DE102005054611A1

DE102005054611A1 - Production process for meandering layers on a substrate as for heating elements uses two templates to form two layers of mirror image Z shaped forms

Info

Publication number: DE102005054611A1
Application number: DE102005054611A
Authority: DE
Inventors: Marten Gajda; Tobias Müller; Rolf Winkler
Original assignee: CREAVAC CREATIVE VAKUUMBESCHIC; CREAVAC CREATIVE VAKUUMBESCHICHTUNG GmbH
Current assignee: CREAVAC CREATIVE VAKUUMBESCHIC; CREAVAC CREATIVE VAKUUMBESCHICHTUNG GmbH
Priority date: 2004-11-09
Filing date: 2005-11-08
Publication date: 2006-05-18
Anticipated expiration: 2025-11-09
Also published as: DE102005054611B4

Abstract

A production process for forming meandering layers on a substrate comprises using a template to produce a layer of separated regions in a Z-form and a second template to form a second layer in a mirror image Z-form. The central Z regions are arranged by one another and the arms of the Zs overlap. An independent claim is also included for templates for the above process.

Description

Die Erfindung betrifft Verfahren, Schablonen und deren Verwendung zur Herstellung mäanderförmig angeordneter Schichten auf Substraten.The The invention relates to methods, templates and their use for Production meandering arranged Layers on substrates.

Mäanderförmig angeordnete Schichten werden insbesondere vorteilhafterweise als Heizelemente auf Substrate aufgebracht. Eine Anwendung sind dabei unter anderem beheizbare Spiegel. Bekannte beheizbare Spiegel besitzen auf ihrer Rückseite dazu wenigstens ein Heizelement.Meandering arranged Layers are particularly advantageously used as heating elements applied to substrates. One application is among others heated mirrors. Known heatable mirrors have on their back to at least one heating element.

Durch die Druckschrift DE 81 25 452 U1 (Beheizbarer Rückblickspiegel) ist ein beheizbarer Rückblickspiegel bekannt, der ein Wärmeverteilerblech und PTC-Widerstandsheizkörper auf der Rückseite besitzt. Das Wärmeverteilerblech ist eine Kupferfolie, auf der die Widerstandsheizkörper und Kontaktsteckfahnen aufgelötet sind. Die Befestigung des Wärmeverteilerbleches auf dem Spiegelglas erfolgt über einen Kleber. Das Aufbringen der Kupferfolie und nachfolgend der Widerstandsheizkörper und der Kontaktsteckfahnen ist sehr aufwändig. Besonders an den Kleber werden hohe Anforderungen hinsichtlich der Temperaturbelastung und der mechanischen Festigkeit gestellt. Die Kupferoberfläche muss weiterhin mit einer Schutzschicht versehen werden.Through the publication DE 81 25 452 U1 (Heated rearview mirror) is a heated rearview mirror known, which has a heat spreader plate and PTC resistance heater on the back. The heat spreader plate is a copper foil on which the resistance heaters and contact tabs are soldered. The attachment of the heat distribution plate on the mirror glass via an adhesive. The application of the copper foil and subsequently the resistance heaters and the contact lugs is very expensive. Especially on the adhesive high demands are placed on the temperature load and the mechanical strength. The copper surface must continue to be provided with a protective layer.

Eine Spiegelheizung mit mehreren Schichten ist durch die Druckschrift DE 197 11 522 A1 (Widerstands-Heizvorrichtung für flächige Objekte, insbesondere für Spiegel) bekannt. Es wird ein Mehrschichtaufbau beschrieben, wobei die isolierenden Schichten durch doppelseitige Kleberbänder realisiert sind. Das flächige Aufbringen dieser Schichten ist dadurch sehr aufwändig. Die erzielbaren Temperaturen sind durch die Verwendung von Kleberbändern sehr eingeschränkt.A mirror heating with several layers is by the publication DE 197 11 522 A1 (Resistance heater for flat objects, especially for mirrors) known. It is described a multi-layer structure, wherein the insulating layers are realized by double-sided adhesive tapes. The extensive application of these layers is therefore very expensive. The achievable temperatures are very limited by the use of adhesive tapes.

Die Druckschrift DE 195 05 206 C2 (Elektrodenanordnung für eine elektrische Flächenheizung, insbesondere Spiegelheizung) beinhaltet eine Elektrodenanordnung mit zwei Hauptelektroden und mehreren Teilelektroden, wobei die Flächenheizung eine die Elektrodenanordnung kontaktgebend überdeckende Heizpastenschicht ist. Zur Realisierung dieser Flächenheizung muss neben den Elektroden auch die Heizpastenschicht auf den Elektroden aufgebracht werden.The publication DE 195 05 206 C2 (Electrode arrangement for an electric surface heating, in particular mirror heating) includes an electrode arrangement with two main electrodes and a plurality of sub-electrodes, wherein the surface heating is a Heizpastenschicht contactingly covering the electrode arrangement. To realize this surface heating, the heating paste layer must be applied to the electrodes in addition to the electrodes.

Der in den Patentansprüchen 1, 9 und 11 angegebenen Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, mäanderförmig angeordnete Schichten einfach und ökonomisch günstig auf Substrate aufzubringen.Of the in the claims 1, 9 and 11 indicated invention is based on the object meandering arranged Layers simple and economical Cheap to apply to substrates.

Diese Aufgabe wird mit den in den Patentansprüchen 1, 9 und 11 aufgeführten Merkmalen gelöst.These Task is with the features listed in the claims 1, 9 and 11 solved.

Die Verfahren und Schablonen zur Herstellung mäanderförmig angeordneter Schichten auf Substraten zeichnen sich insbesondere dadurch aus, dass die Schichten einfach und gleichzeitig ökonomisch günstig herstellbar sind.The Method and templates for producing meandering layers On substrates are characterized in particular by the fact that the Layers are easy and at the same time economical to produce.

Die Mäanderform ist abwechselnd aus Bereichen einer Z-Form und einer dazu gespiegelten Z-Form ausgebildet. Dazu werden vorteilhafterweise in sich stabile Schablonen verwendet. Eine Schablone besitzt Öffnungen in der Z-Form, während die zweite Schablone Öffnungen der gespiegelten Z-Form aufweist. Dabei sind mit dem Randbereich der Schablonen verbundene Stege vorhanden, so dass Zungen vermieden werden.The meandering is alternately from areas of a Z-shape and a mirrored Z-shape educated. These are advantageously in itself stable templates used. One template has openings in the Z-shape, while the second Stencil openings having the mirrored Z-shape. Here are the edge of the Templates connected webs present, so that tongues avoided become.

Zur Erhöhung der Schichtdicke können mehrere Teilschichten aufgebracht werden, die eine mäanderförmig angeordnete Schicht darstellen. Dabei wird vorteilhafterweise die Flächengeometrie nicht geändert.to increase the layer thickness can several partial layers are applied, which have a meandering arranged Layer. In this case, advantageously, the surface geometry not changed.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Patentansprüchen 2 bis 8 und 10 angegeben.advantageous Embodiments of the invention are in the claims 2 to 8 and 10 indicated.

Vorteilhafterweise können nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 2 auch mehrere derartige Mäanderformen aufgebracht werden. Die dafür notwendigen Schablonen besitzen wiederum nur Stege, die miteinander und mit dem Randbereich der Schablone verbunden sind, wobei wiederum einzeln stehende Zungen nicht notwendig sind.advantageously, can according to the embodiment of claim 2 also several such meandering be applied. The necessary Stencils, in turn, only have webs that are together and with each other are connected to the edge region of the template, where again stand-alone Tongues are not necessary.

Mit den Schablonen können nach den Weiterbildungen der Patentansprüche 3 und 4 mäanderförmig angeordnete Schichten entweder als eine elektrische Widerstandsschicht oder als eine elektrische Leiterschicht auf dem Substrat aufgebracht werden. Dadurch sind die vielfältigsten Anwendungsmöglichkeiten der Schablonen gegeben. Die Widerstandsschicht kann vorteilhafterweise als Heizelement genutzt werden.With the templates can according to the developments of the claims 3 and 4 arranged meandering Layers either as an electrical resistance layer or be applied as an electrical conductor layer on the substrate. This makes the most diverse applications given the templates. The resistance layer can advantageously be used as a heating element.

Die mäanderförmig angeordnete Schicht als eine elektrische Widerstandsschicht wird nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 5 auf einem Träger für wenigstens einen Sensor als Substrat so aufgebracht, dass ein elektrisch beheizbarer Sensor realisierbar ist. Mehrere erste und zweite Schablonen als Bestandteile von Gesamtschablonen führen dazu, dass auch ein Körper mit mehreren Trägern vor dem Vereinzeln mit den Mäanderformen versehen werden kann. Dadurch kann auch ein Nutzen mit einer Mehrzahl von Trägern leicht mit jeweils einem elektrischen Heizelement versehen werden.The meandering arranged Layer as an electrical resistance layer is after the training of claim 5 on a support for at least one sensor as Substrate applied so that an electrically heated sensor is feasible. Several first and second templates as components of overall templates to that too a body with several carriers before singling with the meander forms can be provided. This can also be a benefit with a plurality of carriers be easily provided with an electric heating element.

Die mäanderförmig angeordnete Schicht als eine elektrische Widerstandsschicht wird nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 6 auf einem Spiegelglas als Substrat so aufgebracht, dass ein elektrisch beheizbares Spiegelglas vorhanden ist. Die mäanderförmigen Widerstandsschichten von beheizbaren Spiegelgläsern zeichnen sich insbesondere durch ihre einfache Realisierung bei gleichzeitig ökonomisch günstiger Herstellung aus. Dazu befindet sich auf der Rückseite des Spiegelglases wenigstens bereichsweise mindestens eine aufgedampfte Schicht eines elektrisch leitfähigen Materials als elektrisches Widerstandsheizelement in einer Mäanderform.The meandering arranged Layer as an electrical resistance layer is after the training of claim 6 applied to a mirror glass as a substrate so that an electrically heatable mirror glass is present. The meandering resistance layers of heated mirror glasses are characterized in particular by their simple realization at the same time economically better Production off. This is at least on the back of the mirror glass partially at least one vapor-deposited layer of an electrically conductive Material as electrical resistance heating element in a meandering shape.

Natürlich kann auch die Schichtdicke der Schicht durch mehrmaliges Beschichten leicht erhöht werden, wobei die Flächengeometrie nicht geändert wird.Of course you can also the layer thickness of the layer by repeated coating be increased slightly, where the surface geometry not changed.

Die mäanderförmig angeordnete Schicht wird nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 7 als eine elektrische Leiterschicht auf einem Substrat so aufgebracht, dass die mäanderförmig aufgebrachte Schicht eine Antenne ist. Die Antenne ist eine Vorrichtung zum Senden oder Empfangen elektromagnetischer Wellen. Dazu wird die leitungsgeführte Energie des Senders in Strahlungsenergie oder die Strahlungsenergie in leitungsgeführte Energie für den Empfänger umgewandelt.The meandering arranged Layer is according to the embodiment of claim 7 as a electrical conductor layer on a substrate so applied that the meandering applied Layer is an antenna. The antenna is a device for transmission or receiving electromagnetic waves. This will be the conducted energy the transmitter into radiant energy or the radiant energy into conducted energy for the receiver transformed.

Die mäanderförmig angeordnete Schicht wird nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 8 vorteilhafterweise durch Vakuumbeschichtung auf das Substrat aufgebracht. Vorzugsweise wird dazu das bekannte Verfahren des Bedampfens als ein Vakuumbeschichtungsverfahren aus der Gasphase genutzt. Der Bedampfungsvorgang besteht im wesentlichen aus der Verdampfung des Materials durch dessen Erhitzen, dem Transport der Dampfteilchen von dem Verdampfer zum Substrat und der Kondensation der Dampfteilchen auf dem Substrat ohne merklichen Restgaseinbau. Das Bedampfen zeichnet sich dabei durch eine hohe Produktivität und eine geringe thermische Belastung des Substrates aus. Das Erhitzen des Materials erfolgt bekannterweise durch eine induktive Erwärmung als indirektes Beheizen mit einem tiegelförmigen Heizer oder durch eine Widerstandsheizung als direkte oder indirekte Heizung des Materials mit Draht-, Band-, Stab- oder Blockheizer oder tiegelförmigen Heizer.The meandering arranged Layer is advantageously according to the embodiment of claim 8 applied by vacuum coating on the substrate. Preferably becomes the known method of sputtering as a vacuum coating method used from the gas phase. The sputtering process consists essentially from the evaporation of the material by its heating, transport the vapor particles from the evaporator to the substrate and the condensation of the Steam particles on the substrate without appreciable residual gas installation. The Steaming is characterized by high productivity and a low thermal load of the substrate. Heating the Material is known to be by an inductive heating as Indirect heating with a crucible-shaped heater or by a Resistance heating as direct or indirect heating of the material with wire, strip, rod or block heater or crucible-shaped heater.

Zur Erhöhung der Schichtdicke der aufgedampften Schicht können mehrere Verdampfer in einer evakuierbaren Bearbeitungskammer platziert werden und/oder der Vorgang des Bedampfens erfolgt mehrmals, wobei die Flächengeometrie nicht geändert wird. Die als aufgedampfte Schicht bezeichnete Schicht kann damit zur Erhöhung der Schichtdicke durch einmaliges oder mehrmaliges Bedampfen erzeugt werden.to increase the layer thickness of the vapor-deposited layer can be several evaporators in an evacuated processing chamber are placed and / or the process of sputtering takes place several times, the area geometry not changed becomes. The layer referred to as vapor-deposited layer can thus be used to increase the layer thickness produced by a single or multiple vapor deposition become.

Die Schablonen bestehen nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 9 aus einem ferromagnetischen oder einem magnetischen Stoff. Dadurch können die Schablonen einfach lösbar auf dem Substrat befestigt werden, wobei sich das Substrat auf einem Körper aus einem magnetischen Stoff oder einem Körper mit einem Elektromagneten befindet. Dabei wird auch weitestgehend sichergestellt, dass zwischen Schablone und Substrat kein Abstand vorhanden ist, so dass konturscharfe Geometrien auf dem Substrat abgeschieden werden können.The Stencils are made according to the embodiment of claim 9 made of a ferromagnetic or a magnetic material. This allows the Stencils are easy to detach be attached to the substrate, wherein the substrate on a body made of a magnetic substance or a body with an electromagnet located. It is also largely ensured that between Stencil and substrate no gap is present, so that contour sharp Geometries can be deposited on the substrate.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen jeweils prinzipiell dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben.embodiments The invention are illustrated in principle in the drawings and will be closer in the following described.

Es zeigen:It demonstrate:

1 Schablonen zur Herstellung mäanderförmig angeordneter Schichten einzeln und übereinander angeordnet, 1 Templates for producing meandering layers arranged individually and one above the other,

2 ein Substrat mit einer Schicht in einer Seitenansicht im Schnitt und 2 a substrate with a layer in a side view in section and

3 ein Substrat mit einer Schicht in einer Seitenansicht im Schnitt. 3 a substrate with a layer in a side view in section.

In einem ersten Ausführungsbeispiel werden zur Herstellung von mäanderförmig angeordneten Schichten als Widerstandsschichten von elektrisch beheizbaren Spiegelgläsern als Substrate 1 auf der Oberfläche der Rückseite des Spiegelglases eine erste Schicht aus mehreren beabstandet angeordneten ersten Bereichen in einer Z-Form über eine erste Schablone 2 und eine zweite Schicht aus mehreren beabstandet angeordneten zweiten Bereichen in einer gespiegelten Z-Form über eine zweite Schablone 3 in zwei Reihen so aufgebracht, dass abwechselnd die mittleren Bereiche der Z-Form beabstandet nebeneinander angeordnet sind und die zueinander weisenden Schenkel der Z-Form und der gespiegelten Z-Form sich überlappen und damit eine zusammenhängende Mäanderform vorhanden ist.In a first embodiment, the production of meandering layers arranged as resistive layers of electrically heatable mirror glasses as substrates 1 on the surface of the back of the mirror glass, a first layer of a plurality of spaced-apart first regions in a Z-shape over a first template 2 and a second layer of a plurality of spaced apart second regions in a mirrored Z-shape over a second template 3 applied in two rows so that alternately the central portions of the Z-shape are spaced apart side by side and the facing legs of the Z-shape and the mirrored Z-shape overlap and thus a contiguous meandering shape is present.

Dazu weisen die erste Schablone 2 mehrere beabstandet angeordnete erste Öffnungen in einer Z-Form und die zweite Schablone 3 mehrere beabstandet angeordnete Öffnungen in einer gegenüber den Öffnungen der ersten Schablone 2 gespiegelten Z-Form auf. Die zueinander weisenden Schenkel der Z-Form und der gespiegelten Z-Form überlappen sich dabei.For this purpose, the first template 2 a plurality of spaced apart first openings in a Z-shape and the second template 3 a plurality of spaced openings in one opposite the openings of the first template 2 mirrored Z-shape. The mutually facing legs of the Z-shape and the mirrored Z-shape overlap.

Die äußeren mittleren Bereiche sind auf der einen Seite Anschlussflächen zur Platzierung von Anschlussstücken und überlappen sich auf der anderen Seite, so dass die beiden Reihen der Mäanderformen eine U-Form sind.The outer middle areas are on one side pads for placement of Connectors and overlap on the other side, so that the two rows of meandering forms are a U-shape.

Die 1 zeigt die zwei Schablonen 2, 3 für die Widerstandsheizelemente in einer Mäanderform einzeln und übereinander angeordnet.The 1 shows the two templates 2 . 3 arranged individually and one above the other for the resistance heating elements in a meandering shape.

Das Aufbringen der Schichten erfolgt durch die Anwendung einer Vakuumbeschichtung, vorzugsweise durch das bekannte Verfahren des Bedampfens als ein Vakuumbeschichtungsverfahren aus der Gasphase. Zur Erhöhung der Schichtdicke der aufgedampften Schicht können mehrere Verdampfer in einer evakuierbaren Bearbeitungskammer platziert werden und/oder der Vorgang des Bedampfens erfolgt mehrmals, wobei die Flächengeometrie nicht geändert wird.The The layers are applied by the application of a vacuum coating, preferably by the known method of sputtering as a Vacuum coating process from the gas phase. To increase the Layer thickness of the vapor-deposited layer can be several evaporators in an evacuated processing chamber are placed and / or the process of sputtering takes place several times, the area geometry not changed becomes.

Die aufgedampften mäanderförmigen Widerstandsschichten 4 sind in einer ersten Ausführungsform gleichzeitig lötfähig, so dass zwei Anschlussstücke durch Löten befestigt und elektrisch leitend mit den aufgedampften Schichten 4 verbunden werden können. Die Anschlussstücke sind flache Anschlussstücke 5 (Darstellung in der 2), auf die jeweils eine Steckhülse aufgeschoben werden kann, so dass ein Paarungssystem vorhanden ist. Die aufgedampften Schichten 4 bestehen aus Zinn.The deposited meander-shaped resistance layers 4 are solderable in a first embodiment at the same time, so that two connecting pieces fixed by soldering and electrically conductive with the vapor-deposited layers 4 can be connected. The fittings are flat fittings 5 (Presentation in the 2 ), on each of which a socket can be pushed, so that a mating system is present. The evaporated layers 4 are made of tin.

In einer zweiten Ausführungsform bestehen die aufgedampften Schichten 4 aus Nickel/Chrom als mäanderförmig angeordnetes Widerstandsheizelement. Auf diesen aufgedampften Schichten 4 befindet sich auf den Endenbereichen der Mäanderform eine weitere aufgedampfte elektrisch leitfähige und lötfähige Schicht 6 aus Zinn. Auf dieser Schicht 6 jedes Bereiches ist ein Anschlussstück als flaches Anschlussstück 5 aufgelötet (Darstellung in der 3).In a second embodiment, the vapor-deposited layers exist 4 made of nickel / chromium as a meandering arranged resistance heating element. On these vapor-deposited layers 4 is located on the end portions of the meandering form another vapor-deposited electrically conductive and solderable layer 6 made of tin. On this layer 6 Each section is a connector as a flat connector 5 soldered (representation in the 3 ).

In einem zweiten Ausführungsbeispiel werden zur Herstellung von mäanderförmig angeordneten Schichten als Widerstandsschichten von elektrisch beheizbaren Sensoren auf deren Träger als Substrate auf der der Oberfläche mit den Sensoren gegenüberliegenden Oberfläche eine erste Schicht aus mehreren beabstandet angeordneten ersten Bereichen in einer Z-Form über eine erste Schablone und eine zweite Schicht aus mehreren beabstandet angeordneten zweiten Bereichen in einer gespiegelten Z-Form über eine zweite Schablone in einer Reihe so aufgebracht, dass abwechselnd die mittleren Bereiche der Z-Form beabstandet nebeneinander angeordnet sind und die zueinander weisenden Schenkel der Z-Form und der gespiegelten Z-Form sich überlappen und damit eine zusammenhängende Mäanderform vorhanden ist.In a second embodiment are arranged meandering for the production Layers as resistance layers of electrically heatable sensors on their carrier as substrates on the surface opposite with the sensors surface a first layer of a plurality of spaced first Areas in a Z-shape over a first template and a second layer of a plurality of spaced apart second areas in a mirrored z-shape via a second template in a row so applied that alternately the middle areas the Z-shape spaced adjacent to each other and to each other pointing leg of the Z-shape and the mirrored Z-shape overlap and thus a contiguous meander shape is available.

Dazu weisen die erste Schablone mehrere in einer Reihe beabstandet angeordnete erste Öffnungen in einer Z-Form und die zweite Schablone mehrere in einer Reihe beabstandet angeordnete Öffnungen in einer gegenüber den Öffnungen der ersten Schablone gespiegelten Z-Form auf. Die zueinander weisenden Schenkel der Z-Form und der gespiegelten Z-Form überlappen sich dabei.To The first template has a plurality of spaced-apart ones first openings in a Z-shape and the second stencil several in a row spaced openings in one opposite the openings the first stencil mirrored Z-shape. The facing each other The legs of the Z-shape and the mirrored Z-shape overlap.

Derartige Öffnungen jeweils einer Schablone können mehrfach beabstandet zueinander angeordnet sein, so dass mehrere mäanderförmig ausgebildete Schichten auf einem Nutzen mehrerer Träger abgeschieden werden können. Dadurch kann eine Mehrzahl von Trägern vor dem Vereinzeln gleichzeitig mit den mäanderförmig ausgebildeten Widerstandsschichten als Heizelemente versehen werden.Such openings each one template be spaced several times to each other, so that several meandering formed Layers can be deposited on a benefit of multiple carriers. Thereby can be a plurality of carriers before separating simultaneously with the meandering resistance layers be provided as heating elements.

In einem dritten Ausführungsbeispiel werden zur Herstellung von mäanderförmig angeordneten Schichten als Antenne oder Antennen auf einem Substrat eine erste Schicht aus mehreren beabstandet angeordneten ersten Bereichen in einer Z-Form über eine erste Schablone und eine zweite Schicht aus mehreren beabstandet angeordneten zweiten Bereichen in einer gespiegelten Z-Form über eine zweite Schablone in einer Reihe so aufgebracht, dass abwechselnd die mittleren Bereiche der Z-Form beabstandet nebeneinander angeordnet sind und die zueinander weisenden Schenkel der Z-Form und der gespiegelten Z-Form sich überlappen und damit eine zusammenhängende Mäanderform vorhanden ist. Das Substrat besteht aus einem elektrisch nichtleitenden Material.In a third embodiment are used for the production of meandering layers as antenna or antennas on a substrate, a first layer from a plurality of spaced-apart first regions in one Z shape over a first template and a second layer of a plurality of spaced apart arranged second regions in a mirrored Z-shape over a second Stencil in a row so applied that alternately the middle one Regions of the Z-shape are arranged next to each other and spaced apart the facing legs of the Z-shape and the mirrored Z-shape overlap and thus a coherent one meandering is available. The substrate consists of an electrically non-conductive Material.

Derartige Öffnungen jeweils einer Schablone können mehrfach beabstandet zueinander angeordnet sein, so dass mehrere mäanderförmig ausgebildete Schichten auf einem Nutzen mehrerer Substrate abgeschieden werden können. Dadurch kann eine Mehrzahl von Substraten vor dem Vereinzeln gleichzeitig mit den mäanderförmig ausgebildeten Antennen versehen werden. Dadurch können leicht Bestandteile für eine drahtlose Datenübertragung auf den unterschiedlichsten Gegenständen hergestellt werden.Such openings of a template in each case can be arranged at several distances from one another so that a plurality of meander-shaped layers can be deposited on a plurality of substrates. As a result, a plurality of substrates prior to singulation at the same time as the meander-shaped antenna be provided. This can be easily manufactured components for wireless data transmission on a variety of items.

Claims

A method for producing meandering layers on substrates, characterized in that a first layer of a plurality of spaced-apart first regions in a Z-shape via a first template ( 2 ) and that a second layer of a plurality of spaced second regions in a relation to the first template ( 2 ) mirrored Z-shape with a second template ( 3 ) are applied so that alternately the central portions of the Z-shape are spaced adjacent to each other and the facing legs of the Z-shape and the mirrored Z-shape overlap.

Method according to claim 1, characterized in that a plurality of meandering forms formed from the first Z-shaped layer via a first template ( 2 ) and the second mirrored Z-shaped layer via a second template ( 3 ) side by side on the substrate ( 1 ), wherein outer middle regions overlap so that two adjacent land forms are a U-shape.

Method according to claim 1, characterized in that the meandering layer has an electrical resistance layer on the substrate ( 1 ).

A method according to claim 1, characterized in that the meandering layer arranged on an electrical conductor layer on the substrate ( 1 ).

Method according to claims 1 and 3, characterized in that the meandering layer is arranged as an electrical resistance layer on a carrier for at least one sensor as a substrate ( 1 ) is applied so that an electrically heatable sensor can be realized.

Method according to claims 1 and 3, characterized in that the meandering layer is arranged as an electrical resistance layer on a mirror glass as substrate ( 1 ) is applied so that an electrically heatable mirror glass can be realized.

Method according to claims 1 and 4, characterized in that the meandering layer is arranged as an electrical conductor layer on a substrate ( 1 ) is applied so that the meandering layer is an antenna.

Method according to claim 1, characterized in that the meandering layer is arranged on the substrate by vacuum coating ( 1 ) is applied.

Masks for producing meandering layers on substrates, characterized in that a first template ( 2 ) a plurality of spaced apart first openings in a Z-shape and that a second template ( 3 ) a plurality of spaced apart openings in a relation to the openings of the first template ( 2 ) mirrored Z-shape so that the mutually facing legs of the Z-shape and the mirrored Z-shape overlap.

Stencils according to claim 9, characterized in that the templates ( 2 . 3 ) consist of a ferromagnetic or a magnetic material.

Use of templates for producing meander-shaped layers on substrates, characterized in that for applying a first layer a first template ( 2 ) having a plurality of spaced-apart first openings in a Z-shape and that for applying a second layer a second template ( 3 ) of a plurality of spaced apart second openings in a relation to the first template ( 2 ) mirrored Z-shape can be used so that alternately the central regions of the Z-shape are spaced apart side by side and the facing legs of the Z-shape and the mirrored Z-shape overlap.