DE102006017480B4 - Circuit arrangement with a non-volatile memory cell and method - Google Patents

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Abstract

Schaltungsanordnung mit einer nicht-flüchtigen Speicherzelle, umfassend
– einen symmetrisch aufgebauten Komparator (3), der eine Selbsthaltefunktion umfasst und in einen differenziellen Strompfad, der einen Versorgungsspannungsanschluss (9) mit einem Bezugspotentialanschluss (8) verbindet, geschaltet ist,
– die nicht-flüchtige Speicherzelle (10), die in einen ersten Zweig (35) des differenziellen Strompfades geschaltet ist, und
– ein Referenzelement (20), das in einen zweiten Zweig (55) des differenziellen Strompfades geschaltet ist,
wobei der Komparator (3)
– einen ersten Inverter (11), der einen Eingang (14) und einen Ausgang (15) aufweist und zwischen einen Versorgungsanschluss (12) des ersten Inverters (11) und den Bezugspotentialanschluss (8) geschaltet ist, und
– einen zweiten Inverter (21), der einen Eingang (24), der mit dem Ausgang (15) des ersten Inverters (11) verbunden ist, und einen Ausgang (25), der mit dem Eingang (14) des ersten Inverters (11) verbunden ist, aufweist und zwischen einen Versorgungsanschluss (22) des zweiten Inverters (22) und...
Circuit arrangement with a non-volatile memory cell, comprising
A symmetrically constructed comparator (3) comprising a self-holding function and connected in a differential current path connecting a supply voltage terminal (9) to a reference potential terminal (8),
- The non-volatile memory cell (10), which is connected in a first branch (35) of the differential current path, and
A reference element (20) connected in a second branch (55) of the differential current path,
the comparator (3)
- A first inverter (11) having an input (14) and an output (15) and between a supply terminal (12) of the first inverter (11) and the reference potential terminal (8) is connected, and
- a second inverter (21) having an input (24) connected to the output (15) of the first inverter (11) and an output (25) connected to the input (14) of the first inverter (11 ) and between a supply terminal (22) of the second inverter (22) and ...

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Schaltungsanordnung mit einer nicht-flüchtigen Speicherzelle, eine Verwendung der Schaltungsanordnung und ein Verfahren zum Betrieb einer nicht-flüchtigen Speicherzelle.The The present invention relates to a circuit arrangement with a non-volatile Memory cell, a use of the circuit arrangement and a method for operating a non-volatile memory cell.

Nicht-flüchtige Speicherzellen sind weit verbreitete Elemente, um Daten wie Seriennummern, Trimmeinstellungen von analogen Schaltungen oder eine Nummer eines Halbleiterkörpers dauerhaft in einem Halbleiterkörper zu speichern.Non-volatile memory cells are common elements to data such as serial numbers, trim settings of analog circuits or a number of a semiconductor body permanently in a semiconductor body save.

Die Dokumente US 4,730,129 , US 5,404,049 , US 5,418,487 , US 5,731,733 , US 6,091,273 , US 6,384,664 B1 und US 6,819,144 B2 beschreiben Schaltungsanordnungen zum Betreiben nicht-flüchtiger Speicherzellen, ausgebildet als Sicherung, englisch Fuse.The documents US 4,730,129 . US 5,404,049 . US 5,418,487 . US 5,731,733 . US 6,091,273 . US 6,384,664 B1 and US 6,819,144 B2 describe circuit arrangements for operating non-volatile memory cells, designed as a fuse, English Fuse.

Die Dokumente US 6,421,293 B1 und US 6,525,955 B1 zeigen einmal programmierbare Speicherzellen, bei denen während des Programmierens ein Parameter eines Isolators verändert wird, und eine dazugehörige Schaltungsanordnung.The documents US Pat. No. 6,421,293 B1 and US 6,525,955 B1 show once programmable memory cells in which a parameter of an insulator is changed during programming, and associated circuitry.

Das Dokument US 2005/0212086 A1 beschreibt eine Antifuse, die als Zenerdiode ausgebildet ist und die im programmierten Zustand einen niedrigen Widerstandswert und im nicht-programmierten Zustand einen hohen Widerstandswert aufweist.The document US 2005/0212086 A1 describes an antifuse which is designed as a Zener diode and which has a low resistance value in the programmed state and a high resistance value in the non-programmed state.

Die Dokumente "Lifetime Study for a Polyfuse in a 0.35 μm Polycide CMOS Process", J. Fellner, P. Bösmüller, H. Reiter, 43rd Annual IEEE International Reliability Physics Symposium, 17.–21. April 2005, Tagungsband, Seiten 446–449 und "A One Time Programming Cell Using More than Two Resistance Levels of a PolyFuse", J. Fellner, 27th Annual IEEE Custom Integrated Circuits Conference, 18.–21. September 2005, Tagungsband, Seiten 263–266 sowie US 5,976,943 befassen sich mit programmierbaren Widerständen, die zwei Schichten umfassen. Die zuerst auf dem Halbleiterkörper abgeschiedene Schicht weist Polysilizium und die als zweite auf den Halbleiterkörper abgeschiedene Schicht ein Silizid auf.The documents "Lifetime Study for a Polyfuse in a 0.35 μm Polycide CMOS Process", J. Fellner, P. Bösmuller, H. Reiter, 43rd Annual IEEE International Reliability Physics Symposium, 17.-21. April 2005, Proceedings, pp. 446-449, and "A One Time Programming Cell Using More Resistance Levels of a PolyFuse," J. Fellner, 27th Annual IEEE Custom Integrated Circuits Conference, 18-21. September 2005, Proceedings, pages 263-266 as well US 5,976,943 deal with programmable resistors that span two layers. The layer deposited first on the semiconductor body comprises polysilicon and the second layer deposited on the semiconductor body comprises a silicide.

Dokument US 2002/0008544 A1 betrifft einen Schaltkreis mit einem ersten und einem zweiten Sicherungselement sowie einem ersten und einem zweiten Inverter. Ein Ausgang des ersten Inverters ist mit einem Eingang des zweiten Inverters und ein Ausgang des zweiten Inverters ist mit einem Eingang des ersten Inverters verbunden. Das erste Sicherungselement verbindet einen Versorgungsanschluss mit dem ersten Inverter und das zweite Sicherungselement verbindet den Versorgungsanschluss mit dem zweiten Inverter.document US 2002/0008544 A1 relates to a circuit having a first and a second fuse element and a first and a second inverter. An output of the first inverter is connected to an input of the second inverter and an output of the second inverter is connected to an input of the first inverter. The first fuse element connects a supply terminal to the first inverter and the second fuse element connects the supply terminal to the second inverter.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Schaltungsanordnung mit einer nicht-flüchtigen Speicherzelle sowie ein Verfahren zum Betrieb einer nicht-flüchtigen Speicherzelle bereitzustellen, die eine genaue Auswertung des Programmierzustands der nicht-flüchtigen Speicherzelle und eine Realisierung der Schaltungsanordnung mit einem geringen Aufwand an Bauelementen gewährleisten.task The present invention is a circuit arrangement with a non-volatile memory cell and to provide a method of operating a non-volatile memory cell, the an accurate evaluation of the programming state of the non-volatile Memory cell and a realization of the circuit arrangement with ensure a low cost of components.

Diese Aufgabe wird mit dem Gegenstand des Patentanspruchs 1 sowie dem Verfahren gemäß Patentanspruch 14 gelöst. Weiterbildungen und Ausgestaltungen sind jeweils Gegenstand der abhängigen Ansprüche.These The object is with the subject of claim 1 and the Process according to claim 14 solved. Further developments and refinements are each the subject of dependent Claims.

Erfindungsgemäß umfasst eine Schaltungsanordnung eine nicht-flüchtige Speicherzelle, ein Referenzelement und einen Komparator. Ein differenzieller Strompfad verbindet einen Versorgungsspannungsanschluss mit einem Bezugspotenzialanschluss. Der Komparator ist symmetrisch ausgebildet und in den differenziellen Strompfad geschaltet. Der Komparator weist eine Selbsthaltefunktion auf. Die nicht-flüchtige Speicherzelle ist in einem ersten Zweig des differenziellen Strompfades geschaltet und das Referenzelement ist in einen zweiten Zweig des differenziellen Strompfades geschaltet.According to the invention a circuit arrangement a non-volatile Memory cell, a reference element and a comparator. A differential Rung connects one supply voltage terminal to one Reference potential terminal. The comparator is symmetrical and switched to the differential rung. The comparator points a self-holding function. The non-volatile memory cell is in switched to a first branch of the differential current path and the reference element is in a second branch of the differential Rungs switched.

Aufgrund der unterschiedlichen Widerstandswerte des Referenzelementes und der nicht-flüchtigen Speicherzelle fließen unterschiedliche Ströme im ersten und im zweiten Zweig des differenziellen Strompfades. Mittels des Komparators wird der unterschiedliche Stromfluss im ersten Zweig und im zweiten Zweig ermittelt. Aufgrund der Selbsthaltefunktion des Komparators wird ein derart gewonnenes Ausgangssignal ausgangsseitig an dem Komparator bereitgestellt. Das Ausgangssignal wird somit in Abhängigkeit von dem Widerstandswert der nicht-flüchtigen Speicherzelle und von dem Widerstandswert des Referenzelements erzeugt.by virtue of the different resistance values of the reference element and the non-volatile Memory cell flow different currents in the first and in the second branch of the differential current path. By means of the comparator the different current flow in the first branch and in the second branch determined. Due to the self-holding function the comparator is an output signal obtained in this way on the output side provided at the comparator. The output signal is thus dependent on from the resistance of the non-volatile Memory cell and generated by the resistance value of the reference element.

Es ist ein Vorteil der Schaltungsanordnung, dass aufgrund der Integration der Komparatorfunktion und der Selbsthaltefunktion in einem Block ein schaltungstechnischer Aufwand gering gehalten werden kann. Mit Vorteil ist mittels des Komparators und des Referenzelements der Programmierzustand der nicht-flüchtigen Speicherzelle genau auswertbar.It is an advantage of the circuit arrangement that due to the integration the comparator function and the self-holding function in one block a circuit complexity can be kept low. With Advantage is by means of the comparator and the reference element of the Programming state of non-volatile Memory cell accurately evaluable.

Der Komparator mit Selbsthaltefunktion umfasst einen ersten und einen zweiten Inverter. Der erste Inverter koppelt einen Versorgungsanschluss des ersten Inverters mit einem Bezugspo tenzialanschluss. Entsprechend koppelt der zweite Inverter einen Versorgungsanschluss des zweiten Inverters mit dem Bezugspotenzialanschluss. Der erste Inverter und der zweite Inverter weisen jeweils einen Eingang und einen Ausgang auf. Der Eingang des zweiten Inverters ist mit dem Ausgang des ersten Inverters sowie der Ausgang des zweiten Inverters ist mit dem Eingang des ersten Inverters verbunden. Durch die unterschiedlichen Ströme in den beiden Zweigen des differentiellen Strompfades laden sich die beiden Zweige verschieden schnell auf. Dieser Unterschied wird vom symmetrischen Komparator mit einem digitalen Ausgangssignal bewertet. Die Rückkopplung der beiden Inverter gewährleistet die Selbsthaltefunktion des Ausgangssignals des Komparators.The comparator with self-hold function comprises a first and a second inverter. The first inverter couples a supply terminal of the first inverter to a reference potential terminal. Accordingly, the second inverter couples a supply terminal of the second inverter to the reference potential terminal. The first inverter and the second inverter each have an input and an exit on. The input of the second inverter is connected to the output of the first inverter and the output of the second inverter is connected to the input of the first inverter. Due to the different currents in the two branches of the differential current path, the two branches load up at different speeds. This difference is evaluated by the balanced comparator with a digital output signal. The feedback of the two inverters ensures the self-holding function of the output signal of the comparator.

Die Schaltungsanordnung umfasst eine Schreibanordnung mit einem ersten Schalter, der einen ersten Eingang der Schreibanordnung mit dem Ausgang des ersten Inverters koppelt, und einem zweiten Schalter, der einen zweiten Eingang der Schreibanordnung mit dem Ausgang des zweiten Inverters koppelt. Weiter weist die Schreibanordnung einen Steuereingang auf, der mit einem Steueranschluss des ersten Schalters und einem Steueranschluss des zweiten Schalters gekoppelt ist.The Circuit arrangement comprises a writing arrangement with a first Switch having a first input of the write array with the output of the first inverter, and a second switch, the one second input of the write arrangement with the output of the second Inverters couples. Furthermore, the writing arrangement has a control input on, with a control terminal of the first switch and a Control terminal of the second switch is coupled.

In einer Ausführungsform koppelt die nicht-flüchtige Speicherzelle den Versorgungsspannungsanschluss mit dem Versorgungsanschluss des ersten Inverters sowie das Referenzelement den Versorgungsspannungsanschluss mit dem Versorgungsanschluss des zweiten Inverterskoppelt. In einer Ausführungsform weist der erste Inverter einen ersten und einen zweiten Transistor sowie der zweite Inverter ebenfalls einen ersten und einen zweiten Transistor auf.In an embodiment couples the non-volatile Memory cell the supply voltage connection to the supply connection of the first inverter and the reference element the supply voltage terminal to the supply terminal of the second inverter couples. In a embodiment For example, the first inverter has a first and a second transistor as well as the second inverter also a first and a second transistor on.

In einer Weiterbildung koppelt ein erster Ladetransistor den Ausgang des ersten Inverters mit dem Bezugspotenzialanschluss und koppelt ein zweiter Ladetransistor den Ausgang des zweiten Inverters mit dem Bezugspotenzialanschluss. Der erste und der zweite Ladetransistor sind an jeweils einem Steueranschluss miteinander verbunden. Sind der erste und der zweite Ladetransistor leitend geschaltet, so befinden sich der Ausgang des ersten Inverters und der Ausgang des zweiten Inverters auf einem niedrigen Potenzial, näherungsweise dem Bezugspotenzial. Wird in einem folgenden Schritt der erste und der zweite Ladetransistor gleichzeitig sperrend geschaltet, so laden die nicht-flüchtige Speicherzelle und das Referenzelement die Ausgänge der beiden Inverter auf. Weist die nicht-flüchtige Speicherzelle einen höheren Widerstandswert verglichen mit dem Referenzelement auf, so steigt ein Potenzial an dem Ausgang des zweiten Inverters schneller an als ein Potenzial an dem Ausgang des ersten Inverters. Ist die Schaltschwelle des zweiten Inverters erreicht, so ist an dem Ausgang des zweiten Inverters ein hohes Potenzial abgreifbar. Aufgrund der Verbindung des Ausgangs des zweiten Inverters mit dem Eingang des ersten Inverters wird der erste Inverter derart angesteuert, dass er an seinem Ausgang ein niedriges Potenzial bereitstellt. Das umgekehrte gilt für den Fall, dass die nicht-flüchtige Speicherzelle einen niedrigeren Widerstandswert verglichen mit dem Referenzelement aufweist.In In a further development, a first charging transistor couples the output of the first inverter to the reference potential terminal and couples a second charging transistor with the output of the second inverter with the reference potential connection. The first and the second charging transistor are connected to each other at a control terminal. Are the first and the second charging transistor turned on, are so the output of the first inverter and the output of the second Inverters at a low potential, approximately the reference potential. In a following step, the first and the second charging transistor simultaneously disabled, so load the non-volatile memory cell and the reference element the outputs of both inverters. Does the non-volatile memory cell have one higher Resistance value compared with the reference element increases a potential at the output of the second inverter faster as a potential at the output of the first inverter. Is the switching threshold reached the second inverter, so is at the output of the second inverter a high potential can be tapped. Due to the connection of the output of the second inverter with the input of the first inverter the first inverter is driven in such a way that it is at its output provides a low potential. The reverse is true in the case that the non-volatile Memory cell a lower resistance value compared to the Has reference element.

Die nicht-flüchtige Speicherzelle kann eine maskenprogrammierte Speicherzelle sein. Alternativ kann die nicht-flüchtige Speicherzelle eine reversibel programmierbare Speicherzelle umfassen. In einer weiteren alternativen Ausführungsform kann die nicht-flüchtige Speicherzelle als irreversibel programmierbare Speicherzelle realisiert sein.The nonvolatile Memory cell may be a mask-programmed memory cell. Alternatively, the non-volatile memory cell comprise a reversibly programmable memory cell. In another alternative embodiment can the non-volatile Memory cell realized as an irreversibly programmable memory cell be.

Die nicht-flüchtige Speicherzelle kann als Widerstand realisiert sein, wobei ein Programmierstrom den Widerstandswert der nicht-flüchtigen Speicherzelle irreversibel vergrößert. Alternativ kann die nicht-flüchtige Speicherzelle eine Sicherung, englisch Fuse, sein, die mittels eines Laserstrahles programmiert wird. Bevorzugt ist die nicht-flüchtige Speicherzelle als Sicherung, englisch Fuse, realisiert, die einen mittels eines Programmierstroms aufschmelzbaren Widerstand umfasst. Die nicht-flüchtige Speicherzelle kann einen Metallwiderstand, einen Polysiliziumwiderstand oder einen kombinierten Polysilizium/Silizid-Widerstand aufweisen.The nonvolatile Memory cell can be realized as a resistor, wherein a programming current the resistance value of the non-volatile Memory cell irreversibly enlarged. alternative can the non-volatile Memory cell be a fuse, English Fuse, by means of a Laser beam is programmed. The non-volatile memory cell is preferred as a fuse, English Fuse, realized by means of a Programming current includes fusible resistor. The non-volatile memory cell may be a metal resistor, a polysilicon resistor or a combined polysilicon / silicide resistance have.

In einer alternativen Ausführungsform kann die nicht-flüchtige Speicherzelle als Antifuse-Element realisiert sein, wobei der Widerstandswert irreversibel mittels eines Programmierstroms verkleinerbar ist. In einer Ausführungsform kann das Antifuse-Element als Diode, insbesondere als Zenerdiode, realisiert sein.In an alternative embodiment can the non-volatile memory cell be implemented as an antifuse element, wherein the resistance value irreversibly reducible by means of a programming current. In one embodiment the antifuse element can be used as a diode, in particular as a Zener diode, be realized.

Das Referenzelement kann als Widerstand realisiert sein, der einen Widerstandswert aufweist, welcher bevorzugt zwischen den Widerstandswerten der nicht-flüchtigen Speicherzelle vor und nach dem Programmieren liegt.The Reference element can be realized as a resistor, which has a resistance value which preferably between the resistance values of the non-volatile Memory cell before and after programming is.

Die Schaltungsanordnung kann einen Programmiertransistor aufweisen, der zwischen einen Anschluss der nicht-flüchtigen Speicherzelle und den Bezugspotenzialanschluss geschaltet ist. Ein weiterer Anschluss der nicht-flüchtigen Speicherzelle ist mit dem Versorgungsspannungsanschluss verbunden. Wird der Programmiertransistor leitend geschaltet, so fließt ein hoher Strom durch die nicht-flüchtige Speicherzelle und stellt einen Widerstandswert der nicht-flüchtigen Speicherzelle ein, so dass die nicht-flüchtige Speicherzelle programmiert wird.The Circuitry may comprise a programming transistor between a terminal of the non-volatile memory cell and the reference potential terminal is switched. Another connection of the non-volatile Memory cell is connected to the supply voltage terminal. If the programming transistor is turned on, a high current flows Current through the non-volatile memory cell and sets a resistance value of the non-volatile memory cell, so the non-volatile Memory cell is programmed.

In einer Ausführungsform weist die Schaltungsanordnung ein Kompensationselement auf, das mit einem Anschluss des Referenzelementes verbunden ist und an den zweiten Zweig des differenziellen Strompfads angekoppelt ist. Das Kompensationselement dient zur Kompensation der kapazitiven Last, die von dem Programmiertransistor im ersten Zweig des differenziellen Strompfads hervorgerufen ist. Mit Vorteil kann mittels des Kompensationselements eine symmetrische kapazitive Belastung an den Versorgungsanschlüssen des ersten und der zweiten Inverters erreicht werden. Mit Vorteil sind somit die kapazitiven und resistiven Lasten in dem ersten und dem zweiten Zweig des Strompfads abgesehen von den Widerstandswerten der nicht-flüchtigen Speicherzelle und des Referenzelements näherungsweise gleich.In an embodiment, the circuit arrangement comprises a compensation element which is connected to a terminal of the reference element and is coupled to the second branch of the differential current path. The compensation element is used to compensate for the capacitive load from the programming transistor in the first Branch of the differential current path is caused. Advantageously, by means of the compensation element a symmetrical capacitive load on the supply terminals of the first and the second inverter can be achieved. Advantageously, therefore, the capacitive and resistive loads in the first and second branches of the current path are approximately equal except for the resistance values of the non-volatile memory cell and the reference element.

Die Schaltungsanordnung kann auf einem Halbleiterkörper ausgebildet sein. Die Schaltungsanordnung kann in einer Bipolar-Integrationstechnik realisiert sein und Transistoren umfassen, die als Bipolartransistoren ausgebildet sind. Bevorzugt kann sie mittels einer Complementary Metal-Oxide-Semiconductor Integrationstechnik hergestellt sein und Transistoren aufweisen, die als Feldeffekttransistoren realisiert sind.The Circuit arrangement may be formed on a semiconductor body. The Circuitry can be implemented in a bipolar integration technique and transistors formed as bipolar transistors are. Preferably, it can by means of a complementary metal-oxide semiconductor Integration technology and have transistors, which are realized as field effect transistors.

Die Schaltungsanordnung kann zu einer dauerhaften Speicherung von Daten verwendet werden. Die Daten können eine Seriennummer oder eine Identifikationsnummer für den Halbleiterkörper umfassen. Alternativ kann die Schaltungsanordnung zur Speicherung einer Trimmeinstellung einer analogen Schaltung, insbesondere eines Analog/Digital- oder eines Digital/Analog-Wandlers, vorgesehen sein. Sie kann zum Reparieren eines Random Access Memory, abgekürzt RAM, mittels Anschalten von redundanten Zeilen oder Spalten anstelle defekter Zeilen oder Spalten dienen.The Circuitry can lead to a permanent storage of data be used. The data can a serial number or an identification number for the semiconductor body. Alternatively, the circuitry may be used to store a trim adjustment an analog circuit, in particular an analog / digital or a Digital / analog converter, be provided. It can be used to repair a Random Access Memory, abbreviated RAM, by turning on redundant rows or columns instead serve broken lines or columns.

Erfindungsgemäß sieht ein Verfahren zum Betrieb einer nicht-flüchtigen Speicherzelle folgende Schritte vor: Eine Versorgungsspannung wird bereitgestellt. Ein Ausgangssignal und ein invertiertes Ausgangssignal werden in Abhängigkeit von einem Widerstandswert einer nicht-flüchtigen Speicherzelle und von einem Widerstandswert eines Referenzelements eingestellt und gehalten. Dabei sind die nicht-flüchtige Speicherzelle in einen ersten Zweig und das Referenzelement in einen zweiten Zweig eines differenziellen Strompfades geschaltet. Der differenzielle Strompfad fließt durch einen Komparator.According to the invention sees a method of operating a non-volatile Memory cell following steps: A supply voltage is provided. An output signal and an inverted output signal become dependent of a resistance value of a non-volatile memory cell and of set and held a resistance value of a reference element. Here are the non-volatile Memory cell in a first branch and the reference element in one second branch of a differential rung. Of the differential current path flows through a comparator.

Mit Vorteil gewährleisten der Komparator und das Referenzelement ein genaues Auslesen der in der nicht-flüchtigen Speicherzelle gespeicherten Information.With Ensure an advantage the comparator and the reference element provide an accurate reading of the in the non-volatile Memory cell stored information.

Das Verfahren zum Betrieb einer nicht-flüchtigen Speicherzelle umfasst ein Einstellen und Halten eines Ausgangssignals mit einem Wert 1 und eines invertierten Ausgangssignals mit einem Wert 0 im Fall, dass eine nicht-flüchtige Speicherzelle einen höheren Widerstandswert als ein Referenzelement aufweist, und ein Einstellen und Halten des Ausgangssignals mit einem Wert 0 und des invertierten Ausgangssignals mit einem Wert 1 im Fall, dass die nicht-flüchtige Speicherzelle einen niedrigeren Widerstandswert als das Referenzelement aufweist. Dabei werden die nicht-flüchtige Speicherzelle und ein erster Zweig des differenziellen Strompfades eines Komparators von einem ersten Strom und das Referenzelement und ein zweiter Zweig des differenziellen Strompfades von einem zweiten Strom durchflossen. Das Ausgangssignal und das invertierte Ausgangssignal werden durch Überschreiben des Ausgangssignals mit einem Einstellsignal und des invertierten Ausgangssignals mit einem invertierten Einstellsignal eingestellt.The Method for operating a non-volatile memory cell comprises setting and holding an output signal having a value of 1 and an inverted output signal with a value 0 in the case, that a non-volatile Memory cell a higher Has resistance value as a reference element, and adjusting and holding the output signal with a value of 0 and the inverted one Output signal with a value of 1 in the case that the non-volatile memory cell has a lower resistance than the reference element. there become the non-volatile Memory cell and a first branch of the differential current path a comparator of a first current and the reference element and a second branch of the differential current path of one second current flows through. The output signal and the inverted output signal be overwriting the output signal with a setting signal and the inverted Output signal adjusted with an inverted setting signal.

Die Erfindung wird nachfolgend an mehreren Ausführungsbeispielen anhand der Figuren näher erläutert. Funktions- beziehungsweise wirkungsgleiche Bauelemente tragen gleiche Bezugszeichen. Insoweit sich Schaltungsteile oder Bauelemente in ihrer Funktion entsprechen, wird deren Beschreibung nicht in jeder der folgenden Figuren wiederholt.The Invention will be described below in several embodiments with reference to the Figures closer explained. Function or effect same components carry the same Reference numerals. Insofar as circuit parts or components in Their description does not correspond to their function the following figures repeated.

1 zeigt eine beispielhafte Ausführungsform einer Schaltungsanordnung mit einer nicht-flüchtigen Speicherzelle nach dem vorgeschlagenen Prinzip, 1 shows an exemplary embodiment of a circuit arrangement with a non-volatile memory cell according to the proposed principle,

2 zeigt eine beispielhafte Weiterbildung der Schaltungsanordnung mit einer nicht- flüchtigen Speicherzelle nach dem vorgeschlagenen Prinzip, 2 shows an exemplary development of the circuit arrangement with a non-volatile memory cell according to the proposed principle,

3A bis 3C zeigen eine beispielhafte Ausführungsform einer nicht-flüchtigen Speicherzelle, die als Sicherung ausgebildet ist, und 3A to 3C show an exemplary embodiment of a non-volatile memory cell, which is designed as a fuse, and

4 zeigt eine beispielhafte Ausführungsform einer nicht-flüchtigen Speicherzelle, die als Antifuse realisiert ist. 4 shows an exemplary embodiment of a non-volatile memory cell, which is realized as an antifuse.

1 zeigt eine beispielhafte Ausführungsform einer Schaltungsanordnung mit einer nicht-flüchtigen Speicherzelle 10 nach dem vorgeschlagenen Prinzip. Die Schaltungsanordnung weist einen ersten Zweig 35 und einen zweiten Zweig 55 auf, die zwischen einen Versorgungsspannungsanschluss 9 und einen Bezugspotenzialanschluss 8 geschaltet sind. Der erste und der zweite Zweig bilden zusammen einen differenziellen Strompfad eines Komparators 3. Der Komparator 3 weist einen ersten Inverter 11 und einen zweiten Inverter 21 auf. Der erste Inverter 11 ist zwischen einen Versorgungsanschluss 12 des ersten Inverters 12 und den Bezugspotenzialanschluss 8 geschaltet und weist einen ersten Transistor 30 und einen zweiten Transistor 40 auf, die zueinander in Serie geschaltet sind. Die Transistoren 30, 40 sind eingangsseitig mit einem Eingang 14 des ersten Inverters 11 verbunden. Ein Abgriff zwischen dem ersten und dem zweiten Transistor 30, 40 des ersten Inverters 11 bildet einen Ausgang 15 des ersten Inverters 11. Entsprechend weist der zweite Inverter 21 einen ersten Transistor 50 und einen zweiten Transistor 60 auf, die zwischen einen Versorgungsanschluss 22 des zweiten Inverters 21 und den Bezugspotenzialanschluss 8 geschaltet sind. Die beiden Transistoren 50, 60 des zweiten Inverters 21 sind eingangsseitig an einem Eingang 24 des zweiten Inverters 21 angeschlossen. Ein Knoten zwischen dem ersten und dem zweiten Transistor 50, 60 des zweiten Inverters 21 dient als Ausgang 25 des zweiten Inverters 21. Der Ausgang 15 des ersten Inverters 11 ist mit dem Eingang 24 des zweiten Inverters 21 und der Ausgang 25 des zweiten Inverters 21 ist mit dem Eingang 14 des ersten Inverters 11 verbunden. Der Ausgang 15 des ersten Inverters 11 ist über einen ersten Ladetransistor 70 und der Ausgang 25 des zweiten Inverters 21 ist über einen zweiten Ladetransistor 80 mit dem Bezugspotenzialanschluss 8 gekoppelt. Der erste und der zweite Ladetransistor 70, 80 sind eingangsseitig miteinander verbunden. 1 shows an exemplary embodiment of a circuit arrangement with a non-volatile memory cell 10 according to the proposed principle. The circuit arrangement has a first branch 35 and a second branch 55 on that between a supply voltage connection 9 and a reference potential connection 8th are switched. The first and second branches together form a differential current path of a comparator 3 , The comparator 3 has a first inverter 11 and a second inverter 21 on. The first inverter 11 is between a supply connection 12 of the first inverter 12 and the reference potential connection 8th connected and has a first transistor 30 and a second transistor 40 on, which are connected to each other in series. The transistors 30 . 40 are input side with an input 14 of the first inverter 11 connected. A tap between the first and the second transistor 30 . 40 of the first inverter 11 makes an exit 15 of the first inverter 11 , Accordingly, points the second inverter 21 a first transistor 50 and a second transistor 60 on that between a supply connection 22 of the second inverter 21 and the reference potential connection 8th are switched. The two transistors 50 . 60 of the second inverter 21 are input side to an input 24 of the second inverter 21 connected. A node between the first and the second transistor 50 . 60 of the second inverter 21 serves as an exit 25 of the second inverter 21 , The exit 15 of the first inverter 11 is with the entrance 24 of the second inverter 21 and the exit 25 of the second inverter 21 is with the entrance 14 of the first inverter 11 connected. The exit 15 of the first inverter 11 is via a first charging transistor 70 and the exit 25 of the second inverter 21 is via a second charging transistor 80 with the reference potential connection 8th coupled. The first and the second charging transistor 70 . 80 are connected on the input side.

An dem Versorgungsspannungsanschluss 9 ist eine Versorgungsspannung VDD angeschlossen. Den Steueranschlüssen des ersten und des zweiten Ladetransistors 70, 80 ist ein Ladesignal LOAD zuführbar. Der erste und der zweite Ladetransistor 70, 80 sind in einem ersten Betriebszustand leitend geschaltet.At the supply voltage connection 9 a supply voltage VDD is connected. The control terminals of the first and the second charging transistor 70 . 80 a load signal LOAD can be fed. The first and the second charging transistor 70 . 80 are turned on in a first operating state.

Somit ist der erste Transistor 30 und der erste Transistor 50 des ersten und des zweiten Inverters 11, 21 leitend und der zweite Transistor 40 und der zweite Transistor 60 des ersten und des zweiten Inverters 11, 21 sperrend geschaltet. In den beiden Zweigen des differentiellen Strompfades treten auf Grund der unterschiedlichen Widerstände der nicht-flüchtigen Speicherzelle 10 und des Referenzelements 20 verschieden große Ströme I1, I2 auf, die an den Versorgungsanschlüssen 12 und 22 unterschiedliche Spannungspotentiale hervorrufen. Werden die beiden Ladetransistoren 70 und 80 sperrend geschaltet, detektiert der Komparator 3 den Spannungsunterschied zwischen den Versorgungsanschlüssen 12 und 22 und speichert das Ergebnis selbsthaltend in den beiden Invertern 11 und 21 ab.Thus, the first transistor 30 and the first transistor 50 the first and the second inverter 11 . 21 conducting and the second transistor 40 and the second transistor 60 the first and the second inverter 11 . 21 switched off. In the two branches of the differential current path occur due to the different resistances of the non-volatile memory cell 10 and the reference element 20 different sized currents I1, I2 on the supply terminals 12 and 22 cause different voltage potentials. Be the two charging transistors 70 and 80 switched off, the comparator detects 3 the voltage difference between the supply connections 12 and 22 and stores the result latched in the two inverters 11 and 21 from.

Weist die nicht-flüchtige Speicherzelle 10 einen kleineren Widerstandswert als das Referenzelement 20 auf, so steigt die invertierte Ausgangsspannung NVOUT schneller als die Ausgangsspannung VOUT an, so dass aufgrund der Rückkopplung des ersten und des zweiten Inverters 11, 21 der zweite Transistor 60 des zweiten Inverters 21 sowie der erste Transistor 30 des ersten Inverters 11 leitend und die beiden weiteren Transistoren 50, 40 als Sperre geschaltet sind. An dem Ausgang 15 des ersten Inverters 11 ist ein inverses Ausgangssignal NVOUT und an dem Ausgang 25 des zweiten Inverters 21 ein Ausgangssignal VOUT abgreifbar.Indicates the non-volatile memory cell 10 a smaller resistance than the reference element 20 On, the inverted output voltage NVOUT rises faster than the output voltage VOUT, so that due to the feedback of the first and the second inverter 11 . 21 the second transistor 60 of the second inverter 21 as well as the first transistor 30 of the first inverter 11 conductive and the two other transistors 50 . 40 are switched as a lock. At the exit 15 of the first inverter 11 is an inverse output signal NVOUT and at the output 25 of the second inverter 21 an output signal VOUT can be tapped off.

Mit Vorteil kann somit mit wenigen Bauelementen ein Zustand der nicht-flüchtigen Speicherzelle 10 erfasst und das Ausgangssignal VOUT gehalten werden.Advantageously, thus with a few components, a state of the non-volatile memory cell 10 detected and the output signal VOUT are held.

2 zeigt eine beispielhafte Weiterbildung der in 1 gezeigten Ausführungsform einer Schaltungsanordnung mit einer nicht-flüchtigen Speicherzelle. Zusätzlich zu der Schaltungsanordnung gemäß 1 weist die Schaltungsanordnung in 2 einen Programmiertransistor 150 auf, der den Versorgungsanschluss 12 des ersten Inverters 11 mit dem Bezugspotenzialanschluss 8 verbindet. Zusätzlich ist ein Kompensationselement 160 an den Versorgungsanschluss 22 des zweiten Inverters 21 angeschlossen. Das Kompensationselement 160 ist als Transistor ausgebildet. 2 shows an exemplary development of in 1 shown embodiment of a circuit arrangement with a non-volatile memory cell. In addition to the circuit arrangement according to 1 has the circuit arrangement in 2 a programming transistor 150 on, the supply connection 12 of the first inverter 11 with the reference potential connection 8th combines. In addition, a compensation element 160 to the supply connection 22 of the second inverter 21 connected. The compensation element 160 is designed as a transistor.

An den Ausgang 15 des ersten Inverters 11 ist ein erster Puffer 135 und an den Ausgang 25 des zweiten Inverters 21 ist ein zweiter Puffer 115 angeschlossen. Der erste Puffer 135 weist einen Inverter, umfassend einen ersten und einen zweiten Transistor 140, 130, auf, der zwischen den Versorgungsspannungsanschluss 9 und den Bezugspotenzialanschluss 8 geschaltet ist. Entsprechend weist der zweite Puffer 115 einen Inverter, umfassend einen Transistor 120 und einen Transistor 110, auf, der zwischen den Bezugspotenzialanschluss 8 und den Versorgungsspannungsanschluss 9 geschaltet ist. Die Eingänge der beiden Transistoren 130, 140 des ersten Puffers 135 sind mit dem Ausgang 15 des ersten Inverters 11 sowie die Eingänge der Transistoren 120, 110 des zweiten Puffers 115 mit dem Ausgang 25 des zweiten Inverters 21 verbunden.At the exit 15 of the first inverter 11 is a first buffer 135 and to the exit 25 of the second inverter 21 is a second buffer 115 connected. The first buffer 135 comprises an inverter comprising a first and a second transistor 140 . 130 , on, between the supply voltage connection 9 and the reference potential connection 8th is switched. Accordingly, the second buffer 115 an inverter comprising a transistor 120 and a transistor 110 , on, between the reference potential terminal 8th and the supply voltage connection 9 is switched. The inputs of the two transistors 130 . 140 of the first buffer 135 are with the exit 15 of the first inverter 11 as well as the inputs of the transistors 120 . 110 of the second buffer 115 with the exit 25 of the second inverter 21 connected.

Dem Ausgang 15 des ersten Inverters 11 ist ein erster Schalter 100 einer Schreibanordnung 89 vorgeschaltet. Ebenso ist dem Ausgang 25 des zweiten Inverters 21 ein zweiter Schalter 90 der Schreibanordnung 89 vorgeschaltet. Die Steueranschlüsse des ersten und des zweiten Schalters 90, 100 sind miteinander und mit einem Steuereingang 92 der Schreibanordnung 89 verknüpft.The exit 15 of the first inverter 11 is a first switch 100 a writing arrangement 89 upstream. Likewise, the exit 25 of the second inverter 21 a second switch 90 the writing arrangement 89 upstream. The control terminals of the first and second switches 90 . 100 are with each other and with a control input 92 the writing arrangement 89 connected.

Die Transistoren 30, 40, 50, 60, 70, 80, 110, 120, 130, 140, 150, 160 und die Schalter 90, 100 können als Feldeffekttransistoren, insbesondere als Metall-Oxid-Halbleiter Feldeffekttransistoren, abgekürzt MOSFETs, realisiert sein.The transistors 30 . 40 . 50 . 60 . 70 . 80 . 110 . 120 . 130 . 140 . 150 . 160 and the switches 90 . 100 can be realized as field effect transistors, in particular as metal oxide semiconductor field effect transistors, abbreviated MOSFETs.

Der Programmiertransistor 150 dient zum Bereitstellen eines ersten Stromes I1 mit einem hohen Stromwert, der durch die nicht-flüchtige Speicherzelle 10 zur Durchführung eines Programmiervorgangs fließt. Durch seine Größe stellt der Programmiertransistor 150 eine kapazitive Last an dem Versorgungsanschluss 12 dar. Beim oben beschriebenen Auslesevorgang werden die beiden Zweige 35, 55 des differentiellen Strompfades mit Vorteil in gleicher Weise kapazitiv belastet, um eine symmetrische Auslegung des Komparators 3 zu gewährleisten. Dazu wird der Versorgungsanschluss 22 des zweiten Inverters 21 mit dem Kompensationselement 160 verbunden. Dieses Kompensationselement 160 ist als Transistor ausgebildet, und stellt für den zweiten Zweig 55 des differentiellen Strompfades die gleiche kapazitive Belastung dar, wie der Programmiertransistor 150 für den ersten Zweig 35 des differentiellen Strompfads.The programming transistor 150 serves to provide a first current I1 with a high current value passing through the non-volatile memory cell 10 to perform a programming operation. Due to its size, the programming transistor 150 a capacitive load on the supply terminal 12 In the read process described above, the two branches 35 . 55 of the differential current path with advantage in equally loaded capacitively to a symmetrical design of the comparator 3 to ensure. This is the supply connection 22 of the second inverter 21 with the compensation element 160 connected. This compensation element 160 is designed as a transistor, and provides for the second branch 55 of the differential current path is the same capacitive loading as the programming transistor 150 for the first branch 35 of the differential current path.

Mit Vorteil ist an den beiden Ausgängen 15, 25 des ersten und des zweiten Inverters 11, 21 jeweils ein Puffer 115, 135 nachgeschaltet, sodass eine kapazitive Last an dem Ausgang 15 des ersten Inverters 11 und eine kapazitive Last an dem Ausgang 25 des zweiten Inverters 21 näherungsweise gleich sind und nicht von in 2 nicht gezeigten Schaltungen, die ausgangsseitig dem ersten und dem zweiten Inverter 11, 21 nachgeschaltet sind, geändert werden kann. Somit beeinflussen nachgeschaltete Schaltungen nicht den Einstell- und Umschaltvorgang des ersten und des zweiten Inverters 11, 21.Advantage is on the two outputs 15 . 25 the first and the second inverter 11 . 21 one buffer each 115 . 135 downstream, leaving a capacitive load at the output 15 of the first inverter 11 and a capacitive load at the output 25 of the second inverter 21 are approximately the same and not of in 2 not shown circuits, the output side of the first and the second inverter 11 . 21 can be changed, can be changed. Thus, downstream circuits do not affect the setting and switching operation of the first and second inverters 11 . 21 ,

Mit Vorteil kann mittels der Schreibanordnung 89 das Ausgangssignal VOUT mit dem Wert eines Einstellsignals DATAIN und das invertierte Ausgangssignal NVOUT mit dem Wert des invertierten Einstellsignals NDATAIN bereitgestellt werden, sobald mittels eines Schreibsteuersignals WRITE die beiden Schalter 90, 100 leitend geschaltet sind. Mit Vorteil ist es daher möglich, Daten auf eine zweite Art und Weise in den beiden Invertern 11 und 21 zu speichern, sofern die nicht-flüchtige Speicherzelle 10 niederohmig ist. Damit können für Testzwecke Daten unabhängig von der nicht-flüchtigen Speicherzelle 10 gespeichert werden.Advantageously, by means of the writing arrangement 89 the output signal VOUT having the value of a setting signal DATAIN and the inverted output signal NVOUT having the value of the inverted setting signal NDATAIN are provided, as soon as by means of a write control signal WRITE the two switches 90 . 100 are switched on. Advantageously, it is therefore possible to data in a second manner in the two inverters 11 and 21 save, provided the non-volatile memory cell 10 is low impedance. This allows for test purposes data independent of the non-volatile memory cell 10 get saved.

Ist die nicht-flüchtige Speicherzelle 10 mittels eines Laserstrahls programmierbar, so können in einer alternativen Ausführungsform der Programmiertransistor 150 und das Kompensationselement 160 entfallen.Is the non-volatile memory cell 10 programmable by means of a laser beam, so in an alternative embodiment the programming transistor 150 and the compensation element 160 omitted.

In einer alternativen Ausführungsform kann ein gestrichelt eingezeichneter Programmieranschluss 170 anstelle des Programmiertransistors 150 mit dem Versorgungsanschluss 12 des ersten Inverters 11 verbunden sein. Der Programmieranschluss 170 kann als von außen kontaktierbarer Anschluss, englisch pad, ausgebildet sein. Wird eine Spannung unterhalb der Versorgungsspannung VDD an den Programmieranschluss 170 angelegt, so kann der erste Strom I1 mit einem hohen Wert fließen. Durch diesen Strom I1 ist ein Programmieren der nicht-flüchtigen Speicherzelle 10 möglich.In an alternative embodiment, a programming terminal shown in dashed lines 170 instead of the programming transistor 150 with the supply connection 12 of the first inverter 11 be connected. The programming connector 170 can be designed as externally contactable connection, English pad. If a voltage below the supply voltage VDD to the programming port 170 applied, the first current I1 can flow with a high value. By this current I1 is a programming of the non-volatile memory cell 10 possible.

3A bis 3C zeigen eine beispielhafte Ausführungsform einer nicht-flüchtigen Speicherzelle 10, die als Sicherung ausgebildet ist. Die nicht-flüchtige Speicherzelle 10 ist als Polyfuse realisiert. 3A to 3C show an exemplary embodiment of a non-volatile memory cell 10 which is designed as a backup. The non-volatile memory cell 10 is realized as Polyfuse.

3A zeigt eine beispielhafte Aufsicht auf die nicht-flüchtige Speicherzelle 10. Diese umfasst einen mittleren Bereich 200 und einen ersten und einen zweiten Anschluss 201, 202, die über den mittleren Bereich 200 miteinander verbunden sind. Der erste und der zweite Anschluss 201, 202 weisen jeweils mehrere Kontakte 203 auf. 3A shows an exemplary view of the non-volatile memory cell 10 , This includes a middle area 200 and a first and a second port 201 . 202 that go beyond the middle range 200 connected to each other. The first and the second connection 201 . 202 each have several contacts 203 on.

3B zeigt einen Querschnitt der nicht-flüchtigen Speicherzelle 10, dessen Lage in 3A eingezeichnet ist. Die nicht-flüchtige Speicherzelle 10 ist auf einer Isolatorschicht 205, welche wiederum auf einem Träger 204 realisiert ist, angeordnet. Der mittlere Bereich 200 weist eine Doppelschicht aus einer Polysilizium-Schicht 206 und einer Silizid-Schicht 207 auf. Die Polysilizium-Schicht 206 ist auf dem Isolator 205 und die Silizid-Schicht 207 auf der Polysilizium-Schicht 206 abgeschieden. Die Kontakte 203 sind mit der Silizid-Schicht 207 verbunden. In 3B ist die nicht-flüchtige Speicherzelle 10 vor dem Programmiervorgang gezeigt. 3B shows a cross section of the non-volatile memory cell 10 whose location in 3A is drawn. The non-volatile memory cell 10 is on an insulator layer 205 , which in turn on a carrier 204 realized is arranged. The middle area 200 has a double layer of a polysilicon layer 206 and a silicide layer 207 on. The polysilicon layer 206 is on the insulator 205 and the silicide layer 207 on the polysilicon layer 206 deposited. The contacts 203 are with the silicide layer 207 connected. In 3B is the non-volatile memory cell 10 shown before the programming process.

3C zeigt die nicht-flüchtigen Speicherzelle 10 nach einem Programmiervorgang mit einem ausreichend großen Wert des Programmierstromes. Nach dem Programmiervorgang ist das Silizid-Material 207 vor allem an dem ersten Anschluss 201 angeordnet. Die ursprüngliche Polysilizium-Schicht 206 und die Silizid-Schicht 207 haben sich entmischt. Der Rest bildet eine polymorphe Siliziumschicht 208, die sich mit dem Isolator 205 und der Isolatorschicht 209 vermischt hat. Die nicht-flüchtige Speicherzelle 10 gemäß 3C weist einen Widerstand im Megaohm-Bereich auf. 3C shows the non-volatile memory cell 10 after a programming operation with a sufficiently large value of the programming current. After the programming process is the silicide material 207 especially at the first connection 201 arranged. The original polysilicon layer 206 and the silicide layer 207 have segregated. The remainder forms a polymorphic silicon layer 208 that deals with the insulator 205 and the insulator layer 209 has mixed. The non-volatile memory cell 10 according to 3C has a resistance in the megohm range.

4 zeigt eine weitere beispielhafte Ausführungsform einer nicht-flüchtigen Speicherzelle 10, die als Antifuse ausgebildet ist und eine Diode umfasst. Die Diode ist als Zener diode realisiert. 4A zeigt die nicht-flüchtige Speicherzelle 10 in Aufsicht. Diese weist entgegengesetzt dotierte Gebiete 302, 303 auf, die einen lateralen pn-Übergang in einem Kontaktgebiet 300 ausbilden. Das Gebiet 302 ist n-dotiert; das Gebiet 303 ist p-dotiert. Auf den beiden dotierten Gebieten 302, 303 sind Anschlüsse 304, 305 angeordnet. Die nicht-flüchtige Speicherzelle 10 ist mittels eines ersten Stroms I1 programmierbar. Vor dem Programmieren weist die Diode einen hohen Widerstandswert und einen vergleichbar niedrigen Leckstrom und nach dem Programmieren einen niedrigen Widerstandswert und einen hohen Stromfluss auf. Im programmierten Zustand kann die Diode näherungsweise ein Verhalten wie ein Widerstand zeigen. 4 shows another exemplary embodiment of a non-volatile memory cell 10 , which is designed as an antifuse and comprises a diode. The diode is realized as a Zener diode. 4A shows the non-volatile memory cell 10 in supervision. This has oppositely doped areas 302 . 303 on, showing a lateral pn junction in a contact area 300 form. The area 302 is n-doped; The area 303 is p-doped. In the two doped areas 302 . 303 are connections 304 . 305 arranged. The non-volatile memory cell 10 is programmable by means of a first current I1. Prior to programming, the diode has a high resistance value and a comparatively low leakage current and, after programming, a low resistance value and a high current flow. In the programmed state, the diode can approximate a behavior like a resistor.

33
Komparatorcomparator
88th
BezugspotenzialanschlussReference potential terminal
99
Versorgungsanschlusssupply terminal
1010
nicht-flüchtige Speicherzellenon-volatile memory cell
1111
erster Inverterfirst inverter
1212
Versorgungsanschlusssupply terminal
1414
Eingangentrance
1515
Ausgangoutput
2020
Referenzelementreference element
2121
zweiter Invertersecond inverter
2222
Versorgungsanschlusssupply terminal
2424
Eingangentrance
2525
Ausgangoutput
3030
erster Transistorfirst transistor
3535
erster Zweigfirst branch
4040
zweiter Transistorsecond transistor
5050
erster Transistorfirst transistor
5555
zweiter Zweigsecond branch
6060
zweiter Transistorsecond transistor
7070
erster Ladetransistorfirst charging transistor
8080
zweiter Ladetransistorsecond charging transistor
8989
Schreibanordnungwrite assembly
9090
zweiter Schaltersecond switch
9191
zweiter Eingangsecond entrance
9292
Steuereingangcontrol input
100100
erster Schalterfirst switch
101101
erster Eingangfirst entrance
110110
Transistortransistor
115115
zweiter Puffersecond buffer
120120
Transistortransistor
130130
Transistortransistor
135135
erster Pufferfirst buffer
140140
Transistortransistor
150150
Programmiertransistorprogramming transistor
160160
Kompensationselementcompensation element
170170
Programmieranschlussprogramming port
200200
mittlerer Bereichmiddle Area
201, 202201 202
Anschlussconnection
203203
KontaktContact
204204
Trägercarrier
205205
Isolatorinsulator
206206
Polysilizium-SchichtPolysilicon layer
207207
Silizid-SchichtSilicide layer
208208
polymorphe Siliziumschichtpolymorphous silicon layer
209209
Isolatorschichtinsulator layer
300300
KontaktgebietContact area
302302
n-dotiertes Gebietn-doped area
303303
p-dotiertes Gebietp-doped area
304, 305304 305
Anschlüsseconnections
BURNBURN
Programmiersignalprogramming signal
DATAINDATAIN
Einstellsignaladjustment
DATAOUTDATAOUT
gepufferte Ausgangsspannungbuffered output voltage
I1I1
erster Stromfirst electricity
I2I2
zweiter Stromsecond electricity
LOADLOAD
Ladesignalload signal
VOUTVOUT
Ausgangsspannungoutput voltage
VDDVDD
Versorgungsspannungsupply voltage
VSSVSS
Bezugspotenzialreference potential
NDATAINNDATAIN
invertiertes Einstellsignalinverted adjustment
NDATAOUTNDATAOUT
gepufferte, invertierte Ausgangsspannungbuffered, inverted output voltage
NVOUTNVout
invertierte Ausgangsspannunginverted output voltage
WRITEWRITE
SchreibsteuersignalWrite control signal

Claims (17)

Schaltungsanordnung mit einer nicht-flüchtigen Speicherzelle, umfassend – einen symmetrisch aufgebauten Komparator (3), der eine Selbsthaltefunktion umfasst und in einen differenziellen Strompfad, der einen Versorgungsspannungsanschluss (9) mit einem Bezugspotentialanschluss (8) verbindet, geschaltet ist, – die nicht-flüchtige Speicherzelle (10), die in einen ersten Zweig (35) des differenziellen Strompfades geschaltet ist, und – ein Referenzelement (20), das in einen zweiten Zweig (55) des differenziellen Strompfades geschaltet ist, wobei der Komparator (3) – einen ersten Inverter (11), der einen Eingang (14) und einen Ausgang (15) aufweist und zwischen einen Versorgungsanschluss (12) des ersten Inverters (11) und den Bezugspotentialanschluss (8) geschaltet ist, und – einen zweiten Inverter (21), der einen Eingang (24), der mit dem Ausgang (15) des ersten Inverters (11) verbunden ist, und einen Ausgang (25), der mit dem Eingang (14) des ersten Inverters (11) verbunden ist, aufweist und zwischen einen Versorgungsanschluss (22) des zweiten Inverters (22) und den Bezugspotentialanschluss (8) geschaltet ist, umfasst und die Schaltungsanordnung eine Schreibanordnung (89) mit – einem ersten Schalter (100), der einen ersten Eingang (101) der Schreibanordnung (89) mit dem Ausgang (15) des ersten Inverters (11) koppelt, – einem zweiten Schalter (90), der einen zweiten Eingang (91) der Schreibanordnung (89) mit dem Ausgang (25) des zweiten Inverters (21) koppelt, und – einem Steuereingang (92), der mit einem Steueranschluss des ersten Schalters (100) und einem Steueranschluss des zweiten Schalters (90) gekoppelt ist, umfasst.Circuit arrangement with a non-volatile memory cell, comprising - a symmetrically constructed comparator ( 3 ) comprising a self-holding function and a differential current path connecting a supply voltage terminal ( 9 ) with a reference potential connection ( 8th ), is connected, - the non-volatile memory cell ( 10 ) in a first branch ( 35 ) of the differential current path, and - a reference element ( 20 ), which is in a second branch ( 55 ) of the differential current path, the comparator ( 3 ) - a first inverter ( 11 ), which has an entrance ( 14 ) and an output ( 15 ) and between a supply connection ( 12 ) of the first inverter ( 11 ) and the reference potential terminal ( 8th ), and - a second inverter ( 21 ), which has an entrance ( 24 ) connected to the output ( 15 ) of the first inverter ( 11 ) and an output ( 25 ), with the entrance ( 14 ) of the first inverter ( 11 ) and between a supply connection ( 22 ) of the second inverter ( 22 ) and the reference potential terminal ( 8th ), and the circuit arrangement comprises a write arrangement ( 89 ) with - a first switch ( 100 ), which has a first entrance ( 101 ) the writing arrangement ( 89 ) with the output ( 15 ) of the first inverter ( 11 ), - a second switch ( 90 ), which has a second input ( 91 ) the writing arrangement ( 89 ) with the output ( 25 ) of the second inverter ( 21 ), and - a control input ( 92 ) connected to a control terminal of the first switch ( 100 ) and a control terminal of the second switch ( 90 ). Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass – die nicht-flüchtige Speicherzelle (10) zwischen den Versorgungsanschluss (12) des ersten Inverters (11) und den Versorgungsspannungsanschluss (9) geschaltet ist und – das Referenzelement (20) zwischen den Versorgungsanschluss (22) des zweiten Inverters (21) und den Versorgungsspannungsanschluss (9) geschaltet ist.Circuit arrangement according to claim 1, characterized in that - the non-volatile memory cell ( 10 ) between the supply connection ( 12 ) of the first inverter ( 11 ) and the supply voltage connection ( 9 ) and - the reference element ( 20 ) between the supply connection ( 22 ) of the second inverter ( 21 ) and the supply voltage connection ( 9 ) is. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Inverter (11) – einen ersten Transistor (40), der – an einem ersten Anschluss mit dem Bezugspotentialanschluss (8) und – an einem Steueranschluss mit dem Eingang (14) des ersten Inverters (11) verbunden ist, und – einen zweiten Transistor (30), der – an einem ersten Anschluss mit dem Versorgungsanschluss (12) des ersten Inverters (11), – an einem Steueranschluss mit dem Eingang (14) des ersten Inverters (11) und – an einem zweiten Anschluss mit einem zweiten Anschluss des ersten Transistors (40) des ersten Inverters (11) und mit dem Ausgang (15) des ersten Inverters (11) verbunden ist, umfasst.Circuit arrangement according to Claim 1 or 2, characterized in that the first inverter ( 11 ) - a first transistor ( 40 ), which - at a first connection to the reference potential connection ( 8th ) and - at a control connection with the input ( 14 ) of the first inverter ( 11 ), and - a second transistor ( 30 ), which - at a first connection to the supply connection ( 12 ) of the first inverter ( 11 ), - at a control connection with the input ( 14 ) of the first inverter ( 11 ) and - at a second terminal to a second terminal of the first transistor ( 40 ) of the first inverter ( 11 ) and with the output ( 15 ) of the first inverter ( 11 ). Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Inverter (21) – einen ersten Transistor (60), der – an einem ersten Anschluss mit dem Bezugspotentialanschluss (8) und – an einem Steueranschluss mit dem Eingang (24) des zweiten Inverters (21) verbunden ist, und – einen zweiten Transistor (50), der – an einem ersten Anschluss mit dem Versorgungsanschluss (22) des zweiten Inverters (21), – an einem Steueranschluss mit dem Eingang (24) des zweiten Inverters (21) und – an einem zweiten Anschluss mit einem zweiten Anschluss des ersten Transistors (60) des zweiten Inverters (21) und mit dem Ausgang (25) des zweiten Inverters (21) verbunden ist, umfasst.Circuit arrangement according to one of claims 1 to 3, characterized in that the second inverter ( 21 ) - a first transistor ( 60 ), which - at a first connection to the reference potential connection ( 8th ) and - at a control connection with the input ( 24 ) of the second inverter ( 21 ), and - a second transistor ( 50 ), which - at a first connection to the supply connection ( 22 ) of the second inverter ( 21 ), - at a control connection with the input ( 24 ) of the second inverter ( 21 ) and - at a second terminal to a second terminal of the first transistor ( 60 ) of the second inverter ( 21 ) and with the output ( 25 ) of the second inverter ( 21 ). Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Schaltungsanordnung – einen ersten Ladetransistor (70), der zwischen den Ausgang (15) des ersten Inverters (11) und den Bezugspotentialsanschluss (8) geschaltet ist, und – einen zweiten Ladetransistor (80), der zwischen den Ausgang (25) des zweiten Inverters (21) und den Bezugspotentialsanschluss (8) geschaltet ist und der einen Steueranschluss aufweist, der mit einem Steueranschluss des ersten Ladetransistors (70) verbunden ist, umfasst.Circuit arrangement according to one of claims 1 to 4, characterized in that the circuit arrangement - a first charging transistor ( 70 ) between the output ( 15 ) of the first inverter ( 11 ) and the reference potential connection ( 8th ), and - a second charging transistor ( 80 ) between the output ( 25 ) of the second inverter ( 21 ) and the reference potential connection ( 8th ) and having a control terminal connected to a control terminal of the first charging transistor ( 70 ). Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Schaltungsanordnung – einen ersten Puffer (135), der dem Ausgang (15) des ersten Inverters (11) nachgeschaltet ist, und – einen zweiten Puffer (115), der dem Ausgang (25) des zweiten Inverters (21) nachgeschaltet ist, umfasst.Circuit arrangement according to one of claims 1 to 5, characterized in that the circuit arrangement - a first buffer ( 135 ), the output ( 15 ) of the first inverter ( 11 ), and - a second buffer ( 115 ), the output ( 25 ) of the second inverter ( 21 ) downstream. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die nicht-flüchtige Speicherzelle (10) als irreversibel programmierbare Speicherzelle ausgebildet ist.Circuit arrangement according to one of Claims 1 to 6, characterized in that the non-volatile memory cell ( 10 ) is designed as an irreversibly programmable memory cell. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die nicht-flüchtige Speicherzelle (10) als Widerstand ausgebildet ist, dessen Widerstandswert mittels eines Programmierstroms irreversibel vergrößerbar ist.Circuit arrangement according to one of Claims 1 to 7, characterized in that the non-volatile memory cell ( 10 ) is designed as a resistor whose resistance value can be irreversibly increased by means of a programming current. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die nicht-flüchtige Speicherzelle (10) als Sicherung ausgebildet ist, die mittels eines Programmierstroms aufschmelzbar ist.Circuit arrangement according to one of Claims 1 to 8, characterized in that the non-volatile memory cell ( 10 ) is designed as a fuse, which can be fused by means of a programming current. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die nicht-flüchtige Speicherzelle (10) als Antifuse ausgebildet ist, deren Widerstandswert mittels eines Programmierstroms irreversibel verkleinerbar ist.Circuit arrangement according to one of Claims 1 to 7, characterized in that the non-volatile memory cell ( 10 ) is designed as an antifuse whose resistance value is irreversibly reduced by means of a programming current. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Referenzelement (20) als Widerstand ausgebildet ist.Circuit arrangement according to one of claims 1 to 10, characterized in that the reference element ( 20 ) is designed as a resistor. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Schaltungsanordnung – einen Programmiertransistor (150), der einen Anschluss der nicht-flüchtigen Speicherzelle (10) mit dem Bezugspotentialanschluss (8) koppelt, und – ein Kompensationselement (160), das mit einem Anschluss des Referenzelementes (20) verbunden ist, um an den Knoten (12, 22) symmetrische kapazitive Belastung zu erreichen, umfasst.Circuit arrangement according to one of claims 1 to 11, characterized in that the circuit arrangement - a programming transistor ( 150 ), one terminal of the non-volatile memory cell ( 10 ) with the reference potential connection ( 8th ), and - a compensation element ( 160 ) connected to a terminal of the reference element ( 20 ) is connected to the node ( 12 . 22 ) to achieve symmetric capacitive loading includes. Verwendung der Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 12 zur dauerhaften Speicherung von Daten, insbesondere einer Seriennummer, einer Halbleiterkörpernummer oder einer Trimmeinstellung einer analogen Schaltung auf einem Halbleiterkörper, der die Schaltungsanordnung umfasst.Use of the circuit arrangement according to one of claims 1 to 12 for the permanent storage of data, in particular one Serial number, a semiconductor body number or a trim adjustment of an analog circuit on a semiconductor body, the the circuit comprises. Verfahren zum Betrieb einer nicht-flüchtigen Speicherzelle, umfassend folgende Schritte: – Bereitstellen einer Versorgungsspannung (VDD), – Einstellen und Halten eines Ausgangssignals (VOUT) mit einem Wert 1 und eines invertierten Ausgangssignals (NVOUT) mit einem Wert 0 im Fall, dass eine nicht-flüchtige Speicherzelle (10) einen höheren Widerstandswert als ein Referenzelement (20) aufweist, und Einstellen und Halten des Ausgangssignals (VOUT) mit einem Wert 0 und des invertierten Ausgangssignals (NVOUT) mit einem Wert 1 im Fall, dass die nicht-flüchtige Speicherzelle (10) einen niedrigeren Widerstandswert als das Referenzelement (20) aufweist, wobei die nicht-flüchtige Spei cherzelle (10) und ein erster Zweig (35) des differenziellen Strompfades eines Komparators (3) von einem ersten Strom (I1) und das Referenzelement (20) und ein zweiter Zweig (55) des differenziellen Strompfades von einem zweiten Strom (I2) durchflossen werden, – Einstellen des Ausgangssignals (VOUT) und des invertierten Ausgangssignals (NVOUT) durch Überschreiben des Ausgangssignals (VOUT) mit einem Einstellsignal (DATAIN) und des invertierten Ausgangssignals (NVOUT) mit einem invertierten Einstellsignal (NDATAIN).Method for operating a non-volatile memory cell, comprising the following steps: - providing a supply voltage (VDD), - setting and holding an output signal (VOUT) with a value 1 and an inverted output signal (NVOUT) with a value 0 in the case where a non-volatile memory cell ( 10 ) has a higher resistance than a reference element ( 20 ) and setting and holding the output signal (VOUT) with a value of 0 and the inverted output signal (NVOUT) with a value of 1 in the case that the non-volatile memory cell ( 10 ) has a lower resistance than the reference element ( 20 ), wherein the non-volatile memory cell ( 10 ) and a first branch ( 35 ) of the differential current path of a comparator ( 3 ) of a first current (I1) and the reference element ( 20 ) and a second branch ( 55 a second current (I2) flows through the differential current path, - adjusting the output signal (VOUT) and the inverted output signal (NVOUT) by overwriting the output signal (VOUT) with an adjustment signal (DATAIN) and the inverted output signal (NVOUT) with a inverted setting signal (NDATAIN). Verfahren nach Anspruch 14, gekennzeichnet durch – Bereitstellen eines Ladesignals (LOAD) mit einem ersten Wert zum Absenken des Ausgangssignals (VOUT) und des invertierten Ausgangssignals (NVOUT), – Bereitstellen des Ladesignals (LOAD) mit einem zweiten Wert, der sich von dem ersten Wert unterscheidet, zum Aufladen eines ersten Ausgangs (25) des Komparators (3) und infolgedessen Ansteigen des Ausgangssignals (VOUT) in Abhängigkeit von dem Referenzelement (20) und Aufladen eines zweiten Ausgangs (15) des Komparators (3) und infolgedessen Ansteigen des invertierten Ausgangssignals (NVOUT) in Abhängigkeit von der nicht-flüchtigen Speicherzelle (10), – Vergleichen des Ausgangssignals (VOUT) mit dem invertierten Ausgangssignal (NVOUT), Bereitstellen des Ausgangssignals (VOUT) und des invertierten Ausgangssignals (NVOUT) in Abhängigkeit eines Vergleichsergebnisses.A method according to claim 14, characterized by providing a load signal (LOAD) having a first value for lowering the output signal (VOUT) and the inverted output signal (NVOUT), providing the load signal (LOAD) with a second value different from the first one Value, to charge a first output ( 25 ) of the comparator ( 3 ) and as a result increase of the output signal (VOUT) in dependence on the reference element ( 20 ) and charging a second output ( 15 ) of the comparator ( 3 ) and as a result increase the inverted output signal (NVOUT) in dependence on the non-volatile memory cell ( 10 ), - Comparing the output signal (VOUT) with the inverted output signal (NVOUT), providing the output signal (VOUT) and the inverted output signal (NVOUT) in dependence on a comparison result. Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, gekennzeichnet durch getrenntes Puffern des Ausgangssignals (VOUT) und des invertierten Ausgangssignals (NVOUT).A method according to claim 14 or 15, characterized by separately buffering the output signal (VOUT) and the inverted one Output signal (NVOUT). Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 16, gekennzeichnet durch Programmieren der nicht-flüchtigen Speicherzelle (10) mittels Ansteuern eines Programmiertransistors (150) mit einem Programmiersignal (BURN) derart, dass ein von der Versorgungsspannung (VDD) generierter Programmierstrom über die nicht-flüchtige Speicherzelle (10) und den seriell dazu geschalteten Programmiertransistor (150) fließt.Method according to one of Claims 14 to 16, characterized by programming the non-volatile memory cell ( 10 ) by driving a programming transistor ( 150 ) with a programming signal (BURN) in such a way that a programming current generated by the supply voltage (VDD) is transmitted via the non-volatile memory cell (10). 10 ) and the programming transistor connected in series ( 150 ) flows.
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