DE102007008567A1 - Servo unit has piezoelectric actuator and amplifier hub arrangement, where diaphragm partially limits pressure chamber, and is subjected to control pressure on far rear side of pressure chamber - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine mit einem Piezoaktor versehene Stelleinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.The The invention relates to a control device provided with a piezoelectric actuator according to the preamble of claim 1.
Derartige Stelleinrichtungen mit Piezoaktor und hydraulischer Hubverstärkung werden eingesetzt, wenn eine Ansteuerung eines Ventils mit hoher Präzision und Schnelligkeit erforderlich ist.such Actuators with piezo actuator and hydraulic lift amplification are used when controlling a valve with high precision and speed is required.
Gemäß der
Die
Insbesondere bei Ventilen, die mit hoher Dynamik betrieben werden sollen – beispielsweise Einspritzventilen von Verbrennungsmotoren – ist aufgrund des geringen Hubs des Piezoaktors eine sehr große hydraulische Wegverstärkung erforderlich, wobei es aufgrund der geforderten Dynamik notwendig ist, den Steuerkolben des Ventils gegen eine vergleichsweise steife Rückstellfeder zu verschieben. Dazu muss vom Piezoaktor eine große Kraft aufgebracht werden und entsprechend eine Ansteuerelektronik mit hoher Leistung zur Verfügung gestellt werden. Diese Anforderungen lassen sich bei den herkömmlichen Lösungen nur durch eine vergleichsweise aufwendige Ansteuerelektronik und einen hydraulischen Hubverstärker mit großer Flächendifferenz erfüllen, wodurch der Bauraum und der Preis der Stelleinrichtung wesentlich beeinflusst sind.Especially For valves that are to be operated with high dynamics - for example Injectors of internal combustion engines - is due the small stroke of the piezoelectric actuator a very large hydraulic Path reinforcement required, due to the required Dynamism is necessary, the control piston of the valve against a comparatively to move stiff return spring. This must be done by the piezo actuator a great force will be applied and accordingly one Control electronics provided with high power become. These requirements can be found in the conventional Solutions only by a comparatively complicated control electronics and a hydraulic lifting amplifier with large Area difference meet, causing the space and the price of the actuator are significantly affected.
Dem gegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine einfach aufgebaute Stelleinrichtung zu schaffen, die eine Ansteuerung von Ventilen mit hoher Dynamik ermöglicht.the opposite the invention is the object of a to create a simple set-up device that controls a of valves with high dynamics allows.
Diese Aufgabe wird durch eine Stelleinrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.These The object is achieved by an adjusting device having the features of the patent claim 1 solved.
Erfindungsgemäß ist die Stelleinrichtung mit einem Piezoaktor ausgeführt, der über eine Hubverstärkungsanordnung mit großer und kleiner Wirkfläche direkt oder mittelbar auf einen Steuerkolben wirkt. Ein von den beiden Wirkflächen begrenzter gemeinsamer Druckraum hat einen Wandungsabschnitt, der durch eine Membran oder dergleichen gebildet ist, deren vom Druckraum abgewandte Rückseite von einem Steuerdruck beaufschlagbar ist, so dass aufgrund einer Verformung der Membran der Druckraum zusätzlich zur Volumenveränderung aufgrund des Hubs des Piezoaktors verkleinert oder vergrößert werden kann. Entsprechend dieser zusätzlichen, durch die Membran verursachten Volumenänderung kann die Hubverstärkung vergrößert werden, so dass beispielsweise die Flächendifferenz der eingangs genannten Wirkflächen geringer ausgeführt werden kann, um die gleiche Hubverstärkung wie bei herkömmlichen Systemen zu erhalten.According to the invention the adjusting device with a piezoelectric actuator running over a Hubverstärkungsanordnung with large and small Effective surface acts directly or indirectly on a control piston. One of the two active surfaces limited common pressure chamber has a wall portion formed by a membrane or the like is, facing away from the pressure chamber rear of a Control pressure is acted upon, so that due to deformation the diaphragm of the pressure chamber in addition to the volume change due the stroke of the piezoelectric actuator reduced or enlarged can be. According to this additional, by the Membrane-induced volume change can increase the lift be enlarged so that, for example, the Area difference of the aforementioned effective areas Lower can be performed to the same stroke gain as to get in conventional systems.
Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung ist der Druckraum abschnittsweise durch eine elastisch verformbare Wandungsanordnung begrenzt, die vorzugsweise durch zwei Faltenbalgabschnitte gebildet ist, von denen einer einseitig am Kolbenelement mit größerer Wirkfläche und der andere einseitig am Steuerkolben oder dem auf diesen wirkenden Übertragungselement mit kleinerer Wirkfläche festgelegt ist. D. h., die Faltenbalgabschnitte dichten die beiden mit größerer und kleinerer Wirkfläche ausgeführten Elemente der Hubverstärkeranordnung und den dadurch begrenzten Druckraum nach aussen hin ab.at a preferred embodiment of the invention the pressure chamber in sections by an elastically deformable wall assembly limited, preferably formed by two bellows sections one of which is on one side on the piston element with larger Effective area and the other one-sided on the control piston or the acting on this transmission element with a smaller effective area is fixed. That is, the bellows sections seal the two with larger and smaller effective area executed elements of the Hubverstärkeranordnung and the resulting limited pressure chamber to the outside.
Bei einer besonders vorteilhaften Lösung erstreckt sich die Membran etwa in Radialrichtung zwischen den der größeren und der kleineren Wirkfläche zugeordneten Faltenbalgabschnitten.at a particularly advantageous solution extends the Membrane approximately in the radial direction between the larger and the smaller effective area associated bellows sections.
Bei einem besonders einfach aufgebauten Ausführungsbeispiel ist der Steuerkolben mit einer Steuerkante ausgeführt, über die die Rückseite der Membran mit dem Steuerdruck oder einem Tankdruck beaufschlagbar ist.at a particularly simple construction embodiment the control piston is designed with a control edge, over the the back of the diaphragm with the control pressure or a tank pressure can be acted upon.
Dazu kann beispielsweise ein von der Rückseite der Membran begrenzter Rückraum über einen Steuerkanal mit einer den Steuerkolben aufnehmenden Ventilbohrung des Ventils verbindbar sein, wobei dieser Steuerkanal durch Verstellen zweier Steuerkanten mit einem Druckanschluss oder einem Tankanschluss des Ventils verbindbar ist.For example, one of the back Side of the membrane limited rear space via a control channel with the control piston receiving valve bore of the valve be connected, said control channel is connected by adjusting two control edges with a pressure port or a tank port of the valve.
Zur Minimierung des Druckraumvolumens (Totvolumen) kann das mit größerer Wirkfläche ausgeführte Kolbenelement als Stufenkolben ausgeführt sein, dessen Abschnitt mit kleinerem Durchmesser in den von der kleineren Wirkfläche begrenzten Teil des Druckraums eintaucht.to Minimization of the pressure chamber volume (dead volume) can with larger Active surface executed piston element as a stepped piston be executed, whose section of smaller diameter in the limited of the smaller effective area part of the pressure chamber dips.
Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist der Steuerkolben über eine vergleichsweise steife Rückstellfeder in Richtung einer Grundposition vorgespannt.at In a preferred embodiment, the control piston is over a comparatively stiff return spring in the direction biased to a basic position.
Zur Erfassung des Ist-Hubs des Steuerkolbens kann diesem ein Wegaufnehmer zugeordnet sein, dessen Signal von einer Ansteuerelektronik verarbeitbar ist.to Detecting the actual stroke of the control piston, this can be a transducer be assigned, whose signal can be processed by a control electronics is.
Bei der Auslegung des Systems wird vorzugsweise darauf geachtet, dass die Steifigkeit und das Verdrängungsvolumen der Membran, die Steifigkeit der Rückstellfeder, die Kennlinien der oben genannten Steuerkanten des Steuerkolbens und der Druck im Druckraum so aufeinander abgestimmt sind, dass bei einer Phasenverschiebung von etwa 135° (Hub Piezoaktor und Hub Steuerkolben) eine Verstärkung des Systems < 1 ist. Druch diese Auslegungen können Instabilitäten des Systems bei hoher Dynamik minimiert werden.at The design of the system is preferably made to ensure that the stiffness and the displacement of the membrane, the stiffness of the return spring, the characteristics of the above control edges of the control piston and the pressure in the pressure chamber are coordinated so that at a phase shift from about 135 ° (stroke piezoelectric actuator and stroke control piston) a gain of the system <1 is. These interpretations can cause instabilities be minimized at high dynamics of the system.
Sonstige vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand weiterer Unteransprüche.other advantageous developments of the invention are the subject of further Dependent claims.
Im Folgenden wird ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand schematischer Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:in the Below is a preferred embodiment of Invention explained in more detail with reference to schematic drawings. Show it:
Bei
der Stelleinrichtung
Bei
der beispielhaft in
Das
Grundprinzip derartiger Piezoelemente ist bekannt und beispielsweise
auch in der
Die
durch Erregung derartiger Piezoaktoren
Bei
dem in
Bei
dem in
Eine
Besonderheit der Erfindung liegt darin, dass am Steuerkolben
Bei
einer Axialverschiebung des Steuerkolbens
Bei
Erregung des Piezoaktors
Die
resultierende Axialverschiebung des Steuerkolbens
Der
aufgrund der Erregung des Piezoakors
In
Die
vom Piezoaktor
Der
aufgrund der Volumenänderung im Druckraum
Aufgrund
des Hubs des Steuerkolbens
Die
vorgenannten Kennlinien, insbesondere die Steifigkeit und das Verdrängungsvolumen
der Membran
Wie eingangs erwähnt, kann die erfindungsgemäße Stelleinrichtung mit einem Piezoaktor, einer hydrostatischen Hubverstärkung und zusätzlicher Hubverstärkung mittels Membran auch zur Betätigung von sonstigen hubabhängigen Stellelementen verwendet werden.As mentioned above, the inventive Actuating device with a piezoelectric actuator, a hydrostatic Hubverstärkung and additional stroke reinforcement by means of membrane also for the operation of other stroke-dependent Actuators are used.
Offenbart ist eine Stelleinrichtung mit einem auf eine hydraulische Hubverstärkeranordnung wirkenden Piezoaktor, wobei eine größere Wirkfläche der Hubverstärkeranordnung gemeinsam mit einer kleineren Wirkfläche eines Steuerkolbens oder eines Übertragungselementes einen Druckraum begrenzt, so dass eine Verstellbewegung des Piezoaktors auf den Steuerkolben oder das Übertragungselement übertragbar ist. Erfindungsgemäß ist der Druckraum abschnittsweise durch eine Membran begrenzt, deren vom Druckraum abgewandte Rückseite von einem Steuerdruck beaufschlagbar ist.Disclosed is an actuator with a on a hydraulic Hubverstärkeranordnung acting piezoelectric actuator, wherein a larger effective area of Hubverstärkeranordnung together with a smaller effective area a control piston or a transmission element a Pressure chamber limited, so that an adjusting movement of the piezoelectric actuator transferable to the control piston or the transmission element is. According to the invention, the pressure chamber is in sections bounded by a membrane whose rear side facing away from the pressure chamber can be acted upon by a control pressure.
- 11
- Stelleinrichtungsetting device
- 22
- Reglerregulator
- 44
- VentilValve
- 66
- Piezoaktorpiezo actuator
- 88th
- HubverstärkeranordnungHubverstärkeranordnung
- 1010
- Steuerkolbenspool
- 1212
- Steuerraumcontrol room
- 1414
- Ventilgehäusevalve housing
- 1616
- Deckelcover
- 1818
- Kolbenelementpiston element
- 2020
- Stirnseitefront
- 2222
- Druckraumpressure chamber
- 2424
- Ventilbohrungvalve bore
- 2626
- Kolbenhemdskirt
- 2828
- Faltenbalgabschnittbellows
- 3030
- Kolbenvorsprungpiston projection
- 3232
- Ringraumannulus
- 3434
- Faltenbalgabschnittbellows
- 3636
- Stirnbundend union
- 3838
- Steuerkantecontrol edge
- 4040
- Steuerkantecontrol edge
- 4242
- Steuerkantecontrol edge
- 4444
- Steuerkantecontrol edge
- 4646
- RückstellfederanordnungReturn spring arrangement
- 4848
- Wegaufnehmertransducer
- 5050
- Steuerkantecontrol edge
- 5252
- Steuerkantecontrol edge
- 5454
- Steuerkanalcontrol channel
- 5656
- Steuerbundcontrol collar
- 5858
- Membranmembrane
- 6060
- Rückraumbackcourt
- 6262
- Kennlinie (Hub)curve (Stroke)
- 6464
- Kennlinie (Fläche A1)curve (Area A1)
- 6666
- Kennlinie (ΔV)curve (.DELTA.V)
- 6868
- Kennlinie (Fläche A2)curve (Area A2)
- 6969
- Kennlinie (Rückstellfeder)curve (Return spring)
- 7070
-
Kennlinie
(Masse
10 )Characteristic (mass10 ) - 7272
- Kennlinie (Beschleunigung)curve (Acceleration)
- 7474
- Kennlinie (Geschwindigkeit)curve (Speed)
- 7676
- Kennlinie (Membranfläche)curve (Membrane area)
- 7878
-
Kennlinie
(Steuerkante
50 ,52 )Characteristic (control edge50 .52 ) - 8080
- Kennlinie (Membranhub)curve (Cone excursion)
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010054792A1 (en) | 2008-11-14 | 2010-05-20 | Hoerbiger Automatisierungstechnik Holding Gmbh | Machine for machining a workpiece by means of a laser beam |
DE112009003682B4 (en) * | 2008-11-24 | 2018-10-18 | Bürkert Werke GmbH | Drive mechanism for the movement of an object along a movement axis and microvalve |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2193386A (en) | 1986-07-31 | 1988-02-03 | Toyota Motor Co Ltd | Piezoelectric actuator |
DE3714337C2 (en) | 1987-04-29 | 1997-03-20 | Rexroth Mannesmann Gmbh | Servo valve with piezo control and piezoelectric control motor |
-
2007
- 2007-02-21 DE DE200710008567 patent/DE102007008567A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2193386A (en) | 1986-07-31 | 1988-02-03 | Toyota Motor Co Ltd | Piezoelectric actuator |
DE3714337C2 (en) | 1987-04-29 | 1997-03-20 | Rexroth Mannesmann Gmbh | Servo valve with piezo control and piezoelectric control motor |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010054792A1 (en) | 2008-11-14 | 2010-05-20 | Hoerbiger Automatisierungstechnik Holding Gmbh | Machine for machining a workpiece by means of a laser beam |
CN102216024A (en) * | 2008-11-14 | 2011-10-12 | 贺尔碧格自动化技术控股股份有限公司 | Machine for machining a workpiece by means of a laser beam |
CN102216024B (en) * | 2008-11-14 | 2014-03-19 | 贺尔碧格自动化技术控股股份有限公司 | Machine for machining a workpiece by means of a laser beam |
DE112009003682B4 (en) * | 2008-11-24 | 2018-10-18 | Bürkert Werke GmbH | Drive mechanism for the movement of an object along a movement axis and microvalve |
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