DE102005022125A1 - Light pattern microscope with auto focus mechanism, uses excitation or detection beam path with auto focus for detecting position of focal plane - Google Patents

Light pattern microscope with auto focus mechanism, uses excitation or detection beam path with auto focus for detecting position of focal plane

Info

Publication number
DE102005022125A1
DE102005022125A1 DE200510022125 DE102005022125A DE102005022125A1 DE 102005022125 A1 DE102005022125 A1 DE 102005022125A1 DE 200510022125 DE200510022125 DE 200510022125 DE 102005022125 A DE102005022125 A DE 102005022125A DE 102005022125 A1 DE102005022125 A1 DE 102005022125A1
Authority
DE
Grant status
Application
Patent type
Prior art keywords
spot
line
scanning microscope
focal plane
lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE200510022125
Other languages
German (de)
Inventor
Daniel Dr. Bublitz
Peter Dr. Westphal
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/24Base structure
    • G02B21/241Devices for focusing
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes

Abstract

A light pattern microscope has an excitation and detection beam path, a device (9) for patterned scanning of an object (2) by shifting an imaged spot-, line-, or multi-spot zone over the object (2). An auto focus device (22) is coupled into the excitation or detection beam path (3,4) for detecting a position of the focus plane (F) of the objective (6), which images different depth zones at the image spot-, line-, or multi-spot zone in different locations of the location-resolving detector (20).

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Lichtrastermikroskop mit einem Anregungs- und einem Detektionsstrahlengang, Mitteln zur rasternden Abtastung eines Objektes durch Verschieben eines abgebildeten Spot- oder Multispotbereiches über das Objekt und einem den Spot- oder Multispotbereich abbildenden Objektiv, wobei für das Objektiv ein Fokusverstellmechanismus vorgesehen ist. The invention relates to a light-scanning microscope with an excitation and a detection beam path, means for scanning-based scanning an object by displacement of an imaged spot or multi-spot area about the object and a the spot or multi-spot area imaging lens, wherein a Fokusverstellmechanismus is provided for the lens ,
  • Lichtrastermikroskope sind im Stand der Technik bekannt, hierzu wird beispielsweise auf die Light scanning microscopes are known in the art, this is for example to the DE 197 02 753 A1 DE 197 02 753 A1 oder die or DE 102 57 237 A1 DE 102 57 237 A1 verwiesen, die ein als Laserscanningmikroskop ausgebildetes Lichtrastermikroskop beschreibt. reference, which describes a designed as a laser scanning microscope light microscope. In diesem Zusammenhang sei angemerkt, daß hier unter dem Begriff "Licht" der gesamte den optischen Gesetzen gehorchende Bereich der Strahlung verstanden wird. In this context, that the radiation is here meant by the term "light" of the entire obeying the laws of optics area is noted.
  • Lichtrastermikroskope erreichen ein Objektbild üblicherweise durch Abbildung des genannten Spot- oder Multispotbereiches mit einer Detektion, die keine Struktur des Spots oder der Multispots auflöst (zB konfokale Detektion). Light scanning microscopes achieve an object image usually by imaging said spot or multi-spot region with a detection that dissolves no structure of the spot, or the multi-spots (eg, confocal detection). Verschieben des Spot- oder Multispotbereiches über das Objekt liefert das Bild. Moving the spot or multi-spot area about the object provides the image. Am Detektor liegt immer nur Strahlungsinformation zum jeweiligen Spot- bzw. Multispotbereich vor, und ein elektronisches Zusammenfügen dieser Bildinformation unter Berücksichtigung der Verschiebung des Spot- oder Multispotbereiches führt zum gewünschten Bild. At the detector is always only radiation information for each spot or multi-spot area in front, and an electronic assembly of this image information taking into account the displacement of the spot or multi-spot range lead to the desired image. Konfokale Detektion ist dabei eine Möglichkeit, eine sehr hohe Tiefenauflösung zu erreichen. Confocal detection is a way to reach a very high depth resolution. Die Signalauswertung ist dann im wesentlichen auf die Fokalebene eingeschränkt, da außerhalb der Fokalebene liegende Bereiche keine wesentliche Signalinformation bei der konfokalen Detektion liefern; The signal processing is then restricted essentially to the focal plane, as lying outside the focal plane areas do not provide significant signal information in confocal detection; sie werden vor oder hinter die Konfokalblende abgebildet. they are displayed in front of or behind the confocal diaphragm.
  • Die Einstellung der Fokalebenenlage ist damit für ein Lichtrastermikroskop, insbesondere wenn es mit konfokaler Detektion arbeitet, äußerst wichtig. The setting of the Fokalebenenlage making for a light microscope, especially when working with confocal detection is extremely important. Dies gilt insbesondere, wenn man eine Probe verwendet, die dicker ist als der Schärfentiefebereich des Objektivs. This is especially true when using a sample that is thicker than the depth of field of the lens. Man muß dann vor der Messung in der Probe diejenige Ebene anfahren, die vermessen werden soll. One must then move to prior to the measurement in the sample that plane that is to be measured. Zwar sind bei üblichen Lichtrastermikroskopen die Fokusverstellmechanismen hochpräzise, was es erlauben würde, zuerst eine bekannte Referenzfläche anzufahren, und dann die Fokusebene auf den gewünschten Abstand zur Referenzfläche zu stellen, jedoch kann sich der Abstand der aktuellen Fokusebene gegenüber der Referenzfläche aufgrund thermischer Effekte, durch Erschütterungen oder durch andere Störeinflüsse zeitlich verändern. While in conventional light scanning microscopes the Fokusverstellmechanismen are high-precision, which would make it possible first to move to a known reference surface, and then provide the focal plane to the desired distance to the reference surface, however, the distance between the current focus plane relative to the reference surface due to thermal effects can, by shocks or change in time by other interference. Man müßte dann intermittierend immer wieder den Abstand zur Referenzfläche überprüfen, was sehr aufwendig wäre. One would then have intermittently always check the distance to the reference surface, which would be very costly.
  • Für übliche Mikroskope bekannte Autofokusansätze sind bei Lichtrastermikroskopen oftmals nicht verwendbar. For conventional microscopes known autofocus approaches are often not used in light scanning microscopes. Dies gilt für alle Ansätze, die eine strukturierte Beleuchtung der Probe vornehmen und anhand der Struktur die Fokussierung erreichen. This applies to all approaches that make a structured illumination of the sample and reach the focusing means of the structure. Da bei einem Lichtrastermikroskop zu jedem Zeitpunkt aber nur ein Spot- oder Multispotbereich ohne Auflösung der Struktur des einzelnen Spots abgebildet wird, ist eine strukturierte Beleuchtung nicht möglich, da die Struktur nicht aufgelöst werden könnte. However, since only one spot or multi-spot area is imaged without resolution of the structure of the individual spots with a light microscope at any time, structured illumination is not possible because the structure could not be resolved. Ansätze wie aus der Approaches such as from the US 6.545.765 US 6,545,765 oder or US 5.604.344 US 5,604,344 , die für Autofokuszwecke eine strukturierte Probenbeleuchtung bewirken, sind deshalb für Lichtrastermikroskope generell untauglich. Which bring about a structured sample illumination for autofocus purposes are therefore generally unsuitable for light scanning microscopes.
  • Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Lichtrastermikroskop der genannten Art so auszugestalten, daß eine genaue Bestimmung der Lage der Fokusebene aufwandsgering möglich ist. The invention is therefore based on the object to design a light scanning microscope of the type mentioned that a precise determination of the position of the focal plane expenses low is possible.
  • Diese Aufgabe wird durch ein Lichtrastermikroskop der eingangs genannten Art gelöst, das eine Autofokuseinrichtung zum Erfassen einer Lage der Fokusebene des Objektives aufweist, die unterschiedliche Tiefenbereiche am abgebildeten Spot- oder Multispotbereich auf unterschiedliche Orte eines ortsauflösenden Detektors abbildet. This object is achieved by an optical scanning microscope of the type mentioned, which has an autofocus device for detecting a position of the focal plane of the objective, maps the different depth ranges at the imaged spot or multi-spot area on different locations of a spatially resolving detector. Das erfindungsgemäße Lichtrastermikroskop bildet somit an jedem Spot einen Tiefenausschnitt auf den ortsauflösenden Detektor ab, so daß die Lage nicht nur der Fokusebene sondern auch einer Referenzebene, beispielsweise eines Übergangsglas/Probenmaterial ermittelt werden kann. The light-scanning microscope according to the invention thus forms on each spot from a low cutout on the spatially resolving detector, so that the position not only of the focal plane but also a reference plane, for example, of a transition glass / sample material can be determined. Das Lichtrastermikroskop ermittelt damit die Lage der Fokusebene bezogen zur Referenzebene. so that the light scanning microscope to determine the position of the focal plane relative to the reference plane. Der Fokusverstellmechanismus wird dann so angesteuert, daß der Abstand der Fokusebene, die die Meßebene darstellt, von der Referenzebene auf ein bestimmtes Maß konstant gehalten wird, bzw. sich anwendungsspezifischen Vorgaben gemäß verändert. The Fokusverstellmechanismus is then driven so that the distance of the focal plane, which represents the measurement plane is kept constant from the reference plane to a certain level, or changed according to application-specific requirements.
  • Die Erfindung setzt also erstmals eine tiefenaufgelöste Abbildung des Spot- oder Multispotbereiches zur Autofokussierung ein. The invention thus for the first time uses a depth-resolved image of the spot or multi-spot area for autofocusing. Um die Tiefenauflösung wiederzugeben, genügt ein eindimensionales Detektorelement. To reflect the depth resolution, enough a one-dimensional detector element. Die Koordinate des Detektorelementes skaliert die Tiefeninformation. The coordinate of the detector element scales the depth information. Die Intensität der abgebildeten Strahlung aus dem Spot- oder Multispotbereich hängt von der einen Ortskoordinate des Detektorelementes ab, welche wiederum unter Berücksichtigung der Abbildungsgegebenheiten der Tiefenkoordinate zugeordnet ist. The intensity of the imaged radiation from the spot or multi-spot range depends on a spatial coordinate of the detector element, which in turn is associated with taking into account the imaging conditions of the depth coordinate.
  • In der einfachsten Bauweise genügt folglich eine Detektorzeile, auf die die tiefenabhängige ortsaufgelöste Abbildung so erfolgt, daß unterschiedliche Tiefenbereiche auf unterschiedliche Bereiche der Detektorzeile zur Abbildung gebracht sind. In the simplest design a detector line, to which the depth-dependent spatial resolution imaging is performed such that different depth regions are brought to different regions of the detector array for imaging consequently suffices. Die Mitte der Detektorzeile befindet sich in einer zur Fokalebene konjugierten Ebene, anstatt der sonst üblichen konfokalen Blende. The center of the detector array is located in a plane conjugate to the focal plane level, instead of the usual pinhole.
  • Die tiefenauflösende Abbildung kann mittels einer der Detektorzeile vorgeschalteten anamorphotischen Optik realisiert werden, die auf die Detektorzeile einen Linienfokus bündelt, der mit der Detektorzeile in einer Ebene liegt und die Detektorzeile schneidet. The low-resolution image can be realized by means of one of the detector line upstream anamorphic optical system which converges a line focus at the detector line, which lies to the detector line in one plane and the detector line intersects. Eine Verkippung der anamorphotischen Optik oder der Detektorzeile realisiert diese geometrische Anordnung besonders einfach. A tilting of the anamorphic optical system or the detector line realizes this geometric arrangement particularly simple. Die anamorphotische Optik kann beispielsweise als Zylinderlinse, als torische Linse oder als Kombination eines eindimensionalen holographischen Diffusors mit einer sphärischen Linse realisiert werden. The anamorphic lens system can be realized for example as a cylindrical lens, a toric lens or as a combination of a one-dimensional holographic diffuser with a spherical lens.
  • Beim Lichtrastermikroskop kommen prinzipiell der Anregungs- oder der Detektionsstrahlengang in Frage, um die Strahlung für die Autofokuseinrichtung auszukoppeln. By the light microscope the excitation or detection beam path being suitable in principle for coupling the radiation for the autofocus device. Vorteilhafterweise erfolgt die Einbindung in den Anregungsstrahlengang. Advantageously, the inclusion in the excitation beam path is carried out. Dann wird Anregungslicht, das aus der Fokusebene des Objektes bzw, von der Referenzebene zurückreflektiert wird, in der Autofokuseinrichtung verwendet. Then, excitation light respectively from the focal plane of the object, is reflected back from the reference plane used in the autofocus device. Eine Erhöhung der Strahlungsleistung, mit der Anregungslicht auf das Objekt gerichtet ist, ist nicht nötig, da die Autofokuseinrichtung sich auf die Strahlungsintensität im Detektionsstrahlengang in keiner Weise auswirkt. An increase in the radiation power is directed to the excitation light to the object that is not necessary because the autofocus device affects the radiation intensity in the detection beam path in any way. Aus baulichen Gründen kann es natürlich auch angezeigt sein, die Autofokuseinrichtung in den Detektionsstrahlengang einzubinden. For structural reasons, it can of course also be appropriate to involve the autofocus device in the detection beam path. Da das Autofokusverfahren auf reflektiertes Licht von einer Referenzebene angewiesen ist, sollte dafür Sorge getroffen werden, daß der Spektralbereich des Anregungslichtes zur Autofokuseinrichtung im Detektionsstrahlengang gelangen kann. Since the autofocus method relies on light reflected from a reference plane, care should be taken that the spectral range of the excitation light can reach the autofocus device in the detection beam path. Bei einem Laserscanningmikroskop, dessen Detektoren entsprechende Anregungsfilter vorgeschaltet sind, die Anregungslicht abblocken, ist im Strahlengang bis zu diesen Anregungsfiltern diese Bedingung üblicherweise erfüllt. In a laser scanning microscope, the detectors are connected upstream appropriate excitation filter that blocks excitation light, is up to this excitation filters usually fulfills this condition in the beam path. Durch das konfokale Prinzip wird zurückgestreutes Licht aus anderen als der Probenebene unterdrückt. Through the confocal principle backscattered light from other than the sample plane is suppressed. Durch reflektierende Grenzflächen Glas/Luft, Glas/Wasser oder auch Glas/Probe werden aber Geisterbilder erzeugt, die nicht konfokal unterdrückt werden, wenn sie auf die schräge Zeile abgedrückt werden. By reflective interfaces glass / air, glass / water or glass / sample but ghost images are produced which are not suppressed confocal, when they are pushed off the oblique line. Diese dienen nun zur Autofokussierung. These are now used for autofocusing. Die Referenzebene ist stets eine reflektierende Grenzfläche. The reference level is always a reflective interface.
  • Die Auskopplung der Strahlung für die Autofokuseinrichtung im Strahlengang zwischen Detektormodul bzw. Anregungsmodul und dem Scanner, also bei ruhendem Strahl, bewirkt vorteilhafterweise, daß die Tiefeninformation über die gesamte abgebildete Fläche des Objektes gemittelt wird. The out-coupling of radiation for the auto focus means in the beam path between the detector module or excitation module and the scanner, that is at rest beam effected advantageously in that the depth information is averaged over the entire imaged surface of the object. Einzelne Objektbereiche in der Fokusebene, die keine Strahlung rückstreuen, wirken sich dann nicht störend aus. Single object regions in the focal plane, the backscatter no radiation will not affect disturbing.
  • Die Autofokuseinrichtung erlaubt es dem Lichtrastermikroskop nun, den Fokusverstellmechanismus wunschgemäß anzusteuern. The autofocus device allows the light microscope now to drive the Fokusverstellmechanismus desired. Es ist deshalb eine Weiterbildung bevorzugt, bei der eine Steuereinheit vorgesehen ist, die Signale der Autofokuseinrichtung ausliest und den Fokusverstellmechanismus ansteuert. It is therefore preferred is a development, in which a control unit is provided which reads out the signals of the auto focus means and drives the Fokusverstellmechanismus.
  • Zweckmäßigerweise wird die Steuereinheit aus den Signalen die Lage der Fokusebene im Bezug auf eine Referenzebene ermitteln. Conveniently, the control unit will identify the location of the focal plane with respect to a reference plane from the signals. Es ist deshalb bevorzugt, daß die Steuereinheit aus den Signalen ein Maß für einen Abstand zwischen der Fokusebene des Objektives und einer Referenzebene am Objekt feststellt und gegebenenfalls bei der Ansteuerung des Fokusverstellmechanismus berücksichtigt. It is preferred, therefore, that the control unit determines from the signals a measure of a distance between the focal plane of the lens and a reference plane in the object and, if appropriate part in the control of the Fokusverstellmechanismus.
  • Die Signale der Autofokuseinrichtung können in den genannten Ausführungsformen das Signal der Detektorzeile sein. The signals of the auto focus means may be the signal of the detector row in the above embodiments. Das Signal wird üblicherweise mindestens zwei Intensitätsmaxima aufweisen: das erste Maximum entspricht der Lage der aktuellen Meßposition, dh der Lage der Fokusebene, das zweite Maximum ist der Lage der Referenzebene, beispielsweise einer Glas-/Prbbenmaterialgrenzfläche zuzuordnen. The signal is typically have at least two intensity maxima: the first maximum corresponds to the position of the current measurement position, ie the position of the focal plane, the second maximum is the position of the reference plane to assign, for example, a glass / Prbbenmaterialgrenzfläche.
  • Der Abstand der beiden Maxima liefert den Abstand zwischen Fokusebene und Referenzebene, wobei die Funktion, mit der die Tiefenauflösung auf die Ortsauflösung des Detektors übertragen wird, zu berücksichtigen ist. The distance between the two maxima provides the distance between the focal plane and the reference plane, wherein the function with which the depth resolution is transferred to the spatial resolution of the detector is taken into account. Je nach Ausführungsform kann hierbei der Winkel zwischen Linienfokus und Längsachse der Detektorzeile, die Schärfentiefe des Objektives und der Abbildungsmaßstab eingehen, um den Abstand zwischen den Maxima in den Abstand zwischen Fokusebene und Referenzebene umzurechen. Depending on the embodiment, the angle between the longitudinal axis of the line focus and the detector line, the depth of field of the lens and the magnification in this case can be received in order to rake the distance between the maxima in the distance between the focal plane and the reference plane. Die Breite der Maxima wird dabei in der Regel von der Schärfentiefe des Objektivs bestimmt. The width of the maxima is determined generally by the depth of field of the lens.
  • Die anamorphotische Optik erzeugt den erwähnten Linienfokus. The anamorphic optical system generates the above-mentioned line focus. Die Intensitätsverteilung längs des Linienfokus ist dabei nur selten konstant, bzw. nur wenn erheblicher Aufwand getrieben wird. The intensity distribution along the line focus is rarely constant here, or only when substantial effort is driven. Einfacher ist es, bei der Bestimmung der Maxima die Intensitätsverteilung längs des Linienfokuses zu berücksichtigen. It is easier to take into account the intensity distribution along the line Fokuses in determining the maxima. Im Falle einer Zylinderoptik entspricht die Intensitätsverteilung längs der Linie dabei der Intensitätsverteilung der Spotbeleuchtung mit Anregungslicht. In the case of a cylindrical lens corresponds to the intensity distribution along the line while the intensity distribution of the spot illumination with excitation light.
  • Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung beispielhalber noch näher erläutert. The invention is explained below with reference to the drawings by way of example in more detail. Es zeigen: Show it:
  • 1 1 eine schematische Darstellung eines Lichtrastermikroskops mit einer Autofokuseinrichtung; a schematic representation of an optical scanning microscope with an auto-focus device;
  • 2a 2a –c unterschiedliche Bauweisen für die Autofokuseinrichtung der -c different designs for the auto focus means the 1 1 , .
  • 3 3 eine vereinfachte Schnittdarstellung eines mit dem Lichtrastermikroskop der a simplified sectional illustration showing the light scanning microscope of 1 1 erfaßten Objektes und detected object and
  • 4 4 eine vereinfachte Darstellung eines Signalverlaufes, wie er mit der Autofokuseinrichtung des Lichtrastermikroskops der a simplified representation of signal profile as provided with the auto focus means of the light scanning microscope 1 1 anfällt. accrues.
  • 1 1 zeigt schematisch ein als Laserscanningmikroskop schematically shows a laser scanning microscope as 1 1 ausgebildetes Lichtrastermikroskop. trained light microscope. Mit dem Laserscanningmikroskop With the laser scanning microscope 1 1 wird ein Objekt is an object 2 2 auf noch zu erläuternde Art vermessen. measured on still to be explained Art. Das Laserscanningmikroskop Laser Scanning Microscope 1 1 ist im wesentlichen in ein Anregungsmodul is substantially in an excitation module 3 3 , ein Detektionsmodul , A detection module 4 4 sowie ein Mikroskopmodul and a microscope module 5 5 unterteilbar. divisible. Das Anregungsmodul The excitation module 3 3 stellt Anregungsstrahlung bereit und speist diese in das Mikroskopmodul provides excitation radiation willing and feeds it into the microscope module 5 5 ein, so daß sie als spotförmige Beleuchtung auf das Objekt one so that they as a spot-shaped light onto the object 2 2 gerichtet wird. is directed. Die spotförmige Beleuchtung wird vom Mikroskopmodul The spot-shaped illumination is from the microscope module 5 5 rasternd über das Objekt scanning electron beam over the object 2 2 geführt. guided. Der am Objekt The object 2 2 dabei mit Anregungsstrahlung aus dem Anregungsmodul while with excitation radiation from the excitation module 3 3 beleuchtete Spotbereich wird über das Mikroskopmodul Spot lighted area via the microscope module 5 5 vom Detektionsmodul the detection module 4 4 konfokal detektiert, zB in Form einer Fluoreszenzanalyse. confocally detected, for example in the form of a fluorescence analysis.
  • Das Mikroskopmodul The microscope module 5 5 weist ein Objektiv has a lens 6 6 auf, das mittels eines Antriebes A in einer Fokusverstellung FV hinsichtlich der Lage der Fokusebene im Objekt on which the object A by a drive in a focus adjustment FV with respect to the position of the focal plane 2 2 verändert werden kann. can be changed. Diese Fokusverstellung ist beispielsweise in der This focus adjustment is for example in the DE 197 02 753 A1 DE 197 02 753 A1 näher erläutert. explained.
  • Dem Objektiv the lens 6 6 ist eine Tubuslinse is a tube lens 7 7 vorgeschaltet. upstream. Die vom Anregungsmodul By the excitation module 3 3 kommende Strahlung wird mittels einer Scanoptik radiation coming by means of a scanning optical system 8 8th sowie eines Scanners and a scanner 9 9 durch die Tubuslinse through the tube lens 7 7 und das Objektiv and the lens 6 6 als rasternder Spot über das Objektiv as raster Direction spot on the lens 2 2 geführt. guided. Gleichzeitig bewirkt der Scanner At the same time, the scanner causes 9 9 in ungekehrter Strahlrichtung zum Detektionsmodul backwards this beam towards the detection module 4 4 hin ein sogenanntes de-scannen, so daß nach dem Scanner towards a de-scan called, so that after the scanner 9 9 im Detektionsmodul the detection module 4 4 wieder ein ruhender Strahl vorliegt. again a stationary beam is present.
  • Der Anregungsstrahlengang des Anregungsmoduls The excitation beam path of the excitation module 3 3 und der Detektionsstrahlengang des Detektionsmoduls and the detection beam path of the detection module 4 4 sind über einen Hauptfarbteiler HFT vereinigt. united via a main color splitter HFT.
  • Die Wirkung des Hauptfarbteilers HFT ist ebenfalls der bereits genannten The effect of the main color splitter HFT is also the aforementioned DE 197 02 753 A1 DE 197 02 753 A1 zu entnehmen. refer to. Anstelle eines dichroitischen Hauptfarbteilers kann auch ein farbneutraler Teiler verwendet werden, wie er beispielsweise in der Instead of a dichroic main color splitter, a color-neutral divider can be used as described for example in the DE 102 57 237 A1 DE 102 57 237 A1 geschildert ist. is described.
  • Im Detektionsstrahlengang des Detektionsmoduls The detection beam path of the detection module 4 4 wird die Strahlung über weitere, nicht näher bezeichnete Farbteiler in einzelne Detektionskanäle aufgeteilt, die jeweils aus einem Photomultiplier the radiation on further, unspecified color splitter is divided into individual detection channels, each consisting of a photomultiplier 14 14 mit vorgeschaltetem Pinhole preceded by a pinhole 15 15 sowie Pinholeoptik and pinhole optics 16 16 aufgebaut sind. are constructed. Das Pinhole the pinhole 15 15 engt den Detektionsbereich nahezu vollständig auf die theoretische Fokalebene ein; concentrated the detection region almost completely on the theoretical focal plane a; außerhalb dieser Fokalebene erzeugte Strahlung kann das Pinhole Radiation generated outside the focal plane, the pinhole 15 15 nicht passieren. not happen.
  • Das Anregungsmodul The excitation module 3 3 bewirkt eine Beleuchtung des Spots mit Strahlung verschiedener Wellenlängen. causing illumination of the spots with radiation of different wavelengths. Dazu sind verschiedene Beleuchtungskanäle vorgesehen, die im Ausführungsbeispiel jeweils aus einem Laseranschluß For this purpose, various illumination channels are provided, which in the exemplary embodiment each comprise a laser pigtail 10 10 bzw. or. 12 12 zum Einkoppeln der Strahlung eines Lasers sowie Einkoppeloptik for coupling the radiation from a laser and coupling optics 11 11 bzw. or. 13 13 aufgebaut sind und welche über eine nicht näher bezeichnete Spiegeltreppe vereinigt werden. are constructed and which are united by a unspecified mirror cascade. Zur Einstellung des Spotdurchmessers ist ein Teleskop To adjust the spot diameter is a telescope 17 17 vorgesehen, das für die Einkopplung entsprechend konditionierter Strahlung am Hauptfarbteiler HFT sorgt. provided that provides the coupling in accordance with conditioned radiation at the main color splitter HFT.
  • Das insoweit dem Stand der Technik entsprechende Laserscanningmikroskop The extent corresponding to the state of the art laser scanning microscope 1 1 weist nun am Anregungsmodul now has the exciting module 3 3 einen Auskoppler an output coupler 18 18 auf, der vom Objekt on which the object 2 2 in den Anregungsstrahlengang des Anregungsmoduls in the excitation beam path of the excitation module 3 3 rückgestreute Strahlung auskoppelt und über hier als Anamorphot ausgebildete Optik decouples backscattered radiation and here formed as anamorphic optics 19 19 in einen Linienfokus LF bündelt. bundles in a line focus LF. Im Falle eines Laserscanningmikroskops In the case of a laser scanning microscope 1 1 mit Punktrasterung handelt es sich bei der Optik with point grid is in the optical 19 19 um einen Anamorphot. an anamorphic lens. Bei einem linienscannenden Mikroskop kann eine sphärische Optik With a line-scanning microscope can a spherical optics 19 19 verwendet werden, da diese dann schon einen Liniefokus liefert. be used because they then already provides a line focus. Der Linienfokus LF ist auf eine Detektorzeile The line focus LF is a detector row 20 20 gerichtet, die mit der optischen Achse OA einen Winkel α einschließt und vom Linienfokus LF geschnitten wird. directed, which includes an angle α with the optical axis OA and is cut from the line focus LF. Der Linienfokus LF und die Detektorzeile The line focus LF and the detector row 20 20 liegen also in einer Ebene. therefore lie in one plane. Der Anamorphot the anamorphic 19 19 und die Detektorzeile and the detector row 20 20 bilden eine Autofokuseinrichtung form an autofocus device 22 22 , deren Funktionsweise anhand der , They work on the basis of 3 3 und and 4 4 noch erläutert wird. will be discussed.
  • Eine mögliche Ausgestaltung für die Optik A possible design for optics 19 19 zeigen die show the 2a 2a –c. c. Zusätzlich ist exemplarisch in In addition, an example in 2b 2 B noch der Linienfokus LF bzw. in nor the line focus LF or in 2c 2c die Längsachse L der Detektorzeile the longitudinal axis L of the detector line 20 20 dargestellt. shown. Die Optik the optics 19 19 kann als Kombination aus eindimensionalem holographischen Diffusor may a combination of one-dimensional holographic diffuser 26 26 mit vorgeschalteter sphärischer Optik with upstream spherical optics 25 25 ( ( 2a 2a ), als torische Linse ), As a toric lens 24 24 ( ( 2b 2 B ) oder als Zylinderlinse ), Or as a cylindrical lens 23 23 ( ( 2c 2c ) ausgebildet sein, wenn das Laserscanningmikroskop einen Punktspot zum Scannen verwendet. ) May be formed when the laser scanning microscope uses a point spot for scanning.
  • Die The 1 1 und and 2 2 zeigen durchgängig eine Schrägstellung der Detektorzeile consistently show an inclination of the detector row 20 20 , um zu erreichen, daß der Linienfokus LF schräg zur Längsachse L der Detektorzeile In order to achieve that the line focus LF obliquely to the longitudinal axis L of the detector line 20 20 liegt. lies. Diese gegenseitige Schräglage kann natürlich auch ohne Verkippung der Detektorzeile This mutual inclination can of course also without tilting of the detector row 20 20 gegenüber der optischen Achse OA erreicht werden, beispielsweise durch ein geeignetes holographisches Element oder eine schräg gestellte Zylinderoptik. be achieved with respect to the optical axis OA, for example, by a suitable holographic element or a tilted cylinder optics.
  • Auch kann anstelle der Auskopplung der reflektierten Strahlung aus dem Anregungsstrahlengang des Anregungsmoduls Also, instead of the extraction, the reflected radiation from the excitation beam path of the excitation module 3 3 auch eine Auskopplung am Detektionsmodul a decoupling the detection module 4 4 erfolgen, wenn der Hauptfarbteiler HFT rückgestreute Anregungsstrahlung passieren läßt. occur when the main beam splitter HFT can backscattered excitation radiation pass through. Eine mögliche Anbaustelle für die Autofokuseinrichtung One possible attachment point for the autofocus device 22 22 ist in is in 1 1 mit With 30 30 bezeichnet und durch eine gestrichelte Linie angedeutet. referred to and indicated by a broken line.
  • 3 3 zeigt eine schematische Schnittdarstellung durch das Objekt shows a schematic sectional view through the object 2 2 , das mit dem Laserscanningmikroskop That with the laser scanning microscope 1 1 der the 1 1 erfaßt wird. is detected. Das Objekt The object 2 2 weist einen Objektträger includes a slide 27 27 auf, auf dem abgedeckt durch ein Deckglas , on which is covered by a cover glass 28 28 eine zu mikroskopierende Zellschicht one to copy micro cell layer 29 29 angeordnet ist. is arranged. Weiter ist exemplarisch die Lage der Fokusebene F dargestellt, die derjenigen Ebene entspricht, die durch die Konfokalitätsbedingung des Detektionsmoduls Further, the position of the focal plane F is shown as an example corresponding to that plane defined by the Konfokalitätsbedingung of the detection module 4 4 , dh durch die auswählende Wirkung des Pinholes , Ie through the selective effect of pinholes 15 15 festgelegt ist. is fixed. Oberhalb der Zellschicht Above the cell layer 29 29 befindet sich ein Übergang zum Deckglas there is a transition to the cover glass 28 28 . , Ein solcher Glas/Zellschicht-Übergang weist einen Brechzahlsprung auf. Such glass / cell layer junction has a refractive index jump. Bekanntermaßen wird an einem Brechzahlsprung Strahlung grundsätzlich reflektiert. It is known that radiation is always reflected by a refractive index jump. Der Brechzahlsprung des Übergangs zwischen Deckglas The refractive index jump of the transition between cover glass 28 28 und Zellschicht and cell layer 29 29 kann somit als Referenzebene R verwendet werden. can thus be used as a reference plane R.
  • Die Abbildung des Linienfokuses LF in der Autofokuseinrichtung The image of the line Fokuses LF in the autofocus device 22 22 auf die Detektorzeile the detector row 20 20 bewirkt, daß Strahlung, die aus unterschiedlichen Bereichen entlang der optischen Achse OA, auf der der Spot beleuchtet bzw. abgetastet wird, entlang der Detektorzeile causing radiation from different areas along the optical axis OA, on the spot illuminated or is scanned, along the detector line 20 20 aufgefächert wird. is fanned. Das Ergebnis dieser Auffächerung im Signal der Detektorzeile The result of this diversification in the signal of the detector row 20 20 zeigt shows 4 4 . ,
  • Der Reflex am Brechzahlsprung der Referenzebene R führt zu einer gesteigerten Strahlungsintensität an einer bestimmten Stelle der Detektorzeile The reflection at the refractive index jump of the reference plane R leads to an increased radiation intensity at a specific point of the detector line 20 20 . , Im Signal S der Detektorzeile In the signal S of the detector row 20 20 findet sich ein entsprechender Peak, der in there is a corresponding peak in 4 4 als referenzebenen Peak PR bezeichnet ist. is referred to as a reference plane peak PR. Die in der Meßebene, dh der Fokusebene gemessene Struktur der Zellschicht führt ebenfalls zu einem Reflex, der an anderer Stelle auf der Detektorzeile In the measuring plane, ie the plane of focus measured structure of the cell layer also leads to a reflex elsewhere on the detector line 20 20 auftritt, dh bei anderer x-Koordinate in occurs, ie, other x-coordinate in 4 4 und ebenfalls zu einer Erhöhung der Intensität I führt (in and also to an increase of the intensity I leads (in 4 4 als Fokusebenenpeak PF bezeichnet). called focal plane peak PF).
  • Entlang der Detektorzeile Along the detector line 20 20 , deren entsprechende x-Koordinate üblicherweise durch die Pixelnummer gegeben ist, finden sich also zwei Peaks, nämlich der Fokusebenenpeak PF und der Referenzebenenpeak PR, die um einen Pixelabstand d beabstandet sind. Whose corresponding x coordinate is typically represented by the pixel number, that can be found two peaks, namely, the focal plane PF peak and the peak reference plane PR, which are spaced apart by a pixel distance d. Der Pixelabstand d kann auf einfache Weise in den Abstand D zwischen der Fokusebene F und der Referenzebene R umgerechnet werden. The pixel distance d can easily be converted into the distance D between the focal plane F and the reference plane R. Dazu ist zum einen der Abbildungsmaßstab der optischen Abbildung zu berücksichtigen. To the one to be considered, the magnification of the optical image. Zum anderen spielt die Schrägstellung der Detektorzeile On the other plays the inclination of the detector row 20 20 , dh der Winkel α zwischen Linienfokus LF und Längsebene L der Detektorzeile , Ie the angle α between the line focus LF and the longitudinal plane L of the detector line 20 20 , eine Rolle. , a role.
  • Die Breite jedes Peak wird durch den Schärfentiefebereich des Objektivs The width of each peak is determined by the depth of field range of the objective 6 6 bestimmt. certainly. Sie kann bei der Ermittlung des Schwerpunktes des Fokusebenenpeaks PF sowie des Referenzebenenpeaks PR eingehen. You can enter in determining the gravity of the focal plane PF peaks and the reference plane peak PR. Weiter kann bei der Peak- bzw. Schwerpunktsbestimmung ein Grundverlauf des Signals S berücksichtigt werden, der von der Intensitätsverteilung herrührt, die im Linienfokus LF grundsätzlich gegeben ist. Further, in the peak or center of gravity determination a basic shape of the signal S can be considered originating from the intensity distribution, which is given generally in line focus LF. Bei einem Gaußförmig beleuchteten Spot wird man zB diese Gaußverteilung auch im Linienfokus LF wiederfinden. In a Gaussian illuminated spot you will find eg this Gaussian distribution in line focus LF. Analoges gilt natürlich für andere Intensitätsverteilungen im beleuchteten Spot. The same applies of course to other intensity distributions in the illuminated spot.
  • Die Ermittlung des Abstandes D wird im Ausführungsbeispiel der The determination of the distance D is in the embodiment of 1 1 von einem Steuergerät by a control unit 21 21 vorgenommen, das sowohl das Signal der Detektorzeile made that both the signal of the detector line 20 20 ausliest, als auch den Antrieb A zur Fokusverstellung des Objektivs reads out, as well as the drive A to the focus adjustment of the lens 6 6 entsprechend ansteuert. controls accordingly. Das Steuergerät ermittelt weiter die Peak-Schwerpunkte, den Peak-Abstand d und steuert die Einstellung des Abstandes D auf ein bestimmtes Maß. The control unit further determines the peak areas, the peak distance d and controls the adjustment of the distance D to a certain extent.
  • Die dargestellte Bauweise zeigt ein Laserscanningmikroskop The construction illustrated shows a laser scanning microscope 1 1 mit punktförmiger Rasterung. with point-like screening. Das Autofokusverfahren ist jedoch auch bei linienförmiger Rasterung einsetzbar, wobei dann da die Linienform der Strahlung ohne anamorphotische Abbildung bereits gegeben ist. However, the autofocus method is also applicable to line-shaped screening, in which case as the line shape of the radiation without anamorphic image is already given.

Claims (7)

  1. Lichtrastermikroskop mit einem Anregungs- und einem Detektionsstrahlengang, Mitteln ( Light scanning microscope (with a excitation and a detection beam path, means 9 9 ) zur rasternden Abtastung eines Objektes ( ) (To be rasterized scanning of an object 2 2 ) durch Verschieben eines abgebildeten Spot-, Linien- oder Multispotbereiches über das Objekt ( ) (By displacement of an imaged spot, line or multi-spot area about the object 2 2 ) und einem den Spot-, Linien- oder Multispotbereich abbildenden Objektiv ( ) And the spot, line, or multi-spot area imaging objective ( 6 6 ), wobei für das Objektiv ( ), Where (for the lens 6 6 ) ein Fokusverstellmechanismus (A) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet , daß eine in den Anregungs- oder Detektionsstrahlengang ( ) A Fokusverstellmechanismus is provided (A), characterized in that one (in the excitation or detection beam path 3 3 , . 4 4 ) eingekoppelte Autofokuseinrichtung ( ) Coupled autofocus device ( 22 22 ) zum Erfassen einer Lage der Fokusebene (F) des Objektives ( ) (For detecting a position of the focal plane (F) of the objective 6 6 ) vorgesehen ist, die unterschiedliche Tiefenbereiche am abgebildeten Spot-, Linien- oder Multispotbereich auf unterschiedliche Orte eines ortsauflösenden Detektors ( ) Is provided, the different depth ranges at the imaged spot, line or multi-spot region (on different locations of a spatially resolving detector 20 20 ) abbildet. ) Maps.
  2. Lichtrastermikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Autofokuseinrichtung ( Light scanning microscope according to claim 1, characterized in that the auto focus means ( 22 22 ) eine längs einer Längsachse (L) verlaufende Detektorzeile ( ) A along a longitudinal axis (L) extending the detector row ( 20 20 ) mit vorgeschalteter Optik ( ) (With an upstream optics 19 19 ) aufweist, wobei die Detektorzeile ( ), Wherein the detector row ( 20 20 ) mit ihrer Längsachse (L) zur optischen Achse (OA) verkippt ist und die Optik ( ) With its longitudinal axis (L) to the optical axis (OA) is tilted and the optical system ( 19 19 ) die ausgekoppelte Strahlung zu einem Linienfokus (LF) bündelt, der im wesentlichen in der von der Längsachse (L) und der optischen Achse (OA) aufgespannten Ebene liegt, so daß der Linienfokus (LF) längs der Detektorzeile ( ) The radiation coupled to a line focus (LF) bundles, which lies substantially in the (from the longitudinal axis L) and the optical axis (OA) plane defined so that the line focus (LF) along the detector line ( 20 20 ) verläuft. ) Runs.
  3. Lichtrastermikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Lichtrastermikroskop einen Spot abbildet und die Optik ( Light scanning microscope according to claim 2, characterized in that the light-scanning microscope images a spot and the optical system ( 19 19 ) eine Zylinderlinse ( ) A cylindrical lens ( 23 23 ), eine torische Linse ( ), A toric lens ( 24 24 ) oder eine Kombination aus einem eindimensionalen holographischen Diffusor ( ) Or a combination of a one-dimensional holographic diffuser ( 26 26 ) mit einer sphärischen Linse ( ) (With a spherical lens 25 25 ) aufweist. ) having.
  4. Lichtrastermikroskop nach einem der obigen Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Steuereinheit ( Light scanning microscope according to one of the above claims, characterized by a control unit ( 21 21 ), die Signale (S) der Autofokuseinrichtung ( (), The signals (S) of the autofocus device 22 22 ) ausliest und den Fokusverstellmechanismus (A) ansteuert. ) Reads and Fokusverstellmechanismus (A) drives.
  5. Lichtrastermikroskop nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinheit ( Light scanning microscope according to claim 4, characterized in that the control unit ( 21 21 ) aus den Signalen (S) ein Maß für einen Abstand (D) zwischen der Fokusebene (F) des Objektives ( ) From the signals (S) is a measure of a distance (D) between the focal plane (F) of the lens ( 6 6 ) und einer Referenzebene (R) am Objekt ( ) And a reference plane (R) (on the object 2 2 ) ermittelt. ) Is determined.
  6. Lichtrastermikroskop nach Anspruch 4 oder 5 jeweils in Kombination mit Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinheit ( Light scanning microscope according to claim 4 or 5, each in combination with claim 2, characterized in that the control unit ( 21 21 ) die von der anamorphotischen Optik ( ) The (of the anamorphic optics 19 19 ) bewirkte Intensitätsverteilung längs des Linienfokus (LF) berücksichtigt. ) Resulted in intensity distribution along the focal line (LF) taken into account.
  7. Lichtrastermikroskop nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinheit ( Light scanning microscope according to claim 5, characterized in that the control unit ( 21 21 ) die Fokusebene (F) in einem konstanten oder gezielt eingestellten Abstand (D) zur Referenzebene (R) hält. ) Maintains the focal plane (F) (in a constant or intentionally set distance D) (to reference plane R).
DE200510022125 2005-05-12 2005-05-12 Light pattern microscope with auto focus mechanism, uses excitation or detection beam path with auto focus for detecting position of focal plane Pending DE102005022125A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200510022125 DE102005022125A1 (en) 2005-05-12 2005-05-12 Light pattern microscope with auto focus mechanism, uses excitation or detection beam path with auto focus for detecting position of focal plane

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200510022125 DE102005022125A1 (en) 2005-05-12 2005-05-12 Light pattern microscope with auto focus mechanism, uses excitation or detection beam path with auto focus for detecting position of focal plane
PCT/EP2006/004433 WO2007019895A1 (en) 2005-05-12 2006-05-11 Light scanning microscope with autofocus mechanism

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102005022125A1 true true DE102005022125A1 (en) 2006-11-16

Family

ID=36655021

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200510022125 Pending DE102005022125A1 (en) 2005-05-12 2005-05-12 Light pattern microscope with auto focus mechanism, uses excitation or detection beam path with auto focus for detecting position of focal plane

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102005022125A1 (en)
WO (1) WO2007019895A1 (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008125204A1 (en) * 2007-04-13 2008-10-23 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Method and arrangement for positioning a light sheet in the focal plane of a detection optic
DE102010000550A1 (en) 2010-02-25 2011-08-25 KLA-Tencor MIE GmbH, 35781 A method for focusing an object plane and optical assembly
EP2573603A2 (en) 2011-09-23 2013-03-27 Carl Zeiss Sports Optics GmbH Imaging device and imaging method
EP2572629A1 (en) 2011-09-23 2013-03-27 Carl Zeiss Sports Optics GmbH Display device and display method
US9259152B2 (en) 2013-12-20 2016-02-16 Carl Zeiss Meditec Ag Apparatus for determining an ametropia of an eye
US9615740B2 (en) 2012-06-21 2017-04-11 Carl Zeiss Meditec Ag Eye surgery microscope having an entity for measuring an ametropia

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007055530A1 (en) * 2007-11-21 2009-05-28 Carl Zeiss Ag laser beam machining

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10244618A1 (en) * 2002-09-25 2004-04-08 Olympus Biosystems Gmbh Means and method for the optical specimen investigation and / or detecting and / or investigating layers
DE10319182A1 (en) * 2003-04-29 2004-12-23 Carl Zeiss Jena Gmbh Method and arrangement for determining the focal position in the imaging of a sample

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19713362A1 (en) * 1997-03-29 1998-10-01 Zeiss Carl Jena Gmbh Confocal microscope arrangement
DE10127284A1 (en) * 2001-06-05 2002-12-12 Zeiss Carl Jena Gmbh Automatic focussing of a microscope using an analysis unit that compares measured values with stored design values and adjusts the microscope accordingly

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10244618A1 (en) * 2002-09-25 2004-04-08 Olympus Biosystems Gmbh Means and method for the optical specimen investigation and / or detecting and / or investigating layers
DE10319182A1 (en) * 2003-04-29 2004-12-23 Carl Zeiss Jena Gmbh Method and arrangement for determining the focal position in the imaging of a sample

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008125204A1 (en) * 2007-04-13 2008-10-23 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Method and arrangement for positioning a light sheet in the focal plane of a detection optic
DE102010000550A1 (en) 2010-02-25 2011-08-25 KLA-Tencor MIE GmbH, 35781 A method for focusing an object plane and optical assembly
US9091525B2 (en) 2010-02-25 2015-07-28 Kla-Tencor Mie Gmbh Method for focusing an object plane and optical assembly
EP2573603A2 (en) 2011-09-23 2013-03-27 Carl Zeiss Sports Optics GmbH Imaging device and imaging method
EP2572629A1 (en) 2011-09-23 2013-03-27 Carl Zeiss Sports Optics GmbH Display device and display method
DE102011083353A1 (en) 2011-09-23 2013-03-28 Carl Zeiss Ag Imaging device and imaging method
US9615740B2 (en) 2012-06-21 2017-04-11 Carl Zeiss Meditec Ag Eye surgery microscope having an entity for measuring an ametropia
US9259152B2 (en) 2013-12-20 2016-02-16 Carl Zeiss Meditec Ag Apparatus for determining an ametropia of an eye

Also Published As

Publication number Publication date Type
WO2007019895A1 (en) 2007-02-22 application

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19702753A1 (en) System for coupling radiation, preferably laser beam, in scanning head
DE102005013949A1 (en) scanning device
EP1359452A1 (en) Confocal microscope having two micro-lens arrays and a pinhole array
DE102005027077A1 (en) Microscope has an illumination unit producing light beams to illuminate a sample in an illuminating plane lying at an angle different from a right angle to the detection unit
DE10257237A1 (en) Optical system for microscopy comprises focussing the illuminating light on the sample at the plane between it and the eye pupil, with separation of the emitted detection light on or near the same plane
DE4323129A1 (en) Microscope with laser illumination - has laser beam input via conventional light inlet and slider with mirror for deflecting light to objective
DE102009060490A1 (en) High-resolution microscope and image divider arrangement
DE10229935A1 (en) Means for coupling light into a microscope
DE10127284A1 (en) Automatic focussing of a microscope using an analysis unit that compares measured values with stored design values and adjusts the microscope accordingly
DE102007015063A1 (en) Optical arrangement for generating a light sheet
DE10143481A1 (en) Microscope, especially TIRM type microscope, has a beam cross-section at the inlet to the adapter that is much smaller than the adapter cross section so that a maximum range of viewing and illuminating wavelengths can be used
DE10118463A1 (en) Depth-resolved optical imaging method for use in biological scanning microscopy, uses phase or frequency modulation of the imaging light
DE19801139A1 (en) Point scanning luminescence microscope for investigating biological specimens using bifocal scanning
DE10319182A1 (en) Method and arrangement for determining the focal position in the imaging of a sample
DE102007017598A1 (en) Method and apparatus for positioning a light sheet in the focal plane of a detection optical system
DE19649605A1 (en) Fluorescence correlation spectroscopy module for a microscope
DE10228477A1 (en) Calibrating spectral detector in scanning microscope involves generating reference light whose spectral composition is known, coupling reference light into detection light path of scanning microscope
EP0977069A2 (en) Method and apparatus for confocal microscopy
EP0943950A1 (en) Confocal microscope and method for scanning thereof
DE102006027836A1 (en) Autofocus device for microscopy
DE102006007172B4 (en) Method and arrangement for fast, spatially resolved, two-dimensional, spectroscopic analysis, or to the spectral imaging or 3D recording by means of spectroscopy
DE102011000835A1 (en) A scanning microscope, and methods of light microscopy image of an object
DE19510102C1 (en) Confocal fluorescence microscope
DE4331570A1 (en) Method and device for optically exciting an energy state in a sample at a sample point with high positional resolution
DE102004011770A1 (en) Scanning microscope for investigating and manipulating a sample comprises a first beam deflection device deflecting a first illuminating light beam and a second illuminating light beam

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
R012 Request for examination validly filed

Effective date: 20120424

R082 Change of representative

Representative=s name: GEYER, FEHNERS & PARTNER (G.B.R.), DE

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH, 07745 JENA, DE

Effective date: 20130204

R082 Change of representative

Representative=s name: GEYER, FEHNERS & PARTNER (G.B.R.), DE

Effective date: 20130204

Representative=s name: PATENTANWAELTE GEYER, FEHNERS & PARTNER MBB, DE

Effective date: 20130204