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Technisches Anwendungsgebiet
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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung
zur Vermessung geometrischer Merkmale von Objekten mit einem robotergeführten Lasersensor.
Die Prüfobjekte
sind Festkörper,
die beispielsweise aus metallischen Legierungen, oxidischen Materialien,
Polymerwerkstoffen oder Glas bestehen können.
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Die
Einhaltung der geometrischen Dimensionen und Merkmale eines mechanischen
Bauteils ist sowohl für
dessen Funktion als auch in Bezug auf die jeweiligen Qualitätsanforderungen
von entscheidender Bedeutung. Daher muss der Produktionsprozess in
automatisierten Fertigungslinien kontinuierlich überwacht und gesteuert werden.
Ein Beispiel ist die Prüfung
der dreidimensionalen Geometrie von Fahrzeugbaugruppen in der Automobilzulieferindustrie, wie
beispielsweise von Achsträgern,
Querträgern,
Instrumententrägern,
Auspuffanlagen, Windschutzscheiben, Karosseriebaugruppen oder sonstigen Strukturkomponenten
von Automobilen.
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Stand der Technik
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Für die Qualitätsprüfung bei
der Fertigung ist es bekannt, einzelne Bauteile während des
Fertigungsprozesses off-line zu vermessen. Das zur prüfende Bauteil
wird dabei aus der Produktionslinie genommen, in einen Messraum
transportiert und dort mit einer Koordinatenmessmaschine vermessen.
Die Prüfung
ist allerdings auf Stichproben beschränkt. Die Kenntnis über den
Produktionsprozess bleibt daher unvollständig. Toleranzüberschreitungen
werden nicht oder aufgrund der erforderlichen Mess- und Prüfzeit erst
später
erkannt, so dass die Prozessführung
nur verzögert
reagieren kann.
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Ein
anderer bekannter Lösungsansatz
besteht darin, die Bauteile in der Produktionslinie mit Hilfe einer
taktilen Messeinrichtung zu prüfen.
Dabei wird eine Vielzahl mechanischer Taster simultan eingesetzt,
um das Prüfobjekt
zu vermessen. Die Taster sind an einer Vorrichtung je nach Lage
und Orientierung des zu prüfenden
geometrischen Merkmals des Prüfobjekts
montiert. Für
die Halterung der Taster ist daher eine prüfobjektspezifische Vorrichtung
erforderlich, die nur eine geringe oder überhaupt keine Flexibilität im Hinblick
auf Änderungen
der zu prüfenden
Merkmale oder Bauteile bietet. Produktwechsel bedingen daher eine
Vielzahl von Prüfvorrichtungen, die überdies
nur aufwendig gewartet werden können.
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Bei
robotergeführten
Messeinrichtungen ist an der Hand eines Roboters eine Messeinheit
angebracht. Der Roboter bewegt die Messeinheit nacheinander an verschiedene
Messpositionen, an denen jeweils eine Messung eines geometrischen
Merkmals des Prüfobjekts
durchgeführt
wird. Hierbei bieten Knickarm-Roboter zwar eine hohe Flexibilität für die Positionierung
der Messeinheit relativ zum Prüfobjekt,
aufgrund der kinema tischen Struktur des Roboters und der Ungenauigkeiten
in den einzelnen Roboterachsen werden jedoch in typischen Messvolumina
von 1,5m·1m·0,5m nicht
die geforderten Wiederholpräzisionen
von ≤ 5 μm und Richtigkeiten
von ≤ 10 μm bei der
Prüfung
geometrischer Merkmale erreicht.
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Die
Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Verfahren
sowie eine Vorrichtung für eine
robotergeführte
Vermessung geometrischer Merkmale anzugeben, mit denen trotz der
Ungenauigkeiten des Roboters eine hohe Präzision und Richtigkeit bei
der Vermessung der geometrischen Merkmale auch in größeren Messvolumina
erzielt wird.
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Darstellung der Erfindung
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Die
Aufgabe wird mit dem Verfahren und der Vorrichtung gemäß den Patentansprüchen 1 und
4 gelöst.
Vorteilhafte Ausgestaltungen des Verfahrens und der Vorrichtung
sind Gegenstand der Unteransprüche
oder lassen sich der nachfolgenden Beschreibung sowie den Ausführungsbeispielen
entnehmen.
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Bei
dem vorliegenden Verfahren werden ein oder mehrere Referenzobjekte
in der Umgebung eines zu vermessenden Objektes, in der vorliegenden Patentanmeldung
als Prüfobjekt
bezeichnet, angeordnet oder festgelegt und eine Messeinheit mit
einem Verfahrachsensystem bereitgestellt, an dem zumindest ein Lasersensor
befestigt ist. Das Verfahrachsensystem kann beispielsweise durch
eine Linearachse, eine Kombination von Linearachsen, eine Rotationsachse,
eine Kombination von Rotationsachsen oder eine Kombination von Linear- und Rotationsachsen
gebildet sein. Vorzugsweise wird als Verfahrachsensystem eine präzise Linearachse
eingesetzt. Bei dem Lasersensor kann es sich beispielsweise um einen
Lasertriangulations- oder einen Laserlichtschnittsensor handeln.
Die Art dieses Lasersensors spielt bei dem Verfahren und der Vorrichtung der
vorliegenden Erfindung keine Rolle, solange der Lasersensor die
Vermessung des geometrischen Merkmals ermöglicht.
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Die
Messeinheit wird mit einer Roboterhand in eine räumliche Position und räumliche
Orientierung gebracht, in denen ein zu vermessendes geometrisches
Merkmal des Prüfobjektes
und zumindest eines der Referenzobjekte in einem Erfassungsbereich
der Messeinheit liegen. Dieser Erfassungsbereich entspricht dem
räumlichen
Messbereich der Messeinheit, der durch die Eigenschaften des Lasersensors
und den Verschiebeweg bzw. die Bewegungsmöglichkeit des Lasersensors
mit dem Verfahrachsensystem festgelegt ist.
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In
dieser Position und Orientierung wird dann das zu vermessende geometrische
Merkmal des Prüfobjekts
sowie eine räumliche
Lage, d.h. räumliche
Position und räumliche
Orientierung, des Referenzobjekts mit der Messeinheit vermessen.
Durch diese Vermessung werden relative Messdaten erhalten, die auf
die Messposition der Messeinheit bezogen sind. Die bei der Vermessung
des geometrischen Merkmals erhaltenen relativen Messdaten werden anschließend unter
Berücksichtigung
der erfassten räumlichen
Lage des Referenzobjektes und einer bekannten relativen räumlichen
Lage des Referenzobjektes zum Prüfobjekt
umgerechnet, um absolute Messdaten des geometrischen Merkmals zu
erhalten. Bei mehreren Referenzobjekten können die vorgenannten Schritte
unter Einbeziehung aller im Erfassungsbereich der Messeinheit liegenden
Referenzobjekte durchgeführt
werden. Geometrische Merkmale können
hierbei beispielsweise Abmessungen oder Oberflächenformen von Bauteilbereichen
oder bestimmten Elementen an Bauteilen sein.
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Die
relative räumliche
Lage der Referenzobjekte zum Prüfobjekt
kann vorab ermittelt oder festgelegt werden. Die Referenzobjekte
stehen in jedem Fall in definierter Lage zu einer Auflage- oder
Spannvorrichtung für
das Prüfobjekt.
Es handelt sich bei den Referenzobjekten vorzugsweise um separate Körper, die
im Bereich des Prüfobjektes
positioniert werden. In bestimmten Fällen können als Referenzobjekte auch
Bestandteile der Auflage- oder Spannvorrichtung oder anderer im
Prüfraum
vorhandener Komponenten festgelegt werden. Durch Vermessung des
geometrischen Merkmals des Prüfobjekts
und der räumlichen
Lage des Referenzobjekts oder der Referenzobjekte in einem Messvorgang
können
die relativen Messdaten des Lasersensors in das Koordinatensystem
der Referenzobjekte transformiert werden. Dadurch führen etwaige
Abweichungen der Lage des Roboterarms bzw. der Roboterhand vom Sollwert
nicht zu Messfehlern. Das Koordinatensystem der Referenzobjekte
steht in bekannter Raumlage zum Koordinatensystem der Auflage- oder
Spannvorrichtung. Diese gibt wiederum die Lage des Koordinatensystems
des Prüfobjekts
vor, so dass die vom Lasersensor erhaltenen relativen Messdaten
des vermessenen geometrischen Merkmals in das Koordinatensystem
des Prüfobjekts
umgerechnet werden können.
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Bei
dem Verfahren werden vorzugsweise mehrere Referenzobjekte an der
Auflage- oder Spannvorrichtung eingesetzt, um auch in einem größeren Messvolumen
eine hohe Präzision
und Richtigkeit der Messdaten zu erzielen.
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Mit
dem vorgeschlagenen Verfahren und der zugehörigen Vorrichtung werden daher
die Präzision und
Richtigkeit bei der robotergeführten
Vermessung geometrischer Merkmale von Objekten gegenüber dem
Stand der Technik erheblich gesteigert, ohne besondere Anforderungen
an die Genauigkeit oder Lagestabilität des eingesetzten Roboters
zu stellen.
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In
einer bevorzugten Weiterbildung des vorliegenden Verfahrens wird
eine Messeinheit eingesetzt, bei der an dem Verfahrachsensystem
oder dem Lasersensor zumindest ein Projektionsmodul angebracht ist,
das durch Emission zumindest eines räumlich modulierten Lichtbündels auf
zumindest einem ortsfesten positionsempfindlichen Detektor ein Muster
erzeugt. Mit dieser zusätzlichen
Messeinrichtung bestehend aus dem Projektionsmodul und dem positionsempfindlichen
Detektor wird die räumliche
Position und räumliche
Orientierung des Lasersensors während
der Vermessung des jeweiligen geometrischen Merkmals überwacht.
Das vom Projektionsmodul ausgehende Lichtbündel wird in definierter Raumlage
zum Lasersensor in Richtung des ortsfesten Detektors emittiert und
ist so stark aufgeweitet, dass zumindest Teile des Lichtbündels während des Messvorgangs
auf den Detektor treffen. Mit Hilfe des auf den Detektor projizierten
Musters, beispielsweise einem Punkt- oder Streifenmuster, kann eine
Translations- und Rotationsbewegung des Lasersensors während des
Messvorgangs der Vermessung des geometrischen Merkmals erfasst werden.
Aus der Veränderung
des Musters während
der Vermessung des geometrischen Merkmals können Abweichungen einer Bewegung
des Lasersensors von der vorgegebenen Soll-Bewegungsbahn, bspw. einer geradlinigen
Linearbewegung im Falle einer Linearachse, ermittelt werden. Mit
dieser Information können
dann die Messdaten des Lasersensors korrigiert werden, um Ungenauigkeiten
des Verfahrachsensystems oder Änderungen
der räumlichen
Lage des Lasersensors aufgrund von Lastveränderungen an der Roboterhand
auszugleichen.
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Vorzugsweise
werden hierbei zumindest zwei Lichtbündel genutzt, die auf zumindest
zwei ortsfesten positionsempfindlichen Detektoren Muster erzeugen.
Die Emissionsrichtung der Lichtbündel
sowie die Anordnung der Detektoren wird dabei so gewählt, dass
sowohl eine Verkippung des Lasersensors um eine Hochachse als auch
um eine Querachse anhand der Veränderung
der Muster erfasst werden können.
Vorzugsweise werden die beiden Lichtstrahlbündel hierbei unter einem Winkel
von ca. 90° zueinander
emittiert.
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Die
vorliegende Vorrichtung umfasst eine Messeinheit mit einem Verfahrachsensystem,
an dem zumindest ein Lasersensor befestigt ist und das für die Aufnahme
durch eine Roboterhand geeignet ist, d.h. beispielsweise ein entsprechendes
Ankopplungselement aufweist. Mit der Messeinheit ist eine Steuereinrichtung
verbunden, die die Messeinheit zur Vermessung eines geometrischen
Merkmals eines Prüfobjekts
sowie einer räumlichen
Lage zumindest eines im Erfassungsbereich der Messeinheit befindlichen
Referenzobjekts ansteuert. Eine mit der Messeinheit verbundene Auswerteeinrichtung
rechnet die durch die Vermessung des geometrischen Merkmals erhaltenen
relativen Messdaten unter Berücksichtigung
der erfassten räumlichen
Lage des zumindest einen Referenzobjektes und einer bekannten relativen
räumlichen
Lage des Referenzobjektes zum Prüfobjekt
um, um absolute Messdaten des geometrischen Merkmals zu erhalten.
Beim Einsatz dieser Vorrichtung wird die Messeinheit an eine Roboterhand
angekoppelt und entsprechend dem vorangehend erläuterten Verfahren für die Vermessung
ein oder mehrerer geometrischer Merkmale eines Prüfobjektes
eingesetzt.
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Vorzugsweise
umfasst die Messeinheit der vorliegenden Vorrichtung an dem Verfahrachsensystem
oder dem Lasersensor zusätzlich
zumindest ein Projektionsmodul, das durch Emission zumindest eines
räumlich
modulierten Lichtbündels
auf zumindest einem ortsfesten positionsempfindlichen Detektor ein Muster
erzeugt. Der Detektor muss dabei während des Einsatzes der Vorrichtung
selbstverständlich
an geeigneter Stelle ortsfest montiert werden. Der Detektor ist
mit der Auswerteeinrichtung verbunden, die eine Veränderung
des Musters während
der Vermessung des geometrischen Merkmals erfasst, aus der Veränderung
Abweichungen einer Bewegung des Lasersensors von einer Soll-Bewegungsbahn ermittelt
und die absoluten Messdaten entsprechend korrigiert.
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In
der bevorzugten Ausgestaltung werden vom Projektionsmodul zumindest
zwei Lichtbündel unter verschiedenen
Winkeln emittiert, um auf zumindest zwei ortsfesten positionsempfindlichen
Detektoren Muster zu erzeugen, aus denen sowohl eine Verkippung
des Lasersensors um eine Hochachse als auch um eine Querachse anhand
der Veränderung der
Muster erfasst werden können.
Alternativ können auch
zumindest zwei Projektionsmodule vorgesehen sein, von denen jedes
eines dieser Lichtbündel
emittiert.
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Kurze Beschreibung der
Zeichnungen
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Das
vorliegende Verfahren und die zugehörige Vorrichtung werden nachfolgend
anhand von Ausführungsbeispielen
in Verbindung mit den Zeichnungen ohne Beschränkung des durch die Patentansprüche vorgegebenen
Schutzbereichs nochmals näher
erläutert.
Hierbei zeigen:
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1 eine
schematische Darstellung eines Roboters für die Durchführung des
vorliegenden Verfahrens;
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2 eine
schematische Darstellung der Verhältnisse bei der Vermessung
eines geometrischen Merkmals mit dem vorliegenden Verfahren;
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3 eine
schematische Darstellung, die die Verhältnisse bei der Überwachung
der Position des Lasersensors zeigt; und
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4 ein
Beispiel für
die Veränderung
der auf einen ortsfesten Detektor projizierten Muster.
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Wege zur Ausführung der
Erfindung
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1 zeigt
eine schematische Darstellung eines 6-Achs-Knickarm-Roboters, in
der die sechs Drehachsen 1 bis 6 mit Pfeilen angedeutet
sind. An der Hand des Roboters befindet sich eine Montagefläche 7 als
Schnittstelle zur Aufnahme einer zu handhabenden Komponente, im
vorliegenden Fall der Messeinheit mit dem Lasersensor. Der Roboter ist
auf einer Standfläche 8 fest
montiert.
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2 zeigt
den vorderen Teil dieses Roboters mit der Montagefläche 7 bei
der Durchführung des
vorliegenden Verfahrens. Hierbei wird die Messeinheit aus Lasersensor 10 und
Translations- bzw. Linearachse 9 an der Montagefläche 7 befestigt.
Die Linearachse 9 trägt
den Lasersensor 10 und bewegt diesen während eines Messvorgangs mit
einem geeigneten Antrieb in Verfahrrichtung 17.
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Das
Bauteil 12 befindet sich während der Messung auf einer
Auflagevorrichtung 13, 14, 14', die eine definierte
Lage des Bauteils sicherstellt. An der Auflagevorrichtung sind Referenzkörper 15, 16 in
der näheren
Umgebung der zu vermessenden geometrischen Merkmale montiert. Die
Koordinatensysteme der Referenzkörper
(Referenzkörper-Koordinatensystem 19),
der Auflagevorrichtung (Koordinatensystem 18) sowie des
Bauteils (Bauteil-Koordinatensystem 20) sind im Allgemeinen
schiefwinklig zueinander orientiert. Im vorliegenden Beispiel sind
diese Koordinatensysteme 18 bis 20 lediglich zur
Vereinfachung in gleicher Orientierung dargestellt.
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Der
Roboter positioniert die Messeinheit zur Vermessung des jeweiligen
geometrischen Merkmals so, dass der Messstrahl 11 des Lasersensors 10 in
dieser Position und Orientierung der Messeinheit durch die Bewegung
des Lasersensors 10 mit der Linearachse 9 sowohl
das geometrische Merkmal 21 des zu prüfenden Bauteils 12 als
auch die Oberfläche
des in der Nähe
befindlichen Referenzkörpers 16 überstreichen
kann.
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Während eines
Messvorgangs misst der Lasersensor 10 das geometrische
Merkmal 21 und die Raumlage des Referenzkörpers 16.
Die Messdaten der Messeinheit können
auf diese Weise in das Referenzkörper-Koordinatensystem 19 überführt werden. Dieses
Koordinatensystem steht in einem festen Bezug zu den Koordinatensystemen 18, 20 der
Auflagevorrichtung sowie des Bauteils. Die Raumlage der genannten
Koordinatensysteme kann vor Durchführung der Messung beispielsweise über eine
herkömmliche
Vermessung der Auflagevorrichtung 13, 14, 14' mit den Referenzkörpern 15, 16 mit
einer Koordinatenmessmaschine ermittelt werden.
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Vorzugsweise
werden mehrere Referenzkörper
eingesetzt, die so positioniert sind, dass sie jeweils in der Nähe von zu
prüfenden
Merkmalen innerhalb des Erfassungs- bzw. Messbereichs der Messeinheit
liegen. Die räumliche
Gestalt der Referenzkörper
muss dabei so gewählt
werden, dass aus ihrer dreidimensionalen Vermessung eindeutig die
räumliche
Lage, d.h. die räumliche
Position und räumliche Orientierung,
der Referenzkörper
und somit des Referenzkörper-Koordinatensystems 19 ermittelbar
ist. Dies muss innerhalb der maximal möglichen Lageabweichungen der
jeweiligen Roboterposition an der Schnittstelle zur Messeinheit
gewährleistet
sein.
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3 zeigt
eine vorteilhafte Weiterbildung des vorliegenden Verfahrens sowie
der zugehörigen Vorrichtung,
bei der die Translation und Rotation des Lasersensors 10 während eines
Messvorgangs überwacht
bzw. erfasst wird. Die Linearachse 9 kann fehlerbehaftet
sein, so dass die Translationsbewegung des Lasersensors während des
Messvorgangs nicht in idealer Weise vollzogen wird. Die Translation
in Verfahrrichtung 17 erfolgt dann ungleichmäßig und weist
zusätzlich
geringfügige
Rotationen um die Längs-,
Hoch- und Querachse
des Sensors 10 auf. Diese Bewegungsformen werden auch mit
den Begriffen Schlingern, Gieren und Stampfen bezeichnet. Zudem ändern sich
durch die Verschiebung des Lasersensors 10 mit der Linearachse 9 die
Lastverhältnisse
an der Roboterhand, so dass diese aufgrund der Nachgiebigkeit ihre
Position verändern
oder in Schwingungen versetzt werden kann.
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Um
diese zusätzlichen
Fehlerquellen zu erfassen und gegebenenfalls zu kompensieren, sendet ein
Projektionsmodul im Lasersensor 10 im vorliegenden Beispiel
Lichtbündel 22, 23 aus,
die auf ortsfesten Detektoren 24, 25 ein strukturiertes
Lichtmuster 26, 27 erzeugen, im vorliegenden Beispiel
ein Punktmuster. In 3 ist vereinfachend anstelle
eines Lichtbündels
nur ein Strahl dargestellt. In der Praxis läuft das Lichtbündel vorzugsweise
divergent auseinander, so dass das Muster in einen großen Raumwinkel
projiziert wird.
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Die
ortsempfindlichen Detektoren 24, 25 sind an einem
Rahmen 29 befestigt, der in einem festen Ortsbezug zur
Auflagevorrichtung mit dem Koordinatensystem 18 steht.
Die Detektoren 24, 25 messen das Lichtmuster,
während
der Lasersensor 10 von der Linearachse 9 zur Vermessung
des geometrischen Merkmals 21 verfahren wird. Aufgrund
der Bewegung des Lasersensors 10 bewegt sich auch das durch
die Lichtbündel
erzeugte Muster 26, 27 auf den Detektoren 24, 25.
Diese Muster werden in Zeitabständen,
die kleiner sind als typische Zeitskalen der irregulären Sensorbewegung,
während
des Messvorgangs erfasst und ausgewertet.
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4 illustriert
schematisch verschiedene Punktmuster, die während eines Messvorgangs auftreten
können.
Auf dem Detektor 24 liegt am Beginn des Messvorgangs ein
quadratisches Punktmuster 28 vor. Aufgrund der Verschiebung
des Lasersensors 10 mit der Linearachse 9 verschiebt
sich das Punktmuster 28 und nimmt die Form des verschobenen Punktmusters 28' an. Diese Veränderung
des Musters auf dem Detektor 24 korreliert mit der Soll-Bewegungsbahn
des Lasersensors 10. Eine nicht gewünschte Sensorrotation um die
Querachse führt
zu einem verkippten Punktmuster 28'',
eine Rotation um die Hochachse zu einem verzerrten Muster 28'''.
Die jeweilige Lage und Gestalt dieses Punktmusters wird ausgewertet,
um die momentane Sensorposition zu ermitteln oder eine Abweichung
der Bewegung des Sensors von der geradlinigen Soll-Bewegung zu erfassen
und die Messwerte entsprechend zu korrigieren.
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Die
Lichtbündel 22, 23 können beispielsweise
durch Laserstrahlen erzeugt werden, die mit optischen Elementen
zu breiten Lichtbündeln
aufgespalten werden. Das Punktmuster stellt nur ein Beispiel dar.
Alle Formen von Mustern sind geeignet, sofern sie eine eindeutige
Ermittlung der Translations- und Rotationsbewegungen des Lasersensors
innerhalb der vom Roboter und der Linearachse bedingten Ungenauigkeiten
der Lasersensorposition erlauben.
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Im
Folgenden wird das vorliegende Verfahren anhand eines beispielhaften
Messablaufs nochmals kurz beschrieben. Ein Bauteil 12 wird
in die Auflagevorrichtung 13, 14, 14' gelegt. Der
Roboter fährt die
Messeinheit 9, 10 in eine erste Position, so dass der
Messstrahl 11, des Lasersensors 10 das zu prüfende Merkmal 21 und
einen Referenzkörper 16 innerhalb
des Messbereichs erreichen kann. Der Messvorgang startet, bei dem
die Linearachse 9 den Lasersensor 10 entlang der
Richtung 17 führt
und der Lasersensor 10 das Merkmal 21 und den
Referenzkörper 16 mit
dem Messstrahl 11 vermisst. Während dieses Messvorgangs werden
Bewegungsabweichungen des Lasersensors 10 über die
Lichtbündel 22, 23 und
die Detektoren 24, 25 erfasst. Mit diesen Informationen
werden die Messdaten des Lasersensors in einer Auswerteeinrichtung
korrigiert und über das
Referenzkörper-Koordinatensystem 19 und
das Koordinatensystem 18 der Auflagevorrichtung schließlich in
das Bauteil-Koordinatensystem 20 transformiert. Dadurch
werden die absoluten Messdaten des vermessenen Merkmals mit hoher
Präzision
erhalten.
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Nach
Abschluss des Messvorgangs fährt
der Roboter die nächste
Position mit der Messeinheit an und der geschilderte Messvorgang
wird in gleicher Weise für
das nächste
Merkmal durchgeführt.
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- 1
- Drehachse
- 2
- Drehachse
- 3
- Drehachse
- 4
- Drehachse
- 5
- Drehachse
- 6
- Drehachse
- 7
- Montagefläche
- 8
- Standfläche
- 9
- Linearachse
- 10
- Lasersensor
- 11
- Messstrahl
- 12
- Bauteil
- 13
- Auflagevorrichtung
- 14
- Auflage
- 14'
- Auflage
- 15
- Referenzkörper
- 16
- Referenzkörper
- 17
- Verfahrrichtung
- 18
- Koordinatensystem
der Auflagevorrichtung
- 19
- Referenzkörper-Koordinatensystem
- 20
- Bauteil-Koordinatensystem
- 21
- geometrisches
Merkmal
- 22
- Lichtbündel
- 23
- Lichtbündel
- 24
- ortsempfindlicher
Detektor
- 25
- ortsempfindlicher
Detektor
- 26
- Punktmuster
- 27
- Punktmuster
- 28
- Punktmuster
- 28'
- verschobenes
Punktmuster
- 28''
- verkipptes
Punktmuster
- 28'''
- verzerrtes
Punktmuster
- 29
- ortsfester
Rahmen