DE102007049158A1 - Verwendung von Kieselglasgranulaten - Google Patents

Verwendung von Kieselglasgranulaten Download PDF

Info

Publication number
DE102007049158A1
DE102007049158A1 DE102007049158A DE102007049158A DE102007049158A1 DE 102007049158 A1 DE102007049158 A1 DE 102007049158A1 DE 102007049158 A DE102007049158 A DE 102007049158A DE 102007049158 A DE102007049158 A DE 102007049158A DE 102007049158 A1 DE102007049158 A1 DE 102007049158A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
glass
production
crucibles
less
diffraction gratings
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102007049158A
Other languages
English (en)
Inventor
Monika Dr. Oswald
Christian Dr. Schulze-Isfort
Kai Dr. Schumacher
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Evonik Operations GmbH
Original Assignee
Evonik Degussa GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Evonik Degussa GmbH filed Critical Evonik Degussa GmbH
Priority to DE102007049158A priority Critical patent/DE102007049158A1/de
Publication of DE102007049158A1 publication Critical patent/DE102007049158A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C1/00Ingredients generally applicable to manufacture of glasses, glazes, or vitreous enamels
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D7/00Features of coating compositions, not provided for in group C09D5/00; Processes for incorporating ingredients in coating compositions
    • C09D7/40Additives
    • C09D7/60Additives non-macromolecular
    • C09D7/61Additives non-macromolecular inorganic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D7/00Features of coating compositions, not provided for in group C09D5/00; Processes for incorporating ingredients in coating compositions
    • C09D7/40Additives
    • C09D7/66Additives characterised by particle size
    • C09D7/69Particle size larger than 1000 nm
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/34Silicon-containing compounds
    • C08K3/36Silica

Abstract

Verwendung eines Kieselglasgranulates mit einem mittleren Durchmesser von 1 µm bis 5 mm, einer spezifischen BET-Oberfläche von weniger als 1 m2/g und einem Anteil an Verunreinigungen von weniger als 50 ppm zur Herstellung von . Glasrohlingen, beispielsweise sogenannten "boules", . Glasformkörpern, beispielsweise Mantelrohren, sogenannten "overcladding tubes", oder Kernstäben, sogenannten "core rods", in Lichtleitfasern, . Schmelztiegeln, beispielsweise sogenannten "crucibles", . optischen Linsen und Prismen und Photomasken, . Beugungsgittern, elektrischen, thermischen und magnetischen Isolatoren, . Behältern und Apparaten für die chemische, pharmazeutische und Halbleiterindustrie, . Glasstäben und Glasrohren . zur Beschichtung von Metallen, Plastik, Keramiken oder Glas, . als Füllstoff in Metallen, Gläsern, Polymeren, Elastomeren und Lacken, . als Poliermittel für Halbleitermaterialien und elektrische Schaltkreise, . Lampen, . Trägermaterial bei der Herstellung von Solarzellen.

Description

  • Die Erfindung betrifft die Verwendung eines Kieselglasgranulates.
  • Es sind zahlreiche Methoden zur Herstellung von Kieselglasgranulaten, ausgehend von amorphem Siliciumdioxid, bekannt. Geeignete Ausgangsmaterialien können durch Sol-Gel-Verfahren hergestelltes Siliciumdioxid, Fällungskieselsäure oder ein pyrogen hergestelltes Siliciumdioxid sein. Die Herstellung umfasst gewöhnlich eine Agglomeration des Siliciumdioxides. Dies kann mittels Nassgranulierung erfolgen. Bei der Nassgranulierung wird aus einer kolloidalen Siliciumdioxid-Dispersion durch ständiges Mischen oder Rühren ein Sol und daraus unter allmählichem Entzug der Feuchte, eine krümelige Masse erzeugt. Die Herstellung mittels Nassgranulierung ist aufwändig und teuer, insbesondere wenn hohe Ansprüche an eine niedrige Verunreinigung des Granulates gestellt werden.
  • Es ist weiterhin möglich, Kieselglas durch Kompaktierung von Siliciumdioxid zu erhalten. Die Kompaktierung, ohne Bindemittel, von pyrogen hergestelltem Siliciumdioxid ist schwierig, weil pyrogen hergestelltes Siliciumdioxid sehr trocken ist, und keine Kapillarkräfte die Partikelbindung herbeiführen können. Pyrogen hergestellte Siliciumdioxide zeichnen sich durch eine extreme Feinteiligkeit, ein niedriges Schüttgewicht, hohe spezifische Oberfläche, sehr hohe Reinheit, weitestgehend sphärische Primärpartikelform und das Fehlen von Poren, aus. Das pyrogen hergestellte Siliciumdioxid weist häufig eine hohe Oberflächenladung, die die Agglomeration elektrostatisch erschwert, auf.
  • Die Kompaktierung von pyrogen hergestelltem Siliciumdioxid stellt daher bislang keinen brauchbaren Weg zur Herstellung von qualitativ hochwertigem Kieselglas dar.
  • In US4042361 wird ein Verfahren zur Herstellung von Kieselglas offenbart, bei dem pyrogen hergestelltes Siliciumdioxid eingesetzt wird. Dieses wird in Wasser unter Bildung einer gießbaren Dispersion einarbeitet, nachfolgend das Wasser thermisch entfernt, den stückigen Rückstand bei 1150 bis 1500°C calciniert und anschließend in 1–100 μm – große Granulate vermahlen und verglast. Die Reinheit des so hergestellten Kieselglases ist für heutige Anwendungen nicht ausreichend. Das Herstellverfahren ist aufwändig und teuer.
  • Auch in WO91/13040 wird ein Verfahren offenbart, bei dem pyrogen hergestelltes Siliciumdioxid zur Herstellung von Kieselglas eingesetzt wird. Das Verfahren umfasst das Bereitstellen einer wässrigen Dispersion von pyrogenem Siliciumdioxid mit einem Feststoffgehalt von etwa 5 bis etwa 55 Gew.-%; das Überführen der wässrigen Dispersion in poröse Teilchen, indem man die wässrige Lösung in einem Ofen bei einer Temperatur zwischen etwa 100 bis etwa 200°C trocknet und das getrocknete poröse Teilchen zerkleinert; und nachfolgendes Sintern der porösen Teilchen in einer Atmosphäre mit einem Wasser-Partialdruck im Bereich von 0,2 bis 0,8 Atmosphären bei Temperaturen unterhalb etwa 1200°C. Es werden hochreine Kieselglasgranulate mit einem Durchmesser von etwa 3 bis 1000 μm, einer Stickstoff-BET-Oberfläche von weniger als etwa 1 m2/g und einem gesamten Verunreinigungsgehalt von weniger als etwa 50 ppm und einem Gehalt an Metallverunreinigung von weniger als 15 ppm erhalten. WO91/13040 gibt keine Hinweise, wie ein Kieselglasgranulat mit definierten, engen Abmessungen erhalten werden kann.
  • EP-A-1717202 offenbart ein Verfahren zur Herstellung zur Kieselglasgranulat durch Sintern eines pyrogen hergestellten Siliciumdioxides, welches nach einem bestimmten Verfahren auf Stampfdichten von 150 bis 800 g/l kompaktiert wurde. Bei diesem Verfahren, in DE-A-19601415 offenbart, handelt es sich um eine Sprühtrocknung von in Wasser dispergiertem Siliciumdioxid und nachfolgender Temperung bei 150 bis 1100°C. Das so erhaltene Granulat kann gesintert werden, liefert jedoch keine völlig blasenfreien Kieselglasgranulate.
  • EP-A-1258456 offenbart ein Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Glasformkörpers, bei dem man ein Siliciumalkoxid hydrolysiert und nachfolgend unter Bildung eines Sols ein pyrogen hergestelltes Siliciumdioxidpulver hinzugibt, das Sol nachfolgend in ein Gel überführt, das Gel trocknet und nachfolgend sintert.
  • EP-A-1283195 offenbart ebenfalls Sol-Gel-Verfahren bei denen Siliciumalkoxide und pyrogen hergestelltes Siliciumdioxidpulver eingesetzt werden.
  • Prinzipiell folgen die im Stand der Technik bekannten Verfahren alle dem Schema, dass zunächst ein Siliciumalkoxid hydrolysiert wird, ein Siliciumdioxidpulver unter Bildung eines Soles entsteht, welches in ein Gel überführt wird, das Gel anschließend getrocknet und nachfolgend gesintert. Der Prozess umfasst etliche Stufen, ist langwierig, empfindlich gegen Prozessschwankungen und anfällig für Verunreinigungen.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Kieselglasgranulat bereitzustellen, welches zur Herstellung von hochwertigen Glasprodukten geeignet ist. Insbesondere soll es eine hohe Reinheit, eine enge Verteilung der Granulatdimensionen aufweisen und weitestgehend frei von eingeschlossenen Blasen sein.
  • Gegenstand der Erfindung ist die Verwendung eines Kieselglasgranulates mit einem mittleren Durchmesser von 1 μm bis 5 mm, einer spezifischen BET-Oberfläche von weniger als 1 m2/g und einem Anteil an Verunreinigungen von weniger als 50 ppm zur Herstellung von
    • • Glasrohlingen, beispielsweise sogenannten „boules",
    • • Glasformkörpern, beispielsweise Mantelrohren, sogenannten "overcladding tubes" oder Kernstäben, sogenannten "core rods" in Lichtleitfasern,
    • • Schmelztiegel, beispielsweise sogenannten "crucibles",
    • • optischen Linsen und Prismen und Photomasken,
    • • Beugungsgittern, elektrischen, thermischen und magnetischen Isolatoren,
    • • Behältern und Apparaten für die chemische, pharmazeutische und Halbleiterindustrie,
    • • Glasstäben und Glasrohren
    • • zur Beschichtung von Metallen, Plastik, Keramiken oder Glas
    • • als Füllstoff in Metallen, Gläsern, Polymeren, Elastomeren und Lacken
    • • als Poliermittel für Halbleitermaterialien und elektrische Schaltkreise
    • • Lampen
    • • Trägermaterial bei der Herstellung von Solarzellen.
  • Das verwendete Kieselglasgranulat weist in Summe Verunreinigungen von weniger als 50 ppm, bevorzugt weniger als 10 ppm und besonders bevorzugt weniger als 5 ppm auf. Der Anteil an der metallischen Verunreinigungen kann bevorzugt < 5 ppm und besonders bevorzugt < 1 ppm sein.
  • Weiterhin kann ein Kieselglasgranulat verwendet werden, welches folgende Anteile an Verunreinigungen, alle in ppb, aufweist: Al ≤ 600, Ca ≤ 300, Cr ≤ 250, Cu ≤ 10, Fe ≤ 800, K ≤ 80, Li ≤ 10, Mg ≤ 20, Mn ≤ 20, Na ≤ 80, Ni ≤ 800, Ti ≤ 200, V ≤ 5 und Zr ≤ 80. Besonders bevorzugt kann ein Granulat verwendet werden, das folgende Anteile an Verunreinigungen, alle in ppb, aufweist: Al ≤ 350, Ca ≤ 90, Cr ≤ 40, Cu ≤ 3, Fe ≤ 100, K ≤ 50, Li ≤ 1, Mg ≤ 10, Mn ≤ 5, Na ≤ 50, Ni ≤ 80, Ti ≤ 100, V ≤ 1, Zr ≤ 3. Zur Bestimmung des Metallgehaltes wird das Kieselglasgranulat in einer fluss-säurehaltigen Lösung gelöst. Das sich bildende Siliciumtetrafluorid verdampft und der verbleibende Rückstand wird mittels Induktiv gekoppelter Plasma-Massenspektrometrie (ICP-MS) untersucht. Die Genauigkeit beträgt ca. 10%.
  • Der mittlere Durchmesser des Kieselglasgranulates kann bevorzugt 10 μm bis 1 mm und besonders bevorzugt 100 μm bis 500 μm sein.
  • Insbesondere kann ein Kieselglasgranulat eingesetzt werden, welches folgende Merkmale aufweist:
    • Fläche: 100 bis 5000 μm2,
    • ECD: 5 bis 100 μm,
    • Umfang: 20 bis 400 μm,
    • Maximaler Durchmesser: 10 bis 140 μm,
    • Minimaler Durchmesser: 5 bis 80 μm,
    wobei alle Werte Medianwerte darstellen.
  • Dabei wird die BET-Oberfläche des Kieselglasgranulates nach DIN 66131 bestimmt. Die Granulatdimensionen werden durch Bildanalyse mittels eines TEM Gerätes der Fa. Hitachi H 7500 und einer CCD-Kamera MegaView II, der Fa. SIS bestimmt. Die Bildvergrößerung zur Auswertung beträgt 30000:1 bei einer Pixeldichte von 3,2 nm. Die Anzahl der ausgewerteten Teilchen ist größer als 100. Die Präparation erfolgt gemäß ASTM3849-89. Die untere Schwellwertgrenze in Bezug auf Detektion liegt bei 50 Pixeln.
  • Weiterhin kann ein Kieselglasgranulat verwendet werden, welches eine bimodale Verteilung der Granulatkörner aufweist. Die bimodale Verteilung kann beispielsweise durch Siebanalyse bestimmt werden. Die bimodale Verteilung kann ein erstes Maximum bei 100 bis 200 μm und ein zweites Maximum bei 250 bis 400 μm aufweisen.
  • Weiterhin kann ein Kieselglasgranulat verwendet werden, bei dem die Oberfläche eines Granulatkornes Erhebungen aufweist, die unregelmäßige Abstände voneinander haben. Die Erhebungen können eine Höhe von 0,5 μm bis 35 μm erreichen. In der Regel betragen die Höhen 0,3 bis 20 μm.
  • Das Kieselglasgranulat kann erhalten werden indem man
    • a) pyrogen hergestelltes Siliciumdioxidpulver mit einer Stampfdichte von 15 bis 190 g/l zu Schülpen kompaktiert
    • b) diese nachfolgend bricht und Schülpenbruchstücke mit einem Durchmesser von < 100 μm und > 800 μm abtrennt
    • c) wobei die Schülpenbruchstücke eine Stampfdichte von 300 bis 600 g/l aufweisen,
    • d) diese anschließend bei 600 bis 1100°C in einer Atmosphäre, die eine oder mehrere Verbindungen enthält, die geeignet sind Hydroxylgruppen zu entfernen, behandelt und
    • e) anschließend bei 1200°C bis 1400°C sintert.
  • Als Schülpen bezeichnet man die mehr oder weniger bandförmigen Zwischenprodukte, die bei der Walzenkompaktierung durch die Verpressung des Ausgangsmaterials entstehen. Sie werden in einem zweiten Schritt gebrochen. Die Eigenschaften der Schülpen und Schülpenbruchstücke können durch die prozessualen Größen, wie der gewährte Prozesssteuerungsmodus, die Kompaktierkraft, die Breite des Spalts zwischen den beiden Walzen und die Druckhaltezeit, die durch die entsprechende Veränderung der Umdrehungsgeschwindigkeiten der Presswalzen eingestellt wird, beeinflusst werden.
  • Das eingesetzte pyrogen hergestellte Siliciumdioxidpulver kann eines mit einer Primärteilchengröße von 5 bis 50 nm und einer BET-Oberfläche von 30 bis 400 m2/g sein. Vorzugsweise können pyrogen hergestellte Siliciumdioxid mit einer BET-Oberfläche von 40 bis 150 m2/g eingesetzt werden. Die Reinheit des eingesetzten pyrogen hergestellten Siliciumdioxidpulvers ist mindestens 99 Gew.-% und vorzugsweise mindestens 99,9 Gew.-%.
  • Das pyrogen hergestellte Siliciumdioxidpulver kann eine Stampfdichte (nach DIN EN ISO 787-11) von 15 bis 190 g/l, vorzugsweise von 30 bis 150 g/l, aufweisen. Es kann mittels bekannter Verfahren und Vorrichtungen vorverdichtet sein. So können beispielsweise die Vorrichtungen gemäß US4325686 , US4877595 , US3838785 , US3742566 , US3762851 , US3860682 verwendet werden. In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung kann man ein pyrogen hergestelltes Siliciumdioxidpulver einsetzen, das mittels eines Pressbandfilters gemäß EP-A-0280851 oder US 4,877,595 verdichtet wurde.
  • Das pyrogen hergestellte Siliciumdioxidpulver mit einer Stampfdichte von 15 bis 190 g/l wird nachfolgend zu Schülpen kompaktiert. Unter Kompaktieren wird dabei die mechanische Verdichtung ohne Zusatz von Bindemittel verstanden. Bei der Kompaktierung sollte eine gleichmäßige Pressung des pyrogen hergestellten Siliciumdioxidpulvers gewährleistet sein, um Schülpen mit einer weitestgehend homogenen Dichte zu erhalten.
  • Die Kompaktierung zu Schülpen kann mittels zweier Walzen erfolgen, von denen eine oder auch beide gleichzeitig eine Entlüftungsfunktion haben können.
  • Vorzugsweise können zwei Kompaktierwalzen eingesetzt werden, die glatt oder profiliert sein können. Das Profil kann sowohl nur auf einer Kompaktierwalze als auch auf beiden Kompaktierwalzen vorhanden sein. Das Profil kann aus achsenparallelen Riffeln oder aus beliebig angeordneten Mulden (Vertiefungen) in beliebiger Ausgestaltung bestehen. In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung kann mindestens eine der Walzen eine Vakuumwalze sein.
  • Zum Kompaktieren eignet sich insbesondere ein Verfahren bei dem man das zu kompaktierende, pyrogen hergestellte Silciumdioxidpulver mittels zweier Verdichtungswalzen, wovon mindestens eine drehantreibbar angeordnet ist und spezifische Anpressdrücke von 0,5 kN/cm bis 50 kN/cm bewirken, kompaktiert, wobei die Oberfläche der Verdichtungswalzen aus einem Material besteht, welches überwiegend oder vollständig frei von Metallen und/oder Metallverbindungen ist oder die Oberfläche aus einem sehr harten Werkstoff besteht. Geeignete Materialien sind technische Keramiken, wie zum Beispiel Siliciumcarbid, Siliciumnitrid, beschichtete Metalle oder Aluminiumoxid. Das Verfahren ist geeignet, die Kontamination der Schülpenbruchstücke und des Kieselglasgranulates zu minimieren.
  • Nach der Kompaktierung werden die Schülpen gebrochen. Hierzu kann ein Siebgranulator, der mit seiner Maschenweite des Siebes die Korngröße vorgibt, verwendet werden. Die Maschenweite kann 250 μm bis 20 mm betragen.
  • Für das Brechen der Schülpen kann eine Vorrichtung mit zwei, sich gegensinnig drehenden Walzen mit einem definierten Spalt oder eine Stachelwalze eingesetzt werden.
  • Die Schülpenbruchstücke können mittels eines Sichters, eines Siebes oder eines Klassierers klassiert werden. Dabei kann der Feinanteil abgetrennt werden. Als Sichter können Querstromsichter, Gegenstromumlenksichter etc. eingesetzt werden. Als Klassierer kann ein Zyklon eingesetzt werden. Der bei der Klassierung abgetrennte Feinanteil kann in das erfindungsgemäße Verfahren zurückgeführt werden.
  • Die Schülpenbruchstücke weisen eine Stampfdichte von 300 bis 600 g/l auf. Bevorzugt weisen die Schülpenbruchstücke eine Stampfdichte von 350 bis 550 g/l und besonders bevorzugt 400 bis 600 g/l auf. Die Schülpenbruchstücke weisen in der Regel eine um 10 bis 40% höhere Stampfdichte als die ungebrochenen Schülpen auf.
  • Die klassierten Schülpenbruchstücke werden anschließend bei Temperaturen von 400 bis 1100°C einer Atmosphäre ausgesetzt, die eine oder mehrere reaktive Verbindungen enthält, die geeignet sind, Hydroxylgruppen und Verunreinigungen aus den Schülpenbruchstücken zu entfernen. Dies können bevorzugt Chlor, Salzsäure, Schwefelhalogenide und/oder Schwefeloxidhalogenide sein. Besonders bevorzugt kann Chlor, Salzsäure, Dischwefeldichlorid oder Thionylchlorid eingesetzt werden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - US 4042361 [0005]
    • - WO 91/13040 [0006, 0006]
    • - EP 1717202 A [0007]
    • - DE 19601415 A [0007]
    • - EP 1258456 A [0008]
    • - EP 1283195 A [0009]
    • - US 4325686 [0023]
    • - US 4877595 [0023, 0023]
    • - US 3838785 [0023]
    • - US 3742566 [0023]
    • - US 3762851 [0023]
    • - US 3860682 [0023]
    • - EP 0280851 A [0023]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • - DIN 66131 [0017]
    • - DIN EN ISO 787-11 [0023]

Claims (2)

  1. Verwendung eines Kieselglasgranulates mit einem mittleren Durchmesser von 1 μm bis 5 mm, einer spezifischen BET-Oberfläche von weniger als 1 m2/g und einem Anteil an Verunreinigungen von weniger als 50 ppm zur Herstellung von • Glasrohlingen, beispielsweise sogenannten „boules", • Glasformkörpern, beispielsweise Mantelrohren, sogenannten "overcladding tubes" oder Kernstäben, sogenannten "core rods" in Lichtleitfasern, • Schmelztiegel, beispielsweise sogenannten "crucibles", • optischen Linsen und Prismen und Photomasken, • Beugungsgittern, elektrischen, thermischen und magnetischen Isolatoren, • Behältern und Apparaten für die chemische, pharmazeutische und Halbleiterindustrie, • Glasstäben und Glasrohren • zur Beschichtung von Metallen, Plastik, Keramiken oder Glas • als Füllstoff in Metallen, Gläsern, Polymeren, Elastomeren und Lacken • als Poliermittel für Halbleitermaterialien und elektrische Schaltkreise • Lampen • Trägermaterial bei der Herstellung von Solarzellen.
  2. Verwendung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Kieselglasgranulates folgende Merkmale aufweist: • Fläche: 100 bis 5000 μm2, • ECD: 5 bis 100 μm, • Umfang: 20 bis 400 μm, • Maximaler Durchmesser: 10 bis 140 μm, • Minimaler Durchmesser: 5 bis 80 μm, wobei alle Werte Medianwerte darstellen.
DE102007049158A 2007-10-13 2007-10-13 Verwendung von Kieselglasgranulaten Withdrawn DE102007049158A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007049158A DE102007049158A1 (de) 2007-10-13 2007-10-13 Verwendung von Kieselglasgranulaten

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007049158A DE102007049158A1 (de) 2007-10-13 2007-10-13 Verwendung von Kieselglasgranulaten

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102007049158A1 true DE102007049158A1 (de) 2009-04-16

Family

ID=40435476

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102007049158A Withdrawn DE102007049158A1 (de) 2007-10-13 2007-10-13 Verwendung von Kieselglasgranulaten

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102007049158A1 (de)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010008162A1 (de) 2010-02-16 2011-08-18 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG, 63450 Verfahren für die Herstellung von Quarzglas
CN102718399A (zh) * 2011-03-30 2012-10-10 连云港福东正佑照明电器有限公司 一种砷化镓晶体生长用石英坩埚及其制备方法
US10618833B2 (en) 2015-12-18 2020-04-14 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a synthetic quartz glass grain
US10676388B2 (en) 2015-12-18 2020-06-09 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Glass fibers and pre-forms made of homogeneous quartz glass
US10730780B2 (en) 2015-12-18 2020-08-04 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a quartz glass body in a multi-chamber oven
US11053152B2 (en) 2015-12-18 2021-07-06 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Spray granulation of silicon dioxide in the preparation of quartz glass
US11236002B2 (en) 2015-12-18 2022-02-01 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of an opaque quartz glass body
US11299417B2 (en) 2015-12-18 2022-04-12 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a quartz glass body in a melting crucible of refractory metal
US11339076B2 (en) 2015-12-18 2022-05-24 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of carbon-doped silicon dioxide granulate as an intermediate in the preparation of quartz glass
US11492285B2 (en) 2015-12-18 2022-11-08 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of quartz glass bodies from silicon dioxide granulate
US11492282B2 (en) 2015-12-18 2022-11-08 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of quartz glass bodies with dew point monitoring in the melting oven
US11952303B2 (en) 2015-12-18 2024-04-09 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Increase in silicon content in the preparation of quartz glass

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3742566A (en) 1968-11-08 1973-07-03 Degussa Processing of finely divided particulate materials
US3838785A (en) 1971-05-04 1974-10-01 F Lancesseur Tamper-proof plastic cap
US4042361A (en) 1976-04-26 1977-08-16 Corning Glass Works Method of densifying metal oxides
US4325686A (en) 1980-11-28 1982-04-20 Cabot Corporation Apparatus for densifying powders of sub-micron particle size
EP0280851A1 (de) 1987-02-26 1988-09-07 Degussa Aktiengesellschaft Verfahren zum Verdichten von pyrogen hergestellter Kieselsäure
WO1991013040A1 (en) 1990-03-02 1991-09-05 Cabot Corporation Process for making non-porous, micron-sized high purity silica
DE19601415A1 (de) 1995-02-04 1996-08-08 Degussa Granulate auf Basis von pyrogen hergestelltem Siliciumdioxid, Verfahren zu ihrer Herstellung und ihre Verwendung
EP1258456A1 (de) 2001-05-18 2002-11-20 Degussa AG Verfahren zur Herstellung von Quarzglas
EP1283195A1 (de) 2001-08-01 2003-02-12 Novara Technology S.R.L. Sol-Gel-Verfahren für die Herstellung von Vorformen für optische Fasern
EP1717202A1 (de) 2005-04-29 2006-11-02 Degussa AG Sinterwerkstoffe aus Siliciumdioxid

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3742566A (en) 1968-11-08 1973-07-03 Degussa Processing of finely divided particulate materials
US3762851A (en) 1968-11-08 1973-10-02 Degussa Processing of finely divided particulate materials
US3860682A (en) 1968-11-08 1975-01-14 Helmut Reinhardt Processing of finely divided particulate materials
US3838785A (en) 1971-05-04 1974-10-01 F Lancesseur Tamper-proof plastic cap
US4042361A (en) 1976-04-26 1977-08-16 Corning Glass Works Method of densifying metal oxides
US4325686A (en) 1980-11-28 1982-04-20 Cabot Corporation Apparatus for densifying powders of sub-micron particle size
EP0280851A1 (de) 1987-02-26 1988-09-07 Degussa Aktiengesellschaft Verfahren zum Verdichten von pyrogen hergestellter Kieselsäure
US4877595A (en) 1987-02-26 1989-10-31 Degussa Aktiengesellschaft Method of compressing pyrogenically prepared silicic acid
WO1991013040A1 (en) 1990-03-02 1991-09-05 Cabot Corporation Process for making non-porous, micron-sized high purity silica
DE19601415A1 (de) 1995-02-04 1996-08-08 Degussa Granulate auf Basis von pyrogen hergestelltem Siliciumdioxid, Verfahren zu ihrer Herstellung und ihre Verwendung
EP1258456A1 (de) 2001-05-18 2002-11-20 Degussa AG Verfahren zur Herstellung von Quarzglas
EP1283195A1 (de) 2001-08-01 2003-02-12 Novara Technology S.R.L. Sol-Gel-Verfahren für die Herstellung von Vorformen für optische Fasern
EP1717202A1 (de) 2005-04-29 2006-11-02 Degussa AG Sinterwerkstoffe aus Siliciumdioxid

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DIN 66131
DIN EN ISO 787-11

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010008162A1 (de) 2010-02-16 2011-08-18 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG, 63450 Verfahren für die Herstellung von Quarzglas
WO2011101327A1 (de) 2010-02-16 2011-08-25 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur herstellung eines quarzglastiegels
CN102753493A (zh) * 2010-02-16 2012-10-24 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 用于生产石英玻璃坩埚的方法
JP2013519624A (ja) * 2010-02-16 2013-05-30 ヘレーウス クヴァルツグラース ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト 石英ガラスるつぼの製造法
DE102010008162B4 (de) * 2010-02-16 2017-03-16 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren für die Herstellung von Quarzglas für einen Quarzglastiegel
CN102718399A (zh) * 2011-03-30 2012-10-10 连云港福东正佑照明电器有限公司 一种砷化镓晶体生长用石英坩埚及其制备方法
CN102718399B (zh) * 2011-03-30 2015-07-15 连云港福东正佑照明电器有限公司 一种砷化镓晶体生长用石英坩埚及其制备方法
US10676388B2 (en) 2015-12-18 2020-06-09 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Glass fibers and pre-forms made of homogeneous quartz glass
US10618833B2 (en) 2015-12-18 2020-04-14 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a synthetic quartz glass grain
US10730780B2 (en) 2015-12-18 2020-08-04 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a quartz glass body in a multi-chamber oven
US11053152B2 (en) 2015-12-18 2021-07-06 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Spray granulation of silicon dioxide in the preparation of quartz glass
US11236002B2 (en) 2015-12-18 2022-02-01 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of an opaque quartz glass body
US11299417B2 (en) 2015-12-18 2022-04-12 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a quartz glass body in a melting crucible of refractory metal
US11339076B2 (en) 2015-12-18 2022-05-24 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of carbon-doped silicon dioxide granulate as an intermediate in the preparation of quartz glass
US11492285B2 (en) 2015-12-18 2022-11-08 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of quartz glass bodies from silicon dioxide granulate
US11492282B2 (en) 2015-12-18 2022-11-08 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of quartz glass bodies with dew point monitoring in the melting oven
US11708290B2 (en) 2015-12-18 2023-07-25 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a quartz glass body in a multi-chamber oven
US11952303B2 (en) 2015-12-18 2024-04-09 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Increase in silicon content in the preparation of quartz glass

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2014622B1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Kieselglasgranulats
DE102007049158A1 (de) Verwendung von Kieselglasgranulaten
EP3000790B1 (de) Verfahren für die Herstellung von synthetischem Quarzglas aus SiO2-Granulat und geeignetes SiO2-Granulat dafür
EP3390293B1 (de) Erhöhen des siliziumgehalts bei der herstellung von quarzglas
EP3390292B1 (de) Herstellung einer synthetischen quarzglaskörnung
EP3390290B1 (de) Herstellung eines opaken quarzglaskörpers
DE10114484C2 (de) Verfahren für die Herstellung eines Komposit-Werkstoffs mit einem SiO¶2¶-Gehalt von mindestens 99 Gew.-%, und Verwendung des nach dem Verfahren erhaltenen Komposit-Werkstoffs
DE102007031633A1 (de) Verfahren zur Herstellung von hochreinem Siliciumdioxidgranulat
DE102007031635A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Metalloxidgranulaten
EP3390297A1 (de) Gasspülung für schmelzofen und herstellungsverfahren für quarzglas
EP1074513A2 (de) Sinterwerkstoffe und deren Herstellungsverfahren und Verwendungen, Dispersionen von Siliciumdioxid-Granulaten und deren Verwendungen, sowie Verwendungen von Siliciumdioxid-Granulaten
KR102123925B1 (ko) 기공 함유 불투명 석영 유리의 제조 방법
EP1813574A1 (de) Zu Schülpen kompaktiertes pyrogen hergestelltes Siliciumdioxid
EP3390298A1 (de) Herstellen und nachbehandeln eines quarzglaskörpers
WO2017103162A1 (de) Herstellung eines quarzglaskörpers in einem stehendem sintertiegel
DE102012207505A1 (de) Polykristallines Siliciumgranulat und seine Herstellung
WO2017103153A9 (de) Glasfasern und vorformen aus quarzglas mit geringem oh-, cl- und al-gehalt
EP3390301A1 (de) Ammoniakbehandlung von siliziumdioxidpulver bei der herstellung von quarzglas
EP2794477A1 (de) Polykristalliner siliciumstab und verfahren zur herstellung von polysilicium
EP4281418A1 (de) Quarzglaskörper
WO2020182479A1 (de) Bauteil aus dotiertem quarzglas für den einsatz in einem plasma-unterstützten fertigungsprozess sowie verfahren zur herstellung des bauteils
DE102011111224A1 (de) Verfahren zur Herstellung von alpha-Aluminiumoxid
EP2011769A1 (de) Gesintertes, hochreines Siliciumdioxid enthaltendes Granulat

Legal Events

Date Code Title Description
R005 Application deemed withdrawn due to failure to request examination
R005 Application deemed withdrawn due to failure to request examination

Effective date: 20141014