DE102008005248A1 - Verfahren zum Bereitstellen einer Messsonde für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe in einem Sondenmikroskop und Anordnung mit einem Sondenmikroskop - Google Patents

Verfahren zum Bereitstellen einer Messsonde für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe in einem Sondenmikroskop und Anordnung mit einem Sondenmikroskop Download PDF

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bereitstellen einer Messsonde (1, 1a, 2) für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe in einem Sondenmikroskop, insbesondere einem Rastersondenmikroskop, bei dem die Messsonde (1), welche eine Sondenbasis (1a) und eine hieran gebildete Sondenverlängerung (2) aufweist, an einer Trageeinrichtung gehalten wird und die Messsonde (1) vor oder nach einer Messung bearbeitet wird, indem ein Abschnitt der Sondenverlängerung (2) abgetrennt wird. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Anordnung mit einem Sondenmikroskop zum sondenmikroskopischen Untersuchen einer Probe, insbesondere Rastersondenmikroskop.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Bereitstellen einer Messsonde für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe in einem Sondenmikroskop, insbesondere einem Rastersondenmikroskop, sowie eine Anordnung mit einem Sondenmikroskop zum sondenmikroskopischen Untersuchen einer Probe.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Eine Mess- und Analysetechnik der Sondenmikroskopie ist die Rastersondenmikroskopie (SPM – „scanning probe microscopy"), bei der eine Messsonde über eine Probe eines zu untersuchenden Messmediums gerastert wird und über eine abstandsabhängige Wechselwirkung zwischen der Messsonde und der Probe eine Topographie der Probe ermittelt wird. Es können auch Materialkonstanten oder andere Probeninformationen gewonnen werden. Prominente Vertreter dieser Technik sind das Rasterkraftmikroskop (AFM – „atomic force microscope") und das Rastertunnelmikroskop (STM – „scanning tunneling microscope"). Weitere Vertreter sind insbesondere das Rasternahfeldmikroskop (SNOM – „scanning near field microscope") und das Rasterphotonenmikroskop (SPhM – „scanning photone force microscope").
  • Zum Messen der abstandsabhängigen Wechselwirkung zwischen Messsonde und Probe wird bei der Abstandsspektroskopie die Messsonde relativ zur Oberfläche der Probe verlagert, beispielsweise in einer zur Probenoberfläche vertikalen Richtung, und die Wechselwirkung zwischen Messsonde und Probe wird gemessen. Alternativ kann auch die Probe bewegt werden. Es kann auch eine Relativbewegung zwischen Messsonde und Probe vorgesehen sein, bei der sowohl die Messsonde als auch die Probe bewegt werden. Bei der Rastersondenmikroskopie wird diese Abstandsspektroskopie zum Messen der Wechselwirkung zwischen Messsonde und Probe beispielsweise dazu genutzt, Kräfte zwischen Molekülen zu messen, indem ein Molekül an die Messsonde bindet und ein weiteres Molekül an die Probe. Dies wird auch als Kraftspektroskopie bezeichnet.
  • Als Messsonde wird üblicherweise ein Bauteil verwendet, bei dem ein Basisteil – auch Chip genannt – und eine dünne Messsondenverlängerung, die auch als Cantilever bezeichnet wird, gebildet sind. Der Cantilever kann zum Beispiel balkenförmig ausgeführt sein oder ein Dreieck mit zwei Seitenschenkeln bilden. Das vom Basisteil (Chip) entfernte Ende des Cantilevers kann eine zusätzliche Spitze (Tip) aufweisen. Weiterhin gibt es auch Ausführungen mit mehreren Verlängerungen am Basisteil – so genannte Multicantilever. Cantilever können nicht nur hauptsächlich aus Silizium oder Siliziumnitrid mit und ohne Metallisierung bestehen, sondern auch aus Kunststoffen oder Polymeren wie zum Beispiel SU-8. Im allgemeinen Sprachgebrauch wird verbreitet nicht zwischen Chip und Cantilever unterschieden, sondern die gesamte Einheit als Cantilever zu bezeichnen. Ohne Einschränkung der Allgemeinheit wird in den nachfolgenden Erläuterungen auf eine Messsonde Bezug genommen. Die Ausführungen gelten entsprechend für andere Formen von Messsonden in der Sondenmikroskopie.
  • Es ist für die Abstandsspektroskopie bekannt, sowohl unbehandelte als auch vorbehandelte Cantilever zu verwenden. Mit einem vorbehandelten Cantilever können insbesondere spezifische Bindungen untersucht werden. Es ist Standard, Moleküle an die als Cantilever ausgeführte Messsonde zu binden, welche dann mit dem oder den gebundenen Molekül(en) beispielsweise ein Rezeptor-Ligand-System bilden. Es ist auch bekannt, ganze Zellen oder Mikropartikel an eine als Cantilever gebildete Messsonde zu binden und dieses System in Wechselwirkung mit einer Probe, beispielsweise einem Biomaterial, oder mit anderen Zellen zu bringen. Sowohl die Beschichtung eines vorbehandelten Cantilevers als auch die daran haftenden Objekte wie Zellen oder Mikropartikel werden im Folgenden als Sondensubstanz bezeichnet.
  • Bei der sondenmikroskopischen Untersuchung kann sich aufgrund des Kontaktes mit der Probe die Sondensubstanz verändern und unter Umständen altern. Dies kann sowohl die Beschichtung selbst betreffen als auch den Zustand der Zellen, zum Beispiel bezüglich Stoffwechsel, Physiologie und Aktivierung. Darüber hinaus wird es im Rahmen des weiteren Einsatzes der Sondenmikroskopie in der zellbiologischen und biomedizinischen Forschung wichtig werden, die Sondensubstanz, die im Kontakt mit der Probe war, weiter zu untersuchen. Besonders vorteilhaft ist es bei der Handhabung von biologischen Proben, wenn diese keimfrei beziehungsweise keimarm (steril) und schonend weiterverwendet werden könnten. Gegenwärtig muss der Cantilever nach der Messung ausgebaut werden. Dafür muss das System aus dem Probenbehältnis mit der umgebenden Flüssigkeit genommen werden. Diese Vorgehensweise birgt insbesondere die Gefahr, dass 1) die angehefteten Objekte durch die Oberflächenspannungen abgerissen werden, 2) es beim Ausbau des Cantilevers zu Verunreinigungen kommt und 3) eine Schädigung der Objekte durch einen erhöhten Zeitaufwand eintritt.
  • Aus dem Stand der Technik ist bekannt, wie lebende Zellen als Messsonde an einen einzelnen Cantilever gebracht werden können (vgl. zum Beispiel Taubenberger A. et al.: Revealing early steps of α2β1 integrin-mediated adhesions to collagen type I using single-cell force spectroscopy, Molecular Biology of the Cell (2007) 18, 1634–1644). Hierbei wird ein Cantilever zum Beispiel biochemisch so mit Concavalin A modifiziert, dass eine starke Bindung der Zelle an dessen Oberfläche erfolgt, nachdem der Cantilever direkt an die Zelle gebracht wurde und eine Kontaktzeit abgewartet wurde. Dann ist die Zelle fest gebunden. Es bedarf sehr großer Kräfte (typischerweise > 5nN), um diese Zelle wieder abzubekommen. Weiterhin ist auch die Oberfläche nach der Zellablösung so verändert, dass keine weitere Zelle neu angekoppelt werden kann.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zum Bereitstellen einer Messsonde für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe in einem Sondenmikroskop sowie eine Anordnung mit einem Sondenmikroskop zu schaffen, die einen nutzerfreundlichen und effizienteren Umgang mit der Messsonde ermöglichen.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren zum Bereitstellen einer Messsonde für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe in einem Sondenmikroskop nach dem unabhängigen Anspruch 1 sowie eine Anordnung mit einem Sondenmikroskop zum sondenmikroskopischen Untersuchen nach dem unabhängigen Anspruch 14 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand von abhängigen Unteransprüchen.
  • Die Erfindung umfasst den Gedanken eines Verfahrens zum Bereitstellen einer Messsonde für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe in einem Sondenmikroskop, insbesondere einem Rastersondenmikroskop, bei dem die Messsonde, welche eine Sondenbasis und eine hieran gebildete Sondenverlängerung aufweist, an einer Trageeinrichtung gehalten wird und die Messsonde vor oder nach einer Messung bearbeitet wird, indem ein Abschnitt der Sondenverlängerung abgetrennt wird.
  • Nach einem weiteren Aspekt der Erfindung ist eine Anordnung mit einem Sondenmikroskop zum sondenmikroskopischen Untersuchen einer Probe, insbesondere Rastersondenmikroskop, geschaffen, bei dem eine Messsonde, welche eine Sondenbasis und eine hieran gebildete Sondenverlängerung aufweist, an einer Trageeinrichtung gehalten ist, und einer Trenneinrichtung vorgesehen, welche konfiguriert ist, die Messsonde vor oder nach einer Messung zu bearbeiten, indem ein Abschnitt der Sondenverlängerung abgetrennt wird.
  • Mit Hilfe der Erfindung ist es ermöglicht, Abschnitte der Sondenverlängerung der Messsonde vor oder nach einer sondenmikroskopischen Untersuchung abzutrennen. Auf diese Weise kann beispielsweise ein verbrauchter Abschnitt der Sondenverlängerung von der Messsonde abgetrennt werden, so dass diese anschließend erneut für eine sondenmikroskopische Untersuchung benutzt werden kann. Es ist aber auch ermöglicht, dass von der Messsonde ein Abschnitt abgetrennt wird, welcher später für eine weitere Untersuchung genutzt werden soll. Das Abtrennen des Abschnitts der Sondenverlängerung kann auch dazu führen, dass ein Teil der Sondenbasis mit abgetrennt wird. In einer anderen Ausgestaltung betrifft das Abtrennen eines Abschnitts der Sondenverlängerung das teilweise oder vollständige Abtragen einer Beschichtung.
  • Vorteilhaft lässt sich die Erfindung in Verbindung mit einer als Cantilever ausgeführten Messsonde anwenden. Nicht nur bei Cantilevern sondern bei beliebigen Messsonden kann das Abtrennen eines Abschnitts der Sondenverlängerung mehrmals ausgeführt werden, zum Beispiel nach oder vor mehreren Teilmessungen. Ist eine weitere Verwendung der Messsonde nach dem Abtrennen des Abschnitts der Sondenverlängerung geplant, so wird das Abtrennen für die Messsonde funktionserhaltend ausgeführt.
  • Eine bevorzugte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass das Abtrennen des Abschnitts der Sondenverlängerung einen lichtoptischen Trennschritt umfasst. Die lichtoptische Trennung kann beispielsweise mittels der Nutzung von Laserlicht ausgeführt werden. Alternativ kann von einer Nicht-Laserlichtquelle bereitgestelltes Licht für die Abtrennung fokussiert werden. Es kann ein über ein Mikroskopobjektiv getrennt eingekoppelter Stickstofflaser be nutzt werden, um die Abtrennung zu bewirken. Die genutzte Lichtenergie kann lokal so dosiert werden, dass auftretende Erwärmungen und Vibrationen nicht oder kaum zu einer Beeinflussung umliegender Bereiche führen. Mittels eines fokussierten Laserstrahls können so beispielsweise Abschnitte der Sondenverlängerung abgetrennt werden, welche eine Sondensubstanz tragen. Für eine weitere Verringerung nichtgewollter Beeinflussung wird die Trennung nicht in unmittelbarer Nachbarschaft zum Zielobjekt ausgeführt, sondern um mehrere Fokusradien versetzt. In einem typischen Kraftspektroskopieexperiment mit einem Sondenmikroskop kann es notwendig sein, eine auf der Sondenverlängerung befindliche Zelle, welche auch als partikulare Sondensubstanz bezeichnet wird, in geeigneter Art und Weise zu entfernen, um sie im lebenden Zustand für eine weitere Untersuchung einzusetzen.
  • Bei einer zweckmäßigen Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass das Abtrennen des Abschnitts der Sondenverlängerung einen mechanischen Trennschritt umfasst. In einer Ausgestaltung wird der mechanische Trennschritt mittels mechanischer Krafteinwirkung ausgeführt, beispielsweise indem die Messsonde gegen einen zum Beispiel eine Kante aufweisenden Gegenstand gedrückt oder gestoßen wird. Hierbei kann vorgesehen sein, dass der Gegenstand seinerseits positionierbar ist, um für den Abtrennschritt in eine geeignete Stellung gebracht zu werden. Auf diese Weise kann der Gegenstand bei Nichtnutzung wahlweise aus dem Bereich der Messsonde verlagert werden. Es kann auch vorgesehen sein, dass der abgetrennte Abschnitt der Sondenverlängerung an einer Haftfläche haften bleibt. Bei Verlagerbarkeit des Gegenstandes ist so die Möglichkeit geschaffen, den abgetrennten Abschnitt selbst zu verlagern. Die mechanische Abtrennung kann in einer Ausgestaltung mittels einer Vorrichtung vergleichbar einer einschenkligen mechanischen Pinzette erfolgen, die an den Cantilever heranfahrt und gegen ihn drückt bis ein Teil abgetrennt ist. Hierbei verfolgt eine weitere Idee der Erfindung den Gedanken, dass eine Abtrenneinheit ihrerseits wieder eine Pinzettenfunktion hat und den abgetrennten Cantileverteil aufnimmt und in diesem gleichen Behältnis positioniert oder ihn in eine andere Kammer überführt.
  • Eine zu große mechanische Belastung einer Sondensubstanz, zum Beispiel biologischen Zellen, kann zu deren irreversiblen Schädigung führen. Deshalb ist es wichtig zu vermeiden, dass eine unnötig große Druckkraft auf die gewünschten Abschnitte der Sondensubstanz wirkt, wie es beim bloßen Abbrechen des Cantilever an einem Substratboden der Fall sein kann. Hierbei kann sowohl der Druck an einer Abbruchkante schädigen als auch der Umstand, dass der ab getrennte Teil der Sondenverlängerung auf den Boden fällt und hierbei eine Druckkraft entsteht, die das Sondensubstrat schädigt.
  • Eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass der Abschnitt der Sondenverlängerung entlang einer vorgegebenen Trennlinie abgetrennt wird. Die vorgegebene Trennlinie kann in Form einer Trennmarkierung oder einer Sollbruchstelle ausgeführt sein. Letzteres ermöglicht eine sichere und schnelle Abtrennung. Eine oder mehrere Sollbruchstellen können zum Beispiel mittels angeätzter Querstrukturen oder Querstreifen aus Metall oder Lack ausgeführt sein, welche besonders gut Laserlicht absorbieren und somit insbesondere für die Laserbearbeitung geeignet sind.
  • Bevorzugt sieht eine Fortbildung der Erfindung vor, dass als Abschnitt der Sondenverlängerung ein mit einer Sondensubstanz beladener Abschnitt abgetrennt wird. Beispielsweise kann die Sondenverlängerung mit einer oder mehreren Zellen beladen sein. Auch eine chemische Beschichtung kann wenigstens abschnittsweise gebildet sein. Bei dieser Ausgestaltung kann zum Beispiel das Laserlicht genutzt werden, um die chemische Beschichtung abzutragen oder zu modifizieren, so dass eine Ankopplung nur im Bereich einer Spitze stattfindet und eine Zelle nicht fortwandern kann. Alternativ kann auch mit dem Laser die Oberfläche der Sondenverlängerung aktiviert werden, so dass nur in einem aktivierten Bereich eine oder mehrere Zellen als Sondensubstanz ankoppeln. Wenn die Sondensubstanz im Rahmen einer sondenmikroskopischen Untersuchung verbraucht ist, kann mit dem Abtrennen solche verbrauchte Sondensubstanz von der Messsonde getrennt werden. Es kann aber auch vorgesehen sein, dass ein Abschnitt mit einer noch funktionsfähigen Sondensubstanz abgetrennt wird, um diesen Abschnitt der Messsonde, welcher wahlweise auch einen Abschnitt der Sondenbasis umfassen kann, in einer späteren Untersuchung erstmals oder erneut zu verwenden.
  • Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass der abgetrennte Abschnitt der Sonderverlängerung in einem Ablagebereich aufgenommen wird. Der Ablagebereich kann mit einer Flüssigkeit gefüllt sein, in welche der abgetrennte Abschnitt der Sondenverlängerung gelangt. Beispielsweise kann so eine Sondensubstanz auf dem abgetrennten Abschnitt in einer Flüssigkeitsumgebung gehalten werden, die funktionserhaltend wirkt. Beispielsweise kann der abgetrennte Abschnitt auf diese Weise steril weiterkultiviert werden. Der Ablagebereich kann in eine für die sondenmikroskopische Untersuchung genutz te Messzelle integriert oder getrennt hiervon gebildet sein. Er kann in einem Kulturgefäß oder einem Abfallbehälter bereitgestellt werden. Auch kann der Ablagebereich in einer zweckmäßigen Ausgestaltung in eine Arrayanordnung integriert sein.
  • In einer beispielhaften Ausführung wird vorgeschlagen, dass ein Probenbehältnis oder eine Probenkammer eine Unterteilung in mindestens zwei Kammern aufweist. In einer Teilkammer befindet sich die zu untersuchende Probe, in einer weiteren Teilkammer werden die Cantileverteile abgetrennt. Beide Teilkammern sind mittels einer Zwischenwand voneinander getrennt. Nach erfolgter Messung verfährt der Cantilever in den Raumrichtungen zunächst so, dass er oberhalb der Zwischenwand positioniert ist. Dann wird der Cantilever langsam auf die Zwischenwand abgesenkt, derart, dass der abzutrennende Teil der Sondenverlängerung sich im Bereich der Abtrennteilkammer befindet. Mit Hilfe einer Lagekontrolle ist die Position des Cantilevers relativ zur Zwischenwand bekannt. Der Cantilever wird herunter gefahren bis er abbricht. Vorteilhaft ist es, wenn die Verbiegung des Cantilevers zur Kontrolle der Annährung an die Zwischenwand benutzt wird, um sicher und schonend den Cantilever oder Teile hiervon abzutrennen. Hierbei kann der Abbruch auch an einer Kante stattfinden, die nicht gleichzeitig die Zwischenwand darstellt. Dies wäre zum Beispiel bei einer weiteren Unterteilung in einer der Teilkammern schon gegeben.
  • Beispielsweise befindet sich in der Probenkammer ein Bereich mit einer Anordnung von Mulden. Diese Anordnung kann beispielsweise in Silizium, verschiedenen Kunstoffen wie Polycarbonat oder in PDMS (Polydimethylsiloxane) muldenförmig strukturiert sein. Der Cantilever wird über einer Mulde positioniert und so an eine Muldenkante gefahren, dass der Cantilever abbricht und in der Mulde verbleibt. Besonders vorteilhaft ist es bei einer arrayartigen Anordnung, dass die Abtrennbewegung leicht automatisiert werden kann und beispielsweise die Verbiegung einer AFM-Spitze zur Kontrolle des Abbrechdruckes benutzt wird. Mittels der arrayartigen Anordnung ist es auch ermöglicht, eine individuelle Zuordnung der abgetrennten Cantileverteile zur jeweiligen Arraymulde zu treffen. Die Abtrennung des Cantilevers muss bei der arrayartigen Anordnung nicht notwendig mittels eines mechanischen Elementes erfolgen. Es ist auch möglich, dass die Abtrennung mit Hilfe von Laserlicht erfolgt.
  • Eine Weiterbildung der Erfindung kann vorsehen, dass der abgetrennte Abschnitt der Sondenverlängerung unter keimfreien oder sterilen Umgebungsbedingungen gelagert wird. In einer Ausführung können hierzu die vorgenannten Mulden genutzt werden.
  • Eine bevorzugte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass mit dem Abtrennen des Abschnitts der Sonderverlängerung eine Federkonstante der Messsonde eingestellt wird. Das Einstellen der Federkonstante kann ausgeführt werden, indem die Sondenverlängerung auf verschiedene Art und Weise verändert wird. Hierzu gehören beispielsweise eine Verkürzung und eine Dickenbearbeitung. Letzteres kann in einer Ausgestaltung mittels Abtragen einer Beschichtung ausgeführt werden. Aber auch eine gezielte Änderung der Form der Sondenverlängerung kann vorgesehen sein, beispielsweise die Ausbildung einer Verjüngung zur Spitze der Sondenverlängerung hin. Alternativ oder ergänzend können Bereiche aus der Sondenverlängerung herausgeschnitten werden, wahlweise dadurch, dass Durchbrüche erzeugt werden. Die Länge der Sondenverlängerung, welche auch als Cantileverbalken bezeichnet wird, beeinflusst maßgeblich die Federkonstante. Werden gezielt stets gleichgroße Abschnitte abgetrennt, so kann auf einfache Art und Weise die Federkonstante modifiziert werden, ohne dass am experimentellen Aufbau selbst etwas geändert werden muss. Dieses kann für eine verbesserte hoch auflösende Messung genutzt werden. Alternativ ist es auch möglich, mit dem sich verkürzenden Cantilever separate Experimente auszuführen, wobei die Federkonstante dann jedes Mal neu bestimmt wird. Wird immer ein gleichlanges Stück des Cantilevers abgetrennt, so kann nach einer vorherigen Eichung auch mit feststehenden Materialeigenschaften gearbeitet werden.
  • Bei einer zweckmäßigen Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass mit dem Abtrennen des Abschnitts der Sonderverlängerung eine Oberflächenausbildung der Messsonde verändert wird. Die Oberflächenausbildung kann zum Beispiel dadurch verändert werden, dass Abschnitte einer chemischen Beschichtung abgelöst werden, die auf der Sondenverlängerung gebildet sind.
  • Eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die Messsonde als eine Anordnung von mehreren Einzelmesssonden gebildet ist und mittels des Abtrennens des Abschnitts der Sondenverlängerung wenigstens eine der Teilmesssonden abgetrennt wird. Die Anordnung von mehreren Einzelmesssonden wird auch als Array bezeichnet.
  • Bevorzugt sieht eine Fortbildung der Erfindung vor, dass der Abschnitt der Sondenverlängerung mittels einer automatischen Trenneinrichtung abgetrennt wird. Die automatische Trenneinrichtung kann zum Beispiel als optische oder mechanische Trenneinrichtung ausgeführt sein. Sie kann von dem Sondenmikroskop umfasst sein oder getrennt hiervon gebildet werden. Die automatische Trenneinrichtung kann an ein optisches Bilderkennungssystem gekoppelt sein, welches insbesondere den Bereich der Messsonde bildtechnisch erfasst, um so Bildinformationen für den Betrieb der automatischen Trenneinrichtung beim Abtrennen des Abschnitts der Sondenverlängerung zur Verfügung zu stellen. In diesem Zusammenhang kann vorzugsweise eine Bildauswertungssoftware genutzt werden, um Steuersignale für die automatische Trenneinrichtung abzuleiten.
  • Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Messsonde zum Bearbeiten mit der automatischen Trenneinrichtung mittels einer Bildaufnahmeeinrichtung aufgenommen wird. Die Bildaufnahmeeinrichtung kann integriert mit der Trenneinrichtung oder dem Sondenmikroskop gebildet sein.
  • Eine Weiterbildung der Erfindung kann vorsehen, dass der Abschnitt der Sondenverlängerung während und/oder nach dem Abtrennen mittels einer Aufnahmeeinrichtung gehalten wird. Die Aufnahmeeinrichtung kann zum Beispiel als eine Pinzetteneinrichtung ausgeführt sein. Auch eine Pipetteneinrichtung kann genutzt werden. Die Aufnahmeeinrichtung kann in verschiedenen Ausführungsformen integriert mit oder getrennt von der Trenneinrichtung oder dem Sondenmikroskop gebildet werden.
  • In Verbindung mit vorteilhaften Ausgestaltungen der Anordnung mit einem Sondenmikroskop zum sondenmikroskopischen Untersuchen einer Probe gelten die im Zusammenhang mit korrespondierenden Ausführungen des Verfahrens genannten Erläuterungen entsprechend.
  • Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung
  • Die Erfindung wird im folgenden anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf Figuren einer Zeichnung näher erläutert. Hierbei zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung eines Aufbaus, mit dem eine Abtrennung eines Abschnitts einer Sondenverlängerung einer Messsonde mittels Laserlicht ausführbar ist,
  • 2A eine schematische Darstellung zum Abtrennen eines Abschnitts einer Sondenverlängerung einer Messsonde, welche eine Goldbeschichtung aufweist,
  • 2B eine schematische Darstellung zum Abtrennen eines Abschnitts einer Sondenverlängerung einer Messsonde, welche nicht metallisiert ist,
  • 3A3C eine schematische Darstellung für ein mechanisches Verfahren zum Abtrennen eines Abschnitts einer Sondenverlängerung einer Messsonde, und
  • 4 eine schematische Darstellung mit einer Arrayanordnung.
  • 1 zeigt eine schematische Darstellung eines Aufbaus, mit dem eine Laserabtrennung eines Abschnitts einer Sondenverlängerung einer Messsonde 1 ausführbar ist. Die Bearbeitung der als Cantilever ausgeführten Messsonde 1 erfolgt mittels UV-Laserlicht. Die Messsonde 1 weist einen Cantilever-Chip auf, welcher aus einer festen Basis 1a besteht, an dessen Ende eine dünne, flexible Verlängerung (Sondenverlängerung 2) gebildet ist, die auch als Cantilever bezeichnet wird. Am Ende der Sondenverlängerung 2 ist eine pyramidenförmige Spitze 3 gebildet. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist weiterhin eine Sondenbeschichtung mit einer Molekülbeschichtung 4a sowie einer partikulären Beschichtung 4b mit einer Zelle dargestellt. Die Messsonde 1 ist an einer Einheit 55 befestigt, über diese in der Höhe einstellbar oder sogar in alle drei Raumrichtungen verstellbar. Die Messsonde 1 mit Cantilever-Chip 1a und Sondenverlängerung 2 befinden sich über einem Träger 5, der beispielsweise als ein Objektträger oder eine Petrischale ausgeführt ist. Über ein Objektiv 6 kann eine mikroskopische Beobachtung erfolgen. Hierbei symbolisiert das Objektiv 6 allgemein einen gesamten optischen Aufbau zur mikroskopischen Beobachtung. In einem Schnittpunkt 7 eines Strahlenganges liegt der optische Bildfokus. Über ein Stellelement 8 kann das UV-Laserlicht von einem UV-Laser 10 eingekoppelt und bewegt werden. Darüber hinaus ist ein IR-Laser 11 mit einem korrespondierenden Stellelement 9 vorgesehen, welcher ebenfalls Laserlicht für die laseroptische Bearbeitung der Messsonde bereitstellen kann.
  • 2A zeigt eine schematische Darstellung zum Abtrennen eines Abschnitts einer Sondenverlängerung einer Messsonde, welche eine Goldbeschichtung aufweist.
  • Es können verschiedene Arten von Cantilever zum Einsatz kommen. Im Folgenden werden Ausführungsbeispiele in Verbindung mit drei verschiedenen Typen erläutert: Typ 1: V-förmiger Cantilever mit Pyramide und Goldbeschichtung; Typ 2: drei einzelne stabförmige Cantilever aus SiN, Typ 3: ein einzelner stabförmiger Cantilever aus Si (hydrophob).
  • Als Bearbeitungssystem wurden ein Lasersystem mit einem IX 70 Olympus Umkehrmikroskop und ein N2-Laser (337 nm, UV-Licht) zum Abtrennen verwendet. Die Laserlichtenergie konnte zwischen Relativeinheiten von 1 bis 1000 (min-max Wert) eingestellt werden. Zur Experimentausführung wurden die Cantilever wie in 1 skizziert spitzenseitig (Pyramidenspitze in Richtung Glasboden und Objektiv) in eine Petrischale mit einem Dünnglasboden platziert und mit destilliertem Wasser überschichtet.
  • 2A zeigt in vier Schritten I bis IV die Manipulation eines mit Gold beschichteten Cantileverarms vom Typ 1. Im Schritt I werden der optische Fokus und der Fokus des N2-Lasers auf das Objekt eingestellt. In Schritt II konnten sehr leicht und mit geringem Energieeinsatz (mittlere Energieeinstellung) kreisförmige Materialstücken 20 aus dem Cantilever ausgelöst werden. Im Durchlicht erscheinen diese Gebiete hell durchsichtig. Aufgrund der Goldbeschichtung mit darunter liegender Chrombasis ist die Ablationseffektivität sehr hoch. Gleichzeitig verhindert die Metallisierung, dass sich Teile des Cantilevers frühzeitig voneinander lösen. Im Schritt III erfolgt die Trennung erst nach dem letzten Laserlichtbeschuss, der das Material vollständig abtrug (im Durchlicht durchgängiger heller Schnitt, skizziert als Linie 21). Im Schritt IV liegen ein abgetrennter Teil des Cantilevers 30b vor, der die Sondensubstanz trägt oder zumindest einen interessierenden Anteil, und ein gekürzter Cantilever 30a mit veränderter Federkonstante.
  • 2B zeigt eine schematische Darstellung zum Abtrennen eines Abschnitts einer Sondenverlängerung einer Messsonde, welche nicht metallisiert ist.
  • Ein SiN Cantilever vom Typ 2 konnte mit einem Energieeinsatz, welcher etwas höher ist als für Typ 1, abgetrennt werden. Die Trennung ergibt keinen im Durchlicht durchgehend hellen Schnitt, sondern verzeichnet eine dunkel gefärbte Ablagerung 22. Eine gezieltere Fokussierung des Lasers ermöglichte dann auch einen vollständigen Materialabtrag 20. Die Durchtrennung 20 mittels Laser muss aber nicht vollständig sein, schon nach der Hälfte der so bear beiteten Abschnitte springt der Cantileverteil 30a Teil förmlich ab. Dabei ergibt die Schnittfläche 23 bei Typ 2 und Typ 3 eine relativ glatte Kante mit einigen dunklen Bearbeitsauflagerungen.
  • Im Experiment konnte der Si Cantileverarm vom Typ 3 mit mittlerem Energieeinsatz abgetrennt werden. Die Trennung verlief ähnlich dem Typ 2, wobei die Abtrennung deutlich glatter und schlagartiger erfolgte, ohne dass ein vollständiger Materialabtrag ausgeführt wurde.
  • Die AFM-Spitzen selbst waren nach dem jeweiligen Experiment optisch unbeschädigt.
  • 3A bis 3B zeigen eine schematische Darstellung für ein mechanisches Verfahren zum Abtrennen eines Abschnitts einer Sondenverlängerung einer Messsonde.
  • In 3A ist ein Cantilever 1 gezeigt, bestehend aus einem dünnen, flexiblen Balken 2, welcher an der Cantilever-Basis 1a (Cantilver-Chip) gebildet ist. Auf einem geeigneten Träger 5 ist die Messkammer mittels einer Trennwand 62 in zwei Bereiche unterteilt. Die Wände der Messkammer sind hier nicht gezeigt. In einem Bereich 61 wird eine SPM-Messung ausgeführt zur Untersuchung der Wechselwirkung einer Sondensubstanz 53 mit einem funktionalisierten Substrat 63 in einer geeigneten wässrigen Lösung. Der Cantilever 1 ist über eine Einheit 55 befestigt und in alle drei Raumrichtungen bewegbar. In einem zweiten Bereich der Messkammer befindet sich der Bereich 60, in dem der Cantilever oder Teile hiervon abgelegt werden. Alternativ kann auch die Messkammer relativ zum Cantilever 1 bewegt werden.
  • In 3B ist der Cantileverkomplex 1, 3, 53, 55 über der Zwischenwand 62 so positioniert, dass der abzutrennende Teil des Cantilevers mit der Sondensubstanz 53 im Abschnitt des zweiten Kammerbereichs 60 liegt. Nun erfolgt eine Relativbewegung des Cantilevers auf die Kante der Zwischenwand zu, was durch den Pfeil 64 illustriert wird. Dabei kann sich sowohl der Cantilever über die Einheit 55 als auch der Probenträger bewegen. Ist der Scherdruck ausreichend groß wird ein Teil des Cantilevers abgetrennt. Hier könnte natürlich auch zum Beispiel die Methode aus der 2 zur Abtrennung benutzt werden. Entscheidend ist, dass der abgetrennte Cantilever in einem separaten Bereich abgelegt wird.
  • In 3C befindet sich der abgetrennte Teil 30b im zweiten Abschnitt 60, während der an der Aufnahme und Verfahreinheit 55 verbliebene Teil des Cantilevers 30a benutzt wird, um erneut ein Mikropartikel aufzunehmen und eine Messung auszuführen. Da sich die Eigenschaften des verbleibenden Cantilevers 30a geändert haben, wird davor eine neue Kalibrierung ausgeführt.
  • 4 zeigt eine schematische Darstellung mit einer Arrayanordnung.
  • Eine arrayförmige Anordnung 70 weist einzelne Mulden 71 auf, die für die Abtrennung und die Aufnahme von Teilen des Cantilevers 30b geeignet sind. Das Material für die arrayförmige Anordnung 70 kann beispielsweise Silizium oder ein Kunststoff sein. Eine Schicht 72 ist so auf der Oberseite der arrayförmige Anordnung 70 angebracht, dass eine erhöhte Klebefähigkeit für das Cantilevermaterial besteht. Werden der Cantilever 1 und die Sondensubstanz 53 mit Hilfe der Einheit 55 über einer Arraymulde platziert, kann ein Druck (symbolisiert mittels Pfeil 73) oder Zug ausgeführt werden. Dabei trennt sich ein Teil des Cantilevers 30b ab, während er durch die Haft- oder Klebeeigenschaften der Schicht 72 am Rand der Mulde haften bleibt. Entscheidend für die Abtrennung ist auch hier eine Relativbewegung der arrayförmigen Anordnung 70 zum Cantilever 1, um das Abbrechen durch Druck oder Zug zu erreichen.
  • Die in der vorstehenden Beschreibung, den Ansprüchen und der Zeichnung offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausführungsformen von Bedeutung sein.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • - Taubenberger A. et al.: Revealing early steps of α2β1 integrin-mediated adhesions to collagen type I using single-cell force spectroscopy, Molecular Biology of the Cell (2007) 18, 1634–1644 [0007]

Claims (28)

  1. Verfahren zum Bereitstellen einer Messsonde (1, 1a, 2) für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe in einem Sondenmikroskop, insbesondere einem Rastersondenmikroskop, bei dem die Messsonde (1), welche eine Sondenbasis (1a) und eine hieran gebildete Sondenverlängerung (2) aufweist, an einer Trageeinrichtung gehalten wird und die Messsonde (1) vor oder nach einer Messung bearbeitet wird, indem ein Abschnitt der Sondenverlängerung (2) abgetrennt wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Abtrennen des Abschnitts der Sondenverlängerung (2) einen lichtoptischen Trennschritt umfasst.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Abtrennen des Abschnitts der Sondenverlängerung (2) einen mechanischen Trennschritt umfasst.
  4. Verfahren nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abschnitt der Sondenverlängerung (2) entlang einer vorgegebenen Trennlinie abgetrennt wird.
  5. Verfahren nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Abschnitt der Sondenverlängerung (2) ein mit einer Sondensubstanz beladener Abschnitt (30b) abgetrennt wird.
  6. Verfahren nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der abgetrennte Abschnitt der Sonderverlängerung (2) in einem Ablagebereich aufgenommen wird.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der abgetrennte Abschnitt der Sondenverlängerung (30b) unter keimfreien oder sterilen Umgebungsbedingungen gelagert wird.
  8. Verfahren nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mit dem Abtrennen des Abschnitts der Sonderverlängerung (2) eine Federkonstante der Messsonde (1) eingestellt wird.
  9. Verfahren nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mit dem Abtrennen des Abschnitts der Sonderverlängerung (2) eine Oberflächenausbildung der Messsonde verändert wird.
  10. Verfahren nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messsonde als eine Anordnung von mehreren Einzelmesssonden gebildet ist und mittels des Abtrennens des Abschnitts der Sondenverlängerung (2) wenigstens eine der Teilmesssonden abgetrennt wird.
  11. Verfahren nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abschnitt der Sondenverlängerung (2) mittels einer automatischen Trenneinrichtung abgetrennt wird.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Messsonde zum Bearbeiten mit der automatischen Trenneinrichtung mittels einer Bildaufnahmeeinrichtung aufgenommen wird.
  13. Verfahren nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abschnitt der Sondenverlängerung (2) während und/oder nach dem Abtrennen mittels einer Aufnahmeeinrichtung gehalten wird.
  14. Anordnung mit einem Sondenmikroskop zum sondenmikroskopischen Untersuchen einer Probe, insbesondere Rastersondenmikroskop, bei dem eine Messsonde (1), welche eine Sondenbasis (1a) und eine hieran gebildete Sondenverlängerung (2) aufweist, an einer Trageeinrichtung gehalten ist, und einer Trenneinrichtung, welche konfiguriert ist, die Messsonde (1) vor oder nach einer Messung zu bearbeiten, indem ein Abschnitt der Sondenverlängerung (2) abgetrennt wird.
  15. Anordnung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Trenneinrichtung konfiguriert ist, beim Abtrennen des Abschnitts der Sondenverlängerung (2) einen lichtoptischen Trennschritt auszuführen.
  16. Anordnung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Trenneinrichtung konfiguriert ist, beim Abtrennen des Abschnitts der Sondenverlängerung (2) einen mechanischen Trennschritt auszuführen.
  17. Anordnung nach mindestens einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Trenneinrichtung konfiguriert ist, den Abschnitt der Sondenverlängerung (2) entlang einer vorgegebenen Trennlinie abzutrennen.
  18. Anordnung nach mindestens einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass ein Ablagerungsbereich gebildet ist, welcher konfiguriert ist, den abgetrennten Abschnitt der Sonderverlängerung (30b) aufzunehmen.
  19. Anordnung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Ablagerungsbereich ein keimfreier oder steriler Ablagerungsbereich ist, welcher konfiguriert ist, den abgetrennte Abschnitt der Sondenverlängerung (30b) unter keimfreien oder sterilen Umgebungsbedingungen zu lagern.
  20. Anordnung nach mindestens einem der Ansprüche 14 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Trenneinrichtung konfiguriert ist, mit dem Abtrennen des Abschnitts der Sonderverlängerung (2) eine Federkonstante der Messsonde (1) einzustellen.
  21. Anordnung nach mindestens einem der Ansprüche 14 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Trenneinrichtung konfiguriert ist, mit dem Abtrennen des Abschnitts der Sonderverlängerung (2) eine Oberflächenausbildung der Messsonde zu verändern.
  22. Anordnung nach mindestens einem der Ansprüche 14 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Messsonde als eine Anordnung von mehreren Einzelmesssonden gebildet ist und die Trenneinrichtung konfiguriert ist, mittels des Abtrennens des Abschnitts der Sondenverlängerung (2) wenigstens eine der Teilmesssonden abzutrennen.
  23. Anordnung nach mindestens einem der Ansprüche 14 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Trenneinrichtung als eine automatische Trenneinrichtung ausgeführt ist.
  24. Anordnung nach mindestens einem der Ansprüche 14 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass eine Bildaufnahmeeinrichtung vorgesehen ist, welche konfiguriert ist, die Messsonde zum Bearbeiten mit der Trenneinrichtung aufzunehmen.
  25. Anordnung nach mindestens einem der Ansprüche 14 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass eine Aufnahmeeinrichtung vorgesehen ist, welche konfiguriert ist, den Abschnitt der Sondenverlängerung (2) während und/oder nach dem Abtrennen zu halten.
  26. Anordnung nach mindestens einem der Ansprüche 14 bis 25, dadurch gekennzeichnet, dass die Trenneinrichtung integriert mit dem Sondenmikroskop ausgeführt ist.
  27. Anordnung nach mindestens einem der Ansprüche 14 bis 26, dadurch gekennzeichnet, dass das Sondenmikroskop ein Rastersondenmikroskop ist.
  28. Anordnung nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, dass das Rastersondenmikroskop ein Rasterkraftmikroskop ist.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011090747A (ja) * 2009-10-23 2011-05-06 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 磁気ディスク装置の製造方法
CN113109593B (zh) * 2021-04-20 2021-11-02 西南交通大学 应用于扫描探针显微镜的摆动式多模式组合探针测试装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5331275A (en) * 1991-12-09 1994-07-19 Fujitsu Limited Probing device and system for testing an integrated circuit
KR100498805B1 (ko) * 2000-09-21 2005-07-01 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤 주사형 프로브 현미경 탐침 및 이의 제조 방법, 및 당해 탐침을 구비한 주사형 프로브 현미경 및 이를 사용하는 분자 가공법
DE50213222D1 (de) * 2001-09-24 2009-03-05 Jpk Instruments Ag Vorrichtung und Verfahren für ein Rastersondenmikroskop
DE102007023435A1 (de) * 2007-05-16 2008-11-20 Jpk Instruments Ag Verfahren zum rastersondenmikroskopischen Untersuchen einer Messprobe, Messsystem und Messsondensystem
CA2705130A1 (en) * 2007-11-26 2009-06-04 Nanoink, Inc. Cantilever with pivoting actuation

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Taubenberger A. et al.: Revealing early steps of alpha2beta1 integrin-mediated adhesions to collagen type I <?page 3?>using single-cell force spectroscopy, Molecular Biology of the Cell (2007) 18, 1634-1644

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