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Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf allgemein auf Ultraviolettlampensysteme
und insbesondere auf die Leistungsregelung von durch Mikrowellen
erregte Ultraviolettlampensysteme.
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Hintergrund der Erfindung
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Ultraviolettlampensysteme
(UV-Lampensysteme) werden üblicherweise
zum Beheizen und Härten
von Materialien wie Klebstoffe, Dichtungsstoffe, Tinten und Beschichtungen
benutzt. Gewisse Ultraviolettlampensysteme weisen elektrodenlose
Lichtquellen auf und arbeiten durch Bestrahlen einer elektrodenlosen
Plasmalampe mit Mikrowellenenergie. In einem elektrodenlosen Ultraviolettlampensystem, das
sich auf das Bestrahlen mit Mikrowellenenergie stützt, ist
die elektrodenlose Plasmalampe innerhalb eines metallischen Mikrowellenhohlraums
oder einer Mikrowellenkammer angeordnet. Ein oder mehrere Mikrowellengeneratoren
wie Magnetrons sind über Hohlleiter
mit dem Innern der Mikrowellenkammer gekoppelt. Die Magnetrons liefern
Mikrowellenenergie, um ein Plasma aus einer in der Plasmalampe eingeschlossenen
Gasmischung zu zünden
und aufrechtzuer halten. Das Plasma sendet ein charakteristisches
Spektrum elektromagnetischer Strahlung aus, die stark mit Spektrallinien
oder Photonen ultravioletter und infraroter Wellenlängen gewichtet
ist.
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Um
ein Substrat zu bestrahlen, wird das ultraviolette Licht von der
Mikrowellenkammer über
einen Kammerauslass auf einen externen Ort gerichtet. Der Kammerauslass
ist in der Lage, das Ausstrahlen von Mikrowellenenergie zu blockieren,
während
ultraviolettes Licht aus der Mikrowellenkammer nach außen übertragen
werden kann. Ein feinmaschiger Metallschirm deckt den Kammerauslass
vieler konventioneller Ultraviolettlampensysteme ab. Die Öffnungen
in dem Metallschirm übertragen
das ultraviolette Licht zum Bestrahlen eines außerhalb der HF-Kammer angeordneten
Substrats, blockieren jedoch im Wesentlichen die Aussendung von
Mikrowellenenergie.
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Einige
Anwendungen von UV-Lampen erfordern sehr genaue Intensitäten von
ultraviolettem Licht. Diese Anwendungen reagieren empfindlich auf Änderungen
der Intensität
des UV-Lichts und erfordern darum eine im Wesentlichen konstante
Lichtintensität.
Aus dem Bereitstellen einer im Wesentlichen konstanten UV-Lichtintensität ergeben
sich einige Herausforderungen. Zunächst spielen dem Magnetron
zugeordnete Fertigungstoleranzen eine wesentliche Rolle für die Ausgangsleistung
jedes Magnetrons, die der Intensität des UV-Lichts direkt proportional
ist. Ein Hersteller eines Magnetrons mag einen Zielwert für die Ausgangsleistung
eines Magnetrons von zum Beispiel etwa 3 000 W anstreben. Aufgrund von
Fertigungstoleranzen kann die tatsächliche Ausgangsleistung des
Magnetrons jedoch niedriger oder höher als der Zielwert von 3
000 W für
die Ausgangsleistung liegen. Einige Hersteller nennen Toleranzbereiche
für ihre
Magnetrons, ohne spezifische Ausgangswerte für jedes Magnetron zu geben.
Dies führt zu
einigen Unwägbarkeiten
bezüglich
der tatsächlichen
Ausgangsleistung des in dem UV-Lampensystem benutzten Magnetrons.
Unterschiede bei den Toleranzen der Magnetrons führen zu Unterschieden bei der
Ausgangsleistung jedes Magnetrons, was dazu führt, dass die UV-Lichtintensitäten verschiedener
Lampensysteme verschieden sind.
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Eine
zweite Herausforderung bei der Bereitstellung einer im Wesentlichen
konstanten Lichtintensität
des UV-Lampensystems ist die Tendenz der Ausgangsleistung, abzufallen,
wenn das Lampensystem und die Magnetrons sich erhitzen. Wenn das UV-Lampensystem sich
erhitzt, erwärmen
sich die keramischen Magnete der Magnetrons und die Magnetstärke fällt ab.
Die Eingangsspannung des Magnetrons ist eine Funktion des Stromes
und des Magnetfeldes, so dass bei einem abfallenden Magnetfeld die
Eingangsspannung des Magnetrons ebenfalls abfällt. Bei einem im Wesentlichen
konstanten Strom in das Magnetron führt der Abfall der Eingangsspannung
zu einem Abfall der Eingangsleistung. Wird die Eingangsleistung
des Magnetrons reduziert, gilt dies auch für die Ausgangsleistung, wodurch
die Intensität
des ultravioletten Lichts reduziert wird. Nach etwa 5 bis 10 Minuten
Betrieb stabilisieren sich die thermischen Änderungen, so dass die Ausgangsleistung der
Magnetrons und hierdurch die Intensität des ultravioletten Lichts
stabil werden.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung befassen sich mit diesen und anderen
Problemen des Standes der Technik durch Schaffung einer Ultraviolettlampenanordnung
und entsprechender Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht zum
Bestrahlen eines Substrats. Die Ultraviolettlampenanordnung enthält ein Magnetron,
eine elektrodenlose Lampe zum Aussenden ultravioletten Lichts, wenn
sie durch Mikrowellenstrahlung von dem Magnetron erregt wird, und
eine Leistungsregelschaltung zum Regeln der Ausgangsleistung der
Mikrowellenstrahlung durch das Magnetron und dementsprechend der
Intensität
des von der Lampe produzierten ultravioletten Lichts. Die Leistungsregelschaltung enthält eine
erste Regelschleife, die dazu ausgebildet ist, einen Eingangsstrom
an das Magnetron auf der Basis einer Eingangsstromeinstellung zu
regulieren, die einer gewünschten
Ausgangsleistung des Magnetrons zugeordnet ist, und eine zweite
Regelschleife, die mit der ersten Regelschleife gekoppelt und dazu
ausgebildet ist, die von der ersten Regelschleife benutzte Eingangsstromeinstellung
zu justieren, um den Eingangsstrom des Magnetrons auf der Basis
einer Eingangsleistung des Magnetrons zu regulieren, die der durch
die Lampe erzeugten Lichtintensität proportional ist.
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In
einer Ausführungsform
ist die zweite Regelschleife mit einem Spannungsteiler ausgerüstet, der
die Eingangsspannung des Magnetrons misst. Ein Stromsensor ist dazu
ausgebildet, den Eingangsstrom in der ersten Regelschleife zu messen,
der an eine Regelung geleitet wird, die auch die Eingangsspannung
von dem Spannungsteiler erhält.
Die Regelung berechnet die Eingangsleistung unter Benutzung der
Spannung vom Spannungsteiler und des Stroms von der ersten Regelschleife,
um Justierungen an dem Eingangsstrom vorzunehmen. wodurch eine im
Wesentlichen konstante Eingangsleistung bereitgestellt wird, so
dass eine im Wesentlichen konstante UV-Lichtintensität erzeugt
wird. Justierungen des Eingangsstroms in der ersten Regelschleife werden
durch einen Strombegrenzer in der zweiten Regelschleife begrenzt.
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In
einigen Ausführungsformen
ist die zweite Regelschleife so ausgebildet, dass sie die Eingangsstromeinstellung
der ersten Regelschleife periodisch justiert. Die periodischen Justierungen
der Eingangsleistung des Magnetrons liefern eine konstantere Ausgangs leistung
des UV-Licht, ohne dass ein Eingreifen einer Bedienungsperson oder
eine dauernde Kalibrierung sind.
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Kurzbeschreibung der Zeichnungen
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Die
beigefügten
Zeichnungen zeigen Ausführungsformen
der Erfindung und dienen, zusammen mit der oben gegebenen allgemeinen
Beschreibung und der nachfolgenden detaillierten Beschreibung, der
Erläuterung
der Prinzipien der Erfindung.
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1 ist
ein Blockdiagramm, das eine Ausführung
einer Ultraviolettlampenanordnung mit einer Leistungsregelschaltung
für ein
Magnetron zeigt, das zur Erregung einer elektrodenlosen Lampe benutzt wird,
um UV-Licht in Übereinstimmung
mit der Erfindung zu erzeugen.
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2 ist
eine schematische Darstellung eines Teils der Leistungsregelschaltung
nach 1.
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3 ist
ein Flussdiagramm, das die Arbeitsweise einer Ausführung der
Leistungsregelschaltung nach 1 darstellt.
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4 ist
ein Flussdiagramm, das die Arbeitsweise einer alternativen Ausführung der
Leistungsregelschaltung nach 1 darstellt.
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Detaillierte Beschreibung
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Im
Allgemeinen treten Veränderungen
bei der Ausgangsleistung von Magnetrons auf, die in Ultraviolettlampensystemen
benutzt werden. Diese Unterschiede können durch Fertigungstoleranzen
und Arbeitstemperaturen hervorgerufen werden. Diese Unterschiede
der Ausgangsleistung der Magnetrons stehen in direkter Korrelation
zu den Unterschieden der Intensität des ultravioletten Lichts
des Lampensystems. Die Variation der Ausgangsleistung verursacht
beim Aufwärmen
des/der Magnetrons im Allgemeinen einen Abfall der Lichtintensität der Lampe,
so dass bei Anwendungen, die empfindlich auf Änderungen in der Intensität des UV-Lichts
reagieren, Schwierigkeiten auftreten. Diese kritischen Prozesse erfordern
im Allgemeinen eine gleichmäßige Lichtintensität aller
Lampen in einem speziellen System.
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Ausführungen
der vorliegenden Erfindung schaffen ein Ultraviolettlampensystem
mit einer Leistungsregelschaltung für das Magnetron, die hilft,
eine im Wesentlichen konstan te Ausgangsleistung zu liefern, die
ohne Intervention einer Bedienungsperson direkt proportional zu
der Intensität
des UV-Lichts ist. Eine konventionelle schnelle Stromrückkopplungsregelschleife
wird benutzt, um den Eingangsstrom zu jedem der Magnetrons zu regulieren,
und eine periodische zweite Regelschleife wird benutzt, um automatisch
einen Stromeinstellpunkt der ersten Regelschleife zu justieren und
hierdurch die Eingangsleistung zu regulieren. Zum Zwecke dieser
Anmeldung wird periodisch als Synonym für intermittierend benutzt,
da die zweite Regelschleife in regelmäßigen Intervallen arbeiten
kann, oder die Intervalle zwischen Korrekturen können variabel sein, zum Beispiel
häufiger
während
der anfänglichen
Einschaltens und Aufwärmens
des Lampensystems.
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In
den Zeichnungen, in denen gleiche Zahlen gleiche Teile in den verschiedenen
Darstellungen bedeuten, zeigt 1 ein Blockdiagramm
eines Lampensystems mit einer als Beispiel dienenden Leistungsregelschleife
gemäß der Erfindung.
Die Leistungsregelschaltung ist ausgebildet, die Eingangsleistung
zum Magnetron zu regeln, die im Allgemeinen eine gute Korrelation
zu der Ausgangsleistung des Magnetrons und der Intensität des UV-Lichts
hat, und nicht nur den Eingangsstrom zu regeln, wie es in diesem
Bereich üblich
ist. Eine Bedienungsperson des Ultraviolettlampensystems wählt eine
Leistungseinstellung 10 aus, die einen gewünschten
Leistungspegel an einen Mikroprozessor 14 liefert, wie durch
einen Pfeil 12 angedeutet ist. Der Mikroprozessor 14 stellt
anfangs einen Strompegel für
das Magnetron 16 ein, um die gewünschte Ausgangsleistung zu
liefern. Der Mikroprozessor sendet dann den Einstellpunktstrom 18 und
den tatsächlichen
Magnetronstrom 20 an die Schaltung der Stromregulierungsregelschleife 22.
Die Stromregulierungsregelschleife 22 besteht aus Schaltungselementen,
die in bekannter Weise eine schnelle Stromrückkopplungsregelschleife zum
Regulieren und Liefern eines im Wesentlichen konstanten Ausgangsstroms
darstellen.
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Die
Stromregulierungsschleife 22 benutzt einen Mikroprozessor,
der der Mikroprozessor 14 sein kann oder ein getrennter
Mikroprozessor, der speziell für
die Stromregulierung vorgesehen ist. Die Stromregulierungsschleife 22 sendet
dann den regulierten Strom an die Phasensteuerschaltung 24,
die ein variables Wechselstromsignal an die Hochspannungsgeneratorschaltungen 28 liefert,
siehe den diagrammatischen Pfeil 26. Die Hochspannungsgeneratorschaltungen
liefern eine variables Hochspannungs-Gleichspannung-Signal, dargestellt
durch den diagrammatischen Pfeil 30, an das Magnetron 16,
um die gewünschte
Ausgangsleistung zu erzeugen. Hierdurch wird die UV-Lampe 36 erregt
und erzeugt ultraviolettes Licht, das von der Lampenanordnung abgegeben
wird.
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Die
Hochspannungsgeneratorschaltungen 28 liefern periodisch
Magnetronspannungssignale, dargestellt durch den Pfeil 32,
und Magnetronstromsignale, dargestellt durch den Pfeil 34,
an den Mikroprozessor 14. Die Magnetronspannungssignale 32 und- stromsignale 34 werden
von dem Mikroprozessor 14 verwendet, um die tatsächliche
Magnetroneingangsleistung zu bestimmen und eine Justage des eingestellten
Stroms zu veranlassen, wenn die Eingangsleistung von dem gewünschten
Leistungspegel 12 abweicht. Der Mikroprozessor sendet dann
den tatsächlichen
Magnetronstrom 20 mit dem justierten Einstellpunkt 18 an
die Stromregulierungsschaltung 22, um die Eingangsleistung
an das Magnetron automatisch zu justieren.
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Weitere
Details der Phasensteuerschaltung 24 und der Hochspannungsgeneratorschaltungen 28 gehen
aus 2 hervor. In einigen Ausführungen besteht die Phasensteuerschaltung 24 aus
einer Dreiphasen-Hochspannungsstrom-versorgung 40. Die Spannungen
der Stromversorgung 40 können zum Beispiel bei etwa
480 V pro Phase liegen. Eine Phase 42 der Stromversorgung 40 gelangt
an eine SCR-Phasensteuerung 44. Die anderen Phasen können in
alternativen Ausführungen
andere Magnetrons in dem UV-Lampensystem
mit zusätzlichen
Magnetrons oder andere Komponenten des UV-Lampensystems versorgen. Ausgangssignale
von der Stromregulierschleife 22 (1) werden
benutzt, um Impulse in der Phasensteuerung 44 zu steuern.
Das Ausgangssignal der Phasensteuerung wird dann über eine
Kontaktanordnung 46a, 46b und an einen Trenntransformator 48 ausgesandt.
Die Hochspannungs-Wechselspannung gelangt über den Transformator 48 an
eine Hochspannungs-Brückenanordnung 50,
die die Hochspannungs-Wechselspannung in eine Hochspannungs-Gleichspannung 30 konvertiert,
die dem Magnetron 16 zugeleitet wird. Die Brückenanordnung
liefert auch Eingangsspannungssignale 32 des Magnetrons
und Eingangsstromsignale 34 des Magnetrons an den Mikroprozessor 14 (1);
diese Signale werden benutzt, die Eingangsleistung des Magnetrons 16 während der
Regelschleife für
die Leistungsregulierung zu bestimmen.
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Wie
dem Fachmann bekannt ist, besteht im Allgemeinen eine gute Korrelation
zwischen der Eingangsleistung und der Ausgangsleistung eines Magnetrons.
Aufgrund dieser Beziehung ist es möglich, eine im Wesentlichen
konstante Ausgangsleistung und somit eine im Wesentlichen konstante
Intensität der
UV-Lichtausgangsleistung durch Regulieren der Eingangsleistung des
Magnetrons zu erzielen. Strom- und Leistungsregulierung für das Magnetron schließt eine
erste, innere Regelschleife ein, die den Strom zum Magnetron reguliert,
und eine zweite, äußere Regelschleife,
die die Eingangsleistung zum Magnetron reguliert. Die meisten Variationen
in der Ausgangsleistung treten typischerweise in den ersten 5 bis
10 Minuten des Betriebes auf, wenn das UV-Lampensystem sich aufheizt und stabilisiert;
aus diesem Grunde ist es nicht in jedem Fall erforderlich, die Eingangsleistung
dauernd zu überwachen
und in der zweiten Regelschleife zu justieren. Das Vorsehen der
zweiten, äußeren Regelschleife
zum Regulieren der Eingangsleistung kann helfen, während der
5 bis 10 Minuten Aufwärmzeit
des Systems eine nahezu konstante Ausgangsleistung sicherzustellen.
Dies kann von Vorteil für
die Bedienung des UV-Lampensystem bei Anwendungen sein, in denen
das UV-Lampensystem
im Gegensatz zu einem dauernd eingeschalteten Betrieb laufend geschaltet
wird, sowie bei kritischen Anwendungen, die empfindlich auf Schwankungen
des UV-Lichts reagieren und deshalb eine im Wesentlichen konstante
Ausgangsleistung erfordern.
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3 und 4 sind
Flussdiagramme, die den Betrieb von zwei Ausführungen der Regelschleifen
für die
Leistungsregelschaltung darstellen. Die Ausführungen wenden die gleichen
Stromregulierungsschritte an, obgleich andere Ausführungen auch
andere Lösungen
für die
Stromregulierung einsetzen können.
Im Block 100 wird der Eingangsstromwert auf einen Anfangswert
eingestellt, um eine bestimmte Ausgangsleistung entsprechend der
gewünschten
Intensität
der UV-Lichtausgangsleistung zu erzielen. Der Anfangswert wird durch
die Bedienungsperson des UV-Lampensystems auf der Basis einer Proportionalbeziehung
zwischen dem Eingangsstrom und der Ausgangsleistung gewählt. Eingangsströme werden
gewählt,
um anfängliche
Ausgangsleistungen, zum Beispiel etwa 35% bis 100% Ausgangsleistung
zu erzielen.
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Ein
Zeitgeber für
die zweite Regelschleife der Leistungsregelung wird im Block 102 eingestellt, und
wenn der Zeitgeber noch nicht abgelaufen ist (NEIN-Zweig im Entscheidungsblock 104),
wird der tatsächliche
Strom im Block 106 durch einen Stromsensor gemessen. Der
Strom wird dann, zum Beispiel durch einen Stromregulierungsalgorithmus,
im Block 108 reguliert, wie allgemein bekannt. Jedes beliebige
Verfahren oder jede beliebige Hardwarelösung kann benutzt werden, wenn
sie kompatibel mit dem UV-Lampensystem
ist und eine Stromquelle darstellt, die dem Magnetron einen im Wesentlichen konstanten
Strom zuführt.
Die Schleife fährt
fort, den Eingangsstrom zum Magnetron zu regulieren, bis der Zeitgeber
für die
Leistungsregulierung abgelaufen ist (JA-Zweig im Entscheidungsblock 104).
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Die
Zeit zum Abschluss der ersten Regelschleife kann im Bereich von
4 bis 5 ms liegen, um den Strom insoweit ausreichend zu regulieren,
dass eine nahezu konstante Stromquelle zur Verfügung steht. Diese Regelschleife
kann mehrere Male vor der zweiten Regelschleife wirksam sein. Der
Zeitgeber der zweiten Schleife wird eingestellt, um die zweite Regelschleife
zum Beispiel alle 5 bis 10 Sekunden zu starten. In einigen Ausführungen
kann die Eingangsleistung mehr oder weniger häufig reguliert werden. Da bekannt
ist, dass sich die Leistung nach etwa 5 bis 10 Minuten Betrieb stabilisiert,
kann der Zeitgeber variable Zeitgrenzen haben, um die zweite Regelschleife
während
der Auf wärmperiode
häufiger und
während
des kontinuierlichen Betriebs weniger häufig zu starten.
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In
der Ausführung
nach 3 beginnt die zweite Regelschleife mit dem Messen
der Spannung an zum Beispiel einem Spannungsteiler in der Hochspannungs-Brückenanordnung,
wie oben besprochen, und des Stroms vom Stromsensor (gemessen im
Block 106) in der ersten Regelschleife 110. In
alternativen Ausführungen
kann der Strom auch von der Brückenanordnung
zugeführt
werden. Die tatsächliche
Leistung wird aus der Spannung und dem Eingangsstrom im Block 112 berechnet.
Ein Leistungsfehler wird dann im Block 114 berechnet durch Subtrahieren
der tatsächlichen
Leistung von der eingestellten Leistung. In anderen Ausführungen
können
andere Verfahren benutzt werden, um einen Fehler oder eine Abweichung
zwischen der eingestellten Leistung und der tatsächlich gemessenen Leistung
zu bestimmen. Ist die Differenz zwischen der eingestellten Leistung
und der tatsächlichen
Leistung nahezu Null, so dass kein Fehler angezeigt wird (JA-Zweig
im Entscheidungsblock 116), dann können Justierungen am Eingangsstrom überflüssig sein
und ein neuer Wert des Zeitgebers der zweiten Regelschleife wird
im Block 102 eingestellt. Hat die Berechnung jedoch einen
Fehler ergeben (NEIN-Zweig im Entscheidungsblock 116),
dann wird an dem Eingangsstrom im Block 118 eine Justierung
vorgenommen entsprechend der folgenden Gleichung: Eingangsstrom
= Eingangsstrom + (Verstärkung × Leistungsfehler)wobei
die Verstärkung
empirisch abgeleitet wird. In einigen Ausführungen kann der justierte
Eingangsstrom dann im Block 120 begrenzt werden, wenn der Wert
die eingestellten Stromgrenzen überschreitet. Nachdem
der Strom justiert worden ist, wird im Zeitgeber der zweiten Regelschleife
ein neuer Wert im Block 102 eingestellt, und die erste
Regelschleife fährt
fort, den neu justierten Eingangswert zu regulieren, bis der nächste Zeitablauf
auftritt.
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Eine
andere Ausführung
der zweiten Regelschleife, dargestellt in 4, benutzt
einen anderen Weg, den Eingangsstrom zu justieren. Ähnlich wie
in der Ausführung
nach 3 werden Spannung und Strom im Block 140 gemessen,
und die tatsächliche Leistung
wird im Block 142 aus der Spannung und dem Strom berechnet.
Ebenfalls wird ähnlich
zu der obigen Ausführung
ein Leistungsfehler im Block 144 berechnet. Ist die Differenz
zwischen der eingestellten Leistung und der tatsächlichen Leistung nahezu Null,
so dass kein Fehler angezeigt wird (JA-Zweig im Entscheidungsblock 146),
dann sind am Eingangsstrom keine Justierungen notwendig und ein
neuer Wert des Zeitgebers der zweiten Regelschleife wird im Block 132 eingestellt.
Hat die Berechnung jedoch einen Leis tungsfehler ergeben (NEIN-Zweig
im Entscheidungsblock 146), dann wird an dem Eingangsstrom
eine Justierung vorgenommen. Wie oben beschrieben, ist der Eingangsstrom
zum Magnetron etwa linear proportional zur Ausgangsleistung des Magnetrons.
Darüber
hinaus kann angenommen werden, dass der Wirkungsgrad der elektrodenlosen Plasmalampe über den
Arbeitsbereich der Ausgangsleistung des Lampensystems im Wesentlichen konstant
bleibt. Auf der Basis dieser beiden Datenpunkte kann das Verhältnis der
theoretischen Eingangsleistung zur tatsächlichen Eingangsleistung benutzt
werden, die Eingangswerte zum Berechnen des neuen Magnetroneingangsstroms
zu modifizieren. Deshalb wird in dieser Ausführung der Strom durch Multiplizieren
des Stromwertes mit einem Verhältnis
im Block 148 justiert, wobei das Verhältnis beträgt: Verhältnis =
vorheriges Verhältnis × eingestellte Leistungtatsächliche Leistung
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Das
Ansprechen der zweiten Regelschleife kann durch Benutzen des Verhältnisses
verbessert werden, indem ein Eingangsstrom für eine stabilisierte Eingangsleistung
in weniger Zyklen als mit anderen Verfahren erzeugt wird. Nachdem
der Eingangsstrom justiert wurde, kann ähnlich wie in der vorherigen
Ausführung
der zustierte Eingangsstrom dann im Block 150 begrenzt
werden, wenn der eingestellte Eingangsstrom die eingestellten Stromgrenzen überschreitet.
Nachdem der Strom justiert wurde, wird ein neuer Wert des Zeitgebers
der zweiten Schleife im Block 132 eingestellt und die erste
Regelschleife fährt
mit der Regulierung des neu justierten Eingangsstromes bis zum nächsten Zeitablauf
fort.
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Obwohl
die vorliegende Erfindung durch Beschreibung verschiedener Ausführungen
erläutert wurde
und obwohl diese Ausführungen
in erheblichen Details beschrieben wurden, ist es nicht die Absicht
der Anmelder, den Schutzumfang der beigefügten Ansprüche in irgendeiner Weise auf
solche Details zu beschränken.
Zusätzliche
Vorteile und Modifikationen werden dem Fachmann ohne Weiteres klar.
Die Erfindung in ihren breiteren Aspekten ist somit nicht auf die
spezifischen Details, auf die dargestellten Vorrichtungen und Verfahren
und auf die gezeigten und beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Deshalb
können
Abweichungen von solchen Details erfolgen, ohne sich von dem Geist
oder Schutzumfang des allgemeinen erfinderischen Konzeptes des Anmelders
zu entfernen.