DE102005026708B4 - Positionierer mit Festkörpergelenk - Google Patents

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Abstract

Positionierer mit
– einer ersten Baueinheit (1, 1') und einer relativ zu der ersten Baueinheit (1, 1') verschieblichen zweiten Baueinheit (4, 5),
– einem zwischen der ersten Baueinheit (1, 1') und der zweiten Baueinheit (4, 5) wirkenden Slip-Stick-Antrieb zur Erzeugung einer Translationsbewegung zwischen den beiden Baueinheiten (1, 1'; 4, 5), welcher einen Aktuator (2), eine von dem Aktuator (2) betätigte Translationsachse (3) und die relativ zu der Translationsachse (3) verschiebliche zweite Baueinheit (4, 5) aufweist, und
– wenigstens einem mit der ersten Baueinheit und dem Aktuator (2) und/oder der Translationsachse (3) gekoppelten Festkörpergelenk (12, 13), welches den Aktuator (2) und/oder die Translationsachse (3) des Slip-Stick-Antriebs mechanisch gegen Drehung und/oder seitlichen Versatz sichert.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Positionierer, welcher insbesondere eine Positioniergenauigkeit im Sub-Millimeter-Bereich aufweist.
  • Positionierer mit Positioniergenauigkeiten im Sub-Millimeter-Bereich kommen in einer Vielzahl von Anwendungsbereichen in Forschung und Industrie zum Einsatz. Zur Erzielung einer hohen Positioniergenauigkeit müssen Systeme mit möglichst wenig mechanischen Teilen und mit einer hohen Qualität der Oberflächen im Bereich mechanischer Führungen oder Eingriffe verwendet werden. Neben einer möglichst hohen Reproduzierbarkeit und Skalierbarkeit von Bewegungswegen spielen Eigenschaften wie Erschütterungs-Unempfindlichkeit, Robustheit und Kompaktheit des Aufbaus im praktischen Gebrauch eine wesentliche Rolle. Darüber hinaus soll die Funktionsfähigkeit solcher Positionierer häufig auch unter Extrembedingungen wie beispielsweise Tieftemperatur, Ultrahochvakuum (UHV) oder hohe elektrische oder magnetische Felder erhalten bleiben.
  • Es sind verschiedene Bautypen von Positionierern bekannt. Ein bekannter Bautyp, welcher sowohl eine hohe Positioniergenauigkeit ermöglicht als auch grundsätzlich für den Einsatz unter Extrembedingungen geeignet ist, verwendet einen sogenannten Trägheitsmotor, der auch als Slip-Stick-Antrieb bezeichnet wird. Slip-Stick-Antriebe basieren auf dem Prinzip einer mechanischen Reibschlusskupplung, welche bei einer ersten Relativbewegungsrichtung zwischen den reibschlüssig in Eingriff stehenden Kupplungsteilen im Bereich der Haftreibung und bei der entgegengesetzten Relativbewegungsrichtung im Bereich der Gleitreibung arbeitet. Auf diese Weise ergibt sich eine translatorische Bewegung zwischen den beiden Kupplungsteilen, wobei die Richtung und die Schrittweite der Trans lationsbewegung über eine geeignete Ansteuerung eines Aktuators des Slip-Stick-Antriebs eingestellt werden kann.
  • Slip-Stick-Antriebe sind meist empfindlich und können durch Stoß leicht beschädigt werden. Insbesondere kann der Aktuator – welcher häufig als Piezoelement ausgeführt ist – brechen oder in sonstiger Weise Schaden erleiden. Stoßeinwirkungen entstehen erfahrungsgemäß häufig aufgrund von unsachgemäßer Handhabung beim Montieren des Positionierers in der gewünschten Anwendung oder auch beim Transport z.B. durch das Herunterfallen des Positionierers auf den Boden.
  • Positioniereinrichtungen mit Slip-Stick-Antrieb sind aus den Schriften EP 0 823 738 A2 sowie DE 196 44 550 C1 bekannt. Bei diesen bekannten Positionierern ist ein piezoelektrischer Aktuator des Slip-Stick-Antriebs mit einer ersten Baueinheit (Gehäuse) und einer Translationsachse des Antriebs fest verbunden.
  • Aus der Schrift US 6,075,311 A ist im Zusammenhang mit einem Positionierer für den Sub-Millimeter-Bereich die Verwendung eines Festkörpergelenks bekannt. Dort wird das Festkörpergelenk für die Übertragung einer durch den piezoelektrischen Aktuator erzeugten Klemmkraft eingesetzt.
    •
  • Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe besteht darin, einen gegen Stoß bzw. Erschütterung unempfindlicheren Positionierer zu schaffen.
  • Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabenstellung wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
  • Gemäß dem Anspruch 1 weist der erfindungsgemäße Positionierer eine erste Baueinheit und eine relativ zu der ersten Baueinheit verschiebliche zweite Baueinheit auf. Ferner weist der Positionierer einen zwischen der ersten Baueinheit und der zweiten Baueinheit wirkenden Slip-Stick-Antrieb zur Erzeugung einer Translationsbewegung zwischen den beiden Baueinheiten auf. Der Slip-Stick-Antrieb umfasst einen Aktuator, eine von dem Aktuator betätigte Translationsachse und die relativ zu der Translationsachse verschiebliche zweite Baueinheit. Mittels eines mit der ersten Baueinheit und dem Slip-Stick-Antrieb gekoppelten Festkörpergelenks ist die Translationsachse des Slip-Stick-Antriebs mechanisch gegen Drehung und/oder seitlichen Versatz gesichert.
  • Durch das erfindungsgemäße Festkörpergelenk wird also erreicht, dass Stöße und Erschütterungen, soweit sie eine Drehung und/oder einen seitlichen Versatz der Translationsachse bewirken würden, abgefangen werden. Dadurch wird insbesondere ein auf die Translationsachse einwirkender Aktuator als mechanisch schwächstes Glied des Slip-Stick-Antriebs gegen Beschädigung geschützt.
  • Nach einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung handelt es sich bei dem Festkörpergelenk um ein flaches Festkörperband, welches sich senkrecht zu der Translationsachse des Slip-Stick-Antriebs erstreckt. Ein Festkörpergelenk in Form eines flachen Festkörperbandes ermöglicht sowohl einen Schutz gegen Drehung als auch einen Schutz gegen seitlichen Versatz der Translationsachse.
  • Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist ein Aktuator des Slip-Stick-Antriebs fest mit dem Festkörpergelenk verbunden und das Festkörpergelenk steht fest mit der Translationsachse in Verbindung. In diesem Fall wird sowohl der Aktuator als auch die Translationsachse unmittelbar durch das Festkörpergelenk gesichert.
  • Vorteilhafterweise ist die Translationsachse ansonsten freitragend, d.h. lager- und befestigungsfrei gehalten. Dadurch werden die Betriebseigenschaften des Slip-Stick-Antriebs ver bessert und sein Anwendungsgebiet erweitert, da sich herausgestellt hat, dass das Vorsehen einer minimalen Anzahl von Lager- und/oder Aufhängungspunkten typischerweise die Funktionsfähigkeit des Slip-Stick-Antriebs insbesondere auch unter Extrembedingungen (z.B. bei Anwendungen über einen großen Temperaturbereich) verbessert.
  • Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel ist die Translationsachse des Slip-Stick-Antriebs an einem Aktuator des Slip-Stick-Antriebs und an dem Festkörpergelenk befestigt. Beispielsweise kann das eine Ende der Translationsachse fest mit dem Aktuator und das andere Ende der Translationsachse fest mit dem Festkörpergelenk verbunden sein. Auch in diesem Fall kann es günstig sein, wenn ansonsten keine weiteren Lager- oder Befestigungspunkte für die Translationsachse vorgesehen sind.
  • Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung kennzeichnet sich dadurch, dass die Translationsachse des Slip-Stick-Antriebs an mindestens zwei Festkörpergelenken befestigt ist. In diesem Fall kann vorgesehen sein, dass der Aktuator des Slip-Stick-Antriebs fest mit dem einen Festkörpergelenk verbunden ist und dass das andere Festkörpergelenk fest mit der Translationsachse in Verbindung steht. Wiederum kann es aus den bereits erwähnten Gründen vorteilhaft sein, wenn die Translationsachse ansonsten (d.h. bis auf die genannten Befestigungspunkte) lager- und befestigungsfrei (d.h. freitragend) ist.
  • Eine besonders vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung kennzeichnet sich dadurch, dass der Aktuator des Slip-Stick-Antriebs als Piezoelement realisiert ist. Piezoelemente sind insbesondere für Positionierer mit kleinen Schrittweiten (im Sub-Mikrometer-Bereich) der Translationsbewegung geeignet und profitieren in besonderem Maße von dem Schutz durch das oder die Festkörpergelenke, da sie bei einer Dreh- oder Scherkraftbeanspruchung leicht brechen können.
  • Eine bevorzugte Realisierung des erfindungsgemäßen Positionierers kennzeichnet sich dadurch, dass die erste Baueinheit in Form eines U-förmigen Gehäuses mit zwei Schenkeln und einem die Schenkel verbindenden Basisteil aufgebaut ist, wobei sich ein Festkörpergelenk oder mehrere Festkörpergelenke zwischen den Gehäuseschenkeln erstrecken. In diesem Fall kann der Aktuator des Slip-Stick-Antriebs zweckmäßigerweise an dem Basisteil des Gehäuses fixiert sein. Durch diese Realisierung eines erfindungsgemäßen Positionierers wird ein robuster und für praktische Anwendungen, insbesondere auch unter Extrembedingungen, geeigneter Aufbau des Positionierers geschaffen.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert; in diesen zeigt:
  • 1 perspektivische Ansichten der Bauteile eines erfindungsgemäßen Slip-Stick-Positionierers für Translationsbewegungen mit einem Festkörpergelenk;
  • 2 eine schematische Teilschnittdarstellung von drei die Slip-Stick-Mechanik realisierenden Bauteilen des in 1 gezeigten Positionierers;
  • 3 die in 2 dargestellten Bauteile in zusammengesetzter Anordnung;
  • 4 eine perspektivische Ansicht des Gehäuses eines erfindungsgemäßen Slip-Stick-Positionierers mit zwei Festkörpergelenken;
  • 5 das in 4 gezeigte Gehäuse in Draufsicht; und
  • 6 einen erfindungsgemäßen Slip-Stick-Positionierer bestehend aus den in den 2 bis 5 gezeigten Teilen in Draufsicht.
  • Der in 1 gezeigte Positionierer 1 weist ein U-förmiges Gehäuse 1, ein Piezoelement 2, eine Translationsachse 3, einen Träger 4 und ein in Art eines Schuhs ausgebildetes Träger-Gegenelement 5 auf. Das Gehäuse 1 ist aus einem Querprofil 1.1 und zwei senkrecht zu dem Querprofil 1.1 an dessen Enden angeordneten Schenkel 1.2, 1.3 aufgebaut. Zwischen den Enden der Schenkel 1.2, 1.3 erstreckt sich ein sogenanntes Festkörpergelenk 12, das später im Zusammenhang mit den 4 bis 6 näher erläutert wird. Im zusammengebauten Zustand (in 1 nicht dargestellt) erstreckt sich die Translationsachse 3 parallelmittig zwischen den beiden Schenkeln 1.2 und 1.3, wobei das querprofilseitige Ende 3.1 der Translationsachse 3 mit einer Endfläche des Piezoelements 2, z.B. durch Klebung, verbunden ist, während die gegenüberliegende Endfläche 2.1 des Piezoelements 2 ebenfalls, z.B. durch Klebung, mittig an der innenliegenden Fläche des Querprofils 1.1 angebracht ist. Die gegenüberliegende Endfläche 3.2 der Translationsachse 3 ist beispielsweise durch Klebung fest mit einer Kontaktfläche des Festkörpergelenks 12 verbunden.
  • Der Träger 4 weist an seiner Unterseite zwei Gleitvorsprünge mit Schrägflächenbereichen 4.1, 4.2 auf, die beispielsweise unter einem Winkel von 90° zueinander orientiert sind, siehe auch 2. Im Träger-Gegenelement 5 ist eine Gleitnut 5.1 vorgesehen, deren Querabmessung A im Wesentlichen der Querdimension der beiden Gleitvorsprünge entspricht und in deren Bodenbereich ebenfalls zwei unter 90° zueinander orientierte Schrägflächenbereiche 5.2, 5.3 vorhanden sind. Im zusammengebauten Zustand befindet sich die Translationsachse 3 zwischen dem Träger 4 und dem Träger-Gegenelement 5 und liegt mit ihren Umfangsflächen an den Schrägflächenbereichen 4.1, 4.2, 5.2, 5.3 an.
  • Wie in 3 ersichtlich, sind der Träger 4 und das Träger-Gegenelement 5 über einen Vorspannmechanismus miteinander gekoppelt. Der Vorspannmechanismus umfasst Schraubenfedern 9, die in Sackbohrungen 7 im Träger-Gegenelement 5 eingesetzt sind. An die Sackbohrungen 7 schließen sich bodenseitig Durchtrittsbohrungen 10 mit reduziertem Durchmesser an, welche im zusammengesetzten Zustand mit Gewindebohrungen 6 in dem Träger 4 ausgerichtet sind. Eine Schraube 11 stützt sich mit ihrem Schraubkopf an der Schraubenfeder 9 ab, durchsetzt die Schraubenfeder 9 und die Durchtrittsbohrung 10 und ist mit ihrem Gewindeende in die Gewindebohrung 6 eingeschraubt. Durch diesen Vorspannmechanismus kann erreicht werden, dass der Träger 4 und das Träger-Gegenelement 5 mit einer genau definierten Andruckkraft gegeneinander verspannt sind. Die Andruckkraft definiert die Stärke des reibschlüssigen Eingriffs, mit welchem die Schrägflächenbereiche 4.1, 4.2, 5.2, 5.3 an den Umfangsflächen der Translationsachse 3 angreifen. In 3 ist die Translationsachse 3 nicht dargestellt. Der Aufbau aus Translationsachse 3, Träger 4 und Träger-Gegenelement 5 realisiert die Slip-Stick-Mechanik.
  • Um eine definierte Andruckkraft des Trägers 4 und des Träger-Gegenelements 5 auf die Translationsachse 3 zu gewährleisten, muss sichergestellt sein, dass der Träger 4 und das Träger-Gegenelement 5 allein über die Schraubenfedern 7 kräftemäßig miteinander gekoppelt sind, d.h. keine Kraftnebenschlüsse zwischen diesen Teilen auftreten. Die in 3 eingezeichneten Spaltmaße zwischen dem Träger 4 und dem Träger-Gegenelement 5 können beispielsweise B1 = 0,5 mm, B2 = 0,4 mm, B3 = 0,2 mm und B4 = 0,2 mm sein.
  • Die 4 bis 6 zeigen einen erfindungsgemäßen Positionierer. Dieser unterscheidet sich von dem anhand der 1 bis 3 beschriebenen Positionierer allein dadurch, dass sein Gehäuse 1' mit einem weiteren Festkörpergelenk 13 versehen ist.
  • Die beiden Festkörpergelenke 12, 13 erstrecken sich zwischen den Schenkeln 1.2 und 1.3 des Gehäuses 1'. Das gesamte Gehäuse 1' einschließlich der Festkörpergelenke 12, 13 ist vorzugsweise, z.B. durch eine Fräsbearbeitung, aus einem Stück gefertigt, d.h. die Festkörpergelenke 12, 13 sind aus demselben Material (z.B. Titan) wie das Querprofil 1.1 und die Schenkel 1.2, 1.3. Die Festkörpergelenke 12, 13 sind in Form dünner Bänder realisiert und können querverlaufende Verdünnungsabschnitte 12.1 bzw. 13.1 aufweisen. Vorzugsweise werden die Übergangsbereiche zwischen den Schenkeln 1.2, 1.3 des Gehäuses 1' und den Festkörpergelenken 12, 13 durch derartige Verdünnungsabschnitte 12.1 bzw. 13.1 realisiert, und es wird vorzugsweise zwischen zwei Verdünnungsabschnitten 12.1, 13.1 ein ebener zentraler Kontaktflächenbereich 12.2, 13.2 definiert.
  • Wie in 6 erkennbar, befindet sich das Piezoelement 2 vorzugsweise zwischen dem Festkörpergelenk 13 und dem Quer profil 1.1 und ist mit seiner einen Endfläche 2.1, z.B. durch Verklebung, fest mit dem Querprofil 1.1 verbunden und mit seiner anderen Endfläche, z.B. ebenfalls durch Verklebung, fest mit der Rückseite der zentralen Zone 13.2 des inneren Festkörpergelenks 13 verbunden. Die Translationsachse 3 ist an ihrer einen Endfläche, z.B. durch Verklebung, fest mit dem inneren Festkörpergelenk 13 und an ihrer anderen Endfläche, z.B. durch Verklebung, fest mit der zentralen Zone 12.2 des randseitigen Festkörpergelenks 12 verbunden. Die gesamte Anordnung ist freitragend, d.h. die Festkörpergelenke 12, 13 bilden die einzigen Aufhängungspunkte für die aus der Translationsachse 3, dem Träger 4 und dem Träger-Gegenelement 5 bestehende Slip-Stick-Mechanik. Die Spalte D zur Vermeidung von Kraftnebenschlüssen können z.B. 0,2 mm betragen.
  • Die Umfangsform der Translationsachse 3 muss nicht quadratisch sein, sondern kann andere polygonale Gestaltungen oder Rundformen aufweisen. Es hat sich jedoch gezeigt, dass aufgrund ihrer hohen Oberflächengüte (Ebenheit) polygonale, insbesondere quadratische Umfangsformen wesentlich bessere Funktionseigenschaften aufweisen als Rundformen.
  • Die in den 4 bis 6 dargestellte Anordnung kann in vielfältiger Weise variiert werden. Bei einer ersten vereinfachten Bauweise entfällt das Festkörpergelenk 13. In diesem Fall, der exemplarisch bereits in 1 dargestellt ist, ist die Translationsachse 3 an ihrer einen Endfläche 3.1 fest mit dem Piezoelement 2 verbunden (z.B. verklebt) und an ihrer anderen Endfläche 3.2 fest an das Festkörpergelenk 12 ankontaktiert.
  • Es ist auch möglich, statt auf das Festkörpergelenk 13 auf das Festkörpergelenk 12 zu verzichten. In diesem Fall (zweite vereinfachte Bausweise) ist das Piezoelement 2 in der bereits beschriebenen Weise in den Zwischenraum zwischen dem Querprofil 1.1 und dem Festkörpergelenk 13 eingeklebt. Das Festkörpergelenk 13 trägt (z.B. ebenfalls über eine Verklebung) die Translationsachse 3 und damit die gesamte Slip-Stick-Mechanik 3, 4, 5.
  • Alle angesprochenen Varianten haben gemeinsam, dass bis auf die genannten Befestigungspunkte (Festkörpergelenke 12 und/oder 13 bzw. Piezoelement 2) keine weiteren Befestigungs- oder Lagerpunkte für die Slip-Stick-Mechanik 3, 4, 5 vorgesehen sein können. Durch diese lager- und stützelementfreie Realisierung wird die Genauigkeit und Reproduzierbarkeit von Bewegungswegen des Positionierers insbesondere bei Anwendungen über einen breiten Temperaturbereich entscheidend verbessert.
  • Sämtlichen Ausführungsvarianten ist gemeinsam, dass sie das oder die Festkörpergelenke 12, 13 und das Piezoelement 2 vor mechanischen Beschädigungen (Bruch) schützen. Denn durch das Vorhandensein des Festkörpergelenks 13 wird erreicht, dass eine Drehbeaufschlagung oder eine Beaufschlagung der Translationsachse 3 mit einer seitlichen Kraft von dem Festkörpergelenk 13 abgefangen und damit nicht oder nur in abgeschwächter Form auf das Piezoelement 2 übertragen wird. Das Festkörpergelenk 12 sichert die Translationsachse 3 ebenfalls gegenüber seitlicher Auslenkung oder gegenüber Verdrehung, sodass selbst bei Nichtvorhandensein des Festkörpergelenks 13 bei Stoß oder Erschütterungen nur vergleichsweise geringere Dreh- oder Scherkräfte auf das Piezoelement 2 einwirken.
  • Die Funktionsweise des erfindungsgemäßen translatorischen Slip-Stick-Positionierers ist bekannt und wird im Folgenden nur kurz angesprochen. Typischerweise ist das Gehäuse 1, 1' ortsfest, während der Träger 4 über den Slip-Stick-Antrieb 2, 3, 4, 5 gegenüber dem Gehäuse 1, 1' in Längsrichtung der Translationsachse 3 (Pfeil P) verschiebbar ist. Durch Anlegen einer Sägezahn-Spannung mit flacher aufsteigender Flanke und steiler abfallender Flanke expandiert das Piezoelement 2 langsam und kontrahiert anschließend schnell. Infolgedessen wird die Translationsachse 3 langsam in Richtung ihres freien Endes verschoben und schnell in Richtung zum Querprofil 1.1 zurückgezogen. Da bei der langsamen Bewegung Haftreibung zwischen der Translationsachse 3 und den Schrägflächenbereichen 4.1, 4.2, 5.2, 5.3 auftritt, während bei der schnellen Bewegung aufgrund der Trägheit des Trägers 4 und des Träger-Gegenelements 5 Gleitreibung auftritt, bewirkt eine derartige elektrische Ansteuerung des Piezoelements 2 eine Bewegung des Trägers 4 mit Träger-Gegenelement 5 in Richtung von dem Querprofil 1.1 weg. Bei Verwendung einer inversen Sägezahn-Spannung (steile aufsteigende Flanke, langsam abfallende Flanke) erfolgt eine Bewegung des Trägers 4 mit Träger-Gegenelement 5 in Gegenrichtung. Die Schrittweite des Slip-Stick-Antriebs 2, 3, 4, 5 kann über die Höhe der angelegten Spannung gesteuert werden und z. B. zwischen 10 nm und 1 μm betragen.
  • Der 5 sind in beispielhafter Weise Dimensionsangaben eines erfindungsgemäßen Gehäuses 1' mit zwei Festkörpergelenken 12, 13 zu entnehmen. Das Gehäuse 1' kann beispielsweise quadratisch sein und die Außenmaße C1 = C3 = 24 mm aufweisen.
  • Ferner kann C2 = 20 mm, C4 = 18 mm, C5 = 12 mm, C6 = 5,6 mm und C7 = 3 mm gewählt sein. Eine typische maximale Auslenkung der Festkörpergelenke 12, 13 aufgrund der translatorischen Bewegung der Translationsachse 3 kann etwa im Bereich von 10 μm liegen und wird im Wesentlichen dadurch ermöglicht, dass die Dimension C2 um mehr als drei Größenordnungen größer als die erforderliche Translations-Auslenkung des Festkörpergelenks 12, 13 ist. Die (geringe) Durchbiegung der Festkörpergelenke 12, 13 in Art einer flexiblen Membran findet dabei hauptsächlich an den Verbindungsstellen 12.1, 13.1 statt.
    •

Claims (13)

  1. Positionierer mit – einer ersten Baueinheit (1, 1') und einer relativ zu der ersten Baueinheit (1, 1') verschieblichen zweiten Baueinheit (4, 5), – einem zwischen der ersten Baueinheit (1, 1') und der zweiten Baueinheit (4, 5) wirkenden Slip-Stick-Antrieb zur Erzeugung einer Translationsbewegung zwischen den beiden Baueinheiten (1, 1'; 4, 5), welcher einen Aktuator (2), eine von dem Aktuator (2) betätigte Translationsachse (3) und die relativ zu der Translationsachse (3) verschiebliche zweite Baueinheit (4, 5) aufweist, und – wenigstens einem mit der ersten Baueinheit und dem Aktuator (2) und/oder der Translationsachse (3) gekoppelten Festkörpergelenk (12, 13), welches den Aktuator (2) und/oder die Translationsachse (3) des Slip-Stick-Antriebs mechanisch gegen Drehung und/oder seitlichen Versatz sichert.
  2. Positionierer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Festkörpergelenk (12, 13) um ein flaches Festkörperband handelt, dass sich senkrecht zu der Translationsachse (3) des Slip-Stick-Antriebs erstreckt.
  3. Positionierer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das flache Festkörperband Verdünnungsstellen (12.1, 13.1) aufweist.
  4. Positionierer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktuator (2) des Slip-Stick-Antriebs fest mit dem Festkörpergelenk (13) verbunden ist und dass das Festkörpergelenk (13) fest mit der Translationsachse (3) in Verbindung steht.
  5. Positionierer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die an dem Festkörpergelenk (13) befestigte Translationsachse (3) ansonsten lager- und befestigungsfrei gehalten ist.
  6. Positionierer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Translationsachse (3) des Slip-Stick-Antriebs fest mit dem Aktuator (2) des Slip-Stick-Antriebs und fest mit dem Festkörpergelenk (12) in Verbindung steht.
  7. Positionierer nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die an dem Aktuator (2) des Slip-Stick-Antriebs und an dem Festkörpergelenk (12) befestigte Translationsachse (3) ansonsten lager- und befestigungsfrei gehalten ist.
  8. Positionierer nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Translationsachse (3) des Slip-Stick-Antriebs an mindestens zwei Festkörpergelenken (12, 13) befestigt ist.
  9. Positionierer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die an den mindestens zwei Festkörpergelenken (12, 13) befestigte Translationsachse (3) des Slip-Stick-Antriebs ansonsten lager- und befestigungsfrei gehalten ist.
  10. Positionierer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktuator (2) des Slip-Stick-Antriebs mit seiner einen Seite fest mit der ersten Baueinheit (1, 1') und mit seiner anderen Seite entweder fest mit dem Festkörpergelenk (13) oder fest mit der Translationsachse (3) verbunden ist.
  11. Positionierer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktuator (2) des Slip-Stick-Antriebs als Piezoelement (2) realisiert ist.
  12. Positionierer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Baueinheit (1, 1') in Form eines U-förmigen Gehäuses mit zwei Schenkeln (1.2, 1.3) und einem die Schenkel (1.2, 1.3) verbindenden Basisteil (1.1) aufgebaut ist, wobei sich das Festkörpergelenk (12; 13) oder die mehreren Festkörpergelenke (12, 13) zwischen den Gehäuseschenkeln (1.2, 1.3) erstrecken.
  13. Positionierer nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktuator (2) des Slip-Stick-Antriebs an dem Basisteil (1.1) des Gehäuses fixiert ist.
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