DE102007017139A1 - Längenmessvorrichtung sowie Linearführung mit dieser Längenmessvorrichtung - Google Patents

Längenmessvorrichtung sowie Linearführung mit dieser Längenmessvorrichtung Download PDF

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Abstract

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Längenmessvorrichtung, welche gegenüber dem Stand der Technik eine verbesserte Auflösung und Genauigkeit besitzt, sowie eine entsprechende Linearführung vorzuschlagen. Die Erfindung betrifft eine Längenmessvorrichtung 6 zur Messung der Länge einer Messstrecke zwischen einem ersten 5 und einem zweiten Messpunkt 3, mit einem Sender 7 zur Aussendung einer Messwelle 8, mit einem Empfänger 10 zum Empfang der Messwelle 8, wobei Sender 7 und Empfänger 10 angeordnet sind, so dass die Messwelle 8 die Messstrecke durchläuft, und mit einer Auswertevorrichtung 11, die ausgebildet ist, um durch Auswertung der empfangenen Messwelle 8 die Länge der Messstrecke zu bestimmen, wobei die Messwelle 8 die Messstrecke mindestens dreimal durchläuft.

Description

  • Gebiet der Erfindung
  • Die Erfindung betrifft eine Längenmessvorrichtung zur Messung der Länge einer Messstrecke zwischen einem ersten und einem zweiten Messpunkt, mit einem Sender zur Aussendung einer Messwelle, mit einem Empfänger zum Empfang der Messwelle, wobei Sender und Empfänger angeordnet sind, so dass die Messwelle die Messstrecke durchläuft, und mit einer Auswertevorrichtung, die ausgebildet ist, um durch Auswertung der empfangenen Messwelle die Länge der Messstrecke zu bestimmen sowie eine Linearführung mit dieser Längenmessvorrichtung.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Derartige Messvorrichtungen werden beispielsweise zur Längenmessung mittels Laufzeitmessung eingesetzt. Die Laufzeitmessung beruht darauf, dass sich elektromagnetische und akustische Wellen mit endlicher, bekannter Geschwindigkeit ausbreiten. Zur Längenmessung wird ein Messsignal zu einem Messobjekt gesendet, von dem es reflektiert wird, wobei die Zeit die die Messwelle für den Hin- und Rückweg benötigt hat, gemessen wird. Aus dieser Laufzeit und der Ausbreitungsgeschwindigkeit der Messwelle kann in bekannter Weise die Entfernung zwischen Sender beziehungsweise Empfänger und Messobjekt bestimmt werden.
  • Bei abgewandelten Ausführungsformen dieser Technik wird statt oder ergänzend zu der Messung der Laufzeit die Phasenverschiebung zwischen der ausgestrahlten und der empfangenen Messwelle ausgewertet.
  • Beispielsweise offenbart das Dokument US 2006/0186326 A1 einen Wellenempfangs- und einen Längenmessapparat, welcher auf der Auswertung der Laufzeit beziehungsweise der Phasenlage einer Messwelle beruht.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Längemessvorrichtung, welche gegenüber dem Stand der Technik eine verbesserte Auflösung und Genauigkeit besitzt, sowie eine entsprechende Linearführung vorzuschlagen.
  • Die Aufgabe wird durch eine Längenmessvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und mit einer Linearführung mit den Merkmalen des Anspruchs 10 gelöst. Bevorzugte oder vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen, der nachfolgenden Beschreibung sowie den beigefügten Figuren.
  • Erfindungsgemäß wird eine Längenmessvorrichtung zur Messung der Länge einer Messstrecke zwischen einem ersten und einem zweiten Messpunkt vorgeschlagen, wobei die Längenmessvorrichtung insbesondere absolutmessend ausgebildet ist, so dass die gemessene Länge in einer Längenmaßeinheit, insbesondere Meter angegeben wird. Die Längenmessvorrichtung weist einen Sender auf, welcher ausgebildet ist, eine Messwelle auszusenden. Die Messwelle ist beispielsweise als ein kontinuierliches, moduliertes und/oder kohärentes Signal und/oder als ein gepulstes Signal und/oder ein Einzelpuls ausgebildet.
  • Die Längemessvorrichtung verfügt über einen Empfänger, welcher ausgebildet ist, die Messwelle zu empfangen. Optional weist der Empfänger selektierende Vorrichtungen auf, welche ausgebildet sind, um die Messwelle aus einer Störumgebung auszufiltern. Die selektiven Einrichtungen können beispielsweise als Filter, insbesondere optische Filter, ausgebildet sein.
  • Sender und Empfänger sind so angeordnet, dass die von Sender zum Empfänger gesendete Messwelle die Messstrecke durchläuft. Zudem verfügt die Messvorrichtung über eine Auswertevorrichtung, die auch extern angeordnet sein kann, welche ausgebildet ist, um durch Auswertung der empfangenen Messwelle die Länge der Messstrecke bzw. einen äquivalenten Wert zu bestimmen.
  • Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, dass die Messwelle die Messstrecke mindestens dreimal durchläuft. Vorzugsweise wird der Strahlweg der Messwelle zwischen Sender und Empfänger mindestens zweimal gefaltet, so dass die Messstrecke von der Messwelle mindestens dreimal durchlaufen wird.
  • Der Erfindung liegt die Überlegung zugrunde, dass die Genauigkeit und Auflösung der bekannten Längenmessvorrichtungen, insbesondere bei Messstrecken von wenigen Metern oder Zentimetern oftmals ungenügend ist, da die Laufzeit beziehungsweise die Phasenverschiebung zwischen der ausgesendeten und der empfangenen Messwelle so gering ist, dass diese Unterschiede mit hoch präzisen Auswertevorrichtungen detektiert werden müssen. Eine derartige zeitliche Auflösung der Messsignale, welche bis in den Pikosekundenbereich hineinreicht, wird derzeit von den verfügbaren bzw. den wirtschaftlich relevanten elektronischen Systemen nicht befriedigend zur Verfügung gestellt.
  • Dagegen schlägt die Erfindung vor, die Messstrecke zwischen dem ersten und dem zweiten Messpunkt durch mehrfache Reflektion der verwendeten Messwelle im Bereich der Messpunkte mehrfach zu durchlaufen und damit künstlich zu verlängern, so dass die Messwelle erst nach einer beliebig wählbaren Anzahl n von Reflektionen zwischen dem ersten und dem zweiten Messpunkt von dem Empfänger detektiert wird. Anhand der Signallaufzeit beziehungsweise der Phasenbeziehung von Sende- und Empfangsmesswelle wird die Länge des gesamten, künstlich verlängerten und beispielsweise mäanderförmigen Strahlwegs mit einer Genauigkeit G1 bestimmt. Da der gemessene Strahlweg ein ganzzahliges, insbesondere (n + 1)-faches der Messstrecke ist, kann die Länge der Messtrecke in einfacher Weise dadurch berechnet werden, dass der gemessene Strahlweg durch die Anzahl der Durchläufe, insbesondere n + 1, geteilt wird. Die Genauigkeit beziehungsweise der absolute Messfehler der Längenbestimmung der Messtrecke wird dabei auf einen Wert G1/(n + 1) reduziert. Besondere Vorteile bietet die Längenmessvorrichtung dadurch, dass das Konzept günstig umzusetzen ist und vor allem störungsunempfindlich und robust arbeitet.
  • Bei einer bevorzugten Ausbildung der Erfindung ist die Messwelle als elektromagnetische Welle, insbesondere Lichtstrahlung im sichtbaren, infraroten Bereich, als Terahertz- oder Mikrowellenstrahlung, ausgebildet. Alternativ ist die Messwelle als eine akustische Welle, insbesondere eine Ultraschallwelle ausgebildet.
  • Die Bestimmung der Länge der Messstrecke durch die Auswertevorrichtung kann nach einem beliebigen Auswerteverfahren erfolgen, besonders bevorzugt ist jedoch die Länge der Messstrecke, beziehungsweise des Strahlwegs, über eine Pulslaufzeitmessung und/oder über eine Phasenlaufzeitmessung zwischen der ausgesendeten und der empfangenen Messwelle zu bestimmen. Bei der Pulslaufzeitmessung wird der Zeitunterschied zwischen der ausgesendeten und der empfangenen Messwelle unter Verwendung der Ausbreitungsgeschwindigkeit der Messwelle ausgewertet. Bei der Phasenlaufzeitmessung wird die Phasendifferenz zwischen ausgesendeter und empfangener Messwelle bestimmt und daraus die Länge der Messstrecke bzw. des Strahlwegs abgeleitet.
  • Bei einer konstruktiven Umsetzung der Längemessvorrichtung ist der Empfänger an dem ersten Messpunkt und der Sender an dem zweiten Messpunkt angeordnet. Bei einer alternativen Ausführungsform sind Empfänger und Sender gemeinsam an dem ersten oder an dem zweiten Messpunkt platziert. Hierbei können Sender und Empfänger als voneinander getrennte, insbesondere beabstandete Einrichtungen ausgebildet sein oder als eine kombinierte Sender/Empfängereinheit realisiert sein, welche auch als Transceiver bezeichnet wird. Hinzuweisen ist darauf, dass der Terminus „an einem Messpunkt platziert" auch den Fall umfasst, dass die entsprechende Einheit im Bereich des Messpunkts platziert ist.
  • Vorzugsweise wird das mehrmalige Durchlaufen der Messstrecke von der Messwelle dadurch erreicht, dass eine oder mehrere Reflektionsmittel vorgesehen sind, welche die Messwelle mindestens zweimal in die Messstrecke reflektieren. Vorzugsweise ist sowohl an dem ersten Messpunkt als auch an dem zweiten Messpunkt ein Reflektionsmittel vorgesehen, so dass der Strahlweg der Messwelle mehrfach, insbesondere mindestens zweifach gefaltet ist.
  • Bei einer insbesondere für variierende Längen der Messstrecke bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Längemessvorrichtung so ausgebildet, dass die Signalausbreitung der Messwelle innerhalb der Messstrecke auf zueinander parallelen Bahnen verläuft. Auf diese Weise ist sichergestellt, dass für den Fall, dass die Messstrecke durch Verschieben eines der Messpunkte vergrößert oder verkleinert wird, keine systematischen Messfehler aufgrund von Winkeländerungen auftreten.
  • Beispielsweise für den Fall, dass nur eine konstante Länge einer Messstrecke überwacht werden soll, ist es auch möglich, dass die Signalausbreitung der Messwelle innerhalb der Messstrecke auf zueinander gewinkelt angeordneten Bahnen verläuft. Dieser Strahlverlauf ist vergleichsweise einfach zu realisieren, z. B. indem als Reflektionsmittel an jedem Messpunkt ein Spiegel platziert ist, welche zueinander einen geringen Zwischenwinkel aufweisen, so dass die Messwelle zickzackförmig zwischen den Spiegeln verläuft. Gegebenenfalls kann bei einer Änderung der Länge der Messstrecke der auftretende Winkelfehler durch eine Korrekturfunktion kompensiert werden.
  • Die zur Reflektion eingesetzten Reflektionsmittel sind vorzugsweise als Spiegel, Tunnel, Lichtwellenleiter, Prismen, Mikrospiegelarrays, Retroreflektoren oder dergleichen ausgebildet. Dabei sind die genannten Elemente vorzugsweise auf die Wellenlänge oder Wellencharakteristik der Messwelle abgestimmt.
  • Besonders bevorzugt sind die Reflektionsmittel als Retroreflektoren realisiert, welche eintreffende Wellen durch mehrfache, insbesondere doppelte oder dreifache Reflektion in die Einfallsrichtung zurückreflektieren, so dass einfallende Messwelle und reflektierte Messwelle auf zueinander parallelen Bahnen angeordnet sind. Mit den Retroreflektoren ist es somit besonders einfach möglich, einen Strahlengang umzusetzen, bei dem die Messwelle stets auf zueinander parallelen Bahnen verläuft.
  • Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind die Retroreflektoren von dem ersten Messpunkt und dem zweiten Messpunkt zueinander zwar koaxial, jedoch um einen Verdrehwinkel von z. B. 2° bis 10° verdreht zueinander angeordnet. Vorzugsweise ist der Winkel, den die axialen Projektionen der Teilspiegelkanten der beiden Retroreflektoren zueinander einnehmen, als der Verdrehwinkel definiert. Durch diese Anordnung wird die Messwelle zwischen den beiden Retroreflektoren mehrfach hin und hergeworfen, wobei bei jedem Umlauf ein Parallelversatz der Messwelle erfolgt, so dass die Messwelle nach der gewünschten Anzahl von Umläufen ausgekoppelt werden kann. Aber auch jede andere Positionierung der Retroreflektoren ist bevorzugt, die diesen Strahlweg erzeugt.
  • Ein weiterer Gegenstand der Erfindung betrifft eine Linearführung mit einer Schiene und mit einem linearbeweglich auf der Schiene gelagerten Wagen, insbesondere eine Linearwälzkörperführung, wobei ein schienenfester Bezugspunkt einen ersten Messpunkt und ein wagenfester Bezugspunkt einen zweiten Messpunkt bildet, wobei erfindungsgemäß eine Längenmessvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche beziehungsweise nach der vorhergehenden Beschreibung zur Messung der Länge zwischen den beiden Messpunkten eingesetzt ist.
  • Vorzugsweise beträgt die Länge der Messstrecke weniger als 10 m, insbesondere weniger als 5 m, speziell weniger als 1 m. Gerade bei diesen geringen Abständen fallen die statistischen Messfehler besonders schwer ins Gewicht, welche durch das mehrfache Durchlaufen der Messwelle durch die Messstrecke erfindungsgemäß reduziert wird.
  • Prinzipiell kann die Strahlführung für die Messwelle offen verlaufen, es ist jedoch bevorzugt, insbesondere um Probleme mit Verschmutzungen zu vermeiden, die Längenmessvorrichtung gekapselt auszuführen. Der Sender und der Empfänger können dabei in dem Wagen beziehungsweise einem Bock der Linearführung, welcher als stationäres Referenzobjekt dient, integriert sein oder alternativ außerhalb davon angebracht sein, beispielsweise über entsprechende mechanische Schnittstellen.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Weitere Vorteile, Merkmale und Wirkungen der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung sowie der beigefügten Figuren. Dabei zeigen:
  • 1 eine schematische Blockdarstellung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung in Form einer Linearwälzkörperführung mit einer integrierten Längemessvorrichtung;
  • 2 eine schematische Darstellung des Strahlwegs der Messwelle in 1.
  • Detaillierte Beschreibung der Zeichnungen
  • Die 1 zeigt in einer schematischen Blockdarstellung eine Linearwälzlagerführung 1, welche eine Führungsschiene 2 sowie einen Wagen 3 umfasst. Der Wagen 3 ist in bekannter Weise auf der Führungsschiene 2 linearbeweglich in Richtung des Pfeils 4 gelagert. Als linker Endanschlag weist die Linearwälzlagerführung 1 einen Bock 5 auf, welcher zugleich als stationäres Referenzobjekt wirkt. In der Linearwälzkörperführung 1 ist eine Längenmessvorrichtung 6 integriert, welche ausgebildet ist, den Abstand zwischen der Stirnseite des Wagens 3 und der zugewandten Seite des Bocks 5 bzw. den Abstand Wagen 3 – Bock 5, als Messstrecke zu messen. Zur Umsetzung dieser Messaufgabe weist die Längenmessvorrichtung 6 einen Sender 7 auf, welcher ausgebildet ist, eine Messwelle in Form eines Laserstrahls 8 auszusenden. Die Wellenlänge des Laserstrahls 8 liegt vorzugsweise im sichtbaren Bereich. Der Laserstrahl 8 läuft ein erstes Mal die Messstrecke ab und trifft auf einen ersten, auf dem Wagen 3 stationär angeordneten Retroreflektor 9a. Von diesem wird der Laserstrahl 8 um 180° umgelenkt und parallel zu der vorhergehenden Bahn in Richtung des Bocks 5 zurückgestrahlt. Dort trifft der Laserstrahl 8 auf einen zweiten Retroreflektor 9b, welcher stationär in dem Bock 5 angeordnet ist, welcher den Laserstrahl 8 in gleicher Weise wie der Retroreflektor 9a wieder zurückwirft. An dem Wagen 3 ist ein dritter Retroreflektor 9c angeordnet, welcher den Laserstrahl 8 wieder umlenkt und in Richtung des Bocks 5 reflektiert. Dort trifft der Laserstrahl 8 auf einen Empfänger 10, welcher ausgebildet ist, den Laserstrahl 8 zu detektieren.
  • Eine Auswerteeinheit 11 ist sowohl mit dem Sender 7 als auch mit dem Empfänger 10 signaltechnisch verbunden und wertet den empfangenen Laserstrahl 8 aus, indem die Laufzeit und/oder die Phasenverschiebung zwischen dem ausgesendeten Laserstrahl 8 und dem empfangenen Laserstrahl 8 bestimmt wird bzw. werden. In bekannter Weise wird daraus der insgesamt zurückgelegte Strahlenweg des Laserstrahls 8 bestimmt.
  • Als Ergebnis ermittelt die Auswerteeinrichtung zunächst die Strahlweglänge, welche aufgrund der Faltung des Laserstrahls 8 der vierfachen Länge der Messstrecke zuzüglich einem konstanten Offset aufgrund der Strahlwege innerhalb der Retroreflektoren 9a, b, c und einem statistischen Offset aufgrund der Messungenauigkeit entspricht. In einem weiteren Auswertungsschritt wird der konstante Offset von der Strahlweglänge abgezogen und der verbleibende Rest durch die Anzahl der Strahldurchläufe durch die Messstrecke geteilt. Als Ergebnis gibt die Auswertevorrichtung 11 die Länge der Messstrecke aus, wobei jedoch der statistische Offset durch die Division auf ein Viertel des sonstigen statistischen Offsets reduziert wurde.
  • Somit erlaubt die Längenmessvorrichtung 6 eine robuste, störunempfindliche und absolut messende Längemessung, welche gegenüber dem bekannten Pulslaufzeit- beziehungsweise Phasendifferenzmessverfahren in der Auflösung und Genauigkeit verbessert ist. Die Komponenten der Längenmessvorrichtung 1 können – wie in 1 gezeigt – in die Linearwälzkörperführung 1 beziehungsweise dem Wagen 3 und dem Bock 5 integriert sein, alternativ können diese auch außen angeordnet sein. Optional ist das Längemesssystem, insbesondere der Strahlweg und die optischen Komponenten des Längenmesssystems 6 gekapselt ausgebildet.
  • Die 2 zeigt zur Verdeutlichung noch einmal den Strahlweg des Laserstrahls 8 in einer schematischen Darstellung, wobei zu erkennen ist, dass der Sender 7 den Laserstrahl 8 aussendet, dieser durch eine zweifach Reflektion in dem ersten Retroreflektor 9a zurück geworfen wird, in dem zweiten Retroreflektor 9b nochmals um 180° umgelenkt wird und schließlich ein letztes Mal durch den Retroreflektor 9c zurückgeworfen wird, so dass der Laserstrahl 8 auf den Empfänger 10 trifft. Die gegenüberliegenden Retroreflektoren 9a und b beziehungsweise 9b und c sind so angeordnet, dass jeweils deren Ausgang beziehungsweise Eingangsbereiche in Strahlrichtung überlappend bzw. koaxial angeordnet sind.
  • Bei alternativen Ausführungsformen sind Sender 7 und Empfänger 10 als eine kombinierte Einheit ausgebildet, welche auch als Transceiver bezeichnet wird. Alternativ hierzu kann auch beispielsweise der Sender 7 in dem Bock 5 und der Empfänger 10 in dem Wagen 3 angeordnet sein, wobei jedoch der Strahlweg des Laserstrahls 8 mindestens einmal umgelenkt und in die Messstrecke zurückgeworfen wird.
  • 1
    Linearführung
    2
    Schiene
    3
    Wagen
    4
    Pfeil
    5
    Bock
    6
    Längemessvorrichtung
    7
    Sender
    8
    Laserstrahl
    9a, b, c
    Retroreflektoren
    10
    Empfänger
    11
    Auswertevorrichtung
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - US 2006/0186326 A1 [0004]

Claims (11)

  1. Längenmessvorrichtung (6) zur Messung der Länge einer Messstrecke zwischen einem ersten (5) und einem zweiten Messpunkt (3), mit einem Sender (7) zur Aussendung einer Messwelle (8), mit einem Empfänger (10) zum Empfang der Messwelle (8), wobei Sender (7) und Empfänger (10) angeordnet sind, so dass die Messwelle (8) die Messstrecke durchläuft, und mit einer Auswertevorrichtung (11), die ausgebildet ist, um durch Auswertung der empfangenen Messwelle (8) die Länge der Messstrecke zu bestimmen, dadurch gekennzeichnet, dass die Messwelle (8) die Messstrecke mindestens dreimal durchläuft.
  2. Längenmessvorrichtung (6) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Messwelle (8) als eine elektromagnetische Welle oder als eine akustische Welle ausgebildet ist.
  3. Längenmessvorrichtung (6) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswertevorrichtung (11) die Läge der Messstrecke über eine Pulslaufzeitmessung und/oder über eine Phasenlaufzeitmessung zwischen der ausgesendeten und der empfangenen Messwelle (8) bestimmt.
  4. Längenmessvorrichtung (6) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Empfänger (10) an dem ersten Messpunkt und der Sender (7) an dem zweiten Messpunkt angeordnet sind oder dass Empfänger (10) und Sender (7) gemeinsam an dem ersten (5) oder an dem zweiten Messpunkt (3) angeordnet sind.
  5. Längenmessvorrichtung (6) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messwelle (8) durch Reflektionsmittel (9a, b, c) mindestens zweimal in die Messstrecke reflektiert wird.
  6. Längenmessvorrichtung (6) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Signalausbreitung der Messwelle (8) innerhalb der Messstrecke auf zueinander parallelen Bahnen verläuft.
  7. Längenmessvorrichtung (6) nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Signalausbreitung der Messwelle (8) innerhalb der Messstrecke auf zueinander gewinkelt angeordneten Bahnen verläuft.
  8. Längenmessvorrichtung (6) nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Reflektionsmittel als Spiegel, Tunnel-, Hohl-, Lichtwellenleiter, Prismen, Mikrospiegelarrays und/oder Retroreflektoren (9a, b, c) ausgebildet sind.
  9. Längenmessvorrichtung (6) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Retroreflektoren (9a, b, c) zueinander so angeordnet sind, dass diese zunächst auf einer axialen Verbindungslinie spiegelsymmetrisch zueinander positioniert werden und dann um einen Verdrehwinkel zueinander verdreht werden, so dass die axialen Projektionen der Teilspiegelkanten der beiden Retroreflektoren zueinander versetzt sind.
  10. Linearführung (1) mit einer Schiene (2), mit einem linearbeweglich auf der Schiene gelagerten Wagen (3), wobei ein schienenfester Bezugspunkt (5) einen ersten Messpunkt und ein wagenfester Bezugspunkt (2) einen zweiten Messpunkt bildet, gekennzeichnet durch eine Längen messvorrichtung (6) nach einem der vorhergehenden Ansprüchen zur Messung der Länge zwischen den beiden Messpunkten.
  11. Linearführung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Längenmessvorrichtung (6) und/oder die Messstrecke gekapselt ist.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010094474A1 (de) * 2009-02-23 2010-08-26 Carl Zeiss Ag Vorrichtung und verfahren zur abstandsmessung

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3422223A1 (de) * 1983-08-22 1985-03-14 Veb Kombinat Nagema, Ddr 8045 Dresden Vorrichtung, insbesondere zur wegmessung
DE19962472C2 (de) * 1999-12-22 2002-08-01 Daimler Chrysler Ag Vorrichtung zur Bestimmung einer Abstandsänderung zweier Seiten eines Körpers, insbesondere eines Karosserieteils eines Fahrzeugs
US20060186326A1 (en) 2005-02-21 2006-08-24 Takashi Ito Wave receiving apparatus and distance measuring apparatus

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5896200A (en) * 1997-07-29 1999-04-20 The University Of Chicago Optical design for laser encoder resolution extension and angular measurement
US6822733B1 (en) * 2003-06-30 2004-11-23 The University Of Chicago Optical design for laser encoder resolution extension with three-dimensional motion decoupling

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3422223A1 (de) * 1983-08-22 1985-03-14 Veb Kombinat Nagema, Ddr 8045 Dresden Vorrichtung, insbesondere zur wegmessung
DE19962472C2 (de) * 1999-12-22 2002-08-01 Daimler Chrysler Ag Vorrichtung zur Bestimmung einer Abstandsänderung zweier Seiten eines Körpers, insbesondere eines Karosserieteils eines Fahrzeugs
US20060186326A1 (en) 2005-02-21 2006-08-24 Takashi Ito Wave receiving apparatus and distance measuring apparatus

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010094474A1 (de) * 2009-02-23 2010-08-26 Carl Zeiss Ag Vorrichtung und verfahren zur abstandsmessung
DE102009010159A1 (de) * 2009-02-23 2010-09-02 Carl Zeiss Ag Vorrichtung und Verfahren zur Abstandsmessung
DE102009010159B4 (de) * 2009-02-23 2015-12-03 Carl Zeiss Ag Vorrichtung und Verfahren zur Abstandsmessung

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