DE102006051607B4 - Method and device for the standard application and mounting of electronic components on substrates - Google Patents
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Abstract
Verfahren
zum serienmäßigen Aufbringen
und Befestigen von Flipchips (5, 10), insbesondere RFID-Chips, auf
Substraten (3), insbesondere antennenaufweisenden Substraten,
mit
folgenden Schritten:
– Aufnehmen
mindestens eines der Flipchips (5, 10) aus einem Bauteilverbund
(4) mittels einer Aufnahmeeinrichtung (6–9);
– Übertragen des Flipchips (10)
von der Aufnahmeeinrichtung (6–9)
auf eine verschiebbare Transporteinrichtung (11–13);
– Auftragen eines Klebstoffes
(17) auf eine Unterseite des an der Transporteinrichtung (11–13) befestigten
Flipchip (10) mittels einer stationären Klebstoffauftrageeinrichtung (15,
16; 20, 21);
– Messen
einer Ausrichtung des Flipchips (10) in Relation zu der Ausrichtung
einer auf dem Substrat (3) angeordneten Ablegefläche (3a) zum Ablegen des Flipchips
(10) mittels einer Messeinrichtung (18, 19), und
– Ablegen
des Flipchips (10) auf der Ablegefläche (3a) des Substrates (3)
mittels der Transporteinrichtung (11–13),
dadurch gekennzeichnet,
dass
die stationäre
Klebstoffauftrageeinrichtung (15, 16) den zähviskos ausgebildeten Klebstoff
tropfenartig als einzelnen Klebstofftropfen (17) auf die Unterseite...Method for the standard application and mounting of flip chips (5, 10), in particular RFID chips, on substrates (3), in particular antenna-containing substrates,
with the following steps:
- Receiving at least one of the flip chips (5, 10) from a composite component (4) by means of a receiving device (6-9);
- Transferring the flip chip (10) from the receiving device (6-9) on a displaceable transport device (11-13);
- Applying an adhesive (17) on a bottom of the attached to the transport device (11-13) flip-chip (10) by means of a stationary adhesive application device (15, 16, 20, 21);
- Measuring an orientation of the flip chip (10) in relation to the orientation of a substrate (3) arranged on the laying surface (3a) for storing the flip-chip (10) by means of a measuring device (18, 19), and
- depositing the flip chip (10) on the laying surface (3a) of the substrate (3) by means of the transport device (11-13),
characterized in that
the stationary adhesive application device (15, 16) drops the viscous adhesive in drops as a single drop of adhesive (17) on the underside of the adhesive ...
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum serienmäßigen Aufbringen und Befestigen von elektronischen Bauteilen, insbesondere RFID-Chips, auf Substraten, insbesondere Antennen aufweisenden Substraten, gemäß den Oberbegriffen der Patentansprüche 1 und 5.The The invention relates to a method and a device for serial application and mounting electronic components, in particular RFID chips, on substrates, in particular antennas having substrates, according to the preambles of claims 1 and 5.
Elektronische Bauteile, insbesondere Flipchips, werden herkömmlicherweise zum Bestücken von Substraten, wie beispielsweise mit Antennen versehenen Substraten, verwendet, um daraus aus der Zusammenwirkung des Chips mit der Antenne die endgültige Chipkarte, bzw. das endgültige Smartlabel zu erhalten. Bei einem derartigen Bestückungsvorgang werden die Flipchips innerhalb einer Vorrichtung mit hohem Durchsatz aus einem Chipverbund, wie beispielsweise einem Wafer, mittels einer Flip-Chip-Aufnahmeeinrichtung einzeln herausgenommen und durch eine Drehung dieser Flip-Chip-Aufnahmeeinrichtung auf den Kopf gestellt, um an deren Rückseite eine weitere Aufnahmeeinrichtung, die zugleich als Transporteinrichtung dient, angreifen zu lassen. Das Aufnehmen der einzelnen Chips wird üblicherweise mittels Vakuum-Pipetten durchgeführt, die ein schonendes Festhalten der Chips an der Aufnahmeinrichtung, auch während des Transportes, erlauben.electronic Components, in particular flip chips, are conventionally used for equipping Substrates, such as antennas provided with substrates, used to derive from the interaction of the chip with the antenna final Chip card, or the final Get smart label. In such a loading process The flip chips are implemented within a high throughput device from a chip composite, such as a wafer, by means of a flip chip receptacle individually removed and by rotation of this flip-chip receiving device turned upside down to have another receptacle on its back, which also serves as a transport device to let attack. The recording of the individual chips is usually carried out by means of vacuum pipettes, the a gentle holding the chips on the receiving device, too while of transport, allow.
Bisher wird zur Bestückung des Substrates mit dem einzelnen Chip und zur Fixierung des Chips in dem Substrat, welches üblicherweise auf oder in einem Band, welches fortlaufend oder diskontinuierlich fortbewegt wird, ein Klebstoff ausschließlich im Bereich einer Able gefläche des Substrates, in welcher der Chip eingesetzt bzw. abgelegt werden soll, in einem ersten Prozessabschnitt innerhalb eines zumeist separat hierfür vorgesehenen Bearbeitungsmodules der Maschine aufgetragen. Anschließend wird innerhalb eines weiteren Bearbeitungsmodules der Maschine im Rahmen eines weiteren Prozessschrittes der einzusetzende Flipchip von dem Wafer aufgenommen und zu der Ablegefläche hin transportiert, um ihn dann auf der den Klebstoff aufweisenden Ablegefläche abzulegen, die häufig auch als Kavität innerhalb eines Kartenkörpers ausgebildet sein kann.So far will be equipped of the substrate with the single chip and for fixing the chip in the substrate, which is usually on or in a belt which is continuous or discontinuous is moved, an adhesive exclusively in the area of a Able gefläche of Substrates in which the chip are used or stored should, in a first process section within a mostly separate therefor provided processing modules of the machine applied. Subsequently, will within another processing module of the machine in the frame a further process step of the flip chip to be used by the Wafer picked and transported to the depositing surface to him then place on the adhesive bearing surface, which often as a cavity within a card body can be trained.
Bei der Auftragung des Klebstoffes auf die Ablegefläche bzw. Kavität des Substrates muss die Klebstoffautrageeinrichtung, die als sogenannter Shooter bezeichnet wird, oberhalb des die Substrate aufweisenden Bandes aufgehängt sein und in X- und Y-Richtung verfahrbar sein, um hierdurch mittels eines X- und Y-Schienensystems die einzelnen Kavitäten oder, allgemeiner ausgedrückt, die einzelnen Ablegeflächen anfahren zu können und gezielt einzelne Klebstofftropfen an bestimmten dafür vorgesehenen Punkten innerhalb der Ablegefläche anordnen zu können.at the application of the adhesive to the laying surface or cavity of the substrate must the Klebstoffautrageeinrichtung, as a so-called shooter is referred to, above the substrate having the band suspended be and be movable in the X and Y directions, thereby by means of of an X and Y rail system, the individual cavities or, more generally, the individual storage surfaces to be able to approach and targeted individual drops of adhesive at certain designated points within the storage area to be able to order.
Eine derartige Maschine mit zwei verschiedenen Prozessschritten erfordert die Abstimmung beider Prozessschritte aufeinander und somit die Abstimmung der für diese Prozessschritte zuständigen Bearbeitungsmodule untereinander, woraus sich eine zeit- und kostenaufwändige Steuerelektronikschaltung zum Steuern und Regeln der Bearbeitungsmodule auch im Zusammenhang mit weiteren Bearbeitungsmodulen der Maschine ergibt.A requires such machine with two different process steps the coordination of both process steps on each other and thus the Vote the for these process steps responsible processing modules among themselves, resulting in a time-consuming and costly control electronics circuit for controlling and regulating the editing modules also related with further processing modules of the machine results.
Zudem ist aufgrund des zwingend notwendigen X- und Y-Schienensystems ein erhöhter Platzbedarf hierfür innerhalb der Maschine vorzusehen, die eine vorbestimmte Gesamtbaugröße der Maschine vorgibt.moreover is due to the mandatory X and Y rail system one increased Space required for this provide within the machine, which dictates a predetermined overall size of the machine.
Beispielsweise
offenbart
Eine
Vorrichtung zum Aufbringen von pastenartigem Material auf elektronische
Bauteile mittels einer Ausstoßeinheit
ohne Berührung
und durch das Medium Luft, wobei das pastenartige Material Lotpaste,
Flussmittel oder Klebstoff sein kann, wird in
Der Artikel „Klebetechnik der dritten Dimension", Productronic, ISSN 0930-1100, 2001, No. 10, S. 92, 93 zeigt für Chips mit einer Dicke von 50 μm eine Kleberaufbringeinrichtung mit Sieb und Schablone und einen darunterliegenden Kleber, der mittels Rakel auf eine Grundplatte aufgetragen wird.Of the Article "Adhesive technology the third dimension ", Productronic, ISSN 0930-1100, 2001, no. 10, p. 92, 93 shows for chips with a thickness of 50 microns one Adhesive applicator with sieve and template and an underlying Adhesive which is applied to a base plate by means of a squeegee.
Ein
nach dem Tintendruckprinzip arbeitender Druckkopf zum Ausspritzen
eines heißen,
flüssigen Mediums
sowie ein Verfahren zur Herstellung einer metallisches Lot umfassenden
Verbindungsstelle, wodurch Lotdepots auf Bauelemente oder Substrate der
Mikroelektronik aufgebracht werden, ist in
Demzufolge liegt der folgenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum serienmäßigen Aufbringen und Befestigen von elektronischen Bauteilen auf Substraten zur Verfügung zu stellen, bei dem/der eine kostengünstige und zeitreduzierte Bestückung von Substraten und eine Reduzierung der Baugröße der Vorrichtung mit hohem Durchsatz möglich ist.As a result, The following invention is based on the object, a method and a device for serial application and attaching electronic components to substrates in which the / a cost-effective and time-reduced assembly of Substrates and a reduction in the size of the device with high Throughput possible is.
Diese Aufgabe wird vorrichtungsseitig durch die Merkmale des Patentanspruches 1 und verfahrensseitig durch die Merkmale des Patentanspruches 5 gelöst.These Task is device side by the features of claim 1 and method side by the features of claim 5 solved.
Ein wesentlicher Punkt der Erfindung liegt darin, dass bei einem Verfahren zum serienmäßigen Aufbringen und Befestigen von elektronischen Bauteilen, insbesondere Flipchips für den RFID-Bereich, auf Substraten, insbesondere Antennen aufweisenden Substraten folgende aufeinander folgende Schritte stattfinden:
- – Aufnehmen mindestens eines der elektronischen Bauteile aus einem Bauteilverbund mittels einer Aufnahmeeinrichtung;
- – Übertragen des elektronischen Bauteils von der Aufnahmeeinrichtung auf eine verschiebbare Transporteinrichtung;
- – Auftragen eines Klebstoffes auf eine Unterseite des an der Transporteinrichtung befestigten Bauteils mittels einer stationären Klebstoffauftrageeinrichtung;
- – Messen einer Ausrichtung des Bauteils in Relation zu der Ausrichtung einer auf dem Substrat angeordneten Ablegefläche zum Ablegen des Bauteils mittels einer Messeinrichtung, und
- – Ablegen des Bauteils auf der Ablegefläche des Substrates mittels der Transporteinrichtung, wobei die stationäre Klebstoffauftrageeinrichtung den zähviskos ausgebildeten Klebstoff tropfenartig als einzelnen Klebstofftropfen auf die Unterseite des Flipchip schießt und/oder die stationäre Klebstoffauftrageeinrichtung ein mit dem Klebstoff getränktes Stempelkissen beinhaltet.
- - Receiving at least one of the electronic components from a composite component by means of a receiving device;
- - Transferring the electronic component from the receiving device to a displaceable transport device;
- - Applying an adhesive to a bottom of the attached to the transport device component by means of a stationary adhesive applicator;
- Measuring an orientation of the component in relation to the alignment of a deposition surface arranged on the substrate for depositing the component by means of a measuring device, and
- - Laying of the component on the support surface of the substrate by means of the transport device, wherein the stationary adhesive applicator drops the viscous adhesive formed like a single drops of glue on the underside of the Flipchip and / or the stationary adhesive applicator includes a saturated with the adhesive ink pad.
Durch ein derartiges Verfahren werden der zuvor beschriebene erste und zweite Prozessschritt, die üblicherweise in getrennten Bearbeitungsmodulen innerhalb einer gemeinsamen Maschine stattfinden, vorteilhaft innerhalb eines Bearbeitungsmoduls zusammenfassbar. Dies hat zur Folge, dass sowohl Herstellungskosten als auch Bearbeitungskosten eingespart werden können, da aufwendige Steuerelektronikschaltungen zur gegenseitigen Abstimmung der beiden Bearbeitungsmodule und ein X-Y-Schienensystem für das Verfahren der Klebstoffauftrageeinrichtung entfallen.By Such a method will be the first and described above second process step, usually in separate processing modules within a common machine take place, advantageously summarized within a processing module. This has the consequence that both manufacturing costs and processing costs saved can be because complex control electronics circuits for mutual coordination of both machining modules and an X-Y rail system for the process the adhesive applicator omitted.
Aufgrund eines derartigen Zusammenlegens der beiden Prozessschritte wird zudem die Baugröße der Maschine verringert, da das X- und Y-Schienensystem für das Verfahren des Shooters, welcher üblicherweise oberhalb eines Substratbandes angeordnet ist, eingespart werden kann.by virtue of such merging of the two process steps becomes also the size of the machine reduced because the X and Y track system for the shooter, which usually is arranged above a substrate strip, can be saved can.
Durch die hintereinander stattfindende Abfolge der Schritte des Aufnehmens und Übertragens des elektronischen Bauteils, welches als Flipchip ausgebildet sein kann, des Auftragens des Klebstoffes, des Messens einer Ausrichtung des Bauteils und des Ablegens des Bauteils auf der Ablagefläche kann eine gemeinsame Transporteinrichtung zum Transport des Bauteils von Station zu Station verwendet werden, wodurch sich eine Vereinfachung des gesamten Bearbeitungmodules ergibt.By the consecutive sequence of recording steps and transferring the electronic component, which may be designed as a flip chip, applying the adhesive, measuring an alignment of the Component and the placement of the component on the shelf can a common transport device for transporting the component of station be used to station, resulting in a simplification of total machining module results.
Die Transporteinrichtung ist vorteilhaft mit einer oberseitig angebrachten Transportschiene ausgestattet, entlang welcher eine daran angeordnete vakuumbeaufschlagte Pipette verschoben werden kann. Die vakuumbeaufschlagte Pipette weist unterseitig eine oder mehrere Öffnungen auf, um ein innerhalb der Pipette vorhandenes Vakuum auf eine Seite des Chips zum Festhalten desjenigen wirken zu lassen.The Transport device is advantageous with a top-mounted Transport rail equipped, along which arranged thereon a vacuum-loaded Pipette can be moved. The vacuum-charged pipette has one or more openings on the underside to an inside the pipette existing vacuum on one side of the chip to hold to let that work.
Die andere Seite, nämlich die Unterseite des Chips, wird in einer der Stationen, nämlich der Klebstoffauftragestation, erfindungsgemäß mit dem Klebstoff tropfenartig durch einen Klebstoff-Shooter beschossen. Dieser Shooter ist von unten nach oben ausgerichtet und schießt den zähen, viskoseartigen Klebstofftropfen in Richtung Unterseite des Chips. Ein sich anschließender Transport des Chips zu der Ablegefläche des Substrates bewirkt kein Sichloslösen des Klebstoffes von der Unterseite des Chips, da der Klebstoff viskos ausgebildet ist.The other side, namely the bottom of the chip, is in one of the stations, namely the Adhesive application station, according to the invention with the adhesive dropwise shot at by an adhesive shooter. This shooter is from Aligned bottom up and shoots the tough, viscous glue drop towards the bottom of the chip. A subsequent transport of the chip to the laying surface the substrate causes no Sichloslösung of the adhesive of the Bottom of the chip, because the adhesive is viscous.
Durch eine derartige unterseitige Auftragung des Klebstoffes auf dem Bauteil erübrigt sich somit die Auftragung des Klebstoffes in den Ablegeflächen der Substrate und somit der zusätzliche Schritt der Behandlung der einzelnen Substrate mit Klebstoff. Vielmehr kann im Rahmen eines fortlaufenden Prozesses die Klebstoffauftragung in den Transportprozess des Chips bzw. des elektronischen Bauteiles integriert werden, wodurch sich zudem eine Zeitersparnis bei der Herstellung von Smart-Labels und Chipkarten und ein höherer Durchsatz der gesamten Vorrichtung zur Herstellung derjenigen ergibt.Such an underside application of the adhesive on the component thus eliminates the application of the adhesive in the depositing surfaces of the substrates and thus the additional step of treating the individual substrates with adhesive. Rather, in the context of a continuous process, the adhesive application in the transport process of the chip or the electronic component in In addition, which results in a time savings in the production of smart labels and smart cards and a higher throughput of the entire apparatus for producing those results.
Erfindungsgemäß ist die Klebstoffauftrageeinrichtung derart ausgebildet, dass sie mit einem nach oben hin geöffneten Behälter mit darin angeordnetem Klebstoff ausgestattet ist, in welchen man die Unterseite des Bauteils kurzzeitig eintauchen kann.According to the invention Adhesive applicator designed such that it with a nach open at the top container equipped with adhesive arranged therein, in which one the bottom of the component can dip for a short time.
Vorzugsweise ist zusätzlich in dem Behälter ein Stempelkissen, welches mit dem Klebstoff getränkt ist, angeordnet, sodass eine begrenzte und dosierte Menge an Klebstoff durch kurzzeitiges Aufdrücken der Unterseite des Bauteiles auf das Stempelkissen abgegeben wird. Ein derartiges Stempelkissen weist zudem den Vorteil auf, dass der Klebstoff zugleich auf der gesamten Fläche der Unterseite des Bauteils gleichmäßig verteilt ist.Preferably is additional in the container Ink pad, which is impregnated with the adhesive, arranged so that a limited and metered amount of adhesive due to short term press on the bottom of the component is discharged onto the ink pad. Such an ink pad also has the advantage that the Adhesive at the same time on the entire surface of the underside of the component equally distributed is.
Zwischen dem Schritt der Übertragung des elektronischen Bauteils und dem Schritt des Auftragens des Klebstoffes kann die Ausrichtung des Bauteiles bereits ein erstes Mal zusätzlich zu dem nach dem Schritt des Auftragens des Klebstoffes stattfindenden Vermessungsvorgang vermessen werden, diesmal in Relation zu der Ausrichtung der Klebstoffauftrageeinrichtung, um das elektronische Bauteil für die anschließende Klebstoffauftragung richtig auszurichten.Between the step of transfer of the electronic component and the step of applying the adhesive The alignment of the component may already be a first time in addition to the after the step of applying the adhesive takes place Vermessungsvorgang be measured, this time in relation to the Orientation of the adhesive applicator to the electronic Component for the subsequent Align adhesive application correctly.
Ein derartiger Vermessungsvorgang findet in beiden Fällen mittels eines optischen Messverfahrens unter Zuhilfenahme beispielsweise einer Kamera statt und kann mittels Bilddatenverarbeitung auf die Ablegefläche und/oder die Kelbstoffauftrageeinrichtung in ihrer Ausrichtung abgestimmt werden.One Such surveying takes place in both cases by means of an optical Measuring method with the aid of, for example, a camera instead and can by means of image data processing on the laying surface and / or the Kelbstoffauftrageeinrichtung tuned in their orientation become.
Die Aufnahmeeinrichtung zum Aufnehmen des Flipchips von dem Bauteileverbund, der als Waver ausgebildet sein kann, wird mit dem aufgenommenen daran mittels Vakuumbeaufschlagung haftenden Chip um eine horizontal ausgerichtete Achse um 180° gedreht, um das elektronische Bauteil im umgedrehten Zustand der Transporteinrichtung übergeben zu können. Die Transporteinrichtung übernimmt dann mittels Vakuumbeaufschlagung mithilfe der Vakuumpipette das elektronische Bauteil an dessen gegenüberliegenden Oberseite.The Receiving device for receiving the flip chip from the component assembly, which can be designed as a waver is recorded with the attached thereto by means of vacuum application chip around a horizontal aligned axis rotated by 180 °, passed to the electronic component in the inverted state of the transport device to be able to. The transport device takes over then by vacuum application using the vacuum pipette the electronic component on its opposite top.
Eine Vorrichtung zum serienmäßigen Aufbringen und Befestigen von elektronischen Bauteilen auf Substraten weist erfindungsgemäß die Aufnahemeeinrichtung, die Transporteinrichtung, die unterhalb der Transporteinrichtung angeordnete Klebstoffauftrageeinrichtung und eine, gegebenenfalls zwei, Messeinrichtungen aus, wobei beide Messeinrichtungen die Ausrichtung des Bauteils, welches an der Transporteinrichtung während des gesamten Verfahrens ab dem Zeitpunkt der Übergabe des Bauteils von der Aufnahmeeinrichtung zu der Transporteinrichtung haftet, misst. Die Vakuumpipette der Transporteinrichtung zum Ansaugen des Bauteils übt somit ein Vakuum auf das Bauteil, welches als Flipchip ausgebildet sein kann, während dessen Aufnahme von der Aufnahmeeinrichtung weg, dessen Transport, dessen Klebstoffauftragung und dessen Ablegen auf dem Substrat aus.A Device for standard application and attaching electronic components to substrates According to the invention, the recording device, the transport device below the transport device arranged adhesive application device and, optionally two, measuring devices out, with both measuring devices the orientation of the component which is attached to the transport device during the entire process from the date of delivery of the component of the Receiving device adheres to the transport device measures. The Vacuum pipette of the transport device for sucking the component thus exercises Vacuum on the component, which can be designed as a flip chip, while the recording of the receiving device away, its transport, the Applying adhesive and depositing it on the substrate.
Die Klebstoffautrageeinrichtung weist ein Ausstoßelement zum Schießen von mindestens einem Klebstofftropfen von unten nach oben auf die Unterseite des Bauteils auf.The Adhesive scraper has an ejection element for firing at least one drop of glue from bottom to top on the bottom of the component.
Alternativ oder zusätzlich kann die Klebstoffautrageeinrichtung mit einem mit dem Klebstoff getränkten Stempelkissen ausgestattet sein, um die Unterseite des Chips auf dessen Oberfläche zur Übertragung des Klebstoffes zu drücken.alternative or additionally For example, the adhesive applicator may be used with one with the adhesive soaked Ink pad be fitted to the bottom of the chip its surface for transmission to press the adhesive.
Weitere vorteilhafte Ausführungsformen ergeben sich aus den Unteransprüchen.Further advantageous embodiments emerge from the dependent claims.
Vorteile und Zweckmäßigkeiten sind der nachfolgenden Beschreibung in Verbindung mit der Zeichnung zu entnehmen. Hierbei zeigen:advantages and expediencies are the following description in conjunction with the drawings refer to. Hereby show:
In
Auf
einem Substratbandförderelement
Das
Substratband
Jedes
einzelne Substrat weist eine Ablegefläche
In
einem schematisch dargestellten Bauteilverbund
Während einer
der Chips
Anschließend findet
ein Transport der Vakuumpipette
In
der Klebstoffauftrageeinrichtung
Anschließend findet
in einer Messeinrichtung
In
Die
in
Die
Kelbstoffauftrageeinrichtung
Ein
derartiges Stempelkissen
Die
Messeinrichtung
Die
Messeinrichtung
Sämtliche in den Anmeldungsunterlagen offenbarten Merkmale werden als erfindungswesentlich beansprucht, sofern sie einzeln oder in Kombination gegenüber dem Stand der Technik neu sind.All Features disclosed in the application documents are considered to be essential to the invention as long as they are individually or in combination with respect to State of the art are new.
- 11
- SubstratbandtransportelementSubstrate tape transport element
- 22
- Substratbandsubstrate strip
- 33
- Substratsubstratum
- 3a3a
- Ablegeflächelaying surface
- 44
- Bauteilverbundcomponent composite
- 55
- Chipscrisps
- 6, 8, 96 8, 9
- Flipperpinball
- 77
- Schwenkachse des Flippersswivel axis the flipper
- 1010
- Chipchip
- 1111
- Vakuumpipettevacuum pipette
- 1212
- Transportschienetransport rail
- 1313
- Auslass der Vakuumpipetteoutlet the vacuum pipette
- 1414
- Transportrichtungtransport direction
- 15, 16, 20, 2115 16, 20, 21
- Klebstoffauftrageeinrichtungadhesive applicator
- 1717
- Klebstofftropfendrop of glue
- 18, 19, 22, 2318 19, 22, 23
- Messeinrichtungenmeasuring equipment
Claims (6)
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