DE102005053432A1

DE102005053432A1 - Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken

Info

Publication number: DE102005053432A1
Application number: DE200510053432
Authority: DE
Inventors: Jörg Wörner; Stephen C. Arnold
Original assignee: Leuze Electronic GmbH and Co KG
Current assignee: Leuze Electronic GmbH and Co KG
Priority date: 2005-11-09
Filing date: 2005-11-09
Publication date: 2007-05-10
Anticipated expiration: 2025-11-10
Also published as: DE102005053432B4

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken mit einer Kamera (9) zum Aufnehmen eines Positionierfeldes (7), in dem die Passermarken angeordnet sind. Ferner weist sie eine Beleuchtungseinrichtung (12) zum Beleuchten des Positionsfeldes (7) auf. Die Beleuchtungseinrichtung (12) umfasst LED-Chips (18, 19). Erfindungsgemäß umfasst die Beleuchtungseinrichtung (12) ferner wenigstens einen Lichtintegrator (21, 22) zur Homogenisierung des von den LED-Chips (18, 19) emittierten Lichts.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken nach dem Oberbegriff von Anspruch 1.
Derartige Passermarken werden zur Kontrolle und Steuerung von vielfältigen Bearbeitungsprozessen, insbesondere im Druckmaschinenbereich eingesetzt.

Aus der DE 103 45 290 A1 ist eine Kontrollvorrichtung zur Ausrichtung von Passermarken für eine Mehrfarbendruckmaschine bekannt. Eine Kamera nimmt mittels eines CCD- oder CMOS-Detektors ein Positionierfeld auf, welches Passermarke und Passerstift umfasst. Für die Aufnahme wird das Positionierfeld mittels einer LED-Beleuchtungseinrichtung beleuchtet. Anhand eines Vergleichs der Position von Passermarke und Passerstift wird die Lage der Druckplatte bestimmt und ggf. korrigiert. Um Farbsäume beim Übereinanderdrucken verschiedener Druckplatten zu vermeiden ist hierbei eine Positioniergenauigkeit von typischerweise 10 μm notwendig. Hierfür ist eine hochpräzise Positionsbestimmung der Passermarken unerlässlich. Voraussetzung für eine derartige hochpräzise Positionsbestimmung der Passermarken ist eine kontrastreiche detailgetreue Aufnahme der Passermarken.

Es hat sich gezeigt, dass hierfür oftmals die Qualität herkömmlicher Aufnahmesysteme, insbesondere wegen der unzureichender Beleuchtung nicht ausreichend ist. Besonders problematisch wird es aber bei manchen sehr hellen Druckplatten, bei denen es stellenweise zu einer Überstrahlung der Aufnahme-CCD kommt, welche durch Reflektionen auf der Druckplatte ausgelöst werden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art bereit zu stellen, welche eine verbesserte Beleuchtungseinrichtung aufweist.

Zur Lösung dieser Aufgabe sind die Merkmale des Anspruchs 1 vorgesehen. Vorteilhafte Ausführungsformen und zweckmäßige Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen beschrieben.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung dient zur Erfassung von Passermarken, welche innerhalb eines Positionierfeldes angeordnet sind, das von einer Beleuchtungseinrichtung beleuchtet wird, um es mit einer digitalen Kamera aufzunehmen. Die Beleuchtungseinrichtung weist LEDs auf, welche mit wenigstens einem Lichtintegrator gekoppelt sind, durch den das von den LEDs emittierte Licht vermischt und homogenisiert wird. Als Lichtintegrator kann ein Hohlaum oder eine andere Anordnung, z.B. aus Spiegeln oder anderen diffus reflektierenden Elementen verwendet werden, bei der eine Mehrfachreflektion zwischen mehreren Flächen zu einer Homogenisierung des Lichts führt. Derartige Lichtintegratoren sind beispielsweise als Ulbricht-Kugel bekannt. Der Hohlraum, welcher als Lichtintegrator dient, hat vorzugsweise eine Reflektivität von mehr als 90 %, bevorzugt mehr als 95 oder 99 %. Die Verwendung eines Lichtintegrators für die Beleuchtungseinrichtung hat in diesem Fall den entscheidenden Vorteil, dass das Licht homogenisiert wird, gleichzeitig aber die Lichtintensität nicht wesentlich reduziert wird. Dadurch ergibt sich eine sehr gleichmäßige, helle, insbesondere im Wesentlichen diffuse Beleuchtung, die eine kontrastreiche Aufnahme ermöglicht und gleichzeitig unerwünschte Reflexionen vermeidet.

Der Grundgedanke der Erfindung besteht somit darin, das von den LEDs emittierte Licht mittels eines Lichtintegrators nahezu verlustfrei zu homogenisieren, bevor es zur Beleuchtung des Positionierfeldes verwendet wird. Hierdurch kann eine sehr effiziente und gleichmäßige Beleuchtung der Passermarken ge währleistet werden, wodurch eine hochpräzise Erfassung derselben ermöglicht wird.

In einer vorteilhaften Ausführungsform der Beleuchtungseinrichtung ist je einem LED-Chip ein Lichtintegrator zugeordnet. Hierdurch können die Lichtintegratoren extrem kompakt gehalten werden, was einen robusten und kompakten Aufbau der Beleuchtungseinrichtung unterstützt. Ferner ist es dadurch möglich, das Positionierfeld von mehreren unterschiedlichen Strahlungsquellen aus zu beleuchten, indem die Lichtintegratoren beabstandet zueinander angeordnet werden. Auch dies fördert die Homogenität der Beleuchtung der Passermarken. In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der Anordnung sind diese mehreren Lichtintegratoren konzentrisch um die Aufnahmeachse der Kamera angeordnet. Hierdurch wird das Licht besonders homogen über das aufzunehmende Positionierfeld verteilt, so dass es möglich ist, die aufzunehmende Fläche gleichmäßig auszuleuchten. Andernfalls müsste die Beleuchtung so weit gestreut werden, dass die gesamte Umgebung mitbeleuchtet wird um eine ähnliche Homogenität zu erreichen, was wiederum große Verluste mit sich brächte.

In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung handelt es sich bei dem aufzunehmenden Positionierfeld um ein Rechteck und die Lichtintegratoren werden entsprechend an den Ecken eines Recktecks angeordnet. Diese Form ist deswegen bevorzugt, weil der aufnehmende CCD- oder CMOS-Detektor im Allgemeinen eine Rechteckform aufweist. Idealerweise ist die Anordnung der Lichtintegratoren also in Abhängigkeit von der Form des aufnehmenden Detektors gewählt. Dadurch dass die zu beleuchtende Fläche an die Aufnahmeeinheit angepasst wird, kann bei der Aufnahme die höchstmögliche Auflösung bei geringem Lichtverlust erreicht werden.

Besonders vorteilhaft ist eine Ausführungsform der Erfindung, bei der die Lichtintegratoren durch Ausbuchtungen in einer Kunststoffplatte realisiert werden, welche als Aufnahmen für die LEDs dienen. Dies stellt eine besonders kostengünstige Realisierung von Lichtintegratoren dar und unterstützt ebenfalls einen besonders kompakten robusten Aufbau der Beleuchtungseinrichtung. Die den LEDs zugewandten Kavitäten, welche in der Kunststoffplatte ausgeformt sind, weisen vorzugsweise eine Reflektivität von mehr als 90 %, bevorzugt mehr als 95 oder 99 % auf. Zu diesem Zweck wird entweder eine Kunststoffplatte verwendet, welche ein weißes Material, wie beispielsweise weißes Polycarbonat umfasst, oder die Kunststoffplatte im Bereich der Kavität mit einer weißen Beschichtung überzogen, die das Licht diffus reflektiert.

Vorzugsweise wird die Kunststoffplatte, in der die Lichtintegratoren eingeformt sind, außerhalb der Kavitäten also außerhalb des Bereichs der Lichtintegratoren mit einer schwarzen Beschichtung versehen. Hierdurch können unerwünschte Streulichteinfälle vermieden werden.

In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist die Austrittsöffnung eines Lichtintegrators mit einem Streumedium versehen. Hierdurch kann zum einen eine zusätzliche Homogenisierung des Lichts erreicht werden, insbesondere eröffnet die Verwendung eines Streumediums an der Austrittsöffnung des Lichtintegrators aber die Möglichkeit das Profil der austretenden Strahlung räumlich zu gestalten. Hierdurch können Abbildungsfehler der Aufnahmeoptik wie beispielsweise ein Randabfall des Objektivs korrigiert werden. Dies lässt sich einfach dadurch realisieren, dass das Streumedium in der Mitte optisch dichter ausgebildet ist als am Rand. Hierdurch wird das Positionierfeld im Zentrum etwas weniger beleuchtet als am Rand, was den Randabfall des Aufnahmeobjektivs ausgleicht. Auch beliebige andere flächige Abbildungsfehler des Objektivs lassen sich hiermit korrigieren. Besonders kostengünstig und vorteilhaft lässt sich das Streumedium durch eine sehr dünne Membran realisieren. Diese Membran weist vorzugsweise eine Dicke kleiner als 125 μm auf. Zur Korrektur des Randabfalls kann die Membran im Zentrum der Austrittsöffnung entweder etwas dicker gewählt werden oder ein optisch dickeres Material wird in die Membran eingebracht.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist die Beleuchtungseinrichtung mit einer Abbildungseinrichtung zur Abbildung des Streumediums auf das Positionierfeld versehen. Dadurch dass diese Abbildungseinrichtung direkt mit der Beleuchtungseinrichtung in Verbindung steht, kann ein sehr kompakter robuster Aufbau der Beleuchtungseinrichtung garantiert werden, was einen kompakten Aufbau der gesamten Vorrichtung zum Erfassen der Passermarken gewährleistet. Insbesondere wird ein kompakter kostengünstiger Aufbau dadurch unterstützt, dass die Abbildungseinrichtung in Form einer Acrylplatte realisiert ist, in die asphärische Kondensorlinsen zur Abbildung des Streumediums eingeformt sind.

Dieser sandwichartige Aufbau der Beleuchtungseinrichtung, bestehend aus einer Leiterplatte auf der die LEDs aufgebracht sind, einer Kunststoffplatte, in die die Lichtintegratoren eingeformt sind, und einer weiteren Platte, in die die Kondensorlinsen eingeformt sind, garantiert eine extrem kostengünstige, flache und robuste Ausführung der Beleuchtungseinrichtung. Aufgrund dieser robusten, platzsparenden und kostengünstigen Bauweise wird diese Beleuchtungseinrichtung für den Einsatz in Druckmaschinen verwendbar.

Vorteilhafterweise sind die Kunststofflinsen so aufgebaut und angeordnet, dass sie seitlich von der optischen Achse der Austrittsöffnung des Lichtintegrators angeordnet sind. Diese außeraxiale Anordnung der Abbildungsobjektive ermöglicht auf einfache Weise eine Überlagerung aller von den Lichtintegratoren emittierten Beleuchtungsmuster auf dem aufzunehmenden Positionierfeld in dem die Passermarken enthalten sind ohne sie dabei zu verzerren. Insbesondere wird durch diese versetzte, außeraxiale Anordnung aber gewährleistet, dass nur diffuse Strahlung zur Beleuchtung verwendet wird. Hierdurch kann zusätzlich vermieden werden, dass störende Reflektionen auf der Druckplatte auftreten, welche in herkömmlichen Vorrichtungen zur Erfassung von Passermarken zu Überstrahlungen in dem aufgenommenen Bild führen.

Eine vorteilhafte Alternative zu der außeraxialen Anordnung der Abbildungseinrichtung ist eine Anordnung von Streumedium und Abbildungseinrichtung entsprechend der Scheimpflug-Bedingung. Ein derartiger Aufbau, in dem sowohl Streumedium als auch Linsen geneigt gegenüber der zu beleuchtenden Fläche anzuordnen sind, bewirkt ebenfalls eine Versetzung des abzubildenden Lichtmusters ohne es dabei zu verzerren. Sie erfüllt damit die gleiche Anforderung wie eine versetzte Anordnung der Linse. Gegenüber dieser hat sie jedoch den Vorteil, dass die optische Achse der das Lichtmuster abbildenden Linse benutzt werden kann wodurch weniger Abbildungsfehler von dieser übertragen werden. Nachteilig ist nur die aufwändigere Herstellung durch die erforderliche Schrägstellung von Linsen und Membranen.

Die Erfindung wird im Nachstehenden anhand der Zeichnungen erläutert. Es zeigen:

1: Schematische Darstellung einer Anordnung mit einer Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken.

2: Blockschaltbild der Vorrichtung gemäß 1.

3: Schematische Schnittdarstellung einer Beleuchungseinrichtung der Vorrichtung.

4: Schematische Schnittdarstellung einer Integrationskammer der Beleuchtungseinrichtung.

Die in 1 dargestellte Anordnung zeigt einen Ausschnitt einer Mehrfarbendruckmaschine. Der dargestellte Ausschnitt zeigt eine Druckwalze 1, auf welche eine Druckplatte 2 aufgezogen wird. Zur Erstellung eines Mehrfarbendrucks werden die einzelnen Farben in separaten Druckprozessen auf eine Papierbahn oder dergleichen aufgedruckt. Für jeden Druckprozess mit einer be stimmten Farbe wird auf die Druckwalze 1 eine bestimmte hierfür vorgesehene Druckplatte 2 als Arbeitsmedium auf die Druckwalze 1 aufgezogen.
Um ein einwandfreies Mehrfarbendruckbild zu erhalten, müssen die einzelnen Druckplatten 2 jeweils exakt in einer jeweils vorgegebenen Sollposition auf der Druckwalze 1 aufgebracht werden. Dabei müssen die Druckplatten 2 sowohl in Längsrichtung als auch in Umfangsrichtung der Druckwalze 1 mit einer Genauigkeit von typischerweise 10 μm positioniert und fixiert werden.
Zur Einhaltung dieser Genauigkeit ist auf jede Druckplatte 2 eine Passermarke 3 aufgebracht, deren Ausrichtung relativ zu einem Passerstift 4 an der Druckwalze 1 kontrolliert wird. Wie aus 1 ersichtlich weist die Druckplatte 2 an ihrem oberen Rand eine Aussparung 5 mit einem kreisförmigen Querschnitt auf. Die Druckplatte 2 wird in ihre Sollposition eingeschoben, in welcher der Passerstift 4 in dieser Aussparung 5 liegt. Die Passermarke 3 liegt unmittelbar angrenzend an die Aussparung 5 im Bereich des oberen Randes der Druckplatte 2.
Die Ausrichtung der Passermarke 3 relativ zum Passerstift 4 wird mit einer Vorrichtung 6 kontrolliert, welche von einem optischen Sensorsystem gebildet ist. Dieses Sensorsystem erfasst innerhalb eines vorgegebenen Sichtfelds 7 ein Bild der Oberflächen der Druckwalze 1 und der Druckplatte 2, wobei das Sichtfeld 7 derart gewählt ist, dass in diesem die Passermarke 3 und der Passerstift 4 liegt.
Der Aufbau der Vorrichtung 6 ist in 2 schematisch dargestellt. Die Vorrichtung 6 ist in einem Gehäuse 8 integriert und weist als Sensorkomponente eine Kamera 9 auf. Die Kamera 9 ist im vorliegenden Fall als CMOS-Kamera ausgebildet, welche als photoempfindliche Elemente eine matrixförmige Anordnung von CMOS-Elementen aufweist. Alternativ kann die Kamera 9 als CCD-Kamera 9 mit einer Anordnung von CCD-Elementen ausgebildet sein.
Der Kamera 9 ist ein Objektiv 10 vorgeordnet, welches das von Objektstrukturen innerhalb des Sichtfelds 7 zurückreflektierte Empfangslicht 11 auf die Kamera 9 projiziert. Zur Beleuchtung des Sichtfelds 7 weist die Vorrichtung 6 eine Beleuchtungseinheit 12 auf. Im vorliegenden Fall ist die Beleuchtungseinheit 12 als LED-Beleuchtung ausgebildet, die im Gehäuse 8 der Vorrichtung 6 integriert ist. Prinzipiell sind auch externe Beleuchtungseinheiten 12 außerhalb des Gehäuses 8 einsetzbar. Generell emittiert die Beleuchtungseinheit 12 Lichtstrahlen 13, die das Sichtfeld 7 möglichst homogen ausleuchten. Generell können Beleuchtungseinheiten 12 eingesetzt werden, die Lichtstrahlen im sichtbaren und/oder Infrarot und/oder UV-Bereich emittieren. Dabei kann das emittierte Licht polarisiert oder unpolarisiert sein. Der Aufbau der Beleuchtungseinheit 12 wird in den 3 und 4 im Detail erläutert. Die Vorrichtung 6 weist weiterhin eine Auswerteeinheit 14 auf, die von einem Mikroprozessor oder dergleichen gebildet ist. An die Auswerteeinheit 14 sind sowohl die Kamera 9 als auch die Beleuchtungseinheit 12 angeschlossen. Mit der Auswerteeinheit 14 wird somit die Beleuchtungseinheit 12 angesteuert. Zudem erfolgt in der Auswerteeinheit 14 die Auswertung der mit der Kamera 9 erzeugten Bildinformationen. In Abhängigkeit der Bildinformationen werden in der Auswerteeinheit 14 Ausgangssignale generiert, die über eine Schnittstelleneinheit 15 ausgegeben werden. Über die Schnittstelleneinheit 15 können weiterhin Eingabegrößen, insbesondere Parameterwerte in die Auswerteeinheit 14 eingelesen werden. Die Schnittstelleneinheit 15 besteht beispielsweise aus einer RS 232-Schnittsstelle und einer Anordnung von binären Eingängen und Ausgängen.
Um eine reproduzierbare Kontrolle der Positionierung der Passermarke 3 mittels der Vorrichtung 6 zu gewährleisten, ist es erforderlich, dass die Vorrichtung 6 exakt in einer festen Sollposition relativ zur Druckwalze 1 angeordnet ist. Die Vorrichtung 6 ist dabei an einer nicht dargestellten Befestigungsvorrichtung montiert. Zur Kalibrierung der Einbaulage der Vorrichtung 6 wird mit der Kamera 9 innerhalb eines Kalibriervorgangs wenigstens eine Referenzmarke erfasst. Im vorliegenden Fall ist die Referenzmarke von dem ortsfest an der Druckwalze 1 angebrachten Passerstift 4 gebildet. Mit der Kamera 9 wird das Bild des Passerstifts 4 erfasst. In der Auswerteeinheit 14 werden die geometrischen Merkmale des Passerstifts 4 ausgewertet. Die Vorrichtung 6 liegt dann innerhalb der Sollposition, wenn die geometrischen Merkmale des Passerstifts 4 in vorgegebenen Soll-Lagen erkannt werden.
Bei der Aufnahme, insbesondere von Passermarken auf stark reflektierenden Druckplatten muss eine homogene, in der Ausdehnung begrenzte Beleuchtung eingesetzt werden. Eine hierfür ausgezeichnet geeignete Beleuchtungseinheit ist in 3 im Querschnitt schematisch dargestellt. Sie weist eine Halterung 16 auf, an der eine Leiterplatte 17 befestigt ist. Auf der Leiterplatte 17 sind Leuchtdioden 18 und 19 sowie zwei weitere in der Figur nicht erkennbare Leuchtdioden aufgesetzt. Prinzipiell sind in dieser Ausführung sowohl alle Leuchtdioden als auch die zugehörigen Bauelemente doppelt vorhanden, was aus der Querschnittsdarstellung freilich nicht hervorgehen kann. Die Leuchtdioden 18, 19, sowie die zwei Weiteren nicht dargestellte, sind konzentrisch um die Achse des Objektiv 10 in Form eines Rechtecks entsprechend der Form des CMOS-Detektion der Kamera 9 auf der Leiterplatte 17 angeordnet. Oberhalb der Leiterplatte 17 befindet sich eine weiße Kunststoffplatte 20 mit Vertiefungen 21 und 22 für die Leuchtdioden 18 und 19, welche Lichtintegratoren zur Lichtmischung erzeugen.
4 zeigt diesen Aufbau noch einmal detaillierter. Hier ist in einem vergrößerten Ausschnitt beispielhaft die LED 18 zu sehen, welche von einer Kavität 21 umschlossen wird, die von der Kunststoffplatte 20 gebildet wird. Die dabei in dem Lichtintegrator 21 entstehende diffuse Lambertstrahlung wird über eine dünne weiße Membran 23, welche nur in 4 zu sehen ist, an der Oberseite der Integrationskammer 21 abgestrahlt, und über asphärische Linsen 24 und 25, welche sich in oder auf einer weiteren Kunststoffplatte 26 befinden, in das Sichtfeld 7 der Kamera 9 abgebildet. Die Linsen 24, 25 sind gegenüber den optischen Achsen der Leuchteinheiten, welche durch Leuchtdioden 18 und 19, Integrationskammern 21 und 22 sowie den entsprechenden Membranen 23 gebildet werden, versetzt angeordnet. Durch diese außeraxiale Anordnung der Linsen 24 und 25 welche in Richtung der optischen Achse des Aufnahmeobjektivs 10 besteht, wird eine Überlagerung der abgebildeten Lichtmuster auf dem Sichtfeld 7 der Kamera 9 an der Position der Druckplatte 2 erreicht. Insbesondere findet hier eine Überlagerung rein diffuser Strahlung statt, wodurch Reflektionen welche zur Überstrahlung der Aufnahmesensoren führen könnten, vermieden werden.

1: Druckwalze
2: Druckplatte
3: Passermarke
4: Passerstift
5: Aussparung
6: Vorrichtung
7: Sichtfeld
8: Gehäuse
9: Kamera
10: Objektiv
11: Empfangslicht
12: Beleuchtungseinheit
13: Lichtstrahlen
14: Auswerteeinheit
15: Schnittstelleneinheit
16: Halterung
17: Leiterplatte
18: Leuchtdiode
19: Leuchtdiode
20: Kunststoffplatte
21: Lichtintegrator
22: Lichtintegrator
23: Membran
24: asphärische Linse
25: asphärische Linse
26: Kunststoffplatte

Claims

Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken mit einer Kamera (9) zum Aufnehmen eines Positionierfeldes (7) in dem die Passermarken angeordnet sind und einer Beleuchtungseinrichtung (12) zum Beleuchten des Positionierfeldes (7), wobei die Beleuchtungseinrichtung (12) LED-Chips (18, 19) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungseinrichtung (12) wenigstens einen Lichtintegrator (21, 22) zur Homogenisierung des von den LED-Chips (18, 19) emittierten Lichts aufweist.
Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungseinrichtung (12) einen Lichtintegrator (21, 22) pro LED-Chip (18, 19) aufweist.
Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtintegratoren (21, 22) konzentrisch um die optische Achse des Kameraobjektivs (10) angeordnet sind.
Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Anordnung der Lichtintegratoren (21, 22) entsprechend der Form der Anfnahmeeinheit der Kamera (9) gewählt ist.
Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtintegratoren (21, 22) durch Vertiefungen in einer Kunststoffplatte (20) gebildet werden.
Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Kunststoffplatte (20) weißes Polycarbonat umfasst.
Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Kunststoffplatte (20) außerhalb der Lichtintegratoren (21, 22) geschwärzt ist.
Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass an der Austrittsöffnung des wenigstens einen Lichtintegrators (21, 22) ein Streumedium (23) angeordnet ist.
Vorrichtung zur Erfassung von Passenmarken nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Streumedium (23) eine Membran mit einer durchschnittlichen Dicke kleiner 250 μm aufweist.
Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungseinrichtung (12) eine Abbildungseinrichtung (24, 25, 26) zur Abbildung des Streumediums (23) auf das Positionierfeld (7) aufweist.
Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Abbildungseinrichtung (24, 25, 26) als Acrylplatte (26) ausgebildet ist, in die wenigstens eine asphärische Kondensorlinse (24, 25) eingeformt ist.
Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Abbildungseinrichtung (24, 25, 26) eine Linse (24, 25) aufweist, die so aufgebaut und angeordnet ist, dass ihre optische Achse gegenüber der Austrittsöffnung des Lichtintegrators (21, 22) versetzt ist.
Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Streumedium (23) und die Abbildungseinrichtung (24, 25, 26) so aufgebaut und angeordnet sind, dass sie die Scheimpflug-Bedingung erfüllen.
Vorrichtung zur Erfassung von Passermarken nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Streumedium (23) zur Korrektur des Randabfalls der Abbildungseinrichtung (24, 25, 26) im Zentrum optisch dichter ausgebildet ist.