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Die
Erfindung betrifft ein profiliertes einteiliges Bauelement aus Metall
zum Bilden einer ein unter Druck stehendes Fluid aufnehmenden oder
leitenden Umhüllung.
Die Erfindung betrifft einsbesondere ein Rohrteilstück wie zum
Beispiel eine Muffe einer Leitung zum Leiten des unter Druck stehenden
Fluids oder ein Gehäuseteil,
wie zum Beispiel einen Gehäusedeckel
oder ein Gehäusekörper eines
das unter Druck stehende Fluid aufnehmenden Gehäuses.
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Bei
sehr vielen technischen Anwendungen werden unter Druck stehende
Fluide eingesetzt, die in Umhüllungen
wie Gehäusen
oder Rohrleitungen druckdicht aufzunehmen sind. Beispiele sind Hydraulikanwendungen,
Motoren (Motorgehäuse
mit Zylinderkopf), Gasleitungen, Pipelines usw. Will man den Druck
des eingesetzten Fluids messen, so müssen Drucksensoren an der Umhüllung oder
dem Bauteil eingesetzt werden. Hierzu werden die Umhüllungen
oder Bauteile in der Regel mit Öffnungen
versehen, an denen die Drucksensoren montiert werden.
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Drucksensoren
werden im allgemeinen so aufgebaut, dass die Auslenkung einer mit
dem zu messenden druckbeaufschlagten Membran festgestellt und ausgewertet
wird.
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Um
ganz verschiedene Medien messen zu können, bestehen diese Membrane
in vielen Fällen
aus chemisch nicht reaktiven Materialien, insbesondere aus Edelstahl.
Das Material muss dazu geeignet sein, bei Druckbeaufschlagung eine
reproduzierbare Auslenkung zu liefern. Hierzu wird vielfach Federstahl
verwendet.
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Die
Membran schließt
im allgemeinen eine Seite einer Druckmesszelle ein, in der zu messendes
Medium enthalten ist. Der Aufbau dieser Druckmesszelle ist je nach
Anwendungs- und Einsatzzweck sehr unterschiedlich. Eine Schwierigkeit
beim dem Design besteht darin, die Wandungen der Druckmesszelle
einerseits dicht zu machen, andererseits mediumkompatibel zu halten,
so dass auch verschiedene aggressive Medien gemessen werden können. Andererseits
soll die Druckmesszelle kostengünstig
herstellbar sein.
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Man
hat bei Drucksensoren im Stand der Technik erhebliche Anstrengungen
erhoben, die Membran dichtend mit ihrem Trägermaterial zu verbinden. Hierzu
wurden bereits vielfach einstückige
Druckmesszellen vorgeschlagen, bei der die Membran einstückig mit
der Trägerwandung
ausgebildet ist. Diese Druckmesszellen sind dann beispielsweise
hutförmig
ausgebildet. Sie wurden bisher beispielsweise durch spanabhebende Verfahren
oder Erudierverfahren aus einem massiven Stück Metall, beispielsweise einem
Edelstahlblock herausgearbeitet. Diese Herstellverfahren liefern
Druckmesszellen oder dergleichen Verformungskörper mit befriedigenden bis
sehr guten Ergebnissen. Jedoch geben sie meist die äußere Form
der Druckmesszelle vor, oder die äußere Form muss in sehr aufwändigen Verfahren
an Kundenwünsche
angepasst werden.
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Metallische
Drucksensoren werden heutzutage vorzugsweise aus 17-4 PH (1.4548
oder 1.4542), einem martensitischen Federstahl hergestellt. Es finden
sich auch Legierungen wie zum Beispiel Inconel 718 oder der Stahl
1.4571. Allen bisher bekannten Drucksensoren gemeinsam ist ein komplizierter
und teuerer Drehprozess, sowie eine eingeschränkte Gestaltungsmöglichkeit.
Die Einschränkungen
der Gestaltungsmöglichkeiten
ergeben sich unter anderem dadurch, dass die typischen metallischen
Druckkapseln und Drucksensoren bestimmten Randbedingungen beim Einbau
genügen
müssen.
Es müssen
die auftretenden Kräfte,
wie beispielsweise Klemmkräfte
und Abstützkräfte beachtet
werden. Auch ist vielfach Bedingung, dass die Drucksensoren beim
Schweißen
auftretende Temperaturen aushalten müssen.
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Aus
der
WO 98/09145 A1 ist
ein Verfahren zum Herstellen von Drucksensoren sowie ein damit hergestellter
Drucksensor bekannt. Dabei werden eine Vielzahl von Verformungskörpern aus
Metall in Form von Hutmembranen auf einem Nutzen hergestellt. Der
gesamte Nutzen mit den noch verbundenen Hutmembranen kann in sogenannter
MIM-Technologie im Metall-Spritzgussverfahren
hergestellt werden. Für
alle diese Hutmembranen wird dann auf dem Nutzen eine resistive
Dünnschicht
zum Bilden von DMS eingebracht. Anschließend werden die so bereits
mit Strukturen zum Bilden des Drucksensors versehenen Hutmembranen
vereinzelt. Die Hutmembranen werden dann jeweils in einem Sensorgehäuse eingesetzt,
das wie bei üblichen
Drucksensoren an ein Gehäuse,
das ein Volumen mit zu messendem Fluid enthält angeschraubt werden kann.
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Der
Begriff MIM stammt aus dem Englischen „metal injection moulding” und lässt sich
etwa mit Metallpulver-Spritzguss beschreiben. Das Verfahren vereinigt
die Vorteile des auf der Herstellung von Kunststoffteilen bekannten
Plastikspritzgießens
mit dem Sintern von Metallpulvern.
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Plastikspritzgießen wird
bei der Herstellung komplex geformter Kunststoffteile verwendet.
In einer Spritgießmaschine
wird Plastikgranulat aufgeschmolzen und dann in flüssigem Zustand
unter Druck in eine Spritzform eingespritzt.
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Beim
Sintern von Metallpulver werden aus Metallpulvern verschiedenster
Legierungen Metallteile hergestellt. Das Metallpulver wird mit großer Kraft
in eine Form gepresst, wodurch ein aus Pulver aufgebautes Formteil
entsteht. Diese wird der Form entnommen und einer Wärmebehandlung
unterzogen, bei der die Metallpartikel durch die Fusionsprozesse
zu einem Ganzen zusammenwachsen (sintern).
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Bei
dem Metallspritzgussverfahren wird ein meist aus Kunststoff gebildeter
Binder und ein sehr feines Metallpulver zu einem spritzfähigen Ausgangsmaterial
vermischt, wobei der Metallpulvergehalt den weitaus überwiegenden
Gewichtsanteil ausmacht. Dieses fließfähige Material wird mit einer
Spritzgießmaschine, beispielsweise
einer konventionellen Plastikspritzgießmaschine wie Kunststoff zu
(Vor)-Formteilen verarbeitet. Aus diesen Vor-Formteilen oder „grünen” Formteilen
wird der Binderanteil, der die Formgebung erst ermöglicht hat,
herausgelöst,
ohne dass die Teile selbst ihre Form verlieren. In einem weiteren
Schritt werden die Teile gesintert und erhalten so metallische Eigenschaften.
Dabei schrumpft das Teil auf sein Endmaß mit entsprechend hoher Dichte.
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Diese
MIM-Technologie kann auch zum Herstellen von multifuntkionalen Metallen
verwendet werden. John L. Johnson et al. beschreiben in dem Aufsatz «Metall
Injection Molding of Multi-Functional Materials», Proceedings of the international
mechanical engineering congress and exposition – IMECE – SME, 15. November 2003, Seiten
1–6, XP002323484,
wie ein einstückiger
Halter für
einen Drehwinkelsensor als einstückiges Bauelement
bestehend aus magnetischen und nichtmagnetischen Legierungen in
MIM-Technik hergestellt werden kann.
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Um
die so hergestellten bekannten Drucksensoren zur Druckmessung einsetzen
zu können,
werden in der Regel die das Fluid einschließenden Umhüllungen (Rohrteile, Gehäuseteile,
Motorteile, Pipelines usw.) oder deren Bauteile oder Bauelemente
mit Öffnungen
versehen, an denen die Drucksensoren montiert werden. Hierzu müssen Dichtungen
eingesetzt werden, die oft, gerade in sicherheitsrelevanten Systemen
oder bei aggressiven Medien oder bei Hochdruckanwendungen problematisch
sind.
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Die
Erfindung hat sich zur Aufgabe gestellt, die Druckmessung an unter
Druck stehende Fluide aufnehmenden Umhüllungen sicherer und einfacher
zu machen. Insbesondere soll die Gefahr von Leckagen vermieden werden
und die Anzahl von Dichtungen verringert werden.
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Hierzu
wird das Bauelement mit den Merkmalen des Anspruchs 1 bzw. ein Verfahren
zum Versehen der Umhüllung
mit einem Drucksensor gemäß Anspruch
9 vorgeschlagen.
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Vorteilhafte
Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
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Erfindungsgemäß lässt sich
auch ein komplizierteres profiliertes Bauelement, wie es zum Bilden
von Umhüllungen
wie Gehäusen,
Motoren, Druckleitungen usw. benötigt
wird, dadurch mit einem durch ein zu messendes Medium zur Druckmessung
verformbaren metallenen Verformungskörper versehen, dass das gesamte
profilierte Bauelement aus Metall in MIM-Technik hergestellt wird,
wobei der Verformungskörper
gleich als integraler Bestandteil mit hergestellt wird. Durch die
MIM-Technik lassen sich auch komplizierte Profilierungen einfach
herstellen, so dass zum Beispiel Flansche und Ringflansche zur einfachen
Abdichtung mit den anderen Bauteilen der Umhüllung geschaffen werden können. Gleichzeitig
lässt sich
ein einstückiger
Wandbereich des Bauelements einfach auch als hochsensitiver Verformungskörper ausbilden,
der je nach Druck des Fluids ausgelenkt wird. Dadurch lässt sich
unmittelbar in die Wand der Umhüllung
ein Drucksensor ohne Nahtstellen oder Dichtungen integrieren.
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Dadurch
wird ein Bauelement mit integriertem Drucksensor mit metallenem
Verformungskörper
zur Verfügung
gestellt, bei dem zwischen Drucksensor und der das Fluid eingrenzenden
Wand keine Nahtstellen, Verbindungen oder Schweißstellen vorhanden sind, wobei
dennoch für
das Bauelement große
Gestaltungsmöglichkeiten
zur Verfügung
stehen.
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Das
Bauelement kann zum Beispiel der Zylinderkopfdeckel eines Hubkolbenmotors,
das Motorgehäuse
eines Motors, der Gehäusekörper oder
der Gehäusedeckel
einer Hydraulikeinheit oder vieles mehr sein. Das Bauelement kann
auch als Zwischenstück
für eine
Rohrleitung oder als ganzes Rohr ausgebildet sein. Mit der MIM-Technik
lassen sich einerseits notwendige Profilierungen zur Erfüllung von
Hauptfunktionen des Bauelements (z. B. Führen/Leiten/Abdichten von Fluid)
auch in komplizierter Form und auch in Sonderformen einfach herstellen;
andererseits kann ein Teilbereich als Verformungskörper ausgebildet
werden, der integral mit einer Membran oder dergleichen zur Erfassung
des Drucks ausgestattet ist.
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Auch
zur Herstellung des in das Bauelement einstückig integrierten Verformungskörpers, also
beispielsweise einer Membran oder einer gesamten Druckmesszelle,
wird das sogenannte MIM-Verfahren verwendet.
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Es
lassen sich hierdurch auch sehr komplexe Formen von Bauelementen
mit Verformungskörpern
herstellen. Die Bauelemente und der die Verformungskörper bildenden
Teilbereiche können
beispielsweise auch mit Hinterschneidungen, mit mehreren Membranbereichen
und mit ganz komplexen äußeren Formen,
die in Maschinen oder sonstige Vorrichtungen, an denen Druck zu
messen ist, individuell eingepasst werden können, verarbeitet werden.
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Mit
diesem Verfahren lassen sich auch Metallteile herstellen, die gegenüber aggressiven
Medien kompatibel sind. So lassen sich konventionelle aus rostfreiem
Federstahl gebildete Membrane durch ein im MIM-Verfahren hergestelltes
Formteil ersetzen. Trotz der ungewöhnlichen Herstellweise aus
Metallpulver sind die mechanischen Verformungseigenschaften des
so hergestellten Verformungskörpers
für den
Einsatz in Drucksensoren geeignet.
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Hierzu
lässt sich äußerst einfach
ein in einem Subkomponentenaufbau, nämlich dem hier beschriebenen
Bauelement zum Bilden der Fluidumhüllung integrierter Metall-Drucksensor
realisieren.
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Mit
dem erfindungsgemäßen Verfahren
können
nun die üblichen
gedrehten Druckkapseln oder Druckmesszellen völlig weggelassen werden. Die
Druckmesszelle kann integral in einem größeren Bauelement, das erfindungsgemäß hergestellt
ist, einstückig
damit hergestellt werden. Man lässt
beim Spritzprozess einfach einen der gewünschten Druckmesskammer entsprechenden
Raum frei.
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Zur
Verbesserung der Materialeigenschaften der Membran des an dem Bauelement
integrierten Verformungskörpers
kann der als Membran zu verwendende Bereich in dem Metallspritzgussverfahren
zunächst dicker
als später
erwünscht
hergestellt werden und dann gezielt ausgedünnt werden.
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Dies
erfolgt beispielsweise durch Abschleifen oder Erudieren oder sonstige
bekannten Metallabtragverfahren. Hierdurch lassen sich eventuelle
Oberflächendefekte
entfernen oder ausheilen, so dass eine Membran mit exakt definierbarem
Verformungsverhalten erhältlich
ist.
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In
bevorzugter Ausgestaltung wird das Bauelement derart hergestellt,
dass die Spritzdüse,
mit der das Material in die Form eingespritzt wird, etwa mittig
an einem späteren
Membranbereich angesetzt wird. Insbesondere, wenn dieser Membranbereich
rotationssymmetrisch zu der Mittelachse der Düse hergestellt wird, lässt sich
so eine gute Homogenität
erreichen.
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Der
Membranbereich ist beispielsweise durch eine dünnere Ringschicht und ein dickeres
Material im Zentrum und am Rand gekennzeichnet. Spritzt man hier
von der Oberseite (der dem Druckmessform abgewandten Seite) aus
dem Zentrum heraus, lässt
sich die Kreisringmembran sehr homogen herstellen. Die Unterseite,
d. h. die Druckmess-Seite lässt
sich vorzugsweise durch verschiedene Einsätze (z. B. Stempel) individuell
anpassen.
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Vorteile
des erfindungsgemäßen Verfahrens
liegen in einer überaus
hohen Flexibilität
und Anpassungsfähigkeit
sowie in der Gestaltungsfreiheit, mit der beliebige Formen und Körper herstellbar,
adaptierbar und integrierbar sind. In Bezug auf Drucksensoren ist
besonders vorteilhaft, dass Schnittstellen eingespart werden können.
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Man
kann mit erfindungsgemäßen Verfahren
das Bauelement mit integrierter Druckmesszelle ganz ohne Fügestellen,
Schweiß-
oder Lötstellen
oder mechanische Verbindungen mehrerer Teile herstellen.
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Konkrete
Ausführungsbeispiele
für Verformungskörper sind
zum Beispiel eine in einen Wandbereich des Bauelements integrierte
Hutmembran. Vorzugsweise ist das Bauelement oder auch nur der Wandbereich aus
Stahl 17-4 PH (ferritisch aufgrund des Herstellungsprozesses C-frei)
hergestellt. Wie mehrere unterschiedliche Materialien integriert
werden können,
ist in dem oben näher
bezeichneten Aufsatz von Johnson et al. näher beschrieben. Dadurch kann
der Verformungskörperbereich
auch mit anderen Materialeigenschaften als der Rest des Bauelements
hergestellt werden.
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Es
ist auch die Integration eines Multimembran-Elements in das Bauelement
möglich.
Auch ein Bauelement mit mehreren Membranbereichen kann in einem
Schritt hergestellt werden. In diesem Fall ist vorteilhaft, wenn
pro Membranbereich eine Spritzdüse,
vorzugsweise zentrisch zu dem Membranbereich, eingesetzt wird.
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Alternativ
könnten
Einzelteile mit je einem Membranbereich als „grüne” Formteile gespritzt werden
und dann zu einem Multimembran-Element zusammengesintert werden.
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Ein
Vorteil des erfindungsgemäß herstellbaren
Bauelements liegt weiter darin, dass auch komplizierterer, zum Beispiel
nicht rotationssymmetrische, Befestigungselemente (zum Beispiel
Flansche, Vorsprünge, auch
z. B. solche, die mit Gewinde versehen sind) sehr einfach zu realisieren
sind.
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Ausführungsbeispiele
der Erfindung werden nachfolgend anhand der beigefügten Zeichnung
näher erläutert. Darin
zeigt:
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1 eine
perspektivische schematische Darstellung eines Motors mit einem
Motor-Gehäusekörper als
erste Ausführungsform
für ein
in MIM-Technik gefertigtes
Bauelement zur Umhüllung
eines unter Druck stehenden Fluids mit einem in einen Wandbereich
des Gehäusekörpers integrierten
Drucksensor und einem Deckel in Form eines Zylinderkopfes als zweite
Ausführungsform
für ein
solches Bauelement mit mehreren in einen Wandbereich des Deckels
integrierten Drucksensoren;
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2 eine
Schnittansicht durch ein Rohrteilstück als dritte Ausführungsform
für ein
in MIM-Technik hergestelltes Bauelement mit integriertem Drucksensor;
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3 eine
perspektivische Schnittansicht eines bei den zuvor genannten Ausführungsformen
von Bauelementen in das Bauelement integrierten ersten Verformungskörpers (z.
B. Druckmesszelle) des Drucksensors mit Anschlusseinrichtungen;
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4 eine
perspektivische Gesamtansicht des bauelement-integrierten Verformkörpers (z.
B. Druckmesszelle) mit Anschlusseinrichtungen von 2;
und
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5 eine
perspektivische Schnittansicht eines bei einer weiteren Ausführungsform
eines Bauelement in einen Wandbereich desselben integrierten zweiten
Verformkörpers
(z. B. Druckmesszelle).
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In
den 1 und 2 sind verschiedene Bauelemente 52, 54, 70 mit
darin integrierten Drucksensoren 2 dargestellt, und in
den 3 und 4 ist eine erste Ausführungsform
des insgesamt mit 2 bezeichneten Bauelement-integrierten
Drucksensors gemäß einer
ersten Ausführungsform
dargestellt. 4 zeigt dabei eine Gesamtansicht
des integrierten Drucksensors 2 und 3 einen
Längsschnitt
durch den Drucksensor 2 entlang der strichpunktierten Linie
von 4.
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1 zeigt
einen Motor 50 mit einem Motor-Gehäusekörper 52 und einem
Deckel 54 hierfür,
beispielsweise ausgebildet als Kurbelgehäuse (52) bzw. Zylinderkopf
(54) eines Hubkolbenmotors (50). Der Gehäusekörper 52 und
der Deckel 54 sind zur Erfüllung der üblichen Funktionen entsprechend
profiliert ausgebildet und auch recht kompliziert gestaltet, was
in der schematischen Darstellung durch Erhebungen 56 am
Deckel 54 angedeutet ist. Der Deckel 54 schließt den Gehäusekörper 54 druckdicht
ab. Im Inneren sind verschiedene unter Druck stehende Fluide wie
Motoröl
und Verbrennungsgase eingeschlossen. Der Deckel 54 und
der Gehäusekörper 52 sind
an integral damit ausgebildeten Flanschen 58, 60 miteinander
druckdicht mittels geeigneter Befestiger 62 verbunden.
Der Deckel 54 und der Gehäusekörper 52 sind somit
allgemein gesehen Bauelemente zum Bilden einer Umhüllung (hier
der Motor 50; es könnte
auch eine andere Maschine oder ein anderes Behältnis sein) zum Aufnehmen von
unter Druck stehendem Fluid. Um den Druck des jeweiligen Fluid messen
zu können,
sind in dem Ausführungsbeispiel
mehrere Wandbereiche 63a, 63b, 63c, 63d der
Oberseite 64 des Deckels 54 sowie ein Wandbereich 65 einer
Seitenwand 66 des Gehäusekörpers 52 als
integrierte Verformungskörper
von integrierten Drucksensoren 2 ausgebildet. Die entsprechend
den Verformungskörper
bildenden Wandbereiche sind durch punktierte Linien angedeutet,
tatsächlich
findet sich hier kein Übergang,
sondern diese Wandbereiche fügen
sich naht- und übergangslos
in den Rest der umgebenden Wandungen 64, 66 ein.
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In 2 ist
ein einstückiges
Rohrteilstück 70 einer
Druckleitung für
unter Druck stehendes Fluid als weiteres Beispiel für ein Bauelement
zum Bilden einer ein unter Druck stehendes Fluid leitenden Umhüllung dargestellt.
Das Rohrteilstück 70 hat
an seinen beiden Enden jeweils einen Flansch 72 zur Befestigung
an den anschließenden
Leitungselementen (nicht dargestellt). Dazwischen befindet sich
ein hier kreiszylindrischer Rohrmantel 74. Ein Wandbereich 76 des
Rohrmantels 74 ist als einstückig integrierter Verformungskörper des integrierten
Drucksensors 2 ausgebildet. Dieser Wandbereich 76 ist
in 2 durch strichpunktierte Grenzlinien angedeutet;
auch hier gibt es wie bei dem Beispiel von 1 aber einen
nahtlosen Übergang
zu dem Rest des Rohrmantels 74.
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In
den 3 bis 4 ist beispielhaft dargestellt,
wie die in den 1 und zwei durch strichpunktierte Grenzlinien
angedeuteten, einen Verformungskörper
bildenden Wandbereiche 63a–63d, 65, 76 genauer
ausgebildet sein können.
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Der
integrierte Drucksensor 2 hat hier als Verformkörper eine
Drucksensorkapsel 4, die jeweils durch die Wandbereiche 63a–63d, 65, 76 gebildet
ist. Die Drucksensorkapsel 4 ist zur gleichzeitigen Messung
von mehreren Drücken
in dem einstückigen
Bauelement 52, 54, 70 ausgebildet. Hierzu
weist die Drucksensorkapsel 4 mehrere, nämlich hier
zwei, Membrane 6 auf. Die beiden Membrane 6 sind
einstückig
und ohne Fugestellen mit der Drucksensorkapsel 4 ausgebildet.
Dabei begrenzen die Membrane 6 an einer Seite jeweils eine als
Sacköffnung 8 ausgebildete
und durch einen Wandungsbereich 14 ringsum umgebene Druckmesskammer 10.
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Die
Drucksensorkapsel
4 ist insgesamt in Form der integrierten
Wandbereichen
63a–
63d,
65,
74 ausgebildet.
Zur Herstellung des gesamten Bauelements
52,
54,
70 mit
dem jeweils integrierten Wandbereich
63a–
63d,
65,
76 wird
ein MIM-Verfahren
eingesetzt. Das MIM-Verfahren wird so durchgeführt, dass die das jeweilige
Bauelement
52,
54,
70 aus ausscheidungshärtendem,
rostfreiem Stahl der Klasse 17-4 PH mit folgender nomineller Zusammensetzung
(in Prozente) gebildet ist:
Cr | 16.2 |
Ni | 4.5 |
Cu | 3.6 |
Nb
+ Ta | 0.20 |
Si | 0.5
maximal |
Mn | 0.5
maximal |
C | 0.03
maximal |
Fe | Rest |
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Das
Material hat zum Beispiel je nach Metallnachbearbeitung (Sintern/Ausscheidungshärten) die
in Tabelle 1 wiedergegebenen typischen Eigenschaften.
Typische
Eigenschaften | gesintert | ausscheidungsgehärtet |
| | H-900 | H-1000 |
Dichte
(g/cm3) | 7.65 | | |
Härte, Rc` | 25 | 38 | 33 |
Elastizitätsmodul
(105 Mpa) | 1.93 | | |
Bruchdehnung
(%) | –6 | 7.5 | 8 |
Zugfestigkeit
(MPa, N/mm2) | 970 | 1170 | 1030 |
Streckgrenze
(MPa, N/mm2) | 890 | 1100 | 980 |
Oberflächengüte, Rauheit | Ra 3.2 | | |
Tabelle
1
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Beim
MIM-Verfahren wird in der an sich bekannten Weise vorgegangen, dass
aus Kunststoff und sehr feinem Metallpulvern, welches Metallpulver
die obigen Eigenschaften liefert, ein spritzfähiges Ausgangsmaterial hergestellt
wird. Dieses Ausgangsmaterial hat einen Metallpulvergehalt von über 90 Gewichts-Prozent. Dieses
Material wird mit einer konventionellen Plastikspritzgießmaschine
wie Kunststoff zu einem der späteren Form
der Bauelements 52, 54, 70 mit entsprechend
größeren Abmaßen entsprechenden
grünen
Formteil verarbeitet. Danach wird der Kunststoffanteil aus dem Formteil
herausgelöst,
ohne dass das Formteil selbst seine Form verliert. Danach erfolgt
eine Sinterung des Formteiles, wobei die metallischen Eigenschaften
erhalten werden. Dabei schrumpft das Teil auf sein Endmaß mit entsprechend
hoher Dichte. Eventuell erfolgt noch eine Ausscheidungshärtung.
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Es
gibt verschiedene Anbieter, die das Durchführen eines solches MIM-Verfahrens
nach entsprechenden Vorgaben anbieten, beispielsweise die Schweizer
Firma Parmaco Metal Injection Moulding AG in CH-8376 Fischingen.
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Das
mit der Drucksensorkapsel 4 integral versehene fertige
Bauelement 52, 54, 70 sollte zur Anwendbarkeit
des MIM-Verfahrens bestimmte Abmessungen bzw. ein bestimmtes Design
haben. So sollte die Membran 6 jeweils nicht dünner als 0.3
mm ausgebildet sein. Die Toleranzen beim Sinterprozess sind 22%
größer als
beim Spritzen und 18% kleiner als beim Sintern. Es wird z. B. eine
N6-Oberfläche vorgesehen.
Die Partikelgröße des Metallpulvers
beträgt
z. B. ca. 15 μm.
Feinere Metallpulver sind möglich,
z. B. bis ca. 5 μm.
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Mit
diesem Verfahren können
sehr leicht kundenspezifische Bauelemente 52, 54 70 mit
integriertem Verformungskörper
gefertigt werden.
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Die 3 zeigt
dabei einen Schnitt durch die in die Wand des jeweiligen Bauelements 52, 54, 70 integrierten
Drucksensorkapsel 4 mit mehreren Membranen 6.
Als weiteres Beispiel ist in 5 eine Druckkapsel 20 für ein weiteres
Ausführungsbeispiel
eines in ein (nicht näher
dargestelltes) Bauelement integrierten Drucksensors gezeigt. Der
durch die Druckkapsel 20 gebildete Verformungskörper liegt
in Form einer im MIM-Verfahren hergestellten Hutmembran mit einem
integrierten Membran 22 und einer durch einen Wandbereich 32 zylinderförmig begrenzten
Druckmesskammer 24 vor. Es ist beispielhaft dargestellt,
dass die Druckkapsel 20 insgesamt nicht rotationssymmetrisch
ist und komplizierte Befestigungsabschnitte 26 mit Hinterschneidungen 28 aufweist.
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Das
Endmaterial ist Stahl 17/4 ph (ferritisch, aufgrund des Herstellungsprozesses
C-frei), der von den Eigenschaften ähnlich zu 1.4548 ist.
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Das
(grüne)
Formteil wird um 23.3% größer als
die fertige Druckkapsel 20 bzw. Drucksensorkapsel 4 hergestellt.
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Bei
der Herstellung wird derart vorgegangen, dass die Spritzdüse von der
Oberseite 30 aus zentrisch an den später die Membrane 6, 22 bildenden
Membranbereichen angesetzt wird. Hierdurch ergibt sich eine gute
Homogenität
im Bereich der kreisringförmigen
Membrane 6, 22. Die Druckmesskammern 10, 24 werden durch
auswechselbare Einsätze
in der jeweiligen Form gebildet. Hierzu können für verschiedene Druckbereich verschiedene
Einsätze
eingesetzt werden. Ausgestoßen
wird dann von der konkaven Seite aus.
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Die
Membrane 6, 22 werden zunächst dicker hergestellt und
anschließend
durch Nachbearbeitung abgetragen. Beispielsweise werden die Membrane 6, 22 um
einige Hundertstel Millimeter abgeschliffen. Dadurch kann man sich
Kontrollen ersparen.
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Einfache
Bauelemente kann man mit einer einzigen Form und einem einzelnen
Formteil herstellen. Werden die Bauelemente komplizierter, kann
man mehrere grüne
Formteile herstellen und anschließend zusammensintern.
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Bei
der in den 3 und 4 gezeigten
Ausführungsform
mit den mehreren Membranen 6 wir pro Membran wenigstens
eine Einspritzdüse
verwendet, die zentrisch zu der jeweiligen Membran angesetzt wird. Alternativ
kann jeder Membranbereich, der später eine Membran 6 bildet,
einzeln gespritzt werden und dann auf einem verbleibenden Wandbereich
bei 1.200°C
aufgesintert werden.
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Wie 5 zeigt,
können
nicht rotationssymmetrische Befestigungselemente, hier die Befestigungsabschnitte 26,
am Membranrand mit dem hier dargestellten Verfahren sehr einfach
realisiert werden.
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In
den 3 und 4 ist an der Drucksensorkapsel
noch an jeder Membran 6 ein Kraftaufnehmer 38,
z. B. in Form eines Biegebalkens 40 aufgebracht. Alternativ
könnten
an den Stellen maximaler Dehnung und Stauchung geeignete Dehnmessstreifen
(DMS) (nicht dargestellt) formschlüssig aufgebracht werden. Bezugszeichen 42 bezeichnet
die Bond-Verdrahtung. Weiter ist auf einer Leiterplatte 44 ein
ASIC-Chip 46 aufgebracht, der zur elektronischen Verstärkung, Kalbration
und Kompensation dient. Damit können
präzise
Druck- oder Spannungsmessungen erhalten werden. Ein elektrischer
Ausgang 48 auf der Leiterplatte 44 ermöglicht den
Signalabgriff von außen.
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Damit
ist insgesamt ein Bauelement mit integriertem Drucksensor 2 in
einfacher Weise ganz nach Kundenwünschen herstellbar.
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Entsprechende
Bauteile (DMS, 38, 40, 42, 44, 46 und/oder 48)
können
selbstverständlich
auch an der Druckkapsel 20 gemäß 5 zum Komplettieren
eines entsprechenden Drucksensors vorhanden sein.
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- 2
- Drucksensor
- 4
- Drucksensorkapsel
(Druckmesszelle)
- 6
- Membran
- 8
- Sacköffnung
- 10
- Druckmesskammer
- 14
- Wandungsbereich
- 20
- Druckkapsel
(Druckmesszelle)
- 22
- Membran
- 24
- Druckmesskammer
- 26
- Befestigungsabschnitt
- 28
- Hinterschneidung
- 30
- Oberseite
- 32
- Wandungsbereich
- 38
- Kraftaufnehmer
- 40
- Biegebalken
- 42
- Bond-Verdrahtung
- 44
- Leiterplatte
- 46
- ASIC-Chip
- 48
- elektrischer
Ausgang
- 50
- Motor
- 52
- Gehäusekörper (Bauelement)
- 54
- Deckel
(Bauelement)
- 56
- Erhebungen
- 58
- Flansch
am Deckel
- 60
- Flansch
am Gehäusekörper
- 62
- Befestiger,
zum Beispiel Zylinderkopfschrauben
- 63a–63d
- als
Verformungskörper
ausgebildete Wandbereiche an dem Deckel
- 64
- Oberseite
des Deckels
- 65
- als
Verformungskörper
ausgebildeter Wandbereich des Gehäusekörpers
- 66
- Seitenwand
des Gehäusekörpers
- 70
- Rohrteilstück (Bauelement)
- 72
- Flansch
- 74
- Rohrmantel
- 76
- als
Verformungskörper
ausgebildeter Wandbereich des Rohrmantels