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Verweis auf
verwandte US-Patente
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Der
Gegenstand der vorliegenden Anmeldung bezieht sich auf denjenigen
der folgenden US-Patente: (1) US-Patent Nr. 5,587,620 von Ruby u. a.
mit dem Titel „Tunable
Thin Film Acoustic Resonators and Method for Making the Same", erteilt am 24. Dezember
1996 und übertragen
an Agilent Technologies Inc., (2) US-Patent Nr. 5,873,153 von Ruby
u. a. mit dem Titel „Method
of Making Tunable Thin Film Acoustic Resonators", erteilt am 23. Februar 1999 und übertragen
an Agilent Technologies Inc., und (3) US-Patent Nr. 6,060,818 von
Ruby u. a. mit dem Titel „SBAR
Structures and Method of Fabrication of SBAR.FBAR Film Processing
Techniques for the Manufacturing of SBAR/BAR Filters", erteilt am 9. Mai 2000
und übertragen
an Agilent Technologies Inc. Diese Patente beschreiben Grundtechniken
zum Herstellen von abstimmbaren akustischen Dünnfilmresonatoren, wobei diese
Techniken Komponenten der im Folgenden beschriebenen repräsentativen Ausführungsbeispiele
umfassen. Dementsprechend ist jedes der US-Patente, auf die im Vorhergehenden verwiesen
wurde, durch Bezugnahme in seiner Gesamtheit hier aufgenommen.
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Zahlreiche
moderne elektronische Vorrichtungen von der einfachen Armbanduhr
zu den komplexeren Computerservern hängen von der Erzeugung von
ein oder mehr Takt- oder Oszillatorsignalen ab. Um die Erfordernisse
verschiedener Anwendungen zu erfüllen,
müssen
die erzeugten Signale genau und stabil sein. Außerdem dürfen die Betriebsfrequenzen
der erzeugten Signale nicht wesentlich mit Veränderungen der Temperatur von
der Entwurfsfrequenz abweichen.
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Im
Wesentlichen alle Mobiltelefone, Computer, Mikrowellenöfen und
zahlreiche andere elektronische Produkte verwenden einen Quarzkristallresonator,
um ein Referenzsignal mit einer vorausgewählten Frequenz zu erzeugen,
die normalerweise etwa 20 MHz beträgt. Derartige Oszillatoren
werden als kristallgesteuerte Oszillatoren bezeichnet. Die Gatter
bei diesen Produkten werden mit der vorausgewählten Frequenz unter Verwendung
des Referenzsignals „getaktet" oder geschaltet.
Beliebige und alle „Zeitreferenzen" werden von diesem
Quarzresonatoroszillator erzeugt. Bei Mobiltelefonen, Laptop-Computern und
anderen tragbaren Vorrichtungen ist die Quarzresonatorschaltung
größer als
erwünscht.
Normalerweise muss der Oszillator in etwa eine Frequenzdrift von
+/–2ppm über den
vollen Betriebstemperaturbereich des Produkts aufweisen. Um dieses
Niveau von Frequenzsteuerung zu erreichen, ist der Quarzresonator
normalerweise in einem hermetischen Keramikgehäuse mit einem Metalldeckel,
der um den Umfang lichtbogengeschweißt ist, gehäust zu finden. Somit ist das
Gehäuse
relativ teuer. Ein Beispiel ist Kyocera TCXO, Teilnummer KT21. Dieses
Produkt wird in einem Keramikgehäuse
geliefert, das 3,2 × 2,5 × 1 mm3 groß ist,
eine +/–2ppm-Genauigkeit
von –30° bis 85°C aufweist
und 2 mA Strom zieht. Da die Resonanzfrequenz dieses Kristalls 20
MHz beträgt, muss
das Signal von einem Oszillator, der dieses Produkt verwendet, durch
eine andere Leistung aufnehmende Elektronik nach oben multipliziert
werden. Ferner werden die sich ergebenden Oberschwingungen allgemein
nur um etwa 5 dB relativ zu der Grundfrequenz unterdrückt.
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Oszillatoren
können
auch unter Verwendung anderer Typen von Resonatoren hergestellt
werden, z. B. Standard-L-C- (induktor-kapazitive) Resonatoren, akustische
Dünnfilmvolumenresonatoren (FBARS)
und dergleichen. Obwohl derartige Resonatoren billiger als Quarzresonatoren
sind, sind ihre Frequenzdriftcharakteristika im Allgemeinen für die im
Vorhergehenden erwähnten
Anwendungen nicht akzeptabel.
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Es
ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Schwingschaltung
und ein Verfahren zum Herstellen einer Schwingschaltung mit verbesserten Charakteristika
zu schaffen.
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Diese
Aufgabe wird durch eine Schwingschaltung gemäß Anspruch 1 sowie ein Verfahren gemäß Anspruch
6 gelöst.
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In
repräsentativen
Ausführungsbeispielen
ist eine Schwingschaltung offenbart. Die Schwingschaltung weist
einen ersten Oszillator, einen zweiten Oszillator und eine Mischerschaltung
auf. Der erste Oszillator ist konfiguriert, um ein erstes Schwingsignal mit
einer ersten Frequenz zu erzeugen, und weist einen ersten Frequenztemperaturkoeffizienten
auf. Der zweite Oszillator ist konfiguriert, um ein zweites Schwingsignal
mit einer zweiten Frequenz zu erzeugen, und weist einen zweiten
Frequenztemperaturkoeffizienten auf. Die zweite Frequenz ist größer als
die erste Frequenz, und der zweite Frequenztemperaturkoeffizient
ist geringer als der erste Frequenztemperaturkoeffizient. Die Mischerschaltung
ist konfiguriert, um das erste Schwingsignal von dem ersten Oszillator
zu empfangen, ist konfiguriert, um das zweite Schwingsignal von
dem zweiten Oszillator zu empfangen, und ist konfiguriert, um ein
Mischersignal aus dem ersten Schwingsignal und dem zweiten Schwingsignal
zu erzeugen. Das Mischersignal weist eine Signalkomponente mit einer
Schwebungsfrequenz auf. Die Schwebungsfrequenz ist gleich der Differenz
zwischen der zweiten Frequenz und der ersten Frequenz.
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In
einem weiteren repräsentativen
Ausführungsbeispiel
ist ein Verfahren zum Herstellen einer Schwingschaltung offenbart.
Das Verfahren weist ein Herstellen eines ersten Oszillators, der
konfiguriert ist, um ein erstes Schwingsignal mit einer ersten Frequenz
zu erzeugen, und der einen ersten Frequenztemperaturkoeffizienten
aufweist, ein Erzeugen eines zweiten Oszillators, der konfiguriert
ist, um ein zweites Schwingsignal mit einer zweiten Frequenz zu
erzeu gen, und der einen zweiten Frequenztemperaturkoeffizienten
aufweist, und ein Verbinden der Ausgänge des ersten und des zweiten
Oszillators miteinander auf. Die zweite Frequenz ist größer als
die erste Frequenz; der zweite Frequenztemperaturkoeffizient ist
geringer als der erste Frequenztemperaturkoeffizient; und die Differenz
zwischen der zweiten Frequenz multipliziert mit dem zweiten Frequenztemperaturkoeffizienten
und der ersten Frequenz multipliziert mit dem ersten Frequenztemperaturkoeffizient ist
gleich Null.
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Andere
Aspekte und Vorteile der repräsentativen
Ausführungsbeispiele,
die hier präsentiert
werden, werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung zusammen
mit den beiliegenden Zeichnungen ersichtlich.
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Die
beiliegenden Zeichnungen liefern visuelle Darstellungen, die verwendet
werden, um verschiedene repräsentative
Ausführungsbeispiele
genauer zu beschreiben, und können
von Fachleuten verwendet werden, um dieselben und ihre inhärenten Vorteile
besser zu verstehen. Bei diesen Zeichnungen identifizieren gleiche
Bezugszeichen entsprechende Elemente. Es zeigen:
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1 eine
Zeichnung eines Blockdiagramms einer Schwingschaltung, wie dieselbe
in verschiedenen repräsentativen
Ausführungsbeispielen beschrieben
ist;
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2A eine
graphische Darstellung von Mischerausgangssignal über Frequenz
für Komponenten
des Mischersignals in 1;
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2B eine
graphische Darstellung einer Übertragungsfunktion über Frequenz
für das
Filter in 1;
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2C eine
graphische Darstellung des Frequenztemperaturkoeffizienten für die erste
und die zweite Resonanzschaltung in 1;
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2D eine
Zeichnung einer Ersatzschaltung für einen akustischen Dünnfilmvolumenresonator
(FBAR);
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3A eine
Zeichnung einer Resonatorstruktur, wie dieselbe in verschiedenen
repräsentativen
Ausführungsbeispielen
beschrieben ist;
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3B eine
Zeichnung einer weiteren Resonatorstruktur, wie dieselbe in verschiedenen
repräsentativen
Ausführungsbeispielen
beschrieben ist;
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3C eine
Zeichnung einer weiteren Resonatorstruktur, wie dieselbe in verschiedenen
repräsentativen
Ausführungsbeispielen
beschrieben ist;
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3D eine
Zeichnung einer weiteren Resonatorstruktur, wie dieselbe in verschiedenen
repräsentativen
Ausführungsbeispielen
beschrieben ist;
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4 ein
Flussdiagramm eines Verfahrens zum Erzeugen der Resonatorstrukturen
der 3A und 3B;
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5A eine
graphische Darstellung von Schaltungsfrequenztemperaturkoeffizient über Dicke einer
entfernten piezoelektrischen Oberwaferschicht für die Resonatorstruktur von 3A;
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5B eine
graphische Darstellung von Schwebungsfrequenz über Dicke einer entfernten
piezoelektrischen Oberwaferschicht für die Resonatorstruktur von 3A;
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6A eine
graphische Darstellung von Schaltungsfrequenztemperaturkoeffizient über der Massenbelastung,
die von dem ersten Resonator entfernt wird, für die Resonatorstruktur von 3A;
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6B eine
graphische Darstellung von Schwebungsfrequenz über der Massenbelastung, die
von dem ersten Resonator entfernt wird, für die Resonatorstruktur von 3A;
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7 ein
Flussdiagramm eines Verfahrens zum Herstellen der Resonatorstruktur
von 3C;
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8 ein
Flussdiagramm eines Verfahrens zum Herstellen der Resonatorstruktur
von 3D; und
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9 ein
Flussdiagramm eines Verfahrens zum Herstellen eines Teils der Schwingschaltung
von 1.
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Wie
es in den Zeichnungen zu Veranschaulichungszwecken gezeigt ist,
neuartige Resonatoren, deren Resonanzfrequenzen und Frequenzdriftcharakteristika
geeignet eingestellt werden können,
um zu Schwingschaltungen zu führen,
die eine sehr geringe Frequenzdrift über Temperaturcharakteristika aufweisen.
Geeignete gepaarte Resonatoren können unter
Verwendung von Integrierte-Schaltung-Techniken mit den sich ergebenden
Vorteilen bezüglich Kosten
und Größe gegenüber Quarzkristallen
hergestellt werden, die in der Vergangenheit verwendet wurden, um
vergleichbare Frequenzdriftcharakteristika zu erhalten. Früher wurden
Quarzkristalle sorgfältig
geschnitten und abgestimmt, um eine geringe Frequenzdrift relativ
zur Temperatur zu liefern.
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Bei
repräsentativen
Ausführungsbeispielen werden
zwei Resonatoren, die mit der Temperatur mit unterschiedlichen Raten
driften, bei Oszillatorschaltungen verwendet, um eine „Schwebungs"-Frequenz zu erzeugen,
deren Nettotemperaturdrift über
den vollen Temperaturbereichstandard für Mobiltelefone, tragbare Computer
und andere vergleichbare Vorrichtungen sehr gering, falls nicht
Null ist. Die Resonatoren können
als akustische Dünnfilmvolumenresonatoren
(FBARS) hergestellt werden und mit einer anderen Integrierte-Schaltung-Schaltungsanordnung kombiniert
werden, um einen Siliziumchip zu ergeben, der in etwa 0,2 Millimeter
(mm) dick sein und eine Fläche
von weniger als 1 × 1
mm2 aufweisen könnte. Außerdem kann das Ausgangssignal
bei einer viel höheren
Frequenz als derjenigen eines Quarzresonators liegen, und kann somit
relativ frei von Störmoden
sein. Folglich wird beim Erzeugen der erforderlichen „reinen" Hochfrequenztöne weniger Leistung
aufgenommen.
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In
der folgenden detaillierten Beschreibung und in den mehreren Figuren
der Zeichnungen sind gleiche Elemente mit gleichen Bezugszeichen
identifiziert.
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1 ist
eine Zeichnung eines Blockdiagramms einer Schwingschaltung 100,
wie dieselbe in verschiedenen repräsentativen Ausführungsbeispielen
beschrieben ist. In 1 weist die Schwingschaltung 100 einen
ersten Oszillator 110, einen zweiten Oszillator 120,
eine Mischerschaltung 130 und ein Filter 140 auf.
Der erste Oszillator 110 weist einen ersten Resonator 111 und
einen ersten Verstärker 112 auf.
Der zweite Oszillator 120 weist einen zweiten Resonator 121 und
einen zweiten Verstärker 122 auf.
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Das
Ausgangssignal des ersten Verstärkers 112 wird über den
ersten Resonator 111 zu dem Eingang des ersten Verstärkers 112 zurückgeführt, was dazu
führt,
dass der erste Oszillator 110 ein erstes Schwingsignal 115 mit
einer ersten Frequenz f01 erzeugt, wobei
die erste Frequenz f01 die Resonanzfrequenz
des ersten Resonators 111 ist.
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Das
Ausgangssignal des zweiten Verstärkers 122 wird über den
zweiten Resonator 121 zu dem Eingang des zweiten Verstärkers 122 zurückgeführt, was
dazu führt,
dass der zweite Oszillator 120 ein zweites Schwingsignal 125 mit
einer zweiten Frequenz f02 erzeugt, wobei
die zweite Frequenz f02 die Resonanzfrequenz
des zweiten Resonators 121 ist.
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Bei
dem repräsentativen
Ausführungsbeispiel
von 1 ist die zweite Frequenz f02 größer als die
erste Frequenz f01.
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Die
Details, die in 1 für den ersten und den zweiten
Oszillator 110, 120 gezeigt sind, dienen nur zu
Veranschaulichungszwecken. Verschiedene Konfigurationen von Oszillatorschaltungen
könnten mit
dem ersten und dem zweiten Resonator 111, 121 verwendet
werden.
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Die
Mischerschaltung 130 empfängt das erste Schwingsignal 115 mit
der ersten Frequenz f01 von dem ersten Oszillator 110 und
empfängt
das zweite Schwingsignal 125 mit der zweiten Frequenz f02 von dem zweiten Oszillator 120.
Das erste Schwingsignal 115 und das zweite Schwingsignal 125 werden
durch die Mischerschaltung 130 gemischt, um ein Mischersignal 135 zu
erzeugen. Das Mischersignal 135 weist eine Signalkomponente 136 (siehe 2A)
mit einer Schwebungsfrequenz fB auf, wobei
die Schwebungsfrequenz fB gleich der ersten
Frequenz f01 subtrahiert von der zweiten
Frequenz f02 ist, sowie eine andere Signalkomponente 137 (siehe 2A)
mit einer Summenfrequenz fS gleich der Summe
der ersten Frequenz f01 und der zweiten
Frequenz f02.
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Das
Filter 140 empfängt
das Mischersignal 135 von der Mischerschaltung 130,
lässt die
Signalkomponenten 136 des Mischersignals 135 mit
der Schwebungsfrequenz fB durch und sperrt
andere Signalkomponenten 137 des Mischersignals 135 mit der
Summenfrequenz fS, mit einem sich ergebenden Filtersignal 145,
das hier auch als Ausgangssignal 145 bezeichnet wird, als
seinem Ausgangssignal. Folglich weist das Filtersignal 145 hauptsächlich ein Signal
mit der Schwebungsfrequenz fB auf, das durch die Übertragungsfunktion
des Filters 140 umgewandelt wurde. Normalerweise wird jede
beliebige Komponente des Filtersignals 145 mit der Summenfrequenz
fS durch die Übertragungsfunktion des Filters 140 erheblich
reduziert.
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2A ist
eine graphische Darstellung eines Mischerausgangssignals 235 über der
Frequenz für Komponenten
des Mischersignals 135 in 1. Das Mischerausgangssignal 235 ist
das Mischersignal 135, das, wie es im Vorhergehenden erwähnt ist,
die Signalkomponente 136 mit der Schwebungsfrequenz fB und die andere Signalkomponente 137 mit
der Summenfrequenz fS aufweist. Sowohl die
Signalkomponente 136 als auch die andere Signalkomponente 137 sind
in 2A gezeigt. Die Signalkomponente 136 ist
mit der Schwebungsfrequenz fB = (f02 – f01) aufgetragen, und die andere Signalkomponente 137 mit der
Summenfrequenz fS = (f02 +
f01). Auch sind in 2A die
erste Frequenz f01 und die zweite Frequenz
f02 in relativen Positionen gezeigt.
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2B ist
eine graphische Darstellung einer Übertragungsfunktion 250 über der
Frequenz für
das Filter 140 von 1. Bei dem
repräsentativen
Ausführungsbeispiel
von 2B ist das Filter 140 ein Tiefpassfilter 140.
Verschiedene Konfigurationen eines Filter 140 könnten jedoch
verwendet werden, solange die Übertragungsfunktion 250 des
Filters 140 die Signalkomponente 136 des Mischersignals 135 mit
der Schwebungsfrequenz fB durchlässt und
andere wichtige Komponenten, wie z. B. die andere Signalkomponente 137 des
Mischersignals 135 mit der Summenfrequenz fS,
sperrt. Somit, und wie es im Vorhergehenden erwähnt ist, weist das Filtersignal 145 an
dem Ausgang des Filters 140 hauptsächlich das Signal mit der Schwebungsfrequenz
fB auf, das durch die Übertragungsfunktion 250 des
Filters 140 umgewandelt wurde. Normalerweise wird dann
jede beliebige Komponente des Filtersignals 145 mit der Summenfrequenz
fS durch die Übertragungsfunktion 250 des
Filters 140 erheblich reduziert.
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2C ist
eine graphische Darstellung des Frequenztemperaturkoeffizienten
TC für
den ersten und den zweiten Resonator 111, 121 in 1.
Der Wert des Frequenztemperaturkoeffizienten TC für eine Resonanzschaltung
mit Referenzfrequenz fR ist gegeben durch
TC = (1/fR)(ΔfR/Δt),
wobei ΔfR die Frequenzverschiebung bei fR ist,
die durch eine Temperaturveränderung
von Δt verursacht
wird. Der Wert des Frequenztemperaturkoeffizienten TC wird
normalerweise als Teile je Million Teile pro Grad Celsius (ppm/°C) ausge drückt. Werden
keine anderen wichtigen frequenzabhängigen Komponenten bei einem gegebenen
Oszillator angenommen, ist der Wert des Temperaturkoeffizienten
für diesen
Oszillator der gleiche wie derjenige seiner Resonanzschaltung. Der erste
Resonator 111 weist einen ersten Frequenztemperaturkoeffizienten
TC1 auf, und der zweite Resonator 121 weist
einen zweiten Frequenztemperaturkoeffizienten TC2 auf.
Es sei darauf hingewiesen, dass der Wert des zweiten Frequenztemperaturkoeffizienten
TC2 geringer ist als der erste Frequenztemperaturkoeffizient
TC1.
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Die
Schwebungsfrequenz fB der Schwingschaltung 100 weist
dann einen Schaltungsfrequenztemperaturkoeffizienten TCC gleich
der zweiten Frequenz f02 multipliziert mit
dem zweiten Frequenztemperaturkoeffizienten TC2 subtrahiert
von der ersten Frequenz f01 multipliziert
mit dem ersten Frequenztemperaturkoeffizienten TC1 auf
(d. h. TCC = [f02 × TC2] – [f01 × TC1] ). Somit können die erste Frequenz f01, der erste Frequenztemperaturkoeffizient
TC1, die zweite Frequenz f02 und
der zweite Frequenztemperaturkoeffizient TC2 ausgewählt werden,
um die Erfordernisse einer bestimmten Anwendung geeignet zu erfüllen. Eine
sorgfältige
Einstellung dieser Parameter kann dazu führen, dass der Schaltungsfrequenztemperaturkoeffizient
TCC mit demjenigen vergleichbar ist, der
durch die Verwendung von Quarzkristallen zu erhalten ist, oder besser
als derselbe ist. Tatsächlich ist
es möglich,
einen Nullschaltungsfrequenztemperaturkoeffizienten TCC durch
die sorgfältige
Auswahl und Einstellung dieser Parameter zu erhalten.
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2D ist
eine Zeichnung einer Ersatzschaltung 260 für einen
akustischen Dünnfilmvolumenresonator
(FBAR). Akustische Dünnfilmvolumenresonatoren
können
hier bei verschiedenen repräsentativen
Ausführungsbeispielen
aufgrund der Tatsache verwendet werden, dass ihre Herstellungstechnologie
mit derjenigen von integrierten Schaltungen kompatibel ist, was
zu relativen Vorteilen bezüglich
Kosten, Zuverlässigkeit
und Größe gegenüber anderen
Technologien führt.
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2D ist
ein modifiziertes Butterworth-Van Dyke-Modell eines akustischen
Dünnfilmvolumenresonators.
Aus dieser Ersatzschaltung 260 ist ersichtlich, dass der
akustische Dünnfilmvolumenresonator zwei
Resonanzfrequenzen aufweist. Die erste Resonanzfrequenz wird als
Reihenresonanzfrequenz fREI bezeichnet,
die sich aus der Reihenkombination eines Induktors LM und
eines Kondensators CM ergibt. Die zweite
Resonanzfrequenz wird als Parallelresonanzfrequenz fPAR bezeichnet,
die sich aus der Parallelkombination eines Nebenschlusskondensators
CP und der oben genannten Reihenkombination
des Induktors LM und des Kondensators CM ergibt. Die Parallelresonanzfrequenz fPAR wird auch als die Antiresonanzfrequenz
fPAR bezeichnet. Ein Widerstand RREIHE und ein Nebenschlusswiderstand RNEBEN stellen nichtideale Widerstandskomponenten
in der Struktur dar. Bei einer geeigneten Wahl des Filters 140 kann
entweder die Parallelresonanzfrequenz fPAR oder
die Reihenresonanzfrequenz fREI beim Bestimmen
der Frequenz des sich ergebenden Ausgangssignal 145 ausgewählt werden.
Hinsichtlich der obigen Ausführungen
und bei einer gegebenen Implementierung könnte die erste Frequenz f01 entweder die Parallelresonanzfrequenz
fPAR oder die Reihenresonanzfrequenz fREI für
den ersten Resonator 111 sein, und die zweite Frequenz
f02 könnte
entweder die Parallelresonanzfrequenz fPAR oder
die Reihenresonanzfrequenz fREI für den zweiten
Resonator 121 sein. Wie es für Fachleute ersichtlich ist,
ist das Ausgangssignal der Mischerschaltung 130 für zwei akustische Dünnfilmvolumenresonatoren
eine Kombination von Signalen mit acht getrennten Frequenzen anstatt
der zwei, die in 2A gezeigt sind. Diese acht
Frequenzen sind Folgende: (1) fPAR-1 +/– fPAR-2, (2) fPAR-1 +/– fSER-2, (3) fSER-1 +/– fPAR-2 und (4) fSER-1 +/– fSER-2. Folglich muss das Filter 140 bei
einer beliebigen gegebenen Anwendung die unerwünschten sieben Frequenzen auf
den erforderlichen Pegel filtern. Da die Parallelresonanzfrequenz
fPAR für
einen beliebigen gegebenen Resonator geringer als die Reihenresonanzfrequenz fREI ist, könnte ein geeignet konzipiertes
Tiefpassfilter 140 nur die Frequenz (fPAR-1 – fPAR-2) durchlassen.
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3A ist
eine Zeichnung einer Resonatorstruktur 300, wie dieselbe
in verschiedenen repräsentativen
Ausführungsbeispielen
beschrieben ist. In 3A weist das Paar von Resonatoren 300 den ersten
und den zweiten Resonator 111, 121 auf, die in
einer Seitenansicht gezeigt sind und die unter Verwendung von Prozeduren,
die mit einer Integrierte-Schaltung-Bearbeitung
kompatibel sind, hergestellt werden. Bei diesem Beispiel sind die
Resonatoren 111, 121 akustische Dünnfilmvolumenresonatoren
(FBARs). Die Resonatoren 111, 121 werden an einem
Substrat 305 hergestellt, bei dem es sich z. B. um Silizium 305 oder
ein anderes geeignetes Material handeln könnte, und die Resonatoren 111, 121 werden über einem
ersten Hohlraum 311 bzw. einem zweiten Hohlraum 312 hergestellt,
da dieselben akustische Resonatoren sind, die mechanische Wellen
verwenden. Die Hohlräume
isolieren den Schwingteil des Resonators 111, 121 von
dem Substrat 305, um die Schwingenergie zu reduzieren,
die ansonsten in dem Substrat 305 dissipiert würde. Der erste
und der zweite Hohlraum 311, 312 werden an der
oberen Oberfläche 306 des
Substrats 305 erzeugt.
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Der
erste Resonator 111 wird darüber hergestellt und überbrückt den
ersten Hohlraum 311. Der erste Resonator 111 umfasst
eine erste untere Elektrode 321, eine erste obere Elektrode 331 und
eine erste piezoelektrische Struktur 341, die zwischen
der ersten unteren Elektrode 321 und der ersten oberen Elektrode 331 angeordnet
ist. Die erste piezoelektrische Struktur 341 umfasst eine
erste untere piezoelektrische Schicht 351 auf der ersten
unteren Elektrode 321, eine Interstitial- bzw. Zwischenschicht 361 auf
der ersten unteren piezoelektrischen Schicht 351 und eine
erste obere piezoelektrische Schicht 371 auf der Interstitialschicht 361.
Auf der ersten oberen piezoelektrischen Schicht 371 befindet
sich die erste obere Elektrode 331. Ebenfalls in 3A gezeigt
ist eine Massenlastschicht 381 auf der ersten oberen Elektrode 331.
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Der
zweite Resonator 121 wird über dem zweiten Hohlraum 312 hergestellt
und überbrückt denselben.
Der zweite Resonator 121 umfasst eine zweite untere Elektrode 322,
eine zweite obere Elektrode 332 und eine zweite piezoelektrische
Struktur 342, die zwischen der zweiten unteren Elektrode 322 und
der zweiten oberen Elektrode 332 angeordnet ist. Die zweite
piezoelektrische Struktur 342 umfasst eine zweite untere
piezoelektrische Schicht 352 auf der zweiten unteren Elektrode 322 und
eine zweite obere piezoelektrische Schicht 372 auf der
zweiten unteren piezoelektrischen Schicht 352. Auf der
zweiten oberen piezoelektrischen Schicht 372 befindet sich
die zweite obere Elektrode 332.
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Die
piezoelektrischen Schichten 351, 352, 371, 372 könnten unter
Verwendung von Aluminiumnitrid (AlN) oder irgendeinem geeigneten
piezoelektrischen Material hergestellt werden. In dem Fall von Aluminiumnitrid
könnten
die piezoelektrischen Schichten 351, 352, 371, 372 durch
Dampfaufbringung bei einem geeigneten Verarbeitungsschritt erzeugt
werden. Bei den Elektroden 321, 332, 331, 332 könnte es
sich z. B. um Molybdän
oder irgendeinen anderen geeigneten Leiter handeln. Im Idealfall
weist die Interstitialschicht 361 einen Steifheitskoeffizienten über Temperatur
auf, der größer als
derjenige der piezoelektrischen Schichten 351, 352, 371, 372 ist.
In einem derartigen Fall führt
der größere Steifheitskoeffizient über Temperatur
für die
Interstitialschicht 361 zu einem größeren ersten Frequenztemperaturkoeffizienten
TC1 als bei dem zweiten Frequenztemperaturkoeffizienten
TC2. Da Molybdän einen Steifheitskoeffizienten über Temperatur
aufweist, der größer als
der Steifheitskoeffizient über
Temperatur für Aluminiumnitrid
ist, könnte
Molybdän
für die
Interstitialschicht 361 verwendet werden.
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Aufgrund
der Massenlastschicht 381 und anderer Entwurfsüberlegungen,
die die Dicke der Interstitialschicht 361 sowie die relativen
Dicken der verschiedenen piezoelektrischen Schichten 351, 352, 371, 372 umfassen,
kann der erste Resonator 111 mit einer ersten Resonanzfrequenz
f01 (d. h. erste Frequenz) hergestellt werden,
die niedriger ist als die zweite Resonanzfrequenz f02 (d.
h. zweite Frequenz) des zweiten Resonators 121. Im Allgemeinen
ist die Resonanzfrequenz des Resonators umso niedriger, je größer das
Gewicht der Massenlastschicht 381 ist. Auch ist die Resonanzfrequenz
des Resonators umso niedriger, je dicker die ein oder mehr piezoelektrischen
Schichten sind.
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Im
Allgemeinen verändert
ein Hinzufügen von
Gewicht zu der Massenlastschicht 381 den Frequenztemperaturkoeffizienten
nicht nennenswert, da die Massenlastschicht 381 hauptsächlich als „totes Gewicht" wirksam ist, das
sich nicht mit einer Temperaturveränderung ändert. Ein Hinzufügen von
mehr Massenbelastung verringert jedoch die erste Resonanzfrequenz
f01, was bei einer gegebenen Anwendung erwünscht sein
kann oder nicht. Je größer die Massenbelastung
ist, desto höher
ist die Schwebungsfrequenz fB.
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3B ist
eine Zeichnung einer weiteren Resonatorstruktur 390, wie
dieselbe in verschiedenen repräsentativen
Ausführungsbeispielen
beschrieben ist. In 3B weist das Paar von Resonatoren 390 den
ersten und den zweiten Resonator 111, 121 auf,
die in einer Seitenansicht gezeigt sind und die unter Verwendung
von Prozeduren, die mit einer Integrierte-Schaltung-Bearbeitung
kompatibel sind, hergestellt werden, wie bei 3A. Bei
diesem Beispiel sind die Resonatoren 111, 121 akustische Dünnfilmvolumenresonatoren
(FBARs). Die Resonatoren 111, 121 werden an dem
Substrat 305 hergestellt, bei dem es sich z. B. um Silizium 305 oder
ein anderes geeignetes Material handeln könnte. In 3B sind
die Resonatoren 111, 121 im Gegensatz zu 3A über einem
einzigen Hohlraum 313 hergestellt, der hier auch als Hohlraum 313 bezeichnet wird.
Der einzige Hohlraum 313 wird an der oberen Oberfläche 306 des
Substrats 305 erzeugt. Der einzige Hohlraum 313 isoliert
die Schwingteile der Resonatoren 111, 121 von
dem Substrat 305, um die Schwingenergie zu verringern,
die in dem Substrat 305 dissipiert wird, wie bei 3A.
Die Struktur von 3B kann jedoch zu mehr Schwingkopplung
zwischen den beiden Resonatoren 111, 121 führen, als bei
der Struktur von 3A zu finden wäre.
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Der
erste Resonator 111 wird über dem einzigen Hohlraum 313 hergestellt.
Der erste Resonator 111 umfasst die erste untere Elektrode 321,
die erste obere Elektrode 331 und die erste piezoelektrische Struktur 341,
die zwischen der ersten unteren Elektrode 321 und der ersten
oberen Elektrode 331 angeordnet ist. Die erste piezoelektrische
Struktur 341 umfasst die erste untere piezoelektrische
Schicht 351 auf der ersten unteren Elektrode 321,
die Interstitial- bzw.
Zwischenschicht 361 auf der ersten unteren piezoelektrischen
Schicht 351 und die erste obere piezoelektrische Schicht 371 auf
der Interstitialschicht 361. Auf der ersten oberen piezoelektrischen
Schicht 371 befindet sich die erste obere Elektrode 331. Ebenfalls
in 3B gezeigt ist die Massenlastschicht 381 auf
der ersten oberen Elektrode 331.
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Der
zweite Resonator 121 wird ebenfalls über dem einzigen Hohlraum 313 hergestellt.
Der zweite Resonator 121 umfasst die erste untere Elektrode 321 gemeinsam
mit dem ersten Resonator 111, die zweite obere Elektrode 332 und
die zweite piezoelektrische Struktur 342, die zwischen
der ersten unteren Elektrode 321 und der zweiten oberen
Elektrode 332 angeordnet ist. Die zweite piezoelektrische Struktur 342 umfasst
die zweite untere piezoelektrische Schicht 352 auf der
ersten unteren Elektrode 321 und die zweite obere piezoelektrische
Schicht 372 auf der zweiten unteren piezoelektrischen Schicht 352.
Auf der zweiten oberen piezoelektrischen Schicht 372 befindet
sich die zweite obere Elektrode 332. Zu Strukturzwecken
zeigt 3B auch eine untere piezoelektrische
Verbindungsschicht 352 und eine obere piezoelektrische
Verbindungsschicht 373.
-
Wie
in 3A könnten
die piezoelektrischen Schichten 351, 352, 371, 372 unter
Verwendung von Aluminiumnitrid (AlN) oder einem beliebigen geeigneten
piezoelektrischen Material hergestellt werden. In dem Fall von Aluminiumnitrid
könnten
die piezoelektrischen Schichten 351, 352, 371, 372 durch Dampfaufbringung
bei einem geeigneten Verarbeitungsschritt erzeugt werden. Bei den
Elektroden 321, 322, 331, 332 könnte es
sich z. B. um Molybdän
oder irgendeinen anderen geeigneten Leiter handeln. Im Idealfall
weist die Interstitialschicht 361 einen Steifheitskoeffizienten über Temperatur
auf, der größer als
derjenige der piezoelektrischen Schichten 351, 352, 371, 372 ist.
In einem derartigen Fall führt
der größere Steifheitskoeffizient über Temperatur
für die Interstitialschicht 361 zu
einem größeren ersten
Frequenztemperaturkoeffizienten TC1 als
bei dem zweiten Frequenztemperaturkoeffizienten TC2.
Da Molybdän
einen Steifheitskoeffizienten über
Temperatur aufweist, der größer als
der Steifheitskoeffizient über Temperatur
für Aluminiumnitrid
ist, könnte
Molybdän für die Interstitialschicht 361 verwendet
werden.
-
Aufgrund
der Massenlastschicht 381 und anderer Entwurfsüberlegungen,
die die Dicke der Interstitialschicht 361 sowie die relativen
Dicken der verschiedenen piezoelektrischen Schichten 351, 352, 371, 372 umfassen,
kann der erste Resonator 111 mit einer ersten Resonanzfrequenz
f01 (d. h. erste Frequenz) hergestellt werden,
die niedriger als die zweite Resonanzfrequenz f02 (d.
h. zweite Frequenz) des zweiten Resonators 121 ist.
-
3C ist
eine Zeichnung einer weiteren Resonatorstruktur 300, wie
dieselbe in verschiedenen repräsentativen
Ausführungsbeispielen
beschrieben ist. Bei dem alternativen Ausführungsbeispiel von 3C ist
die Interstitialschicht 361 des ersten Resonators 111 im
Gegensatz zu den Resonatorstrukturen 300, 390 der 3A und 3B weggelassen.
In 3C weist das Paar von Resonatoren 300 den
ersten und den zweiten Resonator 111, 121 auf,
die in einer Seitenansicht gezeigt sind und die unter Verwendung
von Prozeduren hergestellt werden, die mit einer Integrierte-Schaltung- Bearbeitung kompatibel
sind. Bei diesem Beispiel sind die Resonatoren 111, 121 akustische
Dünnfilmvolumenresonatoren
(FBARs). Die Resonatoren 111, 121 werden an einem
Substrat 305 hergestellt, bei dem es sich z. B. um Silizium 305 oder
ein anderes geeignetes Material handeln könnte, und die Resonatoren 111, 121 werden über einem
ersten Hohlraum 311 bzw. einem zweiten Hohlraum 312 hergestellt,
da dieselben akustische Resonatoren sind, die mechanische Wellen
verwenden. Die Hohlräume
isolieren den Schwingteil der Resonatoren 111, 121 von
dem Substrat 305, um die Schwingenergie zu verringern, die
ansonsten in dem Substrat 305 dissipiert würde. Der
erste und der zweite Hohlraum 311, 312 werden an
der oberen Oberfläche 306 des
Substrats 305 erzeugt.
-
Der
erste Resonator 111 wird über dem ersten Hohlraum 311 hergestellt
und überbrückt denselben.
Der erste Resonator 111 weist die erste untere Elektrode 321,
die erste piezoelektrische Schicht 351 (erste untere piezoelektrische
Schicht 351), die erste obere Elektrode 331 und
die Massenlastschicht 381 auf. Die erste piezoelektrische
Schicht 351 liegt auf der ersten unteren Elektrode 321;
die erste obere Elektrode 331 liegt auf der ersten piezoelektrischen Schicht 351;
und die Massenlastschicht 381 liegt auf der ersten oberen
Elektrode 331.
-
Der
zweite Resonator 121 wird über dem zweiten Hohlraum 312 hergestellt
und überbrückt denselben.
Der zweite Resonator 121 weist die zweite untere Elektrode 322,
die zweite piezoelektrische Schicht 352 (zweite untere
piezoelektrische Schicht 352) und die zweite obere Elektrode 332 auf.
Die zweite piezoelektrische Schicht 352 liegt auf der zweiten
unteren Elektrode 322; und die zweite obere Elektrode 332 liegt
auf der zweiten piezoelektrischen Schicht 352.
-
Die
piezoelektrischen Schichten 351, 352 könnten unter
Verwendung von Aluminiumnitrid (AlN) oder irgendeinem geeigneten
piezoelektrischen Material hergestellt werden.
-
In
dem Fall von Aluminiumnitrid könnten
die piezoelektrischen Schichten 351, 352 durch
Dampfaufbringung bei einem geeigneten Verarbeitungsschritt erzeugt
werden. Bei den Elektroden 321, 322, 331, 332 könnte es
sich z. B. um Molybdän
oder irgendeinen anderen geeigneten Leiter handeln.
-
Bevorzugt
ist die Massenlastschicht 381 bei dem Ausführungsbeispiel
von 3C ein Material, das eine große Steifheitsveränderung
mit der Temperatur aufweist, insbesondere größer als diejenige der zweiten
oberen Elektrode 332. Bei der Massenlastschicht 381 könnte es
sich um ein Oxid handeln. Ferner könnte es sich bei der Massenlastschicht 381 um ein
organisches Material handeln, das PMMA (Polymethylmethacrylat),
PY (ein Element der Polyimid-Familie
von organischen Materialien), BCB (Benzocyclobuten) oder ein anderes
geeignetes Material sein könnte.
Bei der Massenlastschicht 381 könnte es sich auch um ein Harz
handeln. Dieses Harz könnte
ein dielektrisches Niedrig-k-Harz
sein. Niedrig-k-Materialien weisen normalerweise dielektrische Konstanten
von kleiner oder gleich 3,5 auf. Ein Beispiel für ein geeignetes dielektrisches
Niedrig-k-Harz ist
das SiLK-Material von Dow Chemical. SiLK ist ein organisches Material,
das mit der Temperatur weich wird. Somit führt der größere Steifheitskoeffizient über Temperatur
der Massenlastschicht 381 zu einem größeren ersten Frequenztemperaturkoeffizienten
TC1 als bei dem zweiten Frequenztemperaturkoeffizienten
TC2. Eine zusätzliche Schutzschicht kann über der
Massenlastschicht 381 liegen.
-
Aufgrund
der Massenlastschicht 381 kann der erste Resonator 111 mit
einer ersten Resonanzfrequenz f01 (d. h.
erste Frequenz) hergestellt werden, die niedriger als die zweite
Resonanzfrequenz f02 (d. h. zweite Frequenz)
des zweiten Resonators 121 ist. Im Allgemeinen ist die
Resonanzfrequenz des Resonators umso niedriger, je größer das
Gewicht der Massenlastschicht 381 ist. Auch ist die Resonanzfrequenz des
Resonators umso niedriger, je dicker die ein oder mehr piezoelektrischen
Schichten sind.
-
Bei
diesem repräsentativen
Ausführungsbeispiel,
bei dem das Material der Massenlastschicht 381 sich von
dem Material der ersten und der zweiten oberen Elektrode 331, 332 unterscheidet,
können
die Dicke und das Material der Massenlastschicht 381 den
Frequenztemperaturkoeffizienten nennenswert verändern, wenn sich die Steifheit
der Massenlastschicht 381 mit einer Temperaturveränderung ändert. Je
größer die
Massenbelastung, desto höher
ist die Schwebungsfrequenz fB.
-
Bei
repräsentativen
Ausführungsbeispielen könnten der
erste und der zweite Resonator 111, 121 auch über nur
einem einzigen Hohlraum 313 hergestellt sein, ähnlich wie
derjenige von 3B.
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3D ist
eine Zeichnung einer weiteren Resonatorstruktur 300, wie
dieselbe in verschiedenen repräsentativen
Ausführungsbeispielen
beschrieben ist. Bei dem alternativen Ausführungsbeispiel von 3D ist
wie bei 3C die Interstitialschicht 361 des
ersten Resonators 111 im Gegensatz zu den Resonatorstrukturen 300, 390 der 3A und 3B weggelassen.
In 3D weist das Paar von Resonatoren 300 den
ersten und den zweiten Resonator 111, 121 auf,
die in einer Seitenansicht gezeigt sind und die unter Verwendung
von Prozeduren hergestellt werden, die mit einer Integrierte-Schaltung-Bearbeitung
kompatibel sind. Bei diesem Beispiel sind die Resonatoren 111, 121 akustische Dünnfilmvolumenresonatoren
(FBARs). Die Resonatoren 111, 121 werden an einem
Substrat 305 hergestellt, bei dem es sich z. B um Silizium 305 oder
ein anderes geeignetes Material handeln könnte, und die Resonatoren 111, 121 werden über einem
ersten Hohlraum 311 bzw. einem zweiten Hohlraum 312 hergestellt,
da dieselben akustische Resonatoren sind, die mechanische Wellen
verwenden. Die Hohlräume
isolieren den Schwingteil der Resonatoren 111, 121 von
dem Substrat 305, um die Schwingenergie zu verringern,
die ansonsten in dem Substrat 305 dissipiert würde. Der
erste und der zweite Hohlraum 311, 312 werden
an der oberen Oberfläche 306 des
Substrats 305 erzeugt.
-
Der
erste Resonator 111 wird über dem ersten Hohlraum 311 hergestellt
und überbrückt denselben.
Der erste Resonator 111 weist eine untere Massenlastschicht 382,
die erste unter Elektrode 321, die erste piezoelektrische
Schicht 351 (erste untere piezoelektrische Schicht 351),
die erste obere Elektrode 331 und eine optionale Massenlastschicht 381 auf. Die
erste untere Elektrode 321 liegt auf der unteren Massenlastschicht 382;
die erste piezoelektrische Schicht 351 liegt auf der ersten
unteren Elektrode 321; die erste obere Elektrode 331 liegt
auf der ersten piezoelektrischen Schicht 351; und die optionale Massenlastschicht 381 liegt
auf der ersten oberen Elektrode 331.
-
Bevorzugt
handelt es sich bei der unteren Massenlastschicht 382 bei
dem Ausführungsbeispiel von 3D um
ein Material, das eine große
Steifheitsveränderung
mit der Temperatur aufweist, insbesondere größer als diejenige der zweiten
unteren Elektrode 322. Bei der unteren Massenlastschicht 382 könnte es
sich um ein Oxid handeln. Ferner könnte es sich bei der unteren
Massenlastschicht 382 um ein organisches Material handeln,
das PMMA (Polymethylmethacrylat), PY (ein Element der Polyimid-Familie
von organischen Materialien), BCB (Benzocyclobuten) oder ein anderes
geeignetes Material sein könnte.
Bei der unteren Massenlastschicht 382 könnte es sich auch um ein Harz
handeln. Dieses Harz könnte
ein dielektrisches Niedrig-k-Harz sein. Niedrig-k-Materialien weisen
normalerweise dielektrische Konstanten von kleiner oder gleich 3,5 auf.
Ein Beispiel für
ein geeignetes dielektrisches Niedrig-k-Harz ist das SiLK-Material
von Dow Chemical. SiLK ist ein organisches Material, das mit der Temperatur
weich wird. Somit führt
der größere Steifheitskoeffizient über Temperatur
der unteren Massenlastschicht 382 zu einem größeren ersten
Frequenztemperaturko effizienten TC1 als
bei dem zweiten Frequenztemperaturkoeffizienten TC2.
-
Der
zweite Resonator 121 wird über dem zweiten Hohlraum 312 hergestellt
und überbrückt denselben.
Der zweite Resonator 121 weist die zweite untere Elektrode 322,
die zweite piezoelektrische Schicht 352 (zweite untere
piezoelektrische Schicht 352) und die zweite obere Elektrode 332 auf.
Die zweite piezoelektrische Schicht 352 liegt auf der zweiten
unteren Elektrode 322; und die zweite obere Elektrode 332 liegt
auf der zweiten piezoelektrischen Schicht 352.
-
Die
piezoelektrischen Schichten 351, 352 könnten unter
Verwendung von Aluminiumnitrid (AlN) oder irgendeinem geeigneten
piezoelektrischen Material hergestellt werden. In dem Fall von Aluminiumnitrid
könnten
die piezoelektrischen Schichten 351, 352 durch
Dampfaufbringung bei einem geeigneten Verarbeitungsschritt erzeugt
werden. Bei den Elektroden 321, 322, 331, 332 könnte es
sich z. B. um Molybdän
oder irgendeinen anderen geeigneten Leiter handeln. Bei der Massenlastschicht 381 könnte es sich
z. B. um Molybdän
oder irgendein anderes geeignetes Material handeln.
-
Aufgrund
der unteren Massenlastschicht 382 kann der erste Resonator 111 mit
einer ersten Resonanzfrequenz f01 (d. h.
erste Frequenz) hergestellt werden, die niedriger als die zweite
Resonanzfrequenz f02 (d. h. zweite Frequenz)
des zweiten Resonators 121 ist. Im Allgemeinen ist die
Resonanzfrequenz des Resonators umso niedriger, je größer das Gewicht
der unteren Massenlastschicht 382 und das Gewicht der Massenlastschicht 381 ist.
Auch ist die Resonanzfrequenz des Resonators umso niedriger, je
dicker die ein oder mehr piezoelektrischen Schichten sind.
-
Bei
diesem repräsentativen
Ausführungsbeispiel,
bei dem sich das Material der unteren Massenlastschicht 382 von
dem Material der zweiten unteren Elektrode 322 unterscheidet,
können
die Dicke und das Material der unteren Massenlastschicht 382 den Frequenztemperaturkoeffizienten
nennenswert verändern,
wenn sich die Steifheit der unteren Massenlastschicht 382 mit
einer Temperaturveränderung ändert. Je
größer die
Massenbelastung ist, desto höher ist
die Schwebungsfrequenz fB.
-
Bei
repräsentativen
Ausführungsbeispielen könnten der
erste und der zweite Resonator 111, 121 auch über nur
einem einzigen Hohlraum 313 hergestellt sein, ähnlich dem
von 3B.
-
4 ist
ein Flussdiagramm eines Verfahrens 400 zum Herstellen der
Resonatorstrukturen 300, 390 der 3A und 3B.
Bei Block 410 werden bei der Resonatorstruktur 300 von 3A die Hohlräume 311, 312 in
das Substrat 305 geätzt.
Bei der anderen Resonatorstruktur 390 von 3B wird jedoch
nur der einzige Hohlraum 313 in das Substrat 305 geätzt. Block 410 übergibt
dann die Steuerung an Block 420.
-
Bei
Block 420 werden bei der Resonatorstruktur 300 von 3A die
Hohlräume 311, 312 mit einem
Opfermaterial gefüllt.
Bei der anderen Resonatorstruktur 390 von 3B wird
der einzige Hohlraum 313 mit dem Opfermaterial gefüllt. Das
Opfermaterial kann später
entfernt werden und könnte
ein Phosphorquarzglasmaterial sein. Block 420 übergibt dann
die Steuerung an Block 430.
-
Bei
Block 430 werden bei der Resonatorstruktur 300 von 3A die
erste und die zweite untere Elektrode 321, 322 hergestellt.
Bei der anderen Resonatorstruktur 390 von 3B wird
die erste untere Elektrode 321 hergestellt. In dem Fall
von 3A können
die erste und die zweite untere Elektrode 321, 322,
oder in dem Fall von 3B die erste untere Elektrode 321,
unter Verwendung von bekannten Technologien, wie z. B. Metallaufbringung und
Photolithographie, hergestellt werden. Beispielsweise könnte eine Schicht
von Molybdän
auf einen Wafer aufgebracht werden, gefolgt von dem Schleudern von
Photoresist auf den Wafer, der Photoresist könnte belichtet werden, um den
Photoresist geeignet zu strukturieren, der Photoresist könnte nachfolgend
entwickelt werden, und dann könnte
das Molybdän
geätzt
werden. Block 430 übergibt
dann die Steuerung an Block 440.
-
Bei
Block 440 werden die unteren piezoelektrischen Schichten 351, 352 (bei
denen es sich um die gleiche Schicht handeln könnte, die zur gleichen Zeit
aufgetragen wird, und die hier zusammen vor einem Strukturieren
als die untere piezoelektrische Waferschicht 350 bezeichnet
wird) über
den unteren Elektroden 321, 322 bei der Resonatorstruktur 300 von 3A aufgebracht.
Bei der anderen Resonatorstruktur 390 von 3B werden
die unteren piezoelektrischen Schichten 351, 352 über der
ersten unteren Elektrode 321 aufgebracht. Erneut werden bekannte
Photolithographieschritte verwendet, um die erste und die zweite
untere piezoelektrische Schicht 351, 352 zu definieren
und zu erzeugen. Beispielsweise könnte eine Schicht aus Aluminiumnitrid auf
einen Wafer aufgebracht werden, gefolgt von dem Schleudern von Photoresist
auf den Wafer, der Photoresist könnte
belichtet werden, um den Photoresist geeignet zu strukturieren,
der Photoresist könnte
nachfolgend entwickelt werden, und dann könnte das Aluminiumnitrid geätzt werden.
Block 440 übergibt
dann die Steuerung an Block 450.
-
Bei
Block 450 wird die Interstitialschicht 361 auf
der ersten unteren piezoelektrischen Schicht 351 des ersten
Resonators 111 hinzugefügt.
Die Interstitialschicht 361 kann unter Verwendung von bekannten
Technologien, wie z. B. Metallaufbringung und Photolithographie,
hergestellt werden. Beispielsweise könnte eine Schicht aus Molybdän auf einen
Wafer aufgebracht werden, gefolgt von dem Schleudern von Photoresist
auf das Substrat 305. Der Photoresist könnte belichtet werden, um den
Photoresist geeignet zu strukturieren, der Photoresist könnte nachfolgend
entwi ckelt werden, und dann könnte
das Molybdän
geätzt
werden. Block 450 übergibt
dann die Steuerung an Block 460.
-
Bei
Block 460 werden die oberen piezoelektrischen Schichten 371, 372 (bei
denen es sich um die gleiche Schicht handeln könnte, die zur gleichen Zeit aufgebracht
wird und die hier zusammen vor einem Strukturieren als die obere
piezoelektrische Waferschicht 370 bezeichnet wird) über der
Interstitialschicht 361 bei dem ersten Resonator 111 und über der
zweiten unteren piezoelektrischen Schicht 352 bei dem zweiten
Resonator 121 aufgebracht. Erneut werden bekannte Photolithographieschritte
verwendet, um die erste und die zweite obere piezoelektrische Schicht 371, 372 zu
definieren und zu erzeugen. Beispielsweise könnte eine Schicht aus Aluminiumnitrid
auf den Wafer aufgebracht werden, gefolgt von dem Schleudern von
Photoresist auf den Wafer, der Photoresist könnte belichtet werden, um den Photoresist
geeignet zu strukturieren, der Photoresist könnte nachfolgend entwickelt
werden, und dann könnte
das Aluminiumnitrid geätzt
werden. Block 460 übergibt
dann die Steuerung an Block 470.
-
Bei
Block 470 werden die erste und die zweite obere Elektrode 331, 332 hergestellt.
Die erste und die zweite obere Elektrode 371, 372 können unter Verwendung
von bekannten Technologien, wie z. B. Metallaufbringung und Photolithographie,
hergestellt werden. Beispielsweise könnte eine Schicht aus Molybdän auf die
oberen piezoelektrischen Schichten 371, 372 aufgebracht
werden, gefolgt von dem Schleudern von Photoresist auf das aufgebrachte Molybdän. Der Photoresist
könnte
belichtet werden, um den Photoresist geeignet zu strukturieren,
der Photoresist könnte
nachfolgend entwickelt werden, und dann könnte das Molybdän geätzt werden,
um die erste und die zweite obere Elektrode 331, 332 zu erzeugen.
Block 470 übergibt
dann die Steuerung an Block 480.
-
Bei
Block 480 wird die Massenlastschicht 381 auf der
ersten oberen Elektrode 331 des ersten Resonators 111 hinzugefügt. Die
Massenlastschicht 381 kann unter Verwendung von bekannten
Technologien, wie z. B. Metallaufbringung und Photolithographie,
hergestellt werden. Beispielsweise könnte eine Schicht aus Molybdän oder einem
anderen Material auf einen Wafer aufgebracht werden, gefolgt von
dem Schleudern von Photoresist auf den Wafer. Der Photoresist könnte belichtet
werden, um den Photoresist geeignet zu strukturieren, der Photoresist könnte nachfolgend
entwickelt werden, und dann könnte
das Molybdän
geätzt
werden, um die Massenlastschicht 381 über der ersten oberen Elektrode 331 zurückzulassen.
Block 480 übergibt
dann die Steuerung an Block 485.
-
Bei
Block 485 werden ein Teil der Dicke der ersten oberen Elektrode 331 und
ein Teil der Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 entfernt,
oder ein Teil der Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 und ein
Teil der Dicke der Massenlastschicht 381 werden entfernt.
Wie es angemessen ist, können
die Aktionen von Block 485 stattdessen vor den Aktionen
von Block 480 erfolgen. Block 485 übergibt
dann die Steuerung an Block 490.
-
Bei
Block 490 wird ein Teil der Dicke der ersten piezoelektrischen
Schicht 351 entfernt, während die
Dicke der zweiten piezoelektrischen Schicht 352 aufrechterhalten
wird, ein Teil der Dicke der zweiten piezoelektrischen Schicht 352 wird
entfernt, während die
Dicke der ersten piezoelektrischen Schicht 351 aufrechterhalten
wird, ein Teil der Dicke der ersten oberen Elektrode 331 wird
entfernt, während
die Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 aufrechterhalten
wird, ein Teil der Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 wird
entfernt, während
die Dicke der ersten oberen Elektrode 331 aufrechterhalten
wird, ein Teil der Dicke der Massenlastschicht 381 wird
entfernt, während
die Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 aufrechterhalten
wird, oder ein Teil der Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 wird
entfernt, während die
Dicke der Massenlastschicht 381 aufrechterhalten wird.
Wie es angemessen ist, können
die Aktionen von Block 490 stattdessen vor den Aktionen
von Block 470 oder vor den Aktionen von Block 480 erfolgen.
Block 490 übergibt
dann die Steuerung an Block 495.
-
Bei
Block 495 wird bei der Resonatorstruktur 300 von 3A das
Opfermaterial, das vorhergehend in den Hohlräumen 311, 312 deponiert
wurde, entfernt. Bei der anderen Resonatorstruktur 390 von 3B wird
das Opfermaterial, das vorhergehend in dem einzigen Hohlraum 313 deponiert
wurde, entfernt. Falls es sich bei dem Opfermaterial um ein Glas handeln
sollte, kann Flusssäure
verwendet werden, um dasselbe aus den Hohlräumen 311, 312 oder dem
einzigen Hohlraum 313 zu ätzen, wie es angemessen ist.
Block 495 beendet dann den Prozess.
-
Beispielsweise
kann der erste Oszillator 110 den ersten Resonator 111 verwenden,
um das erste Schwingsignal 115 mit einer ersten Frequenz
f01 von 2,3 GHz zu erzeugen, und der zweite
Oszillator 120 kann den zweiten Resonator 121 verwenden,
um das zweite Schwingsignal 125 mit einer zweiten Frequenz
f02 von 2,0 GHz zu erzeugen. Die Schwebungsfrequenz
fB läge
dann bei 300 MHz.
-
Wie
es einem Fachmann bekannt ist, können bei
anderen repräsentativen
Ausführungsbeispielen verschiedene
Veränderungen
bei den im Vorhergehenden beschriebenen Prozessen vorgenommen werden,
um ähnliche
Strukturen wie diejenigen, die soeben beschrieben worden sind, zu
bewirken. Insbesondere könnte
der oben genannte Prozess derart modifiziert werden, dass nur der
erste Resonator 111 von 3A an
dem Substrat 305 hergestellt wird. Bei einem derartigen
Fall können
sowohl die erste Frequenz f01 als auch der
Frequenztemperaturkoeffizient TC unter Verwendung
der obigen Lehren modifiziert werden. Falls die Interstitialschicht 361 einen
Steifheitskoeffizienten über
Temperatur aufweist, der geringer ist als derjenige der ersten unteren
piezoelektrischen Schicht 351 und der ersten oberen piezoelektrischen Schicht 371,
ist der erste Frequenztemperaturkoeffizient TC1 geringer
als es derselbe ohne das Vorhandensein der Interstitialschicht 361 wäre. Unabhängig davon
kann durch ein Einstellen der Parameter der Interstitialschicht 361 der
erste Frequenztemperaturkoeffizient TC1 eingestellt
werden. Ferner könnten
durch ein Aufnehmen eines zusätzlichen photolithographischen
Schritts in Verbindung mit einem Ionenfrässchritt eine oder beide der
ersten und der zweiten Frequenz f01, f02 modifiziert werden. Auch könnte durch
eine geeignete Entfernung bestimmter Schritte, z. B. der Schritte
bei (1) Block 450 (Interstitialschicht hinzufügen) und
bei (2) Block 460 (obere piezoelektrische Schichten hinzufügen), das
repräsentative
Ausführungsbeispiel
von 3C hergestellt werden.
-
5A ist
eine graphische Darstellung von Schaltungsfrequenztemperaturkoeffizient
TCC über entfernte
Dicke der oberen Resonatorschicht 395 bei den Resonatorstrukturen 300, 390 der 3A–3B.
Die Massenlastschicht 381 und die zweite obere Elektrode 332 werden
gemeinsam hier als die obere Resonatorschicht 395 bezeichnet,
die in den Zeichnungen nicht speziell identifiziert ist. 5B ist
eine graphische Darstellung von Schwebungsfrequenz fB über Dicke
der entfernten oberen Resonatorschicht 395 bei der Resonatorstruktur 300 von 3A und
der anderen Resonatorstruktur 390 von 3B.
Bei den 5A–5B wird
das Material der oberen Resonatorschicht 395 unter Verwendung
eines Generalentfernungsprozesses, bei dem es sich um ein Ionenfräsen handeln
könnte, über den Wafer
entfernt, was gleiche Mengen der Massenlastschicht 381 und
der zweiten obere Elektrode 332 entfernt. Das Generalionenfräsen stellt
sowohl die erste als auch die zweite Resonanzfrequenz f01,
f02 des ersten und des zweiten Resonators 111, 121 sowie
den ersten und den zweiten Frequenztemperaturkoeffizienten TC1, TC2 des ersten
und des zweiten Resonators 111, 121 ein. Dabei
stellt das Generalionenfräsen
sowohl die sich ergebende Schwebungsfrequenz fB der
Schwingschaltung 100 als auch die Endtemperaturdrift (den
Schaltungsfrequenztempera turkoeffizienten TCC)
der Schwebungsfrequenz fB ein. Somit kann
das Generalionenfräsen
verwendet werden, um entweder die Schwebungsfrequenz fB der Schwingschaltung 100 oder
die Endtemperaturdrift (den Schaltungsfrequenztemperaturkoeffizienten TCC) der Schwebungsfrequenz fB,
jedoch nicht beide, anzuvisieren. Das Generalionenfräsen könnte auch bei
der ersten und der zweiten oberen Elektrode 331, 332 vor
dem Hinzufügen
der Massenlastschicht 381 durchgeführt werden.
-
6A ist
eine graphische Darstellung von Schaltungsfrequenztemperaturkoeffizient
TCC über entfernte
Dicke der Massenlastschicht 381 bei den Resonatorstrukturen 300, 390 der 3A–3B. 6B ist
eine graphische Darstellung von Schwebungsfrequenz fB über entfernte
Dicke der Massenlastschicht 381 bei den Resonatorstrukturen 300, 390 der 3A–3B.
In den 6A–6B wird
der Dickeentfernungsprozess als ein Differenzionenfräsprozess
bezeichnet, der Material von der Massenlastschicht 381 entfernt,
jedoch auch verwendet hätte
werden können,
um Material von der zweiten oberen Elektrode 332 zu entfernen.
Somit kann das Differenzionenfräsen
entweder die erste oder die zweite Resonanzfrequenz f02,
f02 des ersten bzw. des zweiten Resonators 111, 121 sowie
den ersten oder den zweiten Frequenztemperaturkoeffizienten TC1, TC2 des ersten
bzw. des zweiten Resonators 111, 121 einstellen.
Dabei stellt das Differenzionenfräsen sowohl die sich ergebende
Schwebungsfrequenz fB der Schwingschaltung 100 als
auch die Endtemperaturdrift (den Schaltungsfrequenztemperaturkoeffizienten
TCC) der Schwebungsfrequenz fB ein.
Somit kann das Differenzionenfräsen
verwendet werden, um entweder die Schwebungsfrequenz fB der
Schwingschaltung 100 oder die Endtemperaturdrift (den Schaltungsfrequenztemperaturkoeffizienten
TCC) der Schwebungsfrequenz fB,
jedoch nicht beide, anzuvisieren. Der Differenzionenfräsprozess
könnte
auch verwendet werden, um einen Teil der Dicke der ersten piezoelektrischen
Schicht 351 zu entfernen, während die Dicke der zweiten
piezoelektrischen Schicht 352 aufrechterhalten wird, um
einen Teil der Dicke der zweiten piezoelektrischen Schicht 352 zu
entfernen, während
die Dicke der ersten piezoelektrischen Schicht 351 aufrechterhalten
wird, um einen Teil der Dicke der ersten oberen Elektrode 331 zu
entfernen, während
die Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 aufrechterhalten
wird, um einen Teil der Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 zu
entfernen, während die
Dicke der ersten oberen Elektrode 331 aufrechterhalten
wird, um einen Teil der Dicke der Massenlastschicht 381 zu
entfernen, während
die Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 aufrechterhalten
wird, oder um einen Teil der Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 zu
entfernen, während
die Dicke der Massenlastschicht 381 aufrechterhalten wird.
-
Aus
den 6A–6B ist
ersichtlich, dass es möglich
ist, ein Differenzionenfräsen
durchzuführen,
um entweder die Endschwebungsfrequenz fB oder
den Endschaltungsfrequenztemperaturkoeffizienten TCC entweder
vor oder nach dem Anvisieren des Generalionenfräsprozesses anzuvisieren. Somit ist
es durch ein Kombinieren dieser beiden Prozesse (Generalionenfräsen und
Differenzionenfräsen)
möglich,
sowohl eine gewünschte
Schwebungsfrequenz fB als auch einen Schaltungsfrequenztemperaturkoeffizienten
TCC (d. h. den Frequenztemperaturkoeffizienten
der Schwebungsfrequenz fB) anzuvisieren.
-
Bei
einem repräsentativen
Beispiel kann eine Schwebungsfrequenz fB mit
165 MHz und in etwa 0ppm/C-Schaltungsfrequenztemperaturkoeffizient
TCC unter Verwendung von 500A Molybdän in der Mitte
der ersten piezoelektrischen Struktur 341 erzeugt werden.
Repräsentative
Werte für
die Resonatorstruktur 300 sind folgende: (1) erste untere
Elektrode 321, zweite untere Elektrode 322, erste
obere Elektrode 331 und zweite obere Elektrode 332 mit
jeweils 1.500 Angström
Molybdän,
(2) erste untere piezoelektrische Schicht 351, zweite untere
piezoelektrische Schicht 352, erste obere piezoelektrische Schicht 371 und
zweite obere piezoelektrische Schicht 372 mit jeweils 1,1
Mikrometer Aluminiumnitrid, und (3) für die Interstitial schicht 361 und
für die Massenlastschicht 381 mit
jeweils 1.000 Angström Molybdän.
-
7 ist
ein Flussdiagramm eines Verfahrens 700 zum Herstellen der
Resonatorstruktur 300 von 3C. Bei
geeigneter Modifizierung kann dieser Prozess auch verwendet werden,
um eine Struktur wie in 3C, jedoch
mit nur dem einzigen Hohlraum 313, wie es in 3B gezeigt
ist, zu erzeugen. Bei Block 710 werden die Hohlräume 311, 312 oder der
einzige Hohlraum 313 in das Substrat 305 geätzt. Block 710 übergibt
dann die Steuerung an Block 720.
-
Bei
Block 720 werden die Hohlräume 311, 312 oder
der einzige Hohlraum 313 mit einem Opfermaterial gefüllt. Das
Opfermaterial kann später
entfernt werden und könnte
ein Phosphorquarzglasmaterial sein. Block 720 übergibt
dann die Steuerung an Block 730.
-
Bei
Block 730 werden die erste und die zweite untere Elektrode 321, 322 hergestellt
oder es wird eine kombinierte erste untere Elektrode 321 hergestellt.
Die erste und die zweite untere Elektrode 321, 322 oder
die erste untere Elektrode 321 können unter Verwendung von bekannten
Technologien, wie z. B. Metallaufbringung und Photolithographie,
hergestellt werden. Beispielsweise könnte eine Schicht aus Molybdän auf einen
Wafer aufgebracht werden, gefolgt von dem Schleudern von Photoresist
auf den Wafer, der Photoresist könnte
belichtet werden, um den Photoresist geeignet zu strukturieren,
der Photoresist könnte
nachfolgend entwickelt werden, und dann könnte das Molybdän geätzt werden.
Block 730 übergibt
dann die Steuerung an Block 740.
-
Bei
Block 740 werden die erste und die zweite piezoelektrische
Schicht 351, 352 (bei denen es sich um die gleiche
Schicht handeln könnte,
die zur gleichen Zeit aufgebracht wird und die hier gemeinsam vor
einem Strukturieren als die untere piezoelektrische Waferschicht 350 bezeichnet
wird) über
der ersten und der zweiten Elektrode 321, 322 oder über der
kombinierten unteren Elektrode 321 aufgebracht. Erneut
werden bekannte Photolithographieschritte verwendet, um die erste
und die zweite piezoelektrische Schicht 351, 352 zu
definieren und zu erzeugen. Beispielsweise könnte eine Schicht aus Aluminiumnitrid
auf einen Wafer aufgebracht werden, gefolgt von dem Schleudern von
Photoresist auf den Wafer, der Photoresist könnte belichtet werden, um den Photoresist
geeignet zu strukturieren, der Photoresist könnte nachfolgend entwickelt
werden, und dann könnte
das Aluminiumnitrid geätzt
werden. Block 740 übergibt
dann die Steuerung an Block 770.
-
Bei
Block 770 werden die erste und die zweite obere Elektrode 331, 332 hergestellt.
Die erste und die zweite obere Elektrode 331, 332 können unter Verwendung
bekannter Technologien, wie z. B. Metallaufbringung und Photolithographie,
hergestellt werden. Beispielsweise könnte eine Schicht aus Molybdän auf die
erste und die zweite piezoelektrische Schicht 351, 352 aufgebracht
werden, gefolgt von dem Schleudern von Photoresist auf das aufgebrachte
Molybdän.
Der Photoresist könnte
belichtet werden, um den Photoresist geeignet zu strukturieren, der
Photoresist könnte
nachfolgend entwickelt werden, und dann könnte das Molybdän geätzt werden, um
die erste und die zweite obere Elektrode 331, 332 zu
erzeugen. Block 770 übergibt
dann die Steuerung an Block 780.
-
Bei
Block 780 wird die Massenlastschicht 381 auf der
ersten oberen Elektrode 331 des ersten Resonators 111 hinzugefügt. Die
Massenlastschicht 381 kann unter Verwendung von bekannten
Technologien, wie z. B. Aufbringung und Photolithographie, hergestellt
werden. Der Temperaturkoeffizient der Steifheit der Massenlastschicht 381 bei
diesem Ausführungsbeispiel
unterscheidet sich von demjenigen der zweiten oberen Elektrode 332.
Es existieren verschiedene Optionen für die Massenlastschicht 381, wie
es im Vorhergehenden erörtert
ist. Sollte es sich bei der Massenlastschicht 381 um ein
organisches Material oder ein Harz handeln, könnte das organische Material
oder das Harz auf einen Wafer aufgebracht werden, gefolgt von dem
Schleudern von Photoresist auf den Wafer. Der Photoresist könnte belichtet
werden, um den Photoresist geeignet zu strukturieren, der Photoresist
könnte
nachfolgend entwickelt werden, und dann könnte das Material geätzt werden,
um die Massenlastschicht 381 über der ersten oberen Elektrode 331 zurückzulassen.
Block 780 übergibt
dann die Steuerung an Block 785.
-
Bei
Block 785 werden ein Teil der Dicke der ersten oberen Elektrode 331 und
ein Teil der Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 entfernt,
oder ein Teil der Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 und ein
Teil der Dicke der Massenlastschicht 381 werden entfernt.
Wie es angemessen ist, können
die Aktionen von Block 785 stattdessen vor den Aktionen
von Block 780 erfolgen. Block 785 übergibt
dann die Steuerung an Block 790.
-
Bei
Block 790 wird ein Teil der Dicke der ersten piezoelektrischen
Schicht 351 entfernt, während die
Dicke der zweiten piezoelektrischen Schicht 352 aufrechterhalten
wird, ein Teil der Dicke der zweiten piezoelektrischen Schicht 352 wird
entfernt, während die
Dicke der ersten piezoelektrischen Schicht 351 aufrechterhalten
wird, ein Teil der Dicke der ersten oberen Elektrode 331 wird
entfernt, während
die Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 aufrechterhalten
wird, ein Teil der Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 wird
entfernt, während
die Dicke der ersten oberen Elektrode 331 aufrechterhalten
wird, ein Teil der Dicke der Massenlastschicht 381 wird
entfernt, während
die Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 aufrechterhalten
wird, oder ein Teil der Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 wird
entfernt, während die
Dicke der Massenlastschicht 381 aufrechterhalten wird.
Wie es angemessen ist, können
die Aktionen von Block 790 stattdessen vor den Aktionen
von Block 770 oder vor den Aktionen von Block 780 oder vor
den Aktionen von Block 785 erfolgen. Block 790 übergibt
dann die Steuerung an Block 795.
-
Bei
Block 795 wird das Opfermaterial, das vorhergehend in den
Hohlräumen 311, 312 oder
dem einzigen Hohlraum 313 deponiert wurde, entfernt. Sollte
es sich bei dem Opfermaterial um ein Glas handeln, kann Flusssäure verwendet
werden, um dasselbe aus den Hohlräumen 311, 312 oder
dem einzigen Hohlraum 313 zu ätzen, wie es angemessen ist.
Block 795 beendet dann den Prozess.
-
Bei
einem alternativen Ausführungsbeispiel des
oben angeführten
Verfahrens wird die Massenlastschicht 381 auf der ersten
piezoelektrischen Schicht 351 des ersten Resonators 111 vor
dem Schritt, der die erste und die zweite obere Elektrode 331, 332 hinzufügt, hinzugefügt. In anderen
Worten wird die Reihenfolge der Blöcke 770 und 780 umgekehrt.
-
8 ist
ein Flussdiagramm eines Verfahrens 800 zum Herstellen der
Resonatorstruktur 300 von 3D. Bei
geeigneter Modifizierung kann dieser Prozess auch verwendet werden,
um eine Struktur wie in 3D, jedoch
mit nur dem einzigen Hohlraum 313, wie es in 3B gezeigt
ist, zu erzeugen. Bei Block 810 werden die Hohlräume 311, 312 oder der
einzige Hohlraum 313 in das Substrat 305 geätzt. Block 810 übergibt
dann die Steuerung an Block 820.
-
Bei
Block 820 werden die Hohlräume 311, 312 oder
der einzige Hohlraum 313 mit einem Opfermaterial gefüllt. Das
Opfermaterial kann später
entfernt werden und könnte
ein Phosphorquarzglasmaterial sein. Block 820 übergibt
dann die Steuerung an Block 825.
-
Bei
Block 825 wird die untere Massenlastschicht 382 hergestellt.
Die untere Massenlastschicht 382 kann unter Verwendung
von bekannten Technologien, wie z. B. Aufbringung und Photolithographie, hergestellt
werden. Der Temperaturkoeffizient der Steifheit der unteren Massenlastschicht 382 bei
diesem Ausführungsbeispiel
unterscheidet sich von demjeni gen der zweiten unteren Elektrode 322 oder der
kombinierten unteren Elektrode 321 in dem Fall eines einzigen
Hohlraums 313. Es existieren verschiedene Optionen für die untere
Massenlastschicht 382, wie es im Vorhergehenden erörtert ist.
Sollte es sich bei der unteren Massenlastschicht 382 um
ein organisches Material oder ein Harz handeln, könnte das
organische Material oder das Harz auf einen Wafer aufgebracht werden,
gefolgt von dem Schleudern von Photoresist auf den Wafer. Der Photoresist
könnte
belichtet werden, um den Photoresist geeignet zu strukturieren,
der Photoresist könnte
nachfolgend entwickelt werden, und dann könnte das Material geätzt werden,
um die untere Massenlastschicht 382 über der ersten oberen Elektrode 331 zurückzulassen.
Block 825 übergibt
dann die Steuerung an Block 830.
-
Bei
Block 830 werden die erste und die zweite untere Elektrode 321, 322 hergestellt
oder es wird eine kombinierte erste untere Elektrode 321 hergestellt.
Die erste und die zweite untere Elektrode 321, 322 oder
die erste untere Elektrode 321 können unter Verwendung von bekannten
Technologien, wie z. B. Metallaufbringung und Photolithographie,
hergestellt werden. Beispielsweise könnte eine Schicht aus Molybdän auf einen
Wafer aufgebracht werden, gefolgt von dem Schleudern von Photoresist
auf den Wafer, der Photoresist könnte
belichtet werden, um den Photoresist geeignet zu strukturieren,
der Photoresist könnte
nachfolgend entwickelt werden, und dann könnte das Molybdän geätzt werden.
Block 830 übergibt
dann die Steuerung an Block 840.
-
Bei
Block 840 werden die erste und die zweite piezoelektrische
Schicht 351, 352 (bei denen es sich um die gleiche
Schicht handeln könnte,
die zur gleichen Zeit aufgebracht wird und die hier gemeinsam vor
einem Strukturieren als die untere piezoelektrische Waferschicht 350 bezeichnet
wird) über
der ersten und der zweiten Elektrode 321, 322 oder
der kombinierten unteren Elektrode 321 aufgebracht. Erneut
werden bekannte Photolithographieschritte verwendet, um die erste
und die zweite piezoelektrische Schicht 351, 352 zu
definieren und zu erzeugen. Beispielsweise könnte eine Schicht aus Aluminiumnitrid auf
einen Wafer aufgebracht werden, gefolgt von dem Schleudern von Photoresist
auf den Wafer, der Photoresist könnte
belichtet werden, um den Photoresist geeignet zu strukturieren,
der Photoresist könnte
nachfolgend entwickelt werden, und dann könnte das Aluminiumnitrid geätzt werden.
Block 840 übergibt
dann die Steuerung an Block 870.
-
Bei
Block 870 werden die erste und die zweite obere Elektrode 331, 332 hergestellt.
Die erste und die zweite obere Elektrode 331, 332 können unter Verwendung
bekannter Technologien, wie z. B. Metallaufbringung und Photolithographie,
hergestellt werden. Beispielsweise könnte eine Schicht aus Molybdän auf die
erste und die zweite piezoelektrische Schicht 351, 352 aufgebracht
werden, gefolgt von dem Schleudern von Photoresist auf das aufgebrachte
Molybdän.
Der Photoresist könnte
belichtet werden, um den Photoresist geeignet zu strukturieren, der
Photoresist könnte
nachfolgend entwickelt werden, und dann könnte das Molybdän geätzt werden, um
die erste und die zweite obere Elektrode 331, 332 zu
erzeugen. Block 870 übergibt
dann die Steuerung an Block 880.
-
Bei
Block 880 wird die Massenlastschicht 381 auf der
ersten oberen Elektrode 331 des ersten Resonators 111 hinzugefügt. Die
Massenlastschicht 381 kann unter Verwendung von bekannten
Technologien, wie z. B. Aufbringung und Photolithographie, hergestellt
werden. Molybdän
könnte
z. B. auf einen Wafer aufgebracht werden, gefolgt von dem Schleudern
von Photoresist auf den Wafer. Der Photoresist könnte belichtet werden, um den
Photoresist geeignet zu strukturieren, der Photoresist könnte nachfolgend
entwickelt werden, und dann könnte
das Molybdän
geätzt
werden, um die Massenlastschicht 381 über der ersten oberen Elektrode 331 zurückzulassen.
Block 880 übergibt
dann die Steuerung an Block 885.
-
Bei
Block 885 werden ein Teil der Dicke der ersten oberen Elektrode 331 und
ein Teil der Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 entfernt,
oder ein Teil der Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 und ein
Teil der Dicke der Massenlastschicht 381 werden entfernt.
Wie es angemessen ist, können
die Aktionen von Block 885 stattdessen vor den Aktionen
von Block 880 erfolgen. Block 885 übergibt
dann die Steuerung an Block 890.
-
Bei
Block 890 wird ein Teil der Dicke der ersten piezoelektrischen
Schicht 351 entfernt, während die
Dicke der zweiten piezoelektrischen Schicht 352 aufrechterhalten
wird, ein Teil der Dicke der zweiten piezoelektrischen Schicht 352 wird
entfernt, während die
Dicke der ersten piezoelektrischen Schicht 351 aufrechterhalten
wird, ein Teil der Dicke der ersten oberen Elektrode 331 wird
entfernt, während
die Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 aufrechterhalten
wird, ein Teil der Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 wird
entfernt, während
die Dicke der ersten oberen Elektrode 331 aufrechterhalten
wird, ein Teil der Dicke der Massenlastschicht 381 wird
entfernt, während
die Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 aufrechterhalten
wird, oder ein Teil der Dicke der zweiten oberen Elektrode 332 wird
entfernt, während die
Dicke der Massenlastschicht 381 aufrechterhalten wird.
Wie es angemessen ist, können
die Aktionen von Block 890 stattdessen vor den Aktionen
von Block 870 oder vor den Aktionen von Block 880 oder vor
den Aktionen von Block 885 erfolgen. Block 890 übergibt
dann die Steuerung an Block 895.
-
Bei
Block 895 wird das Opfermaterial, das vorhergehend in den.
Hohlräumen 311, 312 oder dem
einzigen Hohlraum 313 deponiert wurde, entfernt. Sollte
es sich bei dem Opfermaterial um ein Glas handeln, kann Flusssäure verwendet
werden, um dasselbe aus den Hohlräumen 311, 312 oder dem
einzigen Hohlraum 313 zu ätzen, wie es angemessen ist.
Block 895 beendet dann den Prozess.
-
Bei
einem alternativen Ausführungsbeispiel des
oben angeführten
Verfahrens wird die untere Massenlastschicht 382 unter
der ersten piezoelektrischen Schicht 351 des ersten Resonators 111 nach dem
Schritt, der die erste und die zweite obere Elektrode 331, 332 hinzufügt, hinzugefügt. In anderen Worten
wird die Reihenfolge der Blöcke 825 und 830 umgekehrt.
-
9 ist
ein Flussdiagramm eines Verfahrens 900 zum Herstellen eines
Teils der Schwingschaltung 100 von 1. Bei Block 910 wird
ein erster Oszillator 110, der konfiguriert ist, um ein
erstes Schwingsignal 115 mit einer ersten Frequenz f01 zu erzeugen, und der einen ersten Frequenztemperaturkoeffizienten
TC1 aufweist, hergestellt. Block 910 übergibt
dann die Steuerung an Block 920.
-
Bei
Block 920 wird ein zweiter Oszillator 120 hergestellt,
der konfiguriert ist, um ein zweites Schwingsignal 125 mit
einer zweiten Frequenz f02 zu erzeugen,
und der einen zweiten Frequenztemperaturkoeffizienten TC2 aufweist,
wobei die zweite Frequenz f02 größer ist
als die erste Frequenz f01, wobei der zweite
Frequenztemperaturkoeffizient TC2 geringer
ist als der erste Frequenztemperaturkoeffizient TC1,
und wobei die Differenz zwischen der zweiten Frequenz f02 multipliziert
mit dem zweiten Frequenztemperaturkoeffizienten TC2 und
der ersten Frequenz f01 multipliziert mit
dem ersten Frequenztemperaturkoeffizienten TC1 gleich
Null ist. Block 920 übergibt dann
die Steuerung an Block 930.
-
Bei
Block 930 werden die Ausgänge des ersten und des zweiten
Oszillators 110, 120 miteinander verbunden. Block 930 beendet
dann den Prozess.
-
Verschiedene
andere Materialien als Aluminiumnitrid können für das piezoelektrische Material bei
der ersten unteren piezoelektrischen Schicht 351 und bei
der zweiten unteren piezoelektrischen Schicht 352 verwendet
werden. Auch können
andere Materialien als Molybdän
für die
unteren Elektroden 321, 322, für die Interstitialschicht 361 und
für die oberen
Elektroden 331, 332 verwendet werden. Außerdem sind
auch verschiedene andere Strukturen möglich.
-
Bei
repräsentativen
Ausführungsbeispielen gibt
es Oszillatorschaltungen 110, 120, die gepaarte Resonatoren 111, 121 verwenden,
deren Resonanzfrequenzen f01, f02 und
Frequenzdriftcharakteristika TC1, TC2 geeignet eingestellt werden können, um Schwingschaltungen 100 zu
ergeben, die eine sehr geringe Frequenzdrift über Temperaturcharakteristika
(TC) aufweisen. Geeignete gepaarte Resonatoren 111, 121 können unter
Verwendung von Integrierte-Schaltung-Techniken mit sich daraus ergebenden Vorteilen
bezüglich
Kosten und Größe gegenüber Quarzkristallen
hergestellt werden, die in der Vergangenheit verwendet wurden, um
vergleichbare Frequenzdriftcharakteristika zu erhalten. Außerdem können einzelne
Resonatoren auch mit anvisierter Resonanzfrequenz und anvisiertem
Frequenztemperaturkoeffizienten hergestellt werden.
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Bei
repräsentativen
Ausführungsbeispielen werden
zwei Resonatoren 111, 121, die mit der Temperatur
mit unterschiedlichen Raten driften, bei Oszillatorschaltungen 110, 120 verwendet,
um eine Schwebungsfrequenz fB zu erzeugen,
deren Nettotemperaturdrift TCC über den
vollen Temperaturbereichsstandard für Mobiltelefone, Laptop-Computer und
andere vergleichbare Vorrichtungen sehr gering, wenn nicht Null
ist. Die Resonatoren können
als akustische Dünnfilmvolumenresonatoren
(FBARS) hergestellt und mit einer anderen integrierten Schaltungsanordnung
kombiniert werden, um einen Siliziumchip zu ergeben, der in etwa
0,2 Millimeter (mm) dick sein und eine Fläche von weniger als 1 × 1 mm2 aufweisen könnte. Außerdem kann das Ausgangssignal
relativ frei von Störmoden
sein und kann bei einer viel höheren
Frequenz als derjenigen eines Quarzresonators liegen. Folglich wird
weniger Leistung beim Erzeugen der erforderlichen „reinen" Hochfrequenztöne aufgenommen.
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Die
repräsentativen
Ausführungsbeispiele, die
hier im Detail beschrieben worden sind, wurden als Beispiel und
nicht als Einschränkung
präsentiert. Fachleute
werden erkennen, dass verschiedene Veränderungen an der Form und den
Details der beschriebenen Ausführungsbeispiele
vorgenommen werden können,
die zu äquivalenten
Ausführungsbeispielen
führen,
die in dem Schutzbereich der angehängten Ansprüche bleiben.