DE102007045571A1

DE102007045571A1 - Probe and device for optical testing of test objects

Info

Publication number: DE102007045571A1
Application number: DE200710045571
Authority: DE
Inventors: David Rychtarik; Ralf Kochendoerfer
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2007-09-24
Filing date: 2007-09-24
Publication date: 2009-04-02
Also published as: WO2009040159A1

Abstract

Es wird eine optische Sonde (1) zum optischen Prüfen von Messobjekten vorgeschlagen, wobei diese umfasst: einen Eingang (10) zur Einführung eines Eingangsstrahls in die Sonde (1), mindestens ein optisches Element (8) zur Überführung des Eingangsstrahls in einen Messstrahl und mindestens einen Ausgang (20) zur Beleuchtung der zu prüfenden Messobjekte, wobei ein Mittel (15) zum Austauschen des mindestens einen optischen Elements (8) vorgesehen ist. Weiter wird eine Vorrichtung zur interferometrischen Messung von Messobjekten beschrieben, wobei in der Vorrichtung ein Interferometer mit der optischen Sonde (1) verbunden ist.The invention relates to an optical probe (1) for optically testing measuring objects, comprising: an input (10) for introducing an input beam into the probe (1), at least one optical element (8) for transferring the input beam into a measuring beam and at least one output (20) for illuminating the test objects to be tested, wherein a means (15) for exchanging the at least one optical element (8) is provided. Furthermore, a device for the interferometric measurement of measuring objects is described, wherein in the device an interferometer is connected to the optical probe (1).

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung betrifft eine optische Sonde zum optischen Prüfen von Messobjekten gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie eine Vorrichtung zur interferometrischen Messung von Messobjekten mit der Sonde.The The invention relates to an optical probe for optical inspection of DUTs according to the preamble of the claim 1 and a device for the interferometric measurement of measurement objects with the probe.

Es ist z. B. in der industriellen Fertigung von Bauteilen bekannt, die Bauteile während oder nach ihrem Herstellungsprozess optisch zu überprüfen. Dabei wird mit einer optischen Sonde die Oberflächen der Bauteile beleuchtet und ein verwertbares Bild von der Oberfläche gewonnen.It is z. B. in the industrial manufacturing of components, the components during or after their manufacturing process visually check. It is with an optical Probe illuminates the surfaces of the components and a usable image won from the surface.

Ein Beispiel solch einer optischen Sonde ist in 1 schematisch dargestellt. Die Sonde 1 weist einen Eingang 10 zur Einführung eines Eingangsstrahls in die Sonde 1, optische Elemente 8 wie eine Fokussierlinse 8a zur Fokussierung des Eingangsstrahls zu einem Messstrahl und einen Ausgang 20 zur Beleuchtung der zu prüfenden Bauteilen auf. Der Eingangsstrahl wird durch eine Lichtleitfaser 11 in die Sonde 1 eingeführt. Die Lichtleitfaser 11 selbst kann durch eine Ferrule 13 am Eingang 10 in die Sonde 1 eingeführt werden. Zwischen der Ferrule 13 und der Fokussierlinse 8a kann ein Abstandshalter 3 angeordnet sein. Während die Ferrule 13 und der Abstandshalter 3 zusammengehalten werden durch einen Haltestift 2, sind gleichzeitig der Abstandshalter 3 und die Fokussierlinse 8a angeordnet innerhalb eines Schutzröhrchens 4.An example of such an optical probe is in 1 shown schematically. The probe 1 has an entrance 10 for introducing an input beam into the probe 1 , optical elements 8th like a focusing lens 8a for focusing the input beam to a measuring beam and an output 20 to illuminate the components to be tested. The input beam is through an optical fiber 11 into the probe 1 introduced. The optical fiber 11 itself can through a ferrule 13 at the entrance 10 into the probe 1 be introduced. Between the ferrule 13 and the focusing lens 8a can be a spacer 3 be arranged. While the ferrule 13 and the spacer 3 held together by a retaining pin 2 , are at the same time the spacer 3 and the focusing lens 8a arranged inside a protective tube 4 ,

Am Ausgang 20 der Sonde 1 ist als ein weiteres optisches Element zusätzlich eine Ablenkeinheit 8b, hier ein Prisma, zur Strahlablenkung angeordnet. Der fokussierte Messstrahl wird durch das Prisma seitlich abgelenkt und tritt so aus der Sonde 1 aus.At the exit 20 the probe 1 is as a further optical element additionally a deflection unit 8b , here a prism, arranged for beam deflection. The focused measuring beam is deflected laterally by the prism and thus emerges from the probe 1 out.

Alle beschriebenen mechanischen und optischen Elemente der Sonde 1 sind dabei fest miteinander verbunden. Sie bilden also zusammen eine starre Einheit.All described mechanical and optical elements of the probe 1 are firmly connected. Together they form a rigid unit.

Aus DE 19714 202 A1 ist ebenfalls eine Sonde bekannt, mit der die Oberfläche eines Messobjektes optisch geprüft wird. Insbesondere wird in der Schrift vorgeschlagen, optische Elemente für die Sonde derart auszuwählen und anzuordnen, dass die Sonde zwei Ausgänge mit voneinander unterschiedlichen Austrittswinkeln umfasst. Es ist dabei nicht vorgesehen, bestimmte Elemente der Sonde je nach Bedarf auszutauschen. Konsequenterweise fehlen in der Sonde Mitteln, die ein einfaches Austauschen einzelner Elemente der Sonde ermöglichen.Out DE 19714 202 A1 a probe is also known with which the surface of a measuring object is visually examined. In particular, it is proposed in the document to select and arrange optical elements for the probe in such a way that the probe comprises two exits with mutually different exit angles. It is not intended to replace certain elements of the probe as needed. Consequently, the probe lacks means that allow easy replacement of individual elements of the probe.

Sollen jedoch mehrere Bauteile mit z. B. unterschiedlichen Bohrungsdurchmessern vermessen werden, ist ein Prüfen aller Bauteile mit einer einzigen, bisher beschriebenen Sonde nicht möglich, da weder die Fokuslänge der Sonde flexibel eingestellt werden kann noch das relevante optische Element einfach ausgetauscht werden kann. Die gleiche Problematik entsteht, wenn aufgrund der Form der Prüfkörper sehr viele verschiedene Austrittswinkel der Sonde notwendig werden.Should However, several components with z. B. different bore diameters is to test all components with one single, previously described probe not possible because neither the focal length of the probe can be flexibly adjusted still the relevant optical element can be easily exchanged can. The same problem arises when, due to the shape of the Test specimen very many different exit angles the probe become necessary.

Die bisher bekannten optischen Sonden 1 mit einem optischen Element 8 haben daher den Nachteil, dass bei zu vermessenden Bauteilen mit unterschiedlichen Abmessungen ein Austauschen der gesamten Sonde 1 notwendig ist.The hitherto known optical probes 1 with an optical element 8th Therefore, have the disadvantage that in the case of components to be measured with different dimensions, a replacement of the entire probe 1 necessary is.

Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention

Die erfindungsgemäße optische Sonde 1 bzw. die erfindungsgemäße Vorrichtung mit der Sonde 1 hat den Vorteil, dass ein sehr flexibler Einsatz der Sonde 1 ermöglicht wird. Vorteilhaft braucht nur ein Teil oder nur bestimmte Teile der Sonde 1 ausgetauscht zu werden, nämlich nur die optisch relevanten Elemente der Sonde 1.The optical probe according to the invention 1 or the device according to the invention with the probe 1 has the advantage of a very flexible use of the probe 1 is possible. Advantageously, only a part or only certain parts of the probe need 1 to be replaced, namely only the optically relevant elements of the probe 1 ,

Folglich entfällt die Notwendigkeit, die gesamte Sonde 1 bei verändertem Abstand oder der Blickrichtung der zu vermessenden Prüffläche gegenüber der Sonde 1 bzw. dem Ausgang der Sonde 1 auszutauschen. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben und in der Beschreibung beschrieben.Consequently, eliminating the need for the entire probe 1 at a different distance or the viewing direction of the test surface to be measured with respect to the probe 1 or the output of the probe 1 exchange. Advantageous developments of the invention are specified in the subclaims and described in the description.

Zeichnungdrawing

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnungen und der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:embodiments The invention will be apparent from the drawings and the following Description explained in more detail. Show it:

1 ein Beispiel einer bekannten Sonde aus dem Stand der Technik, 1 an example of a known probe from the prior art,

2 ein erstes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Sonde, 2 a first embodiment of the probe according to the invention,

3 ein zweites Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Sonde, und 3 A second embodiment of the probe according to the invention, and

4a bis 4d jeweils eine Austauscheinheit für die erfindungsgemäße Sonde. 4a to 4d in each case one exchange unit for the probe according to the invention.

Beschreibung der AusführungsbeispieleDescription of the embodiments

In 1 ist ein Beispiel einer aus dem Stand der Technik bekannten optischen Sonde 1 dargestellt. Der Aufbau der bekannten Sonde 1 wurde bereits eingangs erläutert.In 1 is an example of an optical probe known in the art 1 shown. The structure of the known probe 1 was already explained at the beginning.

Ein erstes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Sonde zeigt 2. Hier wird die Sonde 1 in Form eines optischen Tastarmes vorgeschlagen. Wie aus dem Stand der Technik bereits bekannt und oben beschrieben, weist die Sonde 1 einen Eingang 10 zur Einführung eines Eingangsstrahls in die Sonde 1 auf. Vorteilhaft wird der Eingangsstrahl mittels einer Lichtleitfaser 11 in die Sonde 1 eingeführt. Die Lichtleitfaser 11 selbst kann durch eine Ferrule 13 am Eingang 10 in die Sonde 1 eingeführt werden. Mindestens ein optisches Element 8 überführt den Eingangsstrahl in einen Messstrahl. Typischerweise umfassen die optischen Elemente 8 mindestens eine Fokussierlinse 8a. Zwischen der Ferrule 13 und den optischen Elementen 8 kann ein Abstandshalter 3 angeordnet sein. Während die Ferrule 13 und der Abstandshalter 3 zusammengehalten werden durch einen Haltestift 2, ist gleichzeitig der Abstandshalter 3 angeordnet innerhalb eines Schutzröhrchens 4. Hier hat der Haltestift 2 die Form eines Rohres.A first embodiment of the inventions to the invention probe shows 2 , Here is the probe 1 proposed in the form of an optical probe arm. As already known from the prior art and described above, the probe has 1 an entrance 10 for introducing an input beam into the probe 1 on. Advantageously, the input beam by means of an optical fiber 11 into the probe 1 introduced. The optical fiber 11 itself can through a ferrule 13 at the entrance 10 into the probe 1 be introduced. At least one optical element 8th transfers the input beam into a measuring beam. Typically, the optical elements include 8th at least one focusing lens 8a , Between the ferrule 13 and the optical elements 8th can be a spacer 3 be arranged. While the ferrule 13 and the spacer 3 held together by a retaining pin 2 , is at the same time the spacer 3 arranged inside a protective tube 4 , Here is the retaining pin 2 the shape of a pipe.

Die Fokussierlinse 8a ist vorteilhaft durch eine sogenannte GRIN-Linse ausgebildet, die eine Kurzform von „Graduate Index-Linse", „Graded Index-Linse" oder „Gradient Index-Linse" ist. Im Gegensatz zu konventionellen Linsen verändert sich die Brechungsindex einer GRIN-Linse stetig und stufenlos im Material der Linse. Vorteilhaft kann daher beispielsweise auf eine gekrümmte Oberflächenform wie im Falle von konventionellen Linsen verzichtet werden.The focusing lens 8a is advantageously formed by a so-called GRIN lens, which is a short form of "graduate index lens", "graded index lens" or "gradient index lens." In contrast to conventional lenses, the refractive index of a GRIN lens changes steadily and infinitely variable in the material of the lens Therefore, for example, it is advantageously possible to dispense with a curved surface shape as in the case of conventional lenses.

Als ein weiteres optisches Element 8 ist eine Strahlablenkeinheit 8b vorgesehen, die hier in 2 durch ein Prisma ausgebildet ist. Die Strahlablenkeinheit 8b kann aber je nach Bedarf auch durch einen Spiegel ausgebildet werden. In beiden Fällen kann die Sonde 1 z. B. innerhalb einer Bohrung eines zu vermessenden Bauteils angeordnet werden, um die Innenwand der Bohrung optisch abzutasten.As another optical element 8th is a beam deflection unit 8b provided here in 2 is formed by a prism. The beam deflection unit 8b but can also be formed by a mirror as needed. In both cases, the probe can 1 z. B. within a bore of a component to be measured, to optically scan the inner wall of the bore.

Erfindungsgemäß ist nun zusätzlich ein Mittel 15 zum Austauschen des mindestens einen optischen Elements 8 vorgesehen. Das mindestens eine optische Element 8 kann eine Fokussierlinse 8a oder eine Ablenkeinheit 8b sein. Durch dieses Mittel 15 wird es ermöglicht, bei Bedarf ein optisches Element 8 in einer einfachen und schnellen Weise auszutauschen. Somit umfasst die Sonde 1 zwei Einheiten: Neben den untrennbar miteinander verbundenen Elementen in einer ersten, festen Einheit sind austauschbare Elemente in einer zweiten, sogenannten Austauscheinheit 14 angeordnet.According to the invention is now additionally an agent 15 for exchanging the at least one optical element 8th intended. The at least one optical element 8th can be a focusing lens 8a or a deflection unit 8b be. By this means 15 it is made possible, if necessary, an optical element 8th to exchange in a simple and fast way. Thus, the probe includes 1 two units: In addition to the inseparable elements in a first, fixed unit are exchangeable elements in a second, so-called exchange unit 14 arranged.

Das Mittel 15 zum Austauschen des mindestens einen optischen Elements 8 ist in diesem Beispiel selbst ein Element der ersten, festen Einheit und fest mit dem Schutzröhren 4 verbunden. Abweichend hiervon kann aber bei Bedarf das Mittel 15 ein Element der Austauscheinheit 14 sein.The middle 15 for exchanging the at least one optical element 8th In this example, it is itself an element of the first, fixed unit and fixed to the protective tube 4 connected. Deviating from this, however, if necessary, the means 15 an element of the exchange unit 14 be.

Folgende Situationen verdeutlichen die Vorteile des Mittels 15: Typischerweise ist die Sonde 1 an einer Halterung fest angeordnet, wenn ein Messobjekt vermessen werden soll. Wird nun während des Einsatzes ein optisches Element 8 wie die Fokussierlinse 8a oder die Ablenkeinheit 8b beschädigt, weil z. B. die Sonde 1 mit dem Messobjekt oder anderen Gegenständen ungeplant kollidiert und eine Erschütterung erleidet, so muss das optische Element 8 ausgetauscht werden. Bisher bedeutete dies, gleich die gesamte Sonde 1 auszutauschen, obwohl nur ein oder wenige Elemente beschädigt sind. Die Sonde 1 muss dann aus der Halterung herausmontiert werden und eine neue Sonde 1 wieder einmontiert werden. Zudem muss die neue Sonde 1 eingemesen werden, d. h. neu eingestellt werden auf das Messobjekt.The following situations illustrate the advantages of the remedy 15 : Typically, the probe 1 fixed to a holder when a measurement object is to be measured. Now becomes an optical element during use 8th like the focusing lens 8a or the deflection unit 8b damaged because z. B. the probe 1 must collide with the object to be measured or other objects unplanned and suffers a shock, so must the optical element 8th be replaced. So far, this meant the same time as the entire probe 1 although only one or a few elements are damaged. The probe 1 must then be removed from the holder and a new probe 1 be reinstalled. In addition, the new probe must 1 be read, ie be reset to the target.

Andererseits kann auch bei einem unbeschädigten optischen Element 8 die Notwendigkeit zum Austausch des Elements 8 bestehen, wenn z. B. eine Optik mit einer anderen Eigenschaft gefordert ist. So kann eine neue Fokuslänge oder ein anderer Austrittswinkel des Messstrahls aus dem Ausgang 20 der Sonde 1 gewünscht sein. Bei bisher bekannten Sonden 1 musste in solchen Fällen ebenfalls die gesamte Sonde 1 ausgetauscht werden.On the other hand, even with an undamaged optical element 8th the need to exchange the item 8th exist, if z. B. an optic with another property is required. Thus, a new focal length or another exit angle of the measuring beam from the output 20 the probe 1 be desired. In previously known probes 1 In such cases, too, the entire probe had to be used 1 be replaced.

Mit der erfindungsgemäßen Sonde 1 ist es nun möglich, nur das optisch relevante Element 8 auszutauschen, ohne gleichzeitig die Sonde 1 aus der Halterung heraus- und später wieder eine neue Sonde 1 einmontieren zu müssen. Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, dass auch bei Sonden 1 mit unterschiedlicher Optik die meisten mechanischen Elemente in der Sonde 1 jedoch gleicher Abmessung und Bauart sind.With the probe according to the invention 1 It is now possible only the optically relevant element 8th exchange without the probe at the same time 1 out of the holder and later again a new probe 1 to have to mount. The invention is based on the finding that even with probes 1 with different optics most of the mechanical elements in the probe 1 However, the same size and design are.

Vorteilhaft kann das Mittel 15 in Form eines Verschlusses ausgebildet sein. Ein Verschluss bietet die Möglichkeit eines einfachen Austauschens durch simples Lösen und Schließen des Verschlusses. Im ersten Ausführungsbeispiel gemäß 2 ist das Mittel 15 ein Schraubverschluss 15a. Ein Austausch erfolgt dann durch ein einfaches Abschrauben der Austauscheinheit 14 und ein anschließendes Zuschrauben einer anderen Austauseinheit 14.Advantageously, the agent 15 be formed in the form of a closure. A closure offers the possibility of easy replacement by simply loosening and closing the closure. In the first embodiment according to 2 is the means 15 a screw cap 15a , An exchange is then carried out by simply unscrewing the exchange unit 14 and then screwing another replacement unit 14 ,

Das mindestens eine optische Element 8 bildet zusammen mit einer direkt oder indirekt fest verbundenen Halterung 9 die Austauscheinheit 14. Die Halterung 9 ist vorteilhaft als Schutzröhrchen ausgebildet. In 2 umfasst die Austauscheinheit 14 eine Fokussierlinse 8a als das mindestens eine optische Element 8, eine Ablenkeinheit 8b als ein weiteres optisches Element und schließlich die Halterung 9. Alle Elemente der Austauscheinheit 14 sind direkt oder indirekt fest miteinander verbunden. Die Austauscheinheit 14 ist in 2 eingebaut in die erste, feste Einheit der Sonde 1. In diesem Zustand sind die beiden Einheiten der Sonde 1 also miteinder verbunden und bilden zusammen die vollständige Sonde 1. In 2 wird die Grenzfläche 16 zwischen der ersten, festen Einheit und der zweiten Austauscheinheit 14 gebildet durch einerseits den Platzhalter 4 und andererseits durch die Fokussierlinse 8a.The at least one optical element 8th forms together with a directly or indirectly firmly connected bracket 9 the exchange unit 14 , The holder 9 is advantageously designed as a protective tube. In 2 includes the replacement unit 14 a focusing lens 8a as the at least one optical element 8th a distraction unit 8b as another optical element and finally the holder 9 , All elements of the exchange unit 14 are directly or indirectly connected. The exchange unit 14 is in 2 built into the first, fixed unit of the probe 1 , In this state, the two units of the probe 1 so miteinder connected and together form the complete probe 1 , In 2 becomes the interface 16 between the first, fixed unit and the second exchange unit 14 formed by on the one hand the placeholder 4 and on the other hand by the focusing lens 8a ,

Ein zweites Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Sonde 1 ist in 3 gezeigt. Alle Merkmale, die im ersten Ausführungsbeispiel beschrieben wurden, gelten auch für das zweite Ausführungsbeispiel, bis auf den Unterschied, dass das Mittel 15 nun ein Rasterverschluss 15b ist. Die Austauscheinheit 14 wird durch ein Einrastern mit der ersten, festen Einheit verbunden. Für das Einrastern ist eine Rastnase 17 und eine Rastöffnung 18 vorgesehen. Der Rasterverschluss 15b ist vorteilhaft in Form einer Führungshülse ausgebildet, so dass mehrere Funktionen durch einen Gegenstand bedient werden können.A second embodiment of the probe according to the invention 1 is in 3 shown. All the features described in the first embodiment also apply to the second embodiment, except for the difference that the means 15 now a grid fastener 15b is. The exchange unit 14 is connected by snapping with the first, fixed unit. For snipping is a catch 17 and a detent opening 18 intended. The grid fastener 15b is advantageously designed in the form of a guide sleeve, so that several functions can be operated by an object.

Alternativ wird noch ein Bajonettverschluss als das Mittel 15 vorgeschlagen. Auch ein Bajonettverschluss sorgt für eine konstante Kraft auf die Austauscheinheit 14 und für eine genaue Ausrichtung der beiden Einheiten der Sonde 1.Alternatively, a bayonet catch as the means 15 proposed. Also a bayonet lock provides a constant force on the exchange unit 14 and for precise alignment of the two units of the probe 1 ,

Es ist vorteilhaft, wenn die Austauscheinheit 14 zusätzlich eine Markierung zur einfachen Ausrichtung aufweist. Diese Markierung, die z. B. als eine Nase ausgebildet sein kann, hilft beim Einmontieren der Austauscheinheit 14 in die erste, feste Einheit der Sonde 1, so dass die Austauscheinheit 14 nur mit der richtigen Ausrichtung einmontiert werden kann.It is advantageous if the replacement unit 14 additionally has a marker for easy alignment. This mark, the z. B. may be formed as a nose, helps to mount the exchange unit 14 in the first, solid unit of the probe 1 so that the exchange unit 14 can only be installed with the correct orientation.

Die 4a bis 4d zeigen jeweils eine Austauscheinheit 14 für die bisher beschriebene, erfinderische Sonde 1. Der grundsätzliche Aufbau der Austauscheinheit 14 wurde bereits beschrieben. Jede Austauscheinheit 14 kann, je nach Bedarf, schnell mit der ersten, festen Einheit der Sonde 1 verbunden werden. Die vier Beispiele der Austauscheinheiten 14 in 4a bis 4d weisen voneinander unterschiedliche Optiken auf. Vergleicht man die ersten beiden Austauscheinheiten 14 gemäß 4a und 4b, so erkennt man, dass die zweite Austauscheinheit 14 gemäß 4b eine größere Fokuslänge aufweist als die erste Austauscheinheit 14 gemäß 4a. Die dritte Austauscheinheit 14 gemäß 4c hat hingegen die gleiche Fokuslänge wie die erste Austauscheinheit 14, jedoch ist die dritte Austauscheinheit 14 länger als die anderen gezeigten Beispiele. So wird ein insgesamt längerer Tastarm erreicht. Schließlich wird gemäß 4d eine Austauscheinheit 14 vorgeschlagen, die mehrere Ausgänge 20 umfasst. Die Ausgänge 20 können dabei unterschiedliche Austrittswinkeln aufweisen.The 4a to 4d each show a replacement unit 14 for the inventive probe described so far 1 , The basic structure of the exchange unit 14 has already been described. Each exchange unit 14 can, as needed, quickly with the first, solid unit of the probe 1 get connected. The four examples of exchange units 14 in 4a to 4d have different optics from each other. Comparing the first two exchange units 14 according to 4a and 4b , it recognizes that the second exchange unit 14 according to 4b has a longer focal length than the first exchange unit 14 according to 4a , The third exchange unit 14 according to 4c on the other hand has the same focal length as the first exchange unit 14 , however, is the third exchange unit 14 longer than the other examples shown. This achieves an overall longer feeler arm. Finally, according to 4d an exchange unit 14 suggested that several outputs 20 includes. The exits 20 can have different exit angles.

Übrigens wird der an der Oberfläche des Messobjektes reflektierte Messstrahl wieder durch die Sonde 1 aufgenommen. Typischerweise durchläuft der reflektierte Messstrahl nun den bisherigen Strahlengang in umgekehrter Richtung, d. h. er wird am Ausgang 20 der Sonde 1 wieder in die Sonde 1 eingeführt und verlässt die Sonde 1 am Eingang 10. Die Begriffe „Eingang" und „Ausgang" beziehen sich, wie für einen Fachmann geläufig, nicht auf den vom Messobjekt reflektierten Messstrahl 13. Der wieder aus der Sonde 1 herausgeführte Messstrahl wird sodann einer Detektionseinheit zugeführt, an der eine Auswerteeinheit angeschlossen ist. So wird eine Analyse der mit der Sonde 1 beleuchteten Messobjekte ermöglicht.By the way, the measuring beam reflected on the surface of the measuring object is again passed through the probe 1 added. Typically, the reflected measuring beam now passes through the previous beam path in the opposite direction, ie it is at the output 20 the probe 1 back into the probe 1 inserted and leaves the probe 1 at the entrance 10 , The terms "input" and "output", as is familiar to a person skilled in the art, do not refer to the measurement beam reflected by the measurement object 13 , The back of the probe 1 an outgoing measuring beam is then fed to a detection unit to which an evaluation unit is connected. So will an analysis of the with the probe 1 allows illuminated measuring objects.

Alle bisher beschriebenen Ausführungsformen der Sonde 1 sind übrigens geeignet, mit einem an sich bekannten Interferometer verbunden zu werden. Zusammen bilden sie dann eine Vorrichtung zur interferometrischen Messung von Messobjekten. Idealerweise ist das Interferometer mit der Sonde 1 mittels der bereits genannten Lichtleitfaser 11 verbunden. Der Aufbau eines typischen Interferometers wird nicht weiter erläutert, da dieser bereits z. B. in eingangs zitierten Schrift DE 197 14 202 A1 ausführlich beschrieben wurde. Es sei nur betont, dass das Interferometer neben einer Detektionseinheit auch eine Auswerteeinheit umfassen kann.All previously described embodiments of the probe 1 are incidentally suitable to be connected to a known interferometer. Together they then form a device for the interferometric measurement of measurement objects. Ideally, the interferometer is with the probe 1 by means of the already mentioned optical fiber 11 connected. The structure of a typical interferometer will not be further explained, since this already z. B. in the cited document DE 197 14 202 A1 has been described in detail. It should only be emphasized that the interferometer can comprise an evaluation unit in addition to a detection unit.

Zusammenfassend wird festgestellt, dass eine optische Sonde 1 beschrieben wurde, bei der ein flexibles Austauschen mindestens eines optischen Elementes 8 der Sonde 1 möglicht ist. Hierzu ist in der Sonde 1 ein Mittel 15 zum Austauschen des mindestens einen optischen Elements 8 vorgesehen. Weiter wurde eine Vorrichtung vorgeschlagen, die ein an sich bekanntes Interferometer und die beschriebene Sonde 1 umfasst. Insgesamt wird hierdurch eine bei unterschiedlichen Messobjekten sehr vielfältig einsetzbare optische Sonde 1 erzielt.In summary, it is stated that an optical probe 1 has been described in which a flexible replacement of at least one optical element 8th the probe 1 is possible. This is in the probe 1 a means 15 for exchanging the at least one optical element 8th intended. Furthermore, a device has been proposed which is a per se known interferometer and the described probe 1 includes. Overall, this results in a very versatile optical probe for different measurement objects 1 achieved.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

DE 19714202 A1 [0006, 0032]

Claims

Optical probe ( 1 ) for optically testing measuring objects, comprising an input ( 10 ) for introducing an input beam into the probe ( 1 ), at least one optical element ( 8th ) for transferring the input beam into a measuring beam and at least one output ( 20 ) for illuminating the test objects to be tested, characterized in that a means ( 15 ) for exchanging the at least one optical element ( 8th ) is provided.

Probe ( 1 ) according to claim 1, characterized in that the means ( 15 ) is formed in the form of a closure.

Probe ( 1 ) according to claim 2, characterized in that the means ( 15 ) a screw cap ( 15a ), a bayonet catch or a grid fastener ( 15b ).

Probe ( 1 ) according to claim 3, characterized in that the grid fastener ( 15b ) is formed in the form of a guide sleeve.

Probe ( 1 ) according to one of claims 1 to 4, characterized in that the at least one optical element ( 8th ) together with a directly or indirectly fixed mount ( 9 ) an exchange unit ( 14 ).

Probe ( 1 ) according to claim 5, characterized in that the exchange unit ( 14 ) has a mark for easy alignment.

Probe ( 1 ) according to one of claims 1 to 6, characterized in that the at least one optical element ( 8th ) a focusing lens ( 8a ) or a deflection unit ( 8b ).

Probe ( 1 ) according to one of claims 5 to 7, characterized in that the exchange unit ( 14 ) several outputs ( 20 ).

Device for the interferometric measurement of measurement objects, wherein an interferometer is connected to a probe ( 1 ) according to one of claims 1 to 8.

Apparatus according to claim 9, characterized in that the interferometer with the probe ( 1 ) by means of an optical fiber ( 11 ) connected is.