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Die
Erfindung betrifft ein optisches Abtastsystem mit einer optischen
Detektoreinrichtung mit einem Objektiv zum Fokussieren der optischen
Detektoreinrichtung auf eine Abtastfläche (eine abtastbare Fläche) sowie
mit einem optischen Ablenksystem, mittels dessen von der Abtastfläche ausgehendes
Licht zur optischen Detektoreinrichtung gelenkt wird.
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Bisher
sind zum Aufnehmen eines Objekts Flächenkameras und bewegte Zeilenkameras
bekannt. Da das Objekt bei vielen Anwendungen, z. B. bei einer Überprüfung von
Halbleiterwafern, weit größer als
der lichtempfindliche Kamerabereich ist, wird bei Flächenkameras
die Auflösung
herabgesetzt, um das ganze Objekt aufnehmen zu können. Alternativ wird bei Zeilenkamerasystemen
die Kamera Zeile für Zeile über das
Objekt bewegt, wobei sich mittels Superposition der Einzelaufnahmen
bzw. Abtastspuren ein Gesamtbild mit hoher Auflösung ergibt. Nachteilig bei
bisher bekannten Zeilenkameras ist der zum Verfahren der Kamera
relativ zum abzutastenden Objekt benötigte große Bauraum.
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Es
ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Möglichkeit
zum, insbesondere zeilenweisen, Abtasten eines Objekts bereitzustellen,
welches platzsparend ist sowie einfach und preisgünstig herzustellen
und zu betreiben ist.
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Diese
Aufgabe wird durch ein optisches Abtastsystem nach Anspruch 1 und
ein Verfahren nach Anspruch 11 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind
den jeweiligen Unteransprüchen
einzeln oder in Kombination entnehmbar.
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Dieses
optische Abtastsystem zeichnet sich dadurch aus, dass das Ablenksystem
mindestens zwei relativ zur optischen Detektoreinrichtung verfahrbare
optische Ablenkeinheiten umfasst, wobei ein optischer Weg von der
Abtastfläche
zur optischen Detektoreinrichtung eine für verschiedene Betriebsstellungen
konstante Länge
aufweist.
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Dadurch
kann die optische Detektoreinrichtung relativ zum abzutastenden
Objekt (dessen Oberfläche
meist die Abtastfläche
darstellt) stillstehen, und nur die mindestens zwei Ablenkeinheiten müssen bewegt
werden. Da die Ablenkeinheiten in vielen Fällen weniger Raum beim Verfahren
einnehmen als eine Kamera, ergibt sich ein platzsparender Aufbau.
Da außerdem
durch eine geeignete Verfahrsteuerung der optische Weg gleich bleibt,
muss die Kamera während
des Abtastens nicht neu fokussiert werden, was eine noch einfachere
und preiswertere Bauweise ermöglicht.
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Als
optische Detektoreinrichtung kann jede geeignete Kamera verwendet
werden, z. B. eine CCD-Kamera. Die Ablenkeinheiten und/oder die
Kamera können
optional einzeln als auch zusammen gedreht werden, insbesondere
bei nicht-ebenen Abtastflächen.
Die Ablenkeinheiten können
jegliche geeignete Elemente zum Ablenken von Lichtstrahlen enthalten,
z. B. einen oder mehrere Spiegel, Prismen und/oder totalreflektierende
Oberflächen
und so weiter.
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Insbesondere
zur Abtastung ebener Objekte, wie z. B. von Halbleiter-Wafern, ist
es vorteilhaft, wenn die optischen Ablenkeinheiten parallel zu der Abtastfläche verfahrbar
sind, und die optische Detektoreinrichtung parallel zur Abtastfläche ausgerichtet ist,
weil sich so eine vergleichsweise einfache Komponentenanordnung
und Bewegung der Ablenkeinheiten ergibt.
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Es
ist besonders günstig,
wenn die auf dem optischen Weg hinter der Abtastfläche angeordnete erste
optische Ablenkeinheit eine Strahlumlenkung um 90° zur zweiten
optische Ablenkeinheit bewirkt – also
beispielsweise einen von der Abtastfläche senkrecht ausgehenden Lichtstrahl
parallel zu ihr umlenkt – und
die auf dem optischen Weg hinter der ersten optischen Ablenkeinheit
angeordnete zweite optische Ablenkeinheit eine Strahlumlenkung um
180° zur
optischen Detektoreinrichtung bewirkt. Die Strahlumlenkung um 180° sollte auch
einen seitlichen Versatz zwischen Eingangs- und Ausgangsstrahl bewirken.
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Es
ist auch vorteilhaft, wenn die auf dem optischen Weg benachbart
zur Abtastfläche
angeordnete erste optische Ablenkeinheit mit einer steuerbaren Geschwindigkeit
V bewegt wird und die auf dem optischen Weg zwischen der ersten
optischen Ablenkeinheit und der optischen Detektoreinrichtung angeordnete
zweite optische Ablenkeinheit mit einer dazu halben Geschwindigkeit
V/2 bewegt wird, da sich so eine einfache Einhaltung der konstanten
optischen Weglänge
erzielen lässt.
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Die
optischen Ablenkeinheiten können
mit jeweils eigenen Antriebseinheiten ausgerüstet sein. Sie können zur
präzisen
und sicheren Verfahrung als Schlitten ausgeführt sein.
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Das
optische Abtastsystem umfasst zur einfachen und präzisen Positionierung
des Objektes einen Objekthalter zum ortsfesten Halten des Objekts in
relativer Ruhe und der optischen Detektoreinrichtung, z. B. auf
einem gemeinsamen Gestell.
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Zum
Abtasten eines Objektes während
eines Abtastintervalls, z. B. während
des Abtastens einer von mehreren Zeilen, werden die optischen Ablenkeinheiten – typischerweise
Ablenksysteme – vorteilhafterweise
so verfahren, dass sich erstens innerhalb eines bestimmten zugehörigen Zeitintervalls Δt eine optische
Weglänge
zwischen der ersten optischen Ablenkeinheit und der zweiten optischen
Ablenkeinheit um einen bestimmten Betrag, z. B. Δx/2 = V/2·Δt, verkürzt, und sich zweitens innerhalb
des gleichen Zeitintervalls Δt
eine optische Weglänge
zwischen der zweiten optischen Ablenkeinheit 7 und der
optischen Detektoreinrichtung 3 um den gleichen Betrag verlängert. Dadurch
werden die Weglängen
gegenseitig kompensiert, und die Abtastfläche bzw. Objektoberfläche kann
zeilenmäßig abgetastet
werden, ohne die optische Weglänge
und damit die Fokussierungsqualität zu ändern.
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Das
Abtasten kann in einer Richtung (unidirektional) oder in beiden
Richtungen (bidirektional) erfolgen. Auch muss die Verfahrgeschwindigkeit nicht
konstant sein. Der Abtastbereich kann variabel einstellbar sein,
beispielsweise mittels eines geeigneten Steuergeräts.
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Durch
das Bewegen der Ablenkeinheiten relativ zueinander – vor, nach
und/oder während
eines Abtastens – kann
der Fokus des Abtastsystems auf das Objekt bzw. die Abtastfläche konstant
gehalten werden.
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Im
folgenden werden besonders bevorzugte Ausführungsformen des optischen
Abtastsystems anhand der beigefügten
Zeichnungen genauer beschrieben. Die Zeichnungen zeigen schematisch
in
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1 eine
Aufsicht auf ein optisches Abtastsystem mit abzutastendem Objekt
zu einem ersten Zeitpunkt,
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2 eine
Aufsicht auf das optische Abtastsystem aus 1 zu einem
späteren
Zeitpunkt,
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3 eine
Aufsicht auf ein weiteres optisches Abtastsystem mit abzutastendem
Objekt,
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4 eine
schematisch vereinfachte Aufsicht auf ein optisches Abtastsystem
mit abzutastendem Objekt nach den 1 und 2 mit
eingezeichnetem Antriebssystem, und
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5 eine
schematisch vereinfachte Aufsicht auf ein optisches Abtastsystem
mit abzutastendem Objekt nach den 1 und 2 mit
einem weiteren eingezeichnetem Antriebssystem.
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1 zeigt
als schematisches Aufsichtsdiagramm ein optisches Abtastsystem 1 beim
Abtasten eines Objekts 2, hier eines Siliziumwafers. Das
optische Abtastsystem 1 umfasst in dieser Ausführungsform
eine optische Detektoreinrichtung in Form einer Zeilenkamera 3,
welche mit einem Objektiv 4 zum Fokussieren der optischen
Detektoreinrichtung 3 auf eine Abtastfläche 5 versehen ist,
die hier die untere Oberfläche
des Siliziumwafers ist. Weiterhin umfasst das optische Abtastsystem 1 ein
optisches Ablenksystem mit zwei relativ zur optischen Detektoreinrichtung 3 linear
verfahrbaren optischen Ablenkeinheiten 6 und 7.
Beim Abtasten der Abtastfläche 5 muss
dafür gesorgt
werden, dass diese durch das fest eingestellte Objektiv 4 schart
erkennbar ist; daher werden die beiden Ablenkeinheiten 6, 7 beim
Abtasten des Objekts 2 so bewegt, dass ein optischer Weg 8,
der sich von der Abtastfläche 5, über die
optische Ablenkeinheit 6, 7, dem Objektiv 4 zur
Kamera 3 erstreckt, von der Abtastfläche 5 zur optischen
Detektoreinrichtung 3 bzw. zum zugehörigen Objektiv 4 immer
die gleiche Länge
aufweist.
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Die
erste Ablenkeinheit 6, die im optischen Weg 8 benachbart
zur Abtastfläche 5 angeordnet
ist, lenkt von der Abtastfläche 5 einfallendes
Licht um 90° zur
dahinterliegenden zweiten Ablenkeinheit 7 um. Die Ablenkeinheit
weist ein Beleuchtungsmittel (nicht dargestellt), vorzugsweise ein
oder zwei lineare Leuchtmittel (in Zeilen angeordnete LEDs oder
eine Leuchtstofffläche)
zum Beleuchten der abzutastenden Oberfläche des Objekts 2.
Wie hier dargestellt, wird dadurch senkrecht von der Abtastfläche 5 bzw. dem
Objekt 2 reflektiertes Licht parallel zur ebenen Oberfläche des
Objekts 2 umgelenkt. Die zweite Ablenkeinheit 7 kehrt
das in sie von der ersten Ablenkeinheit 6 kommende Licht
um 180° um,
und zwar zusammen mit einem seitlichen Versatz. Von der zweiten
Ablenkeinheit 7 wird das Licht dann in das parallel zur
Abtastfläche 5 auf
die zweite Ablenkeinheit 7 ausgerichtetete Kamerasystem 3 gelenkt.
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Die
erste Ablenkeinheit 6 umfasst einen zur Abtastfläche 5 und
zur Bewegungsrichtung um 45° geneigten
Spiegel. Die zweite Ablenkeinheit 7 weist zwei beabstandete
Spiegel 10, 11 auf, die gegenüber der Abtastfläche 5 und
der Verfahrrichtung in jeweils andere Richtung um 45° geneigt
sind, d.h., dass sie gegeneinander um 90° gedreht sind. Die erste Ablenkeinheit 6 wird
mit einer konstanten Geschwindigkeit V verfahren, die zweite Ablenkeinheit 7 mit
einer konstanten Geschwindigkeit V/2 in gleicher Richtung.
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2 zeigt
das in 1 dargestellte optische Abtastsystem 1,
wobei nun im Gegensatz zur 1 die zwei
Ablenkeinheiten 6, 7 weiter verfahren worden sind.
Innerhalb eines Zeitraums ?t hat sich die erste Ablenkeinheit 6 in
eine Richtung parallel zur Abtastfläche 5, hier nach rechts,
um eine Strecke x = V·?t
bewegt. Gleichzeitig hat sich die zweite Ablenkeinheit 7 in
die gleiche Richtung um eine Strecke x/2 = V/2·?t bewegt. Dadurch hat sich
der Abstand zwischen den beiden Ablenkeinheiten 6, 7 um
x/2 verkürzt.
Gleichzeitig hat sich die optische Weglänge zwischen der zweiten Ablenkeinheit 7 und
dem feststehenden Kamerasystem 3 um x/2 verlängert. Diese beiden
Wegänderungen
kompensieren sich, so dass aus Sicht des feststehenden Kamerasystems 3 der optische
Weg 8 zur Abtastfläche 5 gleichgeblieben ist,
wodurch bei fest eingestelltem Objektiv 4 jeder Punkt auf
der Abtastfläche
gleich schart abgebildet wird.
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Während eines
zeilenartigen Abtast- bzw. Scanvorgangs, können die Ablenkeinheiten 6, 7 derart
verschoben werden, dass das gesamte Objekt 2 abgetastet
wird. Das Kamerasystem 3 und das Objekt 2 sind
dabei ortsfest.
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In
der in den 1 und 2 gezeigten Ausführungsform
sind die Ablenkeinheiten 6, 7 jeweils als durch
an einer Führung
(nicht dargestellt) geführte
Schlitten ausgebildet. Jeder Schlitten weist einen eigenen Antrieb
(nicht dargestellt) zum Verfahren auf. Die unterschiedlichen Geschwindigkeiten der
beiden Ablenkeinheiten 6, 7 können entweder durch unterschiedliche
elektrische und/oder elektronische Ansteuerungen der Antriebe, die
Ausführung der
Antriebe oder durch geeignete Übersetzungen zwischen
dem jeweiligen Antriebselement und dem an der Führung angreifenden Abtriebselement
realisiert werden.
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Das
optische Abtastsystem gemäß der 1 und 2 weist
den Vorteil auf, dass das Kamerasystem 3 nicht bewegt werden
muss, sondern lediglich die zwei Ablenkeinheiten 6, 7.
Dadurch ergibt sich eine platzsparende und mechanisch einfach realisierbare
Anordnung, bei welcher zudem das Objektiv beim Abtasten nicht verstellt
werden muss. Dadurch kann ein einfaches und kostengünstiges
Kamerasystem eingesetzt werden, das zudem wartungsarm ist.
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Selbstverständlich ist
das optische Abtastsystem nicht auf die oben gezeigte spezielle
Ausführungsform
eingeschränkt.
Zudem können
die Spiegel zusätzlich
zum Verfahren auch verdreht werden. Auch muss die Stellung der einzelnen
Elemente des optischen Abtastsystems der in den 1 und 2 gezeigten
Anordnung entsprechen, kann aber auch beispielsweise gegeneinander
geneigt sein. Die Ablenkeinheiten 6, 7 können zur
Strahlumlenkung jedes geeignete Mittel umfassen, beispielsweise
Spiegel, Prismen, usw.
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3 zeigt
eine weitere Ausführungsform mit
einer Kamera 3, einem Objektiv 4, einem abzutastendem
Objekt 2 mit einer Abtastfläche 5 und zwei beweglichen
Ablenkeinheiten 6, 7. Zusätzlich ist eine weitere Ablenkeinheit 12 vorgesehen,
die ortsfest angeordnet ist. Die zweite Ablenkeinheit 7 weist
bei diesem Ausführungsbeispiel
vier Spiegel 10, 11, 13, 14 auf.
Die ortsfeste Ablenkeinheit 12 weist wiederum zwei Spiegel 15, 16 auf.
Die Spiegel der zweiten optischen Ablenkeinheit 7 und der
ortsfesten Ablenkeinheit 12 sind derart angeordnet, dass
der von der ersten Ablenkeinheit 6 eingehende Lichtstrahl
von der zweiten optischen Ablenkeinheit 7 zunächst auf
die ortsfeste optische Ablenkeinheit 12 umgelenkt wird. Von
der ortsfesten optischen Ablenkeinheit 12 wird der Lichtstrahl
wieder auf die zweite optische Ablenkeinheit 7 umgelenkt,
von der er dann weiter auf das Objektiv 4 bzw. die Kamera 3 umgelenkt
wird. Der Lichtstrahl verläuft
somit mäanderförmig zwischen der
ersten optischen Ablenkeinheit 6 und der Kamera 3.
Dies hat zur Folge, dass bei einer Bewegung der ersten optischen
Ablenkeinheit 6 mit der Geschwindigkeit V die zweite optische
Ablenkeinheit 7 lediglich mit der Geschwindigkeit V/4 bewegt
werden muss, damit der optische Weg 8 konstant bleibt.
Bei dieser Ausführungsform
ist es vorteilhaft, dass die zweite optische Ablenkeinheit 7 um
einen relativ kurzen Weg bewegt werden muss, um die Bewegung der ersten
optischen Ablenkeinheit 6 vollständig zu kompensieren.
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Im
Rahmen der Erfindung ist es selbstverständlich möglich, den Lichtstrahl zwischen
der zweiten optischen Ablenkeinheit 7 und der ortsfesten
optischen Ablenkeinheit 12 mehrfach hin und her zu führen, so
dass sich der Effekt der Kompensation der Weglänge durch die Bewegung der
zweiten optischen Ablenkeinheit 7 verstärkt.
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Auch
sind die Antriebe nicht auf die oben beschriebene Ausführungsform
beschränkt.
Beispielsweise zeigt 4 eine vereinfachte Darstellung
des optischen Abtastsystems aus den 1 und 2, bei
dem die Kamera 3 und das Objekt 2 über ein
gemeinsames Gehäuse 17 ortsfest
verbunden sind. Die zweite Ablenkeinheit 7 ist mit einer
Antriebseinheit 18 ausgerüstet, die zwei Spindeln 19, 20 in
die gleiche Richtung mit gleicher Drehgeschwindigkeit antreibt. Über die
erste Spindel 19 ist die Antriebseinheit 18 durch
eine erste Kopplungseinheit 21 mit der ersten Ablenkeinheit 6 verbunden, über die
zweite Spindel 20 durch eine zweite Kopplungseinheit 22 mit
dem Gehäuse 17.
Bei Betätigung
der Antriebseinheit 18 dreht sich die zweite Spindel 20 in
der gehäusefesten zweiten
Kopplungseinheit 22 (typischerweise in Form eines passenden
Gewindes). Die so erzeugte Linearverschiebung der zweiten Spindel 20 entlang
ihrer Längsachse
relativ zum Gehäuse 17 bewegt
die beiden mechanisch gekoppelten Ablenkeinheiten 6, 7 mit
einer Geschwindigkeit von hier V/2, beispielsweise durch Verschiebung
auf Schlitten. Die erste Ablenkeinheit 6 wird durch Drehung
der ersten Spindel 19 in der erste Kopplungseinheit 21 in
Form eines zur Spindel 19 passenden Gewindes mit nochmals
V/2 in die gleiche Richtung verschoben, also insgesamt mit einer
Geschwindigkeit V. Gleiche Geschwindigkeiten lassen sich mit gleichartigen
Spindeln 19, 20 und Kopplungseinheiten 21, 22 erreichen.
Sollen die Geschwindigkeiten der Ablenkeinheiten 6, 7 in
einem anderen Verhältnis
zueinander stehen, so können
z. B. die Steigungsverhältnisse
der Spindeln 19, 20 unterschiedlich voneinander
ausgestaltet werden. In dieser Ausführungsform sind die Spindeln 19, 20 mit entgegengesetzter
Steigungsrichtung (links-/rechtsgängig) und identischem Steigungswegverhältnis ausgebildet..
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5 zeigt
eine Variante des Spindelantriebs aus 4, wobei
hier nun die Antriebseinheit 18 an der ersten Ablenkeinheit 6 angebracht
ist. Bei Betätigung
der Antriebseinheit 18 werden die beiden Ablenkeinheiten 6, 7 durch
Drehung der zweiten Spindel 20 in der zweiten Kopplungseinheit 22 zunächst mit
einer Geschwindigkeit V verfahren. Die zweite Ablenkeinheit 7 und
durch die erste Spindel 19 gegenläufig zur ersten Ablenkeinheit 6 mit
halber Geschwindigkeit bewegt, beispielsweise, wenn die erste Spindel 19 ein
halbes Steigungsverhältnis
bzgl. der zweiten Spindel 20 aufweist. In dieser Ausführungsform
sind die Spindeln mit gleicher Steigungsrichtung ausgebildet.
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Die
beiden Spindeln 19, 20 der Ausführungsform
nach 4 und 5 sind vorzugsweise als ein einziges
Bauteil in Form eines einzigen Stabes in dem die Gewinde der beiden
Spindeln 19. 20 eingeformt sind, ausgebildet.
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Ebenso
kann eine der Ablenkeinheiten 6, 7 mit einem Antrieb
zur direkten Bewegung dieser Ablenkeinheit ausgerüstet sein,
wobei davon die Bewegung der zweiten Ablenkeinheit über eine
mechanische Kopplung abgeleitet wird, beispielsweise mit Hilfe eines
Getriebes zur Erzielung des korrekten Geschwindigkeitsverhältnisses.
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Ein
weiteres Beispiel für
eine Antriebsanordnung zum Verfahren der Ablenkeinheiten 6, 7 besteht darin,
dass ein Antrieb mitfahrend auf der zweiten Ablenkeinheit 7 fixiert
ist. Dieser Antrieb wird an einem Achsenende mit einer linksgängigen und
einem anderen Achsenende mit einer rechtsgängigen Spindel betrieben. Eine
Achse wird mit der zweiten Ablenkeinheit gekoppelt, die andere mit
der ersten Ablenkeinheit. Somit bewegt sich die zweite Ablenkeinheit 7 mit
einer Geschwindigkeit V/2, und die erste Ablenkeinheit 6 bewegt
sich mit einer Geschwindigkeit V.
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Eine
weitere Antriebsanordnung besteht aus einer feststehenden Antriebseinheit
zur Bewegung einer Ablenkeinheit, beispielsweise der ersten Ablenkeinheit 6,
wobei ein zweiter Antrieb als Verbindung zwischen den beiden Ablenkeinheiten 6, 7,
z. B. mitfahrend auf der zweiten Ablenkeinheit 7, montiert
ist, um die Relativbewegung der beiden Ablenkeinheiten 6, 7 zueinander
zu erzeugen. Bei dieser Anordnung lassen sich beispielsweise bei
dem Geschwindigkeitsverhältnis
von zwei zu eins einheitliche Ansteuerungen der beiden Antriebe
mit der gleichen Taktung bzw. Synchronisation realisieren.
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Es
ist anzumerken, dass bei anderen Anordnungen der Elemente des optischen
Abtastsystems 1 auch andere Geschwindigkeitsverhältnisse
als eins zu zwei verwendet werden können. Auch können beispielsweise
bei mehr als zwei Ablenkeinheiten relative Bewegungen dieser Ablenkeinheiten
untereinander geeignete Verhältnisse
annehmen, solange nur der gesamte optische Weg zwischen der Abtastfläche 5 und
dem Kamerasystem 3 bzw. dem Objektiv 4 konstant
bleibt.
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Die
Ablenkeinheiten der oben erläuterten Ausführungsbeispiele
weisen Spiegel zum Lenken der Lichtstrahlen auf. Anstelle von Spiegeln
können jedoch
auch Prismen und/oder Strahlteiler verwendet werden.
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Das
erfindungsgemäße optische
Abtastsystem wird insbesondere zum Abtasten von scheibenförmigen Objekten
der Halbleiterindustrie, wie z. B. Wafern, Flat-Panel-Displays oder Masken
geeignet. Sie kann jedoch auch zum Abtasten anderer Gegenstände verwendet
werden.
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Der
wesentliche Vorteil des erfindungsgemäßen optischen Abtastsystems
liegt darin, dass trotz eines einfachen Aufbaus mittels einer bezüglich der Oberfläche des
Objekts ruhenden optischen Detektoreinrichtung, insbesondere Zeilenkamera,
die Oberfläche
ohne nachfokussieren abgetastet werden kann, da die optische Weglänge konstant
ist.
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Die
Erfindung kann folgendermaßen
kurz zusammengefasst werden:
Die Erfindung betrifft ein optisches
Abtastsystem, insbesondere zum Abtasten von ebenflächigen Oberflächen, wie
z. B. den Oberflächen
eines Halbleiterwafers.
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Zwischen
der Abtastfläche
des Objektes und der optischen Detektoreinrichtung sind mindestens zwei
optische Ablenkeinheiten vorgesehen, die verfahrbar sind, und deren
Bewegung derart gesteuert wird, dass der optische Weg zwischen der
Abtastfläche
und der Kamera konstant ist, während
die Abtastfläche
in einem vorbestimmten Bereich abgetastet wird.
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- 1
- optisches
Abtastsystem
- 2
- Objekt
- 3
- Kamera
- 4
- Objektiv
- 5
- Abtastfläche
- 6
- optische
Ablenkeinheit
- 7
- optische
Ablenkeinheit
- 8
- optischer
Weg
- 9
- Spiegel
- 10
- Spiegel
- 11
- Spiegel
- 12
- optische
Ablenkeinheit
- 13
- Spiegel
- 14
- Spiegel
- 15
- Spiegel
- 16
- Spiegel
- t
- Zeit
- V
- Geschwindigkeit
- x
- Weg