DE102005014760A1 - Vorrichtung und Verfahren zum Ausbilden einer Präzisions-Schnittfläche in einem Material - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zum Ausbilden einer Präzisions-Schnittfläche in einem Material Download PDF

Info

Publication number
DE102005014760A1
DE102005014760A1 DE102005014760A DE102005014760A DE102005014760A1 DE 102005014760 A1 DE102005014760 A1 DE 102005014760A1 DE 102005014760 A DE102005014760 A DE 102005014760A DE 102005014760 A DE102005014760 A DE 102005014760A DE 102005014760 A1 DE102005014760 A1 DE 102005014760A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
laser radiation
cut surface
plasma
bubble diameter
influencing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE102005014760A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102005014760B4 (de
Inventor
Dirk MÜHLHOFF
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss Meditec AG
Original Assignee
Carl Zeiss Meditec AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss Meditec AG filed Critical Carl Zeiss Meditec AG
Priority to DE102005014760.7A priority Critical patent/DE102005014760B4/de
Publication of DE102005014760A1 publication Critical patent/DE102005014760A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102005014760B4 publication Critical patent/DE102005014760B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61FFILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting-in contact lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/008Methods or devices for eye surgery using laser
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61FFILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting-in contact lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/008Methods or devices for eye surgery using laser
    • A61F9/00825Methods or devices for eye surgery using laser for photodisruption
    • A61F9/00827Refractive correction, e.g. lenticle
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61FFILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting-in contact lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/008Methods or devices for eye surgery using laser
    • A61F2009/00861Methods or devices for eye surgery using laser adapted for treatment at a particular location
    • A61F2009/00872Cornea
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61FFILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting-in contact lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/008Methods or devices for eye surgery using laser
    • A61F2009/00878Planning
    • A61F2009/0088Planning based on wavefront

Abstract

Es wird beschrieben eine Vorrichtung zum Ausbilden einer Schnittfläche in einem transparenten Material, insbesondere in der Augenhornhaut (5), mit einer Laserstrahlungsquelle (5), die gepulste Laserstrahlung (3) in das Material (5) fokussiert und dort optische Durchbrüche erzeugt, welche das Material trennende Plasmablasen (8) bewirken, einer Ablenkeinrichtung (10, 6), die die Lage des Fokuspunktes (7) im Material (5) verstellt, und einer Steuereinrichtung (C), die die Ablenkeinrichtung (10, 6) abgestimmt zur Pulsung der Laserstrahlung (3) ansteuert, um die Schnittfläche (9) durch Aneinanderreihen der Plasmablasen (8) zu erzeugen, wobei die Steuereinrichtung (C) bei der Ansteuerung der Ablenkeinrichtung (10, 6) eine gewünschte Grund-Geometrie der Schnittfläche (9) zugrundelegt, wobei eine Strahlbeeinflussungseinrichtung (15) vorgesehen ist, die eine den Plasmablasendurchmesser (D) beeinflussenden Parameter der Laserstrahlung (3) verändert, und die Steuereinrichtung (C) eine auf die Grund-Geometrie aufbauende Feinstruktur der Schnittfläche (9) erzeugt, indem sie synchron zur Ansteuerung der Ablenkeinrichtung (10, 6) die Strahlbeeinflussungseinrichtung (15) ansteuert und so den Plasmablasendurchmesser ortsabhängig verändert.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Ausbilden einer Schnittfläche in einem transparenten Material, insbesondere in der Augenhornhaut, mit einer Laserstrahlungsquelle, die gepulste Laserstrahlung in das Material fokussiert und dort optische Durchbrüche erzeugt, welche das Material trennende Plasmablasen bewirken, einer Scaneinrichtung, die die Lage des Fokuspunktes im Material verstellt, und einer Steuereinrichtung, die die Scaneinrichtung abgestimmt zur Pulsung der Laserstrahlung ansteuert, um die Schnittfläche durch Aneinanderreihen der Plasmablasen zu erzeugen, wobei die Steuereinrichtung bei der Ansteuerung der Scaneinrichtung eine gewünschte Grund-Geometrie der Schnittfläche zugrundelegt. Die Erfindung bezieht sich weiter auf ein Verfahren zum Ausbilden einer Schnittfläche in einem transparenten Material, insbesondere in der Augenhornhaut, wobei die Schnittfläche durch Aneinanderreihen von Plasmablasen erzeugt wird, indem zum Erzeugen jeder Plasmablasen gepulste Laserstrahlung in das Material fokussiert wird und so ein optischer Durchbruch im Material bewirkt wird und die Plasmablasen in räumlicher Anordnung im Material gemäß einer gewünschten Grund-Geometrie der Schnittfläche erzeugt werden.
  • Die Ausbildung von Schnittflächen mittels laserbasierter Materialbearbeitung ist heute in vielen Bereichen der industriellen Fertigung unverzichtbar. Die durch den Lasereinsatz erreichbare Bearbeitungsqualität kann mit alternativen Verfahren oft nicht erbracht werden. Hierzu kommt die Realisierung hoher Prozeßgeschwindigkeiten durch Automatisierung, was eine wirtschaftlich vorteilhafte Anwendung erlaubt. Zur Durchführung gibt es eine Vielzahl komplexer Geräte und Anlagen, die als Workstations für spezifische Bearbeitungsaufgaben angepaßt sind.
  • Schnittflächen werden üblicherweise durch Absorption der Laserstrahlung erzeugt. Normalerweise wird deshalb Laserstrahlung verwendet, für die das zu bearbeitende Material untransparent ist. Möchte man jedoch eine Laserstrahlwirkung nur im Materialinneren, kann übliche, d.h. lineare Wechselwirkung zwischen Laserstrahlung und Material verwendet werden, weil dann das Material für die Laserstrahlung transparent sein muß bzw. ist.
  • Für solche Anwendungsfälle kann zur Materialbearbeitung eine nicht-lineare Wechselwirkung der Laserstrahlung mit dem Material ausgenutzt werden, das heißt insbesondere eine nichtlineare Absorption der Laserstrahlung durch das Material des Objekts. Man spricht in diesem Zusammenhang von einer Absorption n-ter Ordnung, wenn eine Absorption von n Photonen durch ein Atom oder Molekül stattfindet, die zu einer m-fachen elektronischen Anregung führt. Die Wahrscheinlichkeit für eine solche Absorption n-ter Ordnung hängt von der Strahlungsintensität der Laserstrahlung ab.
  • Bei einem transparenten Material, wie es insbesondere bei laserchirurgischen ophthalmologischen Verfahren vorliegt, laufen bei nicht-linearer Wechselwirkung zeitlich hintereinander mehrere Prozesse ab, die durch die Laserstrahlung initiiert werden. Überschreitet die Leistungsdichtung der Strahlung einen Schwellwert, kommt es im transparenten Material zur einem optischen Durchbruch, der im Material eine Plasmablase erzeugt. Diese Plasmablase wächst nach Entstehen des optischen Durchbruches durch sich ausdehnende Gase. Wird der optische Durchbruch nicht aufrechterhalten, beispielsweise weil gepulste Laserstrahlung verwendet wurde, so wird das in der Plasmablase erzeugte Gas vom umliegenden Material wieder aufgenommen und die Blase verschwindet. Wird ein Plasma an einer Materialgrenzfläche erzeugt (die durchaus auch innerhalb einer Materialstruktur liegen kann), so erfolgt ein Materialabtrag von der Grenzfläche. Man spricht dann von Photoablation, wogegen bei einer Plasmablase, die zuvor verbundene Materialschichten trennt, üblicherweise von Photodisruption die Rede ist. Der Einfachheit halber werden all solche Prozesse hier unter dem Begriff „optischer Durchbruch" zusammengefaßt, d.h. dieser Begriff schließt hier nicht nur den eigentlichen optischen Durchbruch selbst, sondern auch die daraus resultierenden Wirkungen im transparenten Material ein.
  • Für eine hohe Genauigkeit eines laserchirurgischen Verfahrens ist es unumgänglich, eine hohe Lokalisierung der Wirkung der Laserstrahlen zu gewährleisten und Kolateralschäden in benachbartem Gewebe möglichst zu vermeiden. Es ist deshalb im Stand der Technik üblich, die Laserstrahlung gepulst anzuwenden, so daß der zur Auslösung eines optischen Durchbruchs nötige Schwellwert für die Leistungsdichte nur in den einzelnen Pulsen überschritten wird. Die US 5.984.916 zeigt diesbezüglich deutlich, daß der räumliche Bereich des optischen Durchbruchs (in diesem Fall der erzeugten Wechselwirkung) stark von der Pulsdauer abhängt. Eine hohe Fokussierung des Laserstrahls in Kombination mit sehr kurzen Pulsen erlaubt es damit, den optischen Durchbruch sehr punktgenau in einem Material einzusetzen.
  • Eine heutzutage bedeutende Anwendung von Laserstrahlung in transparenten Materialien findet sich bei Vorrichtungen sowie Verfahren zur Korrektur von Fehlsichtigkeit des Auges. Hierfür sind verschiedene Ansätze bekannt. Beim Konzept der sogenannten intrastromalen Ablation werden einzelne, nicht aneinandergrenzende Disruptionszonen in der Hornhaut erzeugt. Die Gesamtheit der erzeugten Zonen bildet eine Art der Gitterstruktur. In jeder Zone hat die Laserstrahlung das Gewebe photodisruptiv durch einen optischen Durchbruch verändert, und der Stoffwechselmechanismus des Körpers transportiert dieses Gewebe ab. Dadurch wird im Ergebnis ein Teil des Gewebes entfernt, was zu einer Änderung der Hornhautoberfläche führt. Bei geschickt gewählter Gitterstruktur kann dadurch die Brechungseigenschaft der Hornhaut zur Fehlsichtigkeitskorrektur geändert werden. Dieses Verfahren erlaubt jedoch nur geringe optische Korrekturen, da größere Materialmengen, die für stärkere Korrekturen erforderlich wären, nicht vom Stoffwechselmechanismus ordnungsgemäß abgeführt werden. Außerdem wird das beeinflußte Gewebe nicht vollständig enfernt, sondern verbleibt im optisch wirksamen Bereich des Auges, was zu einer dauerhaft erhöhten Streuung und damit zur Verschlechterung der Sehqualität führt. Dies gilt insbesondere bei der Myopiebehandlung, die nahe der Sehachse eine Verteilung der Photodisruptionszonen mit besonders hoher Dichte erfordert. Gerade auf der Sehachse machen sich solche Störungen aber besonders bemerkbar.
  • Ein anderes Konzept erzeugt sogenannte intrastromale Linsen, in dem die eingangs genannte Schnittfläche im transparenten Material ausgebildet wird. Die US 5.984.916 sowie die US 6.110.166 beschreiben entsprechende Verfahren mittels geeigneter Erzeugung optischer Durchbrüche, so daß im Endeffekt die Brechungseigenschaften der Hornhaut gezielt beeinflußt werden. Eine Vielzahl von optischen Durchbrüchen wird so aneinandergesetzt, daß innerhalb der Hornhaut des Auges ein linsenförmiges Teilvolumen isoliert wird. Das vom übrigen Hornhautgewebe getrennte linsenförmige Teilvolumen wird dann über einen seitlich öffnenden Schnitt aus der Hornhaut herausgenommen. Die Gestalt des Teilvolumens ist so gewählt, daß nach Entnahme die Form und damit die Brechungseigenschaften der Hornhaut so geändert sind, daß die erwünschte Fehlsichtigkeitskorrektur bewirkt ist. Die dabei geforderten Schnittflächen sind gekrümmt, was eine dreidimensionale Verstellung des Fokus nötig macht. Es wird deshalb eine zweidimensionale Ablenkung der Laserstrahlung mit gleichzeitiger Fokusverstellung in einer dritten Raumrichtung kombiniert.
  • Um die Schnittfläche zur Erzeugung der intrastromalen Linse möglichst schnell ausbilden zu können, müssen Laserstrahlungsquellen mit hohen Pulsfrequenzen sowie Scaneinrichtungen mit hohen Verstellgeschwindigkeiten verwendet werden. Gegenwärtig stellt die Ablenkgeschwindigkeit verfügbarer Scaneinrichtungen einem begrenzenden Faktor dar, da insbesondere die Verstellung der Lage des Fokuspunktes entlang der Sehachse deutlich limitiert ist.
  • Zwar ist der Stand der Technik in der Lage, die Schnittfläche in ausreichend kurzer Zeit zu erzeugen, beispielsweise durch günstige Wahl des Pfades, entlang dem die Lage des Fokus verstellt wird, jedoch ist gegenwärtig nur eine Grundkorrektur möglich. Eine an und für sich wünschenswerte Fein-Verstellung ist weder in der Augenchirurgie, noch bei sonstigen transparenten Materialien mit gleichzeitig hinreichender Schnelligkeit der Schnittflächenbildung realisierbar. Insbesondere bei der Augenchirurgie wäre eine Feineinstellung der Schnittflächenstruktur jedoch äußert wünschenswert, da damit nicht nur eine Grundkorrektur der Fehlsichtigkeit, sondern auch ein Ausgleich von Aberrationen höherer Ordnung möglich wäre.
  • Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung sowie ein Verfahren der eingangs genannten Art so auszugestalten, daß auch eine Schnittflächen-Feinstruktur, insbesondere zur Korrektur Aberrationen höherer Ordnungen, möglich ist.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit einer gattungsgemäßen Vorrichtung gelöst, bei der eine Strahlbeeinflussungseinrichtung vorgesehen ist, die einen den Plasmablasendurchmesser beeinflussenden Parameter der Laserstrahlung verändert, und die Steuereinrichtung eine auf die Grund-Geometrie aufbauende Feinstruktur der Schnittfläche erzeugt, indem sie synchron zur Ansteuerung der Scaneinrichtung die Strahlbeeinflussungseinrichtung ansteuert und so den Plasmablasendurchmesser ortsabhängig verändert.
  • In einer alternativen Variante der Erfindung wird die Aufgabe mit einer Vorrichtung der eingangs genannten Art gelöst, bei der eine Strahlbeeinflussungseinrichtung (15) vorgesehen ist, die einen den Plasmablasendurchmesser (D) beeinflussenden Parameter der Laserstrahlung (3) verändert, in einer Zwischenbildebene der Fokussierung liegt und den Parameter gemäß einer vorab bestimmten Ortsabhängigkeit und damit den Plasmablasendurchmesser (D) ortsabhängig verändert.
  • Die Erfindung wird weiter mit einem Verfahren der eingangs genannten Art gelöst, bei der zum Einstellen einer auf die Grund-Geometrie der Schnittfläche aufbauenden Feinstruktur der Schnittfläche die Plasmablasen mit über die Schnittfläche variierendem Durchmesser erzeugt werden, indem ein den Plasmablasendurchmesser beeinflussender Parameter der gepulsten Laserstrahlung abhängig von der Lage der Plasmablase eingestellt wird.
  • Die Erfindung verläßt also den vom Stand der Technik vorgezeichneten Weg, die Verstellgeschwindigkeit des Fokuspunktes zu Steigern oder Verstellpfade zu suchen, die sich günstig auf die Bearbeitungsdauer auswirken. Statt dessen wird die gewünschte Feinstruktur der Schnittfläche nunmehr durch die Variation des Plasmablasendurchmessers erreicht. Der Erfinder erkannte, daß durch Variation der Dicke des durch die Laserstrahlung ausgeführten Schnittes, eine auf die schon bekannte Grund-Geometrie aufbauende Feinstruktur der Schnittfläche erreicht werden kann. Die Dicke der Schnitte wird in erster Linie von der verwendeten Energie, mit der die einzelne Photodisruptien bzw. Plasmablase erzeugt wird, bestimmt. Der Wechselwirkungsprozeß zwischen Laserstrahlung und transparentem Material ist dabei durch ein Schwellenverhalten charakterisiert. Unterhalb einer kritischen Laserpulsenergie tritt kein optischer Durchbruch auf. Dazu bedarf es einer oberhalb dieses Schwellwertes liegenden Laserpulsenergie. Während bei bekannten Ansätzen lediglich darauf geachtet wurde, daß die Laserstrahlung zuverlässig optische Durchbrüche erzeugt, wird nun erfindungsgemäß der Plasmablasendurchmesser durch die geeignete ortsabhängige Veränderung der Laserstrahlung variiert.
  • Erfindungsgemäß kommt es darauf an, daß die Strahlbeeinflussung so erfolgt, daß durch Variation des Plasmablasendurchmessers die Dicke des bewirkten Schnittes ortsabhängig beeinflußt wird. Dies kann dadurch erfolgen, daß die Strahlbeeinflussungseinrichtung vor der Scaneinrichtung liegt und der Betrieb der Strahlbeeinflussungseinrichtung auf den der Scaneinrichtung abgestimmt ist.
  • In einer alternativen, das Erfindungskonzept gleichermaßen realisierenden Ausführung erfolgt die Laserstrahlbeeinflussung nach der Ablenkung des Laserstrahls quer zur optischen Achse. Die Strahlbeeinflussungseinrichtung ist dann in der Zwischenbildebene der Laserstrahlfokussierung angeordnet und weist örtlich variierende den Laserstrahl beeinflussende Eigenschaften auf. In einer einfachen Bauweise kann es sich beispielsweise um eine über den Querschnitt der einfallenden Laserstrahlung örtlich variierende Absorption handeln. Diese Bauweise hat den Vorteil, daß eine separate Ansteuerung der Strahlbeeinflussungseinrichtung nicht mehr zwingend erforderlich ist. Die gegenseitige Abstimmung von Laserstrahlablenkung und Strahlbeeinflussung ist dann durch die unterschiedlichen Durchtrittspunkte der Laserstrahlung an der Strahlbeeinflussungseinrichtung und deren örtlich variierende Strahlbeeinflussungseigenschaften automatisch erreicht.
  • Zweckmäßigerweise wird man die Strahlbeeinflussungseinrichtung dann entweder ansteuerbar ausgestalten oder eine individuell gefertigte Strahlbeeinflussungseinrichtung verwenden, die auf die zur erreichenden Unterschiede zwischen Grund-Geometrie und Feinstruktur abgestimmt ist.
  • Zur Beeinflussung des Plasmablasendurchmessers kann die Strahlbeeinflussung auf verschiedene Weisen erfolgen. Zum einen kann die Laserstrahlung abgeschwächt werden, so daß die Laserstrahlleistungsdichte im Fokus ortsabhängig variiert wird, was sich in einer entsprechenden Veränderungen des Plasmablasendurchmessers und damit in einer entsprechenden Variation der Dicke des Schnittes auswirkt. Nimmt man in einer einfachen Abschätzung an, daß oberhalb des Schwellwertes die gesamte Energie in das Aufbrechen von Molekülbindungen und zur Verdampfung des Materials bei der Plasmablasenerzeugung umgesetzt wird, so ergibt sich, daß das Volumen der Plasmablase proportional zur Laserpulsenergie ist. Geht man von einer kugelförmigen Plasmablase aus nimmt die Dicke des Schnittes deshalb mit der dritten Wurzel der in einem Puls eingebrachten Laserpulsenergie zu.
  • Zur einstellbaren Abschwächung der Laserstrahlleistungsdichte kommen insbesondere akkustooptische Modulatoren, LC-Elemente, faserbasierte Mach-Zehnder Interferenzmodulatoren oder Pockelszellen in Frage. Auch kann ein steuerbares Aberrationsglied verwendet werden, das die Fokusgüte einstellbar verschlechtert und damit die Laserstrahlleistungsdichte beeinflußt.
  • Ein weiterer Ansatz zur Beeinflussung des Plasmablasendurchmessers liegt darin, die Pulslänge der gepulsten Laserstrahlung ortsabhängig zu verstellen. Damit die Feinstruktur der Schnittfläche, d. h. die Dicke des ausgeführten Schnittes, passend auf die der Schnittfläche prinzipiell zugrunde liegenden Grund-Geometrie aufsetzt, ist natürlich eine Synchronisation der Strahlbeeinflussung, d. h. des Plasmablasendurchmessers zur Ablenkung des Laserfokus erforderlich. Eine vorrichtungstechnisch einfach zu realisierende Synchronisierung kann realisiert werden, wenn die Steuereinrichtung Zugriff auf einen Datenspeicher hat, in dem Orte der zu erzeugenden Plasmablasen wiedergebende Ortsdaten zusammen mit Plasmablasendaten, welche ortsabhängig sind und den für die Orte einzustellenden Plasmablasendurchmesser betreffen, abgelegt sind. Die Steuereinrichtung kennt dann für jede Ansteuerung der Scaneinrichtung die zugehörige Ansteuerung der Strahlbeeinflussungseinrichtung und die gewünschte Synchronisierung ist einfach erreicht.
  • Eine einfache Art und Weise die optische Aberration von Linsen, insbesondere des menschlichen Auges, zu bestimmen, liegt darin, den optischen Fehler aus einer Wellenfrontmessung zu bestimmen. Die Entwicklung der Wellenfront in Zernike-Polynomen erlaubt eine einfache Beschreibung des Fehlers. Bei Verwendung dieser Beschreibungsweise läßt sich das Ansteuersignal für die Strahlbeeinflussungseinrichtung und die Scaneinrichtung besonders einfach berechnen. Jedes Zernike-Polynom besteht aus einer Radialfunktion und einer Azimutalfunktion. Die Radialfunktion fließt in die Berechnung der Ansteuerkurve für die Scaneinrichtung zur Verstellung der Lage des Fokuspunktes entlang der optischen Achse der Linse bzw. des Auges ein. Sie muß dann weder für die Berechnung der Ansteuerfunktion in senkrecht dazu gelegener x/y-Richtung noch für die Strahlbeeinflussungseinrichtung berücksichtigt werden. Für die Berechnung der Ansteuerungsfunktion der Strahlbeeinflussungseinrichtung benötigt man lediglich die Azimutalfunktion der Zernike-Polynome, was zu einer einfachen und schnellen Berechnung der Ansteuerfunktion führt. Darüber hinaus wird dadurch die Ansteuerung der Strahlbeeinflussungseinrichtung vereinfacht, weil der durch sie zu realisierende Beeinflussungsbereich der Laserstrahlung vergleichsweise gering wird. Eine weitere Vereinfachung liegt dann darin, daß das Ansteuersignal der Strahlbeeinflussungseinrichtung rein sinusförmigen Verlauf mit einer Grundwelle und Oberwellen entsprechender Anzahl der verwendeten Ordnungen hat. Damit können auch bandbreiteneingeschränkte Übertragungssysteme zur Beeinflussung der Laserstrahlung eingesetzt werden. Es ist deshalb bevorzugt, daß die Steuereinrichtung die Strahlbeeinflussungseinrichtung gemäß einer Azimutalfunktion von Zernike-Polynomen ansteuert.
  • Als zur Einstellung des Plasmablasendurchmessers geeignete Parameter kommen insbesondere neben der erwähnten Laserstrahlleistungsdichte im Fokus, auch die Puls-Fluence, die Pulslänge, die Pulsenergie und, wie bereits erwähnt, die Fokusgüte in Frage.
  • Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung beispielhalber noch näher erläutert. In den Zeichnungen zeigt:
  • 1 eine perspektivische Darstellung eines Patienten während einer laserchirurgischen Behandlung mit einem laserchirurgischen Instrument
  • 2 eine Schemadarstellung der Fokussierung von Behandlungs-Laserstrahlung auf das Auge des Patienten beim Instrument der 1
  • 3 eine schematische Darstellung zur Erläuterung eines vom Instrument der 1 bewirkten Schnittes in der Hornhaut des Patienten,
  • 4 eine Ablenkvorrichtung des laserchirurgischen Instrumentes der 1 sowie Wirkung dieser Ablenkvorrichtung,
  • 5 ein Blockdiagramm des Instrumentes der 1,
  • 6 eine Schemadarstellung zur Erläuterung des Aufbaus der Schnittlinie der 3 und
  • 7 eine Darstellung ähnlich der 6 zur Einstellung einer variierenden Schnittdicke der Schnittlinie.
  • In 1 ist ein laserchirurgisches Instrument zur Behandlung eines Auges 1 eines Patienten gezeigt, wobei das laserchirurgische Instrument 2 zur Ausführung einer refraktiven Korrektur dient. Das Instrument 2 gibt dazu einen Behandlungs-Laserstrahl 3 auf das Auge des Patienten 1 ab, dessen Kopf in einem Kopfhalter 4 fixiert ist. Das laserchirurgische Instrument 2 ist in der Lage, einen gepulsten Laserstrahl 3 zu erzeugen, so daß das in US 6.110.166 beschriebene Verfahren ausgeführt werden kann. Der Laserstrahl 3 besteht aus fs-Laserpulsen mit einer Pulsfrequenz zwischen 10 und 500 kHz. Die Baugruppen des Instrumentes 2 werden im Ausführungsbeispiel von einer integrierten Steuereinheit gesteuert, deren Funktion später noch anhand der 5 erläutert wird.
  • Das laserchirurgische Instrument 2 weist, wie in 2 schematisch dargestellt ist, eine Strahlquelle S auf, deren Strahlung in die Hornhaut 5 des Auges 1 fokussiert wird. Mittels des laserchirurgischen Instrumentes 2 wird eine Fehlsichtigkeit des Auges 1 des Patienten dadurch behoben, daß aus der Hornhaut 5 Material so entfernt wird, daß sich die Brechungseigenschaften der Hornhaut um ein gewünschtes Maß ändern. Das Material wird dabei dem Stroma der Hornhaut entnommen, das unterhalb von Epithel und Bowmanscher Membran und oberhalb von Decemetscher Membran und Endothel liegt.
  • Die Materialentfernung erfolgt, indem durch Fokussierung des hochenergetischen gepulsten Laserstrahls 3 mittels einer verstellbaren Optik 6 in einem in der Hornhaut 5 liegenden Fokus 7 in der Hornhaut Gewebeschichten getrennt werden. Jeder Puls der gepulsten Laserstrahlung 3 erzeugt dabei einen optischen Durchbruch im Gewebe, welcher wiederum eine Plasmablase 8 initiiert. Dadurch umfaßt die Gewebeschichttrennung ein größeres Gebiet, als der Fokus 7 der Laserstrahlung 3, obwohl die Bedingungen zur Erzielung des Durchbruches nur im Fokus 7 erreicht werden. Durch geeignete Ablenkung des Laserstrahls 3 werden nun während der Behandlung viele Plasmablasen 8 aneinandergereiht. Diese Plasmablasen bilden so eine Schnittfläche 9, die ein Teilvolumen T des Stromas, nämlich das zu entfernende Material der Hornhaut 5 umschreiben.
  • Die Erzeugung der Schnittfläche 9 mittels des laserchirurgischen Instrumentes 2 ist in 3 schematisch dargestellt. Durch Aneinanderreihung der Plasmablasen 8 in Folge stetiger Verschiebung des Fokus 7 des gepulsten fokussierten Laserstrahls 3 wird die Schnittfläche 9 gebildet. Der 3 ist zu entnehmen, daß das laserchirurgische Instrument 2 durch die Laserstrahlung 3 wie ein chirurgisches Messer wirkt, das, ohne die Oberfläche 18 der Hornhaut 5 zu verletzen, direkt Materialschichten im Inneren der Hornhaut 5 trennt. Führt man einen Schnitt 16 durch weitere Erzeugung von Plasmablasen 8 bis an die Oberfläche 18 der Hornhaut, kann ein durch die Schnittfläche 9 isoliertes Material der Hornhaut 5 seitlich in Richtung des Pfeiles 17 herausgezogen und somit entfernt werden.
  • Die Fokusverschiebung erfolgt dabei zum einen in einer Ausführungsform mittels der in 4 schematisch dargestellten Scaneinheit 10, die den auf einer Haupteinfallsachse H auf das Auge 1 einfallenden Laserstrahl 3 um zwei senkrecht zueinander liegenden Achsen ablenkt. Die Scaneinheit 10 verwendet dafür einen Zeilenspiegel 11 sowie einen Bildspiegel 12, was zu zwei hintereinander liegenden räumlichen Ablenkachsen führt. Der Kreuzungspunkt der Hauptstrahlachse H mit der Ablenkachse ist dann der jeweilige Ablenkpunkt. Zur Fokusverschiebung wird zum anderen die Optik 6 geeignet verstellt. Dadurch kann der Fokus 7 in dem in 4 schematisch dargestelltem x/y/z-Koordinatensystem entlang dreier orthogonaler Achsen verstellt werden. Die Scaneinheit 10 verschiebt den Fokus in der x/y-Ebene, wobei der Zeilenspiegel den Fokus in der x-Richtung und der Bildspiegel in der y-Richtung verstellt. Die Optik 6 wirkt dagegen auf die z-Koordinate des Fokus 7. Die Scaneinheit 10 und die Optik 6 bilden somit eine Ablenkeinheit, welche insgesamt eine dreidimensionale Ablenkung des Fokus 7 erreicht.
  • Aufgrund der Cornea-Krümmung, die zwischen 7 und 10 mm beträgt, muß das Teilvolumen T auch entsprechend gekrümmt sein. Die Cornea-Krümmung erfordert somit eine Fokusnachführung entlang einer im wesentlichen gekrümmten Bahn. Dies wird durch geeignete Ansteuerung der Ablenkeinheit 10 und der Optik 6 bewirkt.
  • Die 5 zeigt ein vereinfachtes Blockschaltbild einer ersten Ausführungsform des laserchirurgischen Instrumentes 2 für die refraktive Chirurgie am menschlichen Auge 1. Dargestellt sind nur die wichtigsten Details: ein als Strahlquelle S dienender fs-Laser, welcher aus einem fs-Oszillator V sowie einer oder mehreren Verstärkerstufen 13 besteht und dem hier noch ein Kompressor bzw. Pre-Kompressor 14 nachgeordnet ist; ein Laserpulsmodulator 15, der mit der Laserstrahlung aus dem Laser S beaufschlagt wird; die Scaneinheit 10, hier als Winkelscanner realisiert; ein die Optik 6 verwirklichendes Objektiv zur Fokussierung in das zu bearbeitende Gewebe, und eine Steuereinheit C.
  • Der Laser S erzeugt Laserpulse mit einer Dauer im fs-Bereich. Die Laserpulse gelangen zunächst in den Laserpulsmodulator 15, der (auf noch zu beschreibende Art) eine Veränderung der zur Generation optischer Durchbrüche im Gewebe vorgesehenen Laserpulse vornimmt. Anschließend gelangen die Laserpulse zur Scaneinheit 10 und durch das Objektiv 6 in das Patientenauge 1. Sie sind dort fokussiert und erzeugen im Fokus 7 optische Durchbrüche. Je nach Einstellung des Modulators 15 unterscheiden sich die einzelnen Laserpulse 10 hinsichtlich mindestens eines physikalischen Parameters derart, daß sie im Auge 1 unterschiedliche optische Durchbrüche verursachen.
  • Hinsichtlich der Position des Laserpulsmodulators 15 gibt es verschiedene Möglichkeiten. Es ist mitunter vorteilhaft, ihn bereits unmittelbar nach der letzten Verstärkerstufe 13, also noch vor dem Kompressor/Pre-Kompressor 14 anzuordnen. Er kann somit auch in den Bauraum des Lasers S integriert sein, befindet sich aber meist nach der Verstärkung und dem Oszillator. Wird ein cavity-dumped Ozillator verwendet, so befindet sich der Laserpulsmodulator 15 immer innerhalb des Resonators. Wie noch beschrieben wird, kann der Modulator 15 auch der Ablenkeinheit nachgeordnet sein.
  • Um der Schnittfläche 9 die gewünschte Form zu verleihen und damit ein vorbestimmtes Teilvolumen T zu isolieren steuert die Steuereinheit C die Ablenkeinheit bestehend aus Scaneinheit 10 und Optik 6 sowie den Modulator 15 geeignet und aufeinander abgestimmt an. Dies ist in 5 durch gestrichelte Steuerleitungen zwischen der Steuereinheit C und den genannten Elementen verdeutlicht.
  • Bei der Fehlsichtigkeitskorrektur wird das Ausmaß der Korrektur im wesentlichen durch die Mittendicke der durch das isolierte Teilvolumen T zu entfernenden Linse bestimmt. Aus einfachen optischen Rechnungen ist bekannt, daß für eine optische Zone von 6 mm Durchmesser die Mittendicke (oder zentrale Dicke) 13 μm pro zu korrigierender Dioptrie bei Myopie betragen muß. Eine genauere Betrachtung zeigt aber, daß nicht die Mittendicke des entfernten Teilvolumens entscheidend ist, sondern die gesamte Dicke des entfernten Hornhautmaterials. Dies veranschaulicht 6, die einen Ausschnitt aus der Schnittlinie 9 zeigt. Die Schnittlinie 9 ist durch eine Aneinanderreihung von Plasmablasen 8 erzeugt, die jeweils durch Fokussierung der Behandlungslaserstrahlung 3 in einen Fokuspunkt 8 generiert wurden. Der Durchmesser D der einzelnen Plasmablasen 8 bestimmt den Abstand zwischen Vorderfläche 19 und Rückfläche 20 des gebildeten Schnittes 9 und damit die Dicke d des Schnittes.
  • Die Dicke des entfernten Corneamaterials setzt sich nun zusammen aus der Dicke der entfernten Linse entsprechend dem Teilvolumen T und der Summe der Dicken d der beiden Schnitte. Ist diese Dicke d über die gesamte optische Zone konstant, wie es in 6 gezeigt ist, liefert die Schnittdicke allerdings meist keinen Beitrag zur Veränderung der Brechkraft.
  • Die Steuereinheit C steuert nun den Modulator 15 so an, daß die Dicke D der einzelnen Plasmablasen 8 über den Verlauf der Schnittlinie 9 variiert. Somit ergeben sich Gebiete, in welchen die Schnittlinie 9 mit relativ großen Plamablasendurchmessern 8 erzeugt wurde und solche, in welchen relativ kleine Plasmablasendurchmesser D verliegen. Im Beispiel der 7 sind beispielsweise die Plasmablasendurchmesser D nahe der optischen Achse des Auges sehr viel geringer, als ferner der Achse. Im Ergebnis ist die Dicke d der Schnittlinie 9 nicht mehr konstant, sondern weist eine Variation auf, welche gerade durch die Wirkung des Modulators 15 bewirkt ist.
  • Wie 7 zeigt, sind die Plasmablasen 8 in erster Näherung kreisförmig. Der vergrößerte Durchmesser D wirkt sich also nicht nur in einer örtlich variierenden Dicke d der Schnittlinie 9aus, sondern erlaubt es auch, die Abstände zwischen den Foki 7 von Plasmablasendurchmesser D abhängig zu gestalten. Die Steuereinheit C berücksichtigt deshalb vorzugsweise die Ansteuerung des Modulators 15 bei der Ansteuerung der Ablenkeinrichtung, was sich günstig auf die Schnittgeschwindigkeit auswirkt. In einem vereinfachten Verfahren könnte diese Berücksichtigung aber auch unterbleiben, die Abstände der Foki 7 wäre dann unabhängig vom Durchmesser D der Plasmablasen 8 äquidistant.
  • Die Variation des Durchmessers D der Plasmablasen 8 durch die Steuereinheit C wird nun zur Korrektur von Aberrationen höherer Ordnungen ausgenützt. Wenn beispielsweise ein Durchmesser D von 2 μm mit einer Laserpulsenergie von 0,4 mJ erzeugt wird (was 0,15 mJ über einem typischen Wert für die Schwelle zur Erzeugung eines optischen Durchbruchs liegt), so führt eine Laserpulsenergie von 1,45 mJ zu einer Plasmablase mit doppelten Durchmesser, d. h. einem Durchmesser D von 4 μm. Da die Korrektur von Aberrationen höherer Ordnungen eine Feineinstellung in der Größenordnung von maximal 1–2 μm erfordert, kann durch Einstellung des Plasmablasendurchmessers die Aberrationskorrektur erreicht werden. Falls nötig kann die Wirkung der Verstellung des Plasmablasendurchmessers D noch gesteigert werden, wenn nicht nur die in 7 gezeigte vordere Schnittfläche mit variierender Schnittdicke d ausgeführt wird, sondern auch die (in den 6 und 7 nicht gezeigte) Rückfläche, d. h. diejenige Fläche, die der Oberfläche 18 der Hornhaut weiter entfernt liegt.
  • Die Variation der Schnittdicke d ermöglicht es somit, Aberration höherer Ordnungen zu korrigieren, ohne die Nachteile der im Stand der Technik bislang alleinig dazu in der Lage gewesenen intrastromalen Ablation. Ein Chirurg hat die Möglichkeit, durch Spülen nach Einnahme des Teilvolumen T entstandenen Hohlraums Rückstände zu entfernen, so daß die Problematik von Streuzentren, die dem Konzept der intrastromalen Ablation inhärent ist, nicht mehr auftritt.
  • Dieser Vorteil wird durch die Ansteuerung des Modulators 15 erreicht. Die Laserpulsmodulation ist auf die Ablenkung des Laserstrahls 3 abgestimmt. Der Modulator 15 ist in der Ausführungsform der 5 ein schneller variabler Abschwächer. Er kann realisiert sein in Form eines akustooptischen Modulators in Verbindung mit Blenden, durch reflektive und/oder transmissive LC-Elemente in geeigneter Anordnung mit Polarisatoren, faserbasierte Mach-Zehnder-Intereferenz-Modulatoren oder Pockelszellen in Kombination mit Polarisationsfiltern. Weiter ist es möglich, daß der Modulator 15 die Pulslänge verändert, die Wellenlänge des Behandlungs-Laserstrahls 3 modifiziert, die Fokusgüte durch Einbringen von Aberrationen beeinflußt o.ä. Zur Pulslängenveränderung kann auch vorgesehen werden, daß die Steuereinheit C die Stahlquelle S bzw. den Kompressor 14 geeignet ansteuert. In seiner allgemeinsten Form beeinflußt der Modulator 15 eine Eigenschaft des Behandlungs-Laserstrahls 3, welche sich auf dessen Fähigkeit zur Erzeugung eines optischen Durchbruchs auswirkt. Die Pulslänge kann beispielsweise durch Einführung einer zeitlich variablen spektralen Phasenfunktion verändert werden, wie dies beispielsweise in der deutschen Patentanmeldung 10358927.9 beschrieben ist, deren Offenbarungsgehalt hier explizit ausdrücklich eingebunden wird. Ein auf die Pulslänge wirkender Modulator 15 kann durch spektrale Filterung über drehbare Notch-Filter verwirklicht werden. Veränderbare Abberationen sind über LiNb aufweisende Bauelemente realisierbar, die einen elektrisch steuerbaren Astigmathismus zeigen.
  • Das von der Steuereinheit C verwendete Ansteuersignal wird aus zuvor erzeugten, das Patientenauge beschreibenden Daten gewonnen. Mit Hilfe einer Wellenfrontmessung kann man die optischen Fehler des Auges bestimmen. Üblich ist eine Beschreibung der Fehler durch eine Entwicklung der Wellenfront in Zernike-Polynome. Bei Verwendung dieser Beschreibungsweise läßt sich besonders einfach das Ansteuersignal für den Modulator 15 und die Scaneinrichtung 10 sowie die Optik 6 berechnen. Jedes Zernike-Polynom besteht aus einer Radialfunktion und einer Azimutalfunktion. Die Radialfunktion fließt in die Berechnung der Ansteuerkurve für die Optik 6 ein und muß weder für die Berechnung der Ansteuerfunktion der Scaneinrichtung 10 noch für den Modulator 15 berücksichtigt werden. Die Berechnung der Ansteuerfunktion des Modulators 15 hingegen basiert ausschließlich auf der Azimutalfunktion der Zernike-Polynome. Die führt zu einer einfachen und schnellen Berechung der Ansteuerfunktionen. Darüber hinaus ist die Ansteuerung des Modulators 15 unkritisch, weil der durch den Modulator 15 zur realisierende Einflußbereich auf die Laserstrahlung eingeschränkt wird. Eine weitere mögliche Vereinfachung besteht darin, daß das Steuergerät C den Modulator 15 gemäß rein sinusförmigen Signalen ansteuert, die aus einer Grundwelle mit Oberwellen entsprechend der Anzahl zur berücksichtigender Ordnungen aufgebaut ist. Die Bandbreitenanforderung an die Steuereinheit C sowie den Modulator 15 sind dann vergleichsweise unkritisch.
  • Anstelle eines zeitlich wirkenden Modulators 15 kann in einer zweiten Ausführungsform der Modulator 15 auch in einer Zwischenbildebene als Abschwächer ausgebildet werden, der eine über den Querschnitt variable und einstellbare Transmission aufweist. Diese zweite Ausführungsform entspricht bis auf Lage und Art des Modulators sowie bis auf eine entsprechende Anpassung der Steuereinheit C der ersten bereits beschriebenen Ausführungsform.
  • In Abweichung von 5 ist dann der Modulator 15 der Scaneinrichtung 10 nachgeordnet. Während des Scannen des Behandlungslaserstrahls 3 passiert der Laserstrahl dann je nach Einstellung der Scaneinrichtung 10 unterschiedliche Bereiche des Modulators 15 und wird damit ortsabhängig moduliert, beispielsweise hinsichtlich Puls-Fluence reduziert. Der Modulator 15 kann z.B. rein absorbierend wirken und in einer besonders einfachen Bauweise als lokal variabler Polarisationsfilter ausgebildet sein. Eine Ansteuerung des Modulators 15 ist dann entbehrlich, wenn der Modulator 15 passend zum vorab ermittelten Korrekturbedarf mit geeigneten Strukturen hergestellt wurde, z.B. lithographisch. Anstelle eines absorbierenden Modulators kann natürlich auch einer auf Reflexion basierender Modulator 15 verwendet werden, z.B. ein mit variabler Dicke gesputterter Metallfilter.

Claims (12)

  1. Vorrichtung zum Ausbilden einer Schnittfläche in einem transparenten Material, insbesondere in der Augenhornhaut (5), mit – einer Laserstrahlungsquelle (5), die gepulste Laserstrahlung (3) in das Material (5) fokussiert und dort optische Durchbrüche erzeugt, welche das Material trennende Plasmablasen (8) bewirken, – einer Ablenkeinrichtung (10, 6), die die Lage des Fokuspunktes (7) im Material (5) verstellt, und einer Steuereinrichtung (C), die die Ablenkeinrichtung (10, 6) abgestimmt zur Pulsung der Laserstrahlung (3) ansteuert, um die Schnittfläche (9) durch Aneinanderreihen der Plasmablasen (8) zu erzeugen, wobei die Steuereinrichtung (C) bei der Ansteuerung der Scaneinrichtung (10, 6) eine gewünschte Grund-Geometrie der Schnittfläche (9) zugrundelegt, dadurch gekennzeichnet, daß – eine Strahlbeeinflussungseinrichtung (15) vorgesehen ist, die eine den Plasmablasendurchmesser (D) beeinflussenden Parameter der Laserstrahlung (3) verändert, und – die Steuereinrichtung (C) eine auf die Grund-Geometrie aufbauende Feinstruktur der Schnittfläche (9) erzeugt, indem sie synchron zur Ansteuerung der Ablenkeinrichtung (10, 6) die Strahlbeeinflussungseinrichtung (15) ansteuert und so den Plasmablasendurchmesser ortsabhängig verändert.
  2. Vorrichtung nach einem der obigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung (C) Zugriff auf einen Datenspeicher hat, in dem die Orte der zu erzeugenden Plasmablasen (8) wiedergebende Ortsdaten zusammen mit Plasmablasendaten abgelegt sind, welche ortsabhängig sind und den einzustellenden Plasmablasendurchmesser (D) betreffen.
  3. Vorrichtung nach einem der obigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung (C) die Strahlbeeinflussungseinrichtung (15) gemäß einer Azimutalfunktion von Zernike-Polynomen ansteuert.
  4. Vorrichtung zum Ausbilden einer Schnittfläche in einem transparenten Material, insbesondere in der Augenhornhaut (5), mit – einer Laserstrahlungsquelle (5), die gepulste Laserstrahlung (3) in das Material (5) fokussiert und dort optische Durchbrüche erzeugt, welche das Material trennende Plasmablasen (8) bewirken, – einer Ablenkeinrichtung (10, 6), die die Lage des Fokuspunktes (7) im Material (5) verstellt, und – einer Steuereinrichtung (C), die die Ablenkeinrichtung (10, 6) abgestimmt zur Pulsung der Laserstrahlung (3) ansteuert, um die Schnittfläche (9) durch Aneinanderreihen der Plasmablasen (8) zu erzeugen, wobei die Steuereinrichtung (C) bei der Ansteuerung der Ablenkeinrichtung (10, 6) eine gewünschte Grund-Geometrie der Schnittfläche (9) zugrundelegt, dadurch gekennzeichnet, daß – eine Strahlbeeinflussungseinrichtung (15) vorgesehen ist, die eine den Plasmablasendurchmesser (D) beeinflussenden Parameter der Laserstrahlung (3) verändert, die in einer Zwischenbildebene der Fokussierung liegt, den Parameter gemäß einer vorab bestimmten Ortsabhängigkeit und damit den Plasmablasendurchmesser (D) ortsabhängig verändert.
  5. Vorrichtung nach einem der obigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlbeeinflussungseinrichtung einen einstellbaren Abschwächer (15) aufweist, der die Laserstrahlleistungsdichte im Fokus (7) mindert.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Abschwächer (15) einen akustooptischen Modulator, ein LC-Element, einen faserbasierten Mach-Zehnder Interferenzmodulator oder eine Pockelszelle aufweist.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Abschwächer (15) ein steuerbares Abberationsglied aufweist.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlbeeinflussungseinrichtung (15) die Pulslänge der gepulsten Laserstrahlung (3) verändert.
  9. Verfahren zum Ausbilden einer Schnittfläche in einem transparenten Material, insbesondere in der Augenhornhaut, wobei die Schnittfläche durch Aneinanderreihen von Plasmablasen erzeugt wird, indem – zum Erzeugen jeder Plasmablasen gepulste Laserstrahlung in das Material fokussiert wird und so ein optischer Durchbruch im Material bewirkt wird und – die Plasmablasen in räumlicher Anordnung im Material gemäß einer gewünschten Grund-Geometrie der Schnittfläche erzeugt werden, dadurch gekennzeichnet, daß zum Einstellen einer auf die Grund-Geometrie der Schnittfläche aufbauenden Feinstruktur der Schnittfläche die Plasmablasen mit über die Schnittfläche variierendem Durchmesser erzeugt werden, indem ein den Plasmablasendurchmesser beeinflussender Parameter der gepulsten Laserstrahlung abhängig von der Lage der Plasmablase eingestellt wird.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Parameter mindestens eine der folgenden Größen ist: Laserstrahlleistungsdichte im Fokus, Puls-Fluence, Pulslänge, Pulsenergie, Fokusgüte.
  11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10 zum Ausbilden einer Schnittfläche in der Augenhornhaut, dadurch gekennzeichnet, daß Brechungseigenschaften des Auges bestimmt und daraus die Grund-Geometrie ermittelt wird, daß mittels einer Wellenfrontmessung optische Fehler des Auges bestimmt und eine Wellenfrontentwicklung in Zernike-Polynome durchgeführt wird und daß der den Plasmablasendurchmesser beeinflussenden Parameter gemäß einer Azimutalfunktion der Zernike-Polynome verändert wird.
  12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9–11, dadurch gekennzeichnet, daß die Laserstrahlung synchron zur Pulsung über das Material abgelenkt wird, wobei die Einstellung des den Plasmablasendurchmesser beeinflussenden Parameters synchron zur Ablenkung vorgenommen wird.
DE102005014760.7A 2005-03-31 2005-03-31 Vorrichtung zum Ausbilden einer Präzisions-Schnittfläche in einem Material Active DE102005014760B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005014760.7A DE102005014760B4 (de) 2005-03-31 2005-03-31 Vorrichtung zum Ausbilden einer Präzisions-Schnittfläche in einem Material

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005014760.7A DE102005014760B4 (de) 2005-03-31 2005-03-31 Vorrichtung zum Ausbilden einer Präzisions-Schnittfläche in einem Material

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102005014760A1 true DE102005014760A1 (de) 2006-10-05
DE102005014760B4 DE102005014760B4 (de) 2018-01-18

Family

ID=36998851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102005014760.7A Active DE102005014760B4 (de) 2005-03-31 2005-03-31 Vorrichtung zum Ausbilden einer Präzisions-Schnittfläche in einem Material

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102005014760B4 (de)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007019813A1 (de) * 2007-04-26 2008-10-30 Carl Zeiss Meditec Ag Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen von Schnittflächen in der Hornhaut eines Auges zur Fehlsichtigkeitskorrektur
DE102007053281A1 (de) * 2007-11-08 2009-05-14 Carl Zeiss Meditec Ag Behandlungsvorrichtung zur operativen Fehlsichtigkeitskorrektur eines Auges, Verfahren zum Erzeugen von Steuerdaten dafür und Verfahren zur operativen Fehlsichtigkeitskorrektur eines Auges
DE102008049401A1 (de) * 2008-09-29 2010-04-01 Carl Zeiss Meditec Ag Vorrichtung und Verfahren zur Fehlsichtigkeitskorrektur eines Auges
WO2010136050A1 (de) * 2009-05-26 2010-12-02 Wavelight Gmbh System für die laserchirurgische ophthalmologie
DE102011116759A1 (de) * 2011-10-20 2013-04-25 Carl Zeiss Meditec Ag Ophthalmologisches Lasersystem und Verfahren zum Durchtrennen von Augengewebe
US8491577B2 (en) 2009-05-26 2013-07-23 Wavelight Ag System for ophthalmic laser surgery
DE102015002729A1 (de) * 2015-02-27 2016-09-01 Carl Zeiss Meditec Ag Ophthalmologische Lasertherapievorrichtung und Verfahren zur Erzeugung cornealer Zugangsschnitte
US10327950B2 (en) 2007-11-08 2019-06-25 Carl Zeiss Meditec Ag Treatment apparatus for operatively correcting defective vision of an eye, method for generating control data therefor, and method for operatively correcting defective vision of an eye
DE102009012873B4 (de) 2009-03-12 2021-08-19 Carl Zeiss Meditec Ag Ophthalmologisches Lasersystem und Steuereinheit
DE102021101253A1 (de) 2021-01-21 2022-07-21 Excelsius Medical Co., Ltd. Verarbeitungsvorrichtung für Augengewebe sowie Computerprogramm und computerlesbares Medium zur Steuerung dieser Vorrichtung

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19522915A1 (de) * 1994-06-24 1996-01-04 Nidek Kk Vorrichtung zur Verwendung bei der Operation von Hornhaut des Auges
DE19727573C1 (de) * 1996-10-26 1998-05-20 Aesculap Meditec Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Formgebung von Oberflächen, insbesondere von Linsen

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19522915A1 (de) * 1994-06-24 1996-01-04 Nidek Kk Vorrichtung zur Verwendung bei der Operation von Hornhaut des Auges
DE19727573C1 (de) * 1996-10-26 1998-05-20 Aesculap Meditec Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Formgebung von Oberflächen, insbesondere von Linsen

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8956344B2 (en) 2007-04-26 2015-02-17 Carl Zeiss Meditec Ag Apparatus and method for generating cut surfaces in the cornea of an eye for correction of ametropia
US9943441B2 (en) 2007-04-26 2018-04-17 Carl Zeiss Meditec Ag Apparatus and method for generating cut surfaces in the cornea of an eye for correction of ametropia
US9572716B2 (en) 2007-04-26 2017-02-21 Carl Zeiss Meditec Ag Apparatus and method for generating cut surfaces in the cornea of an eye for correction of ametropia
DE102007019813A1 (de) * 2007-04-26 2008-10-30 Carl Zeiss Meditec Ag Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen von Schnittflächen in der Hornhaut eines Auges zur Fehlsichtigkeitskorrektur
US9084667B2 (en) 2007-11-08 2015-07-21 Carl Zeiss Meditec Ag Treatment device for operatively correcting defective vision of an eye, method for producing control data therefor and method for operatively correcting defective vision of an eye
US10682256B2 (en) 2007-11-08 2020-06-16 Carl Zeiss Meditec Ag Treatment apparatus for operatively correcting defective vision of an eye, method for generating control data therefor, and method for operatively correcting defective vision of an eye
US11357667B2 (en) 2007-11-08 2022-06-14 Carl Zeiss Meditec Ag Treatment apparatus for operatively correcting defective vision of an eye, method for generating control data therefor, and method for operatively correcting defective vision of an eye
US11602457B2 (en) 2007-11-08 2023-03-14 Carl Zeiss Meditec Ag Treatment apparatus for operatively correcting defective vision of an eye, method for generating control data therefor, and method for operatively correcting defective vision of an eye
EP2211804A1 (de) * 2007-11-08 2010-08-04 Carl Zeiss Meditec AG Behandlungsvorrichtung zur operativen fehlsichtigkeitskorrektur eines auges, verfahren zum erzeugen von steuerdaten dafür und verfahren zur operativen fehlsichtigkeitskorrektur eines auges
US10327950B2 (en) 2007-11-08 2019-06-25 Carl Zeiss Meditec Ag Treatment apparatus for operatively correcting defective vision of an eye, method for generating control data therefor, and method for operatively correcting defective vision of an eye
EP2211804B1 (de) * 2007-11-08 2016-08-31 Carl Zeiss Meditec AG Behandlungsvorrichtung zur operativen fehlsichtigkeitskorrektur eines auges und verfahren zum erzeugen von steuerdaten dafür
DE102007053281A1 (de) * 2007-11-08 2009-05-14 Carl Zeiss Meditec Ag Behandlungsvorrichtung zur operativen Fehlsichtigkeitskorrektur eines Auges, Verfahren zum Erzeugen von Steuerdaten dafür und Verfahren zur operativen Fehlsichtigkeitskorrektur eines Auges
DE102008049401A1 (de) * 2008-09-29 2010-04-01 Carl Zeiss Meditec Ag Vorrichtung und Verfahren zur Fehlsichtigkeitskorrektur eines Auges
DE102009012873B4 (de) 2009-03-12 2021-08-19 Carl Zeiss Meditec Ag Ophthalmologisches Lasersystem und Steuereinheit
WO2010136050A1 (de) * 2009-05-26 2010-12-02 Wavelight Gmbh System für die laserchirurgische ophthalmologie
CN102448413A (zh) * 2009-05-26 2012-05-09 威孚莱有限公司 用于眼科激光手术的系统
CN102448413B (zh) * 2009-05-26 2015-08-26 视乐有限公司 用于眼科激光手术的系统
AU2009346800B2 (en) * 2009-05-26 2015-04-09 Alcon Inc. System for laser surgical ophthalmology
US8491577B2 (en) 2009-05-26 2013-07-23 Wavelight Ag System for ophthalmic laser surgery
DE102011116759A1 (de) * 2011-10-20 2013-04-25 Carl Zeiss Meditec Ag Ophthalmologisches Lasersystem und Verfahren zum Durchtrennen von Augengewebe
DE102015002729A1 (de) * 2015-02-27 2016-09-01 Carl Zeiss Meditec Ag Ophthalmologische Lasertherapievorrichtung und Verfahren zur Erzeugung cornealer Zugangsschnitte
US10653557B2 (en) 2015-02-27 2020-05-19 Carl Zeiss Meditec Ag Ophthalmological laser therapy device for producing corneal access incisions
DE102021101253A1 (de) 2021-01-21 2022-07-21 Excelsius Medical Co., Ltd. Verarbeitungsvorrichtung für Augengewebe sowie Computerprogramm und computerlesbares Medium zur Steuerung dieser Vorrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
DE102005014760B4 (de) 2018-01-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102005014760B4 (de) Vorrichtung zum Ausbilden einer Präzisions-Schnittfläche in einem Material
EP1694259B1 (de) Laservorrichtung zur bearbeitung von transparentem gewebe des menschlichen auges mittels laserstrahlung
EP2231084B1 (de) Laserkorrektur von sehfehlern an der natürlichen augenlinse
EP3225221B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur materialbearbeitung mittels laserstrahlung
DE10334108B4 (de) Vorrichtung zum Ausbilden einer geschlossenen, gekrümmten Schnittfläche
EP2138138B1 (de) Vorrichtung zum Ausbilden gekrümmter Schnittflächen in einem transparenten Material
WO2005092259A1 (de) Materialbearbeitungsvorrichtung und -verfahren
EP2142151A1 (de) Vorrichtung und verfahren zum erzeugen von schnittflächen in der hornhaut eines auges zur fehlsichtigkeitskorrektur
DE102006056711A1 (de) Vorrichtung zum Erzeugen einer Korrekturschnittfläche in der Hornhaut eines Auges zur Fehlsichtigkeitskorrektur sowie Kontaktelement für eine solche Vorrichtung
WO2014036995A2 (de) Vorrichtung zum laserschneiden innerhalb transparenter materialien
DE102008049401A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Fehlsichtigkeitskorrektur eines Auges
EP3050544B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur materialbearbeitung mittels laserstrahlung
EP1648359B1 (de) Vorrichtung zum ausbilden von schnittflächen in einem transparenten material
EP1646343B1 (de) Vorrichtung zum ausbilden gekrümmter schnittflächen in einem transparenten material
DE102014014567A1 (de) Erzeugung von speziellen Schnitten in einem transparenten Material mittels optischer Strahlung
DE102008017771A1 (de) Verfahren zur Glättung von Schnittflächen in einem transparenten Material

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
R012 Request for examination validly filed

Effective date: 20120326

R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final