DE102005009455B4

DE102005009455B4 - Ultraschallzerstäuber

Info

Publication number: DE102005009455B4
Application number: DE102005009455.4A
Authority: DE
Inventors: Martin Rüttel; Klaus van Der Linden
Original assignee: Johnson Matthey Catalysts Germany GmbH
Current assignee: Johnson Matthey Piezo Products GmbH
Priority date: 2005-03-02
Filing date: 2005-03-02
Publication date: 2021-01-28
Anticipated expiration: 2025-03-03
Also published as: DE102005009455A1

Abstract

Ultraschallzerstäuber (2) zur Zerstäubung einer Flüssigkeit mittels eines elektrisch anregbaren piezokeramischen Ultraschallwandlers (4), auf dessen der zu zerstäubenden Flüssigkeit abgewandten Wandlerrückseite (8) ein strahlungsempfindlicher Sensor (10) zur Erfassung der Wandlertemperatur (T) angeordnet ist, gekennzeichnet durch eine auf der Wandlerrückseite (8) angeordnete Leiterplatte (12) mit einerdem Ultraschallwandler (4) gegenüberliegenden und domartig ausgebildeten Aufnahmeeinrichtung (14), in welcher der strahlungsempfindliche Sensor (10) zur berührungslosen Erfassung der Wandlertemperatur (T) vertikal versetzt zum Zentrum des Ultraschallwandlers (4) aufgenommen ist.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Ultraschallzerstäuber zur Zerstäubung einer Flüssigkeit gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Ein derartiger Ultraschallzerstäuber ist beispielsweise aus der DE 692 20 965 T2 bekannt.
Bei einem Ultraschallzerstäuber wird eine Flüssigkeit ohne Druckapplikation und ohne Erhitzung zerstäubt. Dazu wird eine mit der Flüssigkeit benetzte Piezokeramik mittels einer hochfrequenten Wechselspannung in Schwingungen versetzt. In Folge dessen bilden sich in der Flüssigkeit Ultraschallwellen aus, deren Maximalstärke auf einer bestimmten Flüssigkeitshöhe erreicht wird und die das Entstehen eines sogenannten Ultraschallrüssels bewirken. Aus diesem Ultraschallrüssel lösen sich kleine Flüssigkeitströpfchen oder Aerosole, die für die gewünschte Anwendung benutzt werden können.
Ultraschallzerstäuber finden ihre Anwendung auf verschiedensten Gebieten. Besonders geeignet sind Ultraschallzerstäuber für die Luftbefeuchtung in Kühltheken, in der Medizin für Inhalationsgeräte oder zum Erzeugen von Kleinklimata. Die Vorteile derartiger Zerstäuber sind nicht nur ein geräuschloser Betrieb und eine platzsparende Bauweise, sondern insbesondere auch deren Wirtschaftlichkeit und Umweltverträglichkeit.
Um einen möglichst zuverlässigen Betrieb des Ultraschallzerstäubers zu erreichen, kann der Ultraschallzerstäuber mit einer Überwachungseinrichtung zum Schutz der Piezokeramik vor Überhitzung ausgerüstet werden. Da die die Piezokeramik benetzende Flüssigkeit Wärme von der Piezokeramik ableitet und die Piezokeramik somit kühlt, ist es üblich, als Überwachungseinrichtung einen Flüssigkeitsstandsensor einzusetzen. Der Flüssigkeitsstandssensor dient insofern als Überhitzungsschutz, als dieser überwacht, ob die Flüssigkeit die Piezokeramik ausreichend benetzt und überdeckt.
Ein derartiger Flüssigkeitsstandsensor kann als Schwimmer an der Oberfläche der Flüssigkeit ausgebildet sein. Der Schwimmer ist mechanisch mit einer Abschaltvorrichtung gekoppelt, die beim Absinken des Flüssigkeitsstandes unter eine Mindesthöhe die Piezokeramik von der Wechselspannungsversorgung trennt.
Mit einem derartigen Flüssigkeitsstandsensor kann lediglich überwacht werden, ob die Piezokeramik mit der Flüssigkeit benetzt ist. Der Flüssigkeitsstandssensor detektiert die Überhitzung der Piezokeramik nur indirekt, weshalb sich dieser nur bedingt zur Überwachung der Piezokeramik eignet. Insbesondere ist eine Überhitzung der Piezokeramik, die nicht auf einem Mangel an Flüssigkeit basiert, von dem Flüssigkeitsstandsensor nicht detektierbar.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Ultraschallzerstäuber mit möglichst langer Betriebsdauer bei gleichzeitig hoher Funktionsfähigkeit anzugeben.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch die Merkmale des Anspruchs 1. Dazu umfasst der Ultraschallzerstäuber zur Zerstäubung einer Flüssigkeit einen elektrisch anregbaren piezokeramischen Ultraschallwandlers, auf dessen der zu zerstäubenden Flüssigkeit abgewandten Wandlerrückseite ein strahlungsempfindlicher Sensor zur berührungslosen Erfassung einer Wandlertemperatur angeordnet ist. Zur Zerstäubung der Flüssigkeit wird hierbei der inverse piezoelektrische Effekt genutzt, d.h. der piezokeramische Ultraschallwandler wird durch Anlegen einer äußeren hochfrequenten Niederspannung angeregt. Dies bewirkt eine Geometrieänderung am piezokeramischen Ultraschallwandler.
Da ein Sensorwiderstand in Abhängigkeit dessen Umgebungstemperatur variiert, weist der Ultraschallzerstäuber eine auf einer Leiterplatte angeformte Aufnahmeeinrichtung für den Sensor auf, die in unmittelbarer Umgebung des Ultraschallwandlers auf dessen Wandlerrückseite angeordnet ist. Der Sensor ist in einem in der Aufnahmeeinrichtung vorgesehenen Auge plaziert. Damit die Umgebungstemperatur des Sensors nahezu der Wandlertemperatur entspricht, ist die Aufnahmeeinrichtung domartig mit einer der Wandlerrückseite zugewandten Domspitze derart ausgebildet, dass das Auge in der Aufnahmeeinrichtung mit einer in der Domspitze vorgesehenen Öffnung der Wandlerrückseite zugewandt ist.
Die Aufnahmeeinrichtung bzw. die Öffnung ist hierbei nach Art eines Strahlungsfensters wirksam. Durch die Öffnung tritt somit lediglich eine vom Ultraschallwandler ausgehende Wärmestrahlung. Weiter ist die Aufnahmeeinrichtung derart ausgebildet, dass ein den Dom umgebender Dommantel den im Auge angeordneten Sensor vollständig umgibt. Leiterplattenseitig ist der Sensor, geschützt durch die Leiterplatte, vor Temperaturschwankungen freigehalten, die nicht die Wandlertemperatur betreffen.
Der strahlungsempfindliche Sensor dient zum Schutz des piezokeramischen Ultraschallwandlers vor Überhitzung. Der auf der der Flüssigkeit abgewandten Wandlerrückseite angeordnete Sensor ermöglicht eine Erfassung der Wandlertemperatur des in Schwingung versetzten Ultraschallwandlers berührungslos. Dadurch ist der Sensor weder der Flüssigkeit, noch den Schwingungen des Ultraschallwandlers ausgesetzt. Somit sind eine sichere und zuverlässige Erfassung der Wandlertemperatur dauerhaft gewährleistet.
Ein weiterer Vorteil des Einsatzes des strahlungsempfindlichen Sensors besteht in der direkten Erfassung der Wandlertemperatur. Der strahlungsempfindliche Sensor erfasst auch ein Erhitzung des Ultraschallwandlers, die nicht auf einem Mangel an den Ultraschallwandler kühlender Zerstäubender-Flüssigkeit basiert.
Zweckmäßigerweise ist der Sensor dazu ausgebildet, ein Sensorsignal mit Informationen über Änderungen der Wandlertemperatur zu erzeugen. Eine Änderung der Wandlertemperatur bewirkt eine Änderung des Sensorsignals. In Abhängigkeit des Verlaufes des Sensorsignals wird ein den Ultraschallwandler mit der hochfrequenten Niederspannung anregendes Ansteuersignal erzeugt. Erfährt der Sensor eine nennenswerte Erhöhung der Wandlertemperatur, resultiert dies in einer Verringerung der Anregung des Ultraschallwandlers oder sogar in einer Abschaltung der am Ultraschallwandler angelegten Spannung.
Zur Erzeugung und/oder zur Veränderung des Ansteuersignals ist vorzugsweise ein Frequenzgenerator vorgesehen. Um den Ultraschallwandler zuverlässig anzusteuern, weist der Ultraschallzerstäuber darüber hinaus einen Regler auf, welchem das Sensorsignal zugeführt ist. Der Regler erstellt in Abhängigkeit einer Wandlertemperaturänderung, die dem Regler als Änderung des Sensorsignals kenntlich gemacht wird, eine bestimmte Leistungsvorgabe für das Ansteuersignal. Die vom Regler erzeugte Leistungsvorgabe wird dem Frequenzgenerator zur Leistungseinstellung, insbesondere zur Einstellung der mittleren Leistung, des Ansteuersignals zugeführt.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung ist der als Widerstandstemperaturfühler dienende Sensor als Thermoelement, insbesondere als PCT- oder als NTC-Widerstand, ausgebildet. Unter einem NTC (negative temperature coefficient)-Widerstand ist hierbei ein Messheißleiter zu verstehen, der als temperaturabhängiger Widerstand mit einem negativen Temperaturkoeffizienten ausgebildet ist. Als Material zur Herstellung des NTC-Widerstandes eignen sich beispielsweise eine Metalloxid-Keramik. Entsprechend ist ein PTC (positive temperature coefficient)-Widerstand ein Bauteil mit positivem Temperaturkoeffizienten.
Die Ermittlung der Wandlertemperatur erfolgt zweckmäßigerweise durch eine Spannungsmessung am Sensor. Zur besonders exakten Ermittlung der Wandlertemperatur ist eine nennenswerte Eigenerwärmung des Sensors dadurch zu vermeiden, dass der durch den Sensor fließende Strom vergleichsweise gering ist.
Um den strahlungsempfindlichen Sensor weiter vor Störungseinflüssen zu schützen, weist der Ultraschallzerstäuber ein die Leiterplatte sowie die Aufnahmeeinrichtung und den Sensor umschließendes Zerstäubergehäuse auf. Das Zerstäubergehäuse ist an einer Gehäuseunterseite mit einem Gehäusedeckel verschließbar.
An einer der zu zerstäubenden Flüssigkeit zugewandten Gehäuseoberseite des Zerstäubergehäuses ist zentral eine Gehäuseöffnung vorgesehen, an deren Öffnungsrand gehäuseinnenseitig der Ultraschallwandler mit dessen der zu zerstäubenden Flüssigkeit zugewandten Flüssigkeitsseite anliegt. Der Ultraschallwandler ist mittels eines Halteringes gehalten und gegen den Öffnungsrand der Gehäuseöffnung gedrückt. Zum besonders einfachen Austausch des Ultraschallwandlers ist der Haltering lösbar im Zerstäubergehäuse gehalten.
Zum Schutz des Gehäuseinneren, beispielsweise der Leiterplatte und des Sensors, ist zwischen dem Öffnungsrand und der Flüssigkeitsseite des Ultraschallwandlers ein Dichtring vorgesehen. Darüber hinaus ist zwischen dem Haltering und der Wandlerrückseite des Ultraschallwandlers ein weiterer Dichtring vorgesehen. Zweckdienlicherweise sind am Gehäuse und am Haltering jeweils eine Einkerbung vorgesehen, in welcher der korrespondierende Dichtring formschlüssig einliegt und abgestützt ist.
Zur besonders einfachen Endmontage der Leiterplatte zusammen mit dem Sensor und dem Haltering des Ultraschallwandlers im Gehäuseinneren ist die Leiterplatte mit einer am Gehäusedeckel gehäuseinnenseitig angeordneten Distanzeinrichtung gehalten. Zweckmäßigerweise weist die Distanzeinrichtung eine Justierfunktion auf, mit der eine Positionierung der Leiterplatte vorgenommen werden kann. Die Leiterplatte kann zur Wartung des Ultraschallzerstäubers oder zum Austauschen von mit der Leiterplatte verbundenen Bauteilen besonders einfach durch Abnehmen des Gehäusedeckels aus dem Gehäuseinneren herausgenommen und wieder eingesetzt werden.
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand einer Zeichnung näher erläutert. Darin zeigen:

1 in perspektivischer Darstellung einen Ultraschallzerstäuber mit einem Ultraschallwandler und einer Aufnahmeeinrichtung für einen strahlungsempfindlichen Sensor,
2 im Querschnitt den in einem Zerstäubergehäuse angeordneten Ultraschallzerstäuber gemäß 1, und
3 ein Blockschaltbild des Ultraschallzerstäubers.

Einander entsprechende Teile sind in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
1 zeigt einen Ultraschallzerstäuber 2 zur Zerstäubung einer (nicht dargestellten) Flüssigkeit. Der Ultraschallzerstäuber 2 umfasst einen Ultraschallwandler 4, der eine mit der Flüssigkeit benetzte Flüssigkeitsseite 6 und eine dieser gegenüberliegende Wandlerrückseite 8 aufweist. Auf der Wandlerrückseite 8 ist ein in 1 nicht sichtbarer, strahlungsempfindlicher Sensor 10 (2) beabstandet zum Ultraschallwandler 4 angeordnet.
Zur Positionierung und/oder Fixierung des Sensors 10 ist an einer auf der Wandlerrückseite 8 vorgesehenen Leiterplatte 12 eine Aufnahmeeinrichtung 14 angeordnet, beispielsweise angeformt, die ein der Wandlerrückseite 8 zugewandtes Auge 16 aufweist, in welchem der Sensor 10 gelagert ist. Die Aufnahmeeinrichtung 14 ist auf der Leiterplatte 12 derart platziert, dass das Auge 16 mit dessen Öffnung 18 zentral und vertikal versetzt zum Zentrum des Ultraschallwandlers 4 angeordnet ist. Der Sensor 10 erfasst durch die der Wandlerrückseite 8 zugewandte Öffnung 18 lediglich diejenige Wärmestrahlung, die von dem Ultraschallwandler 4 ausgeht. Der Sensor 10 ist darüber hinaus seitlich oder umfangsseitig durch einen Mantel 20 und leiterplattenseitig durch die Leiterplatte 12 vor unerwünschten Umgebungseinflüssen geschützt.
Zum Halten des Ultraschallwandlers 4 weist der Ultraschallzerstäuber 2 einen in 1 nicht dargestellten Haltering 22 (2) auf, der über Haltestifte 24 mit der Leiterplatte 12 verbunden ist.
2 zeigt in einem Querschnitt den in einem Zerstäubergehäuse 26 angeordneten Ultraschallzerstäuber 2 gemäß 1. Die Leiterplatte 12 ist zusammen mit dem Sensor 10 und dem Ultraschallwandler 4 im Gehäuseinneren 28 des Zerstäubergehäuses 26 eingeführt. Das Zerstäubergehäuse 26 wird gehäuseunterseitig mit einem Gehäusedeckel 30 verschlossen. Zum besonders einfachen Einsetzen und Herausnehmen der Leiterplatte 12 ist diese mit dem Gehäusedeckel 30 über eine Distanzeinrichtung 32 verbunden. Die Distanzeinrichtung 32 umfasst dazu eine durch ein am Gehäusedeckel 30 vorgesehenes Auge 34 hindurchgeführte Schraube 36, die gehäuseinnenseitig eine Halteplatte 38 trägt, an der zwei mit der Leiterplatte 12 verbundene Haltestifte 40 gehalten sind. Die Distanzeinrichtung 32 weist zusätzlich eine Justierfunktion auf, mit der die Leiterplatte 12 positioniert werden kann.
Ein in 2 ausschnittsweise dargestelltes Gefäß 42 zur Aufnahme der Flüssigkeit ist auf eine Gehäuseoberseite 44 des Zerstäubergehäuses 26 aufgesetzt und anhand von Befestigungsmitteln 46 am Zerstäubergehäuse 26 fixiert. Zur fluidischen Verbindung der Flüssigkeitsseite 6 des Ultraschallwandlers 4 mit einer von der Flüssigkeit benetzten Innenfläche 48 des Gefäßes 42 weist dieses eine durch eine Gefäßwand 50 hindurchreichende, kreisrunde Gefäßöffnung 52 auf. An diese anschließend ist am Zerstäubergehäuse 26 eine durch eine Gehäusewand 54 der Gehäuseoberselte 44 hindurchreichende Gehäuseöffnung 56 vorgesehen.
Der Ultraschallwandler 4 ist an einem Öffnungsrand 58 der Gehäuseöffnung 56 anliegend zwischen der Gehäusewand 54 und dem Haltering 22 gelagert. Zum fluiddichten Abschluss des Gehäuseinneren oder Innenraums 28 in Bezug auf die an der Flüssigkeitsseite 6 befindliche Flüssigkeit sowie zur Lagerung der PZT, d. h. der Piezokeramik bzw. des Ultraschallwandlers weisen sowohl der Haltering 22 als auch die Gehäusewand 54 jeweils eine Einkerbung 60, 62 zur formschlüssigen Aufnahme von Dichtringen 64 bzw. 66 auf. Zur besonders sicheren Abdichtung ist zusätzlich zu den Dichtringen 64, 66 auf der Flüssigkeitsseite 6 ein weiterer Dichtring 68 zwischen dem Ultraschallwandler 4 und dem Öffnungsrand 58 vorgesehen. Der Dichtring 68 ist in einer Einkerbung 70 der Gehäusewand 54 formschlüssig eingebracht.
3 zeigt ein Blockschaltbild des Ultraschallzerstäubers 2, der den Ultraschallwandler 4, eine Sensorschaltung 72, einen Regler 74, einen Frequenzgenerator 76, eine Endstufe 78 und einen Handregler 80 umfasst. Zur Erfassung einer Wandlertemperatur T umfasst die Sensorschaltung 72 den als Thermoelement, zweckmäßigerweise als PTC- oder NTC-Widerstand, ausgebildeten strahlungsempfindlichen Sensor 10.
Das Sensorsignal ändert sich in Abhängigkeit einer auf den Sensor 10 einwirkenden Wärmestrahlung S des Ultraschallwandlers 4. Demzufolge ist eine von der Wandlertemperatur T abhängige Spannung U_T messbar. Die gemessenen Spannungswerte der Spannung U_T werden mittels des oder als Sensorsignal 84 an den Regler 74 übertragen. In Abhängigkeit einer Änderung der Spannungswerte erzeugt der Regler 74 eine Leistungsvorgabe und stellt diese dem Frequenzgenerator 76 über ein Datensignal 86 zur Verfügung. Der Frequenzgenerator 76 erzeugt in Abhängigkeit dieser Leistungsvorgabe ein hochfrequentes Ansteuersignal 88 vergleichsweise niedriger Spannung, das der Endstufe 78 zugeführt ist. Die Endstufe 78 verstärkt das Ansteuersignal 88 und regt den Ultraschallwandler 4 zur Eigenschwingung an.
Für den Fall, dass das Sensorsignal 84 auf einen vergleichsweise hohen Wert ansteigt, ist eine Signalleistung des Ansteuersignals 88 vom Frequenzgenerator 76 herabgesetzt derart, dass eine Anregung des Ultraschallwandlers 4 mittels des inversen piezoelektrischen Effekts vergleichsweise gering ist. Darüber hinaus ist der Regler 74 dazu ausgebildet, bei besonders starkem Anstieg der Wandlertemperatur T den Frequenzgenerator 76 zu veranlassen, die Anregung des Ultraschallwandlers 4 durch Abschalten des hochfrequenten Ansteuersignals 88 zu stoppen, d. h. auszuschalten oder abzustellen.
Der Handregler 80 dient dazu, dem Frequenzgenerator 76 eine von einem Benutzer gewünschte Leistungsvorgabe über ein Datensignal 90 zur Verfügung zu stellen. Zusätzlich zur Regulierung kann der inverse piezoelektrische Effekt am Ultraschallwandler 4 über den Handregler 80 auch ein- und ausgeschaltet werden.
Bezugszeichenliste

2: Ultraschallzerstäuber
4: Ultraschallwandler
6: Flüssigkeitsseite
8: Wandlerrückseite
10: Sensor
12: Leiterplatte
14: Aufnahmeeinrichtung
16: Auge
18: Öffnung
20: Mantel
22: Haltering
24: Haltestift
26: Zerstäubergehäuse
28: Gehäuseinneres
30: Gehäusedeckel
32: Distanzeinrichtung
34: Auge
36: Schraube
38: Halteplatte
40: Haltestift
42: Gefäß
44: Gehäuseoberseite
46: Befestigungsmittel
48: Gefäßinnenfläche
50: Gefäßwand
52: Gefäßöffnung
54: Gehäusewand
56: Gehäuseöffnung
58: Öffnungsrand
60,62: Einkerbung
64,66: Dichtring
68: Dichtring
70: Einkerbung
72: Sensorschaltung
74: Regler
76: Frequenzgenerator
78: Endstufe
80: Handregler
84: Sensorsignal
86: Datensignal
88: Ansteuersignal
90: Datensignal
S: Wärmestrahlung
U_T: Spannung

Claims

Ultraschallzerstäuber (2) zur Zerstäubung einer Flüssigkeit mittels eines elektrisch anregbaren piezokeramischen Ultraschallwandlers (4), auf dessen der zu zerstäubenden Flüssigkeit abgewandten Wandlerrückseite (8) ein strahlungsempfindlicher Sensor (10) zur Erfassung der Wandlertemperatur (T) angeordnet ist, gekennzeichnet durch eine auf der Wandlerrückseite (8) angeordnete Leiterplatte (12) mit einerdem Ultraschallwandler (4) gegenüberliegenden und domartig ausgebildeten Aufnahmeeinrichtung (14), in welcher der strahlungsempfindliche Sensor (10) zur berührungslosen Erfassung der Wandlertemperatur (T) vertikal versetzt zum Zentrum des Ultraschallwandlers (4) aufgenommen ist.
Ultraschallzerstäuber (2) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Änderung eines vom strahlungsempfindlichen Sensor (10) erzeugten Sensorsignals (84) eine Änderung eines den Ultraschallwandler (4) anregenden Ansteuersignals (88) bewirkt.
Ultraschallzerstäuber (2) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Ansteuersignal (88) von einem Frequenzgenerator (76) zur Verfügung gestellt ist.
Ultraschallzerstäuber (2) nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorsignal (84) einem Regler (74) zugeführt ist, der in Abhängigkeit der Änderung des Sensorsignals (84) eine Leistungsvorgabe zur Erzeugung des Ansteuersignals (88) zur Verfügung stellt.
Ultraschallzerstäuber (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der strahlungsempfindliche Sensor (10) als Thermoelement ausgebildet ist.
Ultraschallzerstäuber (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch ein Zerstäubergehäuse (26), auf dessen der zu zerstäubenden Flüssigkeit zugewandten Gehäuseoberseite (44) eine zentrale Gehäuseöffnung (56) vorgesehen ist, an deren Öffnungsrand (58) der Ultraschallwandler (4) mit dessen der zu zerstäubenden Flüssigkeit zugewandten Flüssigkeitsseite (6) flüssigkeitsdicht anliegt.
Ultraschallzerstäuber (2) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Ultraschallwandler (4) unter Zwischenlage eines Dichtrings (66) am Öffnungsrand (58) der Gehäuseöffnung (56) anliegt.
Ultraschallzerstäuber (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Ultraschallwandler (4) mittels eines Halterings (22) im Zerstäubergehäuse (26) lösbar gehalten ist.
Ultraschallzerstäuber (2) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Haltering (22) und dem Ultraschallwandler (4) ein Dichtring (64) vorgesehen ist.
Ultraschallzerstäuber (2) nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Zerstäubergehäuse (26) auf der der zu zerstäubenden Flüssigkeit abgewandten Gehäuseunterseite mittels eines Gehäusedeckels (30) verschlossen ist.
Ultraschallzerstäuber (2) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass am Gehäusedeckel (30) gehäuseinnenseitig eine Distanzeinrichtung (32) zur Halterung und/oder Positionierung der Leiterplatte (12) gehalten ist.