DE102008005973A1 - Sensor i.e. oxide ceramic sensor, producing device for measuring probe utilized for measuring concentration of e.g. flue gas in combustion plant, has ceramic insulator whose peripheral wall is soldered to metallic casing - Google Patents

Sensor i.e. oxide ceramic sensor, producing device for measuring probe utilized for measuring concentration of e.g. flue gas in combustion plant, has ceramic insulator whose peripheral wall is soldered to metallic casing Download PDF

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Abstract

The device has an electrical conductor (5) surrounded by a casing (12) made of metal such as steel. A ceramic insulator (6) is arranged between the conductor and the metallic casing, where a peripheral wall of the insulator is soldered to the metallic casing using gold-solder or reducing-agent free solder. A metal layer i.e. platinum layer, is formed in a peripheral wall of the insulator and consists of burned metal paste. The insulator consists of oxide ceramic i.e. aluminum oxide. The electrical conductor is sintered into the ceramic forming the insulator and consists of platinum. An independent claim is also included for a method for producing a sensor producing device.

Description

Technisches GebietTechnical area

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit mindestens einem elektrischen Leiter, der von einer Hülse aus Metall umgeben ist, wobei ein keramischer Isolator zwischen dem Leiter und der Metallhülse angeordnet ist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung einer derartigen Vorrichtung.The The invention relates to a device with at least one electrical Ladder, which is surrounded by a sleeve of metal, wherein a ceramic insulator between the conductor and the metal sleeve is arranged. The invention further relates to a method for Production of such a device.

Der Gegenstand der Erfindung ist insbesondere auf eine Messsonde mit einem Sensor gerichtet, wobei der Sensor über elektrische Leiter mit mindestens einem Anschlussdraht verbunden ist, der zu einer Auswerteelektronik führt. Derartige Messsonden können beispielsweise als Sonden zur Messung der Konzentration von Gaskomponenten (z. B. Sauerstoff) mit einem Oxidkeramik-Sensor versehen sein. Der Sensor ist in der Regel über mehrere Anschlussdrähte mit einer Mess- und Auswerteelektronik verbunden. Da sich der Sensor zum Beispiel bei Messungen in Rauchgasen von Verbrennungsanlagen in einer korrosiven und feuchten Umgebung mit hohen Temperaturen befindet, muss die Anordnung des Sensors im Sondenrohr mechanisch hochfest, gasdicht und thermisch hoch belastbar sein.Of the The invention relates in particular to a measuring probe directed to a sensor, wherein the sensor via electrical Conductor is connected to at least one connecting wire, the to an evaluation leads. Such probes can for example, as probes for measuring the concentration of gas components (eg, oxygen) may be provided with an oxide ceramic sensor. Of the Sensor is usually over several connecting wires connected to a measuring and evaluation. Because the sensor for example, in measurements in flue gases from incinerators in a corrosive and humid environment with high temperatures is located, the arrangement of the sensor in the probe tube must be mechanical high-strength, gas-tight and thermally highly resilient.

Stand der TechnikState of the art

Eine Messsonde mit der genannten Vorrichtung mit vier elektrischen Leitern ist beispielsweise in der deutschen Patentanmeldung DE 10 2004 010 593 A1 der Anmelderin beschrieben. Hier sind an einem Sensor Platinstifte angeordnet, die über ein Verbindungsmetall (Gold) mit den aus dem Sondenrohr herausführenden Anschlussdrähten aus Kupfer verschweißt werden. Die an dem Sensor befestigten Leiterstifte erstrecken sich frei, d. h. innerhalb der Gasatmosphäre im Sondenrohr. Die Anschlussdrähte sind bei dieser Anordnung mittels einer Vergussmasse, bestehend aus einer aushärtbaren Keramikmasse, innerhalb der metallischen Hülse fixiert.A measuring probe with said device with four electrical conductors is for example in the German patent application DE 10 2004 010 593 A1 the applicant described. Here, platinum pins are arranged on a sensor, which are welded via a connecting metal (gold) with the leading out of the probe tube connecting wires made of copper. The conductor pins attached to the sensor extend freely, ie within the gas atmosphere in the probe tube. The connecting wires are fixed in this arrangement by means of a potting compound consisting of a curable ceramic material within the metallic sleeve.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung mit einem oder mehreren elektrischen Leitern innerhalb einer Metallhülse zu schaffen, welche sehr hohen Temperaturen dauerhaft standhalten kann. Ferner kann die Erfindung die Aufgabe lösen, eine Anordnung des Leiters innerhalb der Metallhülse zu ermöglichen, wobei der den Leiter umgebende Raum innerhalb der Hülse durch den Isolator dauerhaft abgedichtet ist.task The invention is a device with one or more electrical Ladders within a metal sleeve to create which can withstand very high temperatures permanently. Furthermore, can the invention solve the problem, an arrangement of the conductor allowing inside the metal sleeve, taking the space surrounding the conductor inside the sleeve the insulator is permanently sealed.

Bei der Vorrichtung wird die Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass der Isolator mit der Metallhülse verlötet ist.at The device is the task according to the invention thereby solved that the insulator with the metal sleeve is soldered.

Anders als die Verwendung einer aushärtbaren Keramikmasse ermöglicht das Verlöten des Isolators mit der Metallhülse eine sehr viel festere Isolatorstruktur. Der Isolator kann beispielsweise unmittelbar um den oder die elektrischen Leiter der Vorrichtung herum gesintert werden. Es entsteht hierbei eine mechanisch und thermisch widerstandsfähige Struktur, die allerdings noch nicht mit der umgebenden Metallhülse verbunden ist. Die Verwendung eines geeigneten Lots ermöglicht es, den Isolator absolut gasdicht in der Metallhülse zu befestigen. Das Umsintern der Leiter ist ebenfalls gasdicht, so dass der gesamte Ringraum, der die Leiter umgibt, vollständig abgedichtet ist.Different as the use of a curable ceramic material allows soldering the insulator to the metal sleeve a much firmer insulator structure. The insulator can, for example immediately around the one or more electrical conductors of the device be sintered around. This creates a mechanical and thermally resistant structure, which, however, still not connected to the surrounding metal sleeve. The Using a suitable solder allows the insulator absolutely gas-tight in the metal sleeve to attach. The Sintering the conductor is also gas-tight, so that the entire annulus, which surrounds the conductors is completely sealed.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Umfangswand des Isolators mit einer Metallschicht, insbesondere einer Schicht aus Edelmetall wie Platin, versehen. Die Metallschicht kann vorzugsweise durch Einbrennen einer Metallpaste, z. B. einer Platinpaste, aufgebracht wird. Die Edelmetallschicht ermöglicht die Verwendung eines passiven Lots, z. B. aus Gold, zum Eintöten des Isolators in die Metallhülse. Ein passives Goldlot ist ein Goldlot ohne Reduktionsmittel. Insbesondere, wenn der Isolator aus einer Oxidkeramik besteht, würden Reduktionsmittel in dem Lot die Keramik angreifen und die reinen Metalle durch Reduktion herausbilden. Ein reduktionsmittelfreies Lot greift die Struktur der Oxidkeramik nicht an. Allerdings geht ein reduktionsmittelfreies Lot, insbesondere ein Goldlot, mit der Oberfläche der Oxidkeramik des Isolators auch keine innige Bindung ein. Aus diesem Grund wird diese Oberfläche vor dem Verlöten metallisiert und vorzugsweise mit Platin beschichtet. Die Metallschicht geht mit dem Goldlot eine absolut gasdichte und mechanisch wie thermisch belastbare Bindung ein.at a preferred embodiment of the invention is the Peripheral wall of the insulator with a metal layer, in particular a layer of precious metal such as platinum, provided. The metal layer can preferably by burning a metal paste, for. B. a platinum paste, is applied. The precious metal layer allows the Using a passive solder, e.g. B. of gold, for killing of the insulator into the metal sleeve. A passive gold solder is a gold solder without reducing agent. In particular, if the insulator made of an oxide ceramic, reducing agents would in the solder attack the ceramics and the pure metals by reduction emerge. A reducing agent-free solder attacks the structure of Oxide ceramics not on. However, a reduction agent-free goes Lot, in particular a gold solder, with the surface of the oxide ceramic the insulator also no intimate bond. That's why metallized this surface before soldering and preferably coated with platinum. The metal layer goes with the gold solder an absolutely gas-tight and mechanically as well as thermally strong bond.

Der Isolator kann insbesondere aus einer Oxidkeramik wie Al2O3 bestehenThe insulator may in particular consist of an oxide ceramic such as Al 2 O 3

Wie eingangs erwähnt, kann der elektrische Leiter vorzugsweise aus Platin bestehen. Die Hülse kann aus jedem Metall bestehen, welches sich mit dem verwendeten Lot verlöten lässt. Insbesondere angesichts der Tatsache, dass die Hülse bei der weiteren Verarbeitung innerhalb eines Sondenrohrs angeordnet werden soll, welches in der Regel aus Edelstahl besteht, kann die Hülse vorzugsweise ebenfalls aus Edelstahl gefertigt werden. Die Hülse kann dann in das Sondenrohr eingeschweißt werden, so dass auch hier eine hochfeste Verbindung entsteht.As mentioned in the beginning, the electrical conductor may preferably made of platinum. The sleeve can be made of any metal, which can be soldered to the solder used. In particular, given the fact that the sleeve at for further processing within a probe tube which is usually made of stainless steel, can Sleeve preferably also be made of stainless steel. The sleeve can then be welded into the probe tube so that here too a high-strength connection is created.

Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung mit mindestens einem elektrischen Leiter, der von einer Hülse aus Metall umgeben wird und der in einen zwischen dem Leiter und der Metallhülse angeordneten keramischen Isolator eingebettet wird.The The invention further relates to a method for producing a device with at least one electrical conductor coming from a sleeve is surrounded by metal and the one in between the conductor and embedded in the metal sleeve arranged ceramic insulator becomes.

Zur Lösung der erfindungsgemäßen Aufgabe wird der Isolator mit der Metallhülse verlötet.to Solution of the problem of the invention the insulator is soldered to the metal sleeve.

Dabei kann wiederum vorzugsweise die Umfangswand des Isolators vor dem Verlöten mit einer Metallschicht, z. B. aus Platin versehen werden, welche durch Einbrennen einer Metallpaste hergestellt werden kann. Beim Verlöten wird vorzugsweise ein reduktionsmittelfreies (passives) Lot, z. B. aus Gold, verwendet. Der elektrische Leiter kann durch Einsintern in die den Isolator bildenden Keramik eingebettet werden. Die Hülse kann gasdicht in ein Rohr eingeschweißt werden.there again preferably the peripheral wall of the insulator before the Solder with a metal layer, z. B. made of platinum which are produced by burning a metal paste can. When soldering is preferably a reducing agent-free (passive) solder, z. B. of gold used. The electrical conductor can be embedded by sintering in the ceramic forming the insulator. The sleeve can be welded gastight into a tube become.

Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings

Ausführungsformen der Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. Die Zeichnungen zeigen in:embodiments The invention will be described below with reference to the accompanying drawings described. The drawings show in:

1 eine Stirnansicht und 1 an end view and

2 eine entlang der Schnittlinie II-II geschnittene Seitenansicht einer Messsonde mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, 2 a section along the section line II-II side view of a measuring probe with a device according to the invention,

3 eine vergrößerte Darstellung der Platinleiter innerhalb der Messsonde aus 2 im Längsschnitt und 3 an enlarged view of the platinum conductors within the probe from 2 in longitudinal section and

4 eine vergrößerte schaubildliche Darstellung der elektrischen Leiter mit Isolator aus den vorangehenden Figuren. 4 an enlarged perspective view of the electrical conductor with insulator from the preceding figures.

Die in den 1–3 dargestellte Messsonde 1 weist ein Schutzgehäuse 2 auf, welche nahe seinem stirnseitigen Ende an seiner zylindrischen Umfangswand mit Öffnungen 3 für den Durchtritt von Gasen versehen ist. Innerhalb des Schutzgehäuses 2 ist ein Sensor 4 angeordnet. Der Sensor 4 ist über elektrische Leiter 5 mit einer von der Messsonde 1 entfernten Auswerteelektronik (nicht dargestellt) verbunden. Der Sensor 4 kann im vorliegenden Fall ein Oxidkeramik-Sensor sein, der über vier elektrische Leiter 5 angeschlossen ist.The in the 1 - 3 illustrated measuring probe 1 has a protective housing 2 on, which near its front end on its cylindrical peripheral wall with openings 3 provided for the passage of gases. Inside the protective housing 2 is a sensor 4 arranged. The sensor 4 is via electrical conductors 5 with one of the probe 1 remote evaluation (not shown) connected. The sensor 4 may in the present case be an oxide ceramic sensor, which has four electrical conductors 5 connected.

Die elektrischen Leiter 5 sind im vorliegenden Fall Platinstifte. Sie durchragen einen Isolator 6 und werden hinter dem Isolator 6 über ein Verbindungsmetall 7 mit Anschlussdrähten 8 verbunden. Die Anschlussdrähte 8 bestehen in dem vorliegenden praktischen Ausführungsbeispiel aus Kupfer. Sie erstrecken sich innerhalb eines Sondenrohrs 9, welches die Anordnung schützt und beispielsweise 0,1–5 m lang sein kann. Innerhalb des Sondenrohrs 9 sind die Anschlussdrähte 8 mit einer aushärtenden, mineralischen Isolierung umgossen.The electrical conductors 5 in the present case are platinum pins. They protrude through an insulator 6 and be behind the insulator 6 via a connecting metal 7 with connecting wires 8th connected. The connecting wires 8th consist of copper in the present practical embodiment. They extend within a probe tube 9 which protects the assembly and may for example be 0.1-5 m long. Inside the probe tube 9 are the connecting wires 8th encapsulated with a hardening, mineral insulation.

Das Verbindungsmetall 7 zwischen den Kupferdrähten 8 und den Platinstiften, welche die elektrischen Leiter 5 bilden, ist vorzugsweise Gold.The connection metal 7 between the copper wires 8th and the platinum pins, which are the electrical conductors 5 is preferably gold.

Insbesondere die 3 und 4 zeigen Einzelheiten der erfindungsgemäßen Anordnung der elektrischen Leiter 5 innerhalb einer metallischen Hülse 12. Diese erfindungsgemäße Anordnung schafft eine hochtemperaturbeständige, gasdichte und korrosionsbeständige elektrische Leitung mit einem oder mehreren zueinander isolierten Leitern 5 innerhalb der Metallhülse 12.especially the 3 and 4 show details of the inventive arrangement of the electrical conductors 5 inside a metallic sleeve 12 , This arrangement according to the invention provides a high-temperature resistant, gas-tight and corrosion-resistant electrical line with one or more insulated conductors 5 inside the metal sleeve 12 ,

Die vier elektrischen Leiter 5 sind in dem Isolator 6 aus einer Oxidkeramik, z. B. Al2O3, eingesintert. Dabei entsteht das in 4 erkennbare stabile und temperaturfeste Gebilde. Die zylindrische Umfangswand 11 des Isolators 6 ist mit einem Metall beschichtet. In der beschriebenen praktischen Ausführungsform wird eine Platinpaste auf die Umfangswand 11 aufgebracht und eingebrannt.The four electrical conductors 5 are in the insulator 6 from an oxide ceramic, z. B. Al 2 O 3 , sintered. This creates the in 4 recognizable stable and temperature-resistant structures. The cylindrical peripheral wall 11 of the insulator 6 is coated with a metal. In the described practical embodiment, a platinum paste is applied to the peripheral wall 11 applied and baked.

Nach dem Aufbringen der Platinschicht auf die Umfangswand 11 des Isolators 6 wird dieser in eine Metallhülse 12 (siehe 3) eingefügt. Die Metallhülse 12 besteht bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel aus Edelstahl. Mittels eines reduktionsmittelfreien Goldlots 13 werden die metallisierte Umfangswand 11 des Isolators 6 und die zylindrische Innenwand der Metallhülse 12 miteinander verlötet. Das Lot 13 füllt den Spalt zwischen der Umfangswand 11 des Isolators 6 und der zylindrischen Innenwand der Metallhülse 12 im wesentlichen vollständig aus. Das Löten erfolgt unter einem Schutzgas. Die Metallisierung, welche den Isolator 6 umgibt, sowie die Verlötung sind gasdicht. Die hierbei entstehende Lötverbindung ist thermisch und mechanisch belastbar.After applying the platinum layer on the peripheral wall 11 of the insulator 6 this is in a metal sleeve 12 (please refer 3 ). The metal sleeve 12 consists in the illustrated embodiment of stainless steel. By means of a reducing agent-free gold solder 13 become the metallized peripheral wall 11 of the insulator 6 and the cylindrical inner wall of the metal shell 12 soldered together. The lot 13 fills the gap between the peripheral wall 11 of the insulator 6 and the cylindrical inner wall of the metal shell 12 essentially completely off. The soldering takes place under a protective gas. The metallization, which is the insulator 6 surrounds, as well as the soldering are gas-tight. The resulting solder joint is thermally and mechanically resilient.

Die Edelstahlhülse 12 wird nach dem Einlöten des Isolators 6 über einen Teil ihrer Länge in das Sondenrohr 9 eingesetzt und hier befestigt. Ein zweiter, vorderer Abschnitt der Edelstahlhülse 12 wird in das zylindrische Schutzgehäuse 2 für den Sensor 4 eingeschoben. Das Schutzgehäuse 2 und das Sondenrohr 9 bestehen vorzugsweise ebenfalls aus Edelstahl. Die Hülse 12, das Schutzgehäuse 2 und das Sondenrohr 9 können in den Kontaktbereichen miteinander verschweißt werden.The stainless steel sleeve 12 is after soldering the insulator 6 over part of its length into the probe tube 9 used and attached here. A second, front section of stainless steel sleeve 12 gets into the cylindrical protective housing 2 for the sensor 4 inserted. The protective housing 2 and the probe tube 9 are preferably also made of stainless steel. The sleeve 12 , the protective housing 2 and the probe tube 9 can be welded together in the contact areas.

Es ist zu beachten, dass die Hülse 12 und der Isolator 6 nicht notwendigerweise einen runden Querschnitt aufweisen müssen. Der Querschnitt kann z. B. auch oval, quadratisch oder rechteckig sein oder eine beliebige andere Form aufweisen. Die Herstellung des in den 1–3 dargestellten Sensors ist ein bevorzugter Anwendungsfall der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einem isolierten Leiter innerhalb einer metallischen Hülse. Die Anwendung der Erfindung ist aber nicht auf diesen Anwendungsfall beschränkt.It should be noted that the sleeve 12 and the insulator 6 do not necessarily have to have a round cross-section. The cross section can z. B. also oval, square or rectangular or have any other shape. The production of the in the 1 - 3 The sensor shown is a preferred application of the device according to the invention with an insulated conductor within a metallic sleeve. However, the application of the invention is not limited to this application.

11
Messsondeprobe
22
Schutzgehäusehousing
33
Öffnungopening
44
Sensorsensor
55
elektrischer Leiterelectrical ladder
66
Isolatorinsulator
77
Verbindungsmetallinterconnect metal
88th
AnschlussdrahtLead wire
99
Sondenrohrprobe tube
1010
mineralische Isolierungmineral insulation
1111
metallbeschichtete Umfangswandmetal coated peripheral wall
1212
Metallhülse, EdelstahlhülseMetal sleeve, stainless steel sleeve
1313
reduktionsmittelfreies Lotreducing agent free solder

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

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Claims (19)

Vorrichtung mit mindestens einem elektrischen Leiter (5), der von einer Hülse (12) aus Metall umgeben ist, wobei ein keramischer Isolator (6) zwischen dem Leiter (5) und der Metallhülse (12) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Isolator (5) mit der Metallhülse (12) verlötet ist.Device with at least one electrical conductor ( 5 ), of a sleeve ( 12 ) is surrounded by metal, wherein a ceramic insulator ( 6 ) between the conductor ( 5 ) and the metal sleeve ( 12 ), characterized in that the insulator ( 5 ) with the metal sleeve ( 12 ) is soldered. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Umfangswand des Isolators (6) mit einer Metallschicht, insbesondere einer Platinschicht, versehen ist.Device according to claim 1, characterized in that the peripheral wall of the insulator ( 6 ) is provided with a metal layer, in particular a platinum layer. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallschicht aus einer eingebrannten Metallpaste besteht.Device according to claim 2, characterized in that that the metal layer consists of a burned-in metal paste. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Umfangswand des Isolators (12) mittels eines Goldlots mit der Metallhülse (12) verlötet ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the peripheral wall of the insulator ( 12 ) by means of a gold solder with the metal sleeve ( 12 ) is soldered. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Umfangswand des Isolators (12) mittels eines reduktionsmittelfreien Lots mit der Metallhülse (12) verlötet ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the peripheral wall of the insulator ( 12 ) by means of a solvent-free solder with the metal sleeve ( 12 ) is soldered. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine elektrische Leiter (5) in die den Isolator (6) bildende Keramik eingesintert ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one electrical conductor ( 5 ) into the insulator ( 6 ) ceramic is sintered. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Isolator (6) aus einer Oxidkeramik, insbesondere aus Al2O3 besteht.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the insulator ( 6 ) consists of an oxide ceramic, in particular Al 2 O 3 . Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der elektrische Leiter (5) aus Platin besteht.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the electrical conductor ( 5 ) consists of platinum. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Ende des elektrischen Leiters (5) mit einem Sensor (4), insbesondere einem Oxidkeramik-Sensor, verbunden ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that one end of the electrical conductor ( 5 ) with a sensor ( 4 ), in particular an oxide ceramic sensor. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Hülse (12) aus Stahl besteht.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the sleeve ( 12 ) consists of steel. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Hülse (12) gasdicht in ein Rohr (9) eingefügt ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the sleeve ( 12 ) gas-tight in a tube ( 9 ) is inserted. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Hülse (12) in das Rohr (9) eingeschweißt ist.Device according to claim 11, characterized in that the sleeve ( 12 ) in the pipe ( 9 ) is welded. Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung mit mindestens einem elektrischen Leiter (5), der von einer Hülse (12) aus Metall umgeben wird und der in einen zwischen dem Leiter (5) und der Metallhülse (12) angeordneten keramischen Isolator (6) eingebettet wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Isolator (6) mit der Metallhülse (12) verlötet wird.Method for producing a device with at least one electrical conductor ( 5 ), of a sleeve ( 12 ) is surrounded by metal and in one between the conductor ( 5 ) and the metal sleeve ( 12 ) arranged ceramic insulator ( 6 ), characterized in that the insulator ( 6 ) with the metal sleeve ( 12 ) is soldered. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Umfangswand des Isolators (6) vor dem Verlöten mit einer Metallschicht versehen wird.Method according to claim 13, characterized in that the peripheral wall of the insulator ( 6 ) is provided with a metal layer before soldering. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallschicht durch Auftragen und Einbrennen einer Metallpaste hergestellt wird.Method according to claim 14, characterized in that that the metal layer by applying and baking a metal paste will be produced. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche 13–15, dadurch gekennzeichnet, dass die Umfangswand des Isolators (6) mittels eines Goldlots mit der Metallhülse (12) verlötet wird.Method according to one of the preceding claims 13-15, characterized in that the peripheral wall of the insulator ( 6 ) by means of a gold solder with the metal sleeve ( 12 ) is soldered. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche 13–16, dadurch gekennzeichnet, dass die Umfangswand des Isolators (6) mittels eines reduktionsmittelfreien Lots mit der Metallhülse (12) verlötet wird.Method according to one of the preceding claims 13-16, characterized in that the peripheral wall of the insulator ( 6 ) by means of a solvent-free solder with the metal sleeve ( 12 ) is soldered. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche 13–17, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine elektrische Leiter (5) in die den Isolator (6) bildende Keramik eingesintert wird.Method according to one of the preceding claims 13-17, characterized in that the at least one electrical conductor ( 5 ) into the insulator ( 6 ) ceramic is sintered. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche 13–18, dadurch gekennzeichnet, dass die Hülse (12) gasdicht in ein Rohr (9) eingefügt, insbesondere eingeschweißt wird.Method according to one of the preceding claims 13-18, characterized in that the sleeve ( 12 ) gas-tight in a tube ( 9 ) is inserted, in particular welded.
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