DE102007054091A1 - Apparatus and method for the uniform transport of substrates - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft den Transport von Gut als flache Abschnitte oder als räumliche Gegenstände wie z. B. Werkstücke oder anderes Stückgut. Zur Förderung des Gutes in einer Transportebene und bevorzugt in einer Richtung dienen angetriebene Transportrollen oder Transportwalzen von z. B. so genannten Rollenförderern. Diese fördern das Gut in horizontaler Ausrichtung, unter anderem in Durchlaufanlagen. Bei den Anlagen kann es sich um Nassanlagen oder um Förderanlagen zur Trockenbehandlung von Gut handeln. Ein Anwendungsgebiet betrifft den Transport von z. B. Substraten als Wafer, Solarzellen, Hybride oder um Leiterplatten, Glasscheiben, Bleche aus Metall oder Kunststoff und dergleichen. Diese Güter werden in der Durchlaufanlage nasschemisch oder elektrolytisch behandelt. Weitere Nassprozesse sind z. B. das Reinigen und Spülen. Zur Trockenbehandlung gehören alle Prozesse, die eine Förderung von Gut als flache Abschnitte oder räumliche Gegenstände auf Fördermitteln als Walzen, Rollen, Scheiben, Rädchen oder dergleichen erfordern. Als Beispiel sei hier das präzise Positionieren und Bedrucken, Laminieren oder Beschreiben von Gut, das auf einem Transportgang gefördert wird, genannt. Bei kleinem Gut werden meist mehrere Güter parallel, d. h. quer zur Transportrichtung angeordnet, gefördert.The The invention relates to the transport of goods as flat sections or as spatial objects such. B. workpieces or other general cargo. To promote the good Serve in a transport plane and preferably in one direction Transport rollers or transport rollers of z. B. so-called roller conveyors. These promote the estate in horizontal orientation, under other in continuous flow systems. The systems can be wet systems or to handle conveyor systems for the dry treatment of goods. One application relates to the transport of z. B. substrates as wafers, solar cells, hybrids or PCBs, glass panes, Sheets of metal or plastic and the like. These goods are treated wet-chemically or electrolytically in the continuous system. Other wet processes are z. B. cleaning and rinsing. Dry processes include all processes requiring the promotion of Good as flat sections or spatial objects on conveyors as rollers, rollers, discs, wheels or the like. As an example, this is precise Positioning and printing, laminating or writing of good, which is promoted on a transport corridor, called. In a small Good are usually several goods in parallel, d. H. across to Transport direction arranged, promoted.
Die Anlagen sind in der Regel in Transportrichtung lang, z. B. 10 Meter und mehr. Im Vergleich hierzu sind die zu fördernden Güter sehr kurz. Von daher ist beim Transport derselben mit Toleranzen sowohl in der Spurgenauigkeit als auch im Vorschub zu rechnen, insbesondere dann, wenn nur untere Fördermittel das Gut fördern. Korrekturmaßnahmen zum Toleranzausgleich sind unerlässlich. Die vorliegende Erfindung beschreibt Korrekturmaßnahmen zur Behebung von Abweichungen des Vorschubs in Folge eines Schlupfes vom theoretischen Vorschub des Gutes in der Förderanlage.The Plants are usually long in the transport direction, z. B. 10 meters and more. In comparison, the goods to be promoted very short. Therefore, when transporting them with tolerances both in the accuracy of accuracy as well as in the feed count, in particular then, if only lower funding promote the good. Corrective measures for tolerance compensation are essential. The present invention describes corrective measures for Elimination of feed deviations as a result of slippage from the theoretical feed of the goods in the conveyor system.
Bei bestimmten Anwendungen ist eine reproduzierbare Förderung eines kurzen Gutes in Transportrichtung erforderlich. Zum Beispiel beim Bedrucken des Gutes oder beim Handhaben und Montieren muss an einer bestimmte Position der Förderanlage mindestens in Transportrichtung stets die gleiche Lage jedes Gutes in Bezug zur Lage der Fördermittel an dieser Position erreicht werden. Beim Transport des Gutes kann ein nicht reproduzierbarer Schlupf diese Beziehung stören.at certain applications is a reproducible promotion a short good in the transport direction required. For example when printing the goods or when handling and mounting must at a certain position of the conveyor at least in the transport direction always the same position of each good in relation be reached to the position of the funding at this position. When transporting the goods can not reproducible slip disturb this relationship.
Die
Druckschrift
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Korrektur des Schlupfes zu beschreiben, der beim Transport von flachem Gut oder räumlichen Gegenständen in Förderanlagen bzw. in Durchlaufanlagen oder in anderen transportierenden Anlagen auftritt. Insbesondere sollen sie auch für sehr bruchempfindliches Gut geeignet sein und die Länge der Durchlaufanlage nicht vergrößern.task The invention is an apparatus and a method for correction of slippage when transporting flat goods or spatial objects in conveyors or occurs in continuous systems or in other transporting systems. In particular, they should also be very fragile Be well suited and the length of the continuous system not enlarge.
Gelöst wird die Aufgabe durch die Vorrichtung nach Patentanspruch 1 und durch das Verfahren nach Patentanspruch 11. Die Unteransprüche beschreiben vorteilhafte Ausführungen der Erfindung.Solved The object is achieved by the device according to claim 1 and by the method according to claim 11. The subclaims describe advantageous embodiments of the invention.
Die Erfindung eignet sich besonders für angetriebene Transportwellen, die entlang der Transportbahn mindestens an der Unterseite und gegebenenfalls auch an der Oberseite des zu transportierenden Gutes angeordnet sind. Auf den Wellen befinden sich Transporträdchen oder Transportwalzen und dergleichen.The Invention is particularly suitable for driven transport shafts, along the transport path at least at the bottom and optionally also arranged at the top of the goods to be transported are. On the waves are transport wheels or Transport rollers and the like.
Die erfindungsgemäße Schlupfkorrektur geht davon aus, dass das Gut in Folge eines Schlupfes die theoretische bzw. nominale Transportgeschwindigkeit nicht erreicht und damit entlang der Transportbahn mehr und mehr zurückbleibt. Diese nominale Transportgeschwindigkeit entspricht der Umfangsgeschwindigkeit der Transportmittel, d. h. der Transportwalzen. Bei der Korrektur muss demnach das Gut kurzzeitig über die Transportgeschwindigkeit hinaus beschleunigt werden, um die theoretisch vorbestimmt Lage in Bezug zu den rotierenden Fördermitteln wieder einzunehmen. Hierzu dient mindestens ein Korrekturmittel, bevorzugt zwei für jede Spur von parallel durch die Durchlaufanlage gefördertem Gut. Diese Korrekturmittel sind in einer besonders kostengünstigen Ausführung der Erfindung mit dem Antrieb der quer zur Transportrichtung angeordneten Transportwalzen synchronisiert. Die Transportwalzen ihrerseits sind ebenfalls untereinander über z. B. Kegelzahnräder oder Zahnriemen mit einer angetriebenen Transmissionswelle, die entlang der Durchlaufanlage angeordnet ist, synchronisiert. Diese gegebenen Synchronisationen ermöglichen es, dass die Korrekturmittel immer dann die Transportebene kurzzeitig durchdringen können, wenn sich in ihrem Aktionsbereich eine Querlücke zwischen zwei aufeinander folgenden und in Transportrichtung gleich langen Gütern befindet. Nach den bevorzugt von unten nach oben bewegten Korrekturmitteln über die Transportebene hinaus werden dann diese Korrekturmittel schneller als die nominale Transportgeschwindigkeit für eine kurze, vorbestimmte Strecke in Transportrichtung bewegt. Diese Korrekturstrecke wird durch Anschläge begrenzt. Sie ist unabhängig von dem momentan bestehenden Schlupf dimensioniert. Dies vereinfacht die Steuerung der Korrekturmittel wesentlich. Bei der Korrektur wird ein durch Schlupf unkontrolliert zurückgebliebenes Gut wieder in die definierte Position in Transportrichtung gebracht, die von der nominalen Transportgeschwindigkeit vorgegeben ist. Sofort anschließend tauchen die Korrekturmittel wieder unter die Transportebene ab, damit das nachfolgende Gut nicht blockiert wird. Dieses Gut wird dann ebenfalls wie beschrieben in die definierte, von der Transportgeschwindigkeit theoretisch vorbestimmte Lage vorwärts geschoben, falls ein Schlupf vorliegt. Innerhalb der zulässigen Toleranzbreite des Schlupfes kann auch eine Überkorrektur erfolgen, d. h. das Gut wird über die theoretische Lage hinaus nach vorn geschoben. Dies verlängert die Strecke zwischen zwei Korrekturstellen entlang der Durchlaufanlage.The slip correction according to the invention assumes that the material as a result of slippage does not reach the theoretical or nominal transport speed and thus remains more and more along the transport path. This nominal transport speed corresponds to the peripheral speed of the means of transport, ie the transport rollers. When correcting, therefore, the material must be accelerated for a short time beyond the transport speed in order to retake the theoretically predetermined position in relation to the rotating conveying means. Serves for this purpose at least one correction means, preferably two for each track of parallel conveyed by the continuous flow Good. These correction means are synchronized in a particularly cost-effective embodiment of the invention with the drive of the transport rollers arranged transversely to the transport direction. The transport rollers in turn are also interconnected by z. B. bevel gears or timing belt with a driven transmission shaft, which is arranged along the conveyor system, synchronized. The Given synchronizations make it possible that the correction means can always penetrate the transport plane for a short time, if there is a transverse gap in its action area between two consecutive and in the transport direction of the same length goods. After the correction means, which are preferably moved from the bottom upwards over the transport plane, then these correction means are moved faster than the nominal transport speed for a short, predetermined distance in the transport direction. This correction distance is limited by stops. It is dimensioned independently of the currently existing slip. This significantly simplifies the control of the correction means. In the correction, an uncontrolled left by slip material is returned to the defined position in the transport direction, which is predetermined by the nominal transport speed. Immediately thereafter, the correction means dive again below the transport plane, so that the subsequent good is not blocked. This good is then also as described pushed forward in the defined, theoretically predetermined by the transport speed position, if there is a slip. Within the permissible tolerance width of the slip, an overcorrection can also take place, ie the product is pushed beyond the theoretical position to the front. This lengthens the distance between two correction points along the conveyor system.
Die Korrekturmittel werden nachfolgend auch als Mitnehmer bezeichnet. Ihre beschriebenen Bewegungen werden bevorzugt von Nocken- und Kurvensteuerungen durchgeführt, wobei die Antriebe hierfür von den Antrieben der Fördermittel abgeleitet werden.The Correction means are also referred to below as drivers. Their described movements are preferred by cam and cam controls carried out, the drives for this purpose of the Drives of subsidies are derived.
Bei nicht synchronisierten Fördermitteln und/oder bei mindestens in Transportrichtung unterschiedlich langem Gut sind die erfindungsgemäßen Korrekturmittel ebenfalls anwendbar. Ein Mitnehmer durchdringt die Transportebene, wenn sich in seinem Aktionsbereich gerade eine Querlücke zwischen zwei Gütern befindet. Dann erfolgt die schnelle Vorwärtsbewegung des Mitnehmers und damit des Gutes über die nominale Transportgeschwindigkeit hinaus für eine bestimmte Strecke. Dabei wird ein mit Schlupf behaftetes Gut durch Vorschieben korrigiert. Sofort danach taucht der Mitnehmer wieder unter die Transportebene und geht in die Ausgangslage in Bereitschaft zum nächsten Korrigieren zurück. Bei diesen nicht synchronisierten Antrieben und/oder bei Umfängen der Transportmittel bzw. der Transportwalzen, die in keiner bestimmten mathematischen Beziehung zur Bruttogutlänge stehen, wird der Startzeitpunkt der Bewegungen des Mitnehmers von mindestens einem Sensor bestimmt, der die Querlücke detektiert. In diesem Falle steuert die Bewegungen des Mitnehmers das Steuerungssystem der Durchlaufanlage, die auch so ablaufen, wie sie bei der Nockensteuerung beschrieben wurden.at unsynchronised funding and / or at least In the transport direction differently long good are the correction means according to the invention also applicable. A driver penetrates the transport plane, if there is a cross gap in his action area located between two estates. Then the fast happens Forward movement of the driver and thus the goods over the nominal transport speed for a given Route. In this case, a subject afflicted with slippage is pushed forward corrected. Immediately thereafter, the driver dives under the transport plane again and goes into the starting position in readiness for the next Correct back. For these non-synchronized drives and / or when the means of transport or the transport rollers are included, that in no particular mathematical relation to the gross well length stand, the starting time of the movements of the driver of determined at least one sensor that detects the transverse gap. In this case, the movements of the driver controls the control system the continuous flow system, which also run as they do in the cam control have been described.
Die Sensoren erkennen die Lage der momentanen Querlücke der Güter in Bezug zur Lage mindestens eines nahe gelegenen Mitnehmers. Die Bewegungen werden von gesonderten Antrieben durchgeführt. Die Zeitpunkte der Korrekturbewegungen ermittelt das Steuerungssystem der Durchlaufanlage zusammen mit den Sensoren. Als Antriebsmittel eignen sich z. B. elektrische oder pneumatische Zylinder oder Motoren.The Sensors detect the position of the current transverse gap of the Goods in relation to the location of at least one nearby Driver. The movements are carried out by separate drives. The time points of the correction movements are determined by the control system the continuous flow system together with the sensors. As drive are suitable for. As electric or pneumatic cylinders or motors.
Die
Korrekturmittel wirken auf die rücklaufende Kante des flachen
Gutes, das in dieser Richtung sehr stabil und nicht bruchempfindlich
ist. Von daher kann auch sehr bruchempfindliches Gut gleichmäßig, d.
h. frei von Schlupf transportiert werden. Die rücklaufende
Seite von räumlichen Gegenständen ist in der Regel
nicht empfindlich, so dass auch diese Korrektur problemlos erfolgen
kann. Besonders vorteilhaft ist es, dass für die Bewegungen
des Mitnehmers zum Ausrichten des Gutes bevorzugt kein gesonderter
Antrieb erforderlich ist. Die Erfindung wird nachfolgend an Hand
der schematischen und nicht maßstäblichen
Die
Diesen
idealen reproduzierenden Transport des Gutes
Die
Nach der Korrektur zwischen den Positionen m + 1 und m + 2 ist erst nach mehreren Positionen erneut zu korrigieren. Die Länge des Bereiches ohne Korrekturmittel richtet sich nach den allgemeinen Bedingungen des Transportes in der Durchlaufanlage. Die Anzahl der gleichartig quer zur Transportrichtung angeordneten Mitnehmer richtet sich nach der Breite des Gutes in dieser Richtung. Für jede Transportspur ist mindestens ein Mitnehmer, bevorzugt zwei vorzusehen. Es können auch mehrere sein, insbesondere wenn das Gut breit ist und wenn die Querlücke zwischen zwei aufeinanderfolgenden Güter klein ist. Eine kleine Querlücke erlaubt eine optimale Kapazitätsausnutzung der Durchlaufanlage. Dieser Fall besteht z. B. bei einer Durchlaufanlage zur Behandlung von Leiterplatten. Meist gibt es wegen deren großer Breite nur eine Transportspur.To the correction between the positions m + 1 and m + 2 is only after to correct several positions again. The length of the Area without correction means depends on the general Conditions of transport in the continuous system. The number of similarly arranged transversely to the transport direction driver according to the width of the goods in this direction. For Each transport lane is at least one driver, preferably two provided. It can also be several, especially if the good is wide and if the cross gap between two successive goods is small. A small cross gap allows optimal capacity utilization of the continuous system. This case exists z. B. in a continuous system for the treatment of Printed circuit boards. Mostly because of their large width only one transport lane.
Das
Gegenteil ist der Fall beim Transport von Wafern, Hybriden oder
Solarzellen. Hier können z. B. 10 Spuren zur parallelen
Förderung des Gutes vorkommen. Derartig kleines Gut mit
einer Fläche von z. B. 1 dm2 ist
für eine Produktionsanlage in der Regel stets gleich groß.
Dies wird vorteilhaft für die erfindungsgemäße
Vorrichtung mit einer Nockensteuerung für stets gleich
langes Gut in Transportrichtung genutzt:
Die Nockensteuerung
benötigt keine zusätzlichen elektrischen Steuerungskomponenten
und Sensoren. Die Bewegungen der Mitnehmer
The cam control does not require additional electrical control components and sensors. The movements of the drivers
Für
einen bestimmten, sich immer wiederholenden Startzeitpunkt des Gutes
in die Durchlaufanlage werden die Phasenwinkel φ der Fördermittel
und damit der Nocken so eingestellt und fixiert, dass die Mitnehmer
beim Durchdringen der Transportebene im richtigen Zeitpunkt die
Querlücke treffen und nicht das Gut. Zur Vermeidung von
vielen individuellen Einstellungen der Phasenwinkel φ einzelner
Transportwalzen entlang der Transportbahn sind definierte Abstände
In diesen Fällen ergeben sich zum optimalen Anströmen oder Anschwallen des Gutes gleiche Einstellungen der Phasenwinkel φ für die Transportmittel auf allen Wellen der Durchlaufanlage, die Mittel zur Steuerung der Anströmung der Unterseite aufweisen. Dazwischen können auch nicht steuernde Transportmittel angeordnet sein.In These cases result in optimum flow or swelling of the good same settings of the phase angle φ for the means of transport on all shafts of the conveyor system, the means have to control the flow of the bottom. In between can also non-controlling means of transport be arranged.
Die
Diese Ausführung der Erfindung erfordert einen geringen technischen Aufwand. Von daher können in kürzeren Abständen in Transportrichtung derartige Mitnehmer eingefügt werden. Sie erfordern eine sehr kurze Querlücke zwischen zwei aufeinander folgende Güter. Diese kann deutlich kleiner sein, als sie nach dem Stand der Technik erforderlich ist, weil bei diesem mit einer großen Querlücke das beschriebene Auflaufen verhindert werden muss. Durch häufigere Korrekturstellen entlang der Durchlaufanlage ist die erforderliche Korrekturstrecke, bzw. der zu korrigierende Schlupf klein. Dies erhöht insgesamt die Präzision des Transportes in einer Durchlaufanlage oder auf einem Rollenförderer.These Embodiment of the invention requires a low technical Effort. Therefore, at shorter intervals be inserted in the transport direction such drivers. They require a very short cross gap between two consecutive following goods. This can be significantly smaller than her is required by the prior art, because in this with a large cross gap the described emergence must be prevented. Due to more frequent correction points along the conveyor system is the required correction distance, or the slip to be corrected small. This increases the total Precision of transport in a continuous flow system or on a roller conveyor.
Die Erfindung eignet sich auch für in sich starre Mitnehmer. Diese werden von Nocken und Nockenbahnen gesteuert, die sich auf zwei aufeinander folgenden Transportwalzen unterhalb der Transportebene befinden. Durch die zwei gleichartigen Ausführungen der Nocken und Nockenbahnen wird eine Parallelführung des Mitnehmers erreicht. Er durchdringt die Transportebene durch eine vertikale Bewegung. In dieser Lage wird es von einer Feder beschleunigt in Transportrichtung gezogen und sofort anschließend durch die Nocken wieder unterhalb der Transportebene abgesenkt, um eine Kollision mit dem nachfolgenden Gut zu vermeiden.The Invention is also suitable for rigid drivers. These are controlled by cams and cam tracks that focus on two successive transport rollers below the transport plane are located. Due to the two similar types of Cam and cam tracks is a parallel guide of the driver reached. It penetrates the transport plane through a vertical Move. In this position it is accelerated by a spring in Pulled transport direction and immediately afterwards by the cams lowered again below the transport plane to a Avoid collision with the following good.
Die
Vorrichtungen zur Korrektur des Schlupfes von Gut wurde vorstehend
mit Mitnehmern, die weitgehend unterhalb der Transportebene
- 11
- Gut, Abschnitt, räumliche GegenständeWell, Section, spatial objects
- 22
- untere Transportwalze, Transportmittel, Antriebsmittellower Transport roller, means of transport, drive means
- 33
- Phasenpfeilphase arrow
- 44
- Transportebenetransport plane
- 55
- Antriebspfeildrive arrow
- 66
- Schlupfslippage
- 77
- Wellewave
- 1010
- Mitnehmer, Korrekturmitteldriver, correction means
- 1212
- Querlückelateral gap
- 1313
- Abstanddistance
- 1919
- Anschlagattack
- 2121
- TransportrichtungspfeilTransport direction arrow
- 2323
- Nockecam
- 2525
- Gegennockeagainst cam
- 2626
- Konsoleconsole
- 2727
- Zugfedermainspring
- 2828
- Stirnseite der Spurwalzefront the track roller
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Claims (16)
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007054091A DE102007054091A1 (en) | 2007-11-13 | 2007-11-13 | Apparatus and method for the uniform transport of substrates |
AT08019803T ATE486031T1 (en) | 2007-11-13 | 2008-11-13 | DEVICE AND METHOD FOR THE EVEN TRANSPORT OF SUBSTRATES |
DE502008001631T DE502008001631D1 (en) | 2007-11-13 | 2008-11-13 | Apparatus and method for the uniform transport of substrates |
EP08019803A EP2060515B1 (en) | 2007-11-13 | 2008-11-13 | Device and method to transport substrates evenly |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007054091A DE102007054091A1 (en) | 2007-11-13 | 2007-11-13 | Apparatus and method for the uniform transport of substrates |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102007054091A1 true DE102007054091A1 (en) | 2009-05-28 |
Family
ID=40276019
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102007054091A Withdrawn DE102007054091A1 (en) | 2007-11-13 | 2007-11-13 | Apparatus and method for the uniform transport of substrates |
DE502008001631T Active DE502008001631D1 (en) | 2007-11-13 | 2008-11-13 | Apparatus and method for the uniform transport of substrates |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE502008001631T Active DE502008001631D1 (en) | 2007-11-13 | 2008-11-13 | Apparatus and method for the uniform transport of substrates |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2060515B1 (en) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
R120 | Application withdrawn or ip right abandoned |
Effective date: 20110804 |