DE102007043333A1 - Method for the treatment and defect detection of cavity, hollow body or capillary of components e.g. catheters, comprises producing primary plasma beam in primary plasma source, and passing noble gas e.g. argon through the components - Google Patents

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Abstract

The method for the treatment and defect detection of cavity, hollow body or capillary of components e.g. catheters, comprises producing a primary plasma beam in a source of primary plasma, passing noble gas e.g. argon through the cavity, hollow body or the capillary of the components in the direction of the plasma source, positioning a discharge opening of the noble gas from the components in the area of the primary plasma source, forming a secondary plasma in the components, activating the internal surface of the components, and/or column detecting the components by the secondary plasma. The method for the treatment and defect detection of cavity, hollow body or the capillary of components e.g. catheters, comprises producing a primary plasma beam in a source of primary plasma, passing noble gas e.g. argon through the cavity, hollow body or the capillary of the components in the direction of the plasma source, positioning a discharge opening of the noble gas from the components in the area of the primary plasma source, forming a secondary plasma in the components, activating the internal surface of the components, and/or column detecting the components by the secondary plasma. The diameter of the interior volume of the components is 10 mm. The distance of the gas discharge opening of the cavity, hollow body or the capillary related to the outlet-lateral opening of the primary plasma source is 1-30 mm in vertical and 0-15 mm in horizontal direction. The vertically expanding plasma of the primary plasma source and the linear dimension of the cavity, hollow body or the capillary are arranged to each other at ninety degrees. The length of the secondary plasma is determined by the creation of electrodes outside of the wall of the components. The potential of the electrode is changeable.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung und Untersuchung von Bauteilen mit kleinen Innenquerschnitten mittels Atmosphärendruckplasma. Die Behandlung meint eine Aktivierung der Oberfläche von Innenräumen kleiner und kleinster Röhren, Hohlkörper, Kapillaren oder Spalten. Unter Untersuchung ist die Sichtbarmachung von bei der Produktion auftretenden Fehlstellen beim Fügen gemeint, sowie das Detektieren von Inhomogenitäten im Material.The The invention relates to a method for treatment and examination of components with small internal cross sections by means of atmospheric pressure plasma. The treatment means activation of the surface of Interiors of small and smallest tubes, hollow bodies, Capillaries or columns. Under investigation is the visualization of defects occurring during production during joining meant, as well as the detection of inhomogeneities in the material.

Es ist aus der DE 198 47 774 C2 eine Vorrichtung bekannt, die zur Behandlung von stab- oder fadenförmigem Material eine Plasmadüse verwendet, die ein eine Außenelektrode bildendes Düsenrohr und eine koaxiale in dem Düsenrohr angeordnete Innenelektrode aufweist. Diese ist derart gestaltet, dass durch einen koaxial in der Innenelektrode ausgebildeten Kanal, durch den Material hindurchgeführt wird, ein von außen in die Plasmadüse eintretendes und mindestens bis in den Kanal der Innenelektrode reichendes Führungsrohr für das Material vorgesehen ist. Zur Erzeugung eines Plasmas ist die Außenelektrode geerdet, während die Innenelektrode auf Hochspannung gelegt wird. Gelangen nun stab- oder fadenförmige Materialien mit kleinen Durchmessern durch das Führungsrohr in das Innere der Plasmadüse, so werden sie dort auf ihrer Mantelfläche außenseitig durch das im Inneren der Plasmadüse herrschende Plasma konditioniert.It is from the DE 198 47 774 C2 a device is known which uses a plasma nozzle for the treatment of rod or thread-like material, which has an outer electrode forming a nozzle tube and a coaxial disposed in the nozzle tube inner electrode. This is designed in such a way that a guide tube for the material, which enters the plasma nozzle from the outside and extends at least into the channel of the internal electrode, is provided through a channel formed coaxially in the internal electrode through which material passes. To generate a plasma, the outer electrode is grounded, while the inner electrode is put on high voltage. Now get rod or thread-like materials with small diameters through the guide tube in the interior of the plasma nozzle, they are conditioned there on its outer surface by the prevailing plasma inside the plasma nozzle.

Für eine ganze Reihe von Anwendungen in der Medizintechnik ist es erforderlich, sehr kleine Hohlkörper, wie z. B. Katheter, innen zu behandeln, um die Oberflächen zu aktivieren, zu hydrophilieren oder zu beschichten. Es ist zwar denkbar, diese medizinischen Hohlkörper mit der bekannten Vorrichtung einer Außenbeschichtung zuzuführen, eine Innenbeschichtung ist jedoch technisch nicht realisierbar.For a whole range of applications in medical technology it is necessary very small hollow body, such as. B. catheters to treat inside to Activate, hydrophilize or enhance the surfaces coat. It is conceivable, these medical hollow body to be externally coated with the known device an internal coating is not technically feasible.

Ein Verfahren zur plasmagestützten Behandlung der Innenfläche eines Hohlkörpers offenbart die DE 100 35 177 C2 . Dabei wird der Hohlkörper in ein elektrisches Wechselfeld eingebracht und in seinem Inneren eine Hohlraumteilentladung betrieben. Diese wird zwischen zwei parallelen und mit jeweils einem Dielektrikum umgebenen Elektroden erzeugt. Zwischen den Elektroden befindet sich ein zylindrischer, dielektrischer Hohlkörper, so z. B. ein Katheter, der bei Spannungsbeaufschlagung der Elektroden von einem durch diese erzeugten elektrischem Feld durchdrungen und damit auf seiner Innen- und Außenseite plasmaaktiviert wird.A method for plasma-assisted treatment of the inner surface of a hollow body discloses the DE 100 35 177 C2 , In this case, the hollow body is introduced into an alternating electric field and operated in its interior a cavity part discharge. This is generated between two parallel and each surrounded by a dielectric electrodes. Between the electrodes is a cylindrical, hollow dielectric body, such. As a catheter, which is penetrated by a voltage generated by these electric field when voltage is applied to the electrodes and thus plasma activated on its inside and outside.

Ist es bei verschiedensten Anwendungen wünschenswert, die Behandlung auf die Innenseite des Hohlkörpers zu beschränken, gibt es bei dem bekannten Verfahren zwei Lösungsmöglichkeiten: Die erste Lösung sieht vor, innerhalb und außerhalb des Hohlkörpers unterschiedliche Gase bzw. Gasgemische zu verwenden. Die Gase sind dabei so zu wählen, dass die Zündfeldstärke des betreffenden Gases innerhalb des Hohlkörpers kleiner ist als außerhalb des Hohlkörpers. Die Feldstärke des elektrischen Wechselfeldes ist dementsprechend so anzupassen, dass sie höher als die Zündfeldstärke im Inneren des Hohlkörpers, aber kleiner als die Zündfeldstärke außerhalb des Hohlkörpers ausfällt.is it is desirable in a variety of applications, the treatment to restrict to the inside of the hollow body, There are two possible solutions in the known method: The first solution provides, inside and outside the hollow body different gases or gas mixtures to use. The gases are to be chosen so that the Ignition field strength of the gas in question within of the hollow body is smaller than outside the Hollow body. The field strength of the alternating electric field is accordingly to be adjusted so that they are higher than the Ignition field strength inside the hollow body, but smaller than the ignition field strength outside of the hollow body fails.

Die alternative Möglichkeit, die Entladung auf das Innere des Hohlkörpers zu beschränken, besteht darin, den Druck im Inneren abzusenken. Der Druck außerhalb des Hohlkörpers wird dagegen unverändert gelassen, wodurch im Inneren des Hohlkörpers ein kleinerer Gasdruck herrscht als außerhalb. Durch diese Maßnahme wird die erforderliche Zündfeldstärke im Inneren des Hohlkörpers vermindert, so dass die Entladung bereits bei vergleichsweise niedrigem äußerem elektrischen Feld im Inneren des dielektrischen Hohlkörpers zünden kann, während außerhalb des Hohlkörpers die erforderliche Zündfeldstärke noch nicht erreicht ist. Je kleiner der Druck im Inneren des Hohlkörpers, desto kleiner ist dabei auch die erforderliche Zündfeldstärke.The alternative way of discharging to the interior of the Restrict hollow body, is the Lower pressure inside. The pressure outside the hollow body is left unchanged, creating inside the Hollow body a smaller gas pressure prevails than outside. By this measure, the required ignition field strength diminished inside the hollow body, so that the discharge already at a comparatively low external level electric field inside the dielectric hollow body can ignite while outside the hollow body the required ignition field strength has not yet been reached is. The smaller the pressure inside the hollow body, the more smaller is also the required ignition field strength.

Dieses bekannte Verfahren weist dabei mehrere nachteilige Aspekte auf. Zum einen ist es durch die Verwendung der oben beschriebenen Anordnung nicht möglich, andere als dielektrische Hohlkörper zu behandeln, da ansonsten keine gewünschte Hohlraumteilentladung im Inneren der Höhlkörper auftreten würde. Dies schließt eine Innenbehandlung von Hohlkörpern mit beispielsweise metallischen Außenschichten aus. Damit einhergehend bedingt dies, dass die Plasmabehandlung in einem automatisierten Betrieb als erster Prozessschritt ablaufen muss. Eine Behandlung von Halbfertigerzeugnissen, an denen an der Außenwandung strukturelle Veränderungen, wie z. B. das Anbringen von zusätzlichen Bauteilen, vorgenommen wurden, ist nachträglich nicht mehr möglich.This Known method has several disadvantageous aspects. First, it is not by the use of the arrangement described above possible to treat other than hollow dielectric bodies, otherwise no desired partial cavity discharge in Inside the cave body would occur. This includes an internal treatment of hollow bodies with for example metallic outer layers. In order to concomitantly, this requires that the plasma treatment be automated Operation must proceed as the first process step. A treatment of semi-finished products attached to the outer wall structural changes, such as B. the attachment of additional components, have been made is subsequently not possible anymore.

Ein weiterer Nachteil ist der technische Aufwand, der betrieben werden muss, um eine ausschließliche Innenbehandlung der Hohlkörper durch das bekannte Verfahren sicher zu stellen, da stets zwei differierende Drücke bzw. Gasgemische erforderlich sind. Die Verhältnisse der Drücke bzw. Gasgemische zueinander sind dabei stets in Abhängigkeit der zugehörigen Zündspannung durch aufwändige externe Regelungsverfahren zu gewährleisten. Außerdem ist die Entladungsdichte von den festen geometrischen Abmessungen der zu behandelnden Bauteile abhängig und damit aktiv nicht beeinflussbar.One Another disadvantage is the technical complexity that can be operated needs to be an exclusive interior treatment of the hollow body to ensure by the known method, as always two differing Pressures or gas mixtures are required. The ratios the pressures or gas mixtures to each other are always depending on the associated ignition voltage to ensure by complex external regulatory procedures. Furthermore is the discharge density of the fixed geometric dimensions the components to be treated and therefore not active influenced.

Aufgabe der Erfindung ist es demnach, ein Verfahren zur Behandlung und Untersuchung von Bauteilen bereit zu stellen, mit dem es möglich ist, Hohlkörper mit sehr kleinen Innendurchmessern einer Plasmabehandlung zu unterziehen und zudem beim Fügen auftretende Fehlstellen sichtbar machen zu können. Weiterhin ist es eine Aufgabe der Erfindung, den baulichen Aufwand gegenüber dem Stand der Technik weiter zu verringern.The object of the invention is therefore, a To provide a method for the treatment and examination of components, with which it is possible to subject hollow body with very small inner diameters of a plasma treatment and also make it possible to visualize defects occurring during joining. Furthermore, it is an object of the invention to further reduce the structural complexity compared to the prior art.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren zur Behandlung von Bauteilen mit den Merkmalen des ersten Patentanspruches gelöst. Die Unteransprüche betreffen besonders vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung.These Task is accompanied by a method for the treatment of components the features of the first claim solved. The dependent claims relate particularly advantageous developments of the invention.

Dem Verfahren zur Lösung der Aufgabe liegt die allgemeine erfinderische Idee zu Grunde, das in einer atmosphärischen Kaltplasmaquelle erzeugte Primärplasma als Zündquelle für einen in einem zu konditionierenden oder zu untersuchenden Hohlraum mit kleinem Durchmesser zu erzeugenden Sekundärplasmastrahl zu nutzen. Hierfür wird ein Edelgas, bevorzugt Argon, durch den Hohlraum des Bauteils in Richtung der Primärplasmaquelle geleitet. Das durch die Primärplasmaquelle gezündete Sekundärplasma breitet sich dabei in dem Hohlraum des zu behandelnden oder zu untersuchenden Bauteils aus; also entgegen der Gasflussrichtung des Edelgases. Der Effekt des sich ausbildenden Sekundärplasmas war dabei nicht vorhersehbar.the Method for solving the problem is the general inventive Based on idea in an atmospheric cold plasma source generated primary plasma as ignition source for one in a cavity to be conditioned or examined small diameter secondary beam to be generated to use. For this purpose, a noble gas, preferably argon, by the cavity of the component in the direction of the primary plasma source directed. The ignited by the primary plasma source Secondary plasma spreads in the cavity of the to be treated or examined component from; so contrary the gas flow direction of the noble gas. The effect of training Secondary plasma was unpredictable.

Eine derartige Lösung des Erfindungsproblems bietet gegenüber dem Stand der Technik den großen Vorteil, die Bauteile in jedem Stadium des Fertigungsgrades einer Plasmabehandlung unterziehen zu können, da an der Außenseite angebrachte Beschichtungen, metallische Anschlüsse o. a. keinen Einfluss auf die Konditionierung im Inneren haben.A Such a solution to the problem of the invention offers the state of the art the great advantage of the components undergo a plasma treatment at each stage of the manufacturing process because of coatings applied to the outside, metallic connections o. a. no influence on the conditioning to have inside.

Auch ist ein derartiges Verfahren in seiner Anwendbarkeit nicht auf die bloße Konditionierung von Bauteilen beschränkt. Vielmehr bietet die Erfindung zudem die Möglichkeit, Fehlstellen und damit Unregelmäßigkeiten in gefügten Bauteilen sichtbar zu machen. Dieses Problem stellt sich in der biochemischen Analytik, Mikrobiologie oder auch der Mikrofluidik, wo Bauteile mit Kanälen im Mikrometerbereich produziert werden. Verklebt man dort beispielsweise planare Bauteile mit kleinsten Kanälen an deren Oberfläche, ist es notwendig, im Anschluss an den Klebevorgang sicherstellen zu können, dass keiner dieser Kanäle verstopft wurde. Im umgekehrten Fall ist das erfindungsgemäße Verfahren auch einsetzbar, um ungewünschte zusätzlich entstandene kleine Hohlräume oder Spalten, also Fehlstellen, sichtbar zu machen. In beiden Anwendungsfällen ermöglicht ein in dem zu untersuchenden Bauteil leuchtendes Plasma sowohl in den gewünschten als auch in den ungewünschten Kanälen oder Spalten eine optische Fehlstellendetektion. Auch Fehlstellen im Material können mit einer entsprechend angelegten äußeren Gegenelektrode gefunden werden.Also Such a method is not applicable in its applicability to limited conditioning of components. Rather, the invention also offers the possibility of defects and thus irregularities in joined Visualize components. This problem arises in the biochemical analysis, microbiology or even microfluidics, where components with channels in the micrometer range produced become. Glued there, for example, planar components with the smallest Channels on their surface, it is necessary following the gluing process to be able to ensure that none of these channels was clogged. In the opposite case the method according to the invention can also be used to unwanted additional incurred small Cavities or gaps, so defects, make visible. In both cases, one allows in the component to be examined luminous plasma both in the desired as well as in unwanted channels or columns an optical defect detection. Also defects in the material can with a suitably applied outer Counter electrode can be found.

Das Verfahren soll nachstehend beispielhaft anhand der Zeichnung noch näher erläutert werden. Es zeigt:The Method will be exemplified below with reference to the drawing be explained in more detail. It shows:

1 einen schematischen Ablaufplan eines erfindungsgemäßen Verfahrens. 1 a schematic flowchart of a method according to the invention.

Aus dem in 1 schematisch dargestellten Ablaufplan des Verfahrens gemäß der Erfindung zur Behandlung und Untersuchung von Bauteilen ist zu entnehmen, dass zunächst ein primärer Plasmastrahl erzeugt werden muss. Hierfür hat sich ein unter dem Namen „plasmabrush®" vertriebenes Gerät zur Erzeugung eines Plasma-Jets der Anmelderin als besonders vorteilhaft einsetzbar erwiesen. Das bekannte Gerät weist ein Entladungsrohr aus dielektrischem Material auf, in dessen Inneren eine innere, stabförmige, massive Elektrode in Längsrichtung sich erstreckend angeordnet ist. Eine zweite Elektrode umfasst das Entladungsrohr. Dies kann direkt oder mit radialem Abstand geschehen. Zur Erzeugung des Plasmas wird die innere, stabförmige Elektrode auf Hochspannung gelegt, während die äußere Elektrode geerdet ist. Damit kommt es auf Grund der Verhältnisse des elektrischen Feldes bevorzugt zu einer Zündung des Plasmas an der Spitze der inneren, stabförmigen Elektrode. Um einen Überschlag zwischen der inneren Elektrode und der äußeren Elektrode, also eine direkte Ausbildung eines Lichtbogens, zu verhindern, ist am Ende des Entladungsrohres eine Abschlusskappe aus dielektrischem Material vorgesehen. Bei dem dabei erzeugten Plasma handelt es sich um „kaltes Plasma" unter Atmosphärendruck, das eine geringe Gastemperatur, bis maximal einige 100 Grad Celsius, aufweist.From the in 1 schematically illustrated flow chart of the method according to the invention for the treatment and examination of components can be seen that first a primary plasma jet must be generated. For this purpose, has a proven product marketed under the name "plasmabrush ®" device for generating a plasma jet of the Applicant to be especially advantageously used. The known apparatus has a discharge tube made of dielectric material, inside which an inner rod-shaped, solid electrode in the longitudinal direction A second electrode comprises the discharge tube, which may be direct or at a radial distance, to generate the plasma, the inner rod-shaped electrode is set to high voltage while the outer electrode is grounded In order to prevent a flashover between the inner electrode and the outer electrode, ie a direct formation of an arc, a cap made of dielectric material is provided at the end of the discharge tube , The plasma generated in this case is "cold plasma" under atmospheric pressure, which has a low gas temperature, up to a maximum of several hundred degrees Celsius.

In einem nächsten Verfahrensschritt wird der zu behandelnde oder zu untersuchende Innenquerschnitt eines Bauteils, der als Hohlraum, Hohlkörper oder Kapillare ausbildet sein kann, mit Edelgas, vorzugsweise mit Argon, in Richtung der Primärplasmaquelle hin durchströmt. Es muss sich bei den Innenquerschnitten des zu behandelnden oder untersuchenden Bauteils nicht zwingend um symmetrische Geometrien handeln. Vielmehr ist jede erdenkliche Formgestalt möglich, solange sie die Bedingung eines sich länglich erstreckenden, durchströmbaren, kleinen oder kleinsten Innenvolumens erfüllt. Unter kleinem oder kleinsten Innenvolumen ist ein Durchmesser bis maximal 10 mm zu verstehen; er liegt bevorzugt im Bereich kleiner 2 mm. Die Gasflussmenge ist dabei variabel einstellbar und liegt beispielsweise bei einem zu behandelnden oder zu untersuchenden Bauteil mit 1 mm Innendurchmesser zwischen 0,5 und 1,5 slm (Standard – Liter pro Minute).In a next process step is the treated or to be examined inner cross-section of a component, as a cavity, Hollow body or capillary can be formed, with inert gas, preferably with argon, toward the primary plasma source flows through it. It has to be at the inner cross sections of the component to be treated or examined is not mandatory to act on symmetric geometries. Rather, every imaginable shape is possible, as long as they are the condition of an oblong extending, permeable, small or smallest Interior volume met. Under small or smallest internal volume is to be understood a diameter up to a maximum of 10 mm; he prefers in the range of less than 2 mm. The gas flow rate is variably adjustable and lies for example in a component to be treated or examined with 1 mm internal diameter between 0.5 and 1.5 slm (standard liter per minute).

Nachfolgend wird die Ausströmöffnung des Edelgases aus dem durchströmten Hohlraum, Hohlkörper oder der Kapillare des Bauteils im Bereich des Strahls der Primärplasmaquelle angeordnet. Dabei wird das zu behandelnde Bauteil mit dem zu konditionierenden oder zu untersuchenden Hohlraum, Hohlkörper oder der Kapillare derart zu der Plasmaaustrittsöffnung des Strahls der Primärplasmaquelle positioniert, dass die Entfernung der Gasausströmöffnung des Hohlraums, Hohlkörpers oder der Kapillare bezogen auf die austrittsseitige Öffnung der Primärplasmaquelle zwischen 1 mm und maximal 30 mm in vertikaler und 0 mm und maximal 15 mm in horizontaler Richtung relativ dazu liegt. Zudem ist es besonders vorteilhaft, wenn das sich vertikal ausdehnende Plasma der Primärplasmaquelle und die Längsaudehnung des Hohlraums, Hohlkörpers oder der Kapillare des zu behandelnden oder untersuchenden Bauteils vorzugsweise im Bereich von neunzig Grad angeordnet werden.Subsequently, the outflow of the Noble gases from the perfused cavity, hollow body or the capillary of the component in the region of the beam of the primary plasma source arranged. In this case, the component to be treated is positioned with the cavity to be conditioned or examined, hollow body or capillary to the plasma outlet opening of the beam of the primary plasma source, that the removal of Gasausströmöffnung the cavity, hollow body or the capillary with respect to the outlet-side opening of the primary plasma source between 1 mm and a maximum of 30 mm in vertical and 0 mm and a maximum of 15 mm in the horizontal direction relative thereto. Moreover, it is particularly advantageous if the vertically expanding plasma of the primary plasma source and the longitudinal expansion of the cavity, hollow body or the capillary of the component to be treated or examined are preferably arranged in the range of ninety degrees.

Anschließend ist der Effekt eines sich überraschend ausbildenden, gleichwohl stets wiederholbaren Sekundärplasmas in dem Hohlraum, Hohlkörper oder der Kapillare des zu behandelnden oder zu untersuchenden Bauteils festzustellen. Also eine Ausbildung eines kalten Atmosphärendruckplasmas entgegen der Gasflussrichtung in dem Hohlraum, Hohlkörper oder der Kapillare des zu behandelnden oder zu untersuchenden Bauteils. Die Ausbreitungslänge des Sekundärplasmas in dem Bauteil ist dabei abhängig von der äußeren angelegten Spannung an die Primärplasmaquelle, der Innenquerschnitte und der relativen Positionierung der Primärplasmaquelle zu dem zu behandelnden Bauteil. Positiv beeinflusst werden kann die Länge des Sekundärplasmas zudem durch Anlegen einer einer Elektrode, die z. B. als Ring um den Schlauch ausgebildet sein kann, vorzugsweise im Endbereich des Sekundärplasmas. Die Elektrode kann geerdet sein.Subsequently is the effect of a surprisingly training, however always repeatable Sekundärplasmas in the cavity, hollow body or the capillary of the component to be treated or examined determine. So contrary to a training of a cold atmospheric pressure plasma the gas flow direction in the cavity, hollow body or the Capillary of the component to be treated or examined. The Propagation length of the secondary plasma in the component depends on the external one Voltage to the primary plasma source, the internal cross sections and relative positioning of the primary plasma source the component to be treated. The positive influence can be Length of the secondary plasma also by applying one of an electrode, the z. B. formed as a ring around the hose may be, preferably in the end region of the secondary plasma. The Electrode can be grounded.

In einem letzten Verfahrensschritt findet als Ergebnis zum einen eine Aktivierung der inneren Oberfläche des Hohlraums, Hohlkörpers oder der Kapillare des Bauteils durch das gezündete Sekundärplasma statt und zum anderen kann eine Spaltendetektion des zu untersuchenden Hohlraums, Hohlkörper oder der Kapillare des Bauteils durchgeführt werden, da der erzeugte Sekundärplasmastrahl deutlich sichtbar ist. Damit ist der gesamte Behandlungseffekt nur und ausschließlich auf das überraschend aufgetretene Sekundärplasma zurückzuführen. Das Primärplasma fungiert einzig als Plasmaerzeugungsquelle.In a last process step finds as a result on the one hand a Activation of the inner surface of the cavity, hollow body or the capillary of the component through the ignited secondary plasma instead of and on the other hand, a gap detection of the examined Cavity, hollow body or the capillary of the component are performed, because the generated secondary plasma beam is clearly visible is. Thus, the entire treatment effect is only and exclusively on the surprisingly occurred secondary plasma due. The primary plasma functions solely as a plasma generation source.

Bei Anbringung einer Gegenelektrode an dem Bauteil, beispielsweise Schlauch, führen dielektrisch fehlerhafte Bauteile zu elektrischen Durchschlägen, die z. B. elektronisch oder auch optisch detektierbar sind, so dass die fehlerhaften Bauteile eindeutig aussortiert werden können. Im Rahmen der Erfindung können als besondere Verwendung des Verfahrens auf einfache und vorteilhafte Weise auch Fehlstellen in dielektrischen Bauteilen erkannt bzw. erfasst werden.at Attachment of a counter electrode to the component, for example hose, lead dielectrically faulty components to electrical Punctures, the z. B. electronically or optically are detectable, so that the faulty components sorted out clearly can be. Within the scope of the invention as a special use of the method to simple and advantageous Way detected and detected defects in dielectric components become.

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • - DE 19847774 C2 [0002] - DE 19847774 C2 [0002]
  • - DE 10035177 C2 [0004] - DE 10035177 C2 [0004]

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Verfahren zur Behandlung und Untersuchung von Bauteilen, aufweisend folgende Verfahrensschritte: – Erzeugen eines primären Plasmastrahls in einer Primärplasmaquelle – Durchströmen des zu behandelnden oder zu untersuchenden Hohlraums, Hohlkörpers oder der Kapillare eines Bauteils mit Edelgas in Richtung der Primärplasmaquelle – Positionieren der Ausströmöffnung des Edelgases aus dem durchströmten Hohlraum, Hohlkörpers oder der Kapillare eines Bauteils im Bereich der Primärplasmaquelle – Ausbildung eines Sekundärplasmas im Hohlraum, Hohlkörper oder der Kapillare eines Bauteils entgegen der Gasflussrichtung – Aktivierung der inneren Oberfläche des Hohlraums, Hohlkörpers oder der Kapillare des Bauteils bzw. Spaltendetektion des zu untersuchenden Hohlraums, Hohlkörpers oder der Kapillare des Bauteils durch das Sekundärplasma.Method of treatment and examination of components comprising the following method steps: - Produce a primary plasma jet in a primary plasma source - Flow through the cavity to be treated or examined, hollow body or the capillary of a component with inert gas in the direction of the primary plasma source - Positioning the outflow of the noble gas from the flowed through Cavity, hollow body or the capillary of a component in the area of the primary plasma source - Training a secondary plasma in the cavity, hollow body or the capillary of a component against the gas flow direction - Activation the inner surface of the cavity, hollow body or the capillary of the component or gap detection of the examined Cavity, hollow body or the capillary of the component through the secondary plasma. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zum Durchströmen des zu behandelnden oder zu untersuchenden Hohlraums, Hohlkörpers oder der Kapillare bevorzugt Argon verwendet wird.Method according to claim 1, characterized in that that for flowing through the to be treated or examined Cavity, hollow body or the capillary prefers argon is used. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchmesser des Innenvolumens des zu behandelnden oder zu untersuchenden Hohlraums, Hohlkörpers oder der Kapillare maximal 10 mm beträgt.Method according to claim 1 or 2, characterized that the diameter of the internal volume of the treated or to be examined cavity, hollow body or capillary maximum 10 mm. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Entfernung der Gasausströmöffnung des Hohlraums, Hohlkörpers oder der Kapillare bezogen auf die austrittsseitige Öffnung der Primärplasmaquelle zwischen 1 mm und maximal 30 mm in vertikaler und 0 mm und maximal 15 mm in horizontaler Richtung relativ dazu liegt.Method according to one of claims 1 to 3, characterized in that the removal of the Gasausströmöffnung of the cavity, hollow body or the capillary based on the exit-side opening of the primary plasma source between 1 mm and a maximum of 30 mm in vertical and 0 mm and a maximum of 15 mm in the horizontal direction relative thereto. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das vertikal ausdehnende Plasma der Primärplasmaquelle und die Längsausdehnung des Hohlraums, Hohlkörpers oder der Kapillare des zu behandelnden oder untersuchenden Bauteils vorzugsweise im Bereich von neunzig Grad zueinander angeordnet werden.Method according to one of claims 1 to 4, characterized in that the vertically expanding plasma the primary plasma source and the longitudinal extent the cavity, hollow body or capillary of the treated or examining component, preferably in the range of ninety Degree to each other are arranged. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Länge des Sekundärplasmas durch Anlegen bevorzugt einer oder mehrerer Elektroden außerhalb der Wandung des Bauteils beeinflusst wird.Method according to one of claims 1 to 5, characterized in that the length of the secondary plasma by applying preferably one or more electrodes outside the wall of the component is influenced. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Potential der außerhalb der Wandung angelegten Elektrode veränderbar ist.Method according to Claim 6, characterized that the potential of the outside of the wall created Electrode is changeable. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass es zur Fehlstellendetektion verwendet wird.Method according to one of claims 1 to 7, characterized in that it is used for defect detection becomes.
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