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Einleitung
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Die
Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung
einer Dicke einer transparenten organischen Schicht auf einer Oberfläche eines
Trägermaterials,
wobei die mit der Schicht versehene Oberfläche mit Licht mehrerer unterschiedlicher Wellenlängen bestrahlt
wird und durch Messung des reflektierten Lichts die jeweilige Absorption
des Lichtes in unterschiedlichen Wellenlängenbereichen bestimmt wird,
wobei mindestens einer der unterschiedlichen Wellenlängenbereiche
innerhalb eines Absorptionsbereichs des Absorptionsspektrums der Moleküle der organischen
Schicht und mindestens einer der unterschiedlichen Wellenlängenbereiche außerhalb
des zuvor genannten Absorptionsbereichs liegt, wobei das reflektierte
Licht von mindestens einem Detektor erfasst und auf Grundlage der
von dem Detektor abgegebenen Daten die Dicke der Schicht bestimmt
wird.
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Typischerweise
wird am Ende eines Walzprozesses bei der Herstellung von Feinblech
aus Stahl oder Nichteisenmetallen, wie beispielsweise Aluminium,
Messing oder Kupfer aus Korrosionsschutzgründen eine organische Schicht
auf das Blech aufgebracht. Bei diesen transparenten, organischen
Schichten handelt es sich im Allgemeinen um organische Öle oder
Wachse, die neben einem Schutz vor Korrosion ebenso ein Einreißen des Blechs
bei einem späteren
Tiefziehprozess verhindern.
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Eine
Abweichung der Dicke der organischen Schicht von einem Soll-Wert – sowohl
nach oben als auch nach unten – ist
nicht erwünscht:
Eine nicht ausreichend dicke Schicht kann zu einer Beschädigung des
Blechs, insbesondere zu einer Rissbildung bei einem späteren Bearbeitungsprozess
führen,
während durch
eine Dicke der Schicht, die oberhalb des Sollwertes liegt, ein Ölaustritt
aus einem gewickelten Coil hervorgerufen wird, was einerseits zu
Verunreinigungen der Lager- und Betriebsflächen führt und andererseits eine Rutschgefahr
für Personal
hervorruft und somit ein Sicherheitsrisiko darstellt. Demzufolge ist
eine Messung der organischen Schichtdicke zu Kontrollzwecken erforderlich.
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Allgemein
bekannt sind Verfahren oder Vorrichtungen zur Bestimmung der Schichtdicke,
bei denen die beschichtete Blechoberfläche mit Infrarotstrahlen einer
breitbandigen Lichtquelle bestrahlt wird und eine Auswertung der
reflektierten bezie hungsweise absorbierten Strahlen mit Hilfe des
Lambert-Beer'schen
Gesetztes vorgenommen wird.
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Aus
der japanischen Veröffentlichung 60-017304
wird ein Verfahren offenbart, bei dem das auf die Blechoberfläche abgestrahlte
Licht mittels eines vor die breitbandige Lichtquelle angebrachten mechanischen
Filterrades in unterschiedliche Wellenlängen zerlegt wird. Das Filterrad
ist mit einem Filter, der an die Absorptionswellenlänge der
aufgebrachten Schicht angepasst ist, und mit einem Filter, der als
Referenzfilter dient und an eine Wellenlänge außerhalb der Absorptionswellenlänge der
aufgebrachten Schicht angepasst ist, ausgestattet. Durch die Rotation
des Filterrades wird die Blechoberfläche abwechselnd mit Licht der
vorgenannten Wellenlängen
angestrahlt, so dass anhand einer Messung der reflektierten Lichtstrahlen
mit den unterschiedlichen Wellenlängen auf die Schichtdicke der
transparenten Schicht geschlossen werden kann.
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Nachteilig
an dieser Messvorrichtung ist, dass die von der Lichtquelle ausgehenden
Lichtstahlen zunächst
durch eine Linse, dann durch das Filterrad und schließlich durch
einen Kollimator geführt werden,
wodurch die Lichtintensität
der auf die Blechoberfläche
auftreffenden Strahlen stark reduziert wird. Deshalb ist zur Beleuchtung
eine äußerst leistungsstarke
Lichtquelle, im Allgemeinen ein Glühfadenleuchtmittel mit hoher
Leistung, erforderlich, die jedoch die Blechoberfläche stark
aufheizt, was im Extremfall zu einer partiellen Verbrennung der
organischen Beschichtung bei Stillstand des Bandes führen kann.
Ein weiterer Nachteil der vorgenannten Vorrichtung ist die Steuerung
der Wellenlängen
mittels eines mechanischen Filterrades, das eine begrenzte Lebensdauer
aufweist und einen verhältnismäßig großen Platzbedarf
bedarf, was insbesondere für Handgeräte nicht
praktikabel ist. Weiterhin ist die Messfrequenz von der Umlaufgeschwindigkeit
des Filterrades abhängig
und beeinflusst somit bei gegebener Laufgeschwindigkeit des Bandes
den Abstand der Messpunkte auf dem Band und somit die „Prüfungsdichte", das heißt die Zuverlässigkeit
der Messung.
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Bei
der Bestimmung der Schichtdicke einer transparenten, organischen
Schicht nach der europäischen
Patentschrift
EP 1
287 310 B1 wird die Oberfläche des beschichteten Trägermaterials
direkt mit Hilfe einer breitbandigen Lichtquelle beleuchtet, die eine
Strahlung enthält,
die von der organischen Schicht absorbiert wird. Das reflektierte
beziehungsweise zurückgestreute
Licht wird mittels eines Spektrometers eingesammelt und spektral
zerlegt. Schließlich
wird die Intensität
der Wellenlängenbereiche
des reflektierten Lichts ausgewertet, die einmal innerhalb eines
Absorptionsbandes des Absorptionsspektrums der Moleküle der organischen
Schicht und einmal außerhalb
des Absorptionsbandes liegen, so dass auf die Dicke der Schicht
geschlossen werden kann. Auch hier besteht ein Nachteil in der Verwendung
eines motorbetriebenen mechanischen Filterrades zur Steuerung der
Wellenlängen,
das einerseits eine begrenzte Lebensdauer aufweist und andererseits
die Messfrequenz einschränkt.
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Aus
der Offenlegungsschrift
DE
43 18 767 A1 geht ebenso ein Verfahren beziehungsweise
eine Vorrichtung zum Messen der Dicke einer dünnen organischen Schicht auf
Kaltwalzerzeugnissen hervor, bei dem die Wellenlängenbereiche des von einem
Infrarotstrahler abgestrahlten Lichtes ebenfalls durch verschiedene
Referenzfilter bestimmt werden, die auf einer schrittweise drehbaren
Scheibe angeordnet sind.
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Aufgabe
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Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zur Messung einer
Dicke einer transparenten Schicht bereit zu stellen, das sich durch
eine hohe Messgeschwindigkeit, einen geringen Platzbedarf und einen
Verzicht auf ein mechanisches Filterrad auszeichnet. Ferner ist
es Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Vorrichtung zur Durchführung dieses
Verfahrens zu schaffen.
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Lösung
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Ausgehend
von dem Verfahren der eingangs beschriebenen Art wird diese Aufgabe
dadurch gelöst,
dass mindestens zwei Strahlungsquellen zur Erzeugung von Licht mit
jeweils unterschiedlichen Wellenlängen verwendet werden, wobei
mindestens eine Strahlungsquelle Licht mit einer Wellenlänge innerhalb
des zuvor genannten Absorptionsbereichs und mindestens eine Strahlungsquelle
Licht mit einer Wellen länge
außerhalb
des zuvor genannten Absorptionsbereichs abgibt. Hieraus ergibt sich
der Vorteil, dass bei der separaten Erzeugung der unterschiedlichen
Wellenlängen
gänzlich
auf ein Filterrad mit einer begrenzten Lebensdauer, einem großen Platzbedarf
und einer eingeschränkten
Drehfrequenz verzichtet werden kann. Infolge einer somit höheren möglichen
Messfrequenz des Verfahrens wird bei einer gegebenen Laufgeschwindigkeit
des Bandes eine höhere
Dichte der Messpunkte erreicht, wodurch die Dicke der organischen
Schicht deutlich aussagekräftiger überwacht
beziehungsweise geprüft
werden kann.
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Eine
Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens
sieht vor, dass das reflektierte Licht jeder der mindestens zwei
Strahlungsquellen von einem der jeweiligen Strahlungsquelle zugeordneten
Detektor erfasst wird. Somit kann die Zuordnung der Daten, die in
einer Auswerteeinheit ausgewertet werden, auf einfache Weise erfolgen,
da jedem Detektor automatisch ein Wellenlängenbereich zugeordnet werden kann,
der dem der dem Detektor zugehörigen
Lichtquelle entspricht, da jeder Detektor lediglich die reflektierten
Lichtstrahlen eines Wellenlängenbereichs empfängt. Außerdem kann
auf einen pulsierenden Betrieb der Strahlungsquellen verzichtet
werden, falls dies gewünscht
ist.
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Dabei
ist es von Vorteil, wenn die jeweiligen Lichtstrahlen zwischen den
Strahlungsquellen und den zugeordneten Detektoren räumlich unabhängig sind,
so dass eine fehlerhafte Datenverarbeitung verhindert werden kann.
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Erfindungsgemäß kann vorgesehen
werden, dass das Licht der verschiedenen Strahlungsquellen einen
gemeinsamen Bereich der Oberfläche
des Trägermaterials
bestrahlt, so dass sich die erfassten Werte bezüglich der jeweiligen Leuchtquellen
mit verschiedenen Banden auf den selben Bereich der zu messenen
Schicht beziehen und eine hohe Messgenauigkeit des Verfahrens gewährleistet
wird. Durch Anordnung der verschiedenen Strahlungsquellen können die
Ein- und Ausfallwinkel derart eingestellt werden, dass sich die
Lichtstrahlen nicht gegenseitig beeinflussen, wobei entweder der
direkte oder der diffuse Reflex des Lichts genutzt werden kann.
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Die
Erfindung weiter ausgestaltend wird das reflektierte Licht der Strahlungsquellen
von einem einzigen Detektor zur Datenverarbeitung aufgenommen und
die mindestens zwei Strahlungsquellen werden abwechselnd gepulst.
Die Strahlungsquellen werden demnach intermittierend aktiviert,
wobei diese das Trägermaterial
mit der darauf befindlichen Schicht zeitversetzt zueinander bestrahlen.
Der Detektor erfasst dann abwechselnd reflektierte Lichtstrahlen
von der Lichtquelle mit einer Wellenlänge innerhalb der Absorptionsbande
des Absorptionsspektrums der Moleküle der organischen Schicht
und reflektierte Lichtstrahlen von der Lichtquelle mit einer Wellenlänge außerhalb
der zuvor genannten Absorptionsbande. Durch den Wegfall von mindestens
einem Detektor kann das Verfahren sowohl kostengünstiger als auch platzsparender
ausgeführt
werden.
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Zur
Festlegung der verschiedenen Wellenlängenbereiche der Strahlungsquellen
können
Vorsatzfilter eingesetzt werden. Das hat den Vorteil, dass eine
Anpassung des Verfahrens an verschiedenartige transparente Schichten
durch simples Austauschen der Vorsatzfilter erfolgen kann. Auch
ist die zuverlässige
Einhaltung bestimmter Grenzen der Wellenlängenbereiche so einfach möglich.
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Als
besonders vorteilhaft hat sich herausgestellt, wenn die Strahlungsquellen
von Leuchtdioden gebildet werden. Sowohl bei kontinuierlichem Betrieb als
auch bei gepulstem Betrieb von mindestens zwei Lichtquellen kann
das Verfahren deutlich energiesparender durchgeführt werden als mit Glühfadenleuchtmitteln.
Besonders bei Handgeräten,
die zur Energieversorgung mit einem Akku ausgestattet sind, ist
die Verwendung von Leuchtdioden als Strahlungsquellen gut geeignet,
da die Geräte
aufgrund des geringeren Energieverbrauchs mit einem kleineren Akku ausgestattet
werden können,
was sich sowohl auf den Platzbedarf als auch auf das Gerätegewicht
positiv auswirkt.
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Insbesondere
bei dem oben aufgeführten Impulsbetrieb
der Leuchtmittel zeichnen sich die Leuchtdioden besonders aus, da
sie gerade bei einer extrem kurzen Aktivierung bereits über eine
extrem hohe Strahlungsenergie verfügen. Weiterhin weisen Leuchtdioden
keine Nachleuchtzeit auf, so dass die Lichtimpulse deutlich schneller
aufeinander folgen können
als bei Glühfadenleuchtmitteln.
Schließlich ist
die Verwendung von Leuchtdioden von Vorteil, weil diese bereits
ohne die Vorschaltung von Filtern über eine schmalbandige Strahlung
verfügen.
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Ferner
ist bei einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen, dass
die Strahlungsquellen von Laserdioden gebildet werden, was bei bestimmten
Anwendungen von Vorteil sein kann.
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Erfindungsgemäß wird die
Aufgabe weiterhin gelöst
durch eine Vorrichtung zur Messung einer Dicke einer transparenten
organischen Schicht auf einer Oberfläche eines Trägermaterials,
umfassend
- – eine
Strahlungsquelle, mittels der die mit der Schicht versehene Oberfläche mit
Licht bestrahlbar ist,
- – mindestens
einen Detektor zur Erfassung des reflektierten Lichts, und
- – eine
Auswerteinheit zur Bestimmung der Dicke der Schicht anhand der von
dem Detektor ausgegebenen Strahlungsdaten,
wobei die Vorrichtung
mit mindestens einer weiteren Strahlungsquelle zur Erzeugung von
Licht mit einer gegenüber
der ersten Strahlungsquelle unterschiedlichen Wellenlänge ausgestattet
ist, wobei mindestens eine der unterschiedlichen Wellenlängen innerhalb
eines Absorptionsbereichs des Absorptionsspektrums der Moleküle der organischen
Schicht und mindestens eine der unterschiedlichen Wellenlängen außerhalb
des zuvor genannten Absorptionsbereichs liegt. Die erfindungsgemäße Vorrichtung
ermöglicht die
Durchführung
des weiter oben beschriebenen vorteilhaften Verfahrens auf einfache
Weise.
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Analog
zu dem erfindungsgemäßen Verfahren
sieht eine Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine der Anzahl
der Strahlungsquellen entsprechende Anzahl von Detektoren vor, die
den jeweiligen Strahlungsquellen zugeordnet sind. Dadurch kann eine
einfache Zuordnung und Auswertung der Daten in der Auswerteeinheit
erfolgen.
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Vorteilhafter
Weise sind die Detektoren derart angeordnet, dass die Lichtstrahlen
zwischen den Strahlungsquellen und deren zugeordneten Detektoren
räumlich
unabhängig
sind.
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Um
eine hohe Messgenauigkeit der Dicke der Schicht auf dem Trägermaterial
zu erzielen ist es vorteilhaft, wenn die Vorrichtung mit Strahlungsquellen
ausgestattet ist, mit denen ein gemeinsamer Bereich der Oberfläche des
Trägermaterials
bestrahlbar ist.
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Eine
vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Vorrichtung sieht die Anordnung
eines einzigen Detektors zur Aufnahme des reflektierten Lichts der
Strahlungsquellen vor sowie die Anordnung einer Steuereinheit, durch
die die mindestens zwei Strahlungsquellen abwechselnd gepulst werden.
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Vorteilhafter
Weise werden den Strahlungsquellen zugeordnete Vorsatzfilter angeordnet,
durch die die jeweiligen Wellenlängen
der Lichtstrahlen bestimmbar sind.
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Besonders
vorteilhaft ist, wenn die Strahlungsquellen der Vorrichtung Leuchtdioden
sind.
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Weiterhin
ist nach einer Ausgestaltung der Erfindung die Ausbildung der Strahlungsquellen
der Vorrichtung als Laserdioden vorgesehen.
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Ausführungsbeispiel
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Die
Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels einer Vorrichtung
zur Messung einer Dicke einer transparenten, organischen Schicht
einer Oberfläche
eines Trägermaterials,
die in den Zeichnungen dargestellt ist, näher erläutert. Es zeigt:
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1 eine
schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit zwei Strahlungsquellen
und zwei Detektoren,
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2 eine
schematische Darstellung eines zweiten Beispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung
mit zwei Strahlungsquellen und einem Detektor, und
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3 ein
Schaltungsdiagramm, in dem eine gepulste Schaltung von zwei verschiedenen
Strahlungsquellen dargestellt ist.
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1 zeigt
eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 100 mit
zwei Strahlungsquellen 1, 2 und zwei Detektoren 3, 4 wobei
der Detektor 3 der Strahlungsquelle 1 zugeordnet ist
und der Detektor 4 der Strahlungsquelle 2.
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Ein
Trägermaterial 5 (Blechband)
wird mittels einer in den Figuren nicht dargestellten Transportvorrichtung
in Transportrichtung 6 befördert. Das Trägermaterial 5 besteht
aus einem Stahlblech in einer Stärke
von ca. 0,5 bis 3 mm, das zum Schutz vor Korrosion mit einer Schicht 7 aus
einem transparenten organischen Wachs versehen ist, die im Mittel
eine Dicke D von 1 Mikrometer aufweist. Die stichprobenhafte Messung
der Dicke D der Schicht 7 erfolgt durch Bestrahlung der
Stahlbandoberfläche
mit dem darauf befindlichen Wachs mit Hilfe der zwei Strahlungsquellen 1, 2 mit
unterschiedlichen Wellenlängen,
wobei eine der Wellenlängen
an die Absorptionswellenlänge
der aufgebrachten Schicht 7 angepasst ist und die andere
Wellenlänge
außerhalb
der Absorptionswellenlänge
der Schicht 7 liegt und somit als Referenz dient. Anhand
einer Messung der reflektierten Lichtstrahlen kann auf das Absorptionsverhalten
der organischen Schicht 7 und somit auf deren Dicke D geschlossen
werden.
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Bei
den in der 1 dargestellten Strahlungsquellen 1, 2 handelt
es sich um Leuchtdioden, von denen eine Leuchtdiode Licht mit einer
Wellenlänge
von 3500 nm innerhalb eines Absorptionsbandes des Absorptionsspektrums
der Moleküle
der organischen Schicht und die andere Leuchtdiode Licht mit einer
Wellenlänge
von 3700 nm außerhalb
des zuvor genannten Absorptionsbereiches abgibt.
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Die
Steuerung der Strahlungsquellen 1, 2 sowie der
Detektoren 3, 4 erfolgt über eine Steuereinheit 8,
durch die gegebenenfalls eine abwechselnde Pulsung der Strahlung
eingestellt werden kann. Die beiden Strahlungsquellen 1, 2 sind
derart angeordnet, dass sie denselben Bereich 9 des Trägermaterials 5 bestrahlen.
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In 1 ist
ausgehend von den Strahlungsquellen 1, 2 jeweils
eine strichpunktierte Linie dargestellt, die die Mittellinie 10 eines
sich in der Realität ausbildenden
Strahlungskegels repräsentieren
soll und beispielhaft den Strahlengang ausgehend von den Strahlungsquellen 1, 2 zeigt.
Beide Mittellinien 10 treffen sich in einem Bereich 9 auf
der Oberfläche des
Trägermaterials 5,
so dass die Dicke D der transparenten Schicht 7 genau in
diesem Bereich gemessen werden kann. Von den diffus reflektierten
Lichtstrahlen, von denen jeweils einer ebenfalls beispielhaft als
strichpunktierte Linie 11 dargestellt ist, werden eine
Vielzahl von den Detektoren 3 und 4 erfasst. Auf
Grundlage der von den Detektoren 3, 4 an eine Auswerteeinheit 12 abgegebenen
Daten und gegebenenfalls der von der Steuereinheit 8 an
die Auswerteeinheit 12 abgegebenen Daten (im Fall eines Impulsbetriebs
der Strahlungsquellen) wird die Dicke D der Schicht 7 in
dem angestrahlten Bereich 9 bestimmt.
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Da
für die
Messung der diffuse Reflex der Lichtstrahlen genutzt wird, sind
die Anforderungen bezüglich
der optischen Gesetze hinsichtlich des Ein- und Ausfallwinkels der
Lichtstrahlen gering, so dass die Position und Ausrichtung der Geräte in gewissen Grenzen
wählbar
ist.
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2 zeigt
eine schematische Darstellung eines zweiten Beispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 100'. Die Anordnung
des Blechbandes auf der Transporteinrichtung sowie die Anordnung der
Steuereinheit 8, der Auswerteeinheit 12 und der Lichtquellen 1, 2 erfolgt
analog zu dem Ausführungsbeispiel
aus 1. Im Unterschied zu der Vorrichtung nach 1 wird
das diffus reflektierte Licht der zwei Strahlungsquellen 1, 2 von
einem einzigen Detektor 13 erfasst. Beispielhaft ist auch
in 2 ausgehend von den Strahlungsquellen 1, 2 jeweils
eine strichpunktierte Linie gezeigt, die die Mittellinie 10 eines
Strahlungskegels repräsentieren
soll und den Strahlengang ausgehend von den beiden Strahlungsquellen 1, 2 zeigt.
Die Position der Strahlungsquellen 1, 2 ist so
gewählt,
dass die Mittellinien 10 sich in einem Bereich 9 auf
der Oberfläche
des Trägermaterials 5 treffen
und nach ihrer Reflexion einen identischen Verlauf zum Detektor 13 aufweisen.
In der Realität
wird eine Vielzahl von diffus reflektierten Lichtstrahlen von dem
Detektor 13 erfasst und an die Auswerteeinheit 12 abgegeben.
Anhand der von dem Detektor 13 und von der Steuereinheit 8 empfangenen
Daten wird die Dicke D der Schicht 7 von der Auswerteeinheit 12 bestimmt.
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Bei
der Vorrichtung 100' nach 2 ist
die abwechselnde Pulsung der Strahlungsquellen 1, 2 unabdingbar,
weshalb sich die Anordnung von Leuchtdioden als Strahlungsquellen 1, 2 empfiehlt. Leuchtdioden
sind schmalbandige Strahler und zeichnen sich durch ihren geringen
Energieverbrauch aus. Insbesondere bei einem Impulsbetrieb weisen
Leuchtdioden den Vorteil auf, dass sie gerade bei extrem kurzer
Aktivierung bereits über
eine extrem hohe Strahlungsenergie verfügen.
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Weiterhin
ist in 2 ein Vorsatzfilter 14 dargestellt, der
insbesondere bei der Verwendung von Glühfadenleuchtmitteln mit einer
breitbandigen Strahlung aber auch bei Leuchtdioden als Filter eingesetzt
werden kann.
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Grundsätzlich ist
die Ausbildung der Vorrichtungen 100, 100' auch als Handgerät zweckmäßig, bei
dem die Schicht 7 auf einem Trägermaterial 5 stationär gemessen
wird.
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Aus 3 geht
ein Diagramm hervor, in dem über
der Zeit eine gepulste Schaltung von zwei verschiedenen Strahlungsquellen
dargestellt ist. Dabei verlaufen die beiden Graphen 16, 17 übereinander
in einem Diagramm, so dass gut erkennbar ist, dass die Strahlungsquellen
abwechselnd aktiviert werden. Befinden sich die Linien der Graphen 16, 17 im
Bereich der punktierten Linie 15, so sind die Strahlungsquellen
aktiviert, befinden sich die Linien im Bereich der durchgezogenen
Linie 18 sind die Strahlungsquellen deaktiviert. Die Strahlungsquellen
sind derart gepulst, dass nach jedem Zeitraum, in dem eine Strahlungsquelle
aktiviert war ein Zeitraum a folgt, in dem keine der beiden Strahlungsquellen
aktiviert ist. Bei dem Einsatz von Glühfadenleuchtmitteln ist dieser Zeitraum
a erforderlich, da die Glühfadenleuchtmittel nach
ihrer Deaktivierung für
eine kurze Zeit nachleuchten. Würden
die Strahlungsquellen unmittelbar hintereinander aktiviert, so würde sich
die Strahlung der beiden verschiedenen Strahlungsquellen überlagern,
was insbesondere den Messvorgang negativ beeinflussen würde. Bei
dem Einsatz von Leuchtdioden als Strahlungsquelle kann dieser Zeitraum
a deutlich geringer gewählt
werden oder sogar entfallen, da Leuchtdioden nicht von einem Nachleuchteffekt
geprägt
sind.
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- 1
- Strahlungsquelle
- 2
- Strahlungsquelle
- 3
- Detektor
- 4
- Detektor
- 5
- Trägermaterial
- 6
- Transportrichtung
- 7
- Schicht
- 8
- Steuereinheit
- 9
- Bereich
- 10
- Mittellinie
- 11
- Linie
- 12
- Auswerteeinheit
- 13
- Detektor
- 14
- Vorsatzfilter
- 15
- Punktierte
Linie
- 16
- Graph
- 17
- Graph
- 18
- Durchgezogene
Linie
- 100
- Vorrichtung
- 100'
- Vorrichtung
- D
- Dicke
- a
- Zeitraum