DE102006001855A1

DE102006001855A1 - Evaporator body and method for providing an evaporator body

Info

Publication number: DE102006001855A1
Application number: DE200610001855
Authority: DE
Inventors: Ulrich Goetz; Michael NÜRNBERGER; Alfred Willer
Original assignee: Sintec Keramik GmbH
Current assignee: Sintec Keramik GmbH
Priority date: 2006-01-13
Filing date: 2006-01-13
Publication date: 2007-07-19
Also published as: WO2007079727A1

Abstract

Verdampferkörper und Verfahren zum Bereitstellen eines Verdampferkörpers für den Betrieb in einer PVD-Metallisierungsanlage, mit einem Verdampferkörper-Außenteil 3, das aus einem warmgesinterten keramischen, elektrisch isolierenden Material ist und das einen durchgehenden inneren Hohlraum 7 mit einer Begrenzungswand hat, auf deren Außenseite eine Abdampffläche 9 ausgebildet ist, von welcher aus ein darauf zugeführtes Metall verdampfbar ist, und auf deren Innenseite eine der Abdampffläche 9 gegenüberliegende Wärmeaufnahmefläche 13 ausgebildet ist, und mit einem Verdampferkörper-Kernteil 5, das in dem inneren Hohlraum 7 mit Spiel aufgenommen ist und sich durch den Hohlraum 7 hindurch erstreckt und das aus einem im Wesentlichen elektrisch leitfähigen Material ist, so dass es elektrisch widerstandsheizbar ist, um den Verdampferkörper 1 auf seine Betriebstemperatur aufzuheizen, wobei das Verdampferkörper-Kernteil 5 einen größeren Wärmeausdehnungskoeffizienten hat als das Verdampferkörper-Außenteil 3, wobei das Verdampferkörper-Kernteil 5 bei Betriebstemperatur des Verdampferkörpers 1 an der Wärmeaufnahmefläche des Verdampferkörper-Außenteils 3 ohne Spiel plan anliegt.Evaporator body and method for providing an evaporator body for operation in a PVD metallization system, with an evaporator body outer part 3, which is made of a hot-sintered ceramic, electrically insulating material and which has a continuous inner cavity 7 with a boundary wall, on the outside of which there is an evaporation surface 9 is formed, from which a metal fed thereon can be evaporated, and on the inside of which a heat-absorbing surface 13 opposite the evaporation surface 9 is formed, and with an evaporator body core part 5, which is received in the inner cavity 7 with play and extends through the Cavity 7 extends therethrough and which is made of a substantially electrically conductive material, so that it can be electrically resistively heated in order to heat the evaporator body 1 to its operating temperature, the evaporator body core part 5 having a greater coefficient of thermal expansion than the evaporator body Au ßteil 3, wherein the evaporator body core part 5 at operating temperature of the evaporator body 1 rests flat on the heat absorption surface of the evaporator body outer part 3 without play.

Description

Die Erfindung betrifft einen Verdampferkörper für den Betrieb in einer PVD-Metallisierungsanlage und ein Verfahren zum Bereitstellen eines Verdampferkörpers für den Betrieb in einer PVD-Metallisierungsanlage.The The invention relates to an evaporator body for operation in a PVD metallization plant and a method of providing an evaporator body for operation in a PVD metallization plant.

Ein gebräuchliches Verfahren zum Beschichten von flexiblen Substraten mit Metallen, insbesondere mit Aluminium, ist das sog. Vakuum-Bandmetallisieren gemäß der PVD (physical vapor deposition)-Technik. Als flexible Substrate kommen z.B. Papier, Kunststofffolien und Textilien in Frage und als Metall wird überwiegend Aluminium eingesetzt. So beschichtete Substrate finden breite Anwendung für Verpackungs-, Dekorationszwecke, bei der Kondensatorherstellung und in der Umwelttechnik (Isolation).One in use Method of coating flexible substrates with metals, especially with aluminum, is the so-called. Vacuum strip metallizing according to the PVD (physical vapor deposition) technique. As flexible substrates come e.g. Paper, plastic films and textiles in question and as metal becomes prevalent Aluminum used. Substrates coated in this way are widely used for packaging, Decoration purposes, in capacitor manufacturing and in environmental technology (Isolation).

Die Beschichtung der flexiblen Substrate erfolgt in sogenannten Metallisierungsanlagen. In der Metallisierungsanlage wird das zu beschichtende Substrat über eine gekühlte Walze geführt und dabei einem Metalldampf ausgesetzt, der sich auf der Substratoberfläche als dünne Metallschicht niederschlägt. Zur Erzeugung des erforderlichen konstanten Dampfstromes werden elektrisch beheizbare Verdampferkörper eingesetzt, insbesondere in Form sogenannter Verdampferschiffchen, die auf etwa 1450–1600°C erhitzt werden. Metalldraht wird kontinuierlich zugeführt, und von der Oberfläche des Verdampferschiffchens aus im Vakuum bei ca. 10^–4 mbar verdampft.The coating of the flexible substrates takes place in so-called metallization plants. In the metallization system, the substrate to be coated is passed over a cooled roller and exposed to a metal vapor, which is deposited on the substrate surface as a thin metal layer. To generate the required constant vapor stream electrically heatable evaporator body are used, in particular in the form of so-called evaporator boats, which are heated to about 1450-1600 ° C. Metal wire is supplied continuously, and evaporated from the surface of the evaporator boat in vacuum at about 10 ^-4 mbar.

Nicht flexible Substrate werden gemäß der PVD-Technik z. B. batchweise in einem diskontinuierlichen Prozess, insbesondere mittels Flash-Verdampfung, beschichtet. Nicht flexible Substrate sind z.B. Fernsehbildschirme und Kunststoffteile.Not flexible substrates are made according to the PVD technique z. B. batchwise in a batch process, in particular by means of Flash evaporation, coated. Non-flexible substrates are e.g. TV screens and plastic parts.

Die für das kontinuierliche Verfahren und das diskontinuierliche Verfahren eingesetzten Verdampferkörper bestehen in der Regel komplett aus heißgepresstem keramischem Material, das als Hauptkomponente Titandiborid und Bornitrid enthält. Titandiborid ist dabei die elektrisch leitfähige Komponente, Bornitrid die elektrisch isolierende Komponente, die miteinander gemischt zu bestimmten spezifischen Widerständen führen. Das Verdampferschiffchen ist hiermit insbesondere mittels elektrischen Widerstandsheizens auf seine Betriebstemperatur bringbar.The for the continuous process and the batch process used evaporator body are usually made entirely of hot-pressed ceramic material, containing as the main component titanium diboride and boron nitride. titanium diboride is the electrically conductive Component, boron nitride, the electrically insulating component, with each other mixed lead to specific resistances. The evaporator boat is hereby in particular by means of electrical resistance heating brought to its operating temperature.

Hierbei besteht jedoch das Problem, dass sich die Leitfähigkeit des insgesamt leitfähigen Verdampferkörpers durch das damit in Kontakt stehende, zu verdampfende Metall ändert, und zwar unregelmäßig je nach Menge und Ausdehnung an zugeführtem und abgedampftem Metall. Hierdurch ist es notwendig, die Stromzufuhr an den Verdampferkörper stets entsprechend nachzuregeln, um eine gleichmäßige Abdampfrate beibehalten zu können. Ferner kann es durch den Stromfluss durch das auf der Verdampferfläche vorliegende Metallbad zu Wärmekonzentrationen kommen, insbesondere an den Enden des Verdampferkörpers, an denen die Stromzufuhr erfolgt, wodurch der Verdampferkörper schneller korrodiert und damit schneller verschleißt.in this connection However, there is the problem that the conductivity of the overall conductive evaporator body through the metal in contact with it changes, and although irregular depending on Quantity and extent of supplied and evaporated metal. This makes it necessary to power to the evaporator body always adjust accordingly to maintain a uniform evaporation rate to be able to. Further It may be due to the flow of current through that on the evaporator surface Metal bath to heat concentrations arrive, in particular at the ends of the evaporator body which the power supply takes place, whereby the evaporator body faster corroded and thus wears faster.

In der US 4,264,803 wird ein Verdampferschiffchen vorgeschlagen, das einen elektrisch leitfähigen Kern aus einem Graphitmaterial aufweist, der mit elektrisch isolierendem Bornitrid beschichtet ist. Durch die von der Bornitridschicht erreichte elektrische Isolierung des elektrischen Graphitkerns wird die Leitfähigkeit des Graphitmaterials durch das auf die Bornitridschicht aufgetragene Metall nicht mehr beeinflusst.In the US 4,264,803 an evaporator boat is proposed which has an electrically conductive core of a graphite material which is coated with electrically insulating boron nitride. By achieved by the boron nitride electrical insulation of the graphite electrical core, the conductivity of the graphite material is no longer affected by the metal applied to the boron nitride layer.

Die Verwendung eines derartigen Zweikomponenten-Verdampferschiffchens bringt jedoch Probleme hinsichtlich der korrekten Wärmeübertragung von dem Graphitmaterial zu der Bornitridbeschichtung sowie Probleme hinsichtlich der Wärmedehnungen mit sich, die zu Abplatzungen der Bornitridbeschichtung führen können. Die via CVD-Verfahren (Chemical Vapor Deposition) aufgebrachte Beschichtung ist ferner hoch anisotrop, was insbesondere eine sehr schlechtes Wärmeleitverhalten in Dickenrichtung der Beschichtung mitsichbringt (nur ca. 4 W/mK). Ferner ist die Beschichtung per se gleichmäßig dünn mit kleinen Wandstärken, wodurch nach allen Seiten gleichmäßig Wärme abgeführt wird und die Wärme nicht auf die Abdampffläche konzentrierbar ist.The However, use of such a two-component evaporator boat brings Problems with the correct heat transfer from the graphite material to the boron nitride coating as well as problems with thermal expansion with them, which can lead to spalling of boron nitride coating. The Coating applied by CVD (Chemical Vapor Deposition) method is also highly anisotropic, which in particular is a very bad one Wärmeleitverhalten in the thickness direction of the coating mitsichbringt (only about 4 W / mK). Furthermore, the coating per se is uniformly thin with small wall thicknesses, thereby heat is dissipated evenly on all sides and the heat not on the evaporation surface is concentrated.

Durch die Erfindung werden ein Verdampferkörper für den Betrieb in einer PVD-Metallisierungsanlage und ein Verfahren zum Bereitstellen eines Verdampferkörpers für den Betrieb in einer PVD-Metallisierungsanlage geschaffen, wobei mit den bereitgestellten Verdampferkörpern ein Verdampferbetrieb in zuverlässiger und dennoch einfacher Weise durchführbar ist.By The invention will be an evaporator body for operation in a PVD metallization plant and a method of providing an evaporator body for operation created in a PVD metallization plant, with the provided evaporator bodies an evaporator operation in reliable and yet easy to do is feasible.

Dies wird mit einem Verdampferkörper nach Anspruch 1 oder 2 sowie mit einem Verfahren zum Bereitstellen eines Verdampferkörpers nach Anspruch 19 erreicht. Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen beschrieben.This is with an evaporator body according to claim 1 or 2 and with a method for providing an evaporator body achieved according to claim 19. Preferred embodiments of the invention are in the dependent Claims described.

Indem bei dem Verdampferkörper nach Anspruch 1 das Verdampferkörper-Kernteil einen größeren Wärmeausdehnungskoeffizienten hat als das Verdampferkörper-Außenteil, ist sichergestellt, dass das Verdampferkörper-Kernteil beim Abkühlen des Verdampferkörpers von dessen Betriebstemperatur aus schneller schrumpft als das Verdampferkörper-Außenteil, sodass ein Reißen des Verdampferkörper-Außenteils durch von dem Verdampferkörper- Kernteil verursachte innere Spannungen sicher vermieden ist, was eine erhöhte Zuverlässigkeit für den Verdampferbetrieb und eine erhöhte Verdampferkörperlebensdauer mitsichbringt. Wenn der Verdampferkörper eine Temperatur unterhalb seiner Betriebstemperatur hat, ist das Verdampferkörper-Kernteil ferner mit Spiel, d. h. insbesondere lose, in dem Verdampferkörper-Außenteil aufgenommen, sodass sichergestellt ist, dass beim Aufheizen des Verdampferkörpers durch Widerstandsbeheizen des Verdampferkörper-Kernteils das sich schneller ausdehnende Verdampferkörper-Kernteil nicht eine Zersprengung des Verdampferkörper-Außenteils bewirkt, was seinerseits zur Erhöhung der Zuverlässigkeit des Verdampferkörpers beiträgt. Indem das Verdampferkörper-Außenteil und das Verdampferkörper-Kernteil ferner derart eingerichtet sind, dass bei Betriebstemperatur des Verdampferkörpers das Verdampferkörper-Kernteil spielfrei satt an der Wärmeaufnahmefläche des Verdampferkörper-Außenteils anliegt, wird eine gleichmäßige und ausreichend starke Erwärmung der Abdampffläche erzielt, wodurch die Zuverlässigkeit des Abdampfbetriebs weiter erhöht wird. Aufgrund der durch das Verdampferkörper-Außenteil vorliegenden elektrischen Isolierung zwischen zu verdampfendem Metall und Verdampferkörper-Kernteil ist der elektrische Widerstand des Verdampferkörper-Kernteils von dem Metal unbeeinflusst, sodass der Betrieb des Verdampferkörpers einfach handzuhaben ist. Auch kommt es zu keinen Wärmekonzentrationen aufgrund des beim Betrieb auf der Abdampffläche vorliegenden Metallbads.By having in the evaporator body according to claim 1, the evaporator body core part has a greater coefficient of thermal expansion than the evaporator body outer part, it is ensured that the evaporator body core part shrinks faster than the evaporator body outer part during cooling of the evaporator body from its operating temperature, so that cracking of the evaporator Body-external part is reliably prevented by caused by the evaporator core body part internal stresses, which brings increased reliability for the evaporator operation and increased evaporator body life. If the evaporator body has a temperature below its operating temperature, the evaporator body core part is also included with play, ie in particular loosely, in the evaporator body outer part, so as to ensure that when heating the evaporator body by resistance heating of the evaporator body core part, the faster expanding evaporator body Core part does not cause a disruption of the evaporator body outer part, which in turn contributes to increasing the reliability of the evaporator body. By the evaporator body outer part and the evaporator body core part are further arranged such that at operating temperature of the evaporator body, the evaporator body core part fits snugly against the heat receiving surface of the evaporator body outer part, a uniform and sufficiently strong heating of the evaporator surface is achieved, whereby the reliability of Abdampfbetriebs is further increased. Due to the present through the evaporator body outer part electrical insulation between metal to be vaporized and evaporator body core part of the electrical resistance of the evaporator body core part is unaffected by the metal, so that the operation of the evaporator body is easy to handle. Also, there are no heat concentrations due to the present during operation on the evaporator surface metal bath.

Unter elektrisch isolierendem Material ist hier insbesondere ein Material zu verstehen, das entweder nicht elektrisch leitfähig oder relativ zu dem Material des Verdampferkörper-Kernteils einen erheblich höheren elektrischen Widerstand hat, sodass im Verdampferbetrieb kein oder im wesentlichen kein Strom von dem Verdampferkörper-Kernteil durch das Verdampferkörper-Außenteil und durch die darauf vorliegende Metallschmelze fließt.Under electrically insulating material is here in particular a material to understand that either not electrically conductive or relative to the material of the evaporator core body part a considerably higher electrical Resistance has, so in the evaporator operation no or substantially no flow from the vaporizer body core part through the evaporator body outer part and flows through the molten metal thereon.

Alternativ zu der Lösung nach Anspruch 1 ist gemäß Anspruch 2 vorgesehen, dass das Verdampferkörper-Kernteil den gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten hat wie das Verdampferkörper-Außenteil, sodass von daher keine durch Wärmedehnung hervorgerufenen Spannungen zwischen Verdampferkörper-Außenteil und Verdampferkörper-Kernteil auftreten können. In diesem Falle kann das Verdampferkörper-Kernteil problemlos bereits bei unterhalb der Betriebstemperatur des Verdampfers liegender Verdampfertemperatur mit Formschluss, d.h. spielfrei, in dem Hohlraum aufgenommen sein, da aufgrund der gleichen Wärmeausdehnungen ein Reißen des Verdampferkörper-Außenteils vermieden ist. Der Formschluss hat hier den Vorteil, dass ein guter Wärmeübergang von Verdampferkörper-Kernteil zu Verdampferkörper-Außenteil noch sicherer gegeben ist.alternative to the solution according to claim 1 is according to claim 2 provided that the evaporator body core part the same CTE has like the evaporator body outer part, so that by no thermal expansion caused voltages between the evaporator body outer part and evaporator body core part may occur. In this case, the evaporator body core part can already be used at below the operating temperature of the evaporator lying evaporator temperature with positive locking, i. free of play, be accommodated in the cavity, because of the same thermal expansions a tearing of the evaporator body outer part is avoided. The form-fitting has the advantage here that a good Heat transfer of evaporator body core part to evaporator body outer part even safer.

Ein wichtiger Aspekt der Erfindung ist weiterhin, dass das keramische Verdampferkörper-Außenteil ein warmgesintertes Bauteil ist, das heißt ein warmgepresstes bzw. heißgepresstes Sinterteil ist. Dadurch hat das Verdampferkörper-Außenteil als solches erheblich niedrigere anisotrope Eigenschaften, was mit einer wesentlich höheren Wärmeleitfähigkeit in Material-Dickenrichtung einhergeht (ca. 27–30 W/mK), die hinsichtlich der sicheren und zuverlässigen Erwärmung der Abdampffläche von großem Vorteil ist. Das Warmsintern erlaubt auch ausreichend dicke Wandstärken für die Begrenzungswände des inneren Hohlraums, wobei die bevorzugte Wandstärke bei wenigstens 1,5mm liegt. Nach einer weiter bevorzugten Ausführungsform ist ferner die Wandstärke jener Begrenzungswand, die die Abdampffläche und die Wärmeaufnahmefläche ausbildet, kleiner als die Wandstärke der dieser Begrenzungswand gegenüberliegenden Begrenzungswand (also die auf der von der Abdampffläche abgewandten Seite des Verdampferkörper-Kernteils liegenden Begrenzungswand des Verdampferkörper-Außenteils). Die Wandstärke der die Abdampffläche ausbildenden Begrenzungswand liegt hierbei z. B. bei 1,5–2,5 mm, bevorzugt ca. 2mm, und die Wandstärke der gegenüberliegenden Begrenzungswand liegt bei z. B. 3,5–4,5 mm, bevorzugt ca. 4 mm. Durch diese unterschiedlichen Wandstärken gelangt die von dem als Heizelement dienenden Verdampferkörper-Kernteil ausgehende Wärme stärker an die Abdampffläche. Dieser Effekt kann noch dadurch erhöht werden, dass zwischen der von Abdampffläche abgewandten Seite des Verdampferkörper-Kernteils und der dieser abgewandten Seite zugewandten Begrenzungswand des inneren Hohlraums des Verdampferkörper-Außenteils ein Spalt ausgebildet ist, der die Wärmeleitung von dem Verdampferkörper-Kernteil zu der von der Abdampffläche abgewandten Begrenzungswand des inneren Hohlraums behindert, insbesondere da der Verdampferkörper in der Regel in Vakuum betrieben wird. Der Spalt ist von daher bevorzugt in einem der Abdampffläche entsprechenden Bereich auf der anderen Seite des Verdampferkörper-Kernteils vorgesehen.One important aspect of the invention is further that the ceramic Vaporizer body outer part is a hot-sintered component, that is a hot-pressed or hot-pressed Sintered part is. As a result, the evaporator body outer part as such has considerable lower anisotropic properties, resulting in a much higher thermal conductivity in material thickness direction goes along (about 27-30 W / mK), with regard to the safe and reliable heating of the evaporation surface of great Advantage is. The warm sintering also allows sufficiently thick walls for the boundary walls of the inner cavity, wherein the preferred wall thickness is at least 1.5mm. According to a further preferred embodiment, the wall thickness is also those Boundary wall forming the evaporation surface and the heat receiving surface, smaller than the wall thickness the opposite of this boundary wall Boundary wall (ie on the side facing away from the evaporation surface Side of the evaporator body core part lying boundary wall of the evaporator body outer part). The wall thickness the evaporation surface forming boundary wall here is z. At 1.5-2.5 mm, preferably about 2mm, and the wall thickness of the opposite Boundary wall is at z. B. 3.5-4.5 mm, preferably about 4 mm. By these different wall thicknesses of the as Heating element serving evaporator body core part outgoing heat stronger the evaporation surface. This effect can be further increased by the fact that between the of evaporation surface opposite side of the evaporator body core part and facing away from this Side facing boundary wall of the inner cavity of the evaporator body outer part a gap is formed, which is the heat conduction from the evaporator body core part to that of the evaporation surface facing away from the boundary wall of the inner cavity, in particular since the evaporator body usually operated in vacuum. The gap is therefore preferred in one of the evaporation surfaces corresponding area on the other side of the evaporator body core part intended.

Das Verdampferkörper-Außenteil kann, wie auch weiter unten noch erläutert, einstückig oder auch mehrteilig sein. Sein Sintermaterial kann zunächst in Halbschalen kaltgepresst werden, zwischen welche dann das Verdampferkörper-Kernteil und wie unten noch erläuterte Federelemente oder Abstandshalter eingelegt werden und welche dann heiß miteinander verpresst und dadurch warmgesintert werden. Hierbei kann die von der Abdampffläche abgewandte Halbschale mit einem stufenförmig vorstehenden Umfangsrahmen vorgesehen sein, zwischen welchem sich der oben genannte Spalt erstreckt. Zwischen die beiden Schalen können auch Abstandshalter aus z. B. dem gleichen Sintermaterial eingelegt und damit mit warmgepresst und miteingesintert werden, wodurch sich der oben genannte Spalt ausbildet.The evaporator body outer part may, as also explained below, be integral or multi-part. Its sintered material can first be cold-pressed into half-shells, between which then the evaporator body core part and as explained below, spring elements or spacers are inserted and which are then hot-pressed together and thereby hot-sintered. Here, the facing away from the evaporation surface half-shell may be provided with a step-shaped protruding peripheral frame, zwi which extends the above-mentioned gap. Between the two shells and spacers can be made of z. B. the same sintered material and thus hot-pressed and miteingesinterert, whereby the above-mentioned gap is formed.

Als Materialien für das als Heizelement dienende Verdampferkörper-Kernteil, insbesondere gemäß dem Verdampferkörper nach Anspruch 1, kommen gemäß der Erfindung insbesondere Graphit, Graphitfolie, hochleitfähige Keramiken wie z. B. Titandiborid oder auch Refraktärmetalle wie z. B. Wolfram, Molybdän sowie Kombinationen davon in Frage. Hierbei sind als Materialien für das Verdampferkörper-Außenteil z. B. Boride, Nitride und Oxide vorgesehen, wie insbesondere Bornitrid, Aluminiumnitrid, Zirkonoxid, Aluminiumoxid sowie deren Kombinationen.When Materials for serving as a heating element evaporator body core part, in particular according to the evaporator body after Claim 1, come according to the invention in particular graphite, graphite foil, highly conductive ceramics such. B. titanium diboride or refractory metals such as Tungsten, molybdenum as well as combinations thereof in question. Here are as materials for the Vaporizer body outer part z. As borides, nitrides and oxides are provided, in particular boron nitride, Aluminum nitride, zirconia, alumina and combinations thereof.

Insbesondere die Kombination eines Verdampferkörper-Kernteils aus einem Graphit und eines Verdampferkörper-Außenteils aus Bornitrid, wobei der Graphit derart gewählt ist, dass er eine größere Wärmeausdehnung als das Bornitrid hat, zeigt hervorragende Eigenschaften hinsichtlich der Benetzung durch das abzudampfende Metal sowie hinsichtlich der fehlerfreien Abdampfung (keine Spritzneigung), insbesondere wenn die Abdampffläche wie weiter unten noch erläutert durch eine Benetzungshilfsstruktur ergänzt ist.Especially the combination of an evaporator body core part of a graphite and an evaporator body outer part of boron nitride, wherein the graphite is chosen such that it has a greater thermal expansion as the boron nitride has excellent properties in terms of the wetting by the metal to be evaporated and in terms of error-free evaporation (no tendency to spill), especially when the evaporation surface as explained below supplemented by a wetting auxiliary structure.

Die Betriebstemperatur des Verdampferkörpers liegt in der Regel bei 1600–1700°C. Hierbei ist für den Verdampferkörper nach Anspruch 1 bei der Materialkombination Verdampferkörper-Außenteil zu Verdampferköper-Kernteil ferner darauf zu achten, dass es bei der Betriebstemperatur nicht zu einer Legierungsbildung zwischen dem Verdampferkörper-Außenteil und dem Verdampferkörper-Kernteil kommt, da hierdurch bei der per se vorliegenden schnelleren Schrumpfung des Verdampferkörper-Kernteils das Verdampferkörper-Außenteil brechen könnte. Somit sind das Verdampferkörper-Außenteil und das Verdampferkörper-Kernteil insbesondere relativ zueinander verbindungsfrei vorgesehen sowie aus Materialien, die nicht relativ zueinander legierungsbildend sind.The Operating temperature of the evaporator body is usually included 1600-1700 ° C. in this connection is for the evaporator body according to claim 1 in the material combination evaporator body outer part to evaporator body core part Furthermore, make sure that it does not work at the operating temperature to an alloy formation between the evaporator body outer part and the evaporator body core part comes as a result, the faster shrinkage present per se of the evaporator body core part, the evaporator body outer part could break. Thus, the evaporator body outer part and the evaporator body core part in particular provided relative to each other connection-free and made of materials, which are not alloying relative to each other.

Das Verdampferkörper-Kernteil kann mit Ausnahme an den Austrittsöffnungen des Hohlraums des Verdampferkörper-Außenteils, wo er auch etwas über das Verdampferkörper-Außenteil hinausragen kann, komplett von dem Verdampferkörper-Außenteil umschlossen sein, so dass eine Wärmeübertragung neben der der Abdampffläche gegenüberliegenden Wärmeaufnahmefläche auch an andere Innenflächen des Verdampferkörper-Außenteils erfolgt. Bei dem Verdampferkörper nach Anspruch 1 sind die seitlichen Flächen des Verdampferkörper-Kernteils (= stirnseitige Flächen bezüglich der an der Wärmeaufnahmefläche anliegenden Fläche des Verdampferkörper-Kernteils) bevorzugt aber auch mit einem solchen Spiel zur zugehörigen inneren Begrenzungsfläche angeordnet, dass es dort auch bei Betriebstemperatur des Verdampferkörpers zu keinem Kontakt zwischen dem Verdampferkörper-Kernteil und dem Verdampferkörper-Außenteil kommt.The Vaporizer body core part can except at the outlet openings of the cavity of the Vaporizer body outer part, where he also something about the evaporator body outer part can protrude completely enclosed by the evaporator body outer part be such that a heat transfer in addition the evaporation surface opposite heat receiving surface also to other interior surfaces of the evaporator body outer part he follows. In the evaporator body According to claim 1, the lateral surfaces of the evaporator body core part (= frontal surfaces in terms of the voltage applied to the heat receiving surface area of the evaporator body core part) but also prefers with such a game to the associated inner boundary surface arranged there to be there even at the operating temperature of the evaporator body no contact between the evaporator body core part and the evaporator body outer part comes.

Das Verdampferkörper-Kernteil bildet bevorzugt ein gerades bzw. ebenes Heizelement, wobei es stabförmig mit rundem oder eckigem Querschnitt sein kann, wobei sich mehre solche Heizstäbe als ein flächiges ebenes Verdampferkörper-Kernteil bildend parallel zueinander längs durch den Hohlraum erstrecken können. Bevorzugt ist das Verdampferkörper-Kernteil als eine Platte, insbesondere als eine längliche ebene Platte ausgebildet, die sich durch einen entsprechend geformten schlitzförmigen Hohlraum in dem Verdampferkörper-Außenteil mit Spiel, d.h. verschiebbar erstreckt. Das Verdampferkörper-Kernteil hat nach einer Ausführungsform über seine Kernlänge hinweg einen konstanten Querschnitt, welcher bevorzugt rechteckig ist. Nach einer anderen Ausführungsform ist das Verdampferkörper-Kernteil entlang seiner Kernlänge knochenförmig, wodurch der zentrale Kernabschnitt aufgrund seiner kleineren Querschnittsfläche stärker erwärmt wird und die Längsenden des Kerns aufgrund deren größeren Querschnittsflächen weniger stark erwärmt werden. Dies ist vorteilhaft hinsichtlich einer stärkeren Fokussierung der Wärmezufuhr auf die zentral angeordnete Abdampffläche, wohingegen die Längsenden des Verdampferkörpers, an denen keine Abdampffläche vorgesehen ist, nicht so stark erwärmt werden, so dass deren Korrosions-Verschleiß erheblich reduziert ist. Mit einem solchen knochenförmigen Verdampferkörper-Kernteil kann ferner auch die Metallschmelze besser in der Abdampfflächenmitte lokalisiert werden, da die Temperatur auf der Abdampffläche entsprechend der Knochenform nach außen hin abnimmt, wodurch die Schmelze daran gehindert wird nach außen wegzufließen.The Vaporizer body core part preferably forms a straight or even heating element, wherein it is rod-shaped with may be round or angular cross-section, with several such heaters as a plane level evaporator body core part forming parallel to each other can extend through the cavity. The evaporator body core part is preferred formed as a plate, in particular as an elongated flat plate, extending through a correspondingly shaped slot-shaped cavity in the evaporator body outer part with play, i. slidably extends. The evaporator body core part has after an embodiment about his core length a constant cross section, which preferably rectangular is. According to another embodiment is the vaporizer body core part along its core length bone-shaped, whereby the central core portion is heated more due to its smaller cross-sectional area and the longitudinal ends the core due to their larger cross-sectional areas less to be heated strongly. This is advantageous in terms of a stronger focus of the heat on the centrally arranged evaporation surface, whereas the longitudinal ends the evaporator body, where no evaporation surface is provided, not so strongly heated, so that their corrosion wear significantly is reduced. With such a bone-shaped evaporator body core part Furthermore, the molten metal can be better in the Abdampfflächenmitte be located as the temperature on the evaporation surface accordingly the bone shape outwards decreases, whereby the melt is prevented from flowing away to the outside.

Das Verhältnis zwischen der Dicke des Verdampferkörper-Kernteils und der Dicke des Verdampferkörper-Außenteils (gesehen in Richtung senkrecht zur Abdampffläche) beträgt bevorzugt 0,35–1,0, sodass also das Verdampferkörper-Außenteil die wie oben als bevorzugt genannten größeren Wandstärken sicher aufweist, sodass es als eigenständiger bzw. eigenstabiler Körper vorliegt, ohne den Kern als Stützgerüst zu benötigen. In derart dicken Wänden des Verdampferkörper-Außenteils können auch Kavitäten unterschiedlicher Tiefe zur Aufnahme des Metallbads ausgebildet werden, ohne dass eine Gefahr der Zerstörung der Wand und damit des Verdampferkörper-Außenteils gegeben ist.The relationship between the thickness of the evaporator body core portion and the thickness of the evaporator body outer portion (seen in the direction perpendicular to the evaporation surface) is preferably 0.35-1.0, so So the evaporator body outer part the above-mentioned as preferred larger wall thicknesses sure so it stands out as a stand-alone or inherently stable body exists without the need of the core as a scaffold. In such thick walls the evaporator body outer part can also wells formed different depth for receiving the metal bath be without a risk of destruction of the wall and thus of the Vaporizer body outer part given is.

Nach einer Ausführungsform der Erfindung ist der innere Hohlraum des Verdampferkörper-Außenteils zu der von der Abdampffläche abgewandten Seite hin offen ausgebildet, wodurch sich das Verdampferkörper-Außenteil in Form einer Klammer um das Verdampferkörper-Kernteil erstreckt. Bei dieser Ausführungsform wird an der der Wärmeaufnahmefläche gegenüberliegenden Fläche aufgrund des durch die Klammerform vorliegenden Schlitzes im Verdampferkörper-Außenteil nicht soviel Wärme an das Verdampferkörper-Außenteil übertragen.According to one embodiment of the invention the inner cavity of the evaporator body outer part is open to the side facing away from the evaporative surface, whereby the evaporator body outer part extends in the form of a clamp around the evaporator body core part. In this embodiment, not so much heat is transferred to the evaporator body outer part at the heat receiving surface opposite surface due to the present in the form of the staple slot in the evaporator body outer part.

Dies kann hinsichtlich einer gewünschten Wärmeverteilung fokussiert auf die Abdampffläche sowie der Wärmebelastung des Verdampferkörper-Außenteils vorteilhaft sein.This can with regard to a desired heat distribution focused on the evaporation surface as well the heat load of the evaporator body outer part be beneficial.

Das Verdampferkörper-Außenteil kann ein einstückiges Teil sein, das z. B. wie oben erläutert um das Verdampferkörper-Kernteil warmgesintert ist. Nach einer anderen Ausführungsform der Erfindung ist das Verdampferkörper-Außenteil von zwei separaten, vorab warmgesinterten Halbschalen gebildet, die entlang einer entlang dem inneren Hohlraum (von Austrittsöffnung zu Austrittsöffnung) verlaufenden Trennlinie zusammengepasst sind und mittels sich quer zur Trennlinie erstreckenden Ringen oder Klammern zusammengehalten sind. Die Halbschalen sind bevorzugt aus dem gleichen Material. Ferner sind auch die Ringe oder Klammern bevorzugt aus dem gleichen Material wie das Verdampferkörper-Außenteil, so dass dazwischen keine Wärmespannungen auftreten können. Nach einer Ausführungsform sind die Ringe oder Klammern konisch geformt, sodass sie sich mit dem Aufschieben auf das Verdampferkörper-Außenteil mit diesem Verklemmen und so die Halbschalen fest aneinanderklemmen. Nach einer noch anderen Ausführungsform sind zwischen die Ringe bzw. Klammern und das Verdampferkörper-Außenteil jeweils eine oder mehrere Graphitfolien gelegt. Indem die Graphitfolie per se elastisch komprimierbar ist, wird sie durch das Aufschieben des Ringes oder der Klammer bei entsprechenden Abmessungen derart elastisch komprimiert, dass die beiden Halbschalen entsprechend federelastisch zusammengeklemmt werden. Die Graphitfolie kann hierbei beispielsweise eine Stärke von 0,4mm haben, wobei ein umfängliches Spiel zwischen Ring/Klammer und Verdampferkörper-Außenteil von nur 0,3mm vorliegt. Beim Aufschieben des Ringes auf das Verdampferkörper-Außenteil wird die Graphitfolie entsprechend um 25% elastisch komprimiert und übt eine entsprechende Federkraft auf die beiden Halbschalen des Verdampferkörper-Außenteils aus.The Vaporizer body outer part can be a one-piece Be part of the z. B. as explained above, around the evaporator body core part hot sintered is. According to another embodiment of the invention is the evaporator body outer part of two separate, formed in advance warm sintered half shells, along a along the internal cavity (from outlet to outlet) extending dividing line are matched and by means of transverse held together to the dividing line extending rings or brackets are. The half-shells are preferably made of the same material. Furthermore, the rings or brackets are preferably of the same Material such as the evaporator body outer part, so that no thermal stresses occur in between can. According to one embodiment The rings or brackets are conically shaped so that they are with sliding on the evaporator body outer part with this jamming and so the half shells firmly clamped together. According to yet another embodiment are between the rings or brackets and the evaporator body outer part each one or more graphite foils laid. By the graphite foil per se is elastically compressible, it is by pushing on the Ringes or the clip with appropriate dimensions so elastic compresses that the two half shells correspondingly resilient be clamped together. The graphite foil can in this case, for example a strength of 0.4mm, with a circumferential Game between ring / clamp and evaporator body outer part of only 0.3mm is present. When sliding the ring on the evaporator body outer part is the graphite foil accordingly compressed by 25% elastic and exerts a corresponding spring force on the two half-shells of the evaporator body outer part.

Nach einer Ausführungsform der Erfindung ist zwischen dem Verdampferkörper-Kernteil und dem Verdampferkörper-Außenteil, bevorzugt auf der von der Wärmeaufnahmefläche abgewandten Seite des Verdampferkörper-Kernteils, eine Federeinrichtung eingesetzt, von welcher das Spiel des Verdampferkörper-Kernteils bezüglich der Wärmeaufnahmefläche elastisch ausgleichbar ist. D.h., die Federeinrichtung drückt das Verdampferkörper-Kernteil stets oder zumindest ab einer gewissen Verdampferkörper-Temperatur gegen die Wärmeaufnahmefläche, so dass auch bei schwankenden Betriebstemperaturen, ein sicherer Kontakt zwischen Wärmeaufnahmefläche und Verdampferkörper-Kernteil gegeben ist. Die Federeinrichtung kann, wenn entsprechend wärmeleitend ausgebildet, auch zwischen dem Verdampferkörper-Kernteil und der Wärmeaufnahmefläche angeordnet sein.To an embodiment the invention is between the evaporator body core part and the evaporator body outer part, preferably on the side remote from the heat receiving surface Side of the evaporator body core part, a spring device used, of which the game of the evaporator body core part with respect to the Heat absorbing surface elastic is compensable. That is, the spring means pushes the evaporator body core part always or at least from a certain evaporator body temperature against the heat receiving surface, so that even with fluctuating operating temperatures, a safe contact between heat receiving surface and Vaporizer body core part given is. The spring device can, if appropriate thermally conductive formed, also arranged between the evaporator body core part and the heat receiving surface be.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform ist die Federeinrichtung ein Paket von Folien, welche bevorzugt aus dem gleichen Material wie das Verdampferkörper-Kernteil sind. Besonders bevorzugt sind als Folien Graphitfolien vorgesehen. Es kann auch eine einzige Folie als Federeinrichtung vorgesehen sein. So ist z. B. eine Graphitfolie anisotrop und in Dickenrichtung per se bereits bis zu 40% elastisch komprimierbar. Hierdurch können auch stark unterschiedliche Ausdehnungskoeffizienten hinsichtlich Verdampferkörper-Außenteil und Verdampferkörper-Kernteil ausgeglichen werden. Das anisotrope Verhalten bringt außerdem eine verschlechterte Wärmeleitung in Foliendickenrichtung zu der von der Abdampffläche abgewandten Seite des Verdampferkörper-Außenteils mit sich, sodass die Wärmezufuhr vorteilhaft zu der der Wärmeaufnahmefläche und damit zu der Abdampffläche hin konzentriert wird. Bei der Herstellung des Verdampferkörpers wird die Federeinrichtung, wie z.B. die Graphitfolie, bevorzugt einfach mit eingesintert. Dies kann z. B. wie folgt erfolgen: es wird eine erste Halbschale des Verdampferkörper-Außenteils aus keramischem Material kaltgepresst; in diese erste Halbschale werden die Graphitfolie und darauf das Verdampferkörper-Kernteil, z. B. ein Graphitkern, eingelegt; es wird eine zweite Halbschale des Verdampferkörper-Außenteils aus keramischem Material kaltgepresst und mit der ersten Halbschale unter Umschließen des Verdampferkörper-Kernteils und der Graphitfolie zu einem einzigen Teil warmverpresst, d.h. warmgesintert.To a preferred embodiment For example, the spring device is a package of films which are preferred are of the same material as the evaporator body core part. Especially Preferably, graphite foils are provided as foils. It can also a single film may be provided as a spring device. So is z. B. an graphite foil anisotropic and in the thickness direction per se already Up to 40% elastically compressible. This can also be very different Expansion coefficients with respect to the evaporator body outer part and evaporator body core part be compensated. The anisotropic behavior also brings one deteriorated heat conduction in the film thickness direction to the side facing away from the evaporation surface side of the evaporator body outer part with it, so that the heat supply advantageous to the heat receiving surface and with it to the evaporation surface is concentrated. In the production of the evaporator body is the spring means, e.g. the graphite foil, preferably simple sintered with. This can be z. B. as follows: it will be a first half-shell of the evaporator body outer part made of ceramic material cold pressed; in this first half shell are the graphite foil and then the evaporator body core part, z. B. a graphite core, inserted; it will be a second half shell of the Vaporizer body outer part made of ceramic material cold pressed and with the first half shell under enclosure the evaporator body core part and the graphite foil is hot-pressed into a single piece, i. warmgesintert.

Nach einer Ausführungsform der Erfindung enthält das Verdampferkörper-Außenteil als eine Materialkomponente Stickstoff, insbesondere in Form von Bornitrid, wobei auf die Abdampffläche ein Erstbenetzungsmaterial aufgebracht ist, das aufweist: Aluminium, welches nach dem Start des Betriebs des Verdampferkörpers auf dessen Abdampffläche schmilzt und mit dem Stickstoff des Verdampferkörpers unter Ausbildung einer Aluminiumnitridschicht auf der Verdampferfläche reagiert, und ein Benetzungsmittel (Benetzungsagens), mittels dessen eine gleichmäßige und großflächige Verteilung des geschmolzenen Aluminiums auf der Verdampferfläche begünstigt wird.To an embodiment of the invention the evaporator body outer part as a material component nitrogen, in particular in the form of Boron nitride, wherein on the evaporation surface a Erstbenetzungsmaterial is applied, comprising: aluminum, which after starting the operation of the evaporator body melts on the evaporation surface and with the nitrogen of the evaporator body to form a Aluminum nitride layer on the evaporator surface reacts, and a wetting agent (Wetting agent), by means of which a uniform and large-scale distribution of the molten aluminum on the evaporator surface is favored.

Das nach dem Start des Verdampfers verflüssigte Aluminium des Erstbenetzungshilfsmaterials wird mittels des Benetzungsmittels schnell und flächendeckend auf der Abdampffläche des Verdampferkörpers verteilt, so dass die Abdampffläche bereits zu Beginn des Aufheizvorgangs nahezu vollständig mit Aluminium benetzt ist. Das Benetzungsmittel bewirkt hierbei insbesondere eine Verringerung des Benetzungswinkels des schmelzenden Aluminiums. Das dadurch gut verteilte Aluminium reagiert dann mit dem Bornitrid des Verdampferkörper-Außenteils zu Aluminiumnitrid. Das so auf der Abdampffläche gebildete Aluminiumnitrid wird von Aluminium wesentlich besser benetzt als das Bornitrid des Verdampferkörper-Außenteils. Bei fachgerechter Betreibung des Verdampferkörpers bleibt die durch das Erstbenetzungshilfsmaterial ausgebildete aktive Benetzungsfläche (= auf der Verdampferfläche des Verdampferkörpers generierte Aluminiumnitridschicht) über die gesamte Lebensdauer des Verdampferkörpers hinweg erhalten. Hierbei bildet sich durch das auf der Abdampffläche vorliegende Aluminiumbad stets selbsttätig neues Aluminiumnitrid nach, sodass die Aluminiumnitridschicht über den Verdampferbetrieb hinweg selbsterhaltend ist.The after the start of the evaporator, liquefied aluminum of the initial wetting aid is quickly and completely covered by the wetting agent on the evaporation surface of the evaporator body distributed so that the evaporation surface already wetted almost completely with aluminum at the beginning of the heating process is. The wetting agent causes in particular a reduction of the Wetting angle of the melting aluminum. The thus well distributed Aluminum then reacts with the boron nitride of the evaporator body outer part to aluminum nitride. The aluminum nitride thus formed on the evaporation surface is wetted by aluminum much better than the boron nitride of Vaporizer body outer part. With proper operation of the evaporator body remains through the Erstbenetzungshilfsmaterial trained active wetting area (= on the evaporator surface of the evaporator body generated aluminum nitride layer) over its lifetime of the evaporator body get away. This forms by the present on the evaporation surface Aluminum bath always self-acting new aluminum nitride, so that the aluminum nitride layer over the Self-sustaining evaporator operation is.

Mit der mit dem Erstbenetzungshilfsmaterial beim Start (= Aufheizvorgang) des Verdampferkörpers auf dessen Abdampffläche sehr schnell bereitstellbaren Aluminiumnitridschicht, auf welche dann das zu verdampfende Aluminiummaterial kontinuierlich aufgebracht wird, wird eine erhebliche Verbesserung der Benetzung/Beschichtung der Abdampffläche erzielt, da die Schicht aus Aluminiumnitrid im Vergleich zu z.B. Bornitrid eine starke Reduzierung des Benetzungswinkels des Aluminiums (Reduzierung der Oberflächenspannung) gegenüber der Abdampffläche des Verdampferkörpers bewirkt, so dass die Aluminiumnitridschicht und damit die Abdampffläche schneller benetzt werden. Das Aluminium des Erstbenetzungshilfsmaterials schmilzt beim Betriebsstart des Verdampferkörpers, d.h. wenn durch dessen Verdampferkörper-Kernteil elektrischer Strom geleitet wird, um diesen aufgrund seines ohmschen Widerstandes elektrisch auf eine Betriebstemperatur von insbesondere 1450–1700°C aufzuheizen, wobei das Benetzungsmittel des Erstbenetzungshilfsmaterials eine schnelle und gleichmäßige Verteilung des Aluminiums des Erstbenetzungshilfsmaterials auf der Abdampffläche bewirkt, wobei die zugehörige mit dem geschmolzenen Aluminium des Erstbenetzungshilfsmaterials benetzte Fläche auf dem Verdampferkörper die Erstbenetzungsfläche darstellt. Dadurch wird über die gesamte mit dem Erstbenetzungshilfsmaterial versehene Abdampffläche (= spätere Erstbenetzungsfläche) bereits in der Aufheizphase des Verdampferkörpers eine In-Situ-Reaktion des Aluminiums mit dem Stickstoff im Verdampferkörper erreicht, wodurch schnell und sicher die wie oben erwähnt vorteilhafte Aluminiumnitridschicht ausgebildet wird.With the with the Erstbenetzungshilfsmaterial at the start (= heating) of the evaporator body on its evaporation surface very quickly deployable aluminum nitride layer on which then continuously applied the aluminum material to be evaporated will be a significant improvement in wetting / coating the evaporation surface achieved because the layer of aluminum nitride compared to e.g. Boron nitride a strong reduction of the wetting angle of the aluminum (Reduction of surface tension) across from the evaporation surface of the evaporator body causes, so that the aluminum nitride layer and thus the evaporation surface faster be wetted. The aluminum of the first wetting aid melts at the start of operation of the evaporator body, i. if by his Vaporizer body core part electrical current is passed to this due to its ohmic resistance electrically heated to an operating temperature of in particular 1450-1700 ° C, wherein the wetting agent of the initial wetting aid is a fast and even distribution effect of the aluminum of the initial wetting agent on the evaporation surface, with the associated with the molten aluminum of the initial wetting aid wetted area on the evaporator body the first wetting area represents. This will over the entire with the Erstbenetzungshilfsmaterial provided evaporation surface (= later Erstbenetzungsfläche) already in the heating phase of the evaporator body an in-situ reaction of Aluminum reaches with the nitrogen in the vaporizer body, causing fast and certainly the ones mentioned above advantageous aluminum nitride layer is formed.

Am Ende des Aufheizvorgangs des Verdampferkörpers liegt dann also bereits nahezu über die gesamte Abdampffläche hinweg eine Aluminiumnitridschicht vor, wobei gleichzeitig auch der Dampfdruck des Aluminiums den Druck aus der Gasphase erreicht bzw. diesen überschreitet, so dass das überschüssige Aluminium des Erstbenetzungshilfsmaterials verdampft. Das anschließende kontinuierliche Verdampfen des zu verdampfenden Aluminiums erfolgt daher von einer deutlich größeren aktiven Aluminiumbadfläche (= durch das kontinuierlich zugeführte, geschmolzene Aluminium eingenommene Fläche auf der Verdampferfläche des Verdampferkörpers) aus und mit einer wesentlich erhöhten Abdampfrate schon zu Beginn des Abdampfprozesses. Mit der erreichten großflächigen Erstbenetzung durch das Aluminium des Erstbenetzungshilfsmaterials gleich zu Beginn des Aufheizvorgangs wird ferner auch die anfängliche thermische Belastung des Verdampferkörpers reduziert und dadurch seine Standzeit erhöht und seine elektrische Steuerung erleichtert.At the End of the heating process of the evaporator body is then already almost over the entire evaporation surface an aluminum nitride layer before, wherein at the same time the vapor pressure of the aluminum reaches the pressure from the gas phase or exceeds this so that the excess aluminum of the first wetting aid evaporates. The subsequent continuous evaporation of the aluminum to be evaporated therefore takes place clearly larger active Aluminiumbadfläche (= by the continuously supplied, molten aluminum occupied area the evaporator surface of the evaporator body) and with a substantially increased Evaporation rate already at the beginning of the evaporation process. With the achieved extensive initial wetting through the aluminum of the initial wetting aid right at the beginning the heating process is also the initial thermal load of the evaporator body reduces and thereby increases its service life and its electrical control facilitated.

Durch die gleichmäßige und vollflächige Erstbenetzung wird zudem die sog. Spritzerbildung erheblich reduziert. Spritzer entstehen unter anderem durch schlagartiges Verdampfen von Aluminium und stellen Fehlstellen auf dem beschichteten Substrat dar. Bei einer unvollständigen Benetzung/Beschichtung der Verdampferfläche und pulsierenden Aluminiumbadbewegungen wird ständig Aluminium von kühleren, benetzten Teilen der Abdampffläche auf heißere, unbenetzte Teile der Abdampffläche gebracht, was zu vielen kleinen Spritzern führt. Durch die durch das erfindungsgemäße Erstbenetzungshilfsmaterial ausgebildete gleichmäßige und vollflächige Benetzungsschicht auf der Abdampffläche wird verhindert, dass das Aluminium auf Grund von Temperaturgradienten schlagartig auf der Abdampffläche verdampft, so dass die Spritzerbildung erheblich reduziert wird.By the uniform and full-surface initial wetting In addition, the so-called spatter formation is significantly reduced. splash arise among other things by sudden evaporation of aluminum and represent defects on the coated substrate. In a incomplete Wetting / coating of the evaporator surface and pulsating aluminum bath movements is constantly Aluminum from cooler, wetted parts of the evaporation surface hotter, unwetted parts of the evaporation surface brought, which leads to many small splashes. By through the inventive Erstbenetzungshilfsmaterial trained even and all-over Wetting layer on the evaporation surface prevents the Aluminum abruptly on the basis of temperature gradients Evaporating surface evaporates, so that the spattering is significantly reduced.

Das Erstbenetzungshilfsmaterial kann sehr einfach herstellt werden und an dem Verdampferkörper angebracht werden. So weist das Erstbenetzungshilfsmaterial insbesondere einfach ein Klebemittel, wie insbesondere Acrylat-Kleber, auf, mittels dessen das Erstbenetzungshilfsmaterial auf der Abdampffläche klebehaftend anbringbar ist. Das Erstbenetzungshilfsmaterial kann jedoch auch einfach auf den Verdampferkörper aufgelegt sein, wenn es z.B. folienförmig/blechförmig oder stückig ausgebildet ist, oder auf den Verdampferkörper aufgestreut sein, wenn es z.B. pulverförmig ausgebildet ist. Hierbei ist in der Abdampffläche vorteilhaft eine Kavität ausgeformt, in welcher die Folie oder das Pulver in loser Form sicherer eingebracht sind. Es kann auch ein pulverförmiges Benetzungsmittel einfach auf die Abdampffläche des Verdampferkörpers gestreut oder gewalzt und dann von einer lose aufgelegten oder mittels eines Klebemittels aufgeklebten Aluminiumfolie oder von einem Aluminiumblech abgedeckt sein.The first wetting aid can be made very easily and attached to the vaporizer body. Thus, in particular, the initial wetting auxiliary material simply comprises an adhesive, such as, in particular, acrylate adhesive, by means of which the first wetting auxiliary material can be adhesively attached to the vaporous surface. However, the Erstbenetzungshilfsmaterial may also be simply placed on the evaporator body, if it is, for example, foil-shaped / sheet-shaped or lumpy, or be sprinkled on the evaporator body, for example, if it is powdered. Here, a cavity is advantageously formed in the evaporation surface, in which the film or the powder are introduced safer in a loose form. It may also be a powdery wetting agent simply scattered on the evaporation surface of the evaporator body or rolled and then covered by a loosely applied or bonded by means of an adhesive aluminum foil or aluminum sheet.

Ferner weist das Erstbenetzungshilfsmaterial vorzugsweise Zinn als Materialkomponente auf, wobei das Zinn in elementarer Form oder in gebundener Form vorliegen kann. Das Zinn, welches insbesondere in Pulverform mit einer maximalen Korngröße von 0,02 bis 0,06 mm, insbesondere 0,045 mm, bereitgestellt ist, übernimmt ab Temperaturen von über 230°C durch Ausbildung einer schmelzflüssigen Phase die Haftwirkung des Klebemittels, wodurch eine Haftung/Fixierung des Erstbenetzungshilfsmaterials auf der Abdampfoberfläche des Verdampferkörpers auch bei erhöhten Temperaturen, nachdem sich der Klebstoff zersetzt bzw. nachdem der Klebstoff verdampft ist, sichergestellt ist. Wichtig ist dabei, dass das Zinn die Haftwirkung übernimmt, noch bevor das Klebemittel verdampft ist, um ein Haften des Erstbenetzungsmaterials über den gesamten Temperaturbereich sicherzustellen. Auf Grund seiner Schmelztemperatur und seines Dampfdrucks ist Zinn hierfür besonders gut geeignet, da es im Vergleich zu seiner Schmelztemperatur einen relativ niedrigen Dampfdruck aufweist, welcher in etwa dem des Aluminiums entspricht, so dass durch das Zinn in Kombination mit dem Klebemittel über das gesamte Temperaturfenster des Prozesses die Haftung des Erstbenetzungshilfsmaterials auf der Verdampferfläche gewährleistet ist. Ferner, da der Dampfdruck von Zinn in etwa mit dem von Aluminium übereinstimmt, wird das Zinn gegen Ende des Aufheizvorgangs, bei Erreichen der maximalen Aufheiztemperatur vollständig, d.h. rückstandslos, verdampft. Das Zinn kann direkt dem Klebemittel und/oder dem Benetzungsmittel zugemischt und/oder dem Aluminium zulegiert sein. Es sei darauf hingewiesen, dass sich die Erfindung nicht auf den Einsatz von Zinn als Haftmittel für einen erhöhten Temperaturbereich beschränkt, sondern vielmehr auch andere Materialkomponenten verwendet werden können, welche ein ähnliches Temperaturfenster hinsichtlich ihres Schmelz- und Siedepunkts aufweisen. Dabei ist vor allem wichtig, dass die gewählte Materialkomponente die geforderte Haftwirkung noch vor der Zersetzung/Verdampfung des Klebemittels entfaltet und etwa gleiche Dampfdruckverhältnisse wie Aluminium aufweist, so dass keine Rückstände gebildet werden. Auch wenn die Kombination von Zinn und Klebemittel eine nahezu ideale Haftwirkung über den gesamten Temperaturbereich hinweg bietet, kann das Zinn oder das Klebemittel auch ohne die jeweils andere Materialkomponente in dem Erstbenetzungshilfsmaterial vorliegen.Further For example, the first wetting assistant preferably comprises tin as the material component on, wherein the tin in elemental form or in bound form may be present. The tin, which in particular in powder form with a maximum particle size of 0.02 to 0.06 mm, in particular 0.045 mm, is provided from temperatures above 230 ° C through Formation of a molten phase the adhesive effect of the adhesive, resulting in adhesion / fixation of the first wetting aid on the exhaust steam surface of the evaporator body even at elevated Temperatures after the adhesive decomposes or after the Glue is evaporated, it is ensured. It is important that the tin takes over the adhesive effect, even before the adhesive has evaporated to prevent the first wetting material from sticking over the ensure the entire temperature range. Due to its melting temperature and its vapor pressure, tin is particularly well suited for this because it has a relatively low vapor pressure compared to its melting temperature which corresponds approximately to that of aluminum, so that through the tin in combination with the adhesive over the entire temperature window of the process the adhesion of the initial wetting auxiliary ensured on the evaporator surface is. Further, since the vapor pressure of tin is approximately equal to that of aluminum the tin towards the end of the heating process, when reaching the maximum Heating temperature complete, i.e. residue, evaporated. The tin may be directly the adhesive and / or the wetting agent admixed and / or alloyed with the aluminum. It is important pointed out that the invention is not based on the use of tin as an adhesive for an elevated one Temperature range limited, but Rather, other material components can be used which a similar temperature window in terms of their melting and boiling point. It is especially important that the chosen Material component the required adhesion even before decomposition / evaporation of the adhesive unfolded and about the same vapor pressure conditions As aluminum, so that no residues are formed. Even if the Combination of tin and adhesive a nearly ideal adhesion over the Whole temperature range offers, the tin or the Adhesive without the other material component in the Initial wetting material is available.

Bevorzugt enthält das Benetzungsmittel des Erstbenetzungshilfsmaterials mindestens 30 Gew.%, vorzugsweise 40 Gew.%, Zirkonium, Molybdän, Titan oder eine Kombination davon als Materialkomponente. Die genannten Komponenten können dabei in elementarer Form, als Metalllegierung oder gebunden vorliegen. In gebundener Form liegen die Komponenten vorzugsweise als Boride und/oder Silizide und/oder Nitride und/oder Carbide und/oder als Carbonitride, insbesondere als Borid und/oder Silizid, vor, nicht jedoch oxidiert. Es ist wichtig, dass die Verbindungen unter den in der Metallisierungsanlage gegebenen Aufheizbedingungen im Kontakt mit flüssigem Aluminium freies Titanmetall/Molybdänmetall/Zirkoniummetall bilden. Insbesondere ist das Benetzungsmittel Titandiborid, Titanmetall, Zirkoniumdiborid, Zirkoniummetall, Titandisilizid, Zirkoniumdisilizid, Molybdändisilizid, Molybdänmetall, Ferrosiliziumdititanat (FeSiTi₂) oder eine Kombination davon.Preferably, the wetting agent of the initial wetting aid contains at least 30% by weight, preferably 40% by weight, of zirconium, molybdenum, titanium or a combination thereof as the material component. The components mentioned can be present in elemental form, as a metal alloy or bonded. In bound form, the components are preferably present as borides and / or silicides and / or nitrides and / or carbides and / or as carbonitrides, in particular as boride and / or silicide, before, but not oxidized. It is important that the compounds form free titanium metal / molybdenum metal / zirconium metal in contact with liquid aluminum under the heating conditions given in the metallization unit. In particular, the wetting agent is titanium diboride, titanium metal, zirconium diboride, zirconium metal, titanium disilicide, zirconium disilicide, molybdenum disilicide, molybdenum metal, ferrosilicon titanate (FeSiTi ₂ ), or a combination thereof.

Anspruch 19 beschreibt ein bevorzugtes Verfahren zur Bereitstellung eines Verdampferkörpers gemäß der Erfindung. Insbesondere bevorzugt wird die für das Sintern des Verdampferkörper-Außenteils erforderliche Wärme durch Widerstandsheizen des Verdampferkörper-Kernteils gewonnen, was die Herstellung weiter vereinfacht, da eine externe Heizeinrichtung entfällt. Das keramische Sintermaterial des Verdampferkörper-Außenteils wird um das Verdampferkörper-Kernteil angeordnet und gegen dieses gepresst und dann durch die von dem Verdampferkörper-Kernteil erzeugte Wärme sowie durch den von außen her wirkenden Pressdruck gesintert. Das einen größeren Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisende Verdampferkörper-Kernteil schrumpft bei der Abkühlung nach dem Warmsintern schneller, sodass es sich von dem warmgesinterten Verdampferkörper-Außenteil löst, wobei wie oben erläutert die Materialien so gewählt sind, dass beim Warmsintervorgang keine oder keine starken Bindungen zwischen Verdampferkörper-Außenteil und Verdampferkörper-Kernteil auftreten.claim 19 describes a preferred method for providing a Evaporator body according to the invention. Particularly preferred is the time required for sintering the evaporator body outer part Heat through Resistance heating of the evaporator body core part won what the production further simplified, as an external heater eliminated. The ceramic sintered material of the evaporator body outer part is arranged around the evaporator body core part and pressed against it and then through the evaporator body core part generated heat as well as from the outside sintered forth acting pressing pressure. The one larger thermal expansion coefficient having evaporator body core part shrinks during cooling after hot sintering faster, leaving it from the hot sintered Vaporizer body outer part triggers, where as explained above the materials chosen are that during the warm sintering process no or no strong bonds between evaporator body outer part and evaporator body core part occur.

Nach einer Ausführungsform der Erfindung wird auf die Abdampffläche des Verdampferkörpers eine Schichtstruktur aus mindestens einer Schicht aufgebracht und ein Metallisierungszyklus durchgeführt, in welchem der Verdampferkörper, d.h. das Verdampferkörper-Kernteil, mit elektrischem Strom betrieben wird und die Abdampffläche kontinuierlich mit Metall beschickt wird, sodass der Verdampferkörper erwärmt wird und das auf die Schichtstruktur zugeführte Metall verflüssigt und verdampft wird. Gemäß der Erfindung wird als Schichtstruktur eine durch den Betrieb des Verdampferkörpers verbrauchbare Schichtstruktur verwendet, die auf die Abdampffläche vor dem Metallisierungszyklus als Rohschichtstruktur aus sinterfähigem Pulvermaterial in im wesentlichen unversintertem Zustand aufgebracht wird und in dem Metallisierungszyklus durch die Erwärmung des Verdampferkörpers auf diesen aufgesintert wird.To an embodiment The invention is the evaporation surface of the evaporator body a Layer structure of at least one layer applied and a Metallization cycle performed, in which the evaporator body, i.e. the evaporator body core part, is operated with electric power and the evaporation surface continuously is charged with metal, so that the evaporator body is heated and the metal supplied to the layer structure is liquefied and is evaporated. According to the invention is a layer structure consumable by the operation of the evaporator body layer structure used that in front of the evaporator surface the metallization cycle as a raw layer structure of sinterable powder material is applied in substantially non-sintered state and in the Metallisierungszyklus by the heating of the evaporator body this is sintered on.

Als Pulvermaterial kann dabei ein geeignetes körniges Material aus Einzelkörnchen und/oder Korn-Agglomeraten und/oder einer körnigen Fraktion aus vorgesintertem Material verwendet werden. Das Aufsintern des Pulvermaterials auf die Abdampffläche erfolgt insbesondere dadurch, dass Schmelzbrücken zwischen der Materialstruktur der Abdampffläche und der Kornstruktur des Pulvermaterials entstehen, um für einen ausreichend guten Wärmeübergang zwischen Verdampferkörper und Schicht zu sorgen, wobei die Schmelzbrücken gegebenenfalls aus Sinterhilfsstoffen und/oder aus Reaktionsprodukten mit dem zu verdampfenden Material sein können.As a powder material may be a suitable granular material of individual granules and / or Grain agglomerates and / or a granular fraction of pre-sintered material can be used. The sintering of the powder material on the evaporating surface takes place in particular by the fact that melt bridges between the material structure of the evaporating surface and the grain structure of the powder material formed to provide a sufficiently good heat transfer between the evaporator body and layer, the melt bridges optionally from sintering aids and / or from reaction products with may be the material to be evaporated.

Anders als bei den bekannten Verfahren wird gemäß der Erfindung die als Schutz des Verdampferkörpers gegen Erosion aufgebrachte Schichtstruktur aus einer oder mehreren Schichten nicht für eine möglichst hohe Abriebsfestigkeit und dauerhafte Haftung auf dem Material des Verdampferkörpers, sondern als ein sogenannter Opferüberzug ausgelegt, der sich zwar während des Metallisierungsvorgangs durch erosionsbedingten Abrieb und erosionsbedingte Ausschwemmung verbraucht, jedoch bis dahin eine gute Benetzbarkeit durch das verflüssigte und zu verdampfende Metall aufweist und daher für eine hohe und gut regelbare Abdampf rate bei gleichmäßiger Abdampf dichte sorgt.Different as in the known method according to the invention as the protection of the evaporator body erosion applied layer structure of one or more Not for layers one possible high abrasion resistance and permanent adhesion to the material of the Evaporator body, but designed as a so-called sacrificial cover, which itself while while the metallization process by erosion-related abrasion and erosion-related Drainage consumed, but until then a good wettability through the liquefied and has metal to be evaporated and therefore for a high and easy to control Abdampf rate at uniform Abdampf ensures density.

Da das die Rohschichtstruktur bildende Pulvermaterial erst durch das Aufheizen des Verdampferkörpers und/oder während des Metallisierungsvorgangs auf den Verdampferkörper auf sintert und dabei auch selbst versintert wird, entsteht bei hoher Benetzungs- und Aufnahmefähigkeit eine für den Metallisierungszyklus ausreichend gute temporäre Haftung der Schichtstruktur zum Verdampferkörper und unter den Teilchen der Schichtstruktur bei hinreichend gutem Wärmeübergang zwischen Verdampferkörper und Schichtstruktur. Nach der Beendigung des Metallisierungszyklus, dessen Dauer von dem Verbrauchsgrad der Schichtstruktur bestimmt wird, lässt sich die verbrauchte Schichtstruktur relativ leicht wieder von dem abgekühlten Verdampferkörper wenigstens teilweise entfernen und durch eine frische Rohschichtstruktur wenigstens an denjenigen Stellen ersetzen, an denen sich die verbrauchte Schichtstruktur von dem Verdampferkörper durch dessen Abkühlen abgelöst hat, wonach ein weiterer Metallisierungszyklus eingeleitet werden kann. Das Entfernen der verbrauchten Schichtstruktur und deren Ersetzen werden vorzugsweise in der Metallisierungsanlage ohne Demontage des Verdampfungskörpers durchgeführt. Der Verdampferkörper als solcher kann daher für eine lange Standzeit in wiederholten Metallisierungszyklen wiederverwendet werden.There the powder material forming the raw layer structure first through the Heating the evaporator body and / or during of the metallization process on the evaporator body sinters and thereby even sintered, arises at high wetting and receptivity one for the metallization cycle sufficiently good temporary adhesion the layer structure to the evaporator body and under the particles the layer structure with sufficiently good heat transfer between the evaporator body and Layer structure. After completion of the metallization cycle, whose duration depends on the degree of consumption of the layer structure will, lets the used layer structure is relatively easy to recover from the cooled evaporator body at least partially remove and by a fresh raw layer structure replace at least those places where the spent layer structure from the evaporator body by cooling it down superseded after which another metallization cycle is initiated can. The removal of the spent layer structure and its replacement are preferably in the metallization without disassembly of the evaporation body carried out. The vaporizer body as such may therefore be for a long life in repeated Metallisierungszyklen reused become.

Nach einer Ausführungsform der Erfindung wird eine Rohschichtstruktur in Anpassung an das zu verdampfende Metall mit einer obersten benetzungsfördernden Schicht und einer untersten benetzungshemmenden und/oder elektrisch isolierenden Schicht verwendet. Die benetzungsfördernde Schicht ist zum Beispiel aus einem Pulvermaterial aus hochschmelzendem Borid oder Carbid oder Nitrid oder Silicid der IV, V und VI Nebengruppe oder Zirkonoxid oder aus einer stabilen Mischphase von wenigstens zwei dieser Verbindungen oder aus einer stabilen Mischphase mit wenigstens einer dieser Verbindungen mit Aluminiumnitrid oder aus Molybdän oder Wolfram. Als isolierende und/oder benetzungshemmende Schicht wird zum Beispiel ein Pulvermaterial aus Bornitrid, Aluminiumnitrid, Siliziumnitrid, hochschmelzende Oxide (wie Aluminiumoxid, Yttriumoxid), Aluminiumtitanat, Zirkonsilikat, Molybdän oder aus einer Mischphase wenigstens zweier dieser Verbindungen verwendet.To an embodiment The invention provides a raw layer structure in adaptation to the vaporized Metal with a top wetting layer and one lowest wetting-inhibiting and / or electrically insulating layer used. The wetting-promoting Layer is for example of a powder material of refractory Boride or carbide or nitride or silicide of the IV, V and VI subgroup or zirconia or from a stable mixed phase of at least two of these compounds or from a stable mixed phase with at least one of these compounds with aluminum nitride or from molybdenum or tungsten. As an insulating and / or wetting-inhibiting layer is for example, a powdered material of boron nitride, aluminum nitride, Silicon nitride, high melting oxides (such as alumina, yttria), Aluminum titanate, zirconium silicate, molybdenum or from a mixed phase used at least two of these compounds.

Zum Verdampfen von Silber wird als oberste Schicht zum Beispiel eine Wolframschicht oder eine Schicht aus gekörntem Wolfram, und als unterste Schicht eine Molybdänschicht verwendet. Zum Verdampfen von Kupfer weist die Rohschichtstruktur zum Beispiel eine benetzungsfördernde Schicht aus Wolfram oder Molybdän auf.To the Evaporation of silver is considered as the topmost layer, for example Tungsten layer or a layer of granular tungsten, and as the lowest layer a molybdenum layer used. For evaporation of copper, the raw layer structure to Example a wetting-promoting Layer of tungsten or molybdenum on.

Die Erfindung stellt ferner ein Verfahren zum Herstellen eines langgestreckten Verdampferkörpers bereits, der ein Verdampferkörper-Außenteil mit einem in Längsrichtung durchgehenden inneren Hohlraum und ein sich in dem Hohlraum erstreckendes Verdampferkörper-Kernteil aus einem Graphitmaterial aufweist, wobei das Verdampferkörper-Kernteil durch elektrische Widerstandserwärmung aufgeheizt wird und im aufgeheizten Zustand mit Keramikmaterial umhüllt und umpresst wird, sodass das Verdampferkörper-Außenteil ausgebildet wird.The The invention further provides a method of making an elongated Vaporizer body already, the one evaporator body outer part with a longitudinal direction continuous inner cavity and extending in the cavity evaporator body core part of a graphite material, wherein the evaporator body core part by electrical resistance heating is heated and in the heated state with ceramic material wrapped and is pressed so that the evaporator body outer part is formed.

Bevorzugt hat das Verdampferkörper-Kernteil einen rechteckigen Querschnitt.Prefers has the vaporizer body core part a rectangular cross-section.

Nach einer noch anderen Ausführungsform der Erfindung wird das keramische Verdampferkörper-Außenteil in Form von mehreren Profilleisten rings des Verdampferkörper-Kernteils zusammengesetzt und zu einem Hohlkörper zusammengepresst. Die Profilleisten können zum Beispiel zweischenklige Winkelprofile, Flachprofile oder auch U-Profile sein. Die Profilleisten sind insbesondere vorab in ihre Profilform kaltgepresst und werden dann zu der Hohlkörperform heißgepresst.To Yet another embodiment of the Invention, the ceramic evaporator body outer part in the form of several Moldings composed around the evaporator body core part and to a hollow body compressed. The profile strips can, for example, double-sided angle profiles, Be flat profiles or U-profiles. The moldings are particular cold pressed in advance in their profile shape and then to the hollow body shape hot pressed.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele mit Bezugnahme auf die Zeichnung erläutert. In der Zeichnung zeigen:The Invention will be described below with reference to preferred embodiments explained with reference to the drawing. In the drawing show:

1 eine Draufsicht auf einen Verdampferkörper nach einer Ausführungsform der Erfindung, 1 a plan view of an evaporator body according to an embodiment of the invention,

2 eine geschnittene Seitenansicht des Verdampferkörpers von 1, 2 a sectional side view of the evaporator body of 1 .

3 eine Frontansicht des Verdampferkörpers von 1, 3 a front view of the evaporator body of 1 .

4 eine geschnittene Seitenansicht des Verdampferkörper von 1 in einer alternativen Ausführungsform, 4 a sectional side view of the evaporator body of 1 in an alternative embodiment,

5 eine Draufsicht auf einen Verdampferkörper nach einer anderen Ausführungsform der Erfindung, 5 a plan view of an evaporator body according to another embodiment of the invention,

6 eine teilweise geschnittene Seitenansicht des Verdampferkörpers von 5, 6 a partially sectioned side view of the evaporator body of 5 .

7 eine Frontansicht des Verdampferkörpers von 1 in einer alternativen Ausführungsform, 7 a front view of the evaporator body of 1 in an alternative embodiment,

8 eine geschnittene Seitenansicht des Verdampferkörpers von 1 in einer alternativen Ausführungsform und 8th a sectional side view of the evaporator body of 1 in an alternative embodiment and

9 eine geschnittene Seitenansicht des Verdampferkörpers von 5 in einer alternative Ausführungsform. 9 a sectional side view of the evaporator body of 5 in an alternative embodiment.

In der Zeichnung werden für gleiche Teile die gleichen Bezugszeichen verwendet.In the drawing will be for like parts use the same reference numerals.

Gemäß 1 bis 3 weist ein Verdampferkörper 1 ein Verdampferkörper-Außenteil 3 und ein Verdampferkörper-Kernteil 5 auf, welches in einem Hohlraum 7 aufgenommen ist, der in dem Verdampferkörper-Außenteil 3 ausgebildet ist. Das Verdampferkörper-Außenteil 3 ist ein langgestreckter, quaderförmiger Plattenkörper aus gesintertem Bornitrid. Der Hohlraum 7 erstreckt sich in etwa zentral in dem Verdampferkörper-Außenteil 3, und zwar entlang dessen Längsrichtung durch das Verdampferkörper-Außenteil 3 komplett hindurch, wobei der Hohlraum 7 schlitzartig schmal ausgebildet ist.According to 1 to 3 has an evaporator body 1 an evaporator body outer part 3 and an evaporator body core part 5 which is in a cavity 7 is included in the evaporator body outer part 3 is trained. The evaporator body outer part 3 is an elongated, cuboidal body of sintered boron nitride. The cavity 7 extends approximately centrally in the evaporator body outer part 3 , along its longitudinal direction through the evaporator body outer part 3 completely through, with the cavity 7 slit-like narrow.

Das Verdampferkörper-Kernteil 5 ist ein plattenförmiges Teil, welches im Querschnitt im wesentlichen an den Querschnitt des Hohlraums 7 angepasst ist. Das Verdampferkörper-Kernteil 5 ist hierbei jedoch hinsichtlich der Querschnittsabmessungen kleiner als der Hohlraum 7 so dass es mit etwas Spiel in dem Querschnitt lose aufgenommen ist, wobei es auch etwas bewegbar sein kann. Der Hohlraum 7 kann hierbei entsprechend dem Verdampferkörper-Außenteil 3 eine entsprechende Quaderform haben, wobei auch das Verdampferkörper-Kernteil 5 dann eine entsprechend langgestreckte quaderförmige Platte ist. Das Verdampferkörper-Kernteil 5 kann aber auch wie in 1 in Strickpunktlinie als eine Alternative dargestellt in seiner Draufsicht knochenförmig ausgebildet sein (d. h. dass die Plattenfläche hier eine Knochenform hat), wodurch der verjüngte Mittelabschnitt sich stärker erwärmt als die demgegenüber verdickten Längsenden des Verdampferkörper-Kernteils 3.The evaporator body core part 5 is a plate-shaped part, which in cross section substantially to the cross section of the cavity 7 is adjusted. The evaporator body core part 5 is here, however, in terms of cross-sectional dimensions smaller than the cavity 7 so that it is loosely picked up with some play in the cross-section, although it may also be slightly movable. The cavity 7 can in this case according to the evaporator body outer part 3 have a corresponding cuboid shape, wherein also the evaporator body core part 5 then a correspondingly elongated cuboid plate. The evaporator body core part 5 but also like in 1 in knitting point line shown as an alternative bone-shaped in its plan view (ie that the plate surface here has a bone shape), whereby the tapered central portion is heated more than the opposite thickened longitudinal ends of the evaporator body core part 3 ,

Wie aus 3 ersichtlich ist, ist das Spiel zwischen den Stirnseiten des Verdampferkörper-Kernteils 5 und den entsprechend gegenüberliegenden Begrenzungsflächen des Hohlraums 7 größer als das Spiel zwischen den Plattenseiten des Verdampferkörper-Kernteils 5 und den entsprechend gegenüberliegenden Begrenzungsflächen des Hohlraums 7.How out 3 it can be seen, the game between the end faces of the evaporator body core part 5 and the corresponding opposite boundary surfaces of the cavity 7 larger than the clearance between the plate sides of the evaporator body core part 5 and the corresponding opposite boundary surfaces of the cavity 7 ,

In der Ausführungsform nach 3 ist das Verdampferkörper-Kernteil 5 mit Ausnahme an den Austrittsöffnungen des Hohlraums 7 komplett von dem Verdampferkörper-Außenteil 3 umschlossen, wobei das Verdampferkörper-Kernteil 5 an den Austrittsöffnungen des Hohlraums 7 jeweils axial etwas nach außen vorsteht, so dass dort leichter an eine nicht dargestellte Stromversorgung anschließbar ist.In the embodiment according to 3 is the vaporizer body core part 5 except at the outlet openings of the cavity 7 completely from the evaporator body outer part 3 enclosed, wherein the evaporator body core part 5 at the outlet openings of the cavity 7 each protrudes axially slightly outwards, so that there is easier to connect to a power supply, not shown.

Auf einer Plattenseite des Verdampferkörper-Außenteil 3 (siehe 1) ist eine Abdampffläche 9 ausgebildet, in welcher nach dieser Ausführungsform eine Kavität 11 ausgeformt ist. Abzudampfendes Metall wird in die Kavität in flüssiger oder fester Form eingebracht, um von dort aus verdampft zu werden. Durch die oben als Alternative genannte Knochenform des Verdampferkörper-Kernteils 5 kann eine entsprechende Temperaturverteilung auf der Abdampffläche 9 erzielt werden, mit einem zentralen wärmeren Bereich, was seinerseits dazu beiträgt die auf der Abdampffläche 9 vorliegende Metallschmelze noch sicherer in der Mitte zu lokalisieren.On a plate side of the evaporator body outer part 3 (please refer 1 ) is an evaporation surface 9 formed, in which according to this embodiment, a cavity 11 is formed. Metal to be evaporated is introduced into the cavity in liquid or solid form to be evaporated from there. By the above-mentioned as an alternative bone shape of the evaporator body core part 5 can have a corresponding temperature distribution on the evaporation surface 9 be achieved, with a central warmer area, which in turn contributes to the evaporation surface 9 present molten metal even more secure in the middle.

Die Beheizung des Verdampferkörpers 1 erfolgt mit Hilfe des Verdampferkörper-Kernteils 5, welches als Heizelement dient, dass durch Hindurchleiten von elektrischem Strom widerstandsheizbar ist. Hierzu ist das Verdampferkörper- Kernteil 5 aus einem elektrisch leitendem Material, insbesondere einem Graphitmaterial. Das Verdampferkörper-Außenteil 3 ist demgegenüber aus einem Material mit einem wesentlich höheren elektrischen Widerstand, sodass es relativ zu dem Verdampferkörper-Kernteil 5 als ein Isolator wirkt, von dem das auf die Abdampffläche 9 aufgebrachte Metall von dem Verdampferkörper-Kernteil 3 elektrisch isoliert wird.The heating of the evaporator body 1 takes place with the help of the evaporator body core part 5 which serves as a heating element that is resistance-heatable by passing electrical current therethrough. For this purpose, the evaporator body core part 5 of an electrically conductive material, in particular a graphite material. The evaporator body outer part 3 In contrast, it is made of a material having a much higher electrical resistance, so that it is relative to the evaporator body core part 5 acts as an insulator, from which on the evaporation surface 9 applied metal from the evaporator body core part 3 is electrically isolated.

Das Material des Verdampferkörper-Kernteils 5 hat einen größeren Wärmeausdehnungskoeffizienten als jenes des Verdampferkörper-Außenteils 3, sodass es sich bei seiner Erwärmung schneller ausdehnt als das Verdampferkörper-Außenteil 3. Das Spiel zwischen dem Verdampferkörper-Kernteil 5 und den Begrenzungsflächen des Hohlraums 7 in Richtung senkrecht zur Abdampffläche 9 ist hierbei so bemessen, dass das Verdampferkörper-Kernteil 5 bei Betriebstemperatur des Verdampferkörpers 1 mit der der Abdampffläche entgegengesetzten Begrenzungsfläche des Hohlraums 7 gerade spielfrei plan im Berührungskontakt ist. Jene Begrenzungsfläche bildet damit eine Wärmeaufnahmefläche 13 des Verdampferkörper-Außenteils 3, über welche die Heizwärme des Verdampferkörper-Kernteils 5 via Wärmeleitung zu der Abdampffläche 9 gelangt, um dort das Metall zu schmelzen/geschmolzen zu halten und abzudampfen.The material of the evaporator body core part 5 has a larger thermal expansion coefficient than that of the evaporator body outer part 3 , so that it expands faster when heated than the evaporator body outer part 3 , The game between the evaporator body core part 5 and the boundary surfaces of the cavity 7 in the direction perpendicular to the evaporation surface 9 is here dimensioned so that the evaporator body core part 5 at operating temperature of the evaporator body 1 with the occlusion surface opposite Begren surface of the cavity 7 straight play free plan is in touch contact. That boundary surface thus forms a heat receiving surface 13 of the evaporator body outer part 3 , via which the heat of the evaporator body core part 5 via heat conduction to the evaporation surface 9 passes there to melt the metal there / melted and evaporate.

Der Hohlraum 7 kann zum Beispiel mechanisch in dem Verdampferkörper-Außenteil 3 ausgeformt sein, beispielsweise durch Fräsen. Bevorzugt ist das Verdampferkörper-Außenteil 3 einfach auf das Verdampferkörper-Kernteil 5 aufgesintert, wobei die Materialstärken und Materialien derart gewählt sind, dass das Verdampferkörper-Kernteil 5 sich beim Abkühlen nach dem Sintern von dem Verdampferkörper-Außenteil 3 wegschrumpft, um so das erforderliche Spiel auszubilden.The cavity 7 may, for example, mechanically in the evaporator body outer part 3 be formed, for example by milling. The evaporator body outer part is preferred 3 simply on the evaporator body core part 5 sintered, wherein the material thicknesses and materials are selected such that the evaporator body core part 5 during cooling after sintering of the evaporator body outer part 3 Shrinks away to form the required game.

Bei der Ausführungsform nach 4 ist auf der der Wärmeaufnahmefläche 13 gegenüberliegenden Seite des Verdampferkörper-Kernteils 5 eine Federeinrichtung 15 in Form eines Pakets Graphitfolien 17 angeordnet, von welchen das mit Spiel behaftete Verdampferkörper-Kernteil 5 elastisch gegen die Wärmeaufnahmefläche 13 gedrückt ist. Bei Aufheizung des Verdampferkörpers 1 dehnt sich das Verdampferkörper-Kernteil 5 gefahrlos (d.h. ohne die Gefahr eines Zersprengens des Verdampferkörper-Außenteil 3) in dem Hohlraum 7 aus, wobei die Federeinrichtung 15 komprimiert wird.In the embodiment according to 4 is on the heat receiving surface 13 opposite side of the evaporator body core part 5 a spring device 15 in the form of a package of graphite foils 17 arranged, of which the game-afflicted evaporator body core part 5 elastic against the heat receiving surface 13 is pressed. When heating the evaporator body 1 The evaporator body core part expands 5 safe (ie without the risk of cracking of the body of the evaporator body 3 ) in the cavity 7 out, with the spring device 15 is compressed.

Bei der alternativen Ausführungsform von 7 ist das Verdampferkörper-Kernteil 5 im Querschnitt nicht vollständig von dem Verdampferkörper-Außenteil 3 umgeben, sondern letzteres ist auf seiner von der Wärmeaufnahmefläche 13 abgewandten Seite mit einem Längsschlitz 19 versehen, der in den Hohlraum 7 mündet, sodass das Verdampferkörper-Außenteil 3 im Querschnitt eine Klammerform hat.In the alternative embodiment of 7 is the vaporizer body core part 5 not completely in cross section of the evaporator body outer part 3 surrounded, but the latter is on his from the heat receiving surface 13 opposite side with a longitudinal slot 19 provided in the cavity 7 opens, so that the evaporator body outer part 3 has a clip shape in cross section.

Bei der Ausführungsform nach 1 bis 4 und 7 ist das Verdampferkörper-Außenteil 3 jeweils ein einstückiger keramischer Sinterkörper.In the embodiment according to 1 to 4 and 7 is the evaporator body outer part 3 each a one-piece ceramic sintered body.

Ein Alternative hierzu ist in den 5 und 6 dargestellt, wonach das Verdampferkörper-Außenteil 3 des Verdampferkörpers zweiteilig ausgebildet ist, mit zwei entlang der Längsrichtung des Verdampferkörpers 1 voneinander durch eine Trennlinie 21 getrennten Halbschalen 23, 25, die dazwischen den Hohlraum 7 ausbilden, in welchem das Verdampferkörper-Kernteil 5 aufgenommen ist. In der in 6 gezeigten, teilweise geschnittenen Darstellung ist das Verdampferkörper-Kernteil 5 bei Betriebstemperatur des Verdampferkörpers 1 dargestellt.An alternative to this is in the 5 and 6 represented, after which the evaporator body outer part 3 the evaporator body is formed in two parts, with two along the longitudinal direction of the evaporator body 1 from each other through a dividing line 21 separate half-shells 23 . 25 , the cavity between them 7 form, in which the evaporator body core part 5 is included. In the in 6 shown, partially sectioned view is the evaporator body core part 5 at operating temperature of the evaporator body 1 shown.

Die Halbschalen 23, 25 können unmittelbar um das Verdampferkörper-Kernteil 5 gesintert sein oder können vorab gesintert und dann zusammengepasst sein.The half-shells 23 . 25 can directly around the evaporator body core part 5 be sintered or can be sintered in advance and then matched.

Das durch die beiden Halbschalen 23, 25 gebildete Verdampferkörper-Außenteil 3 ist an seinen Längsendabschnitten von den Plattenflächen her konisch verjüngt. Auf den jeweiligen Längsendabschnitt des Verdampferkörper-Außenteils 3 ist jeweils ein Klemmring 27, 29 aufgesetzt, dessen Ringöffnung entsprechend der konischen Verjüngung des Verdampferkörper-Außenteils 3 entsprechend konisch verläuft, sodass der jeweilige Klemmring 27, 29 selbsthemmend auf dem zugehörigen Längsendabschnitt des Verdampferkörper-Außenteils 3 klemmend angeordnet ist. Damit werden die beiden Halbschalen 23, 25 insgesamt fest und sicher aneinander gehalten.That through the two half-shells 23 . 25 formed evaporator body outer part 3 is tapered conically at its longitudinal end portions of the plate surfaces. On the respective longitudinal end portion of the evaporator body outer part 3 is in each case a clamping ring 27 . 29 set, the ring opening according to the conical taper of the evaporator body outer part 3 corresponding conical, so that the respective clamping ring 27 . 29 self-locking on the associated longitudinal end portion of the evaporator body outer part 3 is arranged clamped. This will be the two half shells 23 . 25 overall firmly and securely held together.

Bei der in 8 in seitlicher Schnittansicht gezeigten Ausführungsform des Verdampferkörpers 1 von 1 ist zwischen jener Begrenzungswand 10 des inneren Hohlraums 7 des Verdampferkörper-Außenteils 3, die der Abdampffläche 9 angewandt ist, und dem Verdampferkörper-Kernteil 5 ein Spalt 31 vorgesehen, der dadurch ausgebildet ist, dass die dem Verdampferkörper-Kernteil 5 zugewandte Seite jener Begrenzungswand 10 mit einem stufenartig vorstehenden Rahmen 33 versehen ist, der auf dem Verdampferkörper-Kernteil 5 zum aufliegen kommt. Der Spalt 31 isoliert jene Begrenzungswand 10 von dem Verdampferkörper-Kernteil 5, sodass die Wärme vor allem an die die Abdampffläche 9 aufweisende Begrenzungswand abgegeben wird.At the in 8th in a side sectional view of the embodiment of the evaporator body 1 from 1 is between that boundary wall 10 of the internal cavity 7 of the evaporator body outer part 3 , the evaporation surface 9 is applied, and the evaporator body core part 5 A gap 31 provided, which is formed by that the evaporator body core part 5 facing side of that boundary wall 10 with a step-like protruding frame 33 provided on the evaporator body core part 5 comes to rest. The gap 31 isolated those boundary wall 10 from the evaporator body core part 5 so that the heat especially to the the evaporation surface 9 exhibiting boundary wall is delivered.

In der in 9 in seitlichem Schnitt dargestellten Variante des Verdampferkörpers 1 von 5 ist zwischen die beiden Halbschalen 23 und 25 randseitig eine Graphitfolie 35 eingelegt, wodurch ein zentraler Spalt 31 zwischen den beiden Halbschalen 23 und 25 verbleibt, der wie oben erläutert als Wärmeisolierung dient. Die per se in ihrer Dickenrichtung komprimierbare Graphitfolie 35 wird von den beiden axial auf das Verdampferkörper-Außenteil 3 aufgesetzten Ringen 27, 29 elastisch zusammengedrückt, so dass die beiden Halbschalen 23, 25 hierdurch elastisch aneinander geklemmt sind.In the in 9 in a lateral section shown variant of the evaporator body 1 from 5 is between the two half-shells 23 and 25 on the edge a graphite foil 35 inserted, creating a central gap 31 between the two half-shells 23 and 25 remains, which as explained above serves as thermal insulation. The per se compressible in their thickness direction graphite foil 35 is from the two axially on the evaporator body outer part 3 put on rings 27 . 29 elastically compressed so that the two half-shells 23 . 25 As a result, are elastically clamped together.

Claims

Evaporator body ( 1 ) for operation in a PVD metallization plant, with an evaporator body outer part ( 3 ), which is of a hot-sintered ceramic, electrically insulating material and which has a continuous inner cavity ( 7 ) has a boundary wall on the outside of which an evaporation surface ( 9 ) is formed, from which a metal supplied thereon can be vaporized, and on the inside of which one of the evaporation surface ( 9 ) opposite heat receiving surface ( 13 ), and with an evaporator body core part ( 5 ) located in the inner cavity ( 7 ) is taken up with play and moves through the cavity ( 7 ), and that is made of a substantially electrically conductive material, so that it is electrically Widerstandsheizheizbar to the evaporator body ( 1 ) to heat up to its operating temperature, wherein the evaporator body core part ( 5 ) has a larger thermal expansion coefficient than the evaporator body outer part ( 3 ), wherein the evaporator body core part ( 5 ) at the operating temperature of the evaporator body ( 1 ) at the heat receiving surface ( 13 ) of the evaporator body outer part ( 3 ) is applied without a game plan.

Evaporator body ( 1 ) for operation in a PVD metallization plant, with an evaporator body outer part ( 3 ), which is of a hot-sintered ceramic, electrically insulating material and which has a continuous inner cavity ( 7 ) has a boundary wall on the outside of which an evaporation surface ( 9 ) is formed, from which a supplied metal is vaporized, and on the inside of which one of the evaporation surface ( 9 ) opposite heat receiving surface ( 13 ), and with an evaporator body core part ( 5 ) located in the inner cavity ( 7 ) is positively received and through the cavity ( 7 ), and that is made of a substantially electrically conductive material, so that it is electrically Widerstandsheizheizbar to the evaporator body ( 1 ) to heat up to its operating temperature, wherein the evaporator body core part ( 5 ) has substantially the same thermal expansion coefficient as the evaporator body outer part ( 3 ).

Evaporator body ( 1 ) according to claim 1 or 2, wherein the wall thickness of the inner cavity ( 7 ) surrounding boundary walls of the evaporator body outer part ( 3 ) is at least 1.5mm.

Evaporator body ( 1 ) according to one of claims 1 to 3, wherein the wall thickness of the boundary wall from which the evaporation surface ( 9 ) and the heat receiving surface ( 13 ) are smaller than the wall thickness of this boundary wall opposite boundary wall of the evaporator body outer part ( 3 ).

Evaporator body ( 1 ) according to one of claims 1 to 4, wherein the inner cavity ( 7 ) of the evaporator body outer part ( 5 ) to that of the evaporation surface ( 9 ) side facing away, so that the evaporator body outer part ( 3 ) the evaporator body core part ( 5 ) surrounds in the form of a clip in cross-section.

Evaporator body ( 1 ) according to one of claims 1 to 5, wherein the evaporator body outer part ( 3 ) of two separate half-shells ( 23 . 25 ) formed along one along the inner cavity ( 7 ) dividing line ( 21 ) and are aligned transversely to the dividing line ( 21 ) extending rings ( 27 ) or brackets are held together.

Evaporator body ( 1 ) according to claim 6, wherein the rings ( 27 ) or brackets made of the same material as the evaporator body outer part ( 3 ) are.

Evaporator body ( 1 ) according to claim 6 or 7, wherein the rings ( 27 ) or brackets are conically formed on its inner circumference, so that they on the evaporator body outer part ( 3 ) can be postponed.

Evaporator body ( 1 ) according to any one of claims 1 to 8, wherein between the from the evaporation surface ( 9 ) facing away from the boundary wall of the inner cavity ( 7 ) and the evaporator body core part ( 5 ) partially a gap ( 31 ) is present.

Evaporator body ( 1 ) according to claim 9, wherein the gap ( 31 ) in one of the evaporation surface ( 9 ) corresponding area of the evaporation surface ( 9 ) facing away from the boundary wall ( 10 ) of the internal cavity ( 7 ).

Evaporator body ( 1 ) according to one of the preceding claims, wherein between the evaporator body core part ( 5 ) and the evaporator body outer part ( 3 ) on the side remote from the heat receiving surface side of the evaporator body core part ( 5 ) a spring device ( 15 ) is used, by means of which the game of the evaporator body core part ( 3 ) with respect to the heat receiving surface ( 13 ) is elastically compensatable.

Evaporator body ( 1 ) according to claim 11, wherein the spring device ( 15 ) of a package of slides ( 17 ), which consists of the same material as the evaporator body core part ( 5 ) are.

Evaporator body ( 1 ) according to one of claims 1, 3-12, wherein the evaporator body outer part ( 3 ) is made of boron nitride and the evaporator body core part ( 5 ) is made of a graphite material.

Evaporator body ( 1 ) according to one of the preceding claims, wherein the evaporator body outer part ( 3 ) Nitrogen, in particular in the form of boron nitride, as a material component, and wherein the evaporation surface ( 9 ) a first wetting auxiliary material is applied, which comprises aluminum, which after starting the operation of the vaporizer body ( 1 ) on the evaporation surface ( 9 ) melts and with the nitrogen of the evaporator body ( 1 ) to form an aluminum nitride layer on the evaporation surface ( 9 ), and a wetting agent, by means of which a uniform and large-scale distribution of the molten aluminum on the evaporation surface ( 9 ) is favored.

Evaporator body ( 1 ) according to claim 14, wherein the first wetting auxiliary material is applied by means of an adhesive on the vaporisation surface ( 9 ) is attached with adhesive.

Evaporator body ( 1 ) according to claim 14 or 15, wherein the Erstbenetzungshilfsmaterial further comprises the material component tin.

Evaporator body ( 1 ) according to any one of claims 14 to 16, wherein the wetting agent contains at least 30% by weight, preferably at least 40% by weight, of zirconium, molybdenum, titanium or a combination thereof as material component, said components being in elemental form or bound, preferably as Boride or silicide in which wetting agent is present.

Evaporator body ( 1 ) Is according to any one of claims 14 to 17, wherein the wetting agent is titanium diboride, titanium, zirconium diboride, zirconium, titanium disilicide, Zirkoniumdisilizid, molybdenum disilicide, molybdenum or Ferrosiliziumdititanat (FeSiTi _2).

Method for providing an evaporator body ( 1 ), which is an evaporator body outer part ( 3 ) made of a ceramic, electrically insulating material and having a continuous internal cavity ( 7 ) has a boundary wall on the outside of which an evaporation surface ( 9 ) is formed, from which a supplied metal is vaporized, and on the inside of which one of the evaporation surface ( 9 ) opposite heat receiving surface ( 13 ), and an evaporator body core part ( 5 ), which is made of an electrically conductive material and which has a greater thermal expansion coefficient than the evaporator body outer part ( 3 ), wherein the evaporator body outer part ( 3 ) by hot sintering around the evaporator body core part ( 5 ) is formed around, which is made of an electrically conductive material and which has a greater coefficient of thermal expansion than the evaporator body outer part ( 3 ), wherein the evaporator body outer part ( 3 ) and the evaporator body core part ( 5 ) are arranged so that the evaporator body core part ( 5 ) after the sintering process relative to the evaporator body outer part ( 3 ) shrinks such that it is in the evaporator body soot part ( 3 ) with respect to the operating temperature of the evaporator body ( 1 ) lower temperature of the evaporator body ( 1 ) is recorded with play and that at operating temperature of the evaporator body ( 1 ) on the heat receiving surface of the evaporator body outer part ( 3 ) is present without a game plan.

The method of claim 19, wherein the for the sintering of the evaporator body outer part ( 3 ) supplied heat at least partially by resistance heating of the evaporator body core part ( 5 ) provided.

A method according to claim 19 or 20, wherein the evaporation surface ( 9 ) of the evaporator body ( 1 ) a layer structure of at least one layer is applied and a metallization cycle is carried out in which the evaporator body core part ( 5 ) is resistance-heated by means of electrical current and the evaporation surface ( 9 ) is continuously charged with metal, so that the evaporator body ( 1 ) is heated and the supplied to the layer structure metal is liquefied and evaporated, wherein as a layer structure by the operation of the evaporator body ( 1 ) is applied to the evaporation surface before the metallization cycle as a raw layer structure of sinterable powder material in the substantially non-sintered state and in the metallization cycle by the heating of the evaporator body ( 1 ) on its evaporation surface ( 9 ) is sintered on.

The method of claim 21, wherein a green sheet structure in adaptation to the metal to be vaporized with a topmost wetting Layer and a lowermost wetting-inhibiting and / or electrical insulating layer is used.

A method according to claim 22, wherein as wetting-promoting Layer a powder material is used from refractory boride or carbide or nitride or silicide of the IV, V and VI subgroup or zirconia or from a stable mixed phase of at least two of these compounds or from a stable mixed phase with at least one of these compounds with aluminum nitride or from molybdenum or tungsten.

A method according to claim 22 or 23, wherein as insulating and / or wetting-inhibiting layer, a boron nitride powder material, Aluminum nitride, silicon nitride, high-melting oxides (such as aluminum oxide, Yttrium oxide), aluminum titanate, zirconium silicate, molybdenum or aus a mixed phase of at least two of these compounds is used.

The method of claim 22, wherein for evaporation of silver as the topmost layer, a tungsten layer or a layer from grained Tungsten, and as the bottom layer of a molybdenum layer is used.

The method of claim 22, wherein for evaporating copper, the raw layer structure is a be has a network-promoting layer of tungsten or molybdenum.

Method for producing an elongate evaporator body ( 1 ), which is an evaporator body outer part ( 3 ) with a longitudinally continuous internal cavity ( 7 ) and in the cavity ( 7 ) extending evaporator body core part ( 5 ) of a graphite material, wherein the evaporator body core part ( 5 ) is heated by electrical resistance heating and wrapped in the heated state with ceramic material and pressed, so that the evaporator body outer part ( 3 ) is formed.

A method according to claim 27, wherein the vaporizer body core part ( 3 ) has a rectangular cross section and the evaporator body ceramic part ( 3 ) in the form of a plurality of profiled strips around the evaporator body core part ( 3 ) is assembled and pressed into a hollow body.