DE102007040858A1 - Vacuum carburizing device for steel, comprises carburizing chamber for material to be processed, vacuum pump, carburizing gas supply for the chamber in stroke operation, return pipe, opening- and closing valves, and control equipment - Google Patents

Vacuum carburizing device for steel, comprises carburizing chamber for material to be processed, vacuum pump, carburizing gas supply for the chamber in stroke operation, return pipe, opening- and closing valves, and control equipment Download PDF

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Abstract

The vacuum carburizing device for steel, comprises a carburizing chamber (3) for a material to be processed, a vacuum pump, which sucks gas from the carburizing chamber to obtain a vacuum, a carburizing gas supply (4) for the carburizing chamber in a stroke operation, a return pipe (15), which connects an inlet side and an outlet side of the vacuum pump, opening- and closing valves (16) arranged in the flow of the return pipe, and a control equipment (20), which opens the opening and closing valve, when a supply of carburizing gas into the carburizing chamber is started. The vacuum carburizing device for steel, comprises a carburizing chamber (3) for a material to be processed, a vacuum pump, which sucks gas from the carburizing chamber to obtain a vacuum, a carburizing gas supply (4) for the carburizing chamber in a stroke operation, a return pipe (15), which connects an inlet side and an outlet side of the vacuum pump, opening- and closing valves (16) arranged in the flow of the return pipe, a control equipment (20), which opens the opening and closing valve, when a supply of carburizing gas into the carburizing chamber is started and closes the opening and closing valve when the carburizing gas supply ends, and a flow-quantity control valve (17), which is arranged in the flow of the return pipe and adjusts a quantity of the carburizing gas returned to the inlet side of the vacuum pump. An independent claim is included for a method for carburizing a material to be processed.

Description

Die Erfindung betrifft eine Aufkohlungs-Vorrichtung für Stähle, und insbesondere eine Aufkohlungs-Vorrichtung, welche Stähle einer Takt-Aufkohlungs-Bearbeitung unterwirftThe The invention relates to a carburizing device for steels, and in particular, a carburizing device which is steel subjected to a clock carburizing processing

Bei der Vakuum-Aufkohlungs-Bearbeitung von Stählen, wird in einem Bearbeitungsverfahren, welches Takt-Aufkohlung (Puls-Aufkohlung) genannt wird, die Bearbeitung durch abwechselndes Wiederholen einer Aufkohlungs-Periode (Aufkohlungs-Zeitspanne), in welcher in eine Aufkohlungskammer Aufkohlungsgas zugeführt wird, welche Aufkohlungskammer in ihrem Inneren ein auf eine hohe Temperatur aufgeheiztes, zu bearbeitendes Material (Bearbeitungsmaterial) aufnimmt, wobei die Aufkohlungskammer in ihrem Inneren auf einem vorgegebenen Niedrig-Vakuum-Niveau (d. h. bei relativ hohem Druck) gehalten wird, und einer Diffusions-Periode (Diffusions-Zeitspanne), in welcher das Aufkohlungsgas abgesaugt wird und Kohlenstoff unter einem Hoch-Vakuum-Niveau (d. h. bei relativ niedrigem Druck) von der Oberfläche des zu bearbeitenden Materials zu dem Inneren des zu bearbeitenden Materials diffundiert. Gemäß diesem Verfahren kann die Aufkohlung bis hin zu einem engen Lochinneren oder einer großen Lochtiefe, in welche das Aufkohlungsgas nur schwierig eindringen kann, ausgeführt werden, und kann die Aufkohlung gleichmäßig auch bei einem unebenen zu bearbeitenden Material ausgeführt werden. Daher wird die Takt-Aufkohlung als für diese zu bearbeitenden Materialien geeignetes Aufkohlungs-Verfahren angesehen (es wird auf die Dokumente JP-A-2000-1765 und JP-A-2002-194526 ) verwiesen.In the vacuum carburizing processing of steels, in a processing method called pulse carburizing, the processing is performed by alternately repeating a carburizing period (carburizing period) in which carburizing gas is fed into a carburizing chamber which carburizing chamber accommodates in its interior a material (working material) heated to a high temperature, the carburizing chamber being kept in its interior at a predetermined low-vacuum level (ie at a relatively high pressure), and a diffusion period (Diffusion period) in which the carburizing gas is sucked off and diffuses carbon under a high-vacuum level (ie, at a relatively low pressure) from the surface of the material to be processed to the inside of the material to be processed. According to this method, the carburizing can be carried out to a narrow hole inside or a large hole depth into which the carburizing gas is difficult to penetrate, and the carburizing can be carried out uniformly even on an uneven material to be worked. Therefore, the clock carburization is considered as suitable for these materials to carburizing process (it is on the documents JP-A-2000-1765 and JP-A-2002-194526 ).

Bei der in den vorstehenden Patentdokumenten vermittelten Lehre treten jedoch die folgenden Probleme auf: In einer Vakuum-Aufkohlungs-Vorrichtung wie sie in jedem der vorstehenden Patentdokumente beschrieben wird, ist in einer Gasabsaug-Leitung, welche eine Auslass-Öffnung eines Ofens mit einem Vakuum-Absang-Gerät verbindet, ein einstellbares Ventil für eine Druckanpassung (umfassend einen beweglichen Blendenmechanismus) installiert. Weiter erfolgt die Drucksteuerung in der Aufkohlungskammer während der Aufkohlungs-Periode und der Diffusions-Periode mittels dieses einstellbaren Ventils, welches die Flussmenge des abgesaugten Gases einstellt. In der Folge legen sich Fremdkörper wie beispielsweise Ruß und Teer, die in dem abgesaugten Gas enthalten sind, welches durch die Gasabsaug-Leitung strömt, an das einstellbare Ventil an und sammeln sich bei dem einstellbaren Ventil. Hierdurch wird leicht eine schlechte Funktion des einstellbaren Ventils hervorgerufen, und die Zuverlässigkeit und die Haltbarkeit der Vorrichtung insgesamt wird herabgesetzt. Weiter muss die Größe des einstellbaren Ventils groß sein, da die Gasabsaug-Leitung einen großen Durchmesser aufweist, was eine Kostensteigerung bewirkt.at the teaching taught in the above patent documents however, the following problems occur: in a vacuum carburizing apparatus as described in each of the above patent documents is in a gas suction line, which is an outlet opening a furnace with a vacuum-Absang-device connects, a adjustable valve for pressure adjustment (comprising a movable shutter mechanism) installed. Continue the pressure control in the carburizing chamber during the Carburizing period and the diffusion period by means of this adjustable Valve, which adjusts the flow rate of the extracted gas. As a result, foreign bodies such as Soot and tar contained in the extracted gas, which flows through the gas suction line to the adjustable Valve and accumulate at the adjustable valve. hereby a bad function of the adjustable valve is easily caused, and the reliability and durability of the device as a whole is lowered. Next must be the size of the adjustable Valve be big, because the gas suction line a big Diameter, which causes an increase in cost.

Zusätzlich zu dem vorstehend beschriebenen wird, wie in dem vorstehenden Patentdokument JP-A-2000-1765 (Absatz [0016]) beschrieben, auch eine Aufkohlungs-Vorrichtung verwendet, in welcher das vorstehende einstellbare Ventil nicht vorgesehen ist, sondern das Vakuum-Absang-Gerät direkt mit der Auslass-Öffnung verbunden ist. Diese Vorrichtung steuert zur Drucksteuerung kurz gesagt eine Drehgeschwindigkeit einer Vakuumpumpe. Der Bereich, in welchem diese Vorrichtung einen Druck, welcher an einer Saug-Seite (Einlass-Seite) erreicht wird, steuern kann, ist jedoch eng. Daher wird in einem Fall, in welchem als Vakuum-Absaug-Gerät eine Vakuumpumpe verwendet wird, welche eine große Absaug-Geschwindigkeit aufweist, eine Änderung (Dekompression) von einem Druck P1' während der Aufkohlungs-Periode, nachdem das Aufkohlungsgas eingeführt wurde, hin zu einem Druck P0 während der Diffusions-Periode, schnell ausgeführt, wie durch Kurve A in 4 gezeigt. Jedoch wird der Druck während der Aufkohlungs-Periode zu einem Druck P1' eines Hoch-Vakuum-Niveaus, welcher sich dem Druck P0 während der Diffusions-Periode annähert, so dass das Eindringen des Aufkohlungsgases in ein enges Lochinneres während der Aufkohlungs-Periode ungenügend wird. Weiter wird in einem Fall, in dem als Vakuum-Absaug-Gerät eine Vakuumpumpe verwendet wird, welche eine geringe Absaug-Geschwindigkeit aufweist, der Druck während der Aufkohlungs-Periode zu einem gewünschten Druck P1 eines Niedrig-Vakuum-Niveaus, wie es durch Kurve B in 4 gezeigt ist. Jedoch wird, nachdem das Aufkohlungsgas eingeführt wurde, die Zeitdauer bis der Druck P1 auf den Druck P0 während der Diffusions-Periode abgesenkt ist, lang, und ist die Anzahl der Takte begrenzt. Somit können Probleme wie beispielsweise das Auftreten einer ungleichmäßigen Aufkohlung, einer Verlängerung der Aufkohlungs-Bearbeitungszeit und derartiges auftreten.In addition to that described above, as in the above patent document JP-A-2000-1765 (Paragraph [0016]) also uses a carburizing apparatus in which the above adjustable valve is not provided, but the vacuum-absorbing device is directly connected to the outlet port. This device controls the pressure control briefly a rotational speed of a vacuum pump. However, the range in which this device can control a pressure reached at a suction side (inlet side) is narrow. Therefore, in a case where a vacuum pump having a large suction speed is used as the vacuum suction device, a change (decompression) from a pressure P 1 ' during the carburizing period after the carburizing gas is introduced is used. to a pressure P 0 during the diffusion period, executed rapidly as indicated by curve A in FIG 4 shown. However, the pressure during the carburizing period becomes a high-vacuum level pressure P 1 ' approaching the pressure P 0 during the diffusion period, so that the carburizing gas enters a tight hole inside during the carburizing period becomes insufficient. Further, in a case where a vacuum pump having a low suction speed is used as the vacuum suction device, the pressure during the carburizing period becomes a desired pressure P 1 of a low-vacuum level as it passes through Curve B in 4 is shown. However, after the carburizing gas is introduced, the time until the pressure P 1 is lowered to the pressure P 0 during the diffusion period becomes long, and the number of cycles is limited. Thus, problems such as occurrence of uneven carburization, carburizing processing time prolongation and the like may occur.

Die Erfindung wurde gemacht, um die vorstehenden Probleme des Standes der Technik zu lösen, und es ist eine Aufgabe der Erfindung, bei niedrigen Kosten eine Vakuum-Aufkohlungs-Vorrichtung bereit zu stellen, welche einen gewünschten Aufkohlungs-Periode-Druck eines Niedrig-Vakuum-Niveaus während der Zeit der Takt-Aufkohlung erhalten kann, und welche eine schnelle Umschalt-Charakteristik (Änderungs-Charakteristik) von dem Aufkohlungs-Periode-Druck zu dem Diffusions-Periode-Druck aufweist, und welche hinsichtlich ihrer Zuverlässigkeit und Haltbarkeit hervorragend ist.The This invention was made to solve the above problems of the prior art to solve the art, and it is an object of the invention, at low cost, a vacuum carburizing device ready for which give a desired carburizing period pressure a low-vacuum level during the time of clock carburizing and what a fast switching characteristic (change characteristic) from the carburizing period pressure to the diffusion period pressure and which in terms of their reliability and durability is outstanding.

Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird eine Vakuum-Aufkohlungs-Vorrichtung bereitgestellt, welche umfasst: Eine Aufkohlungskammer, die ein zu bearbeitendes Material (Bearbeitungsmaterial) in ihrem Innern aufnimmt; eine Vakuumpumpe, die Gas aus dem Inneren der Aufkohlungskammer absaugt, um ein Vakuum zu erhalten; eine Aufkohlungsgas-Zufuhr-Einrichtung, welche in einem Takt-Betrieb Aufkohlungsgas in die Aufkohlungskammer zuführt; eine Rücklauf-Leitung, welche eine Einlass-Seite (Saug-Seite) der Vakuumpumpe und eine Auslass-Seite der Vakuumpumpe verbindet; ein Öffne- und Schließe Ventil, welches im Verlauf der Rücklauf-Leitung angeordnet ist; und eine Steuereinrichtung, welche das Öffne- und Schließe-Ventil öffnet, wenn eine Zufuhr des Aufkohlungsgases in die Aufkohlungskammer begonnen wird, und welche Steuereinrichtung das Öffne- und Schließe-Ventil schließt, wenn die Zufuhr endet.According to one embodiment of the present invention, there is provided a vacuum carburizing apparatus comprising: a carburizing chamber to be machined Picking up material (processing material) in its interior; a vacuum pump which sucks gas from inside the carburizing chamber to obtain a vacuum; a carburizing gas supply device which supplies carburizing gas to the carburizing chamber in one stroke operation; a return line connecting an inlet side (suction side) of the vacuum pump and an outlet side of the vacuum pump; an open and close valve, which is arranged in the course of the return line; and a controller that opens the open and close valve when a supply of the carburizing gas into the carburizing chamber is started, and which control means closes the open and close valve when the supply ends.

Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nachfolgend anhand der beigefügten Zeichnungen näher beschrieben. Dabei istA Embodiment of the present invention will be below described in more detail with reference to the accompanying drawings. It is

1 ein mechanisches Leitungsschema einer Vakuum-Auskohlungs-Vorrichtung, welches beispielhaft eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt; 1 a mechanical piping of a vacuum Auskohlungs-apparatus, which shows an embodiment of the present invention by way of example;

2 ein Diagramm, welches die Änderung des Ofen-Innendrucks in Bezug auf die Anzahl von Pumpenumdrehungen in der Vorrichtung von 1 zeigt; 2 a diagram showing the change in the furnace internal pressure with respect to the number of pump revolutions in the device of 1 shows;

3 ein Diagramm des Ofen-Innendrucks während der Zeit der Takt-Aufkohlung mittels der Vorrichtung von 1; und 3 a diagram of the furnace internal pressure during the time of clock carburizing by means of the device of 1 ; and

4 ein vergleichendes Diagramm des Ofen-Innendruckes während der Zeit der Takt-Aufkohlung zwischen einer herkömmlichen Vorrichtung und der erfindungsgemäßen Vorrichtung. 4 a comparative diagram of the furnace internal pressure during the time of clock carburizing between a conventional device and the device according to the invention.

Im Folgenden wird eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf ein in den 1 bis 3 gezeigtes Beispiel beschrieben. 1 ist auf eine Gesamtdarstellung einer Vakuum-Aufkohlungs-Vorrichtung 1, in welcher ein Bezugszeichen 2 einen Vakuum-Aufkohlungs-Ofen, Bezugszeichen 2a ein Ofengehäuse des Vakuum-Aufkohlungs-Ofens, und Bezugszeichen 3 eine Aufkohlungskammer bezeichnet, welche Aufkohlungskammer in ihrem Inneren ein zu bearbeitendes Material (Bearbeitungsmaterial) aufnimmt und eine nicht gezeigte Heizeinrichtung umfasst. Bezugszeichen 4 bezeichnet eine Aufkohlungsgas-Zuführeinrichtung, welche Aufkohlungsgas in das Innere dieser Aufkohlungskammer zuführt, und Bezugszeichen 5 bezeichnet ein erstes Öffne- und Schließe-Ventil. Bezugszeichen 6 bezeichnet eine Absaug-Leitung, welche mit dem Ofengehäuse 2a des Vakuum-Aufkohlungs-Ofens 2 verbunden ist. Eine Vakuumpumpe zum Absaugen ist mit dieser Absaug-Leitung 6 verbunden. Die Vakuumpumpe umfasst eine ölgedichtete Rotationspumpe 7 sowie eine mechanische Boosterpumpe 8, welche an der Seite der Eingangsstufe der Pumpe 7 vorgesehen ist. Bezugszeichen 9 bezeichnet ein zweites Öffne- und Schließe-Ventil, und Bezugszeichen 10 bezeichnet einen Inverter/Steuerer zum Steuern einer Rotationsgeschwindigkeit der mechanischen Boosterpumpe 8.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG 1 to 3 Example shown. 1 is an overall view of a vacuum carburizing apparatus 1 in which a reference numeral 2 a vacuum carburizing furnace, reference number 2a a furnace housing of the vacuum carburizing furnace, and reference numerals 3 a carburizing chamber, which carburizing chamber receives in its interior a material to be processed (machining material) and comprises a heating device, not shown. reference numeral 4 denotes a carburizing gas supply device that supplies carburizing gas to the inside of this carburizing chamber, and numerals 5 denotes a first opening and closing valve. reference numeral 6 denotes a suction line, which with the oven housing 2a Vacuum Carburizing Furnace 2 connected is. A vacuum pump for suction is with this suction line 6 connected. The vacuum pump includes an oil-sealed rotary pump 7 as well as a mechanical booster pump 8th , which are on the side of the input stage of the pump 7 is provided. reference numeral 9 denotes a second opening and closing valve, and reference numerals 10 denotes an inverter / controller for controlling a rotational speed of the mechanical booster pump 8th ,

Bezugszeichen 15 bezeichnet eine Rücklauf-Leitung, welche die Absaug-Leitung 6, welche an einer Einlass-Seite der mechanischen Boosterpumpe 8 angeordnet ist, mit einer Auslass-Leitung 11 der ölgedichteten Rotationspumpe 7 verbindet, Bezugszeichen 16 bezeichnet ein drittes Öffne- und Schließe-Ventil, welches im mittleren Verlauf dieser Rücklauf-Leitung 15 angeordnet ist, und Bezugzeichen 17 bezeichnet ein Flussmenge-Steuerventil, welches auf eine ähnliche Weise angeordnet ist.reference numeral 15 denotes a return line which the suction line 6 located on an inlet side of the mechanical booster pump 8th is arranged with an outlet pipe 11 the oil-sealed rotary pump 7 connects, reference numerals 16 denotes a third open and close valve, which in the middle course of this return line 15 is arranged, and reference numerals 17 denotes a flow rate control valve which is arranged in a similar manner.

Weiter bezeichnet Bezugszeichen 20 eine Steuereinrichtung, welche zum Startzeitpunkt und Endzeitpunkt eines vollständigen Aufkohlungs-Vorganges gemäß eines in der Einrichtung gespeicherten Steuerprogramms Öffne/Schließe-Signale an das zweite öffne und Schließe-Ventil 9 ausgibt. Weiter gibt die Steuereinrichtung 20, wenn eine Aufkohlungs-Periode der Takt-Aufkohlung beginnt, Ventil-Öffne-Signale an das erste Öffne- und Schließe-Ventil 5 der Aufkohlungs-Zuführ-Einrichtung 4 und das dritte Öffne- und Schließe-Ventil 16 der Rücklauf-Leitung 15 aus. Zudem gibt die Steuereinrichtung 20 Ventil-Schließe-Signale an die beiden ersten und dritten Ventile 5 und 16 aus, wenn die Aufkohlungs-Periode endet. Zusätzlich zu der Öffne- und Schließe-Betätigung dieser Ventile gibt die Steuereinrichtung 20 basierend auf einem Messwert des Ofen-Innendrucks in dem Vakuum-Aufkohlungs-Ofen 2, welcher durch ein Vakuum-Messgerät 12 erfasst wird (im folgenden einfach als Ofen-Innendruck bezeichnet), und Ofen-Innendruck-Stellwerten Pn während der Aufkohlungs-Periode und während der Diffusions-Periode ein Geschwindigkeits-Steuersignal an den Inverter 10 aus. Auf diese Weise steuert die Steuereinrichtung 20 den Ofen-Innendruck.Next denotes reference numeral 20 a control device which at the start time and end time of a complete carburizing operation in accordance with a control program stored in the device open / close signals to the second open and close valve 9 outputs. Next gives the controller 20 When a carburizing period of clock carburizing begins, valve open signals to the first open and close valve 5 the carburizing feed device 4 and the third open and close valve 16 the return line 15 out. In addition, the controller gives 20 Valve clasp signals to both the first and third valves 5 and 16 when the carburization period ends. In addition to the opening and closing operation of these valves, the controller gives 20 based on a reading of the furnace internal pressure in the vacuum carburizing furnace 2 passing through a vacuum gauge 12 and internal furnace pressure set values P n during the carburizing period and during the diffusion period, a speed control signal to the inverter is detected (hereinafter simply referred to as furnace internal pressure) 10 out. In this way the control device controls 20 the furnace internal pressure.

Die Vakuum-Aufkohlungs-Vorrichtung 1 weist das vorstehende Vakuum-Absaug-System auf, welches einen beispielhaften Betriebszustand einnimmt, in welchem Betriebszustand das zweite Öffne- und Schließe- Ventil 9 geöffnet ist, das dritte Öffne- und Schließe- Ventil 16 der Rücklauf-Leitung 15 geschlossen ist, und die ölgedichtete Rotationspumpe 7 und die mechanische Booster-Pumpe 8 getätigt werden. Wenn die Vakuum-Aufkohlungs-Vorrichtung 1 in diesem beispielhaften Betriebszustand die Rotationsgeschwindigkeit der mechanischen Booster-Pumpe 8 zwischen ihrer Minimal-Geschwindigkeit und ihrer Maximal-Geschwindigkeit ändert, ändert sich der Ofen-Innendruck P nur über einen Bereich m in der Gegend eines Hoch-Vakuum-Niveaus, wie es durch eine Kurve M (die sich einer geraden Linie annähert) in 2 gezeigt ist.The vacuum carburizing device 1 has the above vacuum extraction system, which assumes an exemplary operating state, in which operating state, the second open and close valve 9 is open, the third open and close valve 16 the return line 15 is closed, and the oil-sealed rotary pump 7 and the mechanical booster pump 8th be made. When the vacuum carburizing device 1 in this exemplary operating condition, the rotational speed of the mechanical booster pump 8th between its minimum speed and its maximum speed, the furnace internal pressure P changes only over a range m in the region of a high-vacuum level, as it does by a curve M (which approximates a straight line) in 2 is shown.

Andererseits wird in einem beispielhaften Betriebszustand, in welchem das dritte Öffne- und Schließe- Ventil 16 geöffnet ist, wie es in 1 gezeigt ist, ein Anteil des Gases G des Gases, welches von der ölgedichteten Rotationspumpe 7 ausgestoßen wird, an die Einlass-Seite (Saug-Seite) der mechanischen Booster-Pumpe 8 zurückgeführt. In der Folge nimmt die Gas-Absaug-Menge aus dem Ofen-Gehäuse 2a des Vakuum-Aufkohlungs-Ofens 2 um die Menge des zurücklaufenden Gases G ab, mit der Folge, dass sich der Ofen-Innendruck über einen Bereich n in der Gegend eines Niedrig-Vakuum-Niveaus (Druck in der Nähe des atmosphärischen Drucks) ändert, wie es durch die Kurve N in 2 gezeigt ist. Weiter können, da in diesem Beispiel in der Rücklauf-Leitung 15 das Flussmenge-Stellventil 17 installiert ist, die vorstehende Kurve N und der Bereich n durch eine Flussmengen-Anpassung mittels des Flussmenge-Stellventils 17 nach oben und unten verändert werden.On the other hand, in an exemplary operating state in which the third open and close valve 16 is open as it is in 1 is shown, a portion of the gas G of the gas, which from the oil-sealed rotary pump 7 is discharged to the inlet side (suction side) of the mechanical booster pump 8th recycled. As a result, the gas-suction amount from the furnace housing decreases 2a Vacuum Carburizing Furnace 2 by the amount of the recirculating gas G, with the result that the furnace internal pressure changes over a range n in the region of a low-vacuum level (pressure near the atmospheric pressure), as indicated by the curve N in FIG 2 is shown. Next, as in this example, in the return line 15 the flow rate control valve 17 is installed, the above curve N and the area n by a flow amount adjustment by means of the flow rate control valve 17 be changed up and down.

In der Folge werden der Diffusions-Periode-Druck P0 der Takt-Aufkohlung innerhalb des vorstehenden Bereiches m und der Aufkohlungs-Periode-Druck P1 innerhalb des vorstehenden Bereiches n ausgewählt (genau gesagt ändern sich die vorstehende Kurve N und der Bereich n im Verlauf der Aufkohlungs-Periode etwas aufgrund der Einführung des Aufkohlungsgases). Weiter ist es somit, wie es in 3A gezeigt ist, möglich, das zu bearbeitende Material, welches einer Vakuum-Erwärmung ausgesetzt wurde, einer Takt-Aufkohlung zu unterziehen. Die Takt-Aufkohlung wiederholt mit einem vorgegebenen Intervall eine Aufkohlung bei einem Aufkohlungs-Periode-Druck P1 eines vorgegebenen Niedrig- Vakuum-Niveaus durch Öffnen der ersten und dritten Öffne- und Schließe-Ventile 5 und 16 und einer Diffusion bei einem Diffusions-Periode-Druck P0 eines vorgegebenen Hoch-Vakuum-Niveaus durch Schließen der ersten und dritten Öffne- und Schließe-Ventile 5 und 16. In der 3 wird ein Zahlenwert, welcher in Klammern gesetzt ist, später erläutert. Weiter kann durch Auswählen einer Pumpe (ölgedichtete Rotationspumpe 7 und mechanische Boosterpumpe 8) als Vakuumpumpe, welche eine ausreichend große Absaug-Geschwindigkeit aufweist, unabhängig von der Auswahl des Aufkohlungs-Periode-Drucks P1 eine schnelle Umschalt-Charakteristik von dem Aufkohlungs-Periode-Druck P1 zu dem Diffusions-Periode-Druck P0 erreicht werden, wie es durch die Kurve C in 4 gezeigt ist.Subsequently, the diffusion period pressure P 0 of the clock carburizing within the above range m and the carburizing period pressure P 1 within the above range n are selected (specifically, the above curve N and the range n im change Course of carburizing period slightly due to the introduction of carburizing gas). It is thus, as it is in 3A is shown, it is possible to subject the material to be processed, which has been subjected to a vacuum heating, a clock carburizing. The clock carburizing repeats carburizing at a predetermined interval at a carburizing period pressure P 1 of a predetermined low-vacuum level by opening the first and third opening and closing valves 5 and 16 and diffusion at a diffusion period pressure P 0 of a predetermined high-vacuum level by closing the first and third opening and closing valves 5 and 16 , In the 3 For example, a numerical value set in parentheses will be explained later. Further, by selecting a pump (oil-sealed rotary pump 7 and mechanical booster pump 8th ) as a vacuum pump having a sufficiently large suction speed, irrespective of the selection of the carburizing period pressure P 1, a quick switching characteristic from the carburizing period pressure P 1 to the diffusion period pressure P 0 is achieved as indicated by the curve C in 4 is shown.

Wie vorstehend beschrieben wird die Öffne- und Schließe-Betätigung des dritten Öffne- und Schließe-Ventils 16 in Synchronisation mit der Zufuhr des Aufkohlungsgases angetrieben. Das in der Rücklauf-Leitung 15 strömende Gas G ist ein vergleichsweise sauberes Mischgas, das sich aus Wasserstoff, Stickstoff, Methan und derartigem zusammensetzt. In diesem Gas wurden in dem aus der Aufkohlungskammer 3 ausströmenden Absauggas enthaltene Fremdkörper wie beispielsweise Ruß und Teer durch die Vakuumpumpe entfernt. Da die vorstehenden Fremdkörper sich nicht an das dritte Öffne- und Schließe-Ventil 16 anlegen und dort sammeln, kann das dritte Öffne- und Schließe-Ventil 16 ohne Nachteil über eine lange Zeitdauer verwendet werden. Weiter kann die Rücklauf-Leitung 15 einen kleineren Rohrdurchmesser aufweisen, als ein Rohrdurchmesser der Absaug-Leitung 6, und kann somit auch das dritte Öffne- und Schließe-Ventil 16 eine geringe Baugröße aufweisen. In der Folge weisen die Bauteile, welche den Bereich der Rücklauf-Leitung 15 bilden, eine geringe Größe auf und können bei geringen Kosten hergestellt werden.As described above, the opening and closing operation of the third open and close valve 16 driven in synchronization with the supply of the carburizing gas. That in the return line 15 flowing gas G is a comparatively clean mixed gas composed of hydrogen, nitrogen, methane and the like. In this gas were in the from the carburization chamber 3 Foreign object such as soot and tar contained in the exhaust gas flowing out through the vacuum pump. Since the above foreign matter does not conform to the third opening and closing valve 16 create and collect there, the third open and close valve 16 be used without disadvantage over a long period of time. Next, the return line 15 have a smaller pipe diameter than a pipe diameter of the exhaust pipe 6 , and thus also the third opening and closing valve 16 have a small size. As a result, the components which the area of the return line 15 form a small size and can be manufactured at low cost.

Weiter ist in 3B ein Diagramm des Ofen-Innendrucks für den Fall dargestellt, dass die Takt-Aufkohlung in einem Zustand durchgeführt wurde, in welchem das dritte Öffne- und Schließe-Ventil 16 zum Zwecke des Vergleichs geschlossen wurde. 3B zeigt, dass der Aufkohlungs-Periode-Druck P1 zu einem Druck eines Hoch-Vakuum-Niveaus wird, der im Inneren des vorstehenden Bereiches m begrenzt ist. Dies bedeutet, dass das Ofen-Innendruck-Diagramm der Kurve A in 4 entspricht, welche ein Diagramm des Ofen-Innendrucks für den Fall einer herkömmlichen Vorrichtung ist, welche keine Rücklauf-Leitung 15 aufweist.Next is in 3B a diagram of the furnace internal pressure for the case that the clock carburizing was performed in a state in which the third open and close valve 16 was closed for the purpose of comparison. 3B shows that the carburizing period pressure P 1 becomes a pressure of a high-vacuum level, which is limited inside the projected area m. This means that the furnace internal pressure diagram of the curve A in FIG 4 which is a diagram of the furnace internal pressure in the case of a conventional apparatus which does not have a return pipe 15 having.

Als nächstes wird ein konkreter Fall einer Takt-Aufkohlung, die durch Verwendung der Vakuum-Aufkohlungs-Vorrichtung 1 erhalten wird, gezeigt (das Volumen der Aufkohlungskammer 3 beträgt 5 m3, die Absauggeschwindigkeit der Vakuumpumpe beträgt 4 m3/min, die Aufkohlungsgas-Zuführmenge der Aufkohlungsgas-Zuführeinrichtung 4 beträgt 1 N m3/h). Eine Takt-Aufkohlungs-Bearbeitung des zu bearbeitenden Materials kann durch eine synchronisierte Öffne/Schließ-Betätigung des dritten Öffne- und Schließe-Ventils 16 und des ersten Öffne- und Schließe-Ventils 5 mit einer gewünschten Zykluszeit (beispielsweise beträgt die Aufkohlungs-Periode eine Minute, die Diffusions-Periode 10 Minuten) zwischen einem ersten Betriebszustand durchgeführt werden, in welchem der Aufkohlungs-Periode-Druck P1 1500 Pa beträgt, welcher hinsichtlich des Aufkohlungs-Wirkungsgrads und der Verhinderung des Auftretens von Ruß und Teer und derartigem geeignet ist, und einem zweiten Betriebszustand, in welchem der Diffusions-Perioden-Druck P0 in 3A, 10 Pa beträgt. Im Gegensatz hierzu könnte unter der Bedingung, welche der herkömmlichen Vorrichtung entspricht, in welchem das dritte Öffne- und Schließe-Ventil 16 immer geschlossen ist, wie in 3B gezeigt der Aufkohlungs-Periode-Druck von einem Hoch-Vakuum-Niveau nur erhalten werden, wenn der Aufkohlungs-Perioden-Druck P1 500 Pa in Bezug auf den Diffusions-Perioden-Druck P0 von 10 Pa beträgt.Next, a concrete case of clock carburizing by the use of the vacuum carburizing apparatus 1 is shown (the volume of the carburizing chamber 3 is 5 m 3 , the suction speed of the vacuum pump is 4 m 3 / min, the carburizing gas supply amount of the carburizing gas supply means 4 is 1 N m 3 / h). Clock carburizing processing of the material to be machined may be accomplished by a synchronized open / close operation of the third open and close valve 16 and the first open and close valve 5 with a desired cycle time (for example, the carburizing period is one minute, the diffusion period 10 Minutes) between a first operation state in which the carburizing period pressure P 1 is 1500 Pa, which is suitable in terms of carburizing efficiency and prevention of occurrence of soot and tar and the like, and a second operating state in which the diffusion period pressure P 0 in 3A , 10 Pa. In contrast, under the condition corresponding to the conventional device, in which the third open and close valve could 16 always closed, as in 3B The carburizing period pressure can only be obtained from a high-vacuum level when the Carburizing period pressure P 1 500 Pa with respect to the diffusion period pressure P 0 of 10 Pa.

Die vorliegende Erfindung ist nicht auf das vorstehende Beispiel beschränkt. Beispielsweise können als Vakuumpumpe Vakuumpumpen von anderen Arten, als die Art der vorstehende Vakuumpumpe, wahlweise als einzige Art oder als eine Kombination von mehreren Arten verwendet werden. Beispielsweise können, falls Vakuumpumpen von mehreren Arten in der Vorrichtung installiert sind, deren Drehgeschwindigkeiten simultan gesteuert werden. Weiter kann auf das Flussmenge-Stellventil 17 ganz verzichtet werden, oder kann dieses eine feststehende Drossel sein.The present invention is not limited to the above example. For example, as a vacuum pump, vacuum pumps of other types than the type of the above vacuum pump may optionally be used as a single type or as a combination of plural kinds. For example, if vacuum pumps of several types are installed in the apparatus, their rotational speeds can be controlled simultaneously. Next can on the flow rate control valve 17 be completely dispensed with, or may this be a fixed throttle.

Wie vorstehend beschrieben umfasst eine Vakuum-Aufkohlungs-Vorrichtung gemäß der beispielhaften Ausführungsform eine Aufkohlungskammer, welche in ihrem Inneren ein zu bearbeitendes Material aufnimmt, eine Vakuumpumpe, welche Gas aus dem Inneren der Aufkohlungskammer absaugt, um ein Vakuum zu erhalten, und eine Aufkohlungsgas-Zufuhr-Einrichtung, welche das Aufkohlungsgas in die Aufkohlungskammer zuführt. Weiter ist die Aufkohlungsgas-Zuführ-Einrichtung ausgebildet, das Aufkohlungsgas in einem Taktbetrieb in die Aufkohlungskammer einzuführen, um das zu bearbeitende Material hierdurch einer Vakuum-Aufkohlung auszusetzen. Dabei ist die Vakuum-Aufkohlungs-Vorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass eine Einlass-Seite (Saug-Seite) und eine Auslass-Seite der Vakuumpumpe miteinander nach Art eines Bypass durch eine Rücklauf-Leitung verbunden sind, welche Rücklauf-Leitung mit einem Öffne- und Schließe-Ventil versehen ist; und dadurch, dass eine Steuereinrichtung vorgesehen ist, welche das Öffne- und Schließe-Ventil öffnet, wenn im Taktbetrieb die Einführung des in die Aufkohlungskammer einzuführenden Aufkohlungsgases begonnen wird, und welche das Öffne- und Schließe-Ventil schließt, wenn die Einführung des Aufkohlungsgases endet.As described above includes a vacuum carburizing device according to the exemplary embodiment a carburizing chamber, which in its interior a material to be processed picks up a vacuum pump which releases gas from inside the carburizing chamber sucks to obtain a vacuum, and a carburizing gas supply device, which feeds the carburizing gas into the carburizing chamber. Further, the carburizing gas supply means is formed the carburizing gas in a cyclic operation in the carburizing chamber to introduce the material to be processed thereby to suspend a vacuum carburizing. Here is the vacuum carburizing device characterized in that an inlet side (suction side) and an outlet side of the vacuum pump with each other in the manner of a bypass are connected by a return line, which return line provided with an opening and closing valve is; and in that a control device is provided, which the opening and closing valve opens, when in clock mode the introduction of the carburizing in the chamber carburizing gas to be introduced is started, and which the opening and closing valve closes, when the introduction of the carburizing gas ends.

Bei einer so aufgebauten Vakuum-Aufkohlungs-Vorrichtung wird durch öffnen des Öffne- und Schließe-Ventils, während das Aufkohlungsgas in die Aufkohlungskammer eingeführt wird, ein Teil des Auslass-Gases der Vakuumpumpe (von der Vakuumpumpe ausgegebenes Gas) an die Einlass-Seite der Vakuumpumpe zurückgeführt. In der Folge nimmt die Menge des aus der Vakuum-Kammer abgesaugten Gases ab, und ein Ofen-Innendruck der Vakuum-Aufkohlungs-Vorrichtung (genauer gesagt ein Druck in der Aufkohlungskammer) nimmt zu einem Niedrig-Vakuum-Niveau (Bereich des Atmosphären-Drucks) hin zu. Mit dem gewünschten Aufkohlungs-Perioden-Druck eines Niedrig-Vakuum-Niveaus, welcher durch Auswählen der Menge des zurückfließenden Auslass-Gases über die vorstehende Rücklauf-Leitung erhalten wird, kann in Kombination mit einem Diffusions-Perioden-Druck in einem Zustand, in welchem das Öffne- und Schließe-Ventil geschlossen ist, welcher Diffusions-Perioden-Druck durch die Absaug-Geschwindigkeit bestimmt wird, eine Takt-Aufkohlung durchgeführt werden. Weiter ist es auch möglich, eine schnelle Umschalt-Charakteristik von dem Aufkohlungs-Perioden-Druck zu dem Diffusions-Periode-Druck zu erhalten, da die Vakuumpumpe ihre Absaug-Geschwindigkeit unabhängig von dem wie vorstehend beschrieben bestimmten Aufkohlungs-Periode-Druck auswählen kann.at a thus constructed vacuum carburizing device is opened by of the open and close valve while the carburizing gas is introduced into the carburizing chamber is a part of the outlet gas of the vacuum pump (from the vacuum pump discharged gas) is returned to the inlet side of the vacuum pump. As a result, the amount of gas extracted from the vacuum chamber decreases and a furnace internal pressure of the vacuum carburizing apparatus (more specifically, FIG said pressure in the carburizing chamber) increases to a low-vacuum level (Range of atmospheric pressure) towards. With the desired Carburizing period pressure of a low-vacuum level, which by selecting the amount of the backflowing Outlet gas via the above return line can be obtained in combination with a diffusion period pressure in a state in which the open and close valve It is closed, which diffusion period pressure by the suction speed is determined, a clock carburizing be performed. Furthermore, it is also possible to have a fast switching characteristic from the carburizing period pressure to the diffusion period pressure because the vacuum pump is independent of its suction speed the carburizing period pressure determined as described above can choose.

In dem Gas, welches durch die vorstehende Rücklauf-Leitung strömt, sind aus dem aus der Aufkohlungskammer strömenden Absaug-Gas durch die Vakuumpumpe Fremdkörper wie beispielsweise Ruß und Teer entfernt. In der Folge tritt beim Öffne- und Schließe-Ventil keine Ablagerung und Ansammlung von diesen Fremdkörpern auf, und kann das Öffne- und Schließe-Ventil ohne das Auftreten einer Fehlfunktion oder ähnlichem über eine lange Zeitdauer verwendet werden.In the gas passing through the above return line are flowing from the flowing from the carburizing chamber Suction gas through the vacuum pump foreign body such as Soot and tar removed. As a result, at the opening and clasp valve no deposit and accumulation of these foreign bodies on, and can the opening and Close valve without the occurrence of malfunction or the like a long period of time can be used.

Weiter kann die Rückfluss-Leitung, in welcher ein Teil des Auslass-Gases wie vorstehend beschrieben strömt, einen geringeren Leitungsdurchmesser als ein Leitungsdurchmesser der Auslass-Leitung (Gasauslass-Leitung) des Vakuum-Aufkohlungsofens, mit welchem die Vakuumpumpe verbunden ist, aufweisen. Somit kann das Öffne- und Schließe-Ventil dieser Rücklauf-Leitung auch eine kleine Baugröße aufweisen. In der Folge können, verglichen mit dem Fall, in welchem das einstellbare Ventil in der vorstehenden Absaug-Leitung installiert ist, die Bauteile verkleinert und die Kosten reduziert werden.Further may be the reflux line, in which a part of the outlet gas As described above, a smaller pipe diameter as a pipe diameter of the outlet pipe (gas outlet pipe) of the vacuum carburizing furnace to which the vacuum pump is connected is, have. Thus, the open and close valve This return line also a small size exhibit. As a result, compared to the case, in which the adjustable valve in the above suction line is installed, the components are reduced and the costs are reduced.

Wie vorstehend beschrieben, ist es gemäß einer beispielhaften Ausführungsform möglich, bei niedrigen Kosten eine Vakuum-Aufkohlungs-Vorrichtung zu erhalten, welche während der Takt-Aufkohlungs-Periode einen gewünschten Aufkohlungs-Periode-Druck von einem Niedrig-Vakuum-Niveau erzielen kann, und eine schnelle Umschalt-Charakteristik von dem Aufkohlungs-Perioden-Druck zu einem Diffusions-Perioden-Druck erreicht, und welcher hinsichtlich der Zuverlässigkeit und Haltbarkeit vorzüglich ist.As described above, it is according to an exemplary Embodiment possible, at low cost to obtain a vacuum carburizing device which during the clock carburizing period a desired carburizing period pressure from a low-vacuum level, and a fast one Switching characteristic from the carburizing period pressure to a Diffusion period pressure reached, and which in terms of Reliability and durability is excellent.

Auch wenn die vorstehende Erfindung vorstehend detailliert mit Bezugnahme auf spezielle Ausführungsbeispiele davon beschrieben worden ist, ist es für den Fachmann offensichtlich, dass zahlreiche Änderungen und Modifikationen möglich sind, ohne dabei von dem Geist und dem in den Ansprüchen definierten Schutzbereich der Erfindung abzuweichen.Also when the foregoing invention is described in detail above with reference to specific embodiments thereof has been described it is obvious to the skilled person that numerous changes and modifications are possible without sacrificing the mind and the scope of protection defined in the claims Deviate from the invention.

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Claims (3)

Vakuum-Aufkohlungs-Vorrichtung (1), welche ein Aufkohlungsgas in eine Aufkohlungskammer (3) einführt, um zu bearbeitendes Material einer Vakuum-Aufkohlung auszusetzen, aufweisend: eine Aufkohlungskammer (3), welche in ihrem Inneren das zu bearbeitende Material aufnimmt; eine Vakuumpumpe, welche Gas aus der Aufkohlungskammer (3) absaugt, um ein Vakuum zu erhalten; eine Aufkohlungsgas-Zufuhr-Einrichtung (4), welche Aufkohlungsgas in einem Takt-Betrieb in die Aufkohlungskammer (3) zuführt; eine Rücklauf-Leitung (15), welche eine Einlass-Seite der Vakuumpumpe und eine Auslass-Seite der Vakuumpumpe verbindet; ein Öffne- und Schließe-Ventil (16), welches im Verlauf der Rücklauf-Leitung (15) angeordnet ist; und eine Steuereinrichtung (20), welche das Öffne- und Schließe-Ventil (16) öffnet, wenn eine Zufuhr von Aufkohlungs-Gas in die Aufkohlungskammer (3) begonnen wird, und welche Steuereinrichtung (20) das Öffne- und Schließe-Ventil (16) schließt, wenn die Zufuhr endet.Vacuum carburizing device ( 1 ), which a carburizing gas in a carburizing ( 3 ) to subject a vacuum carburization material to be processed, comprising: a carburizing chamber ( 3 ), which receives in its interior the material to be processed; a vacuum pump containing gas from the carburizing chamber ( 3 ) sucks to obtain a vacuum; a carburizing gas supply device ( 4 ), which carburizing gas in a cycle operation in the carburizing ( 3 ); a return line ( 15 ) connecting an inlet side of the vacuum pump and an outlet side of the vacuum pump; an open and close valve ( 16 ), which in the course of the return line ( 15 ) is arranged; and a control device ( 20 ), which the opening and closing valve ( 16 ) opens when a supply of carburizing gas into the carburizing chamber ( 3 ) and which control device ( 20 ) the open and close valve ( 16 ) closes when the feed ends. Vakuum-Aufkohlungs-Vorrichtung (1) gemäß Anspruch 1, weiter aufweisend: ein Flussmenge-Stellventil (17), welches im Verlauf der Rücklauf-Leitung (15) angeordnet ist, wobei das Flussmenge-Stellventil (17) eine Menge des zu der Einlass-Seite der Vakuumpumpe zurückströmenden Aufkohlungsgases anpasst.Vacuum carburizing device ( 1 ) according to claim 1, further comprising: a flow rate control valve ( 17 ), which in the course of the return line ( 15 ), wherein the flow rate control valve ( 17 ) adjusts an amount of the carburizing gas flowing back to the inlet side of the vacuum pump. Verfahren zur Aufkohlung eines zu bearbeitenden Materials, aufweisend: einen Schritt, in dem in einem Takt-Betrieb Aufkohlungsgas in eine Aufkohlungskammer (3) zuführt wird; einen Schritt, in dem eine Vakuumpumpe Gas aus der Aufkohlungskammer (3) absaugt, um ein Vakuum zu erhalten; einen Schritt, in dem ein Öffne- und Schließe-Ventil (16), welches im Verlauf einer Rücklauf-Leitung (15) angeordnet ist, welche eine Einlass-Seite der Vakuumpumpe und eine Auslass-Seite der Vakuumpumpe verbindet, betätigt wird, wenn eine Zufuhr von Aufkohlungs-Gas in die Aufkohlungskammer (3) begonnen wird; und einen Schritt, in dem das Öffne- und Schließe-Ventil (16) geschlossen wird, wenn die Zufuhr des Aufkohlungsgases in die Aufkohlungskammer (3) endet.A method of carburizing a material to be processed, comprising: a step of carburizing gas into a carburizing chamber (54) in one cycle operation; 3 ) is supplied; a step in which a vacuum pump removes gas from the carburizing chamber ( 3 ) sucks to obtain a vacuum; a step in which an open and close valve ( 16 ), which in the course of a return line ( 15 ), which connects an inlet side of the vacuum pump and an outlet side of the vacuum pump, is actuated when supply of carburizing gas into the carburizing chamber (FIG. 3 ) is started; and a step in which the open and close valve ( 16 ) is closed when the supply of the carburizing gas into the carburizing chamber ( 3 ) ends.
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