DE102005031647A1

DE102005031647A1 - Beleuchtungsvorrichtung zur Dunkelfeldbeleuchtung für eine optische Testvorrichtung und Verfahren zum optischen Abtasten eines Objektes

Info

Publication number: DE102005031647A1
Application number: DE102005031647A
Authority: DE
Inventors: Arnold Allweier
Original assignee: Chromasens GmbH
Current assignee: Chromasens GmbH
Priority date: 2005-07-06
Filing date: 2005-07-06
Publication date: 2007-01-11
Also published as: US7602483B2; US20070024846A1

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Beleuchtungsvorrichtung zur Dunkelfeldbeleuchtung für eine optische Testvorrichtung zum Abtasten einer ebenflächigen Oberfläche eines Objektes sowie ein Verfahren zum optischen Abtasten einer ebenflächigen Oberfläche eines Objektes, bei dem die erfindungsgemäße Vorrichtung verwendet wird. Die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung weist einen Reflektor auf, der im Querschnitt die Form eines Ellipsensegmentes besitzt, wobei die Beleuchtungsvorrichtung mit einem ersten Brennpunkt der Ellipse auf der Oberfläche des Objektes anordbar ist, und die Lichtquelle an einem Punkt angeordnet ist, der sich durch Spiegelung des zweiten Brennpunktes der Ellipse an der Oberfläche des Objektes ergibt. Hierdurch wird eine Dunkelfeldbeleuchtung mit hoher Beleuchtungsstärke am ersten Brennpunkt erzielt, selbst wenn die Lichtquelle ein gutes Stück vom Objekt entfernt ist.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Beleuchtungsvorrichtung zur Dunkelfeldbeleuchtung für eine optische Testvorrichtung zum Abtasten eines Objektes und ein Verfahren zum optischen Abtasten eines Objektes mit einer solchen Vorrichtung.
Es ist bekannt, Wafer, Spiegel, Glasoberflächen und Leiterplatten mit diversen Verfahren optisch abzutasten. In diesen Verfahren wird das abzutastende Objekt, der Wafer, der Spiegel oder die Glasoberfläche mit einem optischen Zeilensensor abgetastet, wobei der Zeilensensor relativ zum Objekt bewegt wird, wodurch ein zweidimensionales Bild erzeugt wird. Der Zeilensensor ist ein Farbsensor. Die von dem Zeilensensor beobachtete Linie auf der Oberfläche des Objektes soll aus verschiedenen Winkeln mit ebenfalls zeilenförmig angeordneten Leuchtdioden in den Grundfarben des Sensors, nämlich rot, blau und grün, beleuchtet werden. Hierbei wird zumindest eine Farbe als Hellfeldbeleuchtung und eine weitere Farbe als Dunkelfeldbeleuchtung eingesetzt.
Hellfeldbeleuchtung bedeutet, dass die Lichtquelle an der Oberfläche des Objektes in den Sensor gespiegelt wird, wobei bei der Dunkelfeldbeleuchtung keine Spiegelung der Lichtquelle bezüglich des Sensors auftritt.
Bei der Beleuchtung von Objekten mit spiegelnden Oberflächen soll einerseits die Lichtquelle möglichst weit außerhalb des Schärfebereichs bzw. der Fokus-Ebene des Sensors liegen, d.h., dass ein möglichst großer Abstand zwischen der Lichtquelle und der Oberfläche des Objektes eingehalten werden sollte. Anderseits sollte aber auch eine hohe Lichtintensität an der Oberfläche des Objektes vorliegen, weshalb es zweckmäßig wäre, den Abstand zwischen der Lichtquelle der Oberfläche des Objektes möglichst gering zu halten. Außerdem sollte das Objekt aus verschiedenen Winkel beleuchtet werden, damit eine zu findende Störung möglichst markant abgebildet wird, was mit den herkömmlichen Lichtquellen zur Beleuchtung einer Linie sehr schwierig ist, die in der Regel aus einer entlang einer Linie angeordneten Leuchtdiode bestehen. Diese entgegengesetzten Anforderung, wodurch der Abstand zwischen der Lichtquelle und der Oberfläche des Objektes einerseits groß und andererseits klein gehalten werden soll, sind besonders bei der Dunkelfeldbeleuchtung von spiegelnden Oberflächen ausgeprägt, wo nur ein geringer Bruchteil des auf die abzutastenden Linie der Oberfläche des Objektes gerichteten Lichtstrahlbündels vom Sensor eingefangen wird.
Um die oben erläuterten Anforderungen zu erfüllen, hat man bisher eine Anordnung verwendet (2), bei welcher zur Beleuchtung eines ebenflächigen Objektes 1 ein oder mehrere lineare Lichtquellen 2 für die Dunkelfeldbeleuchtung und eine lineare Lichtquelle 3 für die Hellfeldbeleuchtung verwendet werden. Das Lichtstrahlbündel der Lichtquelle 3 für die Hellfeldbeleuchtung ist auf die abzutastende Linie der Oberfläche des Objektes gerichtet, wird von dort auf einen Spiegel 4 gespiegelt, von dem das Lichtstrahlbündel zu einem Zeilensensor 5 gelenkt wird. Als Zeilensensor wird typischerweise ein ein-dimensionales Farb-CCD-Element mit einer vorgeschalteten Optik verwendet. Es ist jedoch auch möglich, eine Kamera zu verwenden, die ein zwei-dimensionales Bild erzeugt, wovon lediglich eine einzige Linie ausgewertet wird. Die Lichtquellen 2 für die Dunkelfeldbeleuchtung sind sehr nahe an der Oberfläche des Objektes angeordnet, damit eine ausreichend hohe Beleuchtungsstärke erzielt wird.
Dies hat aber zur Folge, dass die einzelnen Leuchtdioden, aus welchen diese zeilenförmigen Lichtquellen ausgebildet sind, von der Kamera als einzelne Leuchtpunkte wahrgenommen werden, da sich diese Lichtquellen im Schärfebereich des Sensors befinden. Eine gleichmäßig homogene Ausleuchtung der abzutastenden Linie wäre erwünscht, was aber bei dieser Anordnung der Dunkelfeldbeleuchtung nicht möglich ist.
Ein weiterer Nachteil liegt darin, dass die Dunkelfeldbeleuchtung nur aus der Richtung der Lichtquellen Licht liefert. Soll die abzutastende Linie aus einem größeren Winkelbereich beleuchtet werden, so muss entweder die Leuchtfläche der Lichtquelle deutlich vergrößert, oder es müssen mehrere Lichtquellen eingesetzt werden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine Beleuchtungsvorrichtung zur Dunkelfeldbeleuchtung für eine optische Testvorrichtung zum Abtasten eines Objektes sowie ein Verfahren zum optischen Abtasten eines Objektes mit dieser Beleuchtungsvorrichtung zu schaffen, wodurch auch mit einer aus mehreren Leuchtdioden zusammengesetzten linearen Lichtquelle eine homogene Beleuchtung einer abzutastenden Linie auf einem Objekt mit hoher Beleuchtungsstärke erzielt wird.

Die Aufgabe wird durch eine Beleuchtungsvorrichtung zur Dunkelfeldbeleuchtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Weiterhin wird die Aufgabe durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 15 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindungen sind in den jeweiligen Unteransprüchen angeordnet.

Die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung zur Dunkelfeldbeleuchtung für eine optische Testvorrichtung zum Abtasten eines Objektes, wie z.B. eines Wafers oder einer Leiterplatte, weist eine Lichtquelle zur Dunkelfeldbeleuchtung und einen Reflektor auf.

Erfindungsgemäß weist der Reflektor im Querschnitt die Form eines Segmentes einer Ellipse auf, das mit einem ersten Brennpunkt der Ellipse auf der Oberfläche des Objektes anordbar ist, und die Lichtquelle an einem Punkt angeordnet ist, der sich durch Spiegelung des zweiten Brennpunktes der Ellipse an der Oberfläche des Objektes ergibt.

Ist diese Beleuchtungsvorrichtung mit dem ersten Brennpunkt an dem abzutastenden Punkt der Oberfläche des Objektes angeordnet, so werden die von der Lichtquelle für die Dunkelfeldbeleuchtung ausgesandten Lichtstrahlen nach einer ersten Reflexion an der ebenflächigen Oberfläche des Objektes und einer zweiten Reflexion am Reflektor auf den abzutastenden Punkt des Objektes gelenkt. Hierdurch wird fast die gesamte abgestrahlte Lichtmenge der Lichtquelle auf den abzutastenden Punkt bzw. abzutastende Linie des Objektes gerichtet. Zudem muss der Abstand zwischen der Lichtquelle und der Oberfläche des Objektes nicht klein gehalten werden, so dass auch bei Verwendung einer aus mehreren Leuchtdioden ausgebildeten linearen Lichtquelle eine homogene Lichtverteilung erzielt wird.

Zur Abtastung eines einzelnen Punktes der Oberfläche des Objektes ist der Reflektor als ein Segment eines Ellipsoides ausgebildet, wohingegen der Reflektor zur Abtastung einer Linie als langgestreckte Rinne mit einer Querschnittsform eines Ellipsensegmentes ausgebildet ist.

Vorzugsweise weist die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung auch eine Lichtquelle zur Hellfeldbeleuchtung auf, wobei dei Lichtquellen zur Dunkelfeldbeleuchtung und zur Hellfeldbeleuchtung in ähnlichen Abstand zum abzutastenden Punkt bzw. zur abzutastende Linie angeordnet sind.

Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren wird die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung relativ zum abzutastenden Objekt bewegt, wobei der erste Brennpunkt auf der abzutastenden Oberfläche gehalten wird.

Die Erfindung wir nachfolgend beispielhaft anhand der Zeichnungen erläutert. Die Zeichnungen zeigen in:
1 die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung in einer Schnittdarstellung zusammen mit einem abzutastenden Objekt, und
2 eine bekannte Anordnung zur Beleuchtung eines abzutastenden Objektes.
1 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung zur Abtastung eines Objektes. Diese Beleuchtungsvorrichtung weist eine lineare Lichtquelle 2 für die Dunkelfeldbeleuchtung, eine lineare Lichtquelle 3 für die Hellfeldbeleuchtung und einen Spiegel 4 zum Ablenken von Licht auf einen Zeilensensor 5 auf.
Erfindungsgemäß ist die Beleuchtungsvorrichtung mit einem Reflektor 6 versehen, der im Querschnitt die Form eines Segmentes einer Ellipse 7 aufweist. In diesem Ausführungsbeispiel ist der Reflektor 6 langgestreckt, rinnenförmig ausgebildet.
Die Ellipse 7 besitzt zwei Brennpunkt F1 und F2. Das Segment des Reflektors 6 ist derart ausgebildet dass es sich nicht unter das Niveau des oberen Brennpunktes F1 erstreckt, d.h. dass der Reflektor eine untere Begrenzungskante 8 auf Höhe des Niveaus des oberen Brennpunktes F1 oder etwas darüber aufweist. Hierdurch ist es möglich, die Beleuchtungsvorrichtung derart auf dem Objekt anzuordnen, dass der Brennpunkt F1 sich auf der abzutastenden Oberfläche des Objektes befindet. Der zweite Brennpunkt F2 der Ellipse 7 befindet sich auf der vom Reflektor abgewandten Seite der abzutastenden Oberfläche. Spiegelt man diesen Brennpunkt F2 an der abzutastenden Oberfläche, so ergibt sich der Ort, an dem die Lichtquelle 2 für die Dunkelfeldbeleuchtung angeordnet ist. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel ist die Lichtquelle 2 im Scheitelpunkt des Reflektors 6 angeordnet. Diese Anordnung ergibt sich auch, wenn man die Ellipse 7 an der abzutastenden Oberfläche spiegelt, wodurch sich die gespiegelte Ellipse 9 ergibt, wobei die Lichtquelle 2 für die Dunkelfeldbeleuchtung und der abzutastende Punkt, bzw. die abzutastende Linie der Oberfläche des Objektes 1 jeweils in einem der beiden Brennpunkte der gespiegelten Ellipse 9 angeordnet sind.
Die von der Lichtquelle 2 für die Dunkelfeldbeleuchtung ausgesandten Lichtstrahlen werden an der Oberfläche des abzutastenden Objektes 1 zum Reflektor 6 reflektiert, vom Reflektor 6 werden diese Lichtstrahlen auf die abzutastende Linie im Brennpunkt F1 reflektiert. Somit wird fast die gesamte von der Lichtquelle 2 für die Dunkelfeldbeleuchtung ausgestrahlte Lichtmenge auf die abzutastende Linie im Brennpunkt F1 gerichtet. Lediglich geringfügige Reflektionsverluste verringern die in dem Brennpunkt F1 ankommende Lichtmenge gegenüber der von der Lichtquelle 2 ausgestrahlten Lichtmenge.
Im Reflektor 6 ist eine Öffnung 10 ausgebildet, aus welcher das von der abzutastenden Linie reflektierte Licht aus dem Reflektor 6 austritt. Benachbart zu dieser Öffnung ist der Spiegel 4 angeordnet, der das Licht auf den Zeilensensor 5 ablenkt. Alternativ ist es auch möglich, den Sensor unmittelbar benachbart zur Öffnung oder im Bereich der Öffnung anzuordnen. Es ist auch möglich keine Öffnung vorzusehen und den Sensor innerhalb des Reflektors 6 anzuordnen.
In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist die lineare Lichtquelle 2 zum Aussenden von blauen Licht aus einer Reihe entsprechender Leuchtdioden ausgebildet. Die lineare Lichtquelle 3 für die Hellfeldbeleuchtung ist zum Aussenden von rotem Licht aus einer Reihe entsprechender Leuchtdioden ausgebildet. Da die beiden Lichtquellen 2, 3 Licht unterschiedlicher Farbe abgeben, wird eine spektrale Trennung der Hell- und Dunkelfeldbeleuchtung erzielt. Hierdurch können mit einem einzigen Sensor die Hellfeldbeleuchtung und die Dunkelfeldbeleuchtung getrennt voneinander mittels einer einzigen Auswerteeinrichtung 11 ausgewertet werden, an welche der Sensor 5 gekoppelt ist. Um dies zu erreichen ist es auch möglich, die Farben der beiden Lichtquellen 2, 3, zu vertauschen.
Die Lichtquelle 3 zur Hellfeldbeleuchtung ist mit einer Linse versehen, die das abgestrahlte Licht bündelt und auf den ersten Brennpunkt F1 des Reflektors fokussiert.
Hierdurch wird die von der Lichtquelle 3 abgegebenen Lichtmenge auf die zu untersuchende Linie vom Objekt konzentriert.
In einer vereinfachten Ausführungsform ist es auch möglich, die Lichtquelle für die Hellfeldbeleuchtung wegzulassen und die Lichtquelle für die Dunkelfeldbeleuchtung durch eine weiß strahlende Lichtquelle zu ersetzen und Farbfilter im Rinnenreflektor derart anzuordnen, dass Licht, das vom Reflektor 6 auf den Brennpunkt F1 gerichtet wird und vom Objekt 1 in den Sensor 5 gespiegelt wird, also Licht, das etwa von dem Bereich reflektiert wird, in dem beim obigen Ausführungsbeispiel die Lichtquelle 3 für die Hellfeldbeleuchtung angeordnet ist, eine andere Farbe als das übrige Licht aufweist.
Bei einer weiteren vereinfachten Ausführungsform wird wiederum die Lichtquelle für die Hellfeldbeleuchtung weggelassen. Als Lichtquelle für die Dunkelfeldbeleuchtung wird eine ein blaues Licht abstrahlende Lichtquelle verwendet. Der Rinnenreflektor wird an dem Bereich, in dem bei dem in 1 gezeigten Ausführungsbeispiel die Lichtquelle 3 für die Hellfeldbeleuchtung angeordnet ist, mit einer Beschichtung versehen, die das kurzwellige blaue Licht in ein langwelligeres, z.B. rotes Licht, umsetzt. Dieses langwelligere Licht bildet die Hellfeldbeleuchtung, wohingegen das nicht von der Beschichtung umgesetzte Licht die Dunkelfeldbeleuchtung bildet.
Mit der erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung wird selbst bei einem geringen Reflexionsfaktor der Oberfläche des Objektes 1 von z.B. 30% bis 40% am Brennpunkt F1 eine Leuchtdichte erreicht, die deutlich höher als bei direkter Beleuchtung ist. Deshalb kann es, insbesondere bei sehr gut reflektierenden Oberflächen zweckmäßig sein, den Winkelbereich der Dunkelfeldbeleuchtung durch Einbringen von matten Bereichen auf der Reflektorfläche zu beschränken. Die Beschränkung kann auch dadurch erfolgen, dass die reflektierende Innenfläche des Reflektors 6 mit einem relativ geringen Reflexionsfaktor von z.B. 50 bis 70% ausgebildet ist. Mit der erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung wird eine eventuelle Störstelle, die am Brennpunkt F1 vorhanden ist, aus einem größeren Winkelbereich wie bei herkömmlichen Verfahren beleuchtet, wodurch sie wesentlich plastischer abgebildet wird. Sie ist deshalb auch bei der Auswertung wesentlich einfacher zu erkennen.
Als Zeilensensor 5 wird typischerweise ein ein-dimensionales Farb-CCD-Element mit einem vorgeschalteten Objektiv verwendet. Dieser Zeilensensor 5 und das dazugehörige Objektiv bilden eine Zeilenkamera.
Bei dem oben erläuterten Ausführungsbeispiel ist der Reflektor 6 symmetrisch zu einer senkrecht auf dem Objekt 1 stehenden Geraden bzw. Fläche ausgebildet. Es ist jedoch auch möglich, dass die Symmetrielinie bzw. Symmetriefläche des Reflektors 6 schräg zur Oberfläche des Objektes 1 angeordnet wird, wobei sich dann jedoch die Position der Lichtquelle 2 für die Dunkelfeldbeleuchtung entsprechend verändert, so dass sie wiederum den Ort des gespiegelten zweiten Brennpunktes F2 einnimmt.
Zum Abtasten der Oberfläche des Objektes 1 wird die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung entlang der Oberfläche bewegt. Hierzu ist eine Schiebeeinrichtung (nicht dargestellt) vorgesehen, mit welcher auch die aktuelle relative Position zwischen dem Reflektor 6 und dem Objekt 1 erfasst und an die Auswerteeinrichtung 11 ausgeben wird. Die Auswerteeinrichtung 11 erfasst anhand der aktuellen relativen Position zwischen dem Reflektor 6 und dem Objekt 1 zeilenweise die Oberfläche des Objektes 1 und setzt die einzelnen Zeilen zu einem zwei-dimensionalen Bild, bzw. zu zwei zwei-dimensionalen Bildern, eines für die Hellfeldbeleuchtung und eines für die Dunkelfeldbeleuchtung, zusammen. Anhand dieser Bilder kann ermittelt werden, ob die Oberfläche des Objektes 1 Störstellen besitzt. Dieses Verfahren ist insbesondere zum Abtasten von stark reflektierenden Oberflächen von Wafern, Spiegeln oder Glasplatten geeignet. Es kann jedoch auch zum Abtasten von Oberflächen von anderen Objekten, wie z.B. von Leiterplattern, verwendet werden.
Die Erfindung kann folgendermaßen kurz zusammengefasst werden:
Die Erfindung betrifft eine Beleuchtungsvorrichtung zur Dunkelfeldbeleuchtung für eine optische Testvorrichtung zum Abtasten einer ebenflächigen Oberfläche eines Objektes sowie ein Verfahren zum optischen Abtasten einer ebenflächigen Oberfläche eines Objektes, bei dem die erfindungsgemäße Vorrichtung verwendet wird. Die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung weist einen Reflektor auf, der im Quer schnitt die Form eines Ellipsensegmentes besitzt, wobei die Beleuchtungsvorrichtung mit einem ersten Brennpunkt der Ellipse auf der Oberfläche des Objektes anordbar ist, und die Lichtquelle an einem Punkt angeordnet ist, der sich durch Spiegelung des zweiten Brennpunktes der Ellipse an der Oberfläche des Objektes ergibt. Hierdurch wird eine Dunkelfeldbeleuchtung mit hoher Beleuchtungsstärke am ersten Brennpunkt erzielt, selbst wenn die Lichtquelle ein gutes Stück vom Objekt entfernt ist.

1: Objekt
2: lineare Lichtquellen für Dunkelfeldbeleuchtungen
3: lineare Lichtquelle für Hellfeldbeleuchtungen
4: Spiegel
5: Zeilensensor
6: Reflektor
7: Ellipse
8: Begrenzungskante
9: gespiegelte Ellipse
10: Öffnung
11: Auswerteeinrichtung

Claims

Beleuchtungsvorrichtung zur Dunkelfeldbeleuchtung für eine optische Testvorrichtung zum Abtasten eines Objektes (1), wie z.B. eines Wafers, eines Spiegels oder einer Glasplatte, mit einer Lichtquelle (2) zur Dunkelfeldbeleuchtung und einem Reflektor (6), wobei der Reflektor (6) im Querschnitt die Form eines Segmentes einer Ellipse (7) aufweist, und die Beleuchtungsvorrichtung ist mit einem ersten Brennpunkt (F1) der Ellipse (7) auf der Oberfläche des Objektes anordbar, und die Lichtquelle ist an einem Punkt angeordnet, der sich durch Spiegelung des zweiten Brennpunktes (F2) der Ellipse (7) an der Oberfläche des Objektes (1) ergibt.
Beleuchtungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (6) als langgestreckte Rinne zur Abtastung einer Objektlinie ausgebildet ist.
Beleuchtungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (6) als Segment eines Ellipsoides ausgebildet ist.
Beleuchtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (2) am Scheitelpunkt des Reflektors (6) angeordnet ist.
Beleuchtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass eine Lichtquelle (3) zur Hellfeldbeleuchtung vorgesehen ist, die bzgl der Lichtquelle (2) zur Dunkelfeldbeleuchtung versetzt angeordnet ist.
Beleuchtungsvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (3) zur Hellfeldbeleuchtung zur Erzeugung eines gebündelten Lichtstrahlenbündels ausgebildet ist, das auf den ersten Brennpunkt (F1) ausgerichtet ist.
Beleuchtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (2) zur Dunkelfeldbeleuchtung und die Lichtquelle (3) zur Hellfeldbeleuchtung Licht unterschiedlicher Farbe ausstrahlen.
Beleuchtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass eine einzige Lichtquelle (2) vorgesehen ist, die weißes Licht ausstrahlt, und zumindest ein Farbfilter derart angeordnet ist, dass Licht, das etwa von einem Bereich des Reflektors reflektiert wird, der zur Hellfeldbeleuchtung dient, eine andere Farbe als das übrige Licht aufweist.
Beleuchtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass eine einzige Lichtquelle vorgesehen ist, die blaues Licht ausstrahlt, und der Reflektor in einem vorbestimmten Bereich mit einer Beschichtung beschichtet ist, die das Licht in ein langwelligeres Licht umsetzt, wobei der vorbestimmte Bereich des Reflektors der Bereich ist, der zur Hellfeldbeleuchtung dient.
Beleuchtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle(n) eine oder mehrere Leuchtdioden aufweisen.
Beleuchtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass ein optischer Sensor (5) vorgesehen ist, der vorzugsweise im am Objekt reflektierten Lichtstrahlbündel der Lichtquelle (3) zur Hellfeldbeleuchtung angeordnet ist.
Beleuchtungsvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (6) eine optische Öffnung (10) zum Austritt eines Lichtstrahlbündels aufweist, das auf den optischen Sensor (5) gerichtet ist.
Beleuchtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (6) mit matten Bereichen versehen ist, um den Winkelbereich der Dunkelfeldbeleuchtung zu beschränken.
Testvorrichtung zum Abtasten der Oberfläche eines Objektes, wie z.B. eines Wafers, eines Spiegels oder einer Glasplatte, umfassend eine Beleuchtungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 13, und eine Schiebeeinrichtung zum Bewegen der Beleuchtungsvorrichtung relativ zum Objekt (1), und eine Auswerteeinrichtung (11) zum Erzeugen eines Bildes der Oberfläche des Objekte (1) anhand der relativen Positionen zwischen dem Reflektor (6) und dem Objekt (1) und den jeweiligen von einem Sensor (5) erfassten Bilddaten.
Verfahren zum optischen Abtasten von Objekten, wobei eine Beleuchtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13 zum Abtasten der Oberfläche eines Objektes, insbesondere eines Wafers, eines Spiegels, einer Glasplatte oder einer Leiterplatte, verwendet wird.
Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungsvorrichtung mit dem ersten Brennpunkt (F1) etwa auf der Oberfläche des abzutastenden Objektes (1) gehalten wird, und die Beleuchtungsvorrichtung relativ zum Objekt (1) bewegt wird.