DD256916A1

DD256916A1 - ARRANGEMENT FOR CHECKING OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR DEVICES BY MEANS OF A BENDING FIGURE EVALUATION

Info

Publication number: DD256916A1
Application number: DD29892086A
Authority: DD
Inventors: Juergen Doehlert; Wolfgang Thonfeld; Volker Eberhardt; Rainer Bleyer; Volker Hesse; Klaus Kaschlik
Original assignee: Zeiss Jena Veb Carl
Priority date: 1986-12-31
Filing date: 1986-12-31
Publication date: 1988-05-25

Abstract

Anordnung zum Pruefen optischer Elemente, Systeme oder Geraete mittels Beugungsfigurenauswertung. Die Erfindung ist anwendbar im optischen Geraetebau, bei der Pruefung und Bewertung sowie bei der Justierung von optischen Elementen, Systemen oder Geraeten, insbesondere von Objektiven, vorzugsweise bei beugungsbegrenzten oder quasi-beugungsbegrenzten Objektiven. Die Erfindung besteht darin, dass in einer Pruefanordnung mit einem Pruef- und einem Referenzstrahlengang polarisationsoptische Bauelemente eingesetzt werden, die halbseitig nicht polarisierend sind und die in einem Azimut von 180 zueinander versetzt positioniert sind, und dass in den Strahlengaengen ein zueinander justierbares Spiegelsystem angeordnet ist. Das Spiegelsystem besteht aus mindestens einem Hohlspiegel und mindestens einem in Richtung der optischen Achse zwischen einem Polarisator und einem Analysator befindlichen, in Richtung der optischen Achse verschiebbaren Fokussierelement. Die Pruefung der optischen Elemente, Systeme oder Geraete erfolgt durch die Auswertung der Beugungsfiguren von zwei Halbbildern in einer Ebene im zusammengefuehrten Auswertestrahlengang. Fig. 1Arrangement for testing optical elements, systems or devices by means of diffraction figure evaluation. The invention is applicable in the optical device construction, in the examination and evaluation as well as in the adjustment of optical elements, systems or devices, in particular of lenses, preferably in diffraction-limited or quasi-diffraction limited lenses. The invention consists in that polarization-optical components are used in a test arrangement with a test and a reference beam path, which are not polarizing on one side and which are positioned offset from one another in an azimuth of 180, and in that a mutually adjustable mirror system is arranged in the beam paths. The mirror system consists of at least one concave mirror and at least one focusing element located in the direction of the optical axis between a polarizer and an analyzer and displaceable in the direction of the optical axis. The examination of the optical elements, systems or devices is carried out by the evaluation of the diffraction figures of two fields in a plane in the combined evaluation beam path. Fig. 1

Description

Hierzu 1 Seite ZeichnungFor this 1 page drawing

Field of application of the invention

Die Erfindung findet Anwendung bei der Prüfung und Qualitätsbewertung optischer Elemente, Systeme oder Geräte, insbesondere bei Objektiven, vorzugsweise bei beugungsbegrenzten oder quasi-beugungsbegrenzten Objektiven. Weiterhin ist die Anwendung gegeben bei der Justierung von optischen Elementen, Systemen oder Geräten. Dabei sind die Einsatzfälle in Bereichen möglich, in denen optische Systeme hergestellt werden, z. B. geodätische Meßgeräte, Fernrohrabbildungssysteme, Jutiermittelbau, fotografische Optik, Spiegeloptik. Eine Anwendung ist auch für Lehr- und Demonstrationszwecke möglich, z. B. zur Ausbildung von Fachkräften zur Justierung im OPG.The invention finds application in the testing and quality assessment of optical elements, systems or devices, especially in lenses, preferably in diffraction-limited or quasi-diffraction limited lenses. Furthermore, the application is given in the adjustment of optical elements, systems or devices. The applications are possible in areas where optical systems are manufactured, eg. B. geodetic instruments, Fernrohrabbildungssysteme, Jutiermittelbau, photographic optics, mirror optics. An application is also possible for teaching and demonstration purposes, eg. For example, to train specialists for adjustment in the OPG.

Characteristic of the known technical solutions

Bekannt sind Methoden, bei denen die Prüfung der Korrektionsgüte von optischen Elementen, Systemen oder Geräten mittels der Bewertung des Beugungsbildes zumindestens eines Punktbildes vorgenommen wird.Methods are known in which the examination of the corrective quality of optical elements, systems or devices by means of the evaluation of the diffraction pattern at least one point image is made.

In der Patentschrift DD 226660 ist eine Vorrichtung zur Prüfung optischer Systeme beschrieben, bei der in die Nähe einer beleuchteten Testvorlage zwischen dieser und dem Prüfling eine parallel zur Testvorlage laterale verschiebbare Punktblende eingebracht wird, deren Bild von einem fotoelektrischen Empfänger erfaßt wird und das elektrische Ausgangssignal in einer Auswerteeinrichtung ausgewertet wird bzw. in Abhängigkeit von dem jeweilig ausgewerteten Objektpunkt der Verschiebung der Punktblende steuert.In the patent DD 226660 an apparatus for testing optical systems is described in which in the vicinity of a lit test pattern between this and the DUT a parallel to the test template lateral displaceable point aperture is introduced, whose image is detected by a photoelectric receiver and the electrical output signal in an evaluation device is evaluated or controls depending on the respective evaluated object point of the displacement of the point diaphragm.

Nachteilig bei dieser Lösung ist, daß nur ein begrenzter Umfang von Prüflingen ausgewertet werden kann. Da der Abstand zwischen Punktblendenebene und Bildebene konstant ist, können nur Prüflinge mit annähernd gleicher Brennweite geprüft werden. Ebenso ist es von Nachteil, daß hohe Anforderungen an die Korrektion der Prüflinge gestellt werden müssen, da sonst eine solche negative Beeinflussung der Abbildungsqualität der Punktblende auftritt, daß keine sichere Auswertung möglich ist ' bzw. daß überhaupt keine Auswertung möglich ist. Es ist weiterhin von Nachteil, daß Prüflinge mit negativer Brennweite kein reelles Bild in der Auffangebene des fotoelektrischen Empfängers erzeugen, so daß ein Kompensationsglied nachgeschaltetThe disadvantage of this solution is that only a limited range of specimens can be evaluated. Since the distance between the focal plane and the image plane is constant, only specimens with approximately the same focal length can be tested. Likewise, it is disadvantageous that high demands on the correction of the specimens must be made, since otherwise such a negative effect on the image quality of the dot aperture occurs that no reliable evaluation is possible 'or that no evaluation is possible. It is also disadvantageous that specimens with negative focal length produce no real image in the trapping plane of the photoelectric receiver, so that a compensation element downstream

werden muß, dessen Abbildungseinfluß das Meßergebnis verfälscht bzw. aufwendig in der Herstellung ist und hohen Justieraufwand in der Anordnung nach sich zieht. Für viele Anwendungsfälle ist die Anordnung eines Kompensationsgliedes aus geometrischen Platzverhältnissen nicht möglich.must be whose image influence falsifies the measurement result or is expensive to manufacture and high adjustment effort in the arrangement entails. For many applications, the arrangement of a compensation element of geometric space is not possible.

Nachteilig ist der meßtechnische Aufwand und die lange Auswerte- bzw. Meßzeit. Schnelle Übersichtsprüfungen sind nicht hinreichend möglich. Eine visuelle Prüfung kann mit der Anordnung nicht akzeptierbar realisiert werden.A disadvantage is the metrological effort and the long evaluation or measurement time. Quick overview tests are not sufficiently possible. A visual check can not be realized with the arrangement unacceptable.

Eine rechnergestützte Auswertung des Beugungsbildes von strichkreuzförmigen Objekten ist in DD 218459 beschrieben. Dabei ist die Abmessung einer Strichkreuzbreite so gewählt, daß in einer Bildebene ein Beugungsbild des Strichkreuzes entsteht, welches mit Detektoren ausgewertet wird. Die geometrische Verteilung der Beugungsmaxima wird zweidimensional ausgewertet.A computer-aided evaluation of the diffraction pattern of cross-hatched objects is described in DD 218459. The dimension of a line width is chosen so that in a picture plane, a diffraction image of the line cross is formed, which is evaluated by detectors. The geometric distribution of the diffraction maxima is evaluated two-dimensionally.

In der DE-OS 3412076 ist eine fotoelektrische Vermessung eines Lichtpunktes zweidimensional bzw. in der DE-OS 3412075 als dreidimensionale Vermessung dargestellt.In DE-OS 3412076 a photoelectric measurement of a light spot is shown in two dimensions or in DE-OS 3412075 as a three-dimensional measurement.

Nachteilig bei diesen genannten Auswerteprinzipien ist die Tatsache, daß bei einer Überlagerung von mehreren Abbildungsfehlern die Beugungsfigur des Sterntestbildes bzw. des Kreuztestbildes sehr verzerrt in der Bildebene dargestellt wird und eine hohe Qualifikation von der Prüfperson erforderlich ist, des weiteren subjektive Auswertefehler möglich sind, Fehlmessungen nicht auszuschließen sind und die psychologischen Anforderungen zunehmen, so daß die Prüfperson sehr belastet wird. Die Sicherheit der Prüfung bzw. Auswertung und ggf. Justierung nimmt ab, gleichfalls die Zahl der von der Prüfperson in einer bestimmten Zeiteinheit bearbeitbaren Prüflinge. Bei den fotoelektrischen Prinzipien ist eine Fehlertrennung auf Grund der Beugungsfigurüberlagerung nicht hinreichend durchführbar, sondern nur eine globale fotometrische Erfassung bzw. eine Abstandsvermessung möglich.A disadvantage of these evaluation principles mentioned is the fact that in a superimposition of several aberrations the diffraction pattern of the star test image or the cross test image is very distorted in the image plane and a high level of qualification is required by the test person, further subjective evaluation errors are possible, incorrect measurements be excluded and increase the psychological requirements, so that the examiner is very charged. The safety of the test or evaluation and, if necessary, adjustment decreases, likewise the number of test specimens that can be processed by the test person in a specific time unit. In the photoelectric principles, an error separation due to the diffraction pattern superposition is not sufficiently feasible, but only a global photometric detection or a distance measurement possible.

Object of the invention

Ziel der Erfindung ist die Schaffung einer universell einsetzbaren Prüfanordnung, die die Genauigkeit der Prüfung verbessert und. die die subjektiven Fehler bei visueller Prüfung verringert.The aim of the invention is to provide a universally applicable test arrangement, which improves the accuracy of the test and. which reduces the subjective errors in visual examination.

Explanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zum Prüfen optischer Elemente, Systeme oder Geräte zu entwickeln, die es ermöglicht, Beugungsfiguren von Punktbildern, die von Prüflingen erzeugt werden, auszuwerten, wobei die Prüflinge besonderen Anforderungen hinsichtlich der Varianz der Brennweite und der Korrektion erfordern.The invention has for its object to develop an arrangement for testing optical elements, systems or devices, which makes it possible to evaluate diffraction patterns of point images generated by specimens, the specimens require special requirements in terms of the variance of the focal length and the correction ,

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einer Anordnung zum Prüfen optischer Elemente, Systeme oder Geräte mittels Beugungsfigurenauswertung, bei der ein Prüfling und ein Normal jeweils in einem Prüf- und einem Referenzstrahlengang angeordnet sind, wobei beide Strahlengänge aus einem von einer Lichtquelle ausgehenden Beleuchtungsstrahlengang erzeugt sind, bei der weiterhin im Strahlengang vor und nach dem Prüfling und dem Normal ein Polarisator und ein Analysator eingebracht sind, und bei der über weitere optische Elemente eine Zusammenführung der beiden Strahlengänge zu einem Auswertestrahlengang, in dem eine Einrichtung zur Auswertung der Beugungsfiguren angeordnet ist, erfolgt, dadurch gelöst, daß Polarisator und Analysator halbseitig nicht polarisierend sind und bezüglich der optischen Achse in einem Azimut von 180° zueinander versetzt positioniert sind, und daß ein zueinander justierbares Spiegelsystem, bestehend aus mindestens einem Hohlspiegel und mindestens einem in Richtung der optischen Achse verschiebbaren Fokussierelement im Strahlengang zwischen Polarisator und Analysator angeordnet ist.The object is achieved according to the invention in an arrangement for testing optical elements, systems or devices by means of diffraction figures evaluation, in which a test object and a normal are each arranged in a test and a reference beam path, both beam paths are generated from an emanating from a light source illumination beam path at the further in the beam path before and after the specimen and the normal, a polarizer and an analyzer are introduced, and in the other optical elements, a merger of the two beam paths to a Auswertestrahlengang in which a device for evaluation of the diffraction patterns is arranged takes place solved that the polarizer and analyzer are not polarizing side and are positioned offset with respect to the optical axis in an azimuth of 180 ° to each other, and that a mutually adjustable mirror system consisting of at least one concave mirror and at least one i n direction of the optical axis displaceable focusing element in the beam path between polarizer and analyzer is arranged.

Das zueinander justierbare Spiegelsystem bewirkt, daß mit Hilfe von weiteren optischen Elementen, wie z.B. Spiegel und Hilfsobjektive, eine Abbildung in eine gemeinsame Bildebene realisiert wird. Durch die verschiebbaren Fokussierelemente werden die Halbblenden in den bildseitigen Brennpunkt von Prüfling bzw. Normal positioniert. In der gemeinsamen Bildebene können die Halbbilder durch laterales Verschieben von Prüfling oder Normal so justiert werden, daß diese sich gerade berühren und visuell oder mittels anderer an sich bekannter Methoden auswertbar werden.The mutually adjustable mirror system causes by means of other optical elements, such. Mirror and auxiliary lenses, an image is realized in a common image plane. Due to the displaceable focusing elements, the half-apertures are positioned in the image-side focal point of the specimen or normal. In the common image plane, the fields can be adjusted by lateral displacement of the specimen or normal so that they are just touching and can be evaluated visually or by other methods known per se.

Eine bezüglich des verarbeitbaren Wellenlängenbereiches vorteilhafte Ausführung der Anordnung ergibt sich dann, wenn im Prüf-und im Referenzstrahlengang zwischen Prüfling bzw. Normal und den zugeordneten Analysatoren jeweils ein Hohlspiegel vorgesehen ist, die zur gemeinsamen Verschiebung in Richtung optischer Achse miteinander starr verkoppelt sind und die mittig eine Strahldurchtrittsöffnung aufweisen, und daß zwischen den Hohlspiegeln und dem Prüfling bzw. Normal jeweils ein weiterer erhabener Spiegel vorgesehen ist, der die von den Hohlspiegeln reflektierte Beugungsinformationen achsnah durch die Strahldurchtrittsöffnungen in Richtung Analysator abbilden.A with respect to the processable wavelength range advantageous embodiment of the arrangement is obtained when in the test and the reference beam path between the test specimen or normal and the associated analyzers each a concave mirror is provided which are rigidly coupled together for common displacement in the direction of the optical axis and the center have a beam passage opening, and that in each case a further raised mirror is provided between the concave mirrors and the specimen or normal, which reflect the reflected diffraction information from the concave mirrors near the axis through the beam passage openings in the direction of the analyzer.

Zur Intensitätsabstimmung der Beugungsbilder ist es günstig, wenn der Polarisator um die optische Achse drehbar angeordnetFor intensity tuning of the diffraction patterns, it is favorable if the polarizer is arranged to be rotatable about the optical axis

Eine weitere für Prüflinge mit bildseitig divergenten Strahlengang vorteilhafte Ausführung wird dadurch erreicht, daß im Prüf- und im Referenzstrahlengang dem Prüfling bzw. Normal nachgeordnet je ein ortsfester Hohlspiegel vorgesehen ist, und daß den Hohlspiegeln zugeordnet im Strahlengang zwischen Prüfling bzw. Normal je ein um 45° gegen die optische Achse geneigter Planspiegel vorgesehen ist, die zur gemeinsamen Verschiebung in Richtung optischer Achse miteinander starr verkoppelt sind und zur Ausblendung der Beugungsbilder dienen.Another for DUTs with image-side divergent beam path advantageous embodiment is achieved in that in the test and in the reference beam the test specimen or normal subordinate each a stationary concave mirror is provided, and that the concave mirrors assigned in the beam path between the test specimen or normal one to 45th Is provided against the optical axis inclined plane mirror, which are rigidly coupled together for common displacement in the direction of the optical axis and serve to hide the diffraction patterns.

Ausführungsbeispielembodiment

In der Zeichnung sind Ausführungsbeispieie der Erfindung dargestellt und zwar zeigen:In the drawing Ausführungsbeispieie the invention are shown and show:

Fig. 1: ein Schema der Anordnung mit Hohlspiegeln als Fokussierelement und Fig.2: ein Ausführungsbeispiel zur Prüfung von Prüflingen mit bildseitig divergentem StrahlengangFig. 1: a schematic of the arrangement with concave mirrors as the focusing element and Figure 2: an embodiment for testing of specimens with the image side divergent beam path

Die Erfindung ist auf Fig. 1,2 näher erläutert. Gemäß Fig. 1 sendet eine Lichtquelle 1 einen Lichtstrahl aus, der mit einem Aufweitungssystem 2 aufgeweitet wird. Über einen Umlenkspiegel 3, der justierbar angeordnet ist, gelangt der Lichtstrahl auf einen Teilerspiegel 4, der einen Teilstrahl 5 ablenkt, der über einen Polarisator 6 auf einen Prüfling 7 gelangt. Vom Prüfling 7 wird der Lichtstrahl je nach Abbildungseigenschaften entsprechend konvergent oder divergent abgelenkt. Eine justierbare, axial verstellbare Spiegelkombination, bestehend aus Primärspiegel 8 und Sekundärspiegel 9 bildet den Lichtstrahl über einen Analysator 10 und Objektiv 11 ab. Der Primärspiegel 8 ist mittig durchbohrt.The invention is explained in more detail on Fig. 1.2. According to FIG. 1, a light source 1 emits a light beam that is widened by a widening system 2. By means of a deflecting mirror 3, which is arranged to be adjustable, the light beam reaches a splitter mirror 4, which deflects a partial beam 5, which passes via a polarizer 6 onto a test object 7. From the test piece 7, the light beam is deflected correspondingly convergent or divergent depending on the imaging properties. An adjustable, axially adjustable mirror combination consisting of primary mirror 8 and secondary mirror 9 images the light beam via an analyzer 10 and lens 11. The primary mirror 8 is pierced in the center.

Der andere Teilstrahl 12 wird über einen Umlenkspiegel 13 auf einem Polarisator 14 bzw. Normal 15 abgelenkt. Mit der anschließenden Spiegelkombination, bestehend aus Primärspiegel 16 und Sekundärspiegel 17, wird der Lichtstrahl über einen Analysator 18 und Objektiv 19, Umlenkspiegel 20 auf einen Teilerspiegel 21 abgebildet, nach dem beide Teilstrahlen über ein Objektiv 22 in eine gemeinsame Okularebene 23 abgebildet werden. In dieser Ebene befinden sich nicht dargestellte Strukturmarken, mit denen die Beugungsstrukturen visuell über Okular 24 ausgewertet werden können. Die Polarisatören 12,14 sind so ausgeführt, daß sie halbseitig nicht polarisierend sind und in einem Azimut von 180° versetzt zueinander positioniert sind in den Teilstrahlen 5 bzw. 12. Die Analysatoren 10,18 sind jeweils im gleichen Azimut wie die Polarisatoren angeordnet, wobei auch eine drehbare Ausführung im Zusammenhang mit einer Drehung der Polarisatoren günstig ist.The other partial beam 12 is deflected via a deflecting mirror 13 on a polarizer 14 or normal 15. With the subsequent mirror combination, consisting of primary mirror 16 and secondary mirror 17, the light beam is imaged via an analyzer 18 and lens 19, deflecting mirror 20 onto a splitter mirror 21, after which both partial beams are imaged via a lens 22 into a common eyepiece 23. In this level are not shown structural marks with which the diffraction structures can be visually evaluated via eyepiece 24. The Polarisatören 12,14 are designed so that they are half-sided non-polarizing and are positioned offset in an azimuth of 180 ° to each other in the partial beams 5 and 12. The analyzers 10,18 are each arranged in the same azimuth as the polarizers, said Also, a rotatable design in connection with a rotation of the polarizers is favorable.

In der Zwischenbildebene 23 entstehen jeweils Halbbilder von den Beugungserscheinungen, wobei bei idealer Korrektion der Prüflinge konzentrische Beugungsfiguren entstehen und bei Vorliegen von Abbildungsfehlern nur die Beugungsfigur des Prüflings Änderungen erfährt, wobei die Größe der Abbildungsfehler anhand der Geometrie der Beugungsfigur des Normals bzw. von zusätzlichen Strukturmarken ermittelt werden kann.In the intermediate image plane 23 are each half fields of the diffraction phenomena, with ideal correction of the specimens concentric diffraction patterns arise and in the presence of aberrations only the diffraction figure of the specimen undergoes changes, the size of the aberrations based on the geometry of the diffraction figure of the normal or of additional structural marks can be determined.

In Fig. 2 ist eine weitere Ausführungsform dargestellt, bei der nach Prüfling 7 und Norrnal 15 Spiegel 25 bzw. 26 so angeordnet 'sind, daß ein adäquater Rückreflex ermöglicht wird, wobei die Spiegel axial justierbar sind, so daß eine Abbildung durch Prüfling bzw. Normal zurück und von dort über Teilerspiegel 27,28 sowie Umlenkspiegel 29,30,31 und Teilerspiegel 32 auf Analysator 33 in eine Zwischenbildebene 34 ermöglicht wird und von der aus über ein Abbildungssystem 35,36 die Beugungsfigur erfaßt wird.In Fig. 2, a further embodiment is shown in which after DUT 7 and Norrnal 15 mirrors 25 and 26 are arranged so 'that an adequate back-reflection is possible, wherein the mirrors are axially adjustable, so that a picture by DUT or Normally back and from there via splitter mirror 27,28 and deflecting mirrors 29,30,31 and splitter mirror 32 on analyzer 33 in an intermediate image plane 34 is made possible and from which via an imaging system 35,36 the diffraction figure is detected.

Der Analysator 33 ist so ausgeführt, daß er zwei Halbscheiben aufweist, die eine Polarisationsrichtung haben, die um 180° zueinander versetzt sind und die relative Stellung des Analysator 33 so ist, daß sich in bezug auf die dargestellten Polarisatoren 6,14 eine gleiche Schwingungsrichtung der linear polarisierten Welle ergibt.The analyzer 33 is designed so that it has two half-discs, which have a polarization direction, which are offset by 180 ° to each other and the relative position of the analyzer 33 is such that with respect to the polarizers 6,14 shown a same direction of vibration results in linearly polarized wave.

Zur Auswertung der Beugungsfiguren in den beiden Halbbildern kann zur Kalibrierung der Anordnung zunächst das Normal 15 entfernt und durch eine Doppelspiegelkombination ersetzt werden. Die Doppelspiegelkombination kann auch zwei halbdurchlässigen Spiegeln bestehen, die so justierbar sind, daß verschiedene Brennweiten einstellbar sind. Die Brennweite wird dann so eingestellt, daß die gleiche Bildebene wie die des Prüflings 7 abgebildet wird.To evaluate the diffraction patterns in the two fields, the standard 15 can first be removed and replaced by a double mirror combination to calibrate the arrangement. The double mirror combination can also consist of two semitransparent mirrors that are adjustable so that different focal lengths are adjustable. The focal length is then adjusted so that the same image plane as that of the specimen 7 is imaged.

Eine weitere mögliche Kalibriermethode wird dadurch ermöglicht, daß das Normal 15 entfernt wird und das fehlende Halbbild des Normals durch ein Objekt mit der Beugungsstruktur eines idealen Prüflings ersetzt wird, wobei die Beugungsstruktur fotografisch oder zeichnerisch hergestellt ist.Another possible method of calibration is made possible by removing the normal 15 and replacing the missing field of the normal by an object with the diffraction pattern of an ideal sample, the diffraction structure being made photographically or graphically.

Claims

1. Arrangement for testing optical elements, systems or devices by means of diffraction figure evaluation, in which a test piece and a normal are each arranged in a test and a reference beam path, wherein both beam paths are generated from an emanating from a light source Strahlungsengenggg, in which further in the beam path before and after the specimen and the normal, a polarizer and an analyzer are introduced, and in the other optical elements, a merger of the two beam paths to a Auswertestrahlengang in which a device for evaluation of the diffraction patterns is arranged, is carried out, characterized in that polarizer and Analyzer on one side are not polarizing and are positioned offset with respect to the optical axis in an azimuth of 180 ° to each other, and that a mutually adjustable mirror system consisting of at least one concave mirror (8) (16) and at least one in the optical n axis displaceable focusing element (8,16,27,28) in the beam path between polarizer (6) (14) and analyzer (10) (18) (33) is arranged.

2. Arrangement according to claim 1, characterized in that in the test and in the reference beam path between the test piece (7) or normal (15) and the associated analyzers (10) (18) each have a concave mirror (8) (16) is provided which are rigidly coupled together for common displacement in the direction of the optical axis and which have a beam passage opening in the middle, and that between the concave mirrors (8) (16) and the specimen (7) or normal (15) each have a further raised mirror (9) (17) is provided, which reflect the reflected from the concave mirrors (8) (16) diffraction information near the axis through the beam passage openings in the direction of the analyzer (10) (18).

3. Arrangement according to claim 1 and 2, characterized in that the polarizer (6) (14) is arranged rotatably to the intensity of the diffraction patterns about the optical axis.

4. Arrangement according to claim 1, characterized in that in the test and in the reference beam path to the specimen (7) or normal (15) arranged downstream of a stationary concave mirror (25) (26) is provided, and that the concave mirrors (25) (25) ( 26) assigned in the beam path between the test piece (7) and normal (15) each 45 ° against the optical axis inclined plane mirror (27) (28) is provided, which are rigidly coupled together for common displacement in the direction of the optical axis and the Suppression of the diffraction images serve.