CN103618473B - 一种上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，包括底盘、基座、摩擦振子、振子驱动源、滑块，所述的滑块与所述的底盘之间设有提供预紧力的预紧力调整结构，所述的预紧力调整结构包括提供所述预紧力的调整螺钉，所述调整螺钉贯穿所述滑块和所述基座并与所述底盘连接，通过调节所述调整螺钉与所述底盘的螺纹接合长度，可以调节所述预紧力大小。本发明极大简化了运动平台预紧力的调整方式，便于加工和装配，进而有效提高了粘滑驱动跨尺度精密运动平台的输出性能，可简单有效确保粘滑驱动跨尺度精密运动平台的运动精度和一致性，适合批量生产化。
Description
技术领域
本发明属于精密运动技术领域，具体涉及了一种底部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台。
背景技术
具有纳米级运动分辨率，又具有毫米级运动行程的跨尺度精密运动技术是目前微驱动领域中的关键技术。由于粘滑驱动相对于其他类跨尺度运动驱动方式的驱动原理简单、方便、控制简单，且具有运动范围大、分辨率高、结构简单、易微小化和精确定位等优点，因此粘滑驱动是目前出现的跨尺度驱动中应用较多的一种方式。粘滑驱动的工作原理主要是以摩擦力作为驱动源，利用粘滑效应实现被驱动体的微小移动，具体地，被驱动体依靠锯齿形电压激励压电振子的不对称振动所形成的动静摩擦力之间的差异来最终实现跨尺度精密运动。而在粘滑驱动中，摩擦力的预紧调整是其中尤为关键的环节。
目前根据摩擦力的预紧结构和调整方式的不同，粘滑驱动跨尺度精密运动平台主要有永磁预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台、机械公差配合式粘滑驱动跨尺度精密运动平台以及上下弹簧预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台等。其中，永磁预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，相关的公开技术有公开号为WO2004077584A1、US2005284817A1等专利，其工作原理主要是利用三条压电晶体驱动腿来进行运动平台的支撑，依靠双圆柱体并列方式进行导向，其中摩擦预紧力的调整主要依靠在基座上安装永磁体，而运动输出平台同样采用磁体材料，通过磁体之间的磁吸力将压电晶体驱动腿的运动传递给运动平台，从而实现粘滑驱动跨尺度精密运动。其中，机械公差配合式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，相关的公开技术有公开号为WO2008/052785A1、WO2007/022764A1、DE102006052175A1等专利，其工作原理主要是利用摩擦振子与被驱动平台之间的机械公差配合来实现摩擦力的预紧，通常在摩擦振子与被驱动平台之间并没有额外的摩擦力调整机构，其配合面既实现摩擦的传递，也实现导向，其摩擦力的实现主要是依靠摩擦面介质的调整和机械配合公差的调整，来实现将摩擦振子的运动传递给运动平台。而上下弹簧预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，相关的公开技术有公开号或专利号为WO2009043421A1、US6940210B2、US7579752B2、US20080148589A1等专利，其工作原理主要是将运动平台分为上下两部分，通过拉力弹簧来实现上下部分与摩擦振子之间摩擦力的调整，拉力弹簧通过螺纹结构进行预紧力的调整，导向是依靠菱形摩擦面来实现，其摩擦预紧力的调整范围较小，较难适应摩擦界面的微小差异。
上述三种粘滑驱动跨尺度精密运动平台虽然在摩擦力的预紧结构和调整方式上有所不同，但其共同点为摩擦力的预紧结构和调整方式均设置地过为复杂，均会导致粘滑摩擦振子和运动平台之间接触界面的摩擦力调整受限，摩擦力调整范围较小，对摩擦界面的加工精度要求较高，进而导致对粘滑驱动平台的加工和装配精度要求较高，最终影响跨尺度精密运动平台的运动精度和一致性，因此这些现有技术在确保跨尺度精密运动平台批量化生产时的一致性上存在制作工艺复杂和制造成本高等技术难题。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种底部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，极大简化了运动平台预紧力的调整方式，便于加工和装配，进而有效提高了粘滑驱动跨尺度精密运动平台的输出性能，可简单有效确保粘滑驱动跨尺度精密运动平台的运动精度和一致性，适合批量生产化。
为了实现上述目的，本发明提供的技术方案如下：
一种上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，包括，
底盘；
基座，所述基座设置于所述底盘上方；
摩擦振子，所述的摩擦振子安装在所述的基座上；
振子驱动源，所述的振子驱动源安装在所述的摩擦振子与所述的基座之间，向摩擦振子提供驱动力；
滑块，设置于所述的摩擦振子上方，且与摩擦振子相互接触产生摩擦力；
所述的滑块与所述的底盘之间设有提供预紧力的预紧力调整结构，所述的预紧力调整结构包括提供所述预紧力的调整螺钉，所述调整螺钉贯穿所述滑块和所述基座并与所述底盘连接，通过调节所述调整螺钉与所述底盘的螺纹接合长度，可以调节所述预紧力大小。
优选地，所述调整螺钉的数量为两个，且以所述摩擦振子为中心分别设置于所述运动平台的两侧。
优选地，所述底盘为S型柔性底盘，所述S型柔性底盘的横截面呈凹形，所述S型柔性底盘的两端向上突出形成侧翼，所述侧翼上分别设置有螺纹孔，所述两个侧翼之间的平台形成与所述基座接触的接触面，所述平台与所述两个侧翼之间分别设置有S型柔性铰链。
优选地，所述的摩擦振子为柔性铰链结构。
优选地，所述的柔性铰链结构包括固定安装在所述基座上的平行板柔性铰链，所述平行板柔性铰链之间具有横梁部。
优选地，所述振子驱动源包括叠堆型压电陶瓷和驱动电源，所述叠堆型压电陶瓷通过导线与驱动电源电连接。
优选地，所述叠堆型压电陶瓷一端通过预紧螺母固定安装在所述基座上，另一端与所述摩擦振子接触。
优选地，所述滑块的横截面呈∏形，所述滑块的两侧向下凸出形成两个导向侧翼，所述导向侧翼设置有用于安装调整螺钉的通孔。
本发明提出在滑块底部与基座之间设置提供预紧力的预紧力调整结构，同时滑块与摩擦振子产生摩擦力，该预紧力调整结构通过在滑块底部对滑块施加可调整的预紧力，即可实现对滑块与摩擦振子之间摩擦力的调整，使得滑块与摩擦振子之间产生粘滑效应，即使得摩擦振子将其受到的与时间的关系曲线呈锯齿波形状的驱动力通过经调整后的摩擦力变化传递给滑块，最终实现滑块做跨尺度精密运动，因此本发明极大简化了运动平台预紧力的调整方式，且调整范围大、不会受到限制，进而有效提高了粘滑驱动跨尺度精密运动平台包括如运动精度的输出性能，可有效确保粘滑驱动跨尺度精密运动平台的运动精度和一致性，适合批量生产化；
在上述基础上，本发明进一步优化地，本发明的预紧力调整结构采用调整螺钉来调整预紧力大小，进而实现对滑块与摩擦振子之间摩擦力大小的调整，使得运动平台不会由于受到滑块负载变化而引起摩擦力的变化，更进一步优化地，配合S型柔性底盘，不但结构简单，便于加工和装配，而且，一方面可以避免与辅助支撑产生摩擦而引起运动方向上摩擦力的变化，另一方面在运动方向上采用刚性配合避免回程误差；进一步优化地，本发明提出由平行板柔性铰链和横梁部构成的摩擦振子，其中平行板柔性铰链可以起到对横梁部的导向和辅助回复的作用，并且在柔性铰链的保护下，运动平台仅完成沿粘滑驱动方向上的运动，而避免了垂直于运动方向的任何运动，以及外力的破坏，从而可以有效地提高整个平台的动力学性能，改善平台的动态响应特性；
综合以上所述内容，本发明提供的上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，极大简化了运动平台预紧力的调整方式，便于加工和装配，进而有效提高了粘滑驱动跨尺度精密运动平台的输出性能，可简单有效确保粘滑驱动跨尺度精密运动平台的运动精度和一致性，适合批量生产化，非常适合在如微纳操作、微小型机器人、生物微操作、数码产品以及精密驱动系统等具有结构微型化、大范围精确定位要求的各个领域中应用。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明具体实施方式中上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台的剖视图；
图2是图1中A-A剖视图；
图3是本发明具体实施方式中上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台的基座的立体结构示意图；
图4是本发明具体实施方式中上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台的滑块的剖视图；
图5是本发明具体实施方式中上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台的底盘的立体结构示意。
具体实施方式
本发明实施例公开了一种上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，包括，
底盘；
基座，所述基座设置于所述底盘上方；
摩擦振子，所述的摩擦振子安装在所述的基座上；
振子驱动源，所述的振子驱动源安装在所述的摩擦振子与所述的基座之间，向摩擦振子提供驱动力；
滑块，设置于所述的摩擦振子上方，且与摩擦振子相互接触产生摩擦力；
所述的滑块与所述的底盘之间设有提供预紧力的预紧力调整结构，所述的预紧力调整结构包括提供所述预紧力的调整螺钉，所述调整螺钉贯穿所述滑块和所述基座并与所述底盘连接，通过调节所述调整螺钉与所述底盘的螺纹接合长度，可以调节所述预紧力大小。
优选地，所述调整螺钉的数量为两个，且以所述摩擦振子为中心分别设置于所述运动平台的两侧。
优选地，所述底盘为S型柔性底盘，所述S型柔性底盘的横截面呈凹形，所述S型柔性底盘的两端向上突出形成侧翼，所述侧翼上分别设置有螺纹孔，所述两个侧翼之间的平台形成与所述基座接触的接触面，所述平台与所述两个侧翼之间分别设置有S型柔性铰链。
优选地，所述的摩擦振子为柔性铰链结构。
优选地，所述的柔性铰链结构包括固定安装在所述基座上的平行板柔性铰链，所述平行板柔性铰链之间具有横梁部。
优选地，所述振子驱动源包括叠堆型压电陶瓷和驱动电源，所述叠堆型压电陶瓷通过导线与驱动电源电连接。
优选地，所述叠堆型压电陶瓷一端通过预紧螺母固定安装在所述基座上，另一端与所述摩擦振子接触。
优选地，所述滑块的横截面呈∏形，所述滑块的两侧向下凸出形成两个导向侧翼，所述导向侧翼设置有用于安装调整螺钉的通孔。
本发明提出在滑块底部与基座之间设置提供预紧力的预紧力调整结构，同时滑块与摩擦振子产生摩擦力，该预紧力调整结构通过在滑块底部对滑块施加可调整的预紧力，即可实现对滑块与摩擦振子之间摩擦力的调整，使得滑块与摩擦振子之间产生粘滑效应，即使得摩擦振子将其受到的与时间的关系曲线呈锯齿波形状的驱动力通过经调整后的摩擦力变化传递给滑块，最终实现滑块做跨尺度精密运动，因此本发明极大简化了运动平台预紧力的调整方式，且调整范围大、不会受到限制，进而有效提高了粘滑驱动跨尺度精密运动平台包括如运动精度的输出性能，可有效确保粘滑驱动跨尺度精密运动平台的运动精度和一致性，适合批量生产化；
在上述基础上，本发明进一步优化地，本发明的预紧力调整结构采用调整螺钉来调整预紧力大小，进而实现对滑块与摩擦振子之间摩擦力大小的调整，使得运动平台不会由于受到滑块负载变化而引起摩擦力的变化，更进一步优化地，配合S型柔性底盘，不但结构简单，便于加工和装配，而且，一方面可以避免与辅助支撑产生摩擦而引起运动方向上摩擦力的变化，另一方面在运动方向上采用刚性配合避免回程误差；进一步优化地，本发明提出由平行板柔性铰链和横梁部构成的摩擦振子，其中平行板柔性铰链可以起到对横梁部的导向和辅助回复的作用，并且在柔性铰链的保护下，运动平台仅完成沿粘滑驱动方向上的运动，而避免了垂直于运动方向的任何运动，以及外力的破坏，从而可以有效地提高整个平台的动力学性能，改善平台的动态响应特性；
综合以上所述内容，本发明提供的上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，极大简化了运动平台预紧力的调整方式，便于加工和装配，进而有效提高了粘滑驱动跨尺度精密运动平台的输出性能，可简单有效确保粘滑驱动跨尺度精密运动平台的运动精度和一致性，适合批量生产化，非常适合在如微纳操作、微小型机器人、生物微操作、数码产品以及精密驱动系统等具有结构微型化、大范围精确定位要求的各个领域中应用。
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明中的技术方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
请参见图1，本发明实施例公开了一种上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，包括：
底盘5；基座4，基座4设置于底盘5上方，为了便于结构安装和动力传递，优选地，在本实施方式中，基座4设置为框形结构；
摩擦振子，为柔性铰链结构，具体包括固定安装在呈框形结构的基座4的内框面的平行板柔性铰链41a、41b，平行板柔性铰链41a、41b之间具有横梁部43，请参考图3；
振子驱动源，其安装在横梁部43与基座4之间，向横梁部43提供驱动力，该驱动力与时间的关系曲线呈锯齿波形状；具体地，在本实施方式中，如图2所示，振子驱动源包括叠堆型压电陶瓷6和驱动电源（图未示出），叠堆型压电陶瓷6通过导线（图未示出）与驱动电源电连接，叠堆型压电陶瓷6一端通过预紧螺母7固定安装在基座4上，另一端与横梁部43接触。为了便于结构安装和动力传递，横梁部43的一端部可设置凹槽，叠堆型压电陶瓷6位于该凹槽内。
滑块1，设置于横梁部43的上方，且与横梁部43相互接触产生摩擦力，其中滑块1与底盘5之间设有提供预紧力的预紧力调整结构，用于调整摩擦力大小，滑块1与横梁部43之间产生粘滑效应，滑块1做跨尺度精密运动。
优选地，请参见图1，预紧力调整结构包括提供预紧力的调整螺钉2，调整螺钉2贯穿滑块1和基座4并与底盘5连接，通过调节调整螺钉2与底盘5的螺纹接合长度，可以调节预紧力大小。
在本发明优选实施例中，调整螺钉2的数量为两个，这两个调整螺钉2以摩擦振子为中心分别设置于运动平台的两侧，以使得滑块1两侧所受到的摩擦力得到平衡。
如图5所示，底盘5为S型柔性底盘，S型柔性底盘的横截面呈凹形，S型柔性底盘的两端向上突出形成侧翼51，侧翼51上分别设置有螺纹孔53，两个侧翼51之间的平台52形成与基座4接触的接触面，平台52与两个侧翼51之间分别设置有S型柔性铰链54。安装时，侧翼51与横梁部43两侧间隙配合实现滑块1运动方向的导向；平台52与横梁部43的下表面接触，传递摩擦力的变化。
如图4所示，滑块1的横截面呈∏形，滑块1的两侧向下凸出形成两个导向侧翼12，导向侧翼12设置有用于安装调整螺钉2的通孔14，两个导向侧翼12之间形成平台13。安装时，滑块1的顶面连接负载和被驱动样品，导向侧翼12与横梁部43两侧间隙配合实现滑块1运动方向的导向，平台13与横梁部43的上表面接触，传递摩擦力的变化；通孔14用于容纳调整螺钉2，并与调整螺钉2的光杆部分实现间隙配合，采用这种刚性配合有效避免了粘滑运动的回程误差。此外，可在滑块1与调整螺钉2的配合处设置预紧弹簧垫圈3。
优选地，在本实施例方式中，基座4和滑块1采用轻密度金属材料制成，具体如铝合金或钛合金材料；叠堆型压电陶瓷6可采用公知标准件，具体优选地，可选用如PZT5等类型的硬压电陶瓷材料；预紧螺钉7优选重密度金属材料，如不锈钢、铜等；调整螺钉2和预紧弹簧垫圈3可采用公知标准件。
本发明所揭示的上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，叠堆型压电陶瓷6在驱动电源作用下，产生与时间的关系曲线呈锯齿波形状的驱动力，利用叠堆型压电陶瓷6的锯齿波对粘滑驱动跨尺度精密运动平台基座4中的横梁部43进行激励，横梁部43受到该驱动力作用后与叠堆型压电陶瓷6同步做与时间的关系曲线呈锯齿波形状的位移运动，在该位移运动过程中，横梁部43与滑块1之间产生摩擦力，同时位于滑块1与底盘5之间的预紧力调整结构将该摩擦力调整在适当的范围内，具体地，通过调整螺纹孔53与调整螺钉2的螺纹接合长度，实现调整S型柔性铰链54的变形量，最终改变滑块1、底盘5与横梁部43之间的摩擦力，使得滑块1与横梁部43之间产生粘滑效应，即横梁部43将其受到与时间的关系曲线呈锯齿波形状的驱动力通过经调整后的摩擦力变化传递给滑块1，滑块1做与时间的关系曲线呈锯齿波形状的位移运动，即实现了滑块1的跨尺度精密运动。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (1)
1.一种上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，包括，
底盘；
基座，所述基座设置于所述底盘上方；
摩擦振子，所述的摩擦振子安装在所述的基座上；
振子驱动源，所述的振子驱动源安装在所述的摩擦振子与所述的基座之间，向摩擦振子提供驱动力；
滑块，设置于所述的摩擦振子上方，且与摩擦振子相互接触产生摩擦力；
其中，
所述的滑块与所述的底盘之间设有提供预紧力的预紧力调整结构，所述的预紧力调整结构包括提供所述预紧力的调整螺钉，所述调整螺钉贯穿所述滑块和所述基座并与所述底盘连接，通过调节所述调整螺钉与所述底盘的螺纹接合长度，可以调节所述预紧力大小，
其特征在于：所述底盘为S型柔性底盘，所述S型柔性底盘的横截面呈凹形，所述S型柔性底盘的两端向上突出形成侧翼，所述侧翼上分别设置有螺纹孔，两个所述侧翼之间的平台形成与所述基座接触的接触面，所述平台与两个所述侧翼之间分别设置有S型柔性铰链。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310617608.4A CN103618473B (zh) | 2013-11-27 | 2013-11-27 | 一种上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310617608.4A CN103618473B (zh) | 2013-11-27 | 2013-11-27 | 一种上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103618473A CN103618473A (zh) | 2014-03-05 |
| CN103618473B true CN103618473B (zh) | 2016-08-17 |
Family
ID=50169176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201310617608.4A Active CN103618473B (zh) | 2013-11-27 | 2013-11-27 | 一种上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103618473B (zh) |
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| CN104088871B (zh) * | 2014-06-27 | 2016-03-02 | 华南理工大学 | 一种精密定位驱动端预紧装置 |
| CN104868781B (zh) * | 2015-06-10 | 2017-07-14 | 苏州大学 | 一种上部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台 |
| CN105084309B (zh) * | 2015-07-30 | 2017-03-01 | 苏州大学张家港工业技术研究院 | 基于柔性铰链的可调预紧式粘滑驱动定位平台 |
| CN105071687B (zh) * | 2015-08-24 | 2017-03-08 | 苏州大学张家港工业技术研究院 | 具有侧部摩擦力调整机构的粘滑驱动跨尺度精密定位平台 |
| CN110190774B (zh) * | 2019-04-30 | 2020-06-26 | 宁波大学 | 一种压电粘滑直线电机 |
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| CN203632576U (zh) * | 2013-11-27 | 2014-06-04 | 苏州大学 | 一种上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2369489B (en) * | 2000-11-23 | 2004-03-10 | Khaled Karrai | Inertial rotation device |
| DE102005026708B4 (de) * | 2005-06-09 | 2007-05-03 | Attocube Systems Ag | Positionierer mit Festkörpergelenk |
-
2013
- 2013-11-27 CN CN201310617608.4A patent/CN103618473B/zh active Active
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Also Published As
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|---|---|
| CN103618473A (zh) | 2014-03-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |