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Die
Erfindung betrifft ein Projektionsobjektiv für die Lithographie.
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Ein
Projektionsobjektiv der vorstehend genannten Art wird im Rahmen
der lithographischen, insbesondere mikrolithographischen Herstellung
von Halbleitern verwendet, bei der ein mit einer Struktur versehenes Objekt,
das auch als Retikel bezeichnet wird, mittels des Projektionsobjektivs
auf einen Träger, der als Wafer bezeichnet wird, abgebildet
wird. Das mit der Struktur versehene Objekt ist in einer Objektebene
des Projektionsobjektivs angeordnet, und der Träger (Wafer)
ist in einer Bildebene des Projektionsobjektivs angeordnet. Der
Träger ist mit einer photosensitiven Schicht versehen,
bei deren Belichtung mittels Licht durch das Projektionsobjektiv
hindurch die Struktur des Objekts auf die photosensitive Schicht übertragen
wird. Nach Entwickeln der photosensitiven Schicht entsteht die gewünschte
Struktur auf dem Träger, wobei der Belichtungsvorgang unter
Umständen mehrfach wiederholt wird.
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Es
sind verschiedene Bauarten von Projektionsobjektiven bekannt, die
sich in drei Klassen einteilen lassen. Eine erste Klasse betrifft
dioptrische Bauarten, bei denen das Projektionsobjektiv nur refraktive
Elemente aufweist. Ein solches dioptrisches Projektionsobjektiv
ist aus
WO 2004/097911 bekannt.
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Eine
zweite Klasse von Projektionsobjektiven bilden die katoptrischen
Projektionsobjektive, die nur aus reflektiven Elementen aufgebaut
sind.
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Eine
dritte Klasse von Projektionsobjektiven sind die katadioptrischen
Projektionsobjektive, deren optische Anordnung optischer Elemente
sowohl refraktive als auch reflektive Elemente aufweist. Ein solches
katadioptrisches Projektionsobjektiv ist bspw. in Dokument
WO 2004/019128 A2 beschrieben.
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Die
vorliegende Erfindung betrifft unabhängig von der Zuordnung
des Projektionsobjektivs zu einer der vorstehend genannten drei
Klassen insbesondere solche Projektionsobjektive, die zwischen der
Objektebene und der Bildebene zumindest eine Zwischenbildebene aufweisen.
In der Zwischenbildebene wird ein Zwischenbild des in der Objektebene
angeordneten abzubildenden Objekts erzeugt.
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An
Projektionsobjektive werden allgemein hohe Anforderungen an ihre
Abbildungsqualität gestellt. Diese Anforderungen sind um
so höher, je kleiner die durch das Projektionsobjektiv
abzubildende Strukturen sind. Daher müssen Projektionsobjektive
so weit wie möglich frei von Abbildungsfehlern sein.
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Neben
den intrinsischen Abbildungsfehlern, die ein Projektionsobjektiv
herstellungsbedingt aufweisen kann, können Abbildungsfehler
vor allem während des Betriebs des Projektionsobjektivs
auftreten, die ihre Ursache überwiegend in einer Veränderung
der optischen Elemente durch das durch das Projektionsobjektiv hindurchtretende
Abbildungslicht haben. Die Erwärmung der optischen Elemente
des Projektionsobjektivs kann zu kurzzeitigen, reversiblen Abbildungsfehlern
führen, indem sich bspw. die Form und/oder die Materialeigenschaften
(Brechzahl usw.) der optischen Elemente verändern, oder
es können Lebensdauereffekte der optischen Elemente auftreten,
indem eine dauerhafte Lichteinwirkung die optischen Elemente, bspw.
deren Materialdichte, das heißt deren optische Eigenschaften,
irreversibel verändert (Kompaktifizierung, Verdünnung).
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Es
ist allgemein bekannt, dass Abbildungsfehler, die auf Grund der
Veränderung der optischen Elemente auftreten und deren
Abbildungseigenschaften reversibel oder irreversibel beeinträchtigen,
durch Austauschen zumindest eines optischen Elements in dem Projektionsobjektiv
zumindest teilweise korrigiert werden können.
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Sowohl
die intrinsischen als auch während des Betriebs auftretenden
Abbildungsfehler können verschiedene Feldverläufe
in der Bildebene des Projektionsobjektivs einnehmen. Dabei kann
zwischen feldkonstanten Abbildungsfehlern und feldabhängigen
Abbildungsfehlern unterschieden werden. Ziel ist es hier, mit möglichst
wenigen konstruktiven Maßnahmen während des Betriebs
des Projektionsobjektivs sowohl die feldkonstanten als auch die
feldabhängigen Abbildungsfehler angreifen zu können.
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Wenn
Maßnahmen zur Korrektur von Abbildungsfehlern an einem
solchen Projektionsobjektiv getroffen werden sollen, sollten diese
Maßnahmen in das ursprüngliche Design des Projektionsobjektivs
möglichst nicht oder nur wenig eingreifen.
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Es
ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Projektionsobjektiv
anzugeben, bei dem mit geringem konstruktiven Aufwand Maßnahmen
zur Korrektur von Abbildungsfehlern sowohl mit feldkonstantem Verlauf
als auch mit feldabhängigem Verlauf möglich sind.
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Erfindungsgemäß wird
diese Aufgabe durch ein Projektionsobjektiv einer lithographischen
Projektionsbelichtungsanlage gelöst, mit einer optischen
Anordnung optischer Elemente zwischen einer Objektebene und einer
Bildebene, wobei die Anordnung zumindest eine Zwischenbildebene
aufweist, wobei die Anordnung weiterhin zumindest zwei Korrekturelemente
zur Korrektur von Abbildungsfehlern aufweist, von denen ein erstes
Korrekturelement optisch zumindest in Nähe einer Pupillenebene
und ein zweites Korrekturelement in einem Bereich angeordnet ist,
der weder einer Pupillenebene noch einer Feldebene optisch nahe
ist.
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Bei
dem erfindungsgemäßen Projektionsobjektiv, dessen
optische Anordnung optischer Elemente zwischen der Objektebene und
der Bildebene zumindest eine Zwischenbildebene aufweist, sind als
Maßnahmen zur Korrektur von Abbildungsfehlern zumindest
zwei, vorzugsweise genau zwei oder drei Korrekturelemente zur Korrektur
von Abbildungsfehlern vorgesehen, die erfindungsgemäß an
bestimmten Positionen des Projektionsobjektivs angeordnet sind.
Das erste Korrekturelement ist dabei optisch zumindest in Nähe
einer Pupillenebene angeordnet. Darunter ist auch zu verstehen,
dass das erste Korrekturelement auch genau in einer Pupillenebene
des Projektionsobjektivs angeordnet sein kann. Da die optische Wirkung
eines optischen Elements in einer Pupillenebene in der Bildebene
des Projektionsobjektivs einen näherungsweise feldkonstanten Verlauf
zeigt, können mit dem ersten Korrekturelement Abbildungsfehler
mit einem feldkonstanten Verlauf korrigiert werden.
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Das
zweite Korrekturelement ist dagegen in einem Zwischenbereich angeordnet,
das heißt einem Bereich, der weder einer Pupillenebene
noch einer Feldebene optisch nahe ist. Ein optisches Element, das
in einem solchen Zwischenbereich zwischen Pupille und Feld angeordnet
ist, zeigt auf den Verlauf des Bildes in der Bildebene eine optische
Wirkung, die sowohl feldkonstante als auch feldabhängige
Anteile aufweist. Mit dem zweiten Korrekturelement können
somit Abbildungsfehler angegriffen werden, die einen zumindest auch feldabhängigen
Verlauf aufweisen.
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Unter
einer Feldebene ist hier neben der zumindest einen Zwischenbildebene
auch die Objektebene und die Bildebene zu verstehen. Ein erfindungsgemäßes
Projektionsobjektiv weist somit zumindest drei Feldebenen auf.
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Unter
dem Begriff „optisch nahe" ist zu verstehen, dass es bei
der Position des ersten bzw. zweiten Korrekturelements nicht auf
die räumliche Position in Bezug auf die Pupillenebene bzw.
auf die Feldebene ankommt, sondern auf die optische Wirkung dieser
Position. Eine „optisch nahe" Position ist somit nicht
durch den räumlichen Abstand dieser Position von der Pupillenebene
oder der Feldebene festgelegt, sondern es kommt lediglich auf die
optische Wirkung an, die ein an dieser Position angeordnetes optisches
Element auf die Abbildung in die Bildebene besitzt.
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In
einer bevorzugten Ausgestaltung ist die Position des ersten Korrekturelements
so gewählt, dass ein Verhältnis aus Hauptstrahlhöhe
zu Randstrahlhöhe an dieser Position dem Betrage nach kleiner
als 1/n ist, wobei n ≥ 5, vorzugsweise ≥ 10, weiter
vorzugsweise ≥ 20 ist.
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Unter
Hauptstrahlhöhe wird die Strahlhöhe des Hauptstrahles
eines Feldpunktes der Objektebene mit betragsmäßig
maximaler Feldhöhe verstanden. Unter Randstrahlhöhe
wird die Strahlhöhe eines Strahles mit maximaler Apertur
ausgehend von der Feldmitte der Objektebene verstanden. Das Verhältnis
aus Hauptstrahlhöhe zu Randstrahlhöhe an einer
bestimmten Position im Strahlengang des Projektionsobjektivs ist
ein Kriterium, nach dem bestimmt werden kann, ob sich diese Position
optisch in Nähe einer Pupillenebene oder optisch in Nähe
einer Feldebene befindet. Unmittelbar in einer Pupillenebene ist
dieses Verhältnis Null und in einer Feldebene sehr viel
größer als 1, zumindest größer
als 10. Sofern es das ursprüngliche Design des Projektionsobjektivs,
an dem die erfindungsgemäßen Korrekturmaßnahmen
vorgesehen werden sollen, es nicht erlaubt, das erste Korrekturelement
unmittelbar in einer Pupillenebene anzuordnen, wird bei der vorliegenden Ausgestaltung
eine Position gesucht, an der das Verhältnis aus Hauptstrahlhöhe
zu Randstrahlhöhe kleiner als 1/5 ist.
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In
einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung ist die Position des zweiten
Korrekturelements so gewählt, dass ein Verhältnis
aus Hauptstrahlhöhe zu Randstrahlhöhe an dieser
Position dem Betrage nach größer als 1/m, jedoch
kleiner als p/10 ist, wobei 5 ≤ m ≤ 20 und p ≤ 20.
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Mit
einer solchen Wahl der Position des zweiten Korrekturelements wird
vorteilhafterweise gewährleistet, dass sich das zweite
Korrekturelement weder einer Pupillenebene noch einer Feldebene
optisch nahe befindet.
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In
bevorzugten Ausgestaltungen des Projektionsobjektivs ist im Fall,
dass die Anordnung optischer Element in Lichtausbreitungsrichtung
gesehen eine erste Baugruppe, die die Objektebene über
eine erste Pupillenebene in die Zwischenbildebene abbildet, und
eine zweite Baugruppe aufweist, die die Zwischenbildebene über
eine zweite Pupillenebene in die Bildebene abbildet, das erste Korrekturelement
optisch zumindest in Nähe der zweiten Pupillenebene und
das zweite Korrekturelement nach der Zwischenbildebene und vor der zweiten
Pupillenebene angeordnet und weder der Zwischenbildebene noch der
zweiten Pupillenebene optisch nahe.
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In
einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung ist im Fall, dass die Anordnung
optischer Elemente in Lichtausbreitungsrichtung gesehen eine erste
Baugruppe, die die Objektebene über eine erste Pupillenebene in
die Zwischenbildebene abbildet und eine zweite Baugruppe aufweist,
die das Zwischenbild über eine zweite Pupillenebene in
die Bildebene abbildet, das erste Korrekturelement optisch zumindest
in Nähe der zweiten Pupillenebene angeordnet und das zweite
Korrekturelement vor der ersten Pupillenebene angeordnet und weder
zur Objektebene noch zur ersten Pupillenebene optisch nahe.
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In
einer noch weiteren bevorzugten Ausgestaltung des Projektionsobjektivs
ist im Falle, dass die Anordnung optischer Elemente in Lichtausbreitungsrichtung
gesehen eine erste Baugruppe, die die Objektebene über
eine erste Pupillenebene in eine erste Zwischenbildebene abbildet,
eine zweite Baugruppe, die die erste Zwischenbildebene über
eine zweite Pupillenebene in eine zweite Zwischenbildebene abbildet,
und eine dritte Baugruppe aufweist, die die zweite Zwischenbildebene über
eine dritte Pupillenebene in die Bildebene abbildet, das erste Korrekturelement
optisch zumindest in Nähe der ersten Pupillenebene und
das zweite Korrekturelement zwischen der ersten Pupillenebene und
der ersten Zwischenbildebene angeordnet und weder zu der ersten
Pupillenebene noch zu der ersten Zwischenbildebene optisch nahe.
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In
einer noch weiteren bevorzugten Ausgestaltung des Projektionsobjektivs
ist im Fall, dass die Anordnung optischer Elemente in Lichtausbreitungsrichtung
gesehen eine erste Baugruppe, die die Objektebene über
eine erste Pupillenebene in eine Zwischenbildebene abbildet, eine
zweite Baugruppe, die die erste Zwischenbildebene über
eine zweite Pupillenebene in eine zweite Zwischenbildebene abbildet,
und eine dritte Baugruppe aufweist, die die zweite Zwischenbildebene über
eine dritte Pupillenebene in die Bildebene abbildet, das erste Korrekturelement
optisch zumindest in Nähe der ersten Pupillenebene und
das zweite Korrekturelement zwischen der Objektebene und der ersten
Pupillenebene angeordnet und weder zur Objektebene noch zur ersten
Pupillenebene optisch nahe.
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Im
Rahmen der zuvor genannten Ausgestaltung des Projektionsobjektivs
kann zusätzlich ein drittes Korrekturelement optisch zumindest
in Nähe der dritten Pupillenebene angeordnet sein.
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In
einer noch weiteren bevorzugten Ausgestaltung des Projektionsobjektivs
ist im Fall, dass die Anordnung optischer Elemente in Lichtausbreitungsrichtung
gesehen eine erste Baugruppe, die die Objektebene über
eine erste Pupillenebene in eine erste Zwischenbildebene abbildet,
eine zweite Baugruppe, die die erste Zwischenbildebene über
eine zweite Pupillenebene in eine zweite Zwischenbildebene abbildet,
und eine dritte Baugruppe aufweist, die die zweite Zwischenbildebene über
eine dritte Pupillenebene in die Bildebene abbildet, das erste Korrekturelement
optisch zumindest in Nähe der dritten Pupillenebene und
das zweite Korrekturelement zwischen der Objektebene und der ersten
Pupillenebene angeordnet und weder zur Objektebene noch zur ersten
Pupillenebene optisch nahe.
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In
einer noch weiteren bevorzugten Ausgestaltung des Projektionsobjektivs
ist im Fall, dass die Anordnung optischer Elemente in Lichtausbreitungsrichtung
gesehen eine erste Baugruppe, die die Objektebene über
eine erste Pupillenebene in die Zwischenbildebene abbildet, und
eine zweite Baugruppe aufweist, die die Zwischenbildebene in die
Bildebene abbildet, das erste Korrekturelement optisch zumindest
in Nähe der zweiten Pupillenebene und das zweite Korrekturelement
zwischen der Objektebene und der ersten Pupillenebene angeordnet
und weder der Objektebene noch der ersten Pupillenebene optisch
nahe.
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Wie
bereits oben erwähnt, ist es besonders bevorzugt, wenn
die Anordnung genau zwei Korrekturelemente oder drei Korrekturelemente
aufweist.
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Der
Vorteil hierbei besteht darin, dass der Gesamtaufwand für
die Korrekturmaßnahmen gering gehalten wird und dennoch
ein hohes Korrekturpotenzial zur Korrektur feldkonstanter und feldabhängiger
Abbildungsfehler vorhanden ist.
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In
einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung ist zumindest eines der
Korrekturelemente während des Betriebs des Projektionsobjektivs
austauschbar.
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Hierbei
ist von Vorteil, dass während des Betriebs des Projektionsobjektivs
auf sich während des Betriebs einstellende Abbildungsfehler
rasch reagiert werden kann, insbesondere wenn eine Mehrzahl erster
Korrekturelemente und eine Mehrzahl zweiter Korrekturelemente bereitgehalten
werden, die je nach auftretendem Abbildungsfehler rasch, bspw. über
einen Schnellwechsler, gegeneinander ausgetauscht werden können.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Ausgestaltung ist zumindest eines der Korrekturelemente
eine Planplatte. Vorzugsweise sind beide Korrekturelemente Planplatten.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Ausgestaltung weist zumindest eines der Korrekturelemente
eine Asphärisierung auf, wobei beide Korrekturelemente
eine Asphärisierung aufweisen können.
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Zumindest
eines der Korrekturelemente ist vorzugsweise aktiv verformbar, wobei
in diesem Fall die Korrektur eines oder mehrerer Abbildungsfehler
durch Verformung des Korrekturelements während des Betriebs
des Projektionsobjektivs erfolgt.
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In
einer noch weiteren bevorzugten Ausgestaltung ist zumindest eines
der Korrekturelemente thermisch manipulierbar.
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Hierunter
ist zu verstehen, dass das thermisch manipulierbare Korrekturelement
mit einer Wärmequelle/Wärmesenke verbunden ist, über
die das Korrekturelement erwärmt oder gekühlt
werden kann, um dadurch die optische Wirkung des Korrekturelements
zur Kompensation eines oder mehrerer Abbildungsfehler geeignet einzustellen.
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In
einer weiter bevorzugten Ausgestaltung ist zumindest eines der Korrekturelemente
lageverstellbar.
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Die
Lageverstellung kann je nach Anforderung an das Korrekturpotenzial
auf eine Verschiebung oder eine Drehung bzw. Verkippung beschränkt
sein oder alle möglichen Freiheitsgrade der Translation
und Rotation bzw. Verkippung umfassen.
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Weitere
Vorteile und Merkmale ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung
und der beigefügten Zeichnung.
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Es
versteht sich, dass die vorstehend genannten und nachstehend noch
zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen
Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung
verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
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Ausführungsbeispiele
der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in Bezug
auf diese hiernach näher beschrieben. Es zeigen:
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1 ein
ersten Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
Projektionsobjektivs;
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2 ein
weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
Projektionsobjektivs;
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3 ein
noch weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
Projektionsobjektivs;
-
4 ein
noch weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
Projektionsobjektivs;
-
5 ein
noch weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
Projektionsobjektivs;
-
6 ein
noch weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
Projektionsobjektivs; und
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7 ein
noch weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
Projektionsobjektivs.
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In 1 ist
ein mit dem allgemeinen Bezugszeichen 10 versehenes Projektionsobjektiv
dargestellt, das für die lithographische Herstellung von
Bauelementen verwendet wird.
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Das
Projektionsobjektiv 10 weist eine optische Anordnung 12 einer
Mehrzahl optischer Elemente zwischen einer Objektebene O und einer
Bildebene B auf. Die optische Anordnung 12 weist weiterhin
eine Zwischenbildebene Z auf.
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Die
optische Anordnung 12 des Projektionsobjektivs 10 lässt
sich in Lichtausbreitungsrichtung von der Objektebene O zur Bildebene
B gesehen in zwei Baugruppen unterteilen, und zwar eine erste Baugruppe
G1 und eine zweite Baugruppe G2.
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Die
erste Baugruppe G1 bildet die Objektebene
O bzw. ein in dieser angeordnetes Objekt über eine erste
Pupillenebene P1 in die Zwischenbildebene
Z ab. Die erste Baugruppe ist katadioptrisch. Sie weist drei Linsen
und zwei Spiegel M1 und M2 auf.
Die Pupillenebene P1 befindet sich etwa
an der Position des Spiegels M1.
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Die
zweite Baugruppe G2 ist dioptisch und bildet
das Zwischenbild Z über eine zweite Pupillenebene P2 in die Bildebene B ab. Die zweite Baugruppe
weist eine Mehrzahl an Linsen auf.
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Das
Projektionsobjektiv 10, das eine Zwischenbildebene Z aufweist,
weist entsprechend drei Feldebenen auf, und zwar die Feldebene F1, die durch die Objektebene gebildet wird,
die Feldebene F2, die durch die Zwischenbildebene
Z gebildet wird, und die Feldebene F3, die
durch die Bildebene B gebildet wird.
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Zur
Korrektur von Abbildungsfehlern weist die Anordnung 12 zwei
Korrekturelemente K1 und K2 auf.
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Das
erste Korrekturelement K1 ist optisch nahe
zur zweiten Pupillenebene P angeordnet. Dabei befindet sich das
erste Korrekturelement K1 nahezu in der
Pupillenebene P2. Das Verhältnis
aus Hauptstrahlhöhe zur Randstrahlhöhe ist an
der Position des Korrekturelements K1 nahezu
null.
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Das
zweite Korrekturelement K2 ist in Lichtausbreitungsrichtung
gesehen hinter der Zwischenbildebene und vor der zweiten Pupillenebene
angeordnet, und zu keiner dieser beiden Ebenen optisch nahe. Das
Verhältnis aus Hauptstrahlhöhe zu Randstrahlhöhe
an der Position des Korrekturelements K2 ist
einerseits deutlich von Null verschieden, jedoch andererseits nicht
wesentlich größer als Eins.
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Die
optischen Daten des Projektionsobjektivs
10 sind in der
Tabelle 1 zusammengestellt. Der Grundaufbau des Projektionsobjektivs
ohne Korrekturelemente ist ferner in
US 2006/0256447 A1 beschrieben,
auf die wegen weiterer Einzelheiten verwiesen wird.
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In 2 ist
ein mit dem allgemeinen Bezugszeichen 20 versehenes Projektionsobjektiv
dargestellt.
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Das
Projektionsobjektiv 20 weist zwischen einer Objektebene
O und einer Bildebene B eine optische Anordnung 22 mit
einer Mehrzahl optischer Elemente auf. Das Projektionsobjektiv 20 weist
eine Zwischenbildebene Z auf.
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Die
Anordnung 22 lässt sich wie bei dem Ausführungsbeispiel
in 1 in zwei Baugruppen unterteilen. Eine erste Baugruppe
G1, die katadioptrisch ist, bildet die Objektebene
O über eine erste Pupillenebene P1 in die
Zwischenbildebene Z ab. Die erste Baugruppe G1 umfasst
zwei Spiegel M1 und M2.
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Eine
zweite Baugruppe G2 bildet das Zwischenbild
Z über eine zweite Pupillenebene P2 in
die Bildebene B ab. Die zweite Baugruppe G2 weist
die beiden Spiegel M3 und M4 und
eine Mehrzahl von Linsen auf und ist somit katadioptrisch.
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Zur
Korrektur von Abbildungsfehlern weist die Anordnung 22 zwei
Korrekturelemente auf, und zwar ein erstes Korrekturelement K1, das optisch nahe zur zweiten Pupillenebene
P2 angeordnet ist, und zwar an einer Position,
an der ein ausreichender Zwischenraum zwischen zwei benachbarten
Linsen vorhanden ist.
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Ein
zweites Korrekturelement K2 ist zwischen
der Objektebene O und der ersten Pupillenebene P1 angeordnet,
wobei die Position des Korrekturelements K2 so
gewählt ist, dass es weder zur Pupillenebene P1 noch
zur Objektebene O optisch nahe ist.
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Während
das Verhältnis aus Hauptstrahlhöhe zu Randstrahlhöhe
an der Position des Korrekturelements K1 nahe
bei Null liegt, liegt dieses Verhältnis an der Position
des Korrekturelements K2 etwa zwischen 0,5
und 2.
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Die
optischen Daten des Projektionsobjektivs
20 sind in Tabelle
2 zusammengestellt. Der Grundaufbau des Projektionsobjektivs
20 ohne
Korrekturelemente ist ferner in
US 2006/0256447 A1 beschrieben, auf die wegen
weiterer Einzelheiten verwiesen wird.
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3 zeigt
ein weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
Projektionsobjektivs 30.
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Das
Projektionsobjektiv 30 weist zwischen einer Objektebene
O und einer Bildebene B eine optische Anordnung 32 aus
einer Mehrzahl optischer Elemente auf. Die optischen Elemente umfassen
Linsen und Spiegel.
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Das
Projektionsobjektiv 30 weist insgesamt zwei Zwischenbildebenen
Z1 und Z2 auf.
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Die
optische Anordnung 32 lässt sich insgesamt in
drei Baugruppen G1, G2 und
G3 einteilen.
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Die
erste Baugruppe G1 bildet die Objektebene
O über eine erste Pupillenebene P1 in
die erste Zwischenbildebene Z1 ab. Die erste
Baugruppe G1 ist dioptrisch, das heißt,
sie besteht nur aus refraktiven Elementen, hier Linsen.
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Die
zweite Baugruppe G2 ist katoptrisch, das
heißt, besteht nur aus Spiegeln, und zwar den Spiegeln M1 und M2. Die zweite
Baugruppe G2 bildet die Zwischenbildebene
Z1 über eine zweite Pupillenebene
P2 in die zweite Zwischenbildebene Z2 ab.
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Die
dritte Baugruppe G3 ist wieder dioptrisch,
das heißt, besteht nur aus refraktiven Elementen und bildet
die Zwischenbildebene Z2 in die Bildebene
B ab.
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Das
Projektionsobjektiv 30 weist entsprechend insgesamt vier
Feldebenen F1 bis F4 auf.
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Die
Anordnung 32 weist weiterhin ein erstes Korrekturelement
K1 und ein zweites Korrekturelement K2 auf.
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Das
erste Korrekturelement K1 befindet sich
der ersten Pupillenebene P1 optisch nahe.
Das zweite Korrekturelement K2 befindet
sich zwischen der ersten Pupillenebene P1 und
der ersten Zwischenbildebene Z1, ist jedoch
weder zur ersten Pupillenebene P1 noch zur
ersten Zwischenbildebene Z1 optisch nahe.
Dies ergibt sich daraus, dass an der Position des Korrekturelements
K2 das Verhältnis aus Hauptstrahlhöhe
zu Randstrahlhöhe zwar kleiner als 1, aber deutlich größer
als 0 ist, und etwa bei 0,5 liegt.
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Die
optischen Daten des Projektionsobjektivs
30 sind in Tabelle
3 zusammengestellt. Das Projektionsobjektiv
30 ohne Korrekturelemente
ist ferner in
WO
2006/055471 A1 beschrieben, auf die wegen weiterer Einzelheiten
verwiesen wird.
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Wegen
des Designs des Projektionsobjektivs 30 bietet sich die
dritte Pupillenebene P3 bzw. der Bereich
um die Pupillenebene P3 nicht zur Anordnung
eines Korrekturelements an, da der Abstand zwischen benachbarten
Linsen in diesem Bereich zu klein ist.
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4 zeigt
ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Projektionsobjektivs 40,
das eine optische Anordnung 42 aus einer Mehrzahl optischer
Elemente, die Linsen und Spiegel umfassen, zwischen einer Objektebene
O und einer Bildebene B aufweist.
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Das
Projektionsobjektiv 40 weist wie das Projektionsobjektiv 30 zwei
Zwischenbildebenen Z1 und Z2 auf.
Des Weiteren weist das Projektionsobjektiv 40 vier Feldebenen
F1 bis F4 auf.
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Die
optische Anordnung 42 lässt sich in Lichtausbreitungsrichtung
gesehen in die Baugruppen G1, G2 und
G3 einteilen.
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Die
erste Baugruppe G1 bildet die Objektebene
O über eine erste Pupillenebene P1 in
die erste Zwischenbildebene Z1 ab. Die erste
Baugruppe G1 ist katadioptrisch und weist
einen Spiegel M1 auf.
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Die
zweite Baugruppe G2 bildet die erste Zwischenbildebene
Z1 über eine zweite Pupillenebene
P2, die sich an der Position eines Spiegels
M2 befindet, in die zweite Zwischenbildebene
Z2 ab. Die zweite Baugruppe G2 ist
ebenfalls katadioptrisch. Die dritte Baugruppe G3 bildet
die zweite Zwischenbildebene Z2 über
eine dritte Pupillenebene P3 in die Bildebene
B ab. Die dritte Baugruppe G3 weist einen
Spiegel M3 und eine Mehrzahl an Linsen auf
und ist somit katadioptrisch.
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Die
Anordnung 42 weist zwei Korrekturelemente K1 und
K2 auf. Das Korrekturelement K1 ist
in der ersten Pupillenebene P1 angeordnet,
und zwar in dem gezeigten Ausführungsbeispiel sogar exakt
in der ersten Pupillenebene P1 zwischen
zwei gegenüberliegenden konkaven Linsenoberflächen.
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Das
zweite Korrekturelement K2 befindet sich
zwischen der Objektebene O und der ersten Pupillenebene P1, ist aber weder zur Objektebene O noch
zur ersten Pupillenebene P1 optisch nahe.
Das Verhältnis aus Hauptstrahlhöhe zu Randstrahlhöhe
liegt an der Position des zweiten Korrekturelements K2 nahe
1.
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Das
Projektionsobjektiv 40 würde es auf Grund seines
Designs auch zulassen, das erste Korrekturelement K1 etwa
in der dritten Pupillenebene P3 anzuordnen,
da sich zwischen den beiden Linsen, die beidseits der Pupillenebene
P3 angeordnet sind, ein wenn auch geringer
Zwischenraum befindet. Diese Situation ist in 5 dargestellt.
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Die
optischen Daten des Projektionsobjektivs 40 gemäß 4 sind
in Tabelle 4 zusammengestellt, während die optischen Daten
des Projektionsobjektivs 40 gemäß 5 mit
der entsprechenden anderen Position des ersten Korrekturelements
K1 in Tabelle 5 zusammengestellt sind.
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Das
Projektionsobjektiv
40 gemäß
4 und
5,
jedoch ohne Korrekturelemente, ist ferner in
WO 2004/019128 beschrieben, worauf
wegen weiterer Einzelheiten verwiesen wird.
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6 zeigt
ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Projektionsobjektivs 50,
das im Unterschied zu den zuvor beschriebenen Projektionsobjektiven
insgesamt dioptrisch ist, das heißt, nur aus refraktiven
Elementen aufgebaut ist.
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Das
Projektionsobjektiv 50 weist eine optische Anordnung 52 aus
einer Mehrzahl an optischen Elementen in Form von Linsen auf, die
zwischen einer Objektebene O und einer Bildebene B angeordnet sind.
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Die
Anordnung 52 weist ein Zwischenbild Z auf und lässt
sich in zwei Baugruppen G1 und G2 einteilen.
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Die
erste Baugruppe G1, die entsprechend dioptrisch
ist, bildet die Objektebene O über eine erste Pupillenebene
P1 in die Zwischenbildebene Z ab. Die zweite
Baugruppe G2, ebenfalls dioptrisch, bildet
die Zwischenbildebene Z über eine zweite Pupillenebene
P2 in die Zwischenbildebene B ab.
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Die
Anordnung 52 weist insgesamt zwei Korrekturelemente K1 und K2 auf.
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Das
erste Korrekturelement K1 ist zur zweiten
Pupillenebene P2 optisch nahe angeordnet.
Obwohl das erste Korrekturelement K1 räumlich
von der Pupillenebene P2 durch drei Linsen
beabstandet ist, ist das Korrekturelement K1 zur
Pupillenebene P2 optisch nahe, da das Verhältnis
aus Hauptstrahlhöhe zu Randstrahlhöhe an der Position
des Korrekturelements K1 nur geringfügig
von 0 verschieden ist, und zwar etwas kleiner als 1/10 ist.
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Das
zweite Korrekturelement K2 befindet sich
zwischen der Objektebene O und der ersten Pupillenebene P1, ist aber weder zur Objektebene O noch
zur Pupillenebene P1 optisch nahe. Das Verhältnis
aus Hauptstrahlhöhe zu Randstrahlhöhe ist an der
Position des Korrekturelements K2 nur geringfügig
größer als 1.
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Die
optischen Daten des Projektionsobjektivs
50 sind in Tabelle
6 zusammengestellt. Das Projektionsobjektiv
50 ohne Korrekturelement
ist auch in
US
2006/0056064 A1 beschrieben, auf die ergänzend
verwiesen wird.
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In 7 ist
schließlich noch ein weiteres Ausführungsbeispiel
eines Projektionsobjektivs 40' mit einer optischen Anordnung 42' dargestellt.
Das in 7 gezeigte Projektionsobjektiv 40' ist
seinem Grundaufbau nach den Ausführungsbeispielen in 4 und 5 ähnlich,
so dass auf die dortige Beschreibung verwiesen werden kann.
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Im
Unterschied zu den Ausführungsbeispielen in 4 und 5 weist
die optische Anordnung 42' insgesamt drei Korrekturelemente
K1, K2 und K3 auf. Das erste Korrekturelement K1 befindet sich in der ersten Pupillenebene
P1 oder ist zu dieser zumindest optisch
nah, und das zweite Korrekturelement K2 befindet
sich zwischen de Objektebene O und der Pupillenebene P1 an
einer Position, die weder zur Objektebene O noch zur Pupillenebene
P1 optisch nahe ist.
-
Das
dritte Korrekturelement K3 befindet sich
optisch nahe der dritten Pupillenebene P3.
-
Die
optischen Daten des Projektionsobjektivs
40' sind in Tabelle
7 zusammengestellt. Der Grundaufbau des Projektionsobjektivs
40' ohne
Korrekturelemente ist in
WO 2006/121008 A1 beschrieben, auf die ergänzend
verwiesen wird.
-
Bei
allen zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen sind folgende
weiteren Maßnahmen vorgesehen.
-
Das
erste Korrekturelement K1 und/oder das zweite
Korrekturelement K2 und/oder das dritte
Korrekturelement K3 sind während
des Betriebs des Projektionsobjektivs 10, 20, 30, 40 oder 50 austauschbar. „Austauschbar"
in diesem Sinne heißt, dass die Korrekturelemente K1 und/oder K2 und/oder
K3 vorzugsweise über einen Wechslermechanismus
aus dem Lichtweg rasch heraus bzw. in den Lichtweg rasch hineingebracht
werden können. Es können auch für das
erste Korrekturelement K1 und/oder das zweite
Korrekturelement K2 (und/oder das dritte
Korrekturelement K3) eine Mehrzahl von Austauschkorrekturelementen
bereitgehalten werden, die dann mit anderen optischen Eigenschaften
ausgestaltet sind, um einen jeweils erfassten Abbildungsfehler am
besten korrigieren zu können.
-
Das
erste Korrekturelement K1 und/oder das zweite
Korrekturelement K2 bzw. das dritte Korrekturelement
K3 sind, wie in 1 bis 7 dargestellt,
vorzugsweise als Planplatten ausgebildet. Die Korrekturelemente
K1 und K2 bzw. K3 haben somit keine abbildende optische Wirkung,
sondern dienen lediglich zur Korrektur von Abbildungsfehlern. Außerdem
lassen sich Planplatten in ein bestehendes Objektivdesign wegen
ihres geringen Platzbedarfes besonders günstig mit geringen Änderungen
des Objektivdesigns nachträglich einfügen.
-
Die
Korrekturelemente K1 und/oder K2 und/oder
K3 können je nach zu erzielender
Korrekturwirkung mit einer Asphärisierung vorgesehen sein,
und/oder sie können als aktiv verformbare Elemente ausgebildet
sein, denen entsprechende Verformungsmanipulatoren zugeordnet sind,
und/oder sie können auch mit thermischen Manipulatoren
versehen sein, die die Korrekturelemente K1 und/oder
K2 und/oder K3 erwärmen
oder abkühlen, um die erwünschte optische Korrekturwirkung
in den Korrekturelementen K1 und/oder K2 und/oder K3 einzustellen.
Des Weiteren können die Korrekturelemente K1 und/oder
K2 und/oder K3 zur
Erzielung einer bestimmten optischen Korrekturwirkung lageverstellbar
ausgebildet sein, wobei den Korrekturelementen K1 und/oder K2 und/oder K3 entsprechende
Manipulatoren zur Lageverstellung zugeordnet sind. Die Lageverstellung
kann in Verschiebungen in Lichtausbreitungsrichtung, quer zur Lichtausbreitungsrichtung
oder in Überlagerungen dieser beiden Richtungen, in Drehungen,
Verkippungen usw. bestehen.
-
Das
erste Korrekturelement K
1, das stets in
Nähe einer Pupillenebene angeordnet ist, dient zur Korrektur
von feldkonstanten Abbildungsfehlern, während das Korrekturelement
K
2, das stets in einem Zwischenbereich zwischen
einer Feldebene und einer Pupillenebene angeordnet ist, zur Korrektur
von Abbildungsfehlern dient, die zumindest auch feldabhängige
Anteile aufweisen. Tabelle 1 NA: 1.2, Feld: A = 26 mm, B = 5.5, R =
11.5 mm, WL 193,368 nm
FLAECHE | RADIEN | | DICKEN | GLAESER | 193.368
nm | 1/2DURCHN |
0 | 0.0 | | 78.303613 | AIR | 1.00000000 | 68.000 |
1 | –394.191214 | | 41.739707 | SIO2 | 1.56078570 | 89.318 |
2 | –198.169616 | AS | 0.996922 | AIR | 1.00000000 | 97.224 |
3 | 446.404208 | | 56.197179 | SIO2 | 1.56078570 | 105.457 |
4 | –184.168849 | | 146.744728 | AIR | 1.00000000 | 105.917 |
5 | –160.246412 | AS | 14.998293 | CAF2 | 1.50185255 | 53.242 |
6 | –1617.196824 | | 15.111401 | AIR | 1.00000000 | 63.827 |
7 | –207.292891 | | –15.111401 | REFL | 1.00000000 | 67.705 |
8 | –1617.196824 | | –14.998293 | CAF2 | 1.50185255 | 67.674 |
9 | –160.246412 | AS | –131.745949 | AIR | 1.00000000 | 67.172 |
10 | –3715.402662 | AS | 176.854423 | REFL | 1.00000000 | 91.197 |
11 | –1112.237530 | | 60.308635 | SIO2 | 1.56078570 | 151.888 |
12 | –229.362794 | | 1.203111 | AIR | 1.00000000 | 155.623 |
13 | –3717.820612 | AS | 42.208898 | SIO2 | 1.56078570 | 163.490 |
14 | –347.352770 | | 3.017120 | AIR | 1.00000000 | 165.417 |
15 | 0.000000 | | 15.000000 | SIO2 | 1.56078570 | 165.592 |
16 | 0.000000 | | 3.026023 | AIR | 1.00000000 | 165.630 |
17 | 202.325441 | | 57.054809 | SIO2 | 1.56078570 | 165.979 |
18 | 364.549775 | AS | 112.911698 | AIR | 1.00000000 | 157.356 |
19 | 523.345363 | AS | 14.104445 | SI02 | 1.56078570 | 136.685 |
20 | 273.861634 | | 81.489838 | AIR | 1.00000000 | 129.939 |
21 | 155.304364 | | 65.231336 | SIO2 | 1.56078570 | 105.552 |
22 | 127.633723 | | 54.935139 | AIR | 1.00000000 | 80.523 |
23 | –227.097829 | AS | 13.016244 | SIO2 | 1.56078570 | 78.928 |
24 | 182.536777 | | 46.455888 | AIR | 1.00000000 | 84.166 |
25 | –207.182814 | | 61.528057 | SIO2 | 1.56078570 | 87.897 |
26 | –176.528856 | | 0.993891 | AIR | 1.00000000 | 110.784 |
27 | 865.127053 | AS | 12.999101 | SIO2 | 1.56078570 | 130.528 |
28 | 415.920005 | | 19.152224 | AIR | 1.00000000 | 136.921 |
29 | 1097.434748 | | 63.443284 | SIO2 | 1.56078570 | 140.520 |
30 | –336.168712 | | 0.998659 | AIR | 1.00000000 | 147.380 |
31 | 2299.996269 | | 35.799374 | SIO2 | 1.56078570 | 157.767 |
32 | –716.010845 | | 29.177622 | AIR | 1.00000000 | 159.443 |
33 | 451.524671 | | 46.260303 | SIO2 | 1.56078570 | 166.030 |
34 | –3021.353828 | | –2.567508 | AIR | 1.00000000 | 165.137 |
35 | 0.000000 | | 0.000000 | AIR | 1.00000000 | 164.803 |
36 | 0.000000 | | 23.628165 | AIR | 1.00000000 | 164.803 |
37 | 0.000000 | | 15.000000 | SIO2 | 1.56078570 | 163.773 |
38 | 0.000000 | | 1.001035 | AIR | 1.00000000 | 163.354 |
39 | 422.935081 | | 60.555463 | SIO2 | 1.56078570 | 161.905 |
40 | –852.100717 | | 0.999943 | AIR | 1.00000000 | 159.604 |
41 | 189.766568 | | 49.041357 | SIO2 | 1.56078570 | 131.068 |
42 | 708.548829 | AS | 0.999918 | AIR | 1.00000000 | 125.218 |
43 | 126.232399 | | 30.801444 | SIO2 | 1.56078570 | 97.429 |
44 | 170.774778 | AS | 0.997967 | AIR | 1.00000000 | 87.907 |
45 | 115.264122 | | 28.743458 | CAF2 | 1.50185255 | 79.319 |
46 | 172.796848 | AS | 0.989848 | AIR | 1.00000000 | 66.334 |
47 | 95.876561 | | 47.472181 | SIO2 | 1.56078570 | 57.697 |
48 | 0.000000 | | 0.000000 | IMM | 1.43667693 | 23.674 |
49 | 0.000000 | | 3.000000 | SIO2 | 1.56078570 | 23.674 |
50 | 0.000000 | | 1,996512 | IMM | 1.43667693 | 20.051 |
51 | 0.000000 | | 0.000000 | AIR | 0.00000000 | 17.000 |
ASPHAERISCHE
KONSTANTEN | | | | | |
| | | | | |
SRF | 2 | 5 | 9 | 10 | 13 |
K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
C1 | 1.392433e-09 | 1.801887e-08 | 1.801887e-08 | –1.280168e-09 | –1.440880e-10 |
C2 | –2.808823e-13 | 7.546535e-13 | 7.546535e-13 | –4.640590e-17 | –4.234605e-13 |
C3 | –1.371628e-18 | 2.174176e-17 | 2.174176e-17 | –8.894827e-18 | 4.084291e-18 |
C4 | 1.424663e-20 | 7.624607e-22 | 7.624607e-22 | 2.947352e-22 | 5.565576e-23 |
C5 | 6.348497e-26 | –1.141362e-25 | –1.141362e-25 | –1.966904e-26 | –3.040396e-27 |
C6 | 5.204122e-29 | 3.028426e-29 | 3.028426e-29 | –1.184645e-31 | 2.543798e-32 |
C7 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 |
C8 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 |
C9 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 |
| | | | | |
SRF | 18 | 19 | 23 | 27 | 42 |
K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
C1 | 2.672810e-08 | 2.775005e-08 | –1.669000e-07 | –1.217647e-08 | 9.547564e-09 |
C2 | –3.860076e-13 | –4.185969e-13 | –2.863948e-12 | 1.744126e-13 | 3.052025e-14 |
C3 | –4.016442e-19 | 1.241612e-17 | 5.822813e-17 | –4.293560e-18 | –1.353704e-17 |
C4 | 7.404508e-22 | 1.372267e-21 | –1.894875e-21 | 2.525946e-22 | 1.116101e-21 |
C5 | –2.355249e-26 | –5.426320e-26 | –6.837523e-25 | –7.956605e-27 | –3.620235e-26 |
C6 | 3.556112e-31 | 1.048616e-30 | 1.669138e-29 | 2.582110e-31 | 7.221257e-31 |
C7 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 |
C8 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 |
C9 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.0000000+00 |
| | | | | |
SRF | 44 | 46 | | | |
K | 0 | 0 | | | |
C1 | 7.852231e-10 | 8.538916e-08 | | | |
C2 | –7.474578e-14 | 3.992913e-12 | | | |
C3 | 1.525417e-16 | –7.180100e-16 | | | |
C4 | 8.737198e-21 | 3.099598e-22 | | | |
C5 | –1.853350e-25 | –9.334126e-24 | | | |
C6 | 2.659521e-29 | 1.130507e-27 | | | |
C7 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | | | |
C8 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | | | |
C9 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | | | |
Tabelle 2 NA: 1.3, Feld: A = 26 mm, B = 4, R = 14
mm, WL 193,368 nm
FLAECHE | RADIEN | | DICKEN | GLAESER | INDEX | 1/2
DURCHME |
0 | 0.0 | | 57.601464 | AIR | 1.00000000 | 72.000 |
1 | –119.598919 | AS | 40.752708 | SIO2 | 1.56078570 | 82.269 |
2 | –210.232462 | | 2.023855 | AIR | 1.00000000 | 101.057 |
3 | 215.685827 | | 66.865592 | SIO2 | 1.56078570 | 128.153 |
4 | –579.527028 | | 0.998419 | AIR | 1.00000000 | 127.473 |
5 | 0.000000 | | 15.000000 | SIO2 | 1.56078570 | 123.835 |
6 | 0.000000 | | 2.075403 | AIR | 1.00000000 | 121.571 |
7 | 1216.286957 | | 18.228954 | SIO2 | 1.56078570 | 119.661 |
8 | –869.049699 | AS | 210.065231 | AIR | 1.00000000 | 117.523 |
9 | –154.503018 | | 12.995617 | SIO2 | 1.56078570 | 80.708 |
10 | –558.821838 | | 16.017211 | AIR | 1.00000000 | 85.674 |
11 | –235.158769 | AS | –16.017211 | REFL | 1.00000000 | 87.766 |
12 | –558.821838 | | –12.995617 | SIO2 | 1.56078570 | 85.404 |
13 | –154.503018 | | –190.064030 | AIR | 1.00000000 | 76.527 |
14 | –830.589177 | AS | 486.673979 | REFL | 1.00000000 | 98.568 |
15 | –410.985202 | | –193.020300 | REFL | 1.00000000 | 273.647 |
16 | –437.290174 | | 113.125152 | REFL | 1.00000000 | 135.926 |
17 | 267.646367 | AS | 12.998513 | SIO2 | 1.56078570 | 95.142 |
18 | 109.319044 | | 71.810108 | AIR | 1.00000000 | 84.288 |
19 | –155.678245 | | 24.706124 | SIO2 | 1.56078570 | 85.404 |
20 | –543.272055 | | 4.335390 | AIR | 1.00000000 | 99.062 |
21 | 24445.217145 | | 13.950217 | SIO2 | 1.56078570 | 104.821 |
22 | 196.548934 | AS | 32.737178 | AIR | 1.00000000 | 116.137 |
23 | –1380.847087 | AS | 47.097422 | SIO2 | 1.56078570 | 124.268 |
24 | –312.879094 | AS | 12.293161 | AIR | 1.00000000 | 129.120 |
25 | 270.274855 | | 55.849255 | SIO2 | 1.56078570 | 162.524 |
26 | –38956.530667 | AS | 29.047600 | AIR | 1.00000000 | 161.278 |
27 | 309.940005 | AS | 62.710725 | SIO2 | 1.56078570 | 161.189 |
28 | –465.378574 | | 12.984279 | AIR | 1.00000000 | 161.962 |
29 | –423.245186 | | 17.908269 | SIO2 | 1.56078570 | 160.698 |
30 | –775.040675 | | 12.095938 | AIR | 1.00000000 | 162.998 |
31 | 0.000000 | | 15.000000 | SIO2 | 1.56078570 | 162.730 |
32 | 0.000000 | | 26.456480 | AIR | 1.00000000 | 162.643 |
33 | 0.000000 | | 0.000000 | AIR | 1.00000000 | 162.629 |
34 | 0.000000 | | –24.103637 | AIR | 1.00000000 | 162.629 |
35 | 469.264272 | | 28.933015 | SIO2 | 1.56078570 | 163.056 |
36 | 1247.953833 | | 1.106804 | AIR | 1.00000000 | 162.501 |
37 | 330.026166 | | 57.681933 | SIO2 | 1.56078570 | 162.159 |
38 | –3249.855106 | AS | 0.998349 | AIR | 1.00000000 | 160.138 |
39 | 154.864461 | | 61.102740 | SIO2 | 1.56078570 | 128.336 |
40 | 498.034349 | AS | 0.993535 | AIR | 1.00000000 | 121.162 |
41 | 100.640590 | | 44.902715 | SIO2 | 1.56078570 | 87.015 |
42 | 256.488347 | AS | 0.971666 | AIR | 1.00000000 | 74.934 |
43 | 84.324806 | | 47.078122 | SIO2 | 1.56078570 | 57.364 |
44 | 0.000000 | | 1.000000 | WATER | 1.43667693 | 20.148 |
45 | 0.000000 | | 0.000000 | AIR | 0.00000000 | 18.001 |
ASPHAERISCHE
KONSTANTEN | | | | | |
| | | | | |
SRF | 1 | 0 | 11 | 14 | 17 |
K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
C1 | 8.239862e-08 | 3.538306e-08 | –3.277327e-09 | –2.744235e-09 | –2.398764e-08 |
C2 | 2.337982e-12 | –4.151996e-13 | –1.091434e-13 | 1.866716e-13 | 1.254301e-12 |
C3 | 3.678382e-16 | 5.769308e-17 | –1.991536e-18 | –5.960771e-18 | 2.037512e-16 |
C4 | –2.223105e-20 | –2.411453e-21 | 2.984786e-24 | 3.073631e-22 | –4.065121e-20 |
C5 | 3.007844e-24 | 6.269400e-26 | –6.132545e-27 | –1.291587e-26 | 3.021671e-24 |
C6 | –6.701338e-29 | 4.859807e-31 | –3.611404e-32 | 2.791406e-31 | –8.808337e-29 |
C7 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 |
C8 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 |
C9 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 |
| | | | | |
SRF | 22 | 23 | 24 | 26 | 27 |
K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
C1 | –2.584292e-08 | 5.067971e-08 | –1.189020e-08 | 2.911874e-08 | –2.946438e-08 |
C2 | –7.177953e-13 | 4.809462e-13 | 5.053313e-13 | -4.562463e-13 | 4.758206e-18 |
C3 | –1.126960e-16 | –8.588772e-17 | –2.469630e-17 | 7.920650e-18 | –1.104714e-17 |
C4 | 1.096561e-20 | 1.523536e-23 | –7.975852e-23 | –2.806310e-22 | 7.483230e-23 |
C5 | –4.053220e-25 | 1.203472e-25 | –1.085094e-26 | 5.644206e-27 | –2.311461e-27 |
C6 | 4.947334e-30 | –1.922187e-30 | –8.830951e-31 | –7.020347e-32 | –4.536924e-32 |
C7 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 |
C8 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 |
C9 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 |
| | | | | |
SRF | 38 | 40 | 42 | | |
K | 0 | 0 | 0 | | |
C1 | 1.303063e+08 | –1.311818e-11 | 8.781384e-08 | | |
C2 | –8.717504e-13 | 1.825033e-12 | 9.514823e-12 | | |
C3 | 1.035440e-17 | –2.385113e-16 | –6.587823e-16 | | |
C4 | 9.879529e-23 | 1.880562e-20 | 4.013727e-20 | | |
C5 | –2.114495e-27 | –7.119989e-25 | 1.218883e-24 | | |
C6 | 1.566842e-33 | 1.177690e-29 | –6.344699e-28 | | |
C7 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | | |
C8 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | | |
C9 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | 0.000000e+00 | | |
| | | | | |
Tabelle 3 NA: 1.35; Feld: 26 mm × 5,5 mm;
WL 193,368 nm
FLAECHE | RADIEN | | DICKEN | GLAESER | 193.368
nm | 1/2 DURCHM |
0 | 0.000000 | | 30.000000 | | 1.00000000 | 63.500 |
1 | 155.500468 | | 47.980384 | SIO2 | 1.56018811 | 82.822 |
2 | –333.324258 | AS | 1.000851 | | 1.00000000 | 82.263 |
3 | 240.650949 | | 10.194017 | SIO2 | 1.56018811 | 79.900 |
4 | 106.801800 | | 20.365766 | | 1.00000000 | 74.667 |
5 | 124.630972 | | 34.680113 | SIO2 | 1.56018811 | 79.588 |
6 | 468.398192 | | 11.981603 | | 1.00000000 | 77.781 |
7 | 380.553803 | AS | 26.909838 | SIO2 | 1.56018811 | 77.238 |
8 | –171.820449 | | 19.336973 | | 1.00000000 | 77.050 |
9 | –3157.552773 | | 18.733166 | SIO2 | 1.56018811 | 63.691 |
10 | –201.010840 | AS | 2.828885 | | 1.00000000 | 61.535 |
11 | 0.000000 | | 10.000000 | SIO2 | 1.56018811 | 54.631 |
12 | 0.000000 | | 14.057031 | | 1.00000000 | 51.301 |
13 | –675.142412 | | 17.151908 | SIO2 | 1.56018811 | 45.967 |
14 | –177.431040 | | 17.484199 | | 1.00000000 | 49.621 |
15 | 0.000000 | | 10.000000 | SIO2 | 1.56018811 | 57.648 |
16 | 0.000000 | | 48.376949 | | 1.00000000 | 59.680 |
17 | –339.503853 | | 22.085648 | SIO2 | 1.56018811 | 72.901 |
18 | –153.734447 | | 9.426343 | | 1.00000000 | 75.785 |
19 | –133.551892 | | 10.000178 | SIO2 | 1.56018811 | 76.547 |
20 | –159.012061 | | 260.928174 | | 1.00000000 | 80.555 |
21 | –186.269426 | AS | –223.122910 | REFL | 1.00000000 | 159.966 |
22 | 171.856468 | AS | 290.241437 | REFL | 1.00000000 | 137.560 |
23 | 418.208640 | | 33.119326 | SIO2 | 1.56018811 | 109.835 |
24 | –764.923828 | | 24.991712 | | 1.00000000 | 109.215 |
25 | –933.573206 | | 23.101710 | SIO2 | 1.56018811 | 104.458 |
26 | 1486.991752 | AS | 3.727360 | | 1.00000000 | 103.086 |
27 | 264.108066 | | 15.536565 | SIO2 | 1.56018811 | 94.140 |
28 | 124.187755 | | 40.232391 | | 1.00000000 | 84.090 |
29 | –905.198558 | AS | 11.197639 | SIO2 | 1.56018811 | 83.893 |
30 | 131.424652 | | 22.232119 | | 1.00000000 | 82.631 |
31 | 288.907138 | AS | 18.371287 | SIO2 | 1.56018811 | 85.149 |
32 | 1443.815086 | | 26.039370 | | 1.00000000 | 87.978 |
33 | –219.723661 | | 10.212957 | SIO2 | 1.56018811 | 90.084 |
34 | –505.370348 | AS | 1.495833 | | 1.00000000 | 104.533 |
35 | 602.513212 | AS | 45.614756 | SIO2 | 1.56018811 | 113.361 |
36 | –381.370078 | | 0.999817 | | 1.00000000 | 124.374 |
37 | –3646.793540 | AS | 62.876806 | SIO2 | 1.56018811 | 133.446 |
38 | –186.442382 | | 0.999658 | | 1.00000000 | 138.789 |
39 | 803.321916 | AS | 47.355581 | SIO2 | 1.56018811 | 156.646 |
40 | –403.820101 | | 0.999375 | | 1.00000000 | 158.048 |
41 | 464.394742 | | 43.310049 | SIO2 | 1.56018811 | 156.920 |
42 | –28298.847889 | AS | 5.923544 | | 1.00000000 | 155.749 |
43 | 0.000000 | | –4.924437 | | 1.00000000 | 153.985 |
44 | 452.887984 | | 57.784133 | SIO2 | 1.56018811 | 151.449 |
45 | –566.954376 | AS | 1.000000 | | 1.00000000 | 149.326 |
46 | 114.038890 | | 60.833075 | SIO2 | 1.56018811 | 99.518 |
47 | 1045.400093 | AS | 1.000000 | | 1.00000000 | 90.060 |
48 | 61.105427 | | 43.354396 | SIO2 | 1.56018811 | 51.240 |
49 | 0.000000 | | 3.100000 | H2O | 1.43618227 | 24.415 |
50 | 0.000000 | | 0.000000 | H2O | 1.43618227 | 15.875 |
ASPHAERISCHE
KONSTANTEN | | | | | |
| | | | | |
FLAECHE | 2 | 7 | 10 | 21 | 22 |
| | | | | |
K | 0 | 0 | 0 | –2.1798 | –0.6806 |
C1 | 6.256157E-08 | –3.919709E-07 | –1.057407E-07 | –3.488371E-08 | 7.086654E-09 |
C2 | 3.982916E-12 | 2.095591E-11 | 4.580617E-11 | 2.874848E-13 | 1.057963E-13 |
C3 | –9.451716E-16 | 9.822817E-16 | –9.115065E-15 | –9.162279E-18 | 1.491672E-18 |
C4 | 1.335061E-19 | –1.667379E-20 | 3.329325E-18 | 1.681271E-22 | 1.625713E-23 |
C5 | –1.301313E-23 | –4.323686E-23 | –7.843408E-22 | –3.708622E-27 | 4.834151E-28 |
C6 | 8.344361E-28 | 5.150093E-27 | 1.064851E-25 | 4.914613E-32 | –3.211541E-33 |
C7 | –2.584534E-32 | –2.098245E-31 | –6.440967E-30 | –4.062945E-37 | 1.425318E-37 |
C8 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
C9 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
| | | | | |
FLAECHE | 26 | 29 | 31 | 34 | 35 |
| | | | | |
K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
C1 | –2.253603E-07 | 2.933385E-08 | 4.633569E-09 | 1.036685E-07 | –4.703595E-08 |
C2 | 1.351029E-11 | 3.990857E-13 | –4.997364E-12 | 2.758011E-12 | 4.159400E-12 |
C3 | 3.795789E-17 | –6.050500E-17 | 4.889637E-16 | –3.278071E-16 | –3.908920E-16 |
C4 | –7.421214E-20 | 1.255229E-19 | –1.484469E-19 | –2.153010E-20 | 1.644386E-20 |
C5 | 6.117939E-24 | –1.877429E-23 | 1.977553E-23 | 1.089767E-24 | –1.808670E-25 |
C6 | –2.347293E-28 | 1.072691E-27 | –1.918985E-27 | 6.735329E-29 | –1.857865E-29 |
C7 | 3.434091E-33 | –3.218306E-32 | 8.501230E-32 | –2.252218E-33 | 6.594092E-34 |
C8 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
C9 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
| | | | | |
FLAECHE | 37 | 39 | | | |
| | | | | |
K | 0 | 0 | | | |
C1 | –1.945342E-10 | –5.117066E-08 | | | |
C2 | –3.072667E-12 | 1.601404E-12 | | | |
C3 | 1.392672E-16 | 1.103417E-17 | | | |
C4 | –1.594346E-21 | –7.047636E-22 | | | |
C5 | –5.987158E-26 | –3.288333E-26 | | | |
C6 | 2.240055E-30 | 1.485188E-30 | | | |
C7 | 0.000000E+00 | –1.523531E-35 | | | |
C8 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | | | |
C9 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | | | |
Tabelle 4 NA: 1,25; Feld: 26 mm × 5,5 mm;
WL: 193,3 nm
FLAECHE | RADIEN | | DICKEN | GLAESER | 193.3
nm | 1/2 DURCHM |
0 | 0.000000 | | 81.909100 | | 1.00000000 | 60.033 |
1 | 2048.443266 | | 21.250400 | SIO2 | 1.56032610 | 84.944 |
2 | –397.145026 | | 0.999674 | | 1.00000000 | 86.678 |
3 | 0.000000 | | 9.999836 | SIO2 | 1.56032610 | 88.251 |
4 | 0.000000 | | 0.999631 | | 1.00000000 | 89.202 |
5 | 148.901602 | | 50.000000 | SIO2 | 1.56032610 | 94.513 |
6 | 357.459757 | | 52.494455 | | 1.00000000 | 89.210 |
7 | 183.941368 | | 34.086800 | SIO2 | 1.56032610 | 80.169 |
8 | –464.124393 | AS | 3.490723 | | 1.00000000 | 76.925 |
9 | 91.427855 | | 50.000000 | SIO2 | 1.56032610 | 63.072 |
10 | 93.895791 | | 11.512540 | | 1.00000000 | 42.632 |
11 | 0.000000 | | 9.998981 | S1O2 | 1.56032610 | 41.869 |
12 | 0.000000 | | 9.386987 | | 1.00000000 | 38.436 |
13 | –94.982271 | | 50.000000 | SIO2 | 1.56032610 | 38.838 |
14 | –86.138668 | | 8.374122 | | 1.00000000 | 54.696 |
15 | –74.540104 | | 38.657300 | SIO2 | 1.56032610 | 55.419 |
16 | –382.564885 | | 13.037213 | | 1.00000000 | 82.587 |
17 | –382.167395 | | 50.066100 | SIO2 | 1.56032610 | 90.480 |
18 | –117.361983 | | 4.455250 | | 1.00000000 | 96.112 |
19 | –408.042301 | AS | 43.871600 | SIO2 | 1.56032610 | 102.130 |
20 | –177.569466 | | 9.816927 | | 1.00000000 | 106.603 |
21 | 289.476867 | | 27.848300 | SIO2 | 1.56032610 | 100.728 |
22 | 6501.491211 | | 0.998760 | | 1.00000000 | 98.745 |
23 | 224.530994 | | 27.157000 | SIO2 | 1.56032610 | 92.812 |
24 | 2986.561502 | AS | 75.000000 | | 1.00000000 | 89.569 |
25 | 0.000000 | | –226.222510 | REFL | 1.00000000 | 89.510 |
26 | 106.828577 | AS | –12.500000 | SIO2 | 1.56032610 | 77.673 |
27 | 1042.751231 | | –49.965582 | | 1.00000000 | 94.062 |
28 | 111.149211 | | –12.500000 | SIO2 | 1.56032610 | 94.838 |
29 | 212.774328 | | –26.106409 | | 1.00000000 | 122.137 |
30 | 155.022997 | | 26.106409 | REFL | 1.00000000 | 124.612 |
31 | 212.774328 | | 12.500000 | SIO2 | 1.56032610 | 122.115 |
32 | 111.149211 | | 49.965582 | | 1.00000000 | 94.710 |
33 | 1042.751231 | | 12.500000 | SIO2 | 1.56032610 | 93.963 |
34 | 106.828577 | AS | 226.222510 | | 1.00000000 | 78.916 |
35 | 0.000000 | | –74.219082 | REFL | 1.00000000 | 77.641 |
36 | 2294.592536 | | –22.331200 | SIO2 | 1.56032610 | 79.528 |
37 | 256.141486 | | –0.999710 | | 1.00000000 | 82.627 |
38 | –467.135025 | | –24.545000 | SIO2 | 1.56032610 | 89.496 |
39 | 691.583098 | | –0.999310 | | 1.00000000 | 90.566 |
40 | –233.607789 | | –45.979800 | SIO2 | 1.56032610 | 93.086 |
41 | –4942.551686 | | –4.660965 | | 1.00000000 | 90.501 |
42 | –145.114796 | | –50.000000 | SIO2 | 1.56032610 | 86.173 |
43 | –503.288735 | AS | –13.136267 | | 1.00000000 | 76.698 |
44 | 763.625290 | | –12.500000 | SIO2 | 1.56032610 | 75.648 |
45 | –95.483381 | AS | –39.092954 | | 1.00000000 | 66.704 |
46 | –6058.472160 | | –12.500000 | SIO2 | 1.56032610 | 69.545 |
47 | –149.880323 | AS | –15.887220 | | 1.00000000 | 73.780 |
48 | –503.080539 | | –30.687700 | SIO2 | 1.56032610 | 76.357 |
49 | 1171.552640 | | –77.445168 | | 1.00000000 | 83.009 |
50 | –3285.578928 | AS | –22.658500 | SIO2 | 1.56032610 | 120.317 |
51 | 596.398897 | | –0.998775 | | 1.00000000 | 123.080 |
52 | –357.977963 | | –33.153400 | SIO2 | 1.56032610 | 136.416 |
53 | –3248.236982 | | –1.812371 | | 1.00000000 | 136.760 |
54 | –308.579307 | | –49.249300 | SIO2 | 1.56032610 | 139.626 |
55 | 836.621146 | AS | –11.829470 | | 1.00000000 | 138.580 |
56 | 0.000000 | | 2.947366 | | 1.00000000 | 134.942 |
57 | –784.542969 | | –35.882400 | SIO2 | 1.56032610 | 134.087 |
58 | 1336.948853 | | –3.431255 | | 1.00000000 | 131.711 |
59 | –322.438168 | | –35.943900 | SIO2 | 1.56032610 | 123.107 |
60 | 3281.822778 | | –2.392713 | | 1.00000000 | 120.250 |
61 | –131.283783 | | –28.495000 | SIO2 | 1.56032610 | 95.317 |
62 | –199.868775 | AS | –1.086856 | | 1.00000000 | 88.629 |
63 | –96.539151 | | –34.303600 | SIO2 | 1.56032610 | 76.133 |
64 | –225.944484 | AS | –1.323326 | | 1.00000000 | 66.927 |
65 | –61.472761 | | –50.000000 | SIO2 | 1.56032610 | 49.298 |
66 | 0.000000 | | –1.000000 | H2O | 1.43681630 | 16.573 |
67 | 0.000000 | | 0.001593 | H2O | 1.43681630 | 15.013 |
ASPHAERISCHE
KONSTANTEN | | | | | |
| | | | | |
FLAECHE | 8 | 19 | 24 | 26 | 34 |
| | | | | |
K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
C1 | 7.931903E-08 | –1.177647E-08 | 1.310659E-08 | –8.713192E-08 | –8.713192E-08 |
C2 | 3.361972E-13 | 4.916744E-13 | 2.349673E-13 | –3.312749E-12 | –3.312749E-12 |
C3 | 2.733335E-16 | –1.906952E-17 | –1.627068E-17 | –1.959490E-16 | –1.959490E-16 |
C4 | –2.918068E-20 | 3.642462E-23 | 2.940777E-22 | –1.644695E-20 | –1.644695E-20 |
C5 | 1.460982E-24 | 5.759228E-27 | 1.581363E-26 | 1.961941E-25 | 1.961941E-25 |
C6 | –1.007942E-29 | –5.176777E-32 | –8.636738E-31 | –1.613799E-28 | –1.613799E-28 |
C7 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
C8 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
C9 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
| | | | | |
FLAECHE | 43 | 45 | 47 | 50 | 55 |
| | | | | |
K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
C1 | –3.218290E-08 | –1.408460E-08 | 3.765640E-08 | 1.544290E-08 | –9.784690E-09 |
C2 | 4.089760E-13 | 3.732350E-12 | 2.045650E-12 | –1.526310E-13 | 2.155450E-14 |
C3 | 9.461900E-17 | 5.781700E-17 | 6.726610E-17 | –1.172350E-17 | –2.664880E-17 |
C4 | –1.126860E-20 | 4.020440E-20 | 3.357790E-21 | –3.026260E-22 | 1.199020E-21 |
C5 | 1.093490E-24 | 1.811160E-24 | –5.515760E-25 | –2.050700E-28 | –2.503210E-26 |
C6 | –2.303040E-29 | –3.465020E-28 | 2.958290E-28 | 3.614870E-31 | 2.100160E-31 |
C7 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
C8 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
C9 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
| | | | | |
FLAECHE | 62 | 64 | | | |
| | | | | |
K | 0 | 0 | | | |
C1 | 2.762150E-09 | –1.082280E-07 | | | |
C2 | –4.067930E-12 | –9.511940E-12 | | | |
C3 | 4.513890E-16 | 1.146050E-15 | | | |
C4 | –5.070740E-20 | –1.274000E-19 | | | |
C5 | 1.839760E-24 | 1.594380E-23 | | | |
C6 | –6.225130E-29 | –5.731730E-28 | | | |
C7 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | | | |
C8 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | | | |
C9 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | | | |
Tabelle 5 NA: 1,25; Feld: 26 mm × 4,9 mm;
WL: 193,3 nm
FLAECHE | RADIEN | | DICKEN | GLAESER | 193.3
nm | 1/2 DURCHM |
0 | 0.000000 | | 81.909100 | | 1.00000000 | 60.033 |
1 | 673.366211 | | 21.250400 | SIO2 | 1.56032610 | 86.143 |
2 | –352.382699 | | 1.000526 | | 1.00000000 | 86.826 |
3 | 0.000000 | | 9.999922 | SIO2 | 1.56032610 | 87.758 |
4 | 0.000000 | | 0.999828 | | 1.00000000 | 88.266 |
5 | 146.180992 | | 50.000000 | SIO2 | 1.56032610 | 90.960 |
6 | 235.663997 | | 47.614073 | | 1.00000000 | 83.553 |
7 | 232.803962 | | 34.086800 | SIO2 | 1.56032610 | 77.655 |
8 | –525.462527 | AS | 3.247857 | | 1.00000000 | 74.135 |
9 | 92.851551 | | 50.000000 | SIO2 | 1.56032610 | 62.809 |
10 | 101.676358 | | 27.396923 | | 1.00000000 | 43.995 |
11 | –98.402976 | | 50.000000 | SIO2 | 1.56032610 | 40.939 |
12 | –87.452301 | | 10.624080 | | 1.00000000 | 57.044 |
13 | –84.711067 | | 38.657300 | SIO2 | 1.56032610 | 58.874 |
14 | –263.404585 | | 18.850328 | | 1.00000000 | 81.979 |
15 | –324.827786 | | 50.066100 | SIO2 | 1.56032610 | 92.383 |
16 | –134.730834 | | 1.001012 | | 1.00000000 | 100.760 |
17 | –387.701255 | AS | 43.871600 | SIO2 | 1.56032610 | 105.897 |
18 | –169.182822 | | 1.411725 | | 1.00000000 | 110.197 |
19 | 286.958322 | | 27.848300 | SIO2 | 1.56032610 | 103.540 |
20 | 2339.112166 | | 1.040338 | | 1.00000000 | 101.350 |
21 | 215.327689 | | 27.157000 | SIO2 | 1.56032610 | 95.069 |
22 | 2556.542175 | AS | 72.132498 | | 1.00000000 | 92.199 |
23 | 0.000000 | | –222.554121 | REFL | 1.00000000 | 98.569 |
24 | 106.814945 | AS | –12.500000 | SIO2 | 1.56032610 | 78.634 |
25 | 967.943813 | | –49.007290 | | 1.00000000 | 95.483 |
26 | 114.522293 | | –12.500000 | SIO2 | 1.56032610 | 96.351 |
27 | 209.321713 | | –24.703185 | | 1.00000000 | 122.199 |
28 | 155.317015 | | 24.703185 | REFL | 1.00000000 | 124.370 |
29 | 209.321713 | | 12.500000 | SIO2 | 1.56032610 | 121.966 |
30 | 114.522293 | | 49.007290 | | 1.00000000 | 95.525 |
31 | 967.943813 | | 12.500000 | SIO2 | 1.56032610 | 93.838 |
32 | 106.814945 | AS | 222.554121 | | 1.00000000 | 78.764 |
33 | 0.000000 | | –61.000000 | REFL | 1.00000000 | 74.683 |
34 | 1428.935254 | | –22.331200 | SIO2 | 1.56032610 | 73.779 |
35 | 228.264696 | | –1.001301 | | 1.00000000 | 77.285 |
36 | –462.657333 | | –24.545000 | SIO2 | 1.56032610 | 84.167 |
37 | 885.483366 | | –1.000977 | | 1.00000000 | 85.694 |
38 | –231.030433 | | –45.979800 | SIO2 | 1.56032610 | 88.807 |
39 | 5456.439341 | | –1.000168 | | 1.00000000 | 87.032 |
40 | –141.980854 | | –50.000000 | SIO2 | 1.56032610 | 83.909 |
41 | –487.877853 | AS | –11.892025 | | 1.00000000 | 74.753 |
42 | 744.304505 | | –12.500000 | SIO2 | 1.56032610 | 74.160 |
43 | –95.471841 | AS | –30.584840 | | 1.00000000 | 66.061 |
44 | 17792.738608 | | –12.500000 | SIO2 | 1.56032610 | 67.093 |
45 | –154.563738 | AS | –17.287404 | | 1.00000000 | 71.817 |
46 | –452.042111 | | –30.687700 | SIO2 | 1.56032610 | 77.085 |
47 | 669.871673 | | –100.369522 | | 1.00000000 | 82.829 |
48 | 3548.735563 | AS | –22.658500 | SIO2 | 1.56032610 | 125.594 |
49 | 472.295389 | | –4.772413 | | 1.00000000 | 128.352 |
50 | –366.259271 | | –33.153400 | SIO2 | 1.56032610 | 144.068 |
51 | –12361.700432 | | –9.333978 | | 1.00000000 | 144.157 |
52 | –317.083167 | | –49.249300 | SIO2 | 1.56032610 | 146.304 |
53 | 962.293169 | AS | –0.700250 | | 1.00000000 | 144.982 |
54 | 0.000000 | | –4.992187 | | 1.00000000 | 143.559 |
55 | 0.000000 | | –9.997236 | SIO2 | 1.56032610 | 143.164 |
56 | 0.000000 | | –0.992199 | | 1.00000000 | 142.040 |
57 | –657.958896 | | –35.882400 | SIO2 | 1.56032610 | 139.908 |
58 | 1515.969802 | | –0.992804 | | 1.00000000 | 137.743 |
59 | –260.738714 | | –35.943900 | SIO2 | 1.56032610 | 126.043 |
60 | –5237.030792 | | –0.993752 | | 1.00000000 | 124.160 |
61 | –119.057555 | | –28.495000 | SIO2 | 1.56032610 | 94.444 |
62 | –163.229803 | AS | –0.992865 | | 1.00000000 | 87.366 |
63 | –102.409442 | | –34.303600 | SIO2 | 1.56032610 | 77.909 |
64 | –186.405022 | AS | –0.987636 | | 1.00000000 | 65.364 |
65 | –66.199250 | | –50.000000 | SIO2 | 1.56032610 | 50.686 |
66 | 0.000000 | | –1.000000 | H2OV | 1.43681630 | 16.566 |
67 | 0.000000 | | 0.001593 | H2OV | 1.43681630 | 15.013 |
ASPHAERISCHE
KONSTANTEN | | | | | |
| | | | | |
FLAECHE | 8 | 17 | 22 | 24 | 32 |
| | | | | |
K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
C1 | 5.233631E-08 | –1.143718E-08 | 1.521494E-08 | –8.173584E-08 | –8.173584E-08 |
C2 | –4.247769E-13 | 4.539000E-13 | 2.236265E-13 | –3.442666E-12 | –3.442666E-12 |
C3 | 2.264621E-16 | –2.603436E-17 | –2.309696E-17 | –1.945129E-16 | –1.945129E-16 |
C4 | –3.544742E-21 | 1.689629E-22 | 9.703692E-22 | –1.379025E-20 | –1.379025E-20 |
C5 | –2.689319E-24 | 9.802414E-27 | –2.535866E-26 | –1.501650E-26 | –1.501650E-26 |
C6 | 1.772618E-28 | –2.612406E-31 | 2.286605E-31 | –1.600981E-28 | –1.600981E-28 |
C7 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
C8 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
C9 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
| | | | | |
FLAECH
E | 41 | 43 | 45 | 48 | 53 |
| | | | | |
K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
C1 | –3.218290E-08 | –1.408460E-08 | 3.765640E-08 | 1.375675E-08 | –1.293407E-08 |
C2 | 4.089760E-13 | 3.732350E-12 | 2.045650E-12 | –1.650648E-13 | 8.171098E-14 |
C3 | 9.461900E-17 | 5.781700E-17 | 6.726610E-17 | –7.725229E-18 | –2.315997E-17 |
C4 | –1.126860E-20 | 4.020440E-20 | 3.357790E-21 | –8.878454E-23 | 1.220861E-21 |
C5 | 1.093490E-24 | 1.811160E-24 | –5.515760E-25 | –3.024502E-27 | –3.871131E-26 |
C6 | –2.303040E-29 | –3.465020E-28 | 2.958290E-28 | 7.260257E-31 | 8.195620E-31 |
C7 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | –3.056481E-35 | –1.127163E-35 |
C8 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 5.105060E-40 | 7.656900E-41 |
C9 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
| | | | | |
FLAECHE | 62 | 64 | | | |
| | | | | |
K | 0 | 0 | | | |
C1 | 2.762150E-09 | –1.082280E-07 | | | |
C2 | –4.067930E-12 | –9.511940E-12 | | | |
C3 | 4.513890E-16 | 1.146050E-15 | | | |
C4 | –5.070740E-20 | –1.274000E-19 | | | |
C5 | 1.839760E-24 | 1.594380E-23 | | | |
C6 | –6.225130E-29 | –5.731730E-28 | | | |
C7 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | | | |
C8 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | | | |
C9 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | | | |
Tabelle 6 NA: 1,55; Feld: 13 mm × 5 mm;
WL: 193,3 nm
FLAECHE | RADIEN | | DICKEN | GLAESER | 193.368
nm | 1/2 DURCHM |
0 | 0.000000 | | 30.000000 | | 1.00000000 | 28.040 |
1 | –45.394016 | AS | 6.635689 | SIO2 | 1.56049116 | 34.957 |
2 | 2151.515917 | | 16.545348 | | 1.00000000 | 46.807 |
3 | –83.051561 | | 28.566059 | SIO2 | 1.56049116 | 47.891 |
4 | –119.065543 | AS | 0.500000 | | 1.00000000 | 69.316 |
5 | 0.000000 | | 10.000000 | SIO2 | 1.56049116 | 94.621 |
6 | 0.000000 | | 1.000000 | | 1.00000000 | 99.921 |
7 | 2530.299735 | | 63.349995 | SIO2 | 1.56049116 | 103.248 |
8 | –135.649196 | | 0.500000 | | 1.00000000 | 107.463 |
9 | 311.093341 | | 39.925564 | SIO2 | 1.56049116 | 121.003 |
10 | –493.635417 | AS | 0.500000 | | 1.00000000 | 120.604 |
11 | 133.444606 | | 61.067502 | SIO2 | 1.56049116 | 117.509 |
12 | 374.542254 | | 0.500000 | | 1.00000000 | 113.040 |
13 | 84.632149 | | 51.590152 | SIO2 | 1.56049116 | 81.754 |
14 | 88.648479 | | 25.127474 | | 1.00000000 | 63.232 |
15 | 307.626412 | AS | 9.334872 | SIO2 | 1.56049116 | 62.312 |
16 | 43.760171 | | 42.700144 | | 1.00000000 | 40.624 |
17 | –62.866922 | | 7.971264 | SIO2 | 1.56049116 | 40.618 |
18 | –239.625085 | AS | 24.317933 | | 1.00000000 | 45.475 |
19 | –50.648163 | | 40.253476 | SIO2 | 1.56049116 | 45.709 |
20 | –149.875156 | | 0.500000 | | 1.00000000 | 83.162 |
21 | –2133.410799 | AS | 63.096865 | SIO2 | 1.56049116 | 100.727 |
22 | –125.285708 | | 0.500000 | | 1.00000000 | 109.440 |
23 | –26011.027051 | | 65.192910 | SIO2 | 1.56049116 | 140.404 |
24 | –203.948605 | | 0.500000 | | 1.00000000 | 142.582 |
25 | 193.874995 | | 64.570959 | SIO2 | 1.56049116 | 136.803 |
26 | –1131.653398 | AS | 0.500000 | | 1.00000000 | 133.946 |
27 | 101.431520 | | 69.833756 | CAF2 | 1.50110592 | 97.569 |
28 | 92.297418 | | 0.500000 | | 1.00000000 | 69.924 |
29 | 70.344368 | | 54.208844 | CAF2 | 1.50110592 | 63.058 |
30 | 43.124915 | AS | 48.219058 | | 1.00000000 | 30.693 |
31 | –49.524613 | | 19.920470 | CAF2 | 1.50110592 | 32.075 |
32 | 458.868681 | | 67.965960 | SIO2 | 1.56049116 | 75.933 |
33 | –92.104256 | | 0.500000 | | 1.00000000 | 83.821 |
34 | 518.816092 | | 40.830736 | SIO2 | 1.56049116 | 130.987 |
35 | –593.727113 | | 0.500000 | | 1.00000000 | 133.184 |
36 | 554.922603 | | 47.451002 | SIO2 | 1.56049116 | 141.932 |
37 | –313.882110 | AS | 54.465535 | | 1.00000000 | 142.459 |
38 | 0.000000 | | 10.000000 | SIO2 | 1.56049116 | 143.113 |
39 | 0.000000 | | 5.000000 | | 1.00000000 | 143.170 |
40 | 388.722555 | | 30.775375 | SIO2 | 1.56049116 | 143.454 |
41 | 1862.901509 | | 0.997362 | | 1.00000000 | 142.272 |
42 | 198.712780 | AS | 66.525407 | SIO2 | 1.56049116 | 136.261 |
43 | –514.840049 | | 0.500000 | | 1.00000000 | 134.178 |
44 | 85.045649 | | 44.185930 | SIO2 | 1.56049116 | 81.693 |
45 | 145.661446 | AS | 17.247660 | | 1.00000000 | 74.191 |
46 | 0.000000 | | –16.348223 | | 1.00000000 | 80.280 |
47 | 92.090812 | | 57.694536 | CAF2 | 1.50110592 | 67.945 |
48 | 47.458170 | AS | 1.000000 | | 1.00000000 | 28.748 |
49 | 38.518298 | | 19.946111 | LUAG | 2.14000000 | 25.820 |
50 | 0.000000 | | 3.000000 | CYCLOHEXAN | 1.65000000 | 15.292 |
51 | 0.000000 | | 0.000000 | CYCLOHEXAN | 1.65000000 | 7.033 |
ASPHAERISCHE
KONSTANTEN | | | | | |
| | | | | |
FLAECHE | 1 | 4 | 10 | 15 | 18 |
| | | | | |
K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
C1 | 2.222335E-06 | 2.157480E-07 | 1.213751E-08 | –7.024709E-07 | –9.624575E-07 |
C2 | –2.960106E-10 | –3.703032E-11 | 3.933709E-12 | 1.889675E-10 | 3.626064E-10 |
C3 | 4.099432E-14 | –7.688081E-15 | –2.029701E-16 | –3.670917E-14 | –7.017458E-14 |
C4 | 8.830630E-18 | 1.855665E-18 | 4.960091E-21 | 7.174517E-18 | 3.203346E-17 |
C5 | 2.738367E-21 | –2.075437E-22 | –9.428631E-26 | –1.086191E-21 | 3.301669E-21 |
C6 | –4.634945E-24 | 2.467311E-27 | 2.722400E-30 | 7.269040E-26 | 1.937988E-25 |
C7 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
C8 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
C9 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
| | | | | |
FLAECHE | 21 | 26 | 30 | 37 | 42 |
| | | | | |
K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
C1 | –1.923992E-07 | 2.460562E-08 | 2.978434E-07 | 4.796558E-08 | –5.884188E-09 |
C2 | 1.538439E-11 | –9.931095E-13 | –2.509878E-10 | –1.062531E-12 | –1.581977E-12 |
C3 | –5.149355E-16 | 1.592698E-16 | –2.512252E-13 | 2.364210E-17 | –3.047715E-17 |
C4 | 2.897216E-20 | –1.093197E-20 | –6.241269E-17 | –5.051762E-22 | 1.097254E-22 |
C5 | 3.826170E-24 | 3.840316E-25 | –2.651403E-21 | 1.467614E-26 | 4.543670E-26 |
C6 | –1.269936E-28 | –5.374727E-30 | –7.813369E-25 | –8.111221E-32 | –1.393249E-31 |
C7 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
C8 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
C9 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 |
| | | | | |
FLAECHE | 45 | 48 | | | |
| | | | | |
K | 0 | 0 | | | |
C1 | 2.457177E-07 | –4.614167E-06 | | | |
C2 | –2.166219E-11 | 7.262309E-09 | | | |
C3 | 2.975343E-15 | –1.885463E-11 | | | |
C4 | –5.958384E-19 | 3.520215E-14 | | | |
C5 | 2.562257E-24 | –3.028402E-17 | | | |
C6 | 6.910021E-27 | 1.073889E-20 | | | |
C7 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | | | |
C8 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | | | |
C9 | 0.000000E+00 | 0.000000E+00 | | | |
Tabelle
7
NumAmp | 1,32 | |
y' | 15,16 |
OBERFLÄCHE | RADIEN | DICKEN | MATERIAL | INDEX | ½ DURCHMESSER |
0 | 0,000000 | 113,754200 | | | 60,6 |
1 | 0,000000 | 8,000000 | SILUV | 1,560482 | 100,5 |
2 | 0,000000 | 6,000000 | | | 102,2 |
3 | 930,923922 | 52,000000 | SILUV | 1,560482 | 106,4 |
4 | –256,201417 | 1,000000 | | | 110,0 |
5 | 164,802556 | 35,773100 | SILUV | 1,560482 | 110,4 |
6 | 341,545138 | 15,747900 | | | 107,3 |
7 | 147,535157 | 56,488000 | SILUV | 1,560482 | 97,6 |
8 | –647,942934 | 4,145000 | | | 91,4 |
9 | –536,071478 | 18,297900 | SILUV | 1,560482 | 89,4 |
10 | 180,585020 | 1,000000 | | | 71,6 |
11 | 82,247096 | 28,431900 | SILUV | 1,560482 | 64,3 |
12 | 121,636868 | 21,482876 | | | 56,7 |
13 | 0,000000 | 10,000000 | SILUV | 1,560482 | 51,2 |
14 | 0,000000 | 35,037652 | | | 47,0 |
15 | –89,601791 | 44,878000 | SILUV | 1,560482 | 50,3 |
16 | –203,308357 | 49,953200 | | | 72,8 |
17 | –333,934057 | 37,672400 | SILUV | 1,560482 | 98,4 |
18 | –153,471299 | 1,000000 | | | 104,5 |
19 | –588,427923 | 47,008300 | SILUV | 1,560482 | 113,3 |
20 | –177,569099 | 1,000000 | | | 116,9 |
21 | 1289,635452 | 32,747800 | SILUV | 1,560482 | 114,7 |
22 | –409,790925 | 1,000000 | | | 114,2 |
23 | 196,979548 | 36,289500 | SILUV | 1,560482 | 103,1 |
24 | 2948,592605 | 72,000000 | | | 99,3 |
25 | 0,000000 | –204,306500 | REFL | | 68,2 |
26 | 120,965260 | –15,000000 | SILUV | 1,560482 | 67,6 |
27 | 177,749728 | –28,181900 | | | 76,7 |
28 | 106,065668 | –18,000000 | SILUV | 1,560482 | 81,8 |
29 | 323,567743 | –34,983200 | | | 113,6 |
30 | 165,900097 | 34,983200 | REFL | | 119,8 |
31 | 323,567743 | 18,000000 | SILUV | 1,560482 | 115,6 |
32 | 106,065668 | 28,181900 | | | 88,3 |
33 | 177,749728 | 15,000000 | SILUV | 1,560482 | 87,2 |
34 | 120,965260 | 204,306500 | | | 79,0 |
35 | 0,000000 | –72,000000 | REFL | | 64,8 |
36 | 462,513697 | –24,493400 | SILUV | 1,560482 | 92,9 |
37 | 196,771640 | –1,000000 | | | 96,3 |
38 | –996,046057 | –27,579900 | SILUV | 1,560482 | 106,5 |
39 | 480,084349 | –1,000000 | | | 108,1 |
40 | –260,478322 | –35,771400 | SILUV | 1,560482 | 113,0 |
41 | –3444,700345 | –1,000000 | | | 111,8 |
42 | –189,044457 | –50,000000 | SILUV | 1,560482 | 107,6 |
43 | –630,985131 | –43,198700 | | | 99,6 |
44 | 675,856906 | –10,000000 | SILUV | 1,560482 | 88,6 |
45 | –117,005373 | –46,536000 | | | 79,9 |
46 | 214,318111 | –10,000000 | SILUV | 1,560482 | 79,8 |
47 | –191,854301 | –23,664400 | | | 93,5 |
48 | 1573,576031 | –31,506600 | SILUV | 1,560482 | 94,4 |
49 | 214,330939 | –1,000000 | | | 100,3 |
50 | –322,859172 | –33,185600 | SILUV | 1,560482 | 133,7 |
51 | –1112,917245 | –10,017200 | | | 135,5 |
52 | –2810,857827 | –22,000000 | SILUV | 1,560482 | 137,0 |
53 | –920,532878 | –42,079900 | | | 145,9 |
54 | 707,503574 | –62,025500 | SILUV | 1,560482 | 146,3 |
55 | 238,350224 | –1,000000 | | | 157,1 |
56 | –17926,557240 | –62,132800 | SILUV | 1,560482 | 178,0 |
57 | 336,363925 | –2,000000 | | | 179,9 |
58 | 0,000000 | –10,000000 | SILUV | 1,560482 | 179,0 |
59 | 0,000000 | –51,180119 | | | 178,9 |
60 | 0,000000 | 48,529765 | | | 178,0 |
61 | –303,574400 | –68,224400 | SILUV | 1,560482 | 179,0 |
62 | –19950,680601 | –7,986643 | | | 177,0 |
63 | –182,034245 | –77,612200 | SILUV | 1,560482 | 150,7 |
64 | –459,526735 | –1,000000 | | | 141,5 |
65 | –130,446554 | –49,999900 | SILUV | 1,560482 | 105,5 |
66 | –393,038792 | –1,000000 | | | 91,8 |
67 | –76,745086 | –43,335100 | SILUV | 1,560482 | 62,7 |
68 | 0,000000 | –1,000000 | H2OV | 1,435876 | 45,3 |
69 | 0,000000 | –13,000000 | SILUV | 1,560482 | 43,0 |
70 | 0,000000 | –3,000396 | H2OV | 1,435876 | 22,2 |
71 | 0,000000 | 0,000000 | | | 15,2 |
ASPHÄRISCHE
KONSTANTEN
OBERFL. | 9 | 17 | 24 | 43 | 47 |
k | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
C1 | –6,152794E-08 | –7,450948E-09 | 2,397578E+00 8 | –1.544441e | 8,902497E-08 |
C2 | 9,072358E-12 | –4,968691E-13 | –3,992688E-01 3 | 4,805552e | –4,455899E-12 |
C3 | –7,620162E-16 | –1,804573E-17 | 7,587147E-01 8 | –6,813171 | 3,521620E-16 |
C4 | 2,116045E-20 | 1,214276E-21 | –4,079078E-02 3 | –4,666592e | –2,121932E-20 |
C5 | 2,963576E-24 | 5,493721E-27 | –1,807190E-02 6 | 1,242732e | 2,642521E-25 |
C6 | –3,075337E-28 | –5,299803E-30 | 1,560768E-03 0 | –9,557499e | 1,245058E-28 |
C7 | 9,068617E-33 | 1,870242E-34 | –4,466502E-03 5 | 2,284660e | –6,144810E-33 |
OBERFL. | 48 | 51 | 53 | 54 | 64 |
K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
C1 | 2,768189E-08 | 1,787600E-08 | –3,738135E+00
8 | 1,728194e | 3,264015E-08 |
C2 | –1,657627E-12 | –3,785102E-13 | –8,195730E-01 3 | –6,690131e | –2,291400E-12 |
C3 | 1,596547E-17 | –9,909771E-17 | 1,196846E-01 6 | 1,379584e | 1,419559E-16 |
C4 | –5,508505E-21 | 4,442167E-21 | –2,578914E-02 1 | –5,773921e | –6,671541E-21 |
C5 | 5,521223E-25 | –1,566662E-25 | –3,008537E-02 6 | 1,736082e | 2,032317E-25 |
C6 | –1,359008E-28 | 6,868774E-30 | 1,836351E-03 0 | –3,718468e | –3,619015E-30 |
C7 | 8,927631E-33 | –1,167559E-34 | –2,233659E-03 5 | 6,530703e | 2,871756E-35 |
OBERFL. | 66 | |
K | 0 |
C1 | –6,538685E-08 |
C2 | –1,101880E-13 |
C3 | –2,522891E-16 |
C4 | 2,782014E-20 |
C5 | –3,073204E-24 |
C6 | 1,726081E-28 |
C7 | –5,631877E-33 |
-
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
-
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Zitierte Patentliteratur
-
- - WO 2004/097911 [0003]
- - WO 2004/019128 A2 [0005]
- - US 2006/0256447 A1 [0059, 0067]
- - WO 2006/055471 A1 [0078]
- - WO 2004/019128 [0089]
- - US 2006/0056064 A1 [0097]
- - WO 2006/121008 A1 [0101]