DE102005032134A1

DE102005032134A1 - Messvorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße und Verfahren zur Überwachung der Messvorrichtung

Info

Publication number: DE102005032134A1
Application number: DE102005032134A
Authority: DE
Inventors: Peter Seefeld
Original assignee: Endress and Hauser Wetzer GmbH and Co KG
Current assignee: Endress and Hauser Wetzer GmbH and Co KG
Priority date: 2005-07-07
Filing date: 2005-07-07
Publication date: 2007-01-18
Also published as: WO2007006695A1; EP1899718A1

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Messvorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße, mit mindestens einer Sensoreinheit, und mit mindestens einer elektrischen Verbindung. Die Erfindung beinhaltet, dass mindestens eine Impedanzmesseinheit vorgesehen ist, welche mindestens den elektrischen Widerstand der Sensoreinheit und/oder der elektrischen Verbindung misst. Weiterhin bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren zur Überwachung einer Messvorrichtung und eine Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße, mit mindestens einer Sensoreinheit, und mit mindestens einer elektrischen Verbindung. Weiterhin bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren zur Überwachung einer Messvorrichtung, wobei die Messvorrichtung mindestens eine Sensoreinheit und mindestens eine elektrische Verbindung aufweist. Überdies bezieht sich die Erfindung auf eine Vorrichtung zur Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens. Bei der Prozessgröße handelt es sich beispielsweise um die Temperatur, den Füllstand, die Dichte, die Viskosität, die Leitfähigkeit oder den pH-Wert des Mediums, bei welchem es sich um eine Flüssigkeit oder um ein Schüttgut handelt.

In der Prozess- und Automatisierungstechnik werden Messgeräte um Prozessgrößen (z.B. Füllstand, Durchfluss, Temperatur, pH-Wert) zu bestimmen oder zu überwachen angewendet. Aufgrund der meist beim Prozess herrschenden Bedingungen, wie hohe Temperaturen, mechanische Belastung oder aggressive oder ätzende Medien, sind die Messgeräte einer starken Belastung ausgesetzt, welche sogar zum Totalausfall führen kann. Um die Zuverlässigkeit zu gewährleisten, ist es wichtig, dass ggf. bei den Messgeräten auftretende Beschädigungen bereits vor dem Totalausfall erkannt und gemeldet werden, so dass ggf. auftretende Fehlmessungen nicht auftreten können.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Methode zur Überwachung der Funktionalität eines Messgerätes vorzuschlagen, über welche eine Beeinträchtigung des Messgerätes erkannt wird.

Die Aufgabe löst die Erfindung durch eine Messvorrichtung, durch ein Verfahren zur Überwachung einer Messvorrichtung und durch eine Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens. Die Erfindung löst somit die Aufgabe durch eine erfindungsgemäße Messvorrichtung und durch ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens, welche bei einer beliebigen Messvorrichtung anwendbar sind.

Die Erfindung löst die Aufgabe mit einer Messvorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße, mit mindestens einer Sensoreinheit, und mit mindestens einer elektrischen Verbindung. Die Messvorrichtung ist erfindungsgemäß derartig ausgestaltet, dass mindestens eine Impedanzmesseinheit vorgesehen ist, welche mindestens den elektrischen Widerstand der Sensoreinheit und/oder der elektrischen Verbindung misst. Bei der elektrischen Verbindung handelt es sich beispielsweise um ein elektrisches Kabel. Die erfindungsgemäße Messvorrichtung stellt somit aufkommende Fehlfunktionen des Betriebszustandes von elektrischen Leitungen in Sensoren und deren Verkabelung fest. Ein Vorteil liegt darin, dass die Überwachung des erfindungsgemäßen Messgeräts im eingebauten Zustand stattfindet. Bei der Sensoreinheit kann es sich beispielsweise um eine kompakte Einheit wie beispielsweise ein temperaturabhängiges Widerstandselement handeln, die Sensoreinheit kann jedoch auch eine wiederum Verkabelungen aufweisende komplexe Einheit sein. Unter den elektrischen Verbindungen sind somit beispielsweise Verkabelungen und Lötungen innerhalb einer kompakten Messvorrichtung oder zwischen entfernt voneinander befindlichen und mit einem Auswertetransmitter verbundene Einheiten zu verstehen. Eine solche Messvorrichtung wird durch die Erfindung hinsichtlich ihrer Funktionsfähigkeit überprüft und Fehlfunktionen lassen sich in einem vorbeugenden Monitoring durch vergleichende Bewertungsverfahren erfassen. Das hier in der Messvorrichtung selbst umgesetzte erfindungsgemäße Verfahren gestattet es, sich anbahnende Änderungen einzelner Signalleitungen zu verfolgen, bevor sich Fehlerzustände in einem für die Messung relevanten Bereich ausgeprägt haben.

Sensoren, die beispielsweise elektrische Widerstandsänderungen als Kenngrößen aufweisen, oder Sensoren, die beispielsweise über Gleichspannungs- oder Wechselspannungsquellen als Kenngrößen verfügen, werden üblicherweise mittels geschirmter oder ungeschirmter Messkabel bestehend aus zwei oder mehr Signalleitungen angeschlossen. Methoden und Verfahren, die Ohm'sche Widerstandsmessungen für die Betriebsüberwachung von Sensoren und deren Zuleitungen nutzen, sind bekannt. Dabei werden für die Sensoren, die über Widerstandsänderungen, Gleichspannungs- oder Wechselspannungsquellen als Kenngrößen verfügen, und deren Zuleitung Grenzbetriebsbereiche festgelegt, d.h. Ohm'sche Widerstandsarbeitsbereiche, innerhalb derer die erfassten Messwerte als zulässig gelten. Befinden sich die gemessenen Werte außerhalb dieser Bereiche, so lässt sich dies als Anzeichen für eine sich anbahnende Fehlfunktion interpretieren.

Insbesondere werden in der erfindungsgemäßen Messvorrichtung Impedanz-Meßmethoden angewendet, um die Reaktanz, d.h. den imaginären Wechselstromwiderstand zu erfassen. Prüfspannungen wechselnder Frequenz von ca. 0,1 bis ca. 300 kHz und wechselnder Amplitude von ca. 10 ... 100 mV werden wechselseitig, alternierend an die zur Verfügung stehenden Anschlussklemmen der Sensor-Messleitungen gelegt. Ist eine Messkabelabschirmung nicht vorhanden, so kann auch eine Gerätemasse oder ein Schutzleiteranschluss herangezogen werden. Die Messsignalfolgen können mittels Relais bzw. mit einem anderen hochimpedanten Schaltelement bei aufgeschaltetem oder bevorzugt bei nicht aufgeschaltetem Messwertaufnehmer in der Weise vorgelegt werden, dass die Signalleitungen gegen die Messkabelabschirmungsleitung paarweise abwechselnd gemessen werden. Für charakteristische Wechselspannungs-/Frequenzbereiche werden die Reaktanz und die ohmschen Widerstandswerte gemessen, gespeichert und in einem Bewertungsverfahren analysiert. Die Messspannungen im Frequenzbereich von 0,1 bis ca. 300 kHz werden mit einer Impedanzmesseinrichtung aufgenommen, die nach einer Brückenmethode mit automatischem Abgleich arbeitet und die für hochohmige Messinnenwiderstände (über ca. 10 Giga-Ohm bis 300 Giga-Ohm) ausgelegt ist. Das erfindungsgemäße abwechselnde paarweise Beschalten einzelner Sensorleitungen gegen die Abschirmungsleitung, oder ersatzweise von Sensorzuleitungen untereinander, oder ersatzweise einer Sensorleitung gegen Geräte-Masse bzw. gegen Schutzleiter, resultiert in einer Signalfolge, die für eine bewertende Charakterisierung des Betriebszustandes der betreffenden Zuleitung verwendet wird.

Sensorsignalleitungen sind zu Isolationszwecken mit verschiedenartigen Dielektrika umgeben, die aus polymeren Isolationswerkstoffen, aus keramischen Werkstoffen oder aus glasartigen Materialien bestehen. Im ordnungsgemäßen Betriebszustand besitzen derartige Werkstoffe als Isolatoren dielektrische Eigenschaften mit hohem Isolationswiderstand. Der erfindungsgemäße Lösungsweg besteht nun darin, rechtzeitig das Aufkommen von Fehlerzuständen zu erfassen, die zu Kurzschlüssen oder zu Nebenschlüssen führen können oder über Korrosionseffekte Widerstandserhöhungen innerhalb einzelner Signalleitungen bewirken. Bevor sich demnach ein Kurzschluss oder ein Nebenschluss ausbildet, vermögen sich durch auftretende Oberflächen- und Benetzungseffekte an metallischen Leitungsdrähten und an deren Isolation, Kapazitäten herauszubilden, die als Reaktanzänderungen erfasst werden können. Die Änderung des Impedanzverhaltens ist darauf zurückzuführen, dass beispielsweise Grenzschichten der Kabelisolation ihre dielektrische Eigenschaften verändern. Diese Grenzschichten erfahren durch das Eindringen bzw. Eindiffundieren von Drittsubstanzen aus dem Umgebungsbereich Veränderungen. Zu diesen Substanzen gehören Wasser, ionenhaltige Elektrolytlösungen, protische Lösungsmittel, niedrig schmelzenden Salze mit merklicher elektrolytischer Leitfähigkeit oder Mischungen aus derartigen Komponenten.

Weitere vorbeugend zu erkennende Einflussmechanismen sind beispielsweise mechanische Einwirkungen und Hitzeeinwirkungen auf Sensorleitungen bzw. auf die dielektrische Schichten. Hierbei können Veränderungen der Isolation sowie Änderungen der Leitereigenschaften frühzeitig erkannt werden. Einmalige Ereignisse sowie allmählich unter Dauerbelastung auftretende Einwirkungen, wie Verreibungen infolge Vibrationen von Kunststoffteilen, Keramikwerkstoffe oder anderer Isolatoren sind ebenso nachzuweisen. Schmelzvorgänge an thermoplastischen oder polymeren Kabelisolationen sind in gleicher Weise nachweisbar.

Im einfachsten Ausführungsfall wird mit einer als Abschirmleitung dienenden äußeren Elektrode gegen die Innenleiter einer Verkabelung ein Impedanzmessprofil erstellt. Sollten in anderen Ausführungsfällen Sensorzuleitungen nicht mit einem äußeren Schirm ausgestattet sein, so kann ersatzweise eine Impedanzmessung gegen eine zweite Sensorleitung, gegen die Masseleitung, beispielsweise gegen die Gerätemasse oder gegen einen existierenden Schutzleiteranschluss vorgenommen werden. Wird eine Sensorleitung gegen Gerätemasse oder gegen Schutzleiter geschaltet, um anstelle einer fehlenden Kabelabschirmung als zweite Messelektrode zu dienen, sind aufkommende störende Kapazitäten als solche zu erkennen, indem erfindungsgemäß deren zeitliche Änderung in einem besonderen Vergleichsverfahren bewertet wird. Dabei wird beispielsweise das Impedanzspektrum, das mit dem ersten Sensoranschluss als Elektrode gegen den Schutzleiteranschluss im Frequenzbereich von 0,1 bis ca. 300 kHz aufgezeichnet wurde, mit den Impedanzspektren, die mit den anderen Sensoranschlüssen gegen den Schutzleiteranschluss erhalten werden, einer vergleichenden Bewertung unterzogen. Dieses Bewertungsverfahren wird in einem bestimmten Zeitintervallen wiederholt, um auf diese Weise maximal zulässige Varianzen zu ermitteln.

Vorteilhaft ist die Anwendbarkeit des erfindungsgemäßen Impedanzmessprinzips für kompakte Sensor-Messwertaufnehmer-Transmitter-Anordnungen (z.B. Funkmodulen) gegeben. Für den Einsatz in Messkettenanordnungen mit denen „Punkt zu Punkt"-Verbindungen aus zahlreichen „wireless" – Transmitter vorzuhalten sind, ist eine vorbeugende Ausfallerkennung innerhalb der kabellosen „autarken Meßsystemen" von entscheidenden Nutzen, um die gesamte Kommunikationskette aufrecht halten zu können. Umwelt- und Umgebungseinflüsse aus der Prozessumgebung, die auf die Sensor/Transmitter-Einrichtung einwirken, können leicht die maximal zulässigen Einflussgrößen, die für die eingesetzten elektronische Bauelemente gelten, übersteigen. Mit dem erfindungsgemäß vorgeschlagenen Impedanz-Meßprinzip sind vorbeugende Überwachungen unter geringstem elektrischen Leistungsbedarf zu realisieren. Der geringe elektrische Leistungsbedarf des erfindungsgemäß vorgeschlagenen Impedanzüberwachungsprinzips erschließt darüber hinaus Einsatzmöglichkeiten in Ex-Schutz relevanten Bereichen.

Die Erfindung besteht somit darin, den elektrischen Widerstand der Sensoreinheit und/oder der elektrischen Verbindungen innerhalb der Messvorrichtung zu messen und entsprechend auszuwerten. Eine Abspeicherung der Werte kann ebenfalls vorgesehen sein. Die Auswertung kann direkt innerhalb der Messvorrichtung erfolgen oder z.B. innerhalb einer mit der Messvorrichtung verbundenen Einheit. Es kann auch der gemessene elektrische Widerstand aufgezeichnet und anschließend quasi als Überwachungsprotokoll nachträglich ausgewertet werden. Bei der Impedanzmesseinheit handelt es sich beispielsweise um eine elektrisch oder elektronische Einheit, welche mit einem Prüfsignal die elektrischen Verbindungen und/oder den Sensor beaufschlagt und aus dem gemessene Wert den elektrischen Widerstand bestimmt.

Eine Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Messvorrichtung sieht vor, dass mindestens eine Impedanzüberwachungseinheit vorgesehen ist, welche zumindest den von der Impedanzmesseinheit gemessenen elektrischen Widerstand der Sensoreinheit und/oder der elektrischen Verbindung mit mindestens einem hinterlegten Impedanzwert vergleicht, und welche eine Abweichung zwischen dem gemessenen elektrischen Widerstand und dem hinterlegten Impedanzwert anzeigt. In dieser Ausgestaltung ist eine Impedanzüberwachungseinheit, welche den gemessenen elektrischen Widerstand oder die gemessenen elektrischen Widerstandswerte überwacht und auswertet. In einer weiteren Ausgestaltung steuert die Impedanzüberwachungseinheit die Impedanzmesseinheit.

Eine Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Messvorrichtung beinhaltet, dass die Impedanzmesseinheit derartig ausgestaltet ist, dass sie mit einem elektrischen Prüfsignal die Impedanz misst. Bei dem Prüfsignal handelt es sich beispielsweise um eine elektrische Wechselspannung.

Damit ist die folgende Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Messvorrichtung verbunden, welche vorsieht, dass die Frequenz und/oder die Amplitude des Prüfsignals einstellbar sind/ist. Dies ist eine Grundlage für die Ausgestaltung, dass die Impedanzmesseinheit derartig ausgestaltet ist, dass sie ein von der Frequenz und/oder der Amplitude des Prüfsignal abhängiges Impedanzspektrum der elektrischen Verbindung und/oder der Sensoreinheit misst. Es wird somit nicht nur ein einziger Impedanzwert bestimmt, sondern es wird ein gesamtes Spektrum aufgenommen, so dass sich mehr Informationen über die Messvorrichtung bzw. über deren Bestandteile herausfinden lassen.

Eine Ausgestaltung beinhaltet, dass es sich bei der Prozessgröße um die Temperatur und bei der Sensoreinheit um ein temperaturabhängiges Widerstandselement handelt. In diesem Fall lässt sich die Messung der Impedanz der Sensoreinheit sehr einfach ausgestalten. Bei der elektrischen Verbindung handelt es sich dabei beispielsweise um eine elektrische Leitung, über welche das Widerstandselement mit einem entsprechenden Kopftransmitter verbunden ist. Dieser Kopftransmitter steuert dann die Temperaturmessungen und wertet beispielsweise auch den gemessenen Widerstandwert in die zu bestimmende Temperatur um.

Die Erfindung löst die Aufgabe mit einem Verfahren zur Überwachung einer Messvorrichtung, wobei die Messvorrichtung mindestens eine Sensoreinheit und mindestens eine elektrische Verbindung aufweist. Das Verfahren sieht dabei vor, dass mittels mindestens eines Prüfsignals der elektrische Widerstand mindestens der elektrischen Verbindung und/oder der Sensoreinheit gemessen wird. Da sich durch die zu messenden Medien oder allgemein durch die Alterung die elektrischen Verbindung und auch die Sensoreinheit ändern können, wird durch das erfindungsgemäße Verfahren der elektrische Widerstand bzw. die Impedanz bzw. die Reaktanz dieser Verbindungen bzw. der Sensoreinheit gemessen und überwacht. Treten Änderungen, Alterungs- oder Auflösungserscheinungen auf, so wird dies erfindungsgemäß durch die Überwachung der Impedanz erkannt.

Eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht vor, dass der gemessene elektrische Widerstand mit mindestens einem für die elektrische Verbindung und/oder die Sensoreineinheit hinterlegten Impedanzwert verglichen wird. Es werden beispielsweise bei der Fertigung Sollwerte und beispielsweise auch Toleranzbereiche für die elektrischen Leitungen/Verbindungen und/oder die Sensoreinheit hinterlegt. Das Erkennen eines Fehlers bzw. eines nahenden Fehlers lässt sich dann aus dem Vergleich der gemessenen mit den hinterlegten Werfen realisieren.

Eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens beinhaltet, dass es sich bei dem Prüfsignal um eine elektrische Wechselspannung mit einstellbarer Frequenz und/oder einstellbarer Amplitude handelt. Somit lassen sich unterschiedliche Prüfsignale realisieren.

Eine Ausgestaltung sieht vor, dass mittels der einstellbaren Frequenz und/oder der einstellbaren Amplitude des Prüfsignals ein Impedanzspektrum der elektrischen Verbindung und/oder der Sensorseinheit gemessen wird. Es wird also nicht nur ein einzelner Wert, sondern es wird ein ganzes Spektrum aufgenommen, um daraus ggf. mehr Information über die Messvorrichtung bzw. die in ihm befindlichen elektrischen Verbindungen und die Sensoreinheit zu erlangen.

Die Erfindung löst die Aufgabe mit einer Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens in mindestens einer der oben diskutierten Ausgestaltungen. Die Vorrichtung ist derartig ausgestaltet, dass mindestens eine Impedanzmesseinheit vorgesehen ist, dass die Impedanzmesseinheit derartig ausgestaltet ist, dass sie an die Messvorrichtung anschließbar ist, und dass sie den elektrischen Widerstand mindestens der elektrischen Verbindung und/oder der Sensoreinheit misst. Im Gegensatz zur obigen erfindungsgemäßen Messvorrichtung handelt es sich hierbei somit um eine Vorrichtung, welche an ein Messgerät angeschlossen wird, um dieses gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren zu überwachen.

Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigt:
1: eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Messvorrichtung, und
2: eine schematische Darstellung der Impedanzmesseinheit.
1 zeigt schematisch den Aufbau einer erfindungsgemäßen Messvorrichtung 1. Hierbei handelt es sich als Beispiel um ein Messgerät für Temperaturen. Bei der Sensoreinheit 2 handelt es sich um ein Widerstandselement, dessen Widerstandswert von der Temperatur abhängig ist. Um den Widerstand der Sensoreinheit 2 zu messen, ist dieser über zwei elektrische Verbindungen 3, bei denen es sich beispielsweise um elektrische Leitungen handelt, mit einem Transmitter 6 verbunden. Die Leiter befinden sich hier in einem sog. Schutzrohr. Durch Einwirkungen des Mediums oder durch die herrschenden Prozessbedingungen oder allgemein durch die Alterung ist es möglich, dass sich die elektrischen Verbindungen 3 verändern.
Um Änderungen zu detektieren, wird erfindungsgemäß der elektrische Widerstand bzw. speziell die Impedanz der elektrischen Verbindungen 3 und/oder der Sensoreinheit 2 gemessen. Die Impedanz der Sensoreinheit 2 lässt sich im dargestellten Fall sehr gut messen, da es sich um ein Widerstandselement handelt. Für die Messung der Impedanz ist die Impedanzmesseinheit 4 mit den elektrischen Verbindungen 3 und somit auch mit der Sensoreinheit 2 verbunden. Über die Beauschlagung der einzelnen Verbindungen zwischen den elektrischen Leitungen 3 bzw. der Sensoreinheit 2 und der Impedanzmesseinheit 4 mit einem passenden Prüfsignal lassen sich die entsprechenden Impedanzwerte bestimmen. Wird zumindest die Frequenz des Prüfsignals – hierbei handelt es sich vorzugsweise um eine Wechselspannung – variiert, so wird jeweils ein Impedanzspektrum aufgenommen. Aus dem Vergleich mit hinterlegten Werten oder aus einer anderen Auswertung der gemessenen Impedanzen kann dann die Impedanzüberwachungseinheit 5 Aussagen über die Beschaffenheit der elektrischen Verbindungen 3 bzw. über die Sensoreinheit 2 tätigen bzw. drohende Fehlzustände aufzeigen.
In der 2 ist schematisch eine Ausgestaltung einer Impedanzmesseinheit 4 dargestellt. Insbesondere wird hier ein Impedanzspektrum der n (hier n > 5) Innenleiter einer elektrischen Verbindung 3 gemessen. In diesem Fall wird mit einer als Abschirmleitung dienenden äußeren Elektrode S gegen den ersten bis n-ten Innenleiter ein Impedanzmessprofil erstellt. An die Reihe der mittleren Anschlussklemmen zwischen Schalteranschlussseite am Impedanzmessgerät 4 und Schalteranschlussseite am Transmitter sind die Sensorsignalleitungen, also die Innenleiter, anzuklemmen. Sollten die elektrischen Verbindungen 3 nicht mit einem äußeren Schirm S ausgestattet sein, so kann ersatzweise eine Impedanzmessung gegen eine gemeinsame Masseleitung, beispielsweise gegen die Gerätemasse oder gegen einen existierenden Schutzleiteranschluss vorgenommen werden. Wird eine Sensorleitung gegen Gerätemasse oder gegen Schutzleiter geschaltet, so sind aufkommende störende Kapazitäten als solche zu erkennen, indem deren zeitliche Änderung in einem besonderen Vergleichsverfahren bewertet wird. Dabei wird beispielsweise das Impedanzspektrum, das mit dem 1. Sensoranschluss als Elektrode gegen den Schutzleiteranschluss S im Frequenzbereich von beispielsweise 0,1 bis 300 kHz aufgezeichnet wurde, mit den Impedanzspektren, die mit dem 2., bis n-ten Sensoranschluss gegen den Schutzleiteranschluss S erhalten werden, einer vergleichenden Bewertung unterzogen. Dieses Bewertungsverfahren wird in einem bestimmten Zeitintervall wiederholt, um auf diese Weise maximal zulässige Varianzen zu ermitteln.

1: Messvorrichtung
2: Sensoreinheit
3: Elektrische Verbindung
4: Impedanzmesseinheit
5: Impedanzüberwachungseinheit
6: Transmitter

Claims

Messvorrichtung (1) zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße, mit mindestens einer Sensoreinheit (2), und mit mindestens einer elektrischen Verbindung (3), dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Impedanzmesseinheit (4) vorgesehen ist, welche mindestens den elektrischen Widerstand der Sensoreinheit (2) und/oder der elektrischen Verbindung (3) misst.
Messvorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Impedanzüberwachungseinheit (5) vorgesehen ist, welche zumindest den von der Impedanzmesseinheit (4) gemessenen elektrischen Widerstand der Sensoreinheit (2) und/oder der elektrischen Verbindung (3) mit mindestens einem hinterlegten Impedanzwert vergleicht, und welche eine Abweichung zwischen dem gemessenen elektrischen Widerstand und dem hinterlegten Impedanzwert anzeigt.
Messvorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Impedanzmesseinheit (4) derartig ausgestaltet ist, dass sie mit einem elektrischen Prüfsignal die Impedanz misst.
Messvorrichtung (1) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Frequenz und/oder die Amplitude des Prüfsignals einstellbar sind/ist.
Messvorrichtung (1) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Impedanzmesseinheit (4) derartig ausgestaltet ist, dass sie ein von der Frequenz und/oder der Amplitude des Prüfsignal abhängiges Impedanzspektrum der elektrischen Verbindung (3) und/oder der Sensoreinheit (2) misst.
Messvorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei der Prozessgröße um die Temperatur und bei der Sensoreinheit (2) um ein temperaturabhängiges Widerstandselement handelt.
Verfahren zur Überwachung einer Messvorrichtung (1), wobei die Messvorrichtung (1) mindestens eine Sensoreinheit (2) und mindestens eine elektrische Verbindung (3) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass mittels mindestens eines Prüfsignals der elektrische Widerstand mindestens der elektrischen Verbindung (3) und/oder der Sensoreinheit (2) gemessen wird.
Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der gemessene elektrische Widerstand mit mindestens einem für die elektrische Verbindung (3) und/oder die Sensoreineinheit (2) hinterlegten Impedanzwert verglichen wird.
Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Prüfsignal um eine elektrische Wechselspannung mit einstellbarer Frequenz und/oder einstellbarer Amplitude handelt.
Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass mittels der einstellbaren Frequenz und/oder der einstellbaren Amplitude des Prüfsignals ein Impedanzspektrum der elektrischen Verbindung (3) und/oder der Sensorseinheit (2) gemessen wird.
Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens nach mindestens einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Impedanzmesseinheit (4) vorgesehen ist, dass die Impedanzmesseinheit derartig ausgestaltet ist, dass sie an die Messvorrichtung (1) anschließbar ist, und dass sie den elektrischen Widerstand mindestens der elektrischen Verbindung (3) und/oder der Sensoreinheit (2) misst.