DE102007005089B3 - Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle - Google Patents

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Abstract

Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle auf Polymerbasis beschrieben, wobei zwischen einer strukturierten, Freiflächenbereiche (16) aufweisenden ersten Elektrode (12) und einer zweiten Elektrode (32) ein Aktivschichten-Gebilde (30) vorgesehen wird. Dabei werden die Freiflächenbereiche (16) der strukturierten ersten Elektrode (12) mit einer Füllung derartig versehen, dass die erste Elektrode (12) und die Füllung eine gemeinsame ebene Oberfläche (28) bilden, auf der das Aktivschichten-Gebilde (30) vorgesehen wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle auf Polymerbasis.
  • Die WO 2006/010911 A2 beschreibt die Herstellung organischer optoelektronischer Module, insbesondere organischer photovoltaischer Anordnungen oder organischer LEDs. Auf einem Substrat werden hier eine strukturierte Elektrodenschicht, eine aktive Schicht und eine weitere Elektrodenschicht angeordnet, die einzelne Zellen bilden. Die Fläche, auf welcher die aktive Schicht gebildet wird, ist dabei aufgrund der Strukturierung der auf dem Substrat aufgebrachten Elektrodenschicht uneben.
  • Flexible Solarzellen auf Polymerbasis können unterschiedlich aufgebaut werden. Von Wichtigkeit ist bei derartigen Solarzellen, dass mindestens eine der beiden Elektroden transparent oder zumindest semi-transparent ist. Eine semi-transparente Elektrode ist beispielsweise durch eine Metallgitterstruktur realisierbar. Ein Mangel einer derartigen Metallgitterstruktur besteht darin, dass sie nur ungenügend mit einem Aktivschichten-Gebilde bedruckt bzw. benetzt werden kann. Das liegt daran, dass durch die Metallgitterstruktur Erhebung und mit diesen abwechselnde Einsenkungen vorliegen und somit die zu bedruckende Oberfläche inhomogen ist.
  • Bei der Herstellung von Solarzellen ist jedoch eine homogene gleichmässige Beschichtung notwendig, da die Funktion und Effektivität der Solarzelle durch Schichtdicken-Schwankungen innerhalb der Solarzelle negativ beeinflusst wird. Auch das Verfahren zur Herstellung der Metallgitterstruktur kann zu Problemen führen, welche die Applikation nachfolgender dünner aktiver Schichten erschwert, nämlich die Rauhigkeit, die durch die Metallgitterstruktur selbst gebildet wird, und die Rauhigkeiten, die an den Rändern bzw. Kanten der Metallgitterstruktur beispielsweise durch einen Ätzprozess gebildet werden.
  • In Kenntnis dieser Gegebenheiten liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art zu schaffen, wobei die oben erwähnten Probleme auf einfache Weise eliminiert sind.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
  • Bevorzuge Ausgestaltungen des Verfahrens sind in den Unteransprüchen angegeben.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle auf Polymerbasis ist durch folgende Schritte gekennzeichnet:
    Bereitstellen einer strukturierten, Freiflächenbereiche in Form von Öffnungen aufweisenden ersten Elektrode;
    Füllen der Freiflächenbereiche der strukturierten ersten Elektrode mit einer Füllung aus Lack derart, dass die erste Elektrode und die Füllung eine durchgehende gemeinsame ebene Oberfläche bilden;
    Ausbilden eines durchgehenden Aktivschichten-Gebildes auf der ebenen Oberfläche, und
    Ausbilden einer zweiten Elektrode auf dem Aktivschichten-Gebilde.
  • Zu diesem Zwecke kann auf einem Träger mindestens eine Schicht eines verformbaren Lackes und auf den mindestens einschichtigen, verformbaren Lack die strukturierte erste Elektrode aufgebracht und die strukturierte erste Elektrode in den verformbaren Lack eingedrückt werden, so dass die strukturierte erste Elektrode und die die Füllung bildende mindestens eine Schicht des Lackes die gemeinsame ebene Oberfläche bilden.
  • Die strukturierte erste Elektrode kann hierbei aus mindestens einem Metall oder aus mindestens einer Metalllegierung bestehen. Desgleichen ist es möglich, dass die strukturierte erste Elektrode aus unterschiedlichen Metallen oder Metalllegierungen besteht.
  • Bei der Durchführung des erfindungsgemässen Verfahrens der o. g. Art kann als Träger ein mindestens einschichtiger Träger verwendet werden. Zweckmässig kann es sein, wenn ein mehrschichtiger Träger verwendet wird, dessen Schichten jeweils aus dem gleichen Material oder aus unterschiedlichen Materialien bestehen.
  • Als verformbarer Lack kann bei dem erfindungsgemässen Verfahren ein Replizierlack oder ein strahlungshärtbarer Lack verwendet werden. Bei dem zuletzt genannten Lack kann es sich beispielsweise um einen UV-härtbaren Lack oder um ein UV-härtbares Lacksystem handeln.
  • Das Eindrücken der strukturierten ersten Elektrode in den die Füllung bildenden Lack, d. h. die Egalisierung von strukturierter erster Elektrode und verformbarem Lack, kann durch eine Walze oder durch einen Stempel erfolgen. Das Eindrücken der strukturierten ersten Elektrode in den die Füllung bildenden Lack kann in einem Rolle-zu-Rolle-Prozess oder blattweise erfolgen. Unabhängig von dem jeweiligen Egalisierungs-Verfahren erfolgt nach dem Eindrücken der strukturierten ersten Elektrode in den die Füllung bildenden Lack – wie bereits erwähnt worden ist – eine Aushärtung des Lacks.
  • Zweckmässig kann es sein, wenn als verformbarer Lack ein Licht konvertierendes Material oder Materialgemisch verwendet wird, welches das einfallende Licht in mindestens einen Wellenbereich konvertiert, in welchem die Effizienz der Solarzelle am grössten ist. Dabei kann das Licht konvertierende Material oder Materialgemisch die Solarzelle grossflächig bedecken oder nur an bestimmten Bereichen vorgesehen werden, um eine entsprechende Materialersparnis zu verwirklichen, ohne die Effektivität der Solarzelle zu beeinträchtigen.
  • Der verformbare Lack kann bei dem erfindungsgemässen Verfahren auf den Träger aufgedruckt, aufgesprüht oder aufgestrichen werden. Dabei kann beispielsweise ein Tiefdruck-Verfahren, ein Siebdruck-Verfahren, eine Düsenbeschichtung od. dgl. zur Anwendung gelangen.
  • Erfindungsgemäss kann der verformbare Lack auf den Träger also grossflächig oder partiell aufgebracht werden, wie bereits erwähnt worden ist.
  • Die strukturierte erste Elektrode kann auf den verformbaren Lack beispielsweise aufgedampft, aufgesputtert, aufgedruckt, aufgeprägt oder auflaminiert werden. Die Strukturierung der ersten Elektrode kann z. B. durch einen Maskenprozess oder durch einen Ätzprozess erfolgen.
  • Zweckmässig kann es sein, wenn die Verfahrensschritte des Aufbringens der strukturierten ersten Elektrode auf den verformbaren Lack und des Egalisierens der strukturierten ersten Elektrode und des verformbaren Lacks mehrmals wiederholt durchgeführt werden, um auf diese Weise eine mehrlagige Solarzelle zu verwirklichen.
  • Als verformbarer Lack kann ein transparenter Lack verwendet werden. Es ist jedoch auch möglich, dass ein nicht transparenter Lack verwendet wird. Als Träger kann ein transparenter Träger verwendet werden. Erfolgt der Einsatz einer Metallelektrode in der Art und Weise, dass durch sie hindurch kein Lichteinfall erfolgen soll, so kann auch vorgesehen sein, dass als Träger ein nicht transparenter Träger verwendet wird.
  • Kommt als Träger ein transparenter Träger zur Anwendung, so kann es vorteilhaft sein, wenn ein Träger mit einem Licht konvertierenden Material oder Materialgemisch verwendet wird, welches das einfallende Licht in mindestens einen Wellenlängenbereich konvertiert, in welchem die Effizienz der Solarzelle am grössten ist.
  • Als Träger kann bei dem erfindungsgemässen Verfahren ein flexibler Träger zur Anwendung gelangen. Desgleichen ist es möglich, als Träger einen nicht flexiblen Träger zu verwenden.
  • Erfindungsgemäss ist es auch möglich, auf einen Träger mindestens eine Schicht eines verformbaren Lacks aufzubringen, den verformbaren Lack anschliessend mit der Struktur der ersten Elektrode entsprechenden Vertiefungen auszubilden, und die Vertiefungen anschliessend mit der strukturierten ersten Elektrode registergenau derart zu füllen, dass die gewünschte Egalisierung von strukturierter erster Elektrode und verformbarem Lack verwirklicht wird.
  • Dabei kann die strukturierte erste Elektrode aus mindestens einem Metall oder einer Metalllegierung bestehen. D. h. die strukturierte erste Elektrode kann beispielsweise auch aus unterschiedlichen Metallen oder Metalllegierungen bestehen.
  • Auch bei diesem Verfahren kann als Träger ein mindestens einschichtiger Träger bzw. ein mehrschichtiger Träger verwendet werden, dessen Schichten aus dem gleichen Material oder aus unterschiedlichen Materialien bestehen. Als verformbarer Lack kann ein Replizierlack oder ein strahlungshärtbarer Lack verwendet werden.
  • Das Eindrücken der strukturierten Vertiefungen in den verformbaren Lack kann mit Hilfe einer Walze oder mit Hilfe eines Stempels erfolgen, d. h. das Eindrücken der strukturierten Vertiefungen in den verformbaren Lack kann beispielsweise in eine Rolle-zu-Rolle-Prozess oder blattweise erfolgen.
  • Nach dem Eindrücken der strukturierten Vertiefungen in den verformbaren Lack erfolgt vorzugsweise eine Aushärtung des Lackes.
  • Zweckmässig kann es bei Durchführung dieses Verfahrens sein, wenn als verformbarer Lack ein Licht konvertierendes Material oder Materialgemisch verwendet wird, welches das einfallende Licht in mindestens einen Wellenlängenbereich konvertiert, in welchem die Effizienz der Solarzelle am grössten ist. Dabei kann das Licht konvertierende Material oder Materialgemisch nur an bestimmten Bereichen vorgesehen sein, um eine entsprechende Materialersparnis zu bewirken, ohne die Effizienz der Solarzelle zu beeinträchtigen.
  • Der verformbare Lack kann auf den Träger beispielsweise aufgedruckt, aufgesprüht oder aufgestrichen werden. Das ist grossflächig oder partiell möglich.
  • Die erste Elektrode kann auf den mit den strukturierten Vertiefungen versehenen Lack z. B. aufgedampft, aufgesputtert, aufgedruckt oder auflaminiert werden. Dabei kann die Strukturierung der ersten Elektrode, der Struktur der Vertiefungen entsprechend, durch einen Maskenprozess oder durch einen Ätzprozess erfolgen.
  • Die Verfahrensschritte des Strukturierens der Vertiefungen und des anschliessenden Einbringens der strukturierten ersten Elektrode in die Vertiefungen des strukturierten verformten Lackes kann mehrmals wiederholt durchgeführt werden, um eine mehrschichtige Solarzelle zu verwirklichen.
  • Als Lack kann auch bei diesem Verfahren ein transparenter Lack oder ein nicht transparenter Lack verwendet werden. Als Träger kann ein transparenter Träger oder ein nicht transparenter Träger verwendet werden. Bei dem Träger kann es sich um einen flexiblen oder um einen nicht flexiblen Träger handeln.
  • Kommt als Träger ein transparenter Träger zur Anwendung, so kann es vorteilhaft sein, wenn er aus einem Licht konvertierenden Material oder Materialgemisch besteht, welches das einfallende Licht in mindestens einen Längenwellenbereich konvertiert, in welchem die Effizienz der Solarzelle am grössten ist.
  • Bei der Durchführung des erfindungsgemässen Verfahrens ist es des weiteren möglich, dass auf einem Träger die strukturierte erste Elektrode vorgesehen wird, dass anschliessend auf dem Träger ein Maskierlack vorgesehen wird, dass der Maskierlack anschliessend in den Zwischenräumen zwischen der strukturierten ersten Elektrode ausgehärtet wird, dass der die strukturierte erste Elektrode bedeckende, nicht ausgehärtete Maskierlack anschliessend von der strukturierten ersten Elektrode entfernt wird, und dass danach auf der durch die strukturierte erste Elektrode und den ausgehärteten, an die erste Elektrode angrenzenden Maskierlack gebildeten glatten Oberfläche das Aktivschichten-Gebilde vorgesehen wird.
  • Als Maskierlack wird hier zweckmässigerweise ein Photolack verwendet. Als Maskierlack kann auch ein strahlungshärtender Lack verwendet werden.
  • Bei dem Verfahren der zuletzt genannten Art können die Verfahrensschritte des Aufbringens der strukturierten ersten Elektrode und des Maskierlacks, des Aushärtens des Maskierlacks in den Zwischenräumen der strukturierten ersten Elektrode und des Entfernens des nicht ausgehärteten Maskierlacks von der strukturierten ersten Elektrode mindestens einmal oder mehrfach wiederholt durchgeführt werden. Als Maskierlack wird zweckmässigerweise ein nicht transparenter Maskierlack verwendet.
  • Zweckmässig kann es sein, wenn als Maskierlack ein solcher verwendet wird, der ein Licht konvertierendes Material oder Materialgemisch enthält, welches das einfallende Licht in mindestens einem Wellenlängenbereich konvertiert, in welchem die Effizienz der erfindungsgemäss hergestellten Solarzelle am grössten ist.
  • Der Maskierlack kann z. B. durch Siebdrucken, Tiefdrucken, Düsenbeschichtung oder Streichen auf den Träger aufgebracht werden.
  • Auch bei diesem Verfahren kann die strukturierte erste Elektrode aus mindestens einem Metall oder mindestens einer Metalllegierung bestehen.
  • Zweckmässig kann es sein, wenn die strukturierte erste Elektrode aus unterschiedlichen Metallen oder Metalllegierungen besteht.
  • Als Träger kann auch bei diesem Verfahren ein mindestens einschichtiger oder ein mehrschichtiger Träger verwendet werden, dessen Schichten aus dem gleichen Material oder aus unterschiedlichen Materialien bestehen.
  • Das Licht konvertierende Material oder Materialgemisch des Maskierlacks kann ursprünglich grossflächig oder nur in bestimmten Bereichen vorgesehen werden.
  • Auch bei diesem Verfahren der zuletzt genannten Art kann die strukturierte erste Elektrode auf den Träger beispielsweise aufgedampft, aufgesputtert, aufgedruckt oder auflaminiert werden. Die Strukturierung der ersten Elektrode kann durch einen Maskenprozess oder durch einen Ätzprozess erfolgen.
  • Zweckmässig kann es sein, wenn die Verfahrensschritte des Aufbringens der strukturierten ersten Elektrode und des Maskierlacks auf den Träger mehrmals wiederholt durchgeführt werden, um eine mehrschichtige Solarzelle zu verwirklichen.
  • Als Maskierlack kann ein transparenter oder ein nicht transparenter Lack verwendet werden. Desgleichen ist es möglich, als Träger einen transparenten oder einen nicht transparenten Träger zu verwenden. Der Träger kann flexibel oder nicht flexibel sein.
  • Zweckmässig kann es sein, wenn ein transparenter Träger mit einem Licht konvertierenden Material oder Materialgemisch verwendet wird, welches das einfallende Licht in mindestens einen Wellenlängenbereich konvertiert, in welchem die Effizienz der Solarzelle am grössten ist.
  • Das erfindungsgemässe Verfahren eignet sich in vorteilhafter Weise zur Herstellung effizienter Solarzellen auf Polymerbasis.
  • Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen des erfindungsgemässen Verfahrens zur Herstellung einer Solarzelle auf Polymerbasis bzw. der wesentlichen aufeinanderfolgenden Verfahrensschritte des Verfahrens.
  • Es zeigen:
  • 1 perspektivisch einen Abschnitt eines Trägers mit einer strukturierten ersten Elektrode sowie eine stark vergrösserte Darstellung eines Details des Trägers und der strukturierten ersten Elektrode,
  • 2A bis F eine erste Variante des erfindungsgemässen Verfahrens zur Herstellung einer Solarzelle auf Polymerbasis,
  • 3A bis F eine zweite Variante des erfindungsgemässen Verfahrens zur Herstellung einer Solarzelle auf Polymerbasis,
    und
  • 4A bis F eine dritte Verfahrens-Variante des erfindungsgemässen Verfahrens zur Herstellung einer Solarzelle auf Polymerbasis.
  • 1 veranschaulicht abschnittweise in einer perspektivischen Ansicht einen Träger 10 für eine Solarzelle auf Polymerbasis. Der Träger 10 ist mit einer ersten Elektrode 12 versehen, die beispielsweise gitterartig strukturiert ist, so dass zwischen den Flächenbereichen 14 der strukturierten ersten Elektrode 12 Freiflächenbereiche 16 verbleiben.
  • Es liegen also durch die strukturierten Flächenbereiche 14 bestimmte Erhebungen und durch die Freiflächenbereiche 16 bestimmte Vertiefungen vor, so dass sich eine unebene Oberfläche ergibt.
  • Für die Funktion und Effektivität einer Solarzelle ist jedoch eine homogene und gleichmässige Beschichtung des Gebildes aus dem Träger 10 und der strukturierten ersten Elektrode 12 mit einem Aktivschichten-Gebilde erforderlich, da die Funktion und Effektivität einer Solarzelle durch Schichtdicken-Schwankungen innerhalb der Solarzelle beeinflusst wird.
  • Durch die strukturierte erste Elektrode 12 am Träger 10 sind zwei Probleme oftmals nicht vermeidbar, welche die Applikation des nachfolgenden dünnen Aktivschichten-Gebildes erschweren, nämlich die Rauhigkeit, die durch das Gitter selbst gebildet wird, und die Rauhigkeiten, die an den Randkanten der strukturierten ersten Elektrode 12 beispielsweise durch einen Ätzprozess entstehen. Die zuerst genannte Rauhigkeit durch die Struktur der ersten Elektrode 12 ist in dem vergrösserten Detail der 1 mit der Bezugsziffer 18 bezeichnet. Die Rauhigkeiten, die an den Randkanten der strukturierten Elektrode 12 gebildet werden, sind in dem vergrösserten Detail der 1 mit der Bezugsziffer 20 bezeichnet.
  • Um das Aktivschichten-Gebilde auf eine ebene Oberfläche aufbringen zu können und eine homogene, gleichmässige Aktivschicht zu verwirklichen, werden nachfolgend in Verbindung mit den 2, 3 und 4 erfindungsgemässe Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle auf Polymerbasis beschrieben.
  • 2A verdeutlicht abschnittweise einen Träger 10. Der Verfahrensschritt 2B verdeutlicht das Aufbringen eines verformbaren Lacks 22 auf den Träger 10. Anschliessend wird auf den mindestens einschichtigen verformbaren Lack 22 eine strukturierte erste Elektrode 12 aufgebracht. Das ist in 2C verdeutlicht. Anschliessend wird die strukturierte erste Elektrode 12 in den verformbaren Lack 22 eingedrückt. Das ist in 2D schematisch verdeutlicht. Zum Eindrücken der strukturierten ersten Elektrode 12 in den verformbaren Lack 22 kommt beispielsweise eine Walze 24 zum Einsatz, die sich mit einer bestimmten Geschwindigkeit v relativ zu dem Gebilde aus Träger 10, verformbarem Lack 22 und strukturierter erster Elektrode 12 bewegt. Die Walze 24 drückt mit einer bestimmten Druckkraft P gegen das besagte Gebilde, um eine Egalisierung 26 von strukturierter erster Elektrode 12 und verformbarem Lack 22 zu verwirklichen. Die Walze 24 kann auf eine bestimmte Temperatur erwärmt werden.
  • Nach dieser Egalisierung 26 wird auf der von der strukturierten ersten Elektrode 12 und dem verformbaren Lack 22 bestimmten glatten Oberfläche 28 ein Aktivschichten-Gebilde 30 vorgesehen. Das ist in 2E verdeutlicht. In den durch die 2F schematisch und abgeschnitten gezeichneten Verfahrensschritt wird auf dem Aktivschichten-Gebilde 30 eine zweite Elektrode 32 vorgesehen.
  • Die 3A bis 3F verdeutlichen eine zweite Variante des erfindungsgemässen Verfahrens zur Herstellung einer Solarzelle auf Polymerbasis. Mit der Bezugsziffer 10 ist auch in diesen Zeichnungsfiguren der Träger bezeichnet, auf welchem gemäss 3B ein verformbarer Lack 22 aufgebracht wird. Der verformbare Lack 22 wird anschliessend mit Vertiefungen 34 ausgebildet, die der Struktur einer strukturierten ersten Elektrode entsprechen. Das ist in 3C verdeutlicht. Die 3D zeigt den anschliessenden Verfahrensschritt, bei welchem die Vertiefungen 34 dann registergenau mit der strukturierten ersten Elektrode 12 ebenflächig gefüllt werden, so dass sich eine glatte Oberfläche 28 ergibt. In dem in 3E verdeutlichten anschliessenden Verfahrensschritt wird auf der durch den verformbaren Lack 22 und die strukturierte erste Elektrode 12 bestimmten glatten Oberfläche 28 ein Aktivschichten-Gebilde 30 vorgesehen. Anschliessend wird auf dem Aktivschichten-Gebilde 30 ein zweite Elektrode 32 vorgesehen. Das ist in 3F abschnittweise verdeutlicht.
  • Die 4A bis 4F zeigen schematisch abschnittweise die Verfahrensschritte einer dritten Verfahrens-Variante zur Herstellung einer Solarzelle auf Polymerbasis. 4A verdeutlicht abschnittweise einen Träger 10, auf dem eine strukturierte erste Elektrode 12 vorgesehen wird. Anschliessend wird auf dem mit der strukturierten Elektrode 12 versehenen Träger 10 ein Maskierlack 36 vorgesehen. Der Maskierlack 36 wird in den Zwischenräumen 38 zwischen der strukturierten ersten Elektrode 12 ausgehärtet. Das ist in 4C schematisch verdeutlicht, indem beispielsweise der transparente Träger 10 von der richtigen Seite her bestrahlt wird. Diese Bestrahlung ist durch die Pfeile 40 angedeutet. Anschliessend wird der die strukturierte erste Elektrode 12 bedeckende, nicht ausgehärtete Maskierlack entfernt. Das ist in 4D schematisch verdeutlicht. Es ergibt sich somit durch den ausgehärteten Maskierlack 36 und die strukturierte erste Elektrode 12 eine glatte Oberfläche 28, auf der in dem durch die 4E verdeutlichten anschliessenden Verfahrensschritt ein Aktivschichten-Gebilde 30 vorgesehen wird. 4F verdeutlicht den anschliessenden Verfahrenschritt, bei welchem auf dem Aktivschichten-Gebilde 30 eine zweite Elektrode 32 vorgesehen wird.
  • Gleiche Einzelheiten sind in den 1 bis 4 jeweils mit denselben Bezugszeichen beziffert, so dass es sich erübrigt, in Verbindung mit allen Figuren alle Einzelheiten jeweils detailliert zu beschreiben.
  • 10
    Träger
    12
    erste Elektrode (an 10)
    14
    strukturierter Flächenbereich (von 12)
    16
    Freiflächenbereiche (neben 14)
    18
    Pfeil/Rauhigkeit (von 12)
    20
    Pfeil/Rauhigkeit (von 12)
    22
    verformbarer Lack (an 10)
    24
    Walze
    26
    Egalisierung (von 12 und 22 bzw. 36)
    28
    ebene Oberfläche (für 30)
    30
    Aktivschichten-Gebilde
    32
    zweite Elektrode (an 30)
    34
    Vertiefungen (in 22 für 12)
    36
    Maskierlack
    38
    Zwischenräume (zwischen 14)
    40
    Pfeile/Bestrahlung (von 36 bei 38)

Claims (48)

  1. Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle auf Polymerbasis mit folgenden Schritten: Bereitstellen einer strukturierten, Freiflächenbereiche (16) in Form von Öffnungen aufweisenden ersten Elektrode (12); Füllen der Freiflächenbereiche (16) der strukturierten ersten Elektrode (12) mit einer Füllen aus Lack (22) derart, dass die erste Elektrode (12) und die Füllung eine durchgehende gemeinsame ebene Oberfläche (28) bilden; Ausbilden eines durchgehenden Aktivschichten-Gebildes (30) auf der ebenen Oberfläche (28), und Ausbilden einer zweiten Elektrode (32) auf dem Aktivschichten-Gebilde (30).
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass auf einem Träger (10) mindestens eine Schicht eines verformbaren Lacks (22) und auf dem mindestens einschichtigen, verformbaren Lack (22) die strukturierte erste Elektrode (12) gebildet wird, und dass die strukturierte erste Elektrode (12) in den verformbaren Lack (22) eingedrückt wird, wobei der verformbare Lack (22) die Füllung ausbildet, so dass die strukturierte erste Elektrode (12) und die die Füllung bildende mindestens eine Schicht des verformbaren Lacks (22) die gemeinsame ebene Oberfläche (28) bilden.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Eindrücken der strukturierten ersten Elektrode (12) in den die Füllung bildenden verformbaren Lack (22) durch eine Walze (24) oder durch einen Stempel erfolgt.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Eindrücken der strukturierten ersten Elektrode (12) in den die Füllung bildenden verformbaren Lack (22) in einem Rolle-zu-Rolle-Prozess oder blattweise erfolgt.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Eindrücken der strukturierten ersten Elektrode (12) in den die Füllung bildenden verformbaren Lack (22) eine Aushärtung des Lacks erfolgt.
  6. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 5 dadurch gekennzeichnet, dass die erste Elektrode (12) auf den verformbaren Lack (22) aufgedampft, aufgesputtert, aufgedruckt, aufgeprägt oder auflaminiert wird.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Strukturierung der ersten Elektrode (12) durch einen Maskenprozess oder durch einen Ätzprozess erfolgt.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Verfahrensschritte des Aufbringens der strukturierten ersten Elektrode (12) auf den verformbaren Lack (22) und des Egalisierens von strukturierter erster Elektrode (12) und verformbarem Lack (22) mehrmals wiederholt durchgeführt werden.
  9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass auf einen Träger (10) mindestens eine Schicht eines verformbaren Lacks (22) aufgebracht wird, dass der verformbare Lack (22) anschliessend mit der Struktur der ersten Elektrode (12) entsprechenden Vertiefungen (34) ausgebildet wird, und dass dann die Vertiefungen (34) mit der strukturierten ersten Elektrode (14) registergenau und egalisierend gefüllt werden.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass als verformbarer Lack (22) ein Replizierlack verwendet wird.
  11. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass als verformbarer Lack (22) ein strahlungshärtbarer Lack verwendet wird.
  12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Eindrücken der strukturierten Vertiefungen (34) in den verformbaren Lack (22) durch eine Walze oder durch einen Stempel erfolgt.
  13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet dass das Eindrücken der strukturierten Vertiefungen (34) in den verformbaren Lack (22) in einem Rolle-zu-Rolle-Prozess oder blattweise erfolgt.
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Eindrücken der strukturierten Vertiefungen (34) in den verformbaren Lack (22) der Lack ausgehärtet wird.
  15. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass als verformbarer Lack (22) ein Material oder ein Materialgemisch verwendet wird, welches einfallendes Licht in mindestens einen anderen Wellenlängenbereich konvertiert.
  16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Licht konvertierende Material oder Materialgemisch nur in bestimmten Bereichen ausgebildet wird.
  17. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass der verformbare Lack (22) auf den Träger (10) aufgedruckt, aufgesprüht oder aufgestrichen wird.
  18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass der verformbare Lack (22) auf den Träger (10) grossflächig oder partiell aufgebracht wird.
  19. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Elektrode (12) auf den mit strukturierten Vertiefungen (34) versehenen Lack (22) aufgedampft, aufgesputtert, aufgedruckt, aufgeprägt oder auflaminiert wird.
  20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Strukturierung der ersten Elektrode (12), der Struktur der Vertiefungen (34) entsprechend, durch einen Maskenprozess oder durch einen Ätzprozess erfolgt.
  21. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 20, dadurch gekennzeichnet dass die Verfahrensschritte des Ausbildens der strukturierten Vertiefungen (34) und des anschliessenden Einbringens der strukturierten ersten Elektrode (12) in die Vertiefungen (34) des Lackes (22) mehrmals wiederholt durchgeführt werden.
  22. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass als verformbarer Lack (22) ein transparenter Lack verwendet wird.
  23. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass als verformbarer Lack (22) ein nicht transparenter Lack verwendet wird.
  24. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass auf einem Träger (10) die strukturierte erste Elektrode (12) gebildet wird, dass anschliessend auf dem Träger (10) ein Maskierlack (36) aufgebracht wird, dass der Maskierlack (36) anschliessend in den Zwischenräumen (38) der strukturierten ersten Elektrode (12) ausgehärtet wird, dass der die strukturierte erste Elektrode (12) bedeckende, nicht ausgehärtete Maskierlack (36) anschliessend von der strukturierten ersten Elektrode (12) entfernt wird, und dass anschliessend auf der durch die strukturierte erste Elektrode (12) und den ausgehärteten, an die erste Elektrode (12) angrenzenden Maskierlack (36) gebildeten glatten Oberfläche (28) das Aktivschichten-Gebilde (30) gebildet wird.
  25. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass als Maskierlack (36) ein Photolack verwendet wird.
  26. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass als Maskierlack (36) ein strahlungshärtender Lack verwendet wird.
  27. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Verfahrensschritte des Aufbringens der strukturierten ersten Elektrode (12) und des Maskierlacks (36), das Aushärten des Maskierlacks (36) in den Zwischenräumen (38) der strukturierten ersten Elektrode (12) und des Entfernens des nicht ausgehärteten Maskierlacks (36) von der strukturierten ersten Elektrode (12) mindestens einmal durchgeführt werden.
  28. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass als Maskierlack (36) ein nicht transparenter Maskierlack verwendet wird.
  29. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass ein Maskierlack (36) verwendet wird, der ein Licht konvertierendes Material oder Materialgemisch enthält, welches das einfallende Licht in mindestens einen anderen Wellenlängenbereich konvertiert.
  30. Verfahren nach einem der Ansprüche 24 bis 29, dadurch gekennzeichnet, dass der Maskierlack (36) durch Siebdrucken, Tiefdrucken, Düsenbeschichtung oder Streichen auf den Träger (10) aufgebracht wird.
  31. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 30, dadurch gekennzeichnet, dass die strukturierte erste Elektrode (12) aus mindestens einem Metall oder aus mindestens einer Metalllegierung besteht.
  32. Verfahren nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, dass die strukturierte erste Elektrode (12) aus unterschiedlichen Metallen oder Metalllegierungen besteht.
  33. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 32, dadurch gekennzeichnet, dass als Träger (10) ein mindestens einschichtiger Träger verwendet wird.
  34. Verfahren nach Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet, dass ein mehrschichtiger Träger (10) verwendet wird, dessen Schichten aus dem gleichen Material bestehen.
  35. Verfahren nach Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet, dass ein mehrschichtiger Träger (10) verwendet wird, dessen Schichten aus unterschiedlichen Materialien bestehen.
  36. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass der Maskierlack (36) aus das Licht konvertierendem Material oder Materialgemisch nur in bestimmten Bereichen ausgebildet wird.
  37. Verfahren nach einem der Ansprüche 24 bis 36, dadurch gekennzeichnet, dass der Maskierlack (36) auf den Träger (10) grossflächig oder partiell aufgebracht wird.
  38. Verfahren nach einem der Ansprüche 24 bis 37, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Elektrode (12) auf den Träger (10) aufgedampft, aufgesputtert, aufgedruckt, aufgeprägt oder auflaminiert wird.
  39. Verfahren nach Anspruch 38, dadurch gekennzeichnet, dass die Strukturierung der ersten Elektrode (12) durch einen Maskenprozess oder durch einen Ätzprozess erfolgt.
  40. Verfahren nach einem der Ansprüche 24 bis 39, dadurch gekennzeichnet, dass die Verfahrensschritte des Aufbringens der strukturierten ersten Elektrode (12) und des Maskierlacks (36) auf den Träger (10) mehrmals durchgeführt werden.
  41. Verfahren nach einem der Ansprüche 24 bis 40, dadurch gekennzeichnet, dass als Maskierlack (36) ein transparenter Lack verwendet wird.
  42. Verfahren nach einem der Ansprüche 24 bis 40, dadurch gekennzeichnet, dass als Maskierlack (36) ein nicht transparenter Lack verwendet wird.
  43. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 42, dadurch gekennzeichnet, dass als Träger (10) ein transparenter Träger verwendet wird.
  44. Verfahren nach Anspruch 43, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (10) mit einem Licht konvertierenden Material oder Materialgemisch verwendet wird, welches das einfallende Licht in mindestens einen Wellenlängenbereich konvertiert.
  45. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 42 dadurch gekennzeichnet, dass als Träger (10) ein nicht transparenter Träger verwendet wird.
  46. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 45, dadurch gekennzeichnet, dass als Träger (10) ein flexibler Träger verwendet wird.
  47. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 45, dadurch gekennzeichnet, dass als Träger (10) ein nicht flexibler Träger verwendet wird.
  48. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 47, dadurch gekennzeichnet, dass als erste Elektrode (12) eine gitterartig strukturierte Elektrode bereitgestellt wird.
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