und des Referenzbauteils (8,11,17) mit der Erfassungseinrichtung (4) des Koordinatenmessgeräts die Position und / oder die Ausrichtung des Referenzbauteils (8,11) mit Hilfe der zweiten Messeinrichtung (7,12,13,14) bestimmt wird, wobei durch einen Abgleich der Messergebnisse der Erfassungseinrichtung und der zweiten Messeinrichtung des Koordinatenmessgeräts hinsichtlich des Referenzbauteils die Position und / oder die Ausrichtung der Baugruppe relativ zur zweiten Messeinrichtung bestimmt wird.
  5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Referenzbauteil ein Referenznormal (8) ist und durch die Bestimmung der Position und / oder der Ausrichtung des Bauteils (10) zur zweiten Messeinrichtung (7) das Bauteil an der Baugruppe unter Berücksichtigung der vorher bestimmten Position und / oder Ausrichtung der Baugruppe (9) zur zweiten Messeinrichtung (7) justiert und definiert an der Baugruppe angebracht wird.
  6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Referenzbauteil ein Halterahmen (11) ist und entsprechend der Bestimmung der Position und / oder der Ausrichtung des Halterahmens (11) zur zweiten Messeinrichtung (12,13,14) das Bauteil (10) an dem Halterahmen (11) unter Berücksichtigung der vorher bestimmten Position und / oder Ausrichtung der Baugruppe (9) zur zweiten Messeinrichtung (12,13,14) justiert und anschließend definiert an der Baugruppe (9) angebracht wird.
  7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Referenzbauteil ein Anschlusselement (17) für einen Halterahmen (16) verwendet wird, wobei nach dem Erfassen der Position und / oder Ausrichtung des Anschlusselements (17) die Position und / oder Ausrichtung des Bauteils (10) relativ zum Halterahmen (16) auf Basis der erfassten Position und / oder Ausrichtung des Anschlusselements (17) justiert wird und das Bauteil (10) nach Anordnung des Halterahmens (16) am Anschlusselement (17) an der Baugruppe (9) angeordnet wird.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Bauteil (10) definiert an dem Halterahmen (11,16) angeordnet wird und / oder die Position und / oder Ausrichtung des Bauteils (10) am Halterahmen (11,16) erfasst wird, insbesondere bevor der Halterahmen (11,16) an der Baugruppe (9) angeordnet wird.
  9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mit der Erfassungseinrichtung (4) des Koordinatenmessgeräts (1) die Dimensionen der Baugruppe (9) und des Referenzbauteils (8,11,17) sowie deren Position und Ausrichtung erfasst werden.
  10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Baugruppe eine Spiegelanordnung (9) einer Projektionsbelichtungsanlage und / oder das Bauteil ein Sensor (10) oder ein Element einer Sensoreinrichtung ist.
  11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Referenzbauteil eine Referenzfläche zur Wechselwirkung mit der zweiten Messeinrichtung (7,12,13,14) aufweist, die insbesondere größer, vorzugsweise mindestens doppelt so groß oder ein ganzzahliges Vielfaches einer Dimension des Bauteils ist.
  12. Vorrichtung zur definierten Anordnung eines Bauteils (10) an einer Baugruppe (9), insbesondere zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit einem Koordinatenmessgerät (1) mit einer Baugruppenaufnahme (3) zur Anordnung einer Baugruppe (9) und einer Erfassungseinrichtung (4) zur Erfassung von Dimensionen und / oder Positionen einer in der Baugruppenaufnahme angeordneten Baueinheit (9;8,11,17) und einer zweiten Messeinrichtung (7,12,13,14) zur Bestimmung der Position und / oder Ausrichtung mindestens eines Teils der Baueinheit (9;8,11,17).
  13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Messeinrichtung (7,12,13,14) mindestens ein Bauelement aus der Gruppe aufweist, die Triangulationssensoren, Abstandssensoren, Autokollimatoren, Interferometer und Messtaster umfasst.
  14. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung ein Referenzbauteil (8,11,17) zur Anordnung an der Baugruppe (9) , insbesondere ein Referenznormal (8) oder einen Halterahmen (11)umfasst, welches hergerichtet ist, um mit der zweiten Messeinrichtung (7,12,13,14) zusammen zu wirken.
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