DE102008015281A1 - Device for directing light rays - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Lenkung von Lichtstrahlen, insbesondere Laserstrahlen (14), mit einer optischen Ablenkvorrichtung (20), die in einem Lichtweg der Lichtstrahlen angeordnet ist und die zur Lenkung der Lichtstrahlen mittels Festkörperaktoren (30) bewegbar ist. Die erfindungsgemäße Vorrichtung, bei der die optische Ablenkvorrichtung (20) zur Lenkung der Lichtstrahlen mittels Festkörperaktoren (30) bewegbar ist, hat insbesondere den Vorteil, dass aufgrund der erhöhten Genauigkeit der Positionierung der optischen Ablenkvorrichtung (20) eine sehr hohe Wiederholgenauigkeit des Lichtstrahlweges gegeben ist.The invention relates to a device for directing light beams, in particular laser beams (14), having an optical deflection device (20) which is arranged in an optical path of the light beams and which is movable for guiding the light beams by means of solid state actuators (30). The inventive device, in which the optical deflection device (20) for guiding the light beams by means of solid state actuators (30) is movable, has the particular advantage that due to the increased accuracy of the positioning of the optical deflection device (20) is given a very high repeatability of the light beam path ,

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Lenkung von Lichtstrahlen, insbesondere Laserstrahlen, mit einer optischen Ablenkvorrichtung, die in einem Lichtweg der Lichtstrahlen angeordnet ist.The Invention relates to a device for directing light rays, in particular laser beams, with an optical deflection device, which is arranged in a light path of the light beams.

Derartige Vorrichtungen werden beispielsweise in Laserscannern oder Laserschneidgeräten eingesetzt.such Devices are used for example in laser scanners or laser cutting machines.

Bei einer ersten Variante bekannter Laseranlagen finden Scannersysteme mit Galvometer- oder Galvanometerantrieb zur Strahlablenkung Verwendung. Ein Spiegel wird an einem Arm eines Galvanometers befestigt und folgt den Bewegungen dieses Arms. Zum Betrieb einer solchen Vorrichtung ist die Erzeugung hoher Spannungen und schnelles Pumpen von Ladungen notwendig, um eine schnelle Reaktionszeit der Vorrichtung zu gewährleisten. Gleichzeitig ergeben sich durch die entstehenden elektrischen Felder Gefahren und ungewünschte Streueffekte in elektronischen Baugruppen.at A first variant of known laser systems find scanner systems with galvometer or galvanometer drive for beam deflection use. A mirror is attached to an arm of a galvanometer and follow the movements of this arm. To operate such a device is the generation of high voltages and fast pumping of charges necessary to ensure a fast reaction time of the device. At the same time resulting from the resulting electric fields Dangers and unwanted Scattering effects in electronic assemblies.

Es ist ebenfalls bekannt, eine Schneideoptik mit einem Robotersystem durch einen Raum zu bewegen. Dazu wird eine Laseranordnung mit starrer Optik an einem beweglichen und/oder drehbaren Roboterarm befestigt und von diesem in die gewünschte Position verfahren.It is also known, a cutting optics with a robot system to move through a room. For this purpose, a laser arrangement with a rigid optics attached to a movable and / or rotatable robot arm and from this to the desired position method.

Beide Varianten weisen durch die mechanisch bewegten, vergleichsweise massereichen, Elemente eine eingeschränkte Geschwindigkeit und Genauigkeit auf.Both Variants show by the mechanically moving, comparatively massive, elements a limited speed and accuracy on.

Die vorliegende Erfindung geht auf die Aufgabe zurück, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die eine verbesserte Genauigkeit und Geschwindigkeit aufweist.The The present invention is based on the object, a device of the above to provide that kind of improved accuracy and accuracy Speed.

Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Die erfindungsgemäße Vorrichtung, bei der die optische Ablenkvorrichtung zur Lenkung der Lichtstrahlen mittels Festkörperaktoren bewegbar ist, hat insbesondere den Vorteil, dass aufgrund der erhöhten Genauigkeit der Positionierung der optischen Ablenkvorrichtung eine sehr hohe Wiederholgenauigkeit des Lichtstrahlweges gegeben ist.These The object is achieved by a device having the features of the patent claim 1 solved. The device according to the invention, wherein the optical deflection device for guiding the light rays by means of solid state actuators Movable, in particular, has the advantage that due to the increased accuracy the positioning of the optical deflection a very high Repeat accuracy of the light beam path is given.

Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der Unteransprüche.advantageous Embodiments are the subject of the dependent claims.

Die optische Ablenkvorrichtung kann eine optische Ablenklinse aufweisen. Dadurch ist die Vorrichtung von der Leistung der abgelenkten Lichtstrahlen und auch von der Quelle der Lichtstrahlen nahezu unabhängig.The optical deflection device may comprise an optical deflection lens. As a result, the device is dependent on the power of the deflected light rays and also almost independent of the source of light rays.

Vorteilhaft kann die optische Ablenkvorrichtung einen Rahmen aufweisen, an dem die Festkörperaktoren angreifen. Dies ermöglicht eine Befestigung der optischen Ablenkvorrichtung an den Festkörperaktoren auch dann, wenn die optische Ablenkvorrichtung und die Festkörperaktoren aufgrund der verwendeten Materialien nicht unmittelbar miteinander verbindbar sind. Zusätzlich wird die Stabilität der Ablenkvorrichtung verbessert. Insbesondere lassen sich fragilere Ablenkvorrichtungen, beispielsweise besonders empfindliche Ablenklinsen, verwenden.Advantageous For example, the optical deflection device may have a frame on which the solid state factors attack. this makes possible an attachment of the optical deflection device to the solid state actuators even if the optical deflector and the solid state actuators not directly related to each other due to the materials used are connectable. additionally will the stability the deflection improved. In particular, can be more fragile Deflection devices, for example particularly sensitive deflection lenses, use.

Die Festkörperaktoren können an einander gegenüberliegenden Punkten der Ablenkvorrichtung angeordnet sein. Dadurch ist es möglich, durch jeweils entgegengesetzte Aktivierung der Festkörperaktoren eine gleichmäßige Zug- und Druckbelastung der optischen Ablenkvorrichtung zu erreichen.The Solid-state actuators can on opposite sides Be arranged points of the deflection. This makes it possible through opposite activation of the solid-state actuators a uniform tensile strength and to achieve compressive loading of the optical deflection device.

In weiterer Ausgestaltung können die Festkörperaktoren zur Bewegung der Ablenkvorrichtung in einer Richtung angeordnet sein, die im wesentlichen quer zu der Richtung der Lichtstrahlen verläuft. Somit kann durch Verschiebung der optischen Ablenkvorrichtung im wesentlichen orthogonal zu der Ausbreitungsrichtung der Lichtstrahlen eine Ablenkung derselben erreicht werden.In further embodiment can the solid state factors arranged to move the deflection device in one direction be substantially transverse to the direction of the light rays runs. Consequently can essentially by displacement of the optical deflection device orthogonal to the propagation direction of the light beams a deflection the same can be achieved.

Die Festkörperaktoren können zur Bewegung der Ablenkvorrichtung in einer Richtung angeordnet sein, die im wesentlichen parallel zu der Richtung der Lichtstrahlen verläuft. Dadurch wird es möglich, die Ablenkvorrichtung zu kippen. Bei Verwendung von optischen Linsen als Ablenkvorrichtung ist es auch möglich, den Fokuspunkt des Lasers zu verschieben. Dies kann insbesondere sehr genau durch Verschieben der Linse, insbesondere in einer zu dem Lichtstrahl im wesentlichen quer verlaufenden Ebene, erfolgen. Solche Verschiebebewegungen lassen sich einfach und hochgenau mittels der Aktoren durchführen.The Solid-state actuators can arranged to move the deflection device in one direction be substantially parallel to the direction of the light rays runs. This will make it possible tilt the deflector. When using optical lenses As a deflection device, it is also possible to focus the laser to move. This can be very accurate by moving the lens, in particular in a to the light beam substantially transverse plane, take place. Such displacement movements can be easy and highly accurate by means of the actuators.

Vorteilhaft weisen die Festkörperaktoren Piezoelemente auf. Ein piezoelektrischer Aktor kann durch Anlegen einer Spannung praktisch unmittelbar eine Längenänderung ausführen und gleichzeitig hohe Kräfte erzeugen. Eine mit Piezoelementen aufgebaute Bewegungsvorrichtung kann auch unmittelbar elektrisch angesteuert werden. Auf mechanische Bauteile kann weitgehend verzichtet werden.Advantageous have the solid state factors Piezo elements on. A piezoelectric actuator can by applying a voltage almost immediately perform a change in length and at the same time high forces produce. A movement device constructed with piezoelectric elements can also be controlled directly electrically. On mechanical components can largely be dispensed with.

Vorteilhaft können die Festkörperaktoren mehrere Aktorelemente aufweisen, die in ihrer Hauptausdehnungsrichtung in Serie angeordnet sind. Werden Festkörperaktoren gestapelt, so addieren sich die einzelnen Längenänderungen. Somit kann die Ablenkvorrichtung über größere Strecken verschoben werden.Advantageous can the solid-state factors several Actuator elements which in their Hauptausdehnungsrichtung in Series are arranged. If solid state factors are stacked, add up the individual length changes. Thus, the deflection device can be moved over longer distances.

In weiter vorteilhafter Ausgestaltung sind die Festkörperaktoren vorgespannt, um die Reaktionsgeschwindigkeit der Vorrichtung weiter zu erhöhen.In a further advantageous embodiment, the Solid state actuators biased to further increase the reaction speed of the device.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand einer Zeichnung, die ein Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung schematisch zeigt, näher erläutert. Es zeigt:The Invention will be described below with reference to a drawing, which is an embodiment according to the invention schematically shows, closer explained. It shows:

1 eine dreidimensionale Ansicht einer Ausführungsform der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. 1 a three-dimensional view of an embodiment of the device according to the present invention.

1 zeigt eine Ablenkvorrichtung 20 für eine Laserquelle 10. Die Laserquelle 10 weist einen (nicht dargestellten) Laser auf. Der Laser 12 sendet einen Laserstrahl 14 aus, der von der Ablenkvorrichtung 20 auf einen einstellbaren Zielpunkt 16a, 16b, 16c hie abgelenkt wird. 1 shows a deflection device 20 for a laser source 10 , The laser source 10 has a laser (not shown). The laser 12 sends a laser beam 14 out, by the deflector 20 to an adjustable destination 16a . 16b . 16c this is distracted.

Die Ablenkvorrichtung 20 weist dazu eine Ablenklinse 22 und eine senkrecht zu der Ablenklinse 22 bewegliche Sammellinse 12 auf. Die Ablenklinse 22 hat einen gekrümmten Brechungsbereich 24 und einen im wesentlichen zylinderförmigen Befestigungsbereich 26, der sich an den Brechungsbereich 24 anschließt.The deflection device 20 points to a Ablenklinse 22 and one perpendicular to the Ablenklinse 22 movable condensing lens 12 on. The Ablenklinse 22 has a curved refraction area 24 and a substantially cylindrical attachment area 26 who is at the refraction area 24 followed.

Der Befestigungsbereich 26 ist mit einem Rahmen 28 verbunden. Der Rahmen 28 hat die Form eines die Ablenklinse 22 einschließenden Ringes.The attachment area 26 is with a frame 28 connected. The frame 28 has the shape of a the Ablenklinse 22 enclosing ring.

An dem Rahmen 28 greifen Festkörperaktoren 30 an. Die Festkörperaktoren 30 weisen jeweils zehn Piezoelemente 32 auf, die so zusammengesetzt sind, dass ihre Hauptausdehnungsrichtungen 34 im Wesentlichen zusammenfallen. Die Piezoelemente 32 stützen sich in der Hauptausdehnungsrichtung 34 aneinander ab, so dass sich die Ausdehnungen oder Schrumpfungen der Piezoelemente 32 addieren.At the frame 28 grab solid-state factors 30 at. The solid-state factors 30 each have ten piezo elements 32 which are composed so that their main directions of expansion 34 essentially coincide. The piezo elements 32 support in the main expansion direction 34 from one another, so that the expansions or shrinkages of the piezo elements 32 add.

Die Festkörperaktoren 30 sind an einander gegenüberliegenden Positionen auf der Außenfläche des Rahmens 28 angeordnet und an einem nicht gezeigten Gehäuse abgestützt.The solid-state factors 30 are at opposite positions on the outer surface of the frame 28 arranged and supported on a housing, not shown.

Die Ablenklinse 22 ist bei orthogonaler Sicht auf den Brechungsbereich 24 im wesentlichen kreisförmig. Trifft ein Lichtstrahl auf den Mittelpunkt dieses Kreises, so wird er bei Passieren der Ablenklinse 22 nicht abgelenkt. Sobald der Lichtstrahl jedoch abseits des Mittelpunktes auf die Ablenklinse 22 trifft, wird er abgelenkt. Somit ist, wenn der Lichtstrahl seine Position nicht verändert, seine Ablenkung durch eine Bewegung der Ablenklinse 22 zu erreichen. Im Ausführungsbeispiel wird ein von dem Laser erzeugter Laserstrahl 14 von der Ablenklinse 22 abgelenkt. Die Ablenklinse 22 wird dazu von den Festkörperaktoren 30 im wesentlichen orthogonal zu der Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls 14 verschoben.The Ablenklinse 22 is orthogonal to the refractive area 24 essentially circular. If a ray of light hits the center of this circle, it will pass through the Ablenklinse 22 not distracted. However, once the light beam away from the center on the Ablenklinse 22 meets, he gets distracted. Thus, if the light beam does not change its position, its deflection is by a movement of the deflection lens 22 to reach. In the embodiment, a laser beam generated by the laser 14 from the Ablenklinse 22 distracted. The Ablenklinse 22 becomes from the solid state factors 30 substantially orthogonal to the propagation direction of the laser beam 14 postponed.

Beispielsweise kann die Ablenklinse 22 den Laserstrahl 14 auf Zielpunkte 16a, 16b, 16c, die hier nur als Beispiele angegeben sind, fokussieren. Der Fokuspunkt der Ablenklinse 22 lässt sich rein durch Bewegung der Ablenklinse 22 innerhalb ihrer Haupterstreckungsebene verschieben. Anpassungen in der hierzu senkrechten Richtung sind über die Sammellinse 12 möglich.For example, the Ablenklinse 22 the laser beam 14 on target points 16a . 16b . 16c , which are given here only as examples, focus. The focal point of the Ablenklinse 22 can be pure by moving the Ablenklinse 22 within their main extension plane. Adjustments in the direction perpendicular thereto are about the convergent lens 12 possible.

Durch die Verschiebung einer geeigneten Ablenklinse 22 im Strahlengang eines Lasersystems mittels piezoelektrischer Aktoren kann die Wiederholgenauigkeit eines Laserscanners deutlich erhöht werden, wodurch sich neue Anwendungsgebiete ergeben. Wird die Linse beispielsweise durch Piezoaktoren in X-, Y-, oder Z-Richtung bewegt, dann kann der Fokuspunkt im Raum bewegt werden.By shifting a suitable Ablenklinse 22 In the beam path of a laser system by means of piezoelectric actuators, the repeatability of a laser scanner can be significantly increased, resulting in new applications. If the lens is moved in the X, Y or Z direction by piezo actuators, for example, then the focal point can be moved in space.

Das piezoelektrische Laserstrahlablenksystem erreicht gegenüber bekannten Systemen eine sehr hohe Präzision und Wiederholgenauigkeit sowie eine hohe Geschwindigkeit. Dadurch werden Schneidprozesse, die einen schichtweisen Werkstoffabtrag erfordern, ermöglicht.The piezoelectric laser beam deflection system achieved over known Systems a very high precision and repeat accuracy as well as a high speed. Thereby are cutting processes that produce a layered material removal require.

Das System ist relativ stabil gegenüber Temperaturschwankungen und der Laserstrahl 14 kann mit hoher Wiederholgenauigkeit mehrfach durch denselben Schnitt spalt (20–50 μm breit) geführt werden. Somit ist beispielsweise das berührungsfreie Schneiden von Kohlenstofffaserwerkstoffen möglich.The system is relatively stable to temperature fluctuations and the laser beam 14 can be repeatedly passed through the same cutting gap (20-50 μm wide) with high repeat accuracy. Thus, for example, the contact-free cutting of carbon fiber materials is possible.

Des Weiteren kann die Technik für Projektionszwecke benutzt werden. Unabhängig von äußeren Einflüssen (Beschleunigung, Vibration, Temperaturschwankung) kann ein stabiles Bild erzeugt werden.Of Further, the technique for Projection purposes are used. Regardless of external influences (acceleration, vibration, Temperature fluctuation), a stable image can be generated.

Die 1 zeigt schematisch den Aufbau eines piezoelektrischen Strahlablenksystems mit beweglicher Linse. Der nicht fokussierte Laserstrahl 14 wird auf die geeignet ausgebildete Ablenklinse 22 geführt. Die Ablenklinse 22 kann durch ein kreuzförmig aufgebautes System aus den piezoelektrischen Festkörperaktoren 30 in der zum Laserstrahl 14 orthogonal stehenden Ebene verschoben werden. Dadurch ergibt sich eine Verlagerung des Fokuspunktes, zum Beispiel auf die Positionen 16a, 16b, 16c.The 1 schematically shows the structure of a piezoelectric beam deflecting system with a movable lens. The unfocused laser beam 14 is on the suitably trained Ablenklinse 22 guided. The Ablenklinse 22 can by a cross-shaped system of the piezoelectric solid state actuators 30 in the to the laser beam 14 orthogonal plane to be moved. This results in a shift of the focal point, for example, on the positions 16a . 16b . 16c ,

Vorteilhaft gegenüber klassischen Strahlablenksystemen ist dabei, dass thermische Ausdehnungen des Aufbaus automatisch kompensiert werden und dass sich Positionsänderungen in direkter Abhängigkeit zu an den Piezoelementen 32 anliegenden Spannungen ergeben. Die Spannung von jeweils zwei auf einer Raumachse liegenden Piezoelemente 32 sollte dabei umgekehrt proportional sein und die Piezoelementen 32 sollten vorgespannt werden, um eine stabile Verschiebung zu erreichen. Die Piezoelemente 32 sind beispielsweise als scheibenförmige Piezoscheiben ausgebildet.An advantage over classical beam deflection systems is that thermal expansions of the structure are automatically compensated for and that position changes are directly dependent on the piezo elements 32 resulting voltages. The voltage of two each lying on a spatial axis piezo elements 32 should be inversely proportional and the piezo elements 32 should be biased to achieve a stable shift. The piezo elements 32 are for example as slices formed shaped piezoelectric disks.

Die erreichbare Verschiebungslänge kann durch die Anzahl der im Festkörperaktor 30 eingesetzten Piezoscheiben eingestellt werden. Bei Anlegen einer Spannung entstehen sehr große Kräfte, die die Ablenklinse 22 mit hoher Geschwindigkeit und Präzision auf die gewünschte Position verschieben. Ein Nachschwingen träger Massen wird damit weitestgehend vermieden. Dadurch, dass keine mecha nischen Bauteile notwendig sind, treten keine Toleranzfehler oder Verschleiß auf. Das Scannersystem ist weitgehend unabhängig von der Laserleistung und der Strahlquelle.The achievable displacement length can be determined by the number of solids in the actuator 30 set piezoelectric disks are set. When a voltage is applied, very large forces are created, which cause the Ablenklinse 22 move to the desired position with high speed and precision. A Nachschwingen carrier masses is thus largely avoided. The fact that no mecha African components are necessary, occur no tolerance errors or wear. The scanner system is largely independent of the laser power and the beam source.

Speziell durch die hohe Wiederholgenauigkeit kann ein solches System für schrittweisen Materialabtrag wie beim Fräsen eingesetzt werden. Der Laserstrahl 14 kann mit großer Präzision durch einen zuvor gebildeten Schnittspalt wiederholt durchgeführt werden.Especially due to the high repeat accuracy, such a system can be used for gradual material removal as in milling. The laser beam 14 can be repeatedly performed with great precision through a previously formed kerf.

Die hohe Strahlführungsgenauigkeit macht größere Arbeitsabstände möglich. Somit ist es auch möglich, mehrere Laser auf begrenztem Raum simultan arbeiten zu lassen.The high beam guidance accuracy makes larger working distances possible. Consequently it is also possible several lasers to work simultaneously in a limited space.

Die Ablenkvorrichtung 20 ist prinzipiell auch für Projektionssysteme einsetzbar. Da der Aufbau klein und beschleunigungsstabil ist, kann er beispielsweise in Fahrzeugen oder Flugzeugen eingesetzt werden.The deflection device 20 is in principle also applicable for projection systems. Since the structure is small and stable to accelerate, it can be used for example in vehicles or aircraft.

1010
Laserquellelaser source
1212
Sammellinseconverging lens
1414
Laserstrahllaser beam
16a, 16b, 16c16a, 16b, 16c
Zielpunkt (Fokuspunkt)Endpoint (Focal point)
2020
Ablenkvorrichtungdeflector
2222
Ablenklinsedeflection lens
2424
Brechungsbereichrefraction portion
2626
Befestigungsbereichfastening area
2828
Rahmenframe
3030
Festkörperaktorsolid-state actuator
3232
Piezoelementpiezo element
3434
HauptausdehnungsrichtungMain direction of extension

Claims (11)

Vorrichtung zur Lenkung von Lichtstrahlen, insbesondere Laserstrahlen (14), mit einer optischen Ablenkvorrichtung (20), die in einem Lichtweg der Lichtstrahlen angeordnet ist und die zur Lenkung der Lichtstrahlen mittels Festkörperaktoren (30) bewegbar ist.Device for directing light rays, in particular laser beams ( 14 ), with an optical deflection device ( 20 ), which is arranged in a light path of the light beams and which are used to direct the light beams by means of solid-state actuators ( 30 ) is movable. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die optische Ablenkvorrichtung eine optische Ablenklinse (22) aufweist.Device according to Claim 1, characterized in that the optical deflection device comprises an optical deflection lens ( 22 ) having. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Ablenklinse (22) mittels der Festkörperaktoren (30) bewegbar ist, um einen Fokuspunkt auf den die zu lenkenden Lichtstrahlen durch die Ablenklinse (22) fokusierbar sind, wählbar auf eine von mehreren gewünschten Postionen (16a, 16b, 16c), zu verlagern.Apparatus according to claim 2, characterized in that the Ablenklinse ( 22 ) by means of the solid state actuators ( 30 ) is movable to a focal point on the light beams to be guided through the Ablenklinse ( 22 ) are focusable, selectable on one of several desired positions ( 16a . 16b . 16c ), relocate. Vorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die optische Ablenkvorrichtung (20) einen Rahmen (28) aufweist, an dem die Festkörperaktoren angreifen.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the optical deflection device ( 20 ) a frame ( 28 ), to which the solid state actuators act. Vorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Festkörperaktoren (30) an einander gegenüberliegenden Punkten oder Bereichen der Ablenkvorrichtung (20) angeordnet sind.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the solid state actuators ( 30 ) at opposite points or areas of the deflection device ( 20 ) are arranged. Vorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Festkörperaktoren (30) kreuzförmig angeordnet sind.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the solid state actuators ( 30 ) are arranged in a cross shape. Vorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Festkörperaktoren (30) zur Bewegung der Ablenkvorrichtung (20) in einer Richtung angeordnet sind, die im Wesentlichen quer zu der Richtung der Lichtstrahlen (14) verläuft.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the solid state actuators ( 30 ) for moving the deflection device ( 20 ) are arranged in a direction substantially transverse to the direction of the light rays ( 14 ) runs. Vorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Festkörperaktoren (30) zur Bewegung der Ablenkvorrichtung (22) in einer Richtung angeordnet sind, die im Wesentlichen parallel zu der Richtung der Lichtstrahlen (14) verläuft.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the solid state actuators ( 30 ) for moving the deflection device ( 22 ) are arranged in a direction substantially parallel to the direction of the light rays ( 14 ) runs. Vorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Festkörperaktoren (30) Piezoelemente (32) aufweisen.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the solid state actuators ( 30 ) Piezo elements ( 32 ) exhibit. Vorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Festkörperaktoren (30) mehrere Aktorelemente aufweisen, die in ihrer Hauptausdehnungsrichtung in Serie angeordnet sind.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the solid state actuators ( 30 ) have a plurality of actuator elements which are arranged in series in their Hauptausdehnungsrichtung. Vorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Festkörperaktoren (30) vorgespannt sind.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the solid state actuators ( 30 ) are biased.
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