DE102007008216A1 - Monolithischer Foto-Chip mit Solar-Vorrichtung und lichtemittierender Vorrichtung sowie zugehöriges Herstellungsverfahren - Google Patents

Monolithischer Foto-Chip mit Solar-Vorrichtung und lichtemittierender Vorrichtung sowie zugehöriges Herstellungsverfahren Download PDF

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Abstract

Monolithischer Foto-Chip mit Solar-Vorrichtung und lichtemittierender Vorrichtung sowie zugehöriges Herstellungsverfahren, wobei der monolithische Foto-Chip eine Solar-Vorrichtung und eine lichtemittierende Vorrichtung aufweist, unter Verwendung eines Verfahrens des Wachstums selektiver Gebiete (SAG) hergestellt werden kann und die Vorteile einfache Struktur, Kompaktheit und Wirtschaftlichkeit hat. Ferner wird eine solar-betriebene Beleuchtungseinrichtung offenbart, welche den monolithischen Foto-Chip und eine wiederaufladbare Batterie aufweist und die Vorteile geringe Größe, Kompaktheit, einfache Integration, leichte Installation und Wirtschaftlichkeit hat. Folglich ist die solar-betriebene Beleuchtungseinrichtung sehr geeignet für vielfältige Anwendungsgebiete, wie beispielsweise das LD-Anwendungsgebiet, welches eine Laser-Zeigeeinrichtung, ein Laser-Visier, ein Laser-Zielgerät, ein Laser-Nivelliergerät und ein Laser-Messwerkzeug etc. aufweist, oder das LED-Anwendungsgebiet, welches eine Dekorationsleuchte, eine Hofleuchte, eine Gartenleuchte und eine Werbe-Beleuchtung, eine Straßenleuchte, ein Warnschild und ein Hinweisschild für den Straßenverkehr etc. aufweist.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen monolithischen Foto-Chip und insbesondere den monolithischen Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung.
  • Festkörper-Lichtquellen, wie beispielsweise die lichtemittierende Diode (LED, light emitting diode) und die Laserdiode (LD, laser diode), werden mit der fortschreitenden Technologie immer kostengünstiger. LED und LD haben die Vorteile geringer Platzbedarf, Stromeinsparung, Langlebigkeit, Glasfreiheit und keine Verwendung von giftigen Gasen, etc. Es gibt vielfältige LEDs, wie beispielsweise rote LEDs, blaue LEDs, grüne LEDs und weiße LEDs, welche in vielen Anwendungsgebieten von Beleuchtung je nach unterschiedlicher Verwendung, wie beispielsweise Dekoration, Anzeige, Bildschirm und Beleuchtung, eingesetzt werden können. Mittlerweile wird die LD verbreitet verwendet als die Lichtquelle von einer Laser-Zeigeeinrichtung (z. B. Laser Pointer), einem Laser-Visier, einem Laser-Zielgerät, einem Laser-Nivelliergerät und einem Laser-Messwerkzeug, etc.
  • Andererseits werden Solarzellen zunehmend als die sauberen Energiequellen genutzt, weil das Öl mehr und mehr knapp und teuer wird und die Solarenergie kostenlos und unbegrenzt verfügbar ist. Der Solar-Chip vom Licht-Fokus-Typ basiert normalerweise auf einem Verbund-Material, beispielsweise Verbund-Halbleitermaterial, wie beispielsweise GaAs, InGaAs, CdTe, AlGaAs oder CuIn(Ga)Se2, was den Vorteil hoher fotovoltaischer Effizienz hat. Deshalb wird er heutzutage immer populärer.
  • Eine solar-betriebene Beleuchtungseinrichtung, welche nachts die LED als die lichtemittierende Vorrichtung nutzt, wird üblicherweise für viele Anwendungen eingesetzt, wie beispielsweise als Straßenlampe, als Warnschild und als Hinweisschild für den Straßenverkehr. Daneben wird sie auch als Dekorations-Außenleuchte, als Hofeuchte, als Gartenleuchte und als Werbe-Beleuchtung, etc., genutzt. Herkömmlicherweise weist die solar-betriebene Beleuchtungseinrichtung normalerweise einen LED-Chip, einen Solar-Chip, eine wiederaufladbare Batterie und einen Controller auf. Der Solar-Chip empfängt das Sonnenlicht während des Tages und wandelt die Sonnenenergie in elektrische Energie um, welche in der wiederaufladbaren Batterie gespeichert wird. Während der Nacht steuert der Controller die wiederaufladbare Batterie, so dass die gespeicherte elektrische Energie entladen wird, so dass der LED-Chip zur Lichtausstrahlung betrieben wird. Dementsprechend besteht der Vorteil der herkömmlichen solar-betriebenen Beleuchtungseinrichtung darin, dass sie kein festes Verdrahten einer Verbindung mit einen externen elektrischen System benötigt, oder ein Wiederaufladen der wiederaufladbaren Batterie durch Nutzung einer externen elektrischen Quelle. Das feste Verdrahten ist schwierig, umständlich und teuer, und der Wiederauflade-Prozess ist zeitaufwändig, schwierig, mühsam und teuer.
  • Allerdings werden der Solar-Chip und der LED-Chip getrennt gehäust, so dass die herkömmliche solar-betriebene Beleuchtungseinrichtung aufwendig zu integrieren, sperrig und teuer ist.
  • Um das vorgenannte Problem zu lösen, dass es für die herkömmliche solar-betriebene Beleuchtungseinrichtung aufwendig, sperrig und teuer ist, und dass der Solar-Chip und der LED-Chip getrennt gehäust werden, besteht ein Ziel der vorliegenden Erfindung darin, einen monolithischen Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung sowie das zugehörige Herstellungsverfahren bereitzustellen. Der monolithische Foto-Chip der vorliegenden Erfindung hat die Vorteile einfacher Struktur, Kompaktheit und Wirtschaftlichkeit.
  • Ein Ziel der vorliegenden Erfindung ist, eine solar-betriebene Beleuchtungseinrichtung bereitzustellen, welche einen monolithischen Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung sowie eine wiederaufladbare Batterie aufweist. Die solar-betriebene Beleuchtungseinrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung benötigt kein festes Verdrahten einer Verbindung mit einem externen elektrischen System oder Wiederaufladen einer wiederaufladbaren Batterie unter Verwendung einer externen elektrischen Quelle; dadurch hat sie die Vorteile: geringe Größe, Kompaktheit, einfache Integration, leichte Installation und Wirtschaftlichkeit.
  • Folglich ist die solar-betriebene Beleuchtungseinrichtung, welche einen monolithischen Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung aufweist, sehr geeignet für vielfältige Anwendungsgebiete, wie beispielsweise das LD-Anwendungsgebiet, welches eine Laser-Zeigeeinrichtung (z. B. Laser Pointer), ein Laser-Visier, ein Laser-Zielgerät, ein Laser-Nivelliergerät und ein Laser- Messwerkzeug, etc. aufweist; oder das LED-Anwendungsgebiet, beispielsweise Dekorationsleuchte, eine Hofleuchte, eine Gartenleuchte und eine Werbe-Beleuchtung, eine Straßenleuchte, ein Warnschild und ein Hinweisschild für den Straßenverkehr, etc.
  • Um die oben erwähnten Ziele zu erreichen, ist ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, einen monolithischen Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung bereitzustellen, welcher ein Substrat, die auf dem Substrat gebildete Solar-Vorrichtung und die auf dem Substrat gebildete und von der Solar-Vorrichtung räumlich getrennte lichtemittierende Vorrichtung aufweist.
  • Um die oben erwähnten Ziele zu erreichen, ist ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, eine solar-betriebenen Beleuchtungsvorrichtung bereitzustellen, welche einen monolithischen Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung, sowie eine wiederaufladbare Batterie aufweist. Die wiederaufladbare Batterie ist elektrisch mit der Solar-Vorrichtung und der lichtemittierenden Vorrichtung verbunden, wobei sie durch die Solar-Vorrichtung geladen wird und die lichtemittierenden Vorrichtung mit Energie versorgt.
  • Um die oben erwähnten Ziele zu erreichen, ist ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Foto-Chips mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung bereitzustellen, welches folgende Schritte aufweist: einen Anfangsschritt zum Bereitstellen eines Substrats; einen ersten Aufbringungs-Schritt zum Aufbringen einer ersten Isolationsschicht auf dem Substrat und Bilden einer ersten freigelegten Substratregion; einen Schritt zum Bilden einer ersten Vorrichtung auf der ersten freigelegten Substratregion unter Verwendung einer Epitaxie-Technik und einer Lithographie-Technik; einen ersten Ätzschritt zum Rückätzen der ersten Isolationsschicht; einen zweiten Aufbringungs-Schritt zum Aufbringen einer zweiten Isolationsschicht auf dem Substrat und Oberflächen der ersten Vorrichtung und Bilden einer zweiten freigelegten Substratregion; einen Schritt zum Bilden einer zweiten Vorrichtung auf der zweiten freigelegten Substratregion unter Verwendung der Epitaxie-Technik und der Lithographie-Technik; und einen zweiten Ätzschritt zum Rückätzen der zweiten Isolationsschicht. Dabei ist die erste Vorrichtung entweder eine Solar-Vorrichtung oder eine lichtemittierende Vorrichtung und die zweite Vorrichtung ist entweder eine lichtemittierende Vorrichtung oder dementsprechend eine Solar-Vorrichtung.
  • Andere Ziele, technische Inhalte, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen ersichtlich, worin bestimmte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung mittels bildlicher Darstellung und Beispielen dargelegt sind.
  • Die vorgenannten Aspekte und viele mit dieser Erfindung einhergehenden Vorteile werden leichter erfasst, wie auch die Erfindung besser verstanden wird, durch Bezugnahme auf die folgende detaillierte Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen, wobei:
  • 1 eine schematische Seitenansicht ist, welche die Struktur eines monolithischen Foto-Chips mit einer Solar- Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung veranschaulicht; und
  • 2A bis 2G schematische Seitenansichten sind, welche die Schritte eines Verfahrens zur Herstellung eines monolithischen Foto-Chips mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung veranschaulichen.
  • Im Folgenden wird die vorliegende Erfindung detailliert erläutert. Die beschriebenen bevorzugten Ausführungsbeispiele werden für Zwecke der Veranschaulichung und Beschreibung präsentiert und sie sind nicht dazu bestimmt, den Bereich der vorliegenden Erfindung einzugrenzen.
  • 1 ist eine schematische Seitenansicht zur Veranschaulichung der Struktur eines monolithischen Foto-Chips mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Ein monolithischer Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung weist auf: ein Substrat 10; eine auf dem Substrat 10 gebildete Solar-Vorrichtung 20; und eine auf dem Substrat 10 gebildete und räumlich von der Solar-Vorrichtung 20 getrennte (beispielsweise in einem Abstand von der Solar-Vorrichtung 20 angeordnete) lichtemittierende Vorrichtung 30. In einem Ausführungsbeispiel kann das Substratmaterial GaAs sein. Die Solar-Vorrichtung 20 kann eine Solarzelle mit einer einzelnen Sperrschicht oder eine Solarzelle mit mehreren Sperrschichten sein. Die lichtemittierende Vorrichtung 30 kann eine Laserdiode (LD) sein, wie beispielsweise eine Kantenemitter-LD oder eine oberflächenemittierende Laserdiode mit Vertikalresonator (VCSEL, vertical cavity surface emitting laser). Die lichtemittierende Vorrichtung kann eine lichtemittierende Diode (LED) sein, wie beispielsweise eine rote LED, eine blaue LED, eine grüne LED und eine weiße LED. Daneben kann die Struktur der lichtemittierenden Vorrichtung 30 aus der Gruppe ausgewählt werden, die besteht aus: Einzel-Heterostruktur, Doppel-Heterostruktur und Quantentopf. Die verschiedenen Arten und Strukturen für die vorgenannten Solar-Vorrichtungen und die lichtemittierenden Vorrichtungen sind den Fachleuten gut bekannt, weshalb sie hier nicht weiter beschrieben werden.
  • Die nächsten Ausführungen beziehen sich auf 2A bis 2G, welche schematische Seitenansichten zur Veranschaulichung der Schritte eines Verfahrens zur Herstellung eines monolithischen Foto-Chips mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sind. Das Verfahren weist folgende Schritte auf: einen Anfangsschritt S1 zur Bereitstellung eines Substrats 40; einen ersten Aufbringungs-Schritt S2 zum Aufbringen einer ersten Isolationsschicht 42 auf dem Substrat 40 und Bilden einer ersten freigelegten Region 44 des Substrats 40; einen Schritt S3 zum Bilden einer ersten Vorrichtung 50 auf der ersten freigelegten Region 44 des Substrates 40 unter Verwendung einer Epitaxie-Technik und einer Lithographie-Technik; einen ersten Ätzschritt S4 zum Zurückätzen der ersten Isolationsschicht 42; einen zweiten Aufbringungs-Schritt S5 zum Aufbringen einer zweiten Isolationsschicht 52 auf dem Substrat 40 und Oberflächen der ersten Vorrichtung 50 und Bilden einer zweiten freigelegten Region 54 des Substrats 40; einen Schritt S6 zum Bilden einer zweiten Vorrichtung 60 auf der zweiten freigelegten Region 54 des Substrats 40 unter Verwendung der Epitaxie-Technik und der Lithographie-Technik; und einen zweiten Ätzschritt S7 zum Zurückätzen der zweiten Isolationsschicht 52. Dabei ist die erste Vorrichtung 50 entweder eine Solar-Vorrichtung oder eine lichtemittierende Vorrichtung, und die zweite Vorrichtung 60 ist entweder eine lichtemittierende Vorrichtung oder dementsprechend eine Solar-Vorrichtung.
  • In einem Ausführungsbeispiel ist das Material der ersten Isolationsschicht 42 und der zweiten Isolationsschicht 52 Siliziumoxid oder Siliziumnitrid. Das Material des Substrates 40 kann, wie oben erwähnt, GaAs sein. Weiterhin sind die Typen und Strukturen der ersten Vorrichtung 50 und der zweiten Vorrichtung 60 ähnlich der Solar-Vorrichtung 20 und der lichtemittierenden Vorrichtung 30, weshalb sie hier nicht weiter beschrieben werden.
  • Demzufolge ist ein Merkmal der vorliegenden Erfindung, dass ein monolithischer Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung unter Verwendung eines Verfahrens des Wachstums selektiver Gebiete (SAG, selectiv area growth), wie in den vorhergehenden Absätzen beschrieben, hergestellt werden kann.
  • Um kurz zusammenzufassen; die vorliegende Erfindung stellt einen monolithischen Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung bereit, welcher die Vorteile einfache Struktur, Kompaktheit und Wirtschaftlichkeit hat. Weiterhin kann er sehr geeignet zur Integration mit einer wiederaufladbaren Batterie sein, so dass eine solar-betriebene Beleuchtungseinrichtung zusammengesetzt wird. Zum Beispiel weist eine solar-betriebene Beleuchtungseinrichtung gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung auf: einen monolithischen Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung der vorliegenden Erfindung; und eine wiederaufladbare Batterie, elektrisch verbunden mit der Solar-Vorrichtung und der lichtemittierenden Vorrichtung, wobei die wiederaufladbare Batterie von der Solar-Vorrichtung aufgeladen wird und die lichtemittierenden Vorrichtung mit Energie versorgt.
  • Die solar-betriebene Beleuchtungseinrichtung, welche den monolithischen Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung der vorliegenden Erfindung anwendet, benötigt kein festes Verdrahten einer Verbindung mit einem externen elektrischen System oder Wiederaufladen einer wiederaufladbaren Batterie durch Verwendung einer externen elektrischen Quelle, was die Vorteile geringe Größe, Kompaktheit, einfache Integration, leichte Installation und Wirtschaftlichkeit hat. Folglich kann die Beleuchtungseinrichtung breite Anwendung in vielen Gebieten finden, wie beispielsweise dem LD-Anwendungsgebiet, welches eine Laser-Zeigeeinrichtung (z. B. Laser Pointer), ein Laser-Visier, eine Laser-Zielvorrichtung, ein Laser-Nivelliergerät und ein Laser-Messwerkzeug, etc. aufweist; oder dem LED-Anwendungsgebiet, beispielsweise eine Dekorationsleuchte, eine Hofleuchte, eine Gartenleuchte und eine Werbe-Beleuchtung, eine Straßenleuchte, ein Warnschild und ein Hinweisschild für den Straßenverkehr, etc.
  • Die vorausgegangenen Beschreibungen spezifischer Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung wurden für Zwecke der Veranschaulichungen und Beschreibung präsentiert.
  • Es ist nicht beabsichtigt, dass diese Ausführungsbeispiele exklusiv sind oder die Erfindung auf die offenbarten genauen Formen einschränken, und offensichtlich sind angesichts der obigen Lehre viele Modifikationen und Variationen möglich. Die Ausführungsbeispiele wurden gewählt und beschrieben, um die Prinzipien der Erfindung und ihre praktische Anwendung bestmöglich zu erklären und dadurch andere Fachleuten zu befähigen, die Erfindung und verschiedene Ausführungsbeispiele mit verschiedenen Modifikationen, wie sie für die betrachtete jeweilige Anwendung geeignet sind, bestmöglich zu nutzen. Es ist beabsichtigt, dass der Bereich der Erfindung durch die hier beigefügten Ansprüche und ihren Äquivalenten definiert wird.

Claims (17)

  1. Monolithischer Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung (20) und einer lichtemittierenden Vorrichtung (30), welcher aufweist: ein Substrat (10); die auf dem Substrat (10) gebildete Solar-Vorrichtung (20); und die auf dem Substrat (10) gebildete lichtemittierende Vorrichtung (30), räumlich getrennt von der Solar-Vorrichtung (20).
  2. Monolithischer Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung (20) und einer lichtemittierenden Vorrichtung (30) nach Anspruch 1, wobei das Material des Substrats (10) GaAs ist.
  3. Monolithischer Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung (20) und einer lichtemittierenden Vorrichtung (30) nach Anspruch 1, wobei die Solar-Vorrichtung (20) eine Solarzelle mit einer einzelnen Sperrschicht oder eine Solarzelle mit mehreren Sperrschichten ist.
  4. Monolithischer Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung (30) nach Anspruch 1, wobei die lichtemittierende Vorrichtung (30) eine Laserdiode (LD) ist.
  5. Monolithischer Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung (20) und einer lichtemittierenden Vorrichtung (30) nach Anspruch 4, wobei die LD eine Kantenemitter-LD oder eine oberflächenemittierende Laserdiode mit Vertikalresonator (VCSEL) ist.
  6. Monolithischer Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung (20) und einer lichtemittierenden Vorrichtung (30) nach Anspruch 1, wobei die lichtemittierende Vorrichtung (30) eine lichtemittierende Diode (LED) ist.
  7. Monolithischer Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung (20) und einer lichtemittierenden Vorrichtung (30) nach Anspruch 6, wobei die LED aus einer Gruppe ausgewählt wird, die besteht aus: eine rote LED, eine blaue LED, eine grüne LED und eine weiße LED.
  8. Monolithischer Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung (20) und einer lichtemittierenden Vorrichtung (30) nach Anspruch 1, wobei die Struktur der lichtemittierenden Vorrichtung (30) aus der Gruppe ausgewählt wird, die besteht aus: Einzel-Heterostruktur, Doppel-Heterostruktur und Quantentopf.
  9. Solar-betriebene Beleuchtungseinrichtung, welche den monolithischen Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung (20) und einer lichtemittierenden Vorrichtung (30) nach Anspruch 1 verwendet, welche aufweist: den monolithischen Foto-Chip mit einer Solar-Vorrichtung (20) und einer lichtemittierenden Vorrichtung (30); sowie eine wiederaufladbare Batterie, welche elektrisch mit der Solar-Vorrichtung (20) und der lichtemittierenden Vorrichtung (30) verbunden ist, wobei die wiederaufladbare Batterie durch die Solar-Vorrichtung (20) aufgeladen wird und die lichtemittierende Vorrichtung (30) mit Energie versorgt.
  10. Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Foto-Chips mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung, welches folgende Schritte aufweist: Bereitstellen eines Substrats (40) (S1); Aufbringen einer ersten Isolationsschicht (42) auf das Substrat (40) und Bilden einer ersten freigelegten Region (44) des Substrats (40) (S2); Bilden einer Solar-Vorrichtung (50) auf der ersten freigelegten Region des Substrats (44) unter Verwendung einer Epitaxie-Technik und einer Lithographie-Technik (S3); Rückätzen der ersten Isolationsschicht (42); Aufbringen einer zweiten Isolationsschicht (52) auf dem Substrat (40) und Oberflächen der ersten Vorrichtung (50) und Bilden einer zweiten freigelegten Region (54) des Substrats (40) (S4); Bilden einer lichtemittierenden Vorrichtung (60) auf der zweiten freigelegten Region (54) des Substrats (40) unter Verwendung der Epitaxie-Technik und der Lithographie-Technik (S5); und Rückätzen der zweiten Isolationsschicht (52) (S6).
  11. Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Foto-Chips mit einer Solar-Vorrichtung (50) und einer lichtemittierenden Vorrichtung (60) nach Anspruch 10, wobei als das Material des Substrats (40) GaAs verwendet wird.
  12. Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Foto-Chips mit einer Solar-Vorrichtung (50) und einer lichtemittierenden Vorrichtung (60) nach Anspruch 10, wobei als das Material der ersten Isolationsschicht (42) Siliziumoxid oder Siliziumnitrid verwendet wird.
  13. Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Foto-Chips mit einer Solar-Vorrichtung (50) und einer lichtemittierenden Vorrichtung (60) nach Anspruch 10, wobei als das Material der zweiten Isolationsschicht (52) Siliziumoxid oder Siliziumnitrid verwendet wird.
  14. Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Foto-Chips mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung, welches folgende Schritte aufweist: Bereitstellen eines Substrats; Aufbringen einer ersten Isolationsschicht auf dem Substrat und Bilden einer ersten freigelegten Region des Substrats; Bilden einer lichtemittierenden Vorrichtung auf der ersten freigelegten Region des Substrats unter Verwendung einer Epitaxie-Technik und einer Lithographie-Technik; Rückätzen der ersten Isolationsschicht; Aufbringen einer zweiten Isolationsschicht auf dem Substrat und Oberflächen der ersten Vorrichtung und Bilden einer zweiten freigelegten Region des Substrats; Bilden einer Solar-Vorrichtung auf der zweiten freigelegten Region des Substrats unter Verwendung der Epitaxie-Technik und der Lithographie-Technik; und Rückätzen der zweiten Isolationsschicht.
  15. Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Foto-Chips mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei als das Material des Substrats GaAs verwendet wird.
  16. Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Foto-Chips mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei als das Material der ersten Isolationsschicht Siliziumoxid oder Siliziumnitrid verwendet wird.
  17. Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Foto-Chips mit einer Solar-Vorrichtung und einer lichtemittierenden Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei als das Material der zweiten Isolationsschicht Siliziumoxid oder Siliziumnitrid verwendet wird.
DE102007008216A 2006-12-28 2007-02-20 Monolithischer Foto-Chip mit Solar-Vorrichtung und lichtemittierender Vorrichtung sowie zugehöriges Herstellungsverfahren Withdrawn DE102007008216A1 (de)

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