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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Trennmembran für hydraulische
Druckmittler sowie Geräte,
die solche Trennmembranen umfassen, insbesondere hydraulische Druckmittler
und Druckmessgeräte
mit solchen Druckmittlern.
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In
der Druckmesstechnik wird ein Mediendruck oft über so genannte Druckmittler
abgegriffen. Ein Druckmittler umfasst einen Druckmittlerkörper, der
eine Oberfläche
aufweist, an der eine Trennmembran unter Ausbildung einer Druckkammer
zwischen der Trennmembran und dem Druckmittlerkörper druckdicht befestigt ist.
Von der Druckkammer erstreckt sich ein hydraulischer Pfad über einen
Kanal durch den Druckmittlerkörper
zu einem Druckempfänger,
beispielsweise einer Druckmesszelle.
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Der
hydraulische Pfad ist mit einer Übertragungsflüssigkeit
gefüllt,
beispielsweise einem Silikonöl
oder einem perfluorierten Öl.
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Die
Trennmembranen der Druckmittler sind gewöhnlich aus Edelstahl gefertigt,
wobei für
Sonderanwendungen auch Membranen aus anderen Metallen oder Legierungen
zum Einsatz kommen, beispielsweise Tantal oder Hastelloy.
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In
chemischen Prozessen auftretender atomarer Wasserstoff kann jedoch
durch die Edelstahl-Trennmembranen diffundieren, was bei einer Anreicherung
von Wasserstoff in der Druckkammer zu verfälschten vom Druckmittler übertragenen Druckwerten
und sogar zum Ausfall des Druckmittlers führen kann.
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Es
ist bekannt, eine Goldschicht als Diffusionsbarriere vorzusehen,
um die Wasserstoffdiffusion durch die Trennmembran zu unterdrücken.
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Punktdefekte
in der Goldschicht, so genannte „Pinholes", verhindern einerseits einen vollständigen Schutz
und lassen andererseits lokale elektrochemische Elemente entstehen,
die dann zur Korrosion der Trennmembran führen.
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Die
japanische Offenlegungsschrift
JP 05-209800 A beschreibt deshalb einen Lösungsansatz,
um dieses Problem zu überwinden.
Auf der Trenmmembran wird zunächst
eine Diffusionsbarriere aus Gold aufgebracht, die dann mit einem
weniger edlen Metall, beispielsweise Titan, Wolfram, Chrom oder
Nickel beschichtet wird. Schließlich
folgt eine elektrisch isolierende Deckschicht, welche die Metallschichten
zur Vermeidung elektrochemischer Reaktionen vor dem Messmedium schützen soll.
Die elektrisch isolierende Deckschicht kann beispielsweise Al
2O
3, SiC, AlN, SiO
2, BN, ZrO
2, oder
Si
3N
4 umfassen.
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Die
beschriebene Trennmembran weist jedoch eine komplexe Schichtstruktur
auf, deren Herstellung eine Vielzahl von Prozessschritten mit möglichen
Fehlerquellen umfasst. Zudem kann nach einem Defekt in der isolierenden
Schicht doch wieder eine elektrochemische Zelle entstehen, welche
die Trennmembran zerstört.
Zudem wirken sich die vielen Schichten auf die mechanischen Eigenschaften der
Membran aus.
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Weiterhin
weist Wasserstoff in Gold zwar einen erheblich geringeren Diffusionskoeffizienten
Auf als in Stahl, aber es ist immer noch eine beachtliche Schichtstärke der
Goldschicht erforderlich, um eine effektive Barriere gegen Wasserstoffdiffusion
bereitzustellen. Hierdurch werden die mechanischen Eigenschaften
der Trennmembran weiter beeinträchtigt.
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Es
ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Trennmembran
und einen Druckmittler sowie ein Druckmessgerät mit einer solchen Trennmembran
bereitzustellen, wobei die Trennmembran nach einem einfacheren Verfahren
herstellbar ist und eine wirksame Diffusionssperre gegen Wasserstoff
aufweist, ohne die Flexibilität
der Trennmembran übermäßig zu beeinträchtigen.
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Die
Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch
die Trennmembran gemäß des unabhängigen Patentanspruchs
1, den Druckmittler gemäß des unabhängigen Patentanspruchs
8, und das Druckmessgerät
gemäß des unabhängigen Patentanspruchs 12.
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Die
erfindungsgemäße Trennmembran
zum Übertragen
eines Drucks umfasst
einen flexiblen Membrankörper, der
Edelstahl aufweist, und
eine keramische Deckschicht,
dadurch
gekennzeichnet, dass
die keramische Deckschicht, abgesehen
von einer eventuell vorzusehenden Haftvermittlerschicht direkt auf
dem Edelstahl des Membrankörpers
aufgebracht ist.
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Sofern
eine Haftvermittlerschicht überhaupt vorzusehen
ist, weist diese beispielsweise eine Schichtdicke von nicht mehr
als 4 nm, vorzugsweise nicht mehr als 2 nm und besonders bevorzugt
nicht mehr als 1 nm auf.
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Die
Haftvermittlerschicht wirkt allenfalls in vernachlässigbarem
Ausmaß als
Diffusionsbarriere für
Wasserstoff. D.h., dass die Diffusionsrate von Wasserstoff durch
den Edelstahlmembrankörper
mit der Haftvermittlerschicht nicht weniger als 50% der Diffusionsrate
von Wasserstoff durch den Edelstahlmembrankörper ohne die Haftvermittlerschicht
beträgt.
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In
einer derzeit bevorzugten Ausgestaltung ist keine Haftvermittlerschicht
vorgesehen.
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Die
Keramische Deckschicht weist insbesondere Al2O3 auf.
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Die
Deckschicht weist in einer derzeit bevorzugten Ausgestaltung eine
Schichtstärke
von nicht mehr als 1 μm,
vorzugsweise nicht mehr als 0,5 μm, weiter
bevorzugt nicht mehr als 0,25 μm
und besonders bevorzugt nicht mehr als etwa 0,2 μm auf.
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Die
Begrenzung der Schichtstärke
ist unter anderem dadurch gegeben, dass die mechanischen Eigenschaften
der Trennmembran weitgehend durch den Membrankörper definiert sein sollen.
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Im
Hinblick auf die angestrebte Wirksamkeit der Deckschicht als Diffusionsbarriere
weist diese eine Schichtstärke
von nicht weniger als 25 nm, weiter bevorzugt nicht weniger als
50 nm und besonders bevorzugt nicht weniger als 100 nm auf.
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Die
Präparation
der Deckschicht kann beispielsweise in einem Magnetron-Sputter-Verfahren erfolgen,
in dem als Quelle für
das Schichtmaterial ein Al2O3-Target
oder ein Al-Target gesputtert wird. Der Prozessdruck kann beispielsweise
zwischen etwa 5×10^–3 mbar
und 1×10^–2 mbar
legen, wobei der Sauerstoffanteil in der Prozessatmosphäre bei der
Verwendung eines Al2O3-Targets
beispielsweise etwa 10%, und bei der Verwendung eines Al-Targets beispielsweise
etwa 50% betragen kann.
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Die
Temperatur des Membrankörpers
kann während
des Beschichtungsprozesses erhöht
sein, sie kann beispielsweise etwa 250°C bis 600°C oder darüber betragen. Hierbei ist jedoch
die begrenzte Temperaturbeständigkeit
mancher Stähle
zu berücksichtigen.
Während
rein austenitische Stähle
einen Hochtemperaturprozess unbeschadet überstehen, können bei
Duplex-Stählen
bei zu hohen Temperaturen Gefügeverschiebungen
auftreten, die es zu vermeiden gilt.
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Vor
der Deposition der Deckschicht kann die Oberfläche des Edelstahlmembrankörpers durch Sputterätzen (z.B.
Bias-Sputtern mit Edelgas-Ionen, insbesondere Argon-Ionen) gereinigt
werden.
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Die
Wachstumsrate geht naturgemäß in die Qualität der Deckschicht
ein, da mit schnellerem Wachstum die Defekthäufigkeit zunehmen kann. Die Wachstumsrate
der Keramikschicht braucht aber nicht weniger als 0,2 nm/sec betragen.
Vorzugsweise beträgt
sie nicht weniger als 0,5 nm/sec und besonders bevorzugt nicht weniger
als 1 nm/sec.
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Andererseits
beträgt
die Wachstumsrate beispielsweise nicht mehr als etwa 16 nm/sec,
vorzugsweise nicht mehr als 8 nm/sec und weiter bevorzugt nicht
mehr als 4 nm/sec.
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In
einem derzeit bevorzugten Ausführungsbeispiel
beträgt
die Wachstumsrate etwa 1 bis 2 nm/sec.
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Um
die Qualität
der Deckschicht zu verbessern, kann während des Wachstums der Deckschicht bzw.
in Wachstumspausen Rücksputtern
(Bias-Sputtern)
erfolgen, wodurch in der Gesamtbilanz die Defektdichte in der Struktur
der Deckschicht vermindert werden kann.
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Der
Vorteil der erfindungsgemäßen Trennmembran
besteht darin, dass die keramische Deckschicht eine um mehrere Größenordnungen
bessere Diffusionsbarriere gegen Wasserstoff darstellt als das bisher
als Diffusionsbarriere eingesetzte Gold. Insofern kann die aufwändig zu
präparierende
Goldschicht eliminiert werden, ohne Einbußen hinsichtlich der Qualität der Diffusionsbarriere
zu erleiden. Gleichzeitig werden die negativen Einflüsse einer verhältnismäßig dicken
Goldschicht auf die Flexibilität
der Trennmembran vermieden.
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Die
Trennmembran kann, abgesehen von einer eventuell aufgeprägten Wellen-
bzw. Sickenstruktur, beispielsweise die Form einer Kreisscheibe
oder Ringscheibe aufweisen.
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Der
erfindungsgemäße Druckmittler
umfasst einen Druckmittlerkörper
mit einer Oberfläche,
die eine Öffnung
aufweist, in welcher ein hydraulischer Pfad mündet, der sich durch den Druckmittlerkörper erstreckt,
und eine erfindungsgemäße Trennmembran,
die an der Oberfläche
des Druckmittlerkörpers unter
Bildung einer Druckkammer zwischen der Trennmembran und dem Druckmittlerkörper mit
einer umlaufenden Fügestelle
druckdicht befestigt ist, wobei die Trennmembran die Öffnung überdeckt,
und die Deckschicht dem Druckmittlerkörper abgewandt ist. Die Druckkammer
und der hydraulische Pfad sind mit einer Übertragungsflüssigkeit
gefüllt,
beispielsweise einem Silikonöl
oder einem perfluorierten Öl.
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Die
Oberfläche
des Druckmittlerkörpers kann
in dem von der Trennmembran überdeckten Bereich
ein Membranbett aufweisen, an dem sich die Trennmembran abstützt, wenn
sie mit einem Überlastdruck
beaufschlagt wird.
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Die
Trennmembran kann eine Wellenstruktur aufweisen, die beispielsweise
durch Abprägen
der Trennmembran auf einer entsprechenden Struktur des Membranbetts
erzeugt werden kann.
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Die
Deckschicht kann zumindest abschnittsweise auch die Oberfläche des
Druckmittlerkörpers überdecken.
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Das
erfindungsgemäße Druckmessgerät umfasst
mindestens einen erfindungsgemäßen Druckmittler
und einen Drucksensor zum Wandeln eines an dem Drucksensor anstehenden
Drucks bzw. einer Differenz zwischen zwei an dem Drucksensor anstehenden
Drücken
in ein elektrisches Signal, wobei der Drucksensor über den
hydraulischen Pfad des mindestens einen Druckmittlers mit einem
an der Trennmembran anstehenden Druck beaufschlagbar ist.
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Die
Erfindung wird nun anhand eines in den Zeichnungen dargestellten
Ausführungsbeispiels
erläutert.
Es zeigt:
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1:
einen schematischen Längsschnitt durch
ein erfindungsgemäßes Druckmessgerät;
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2:
eine Detailansicht eines Längsschnitts
durch die erfindungsgemäße Trennmembran des
Druckmessgeräts
aus 1; und
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3:
einen Arrhenius-Plot der Diffusionskoeffizienten von Wasserstoff
in verschiedenen Werkstoffen.
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Das
in 1 dargestellte Relativdruckmessgerät 1 zum
Erfassen der Differenz zwischen einem Prozessdruck und dem Atmosphärendruck
in der Umgebung des Relativdruckmessgerätes umfasst einen zylindrischen
Druckmittlerkörper 2 mit
einer Messzellenkammer 4, die als Ausnehmung in einer ersten
Stirnfläche
des Druckmittlerkörpers
ausgebildet ist. In der Messzellenkammer 4 ist eine piezoresistive
Druckmesszelle 3 angeordnet, deren prozessabgewandte Rückseite über einen
Referenzluftpfad mit dem Atmosphärendruck
beaufschlagt wird, und die über
einen hydraulischen Pfad, der eine axiale Bohrung 5 durch
den Druckmittlerkörper 2 umfasst, mit
einer Druckkammer 6 kommuniziert, die an einer zweiten
Stirnfläche
des Druckmittlerkörpers 2 zwischen
dem Druckmittlerkörper
und einer Trennmembran 7 gebildet ist. Die Trennmembran 7 ist über eine umlaufende
Schweißnaht
mit dem Druckmittlerkörper 2 verbunden.
Die Trennmembran 7 weist eine Struktur konzentrischer Wellenringe
auf, um einen vergrößerten Volumenhub
der Trennmembran zu ermöglichen.
Das Wellenmuster wird durch Abprägen der
Trennmembran 7 auf einem Membranbett 8 an der
zweiten Stirnseite des Druckmittlerkörpers hergestellt.
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Der
in 1 mit „II" gekennzeichnete
Bereich ist in 2 vergrößert dargestellt. Die Trennmembran 7 umfasst
einen Membrankörper 9 aus
einem austenitischen Stahl mit einer Stärke in einem Bereich von etwa
25 μm bis
50 μm, beispielsweise
30 μm.
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Auf
dem Membrankörper 9 ist
eine Deckschicht 10 aus Al2O3 mit einer Stärke von etwa 0,15 μm in einem
Sputter-Prozess aufgebracht. Zur Verdeutlichung ist die Deckschicht 10 in
der 2 erheblich dicker dargestellt, als es dem tatsächlichen Schichtstärkenverhältnis entspricht.
Demnach beträgt
die Stärke
der Deckschicht 10 nämlich
nur etwa 0,5% der Stärke
des Membrankörpers 9.
Insoweit übt die
Deckschicht nur einen geringen Einfluss auf die mechanischen Eigenschaften
der Trennmembran aus. Der Einfluss ist jedenfalls wesentlich geringer als
derjenige von Goldschichten mit einer Stärke von einigen μm, die nach
dem Stand der Technik als Diffusionsbarrieren eingesetzt werden.
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Dass
die dünne
Deckschicht 10 als Diffusionsbarriere ausreichend ist,
ergibt sich aus 3, in der die Diffusionskoeffizienten
für Wasserstoff
in einigen Materialien dargestellt sind. Demnach ist die Sperrwirkung
einer Aluminiumoxidschicht bei Raumtemperatur um etwa 20 Größenordnungen
besser als jene einer gleich starken Goldschicht. Bei etwa 300°C beträgt das Verhältnis immerhin
noch mehr als 10 Größenordnungen.
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Damit
bietet ein Druckmessgerät
mit einer erfindungsgemäßen Trennmembran
für die
relevanten Temperaturbereiche einen effektiven Schutz gegen Wasserstoffdiffusion,
ohne die Nachteile der Diffusionsbarrieren nach dem Stand der Technik
in Kauf nehmen zu müssen.