DE102004055274A1 - Rauchmelder - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Rauchmelder, der aufweist: DOLLAR A eine Messeinrichtung (8, 20, 23) mit einem Messchip (5), der eine mikromechanische Messstruktur (6a, 6b, 22, 24) zur Detektion von CO2 und/oder Rauchpartikeln (9) in einem Messraum (7) aufweist, DOLLAR A wobei der Messraum (7) mit einem Außenraum außerhalb des Rauchmelders (1) verbunden ist, und DOLLAR A eine Auswerteeinrichtung (10, 12), die Messsignale (U1, U2) von der Messstruktur (6a, 6b, 22, 24) aufnimmt, eine Konzentration an CO2 und/oder Rauchpartikeln (9) ermittelt und bei Erkennen eines Brandfalls ein Brandsignal (F) über einer Schnittstelle (14) ausgibt. DOLLAR A Erfindungsgemäß wird ein kostengünstiger, hochsensitiver Rauchmelder geschaffen, der eine standardisierte mikromechanische Ausbildung mit geringen Fehlertoleranzen erlaubt.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Rauchmelder, der insbesondere in einer Brandmeldeanlage verwendbar ist.
  • Rauchmelder dienen zur Detektion von Rauch, um einen Brandfall frühzeitig zu erkennen und ein entsprechendes Brandsignal auszugeben. Hierbei sind insbesondere in öffentlichen Gebäuden und Firmengebäuden oftmals mehrere Rauchmelder in einer Brandmeldeanlage aufgenommen. Die Rauchmelder detektieren Rauch in den Räumen, Zuluft- oder Abluftschächten und Fluren und geben Ausgangssignale entweder an eine interne Stelle oder an eine externe Stelle, z. B. eine Feuerwehr. Ergänzend oder alternativ zu den Rauchmeldern werden zum Teil auch Hitzemelder verwendet, die die bei einem Brand entstehende Hitze detektieren.
  • Oftmals wird eine ganze Gruppe von Meldern zu einer Linie zusammengeschaltet, um den Kostenaufwand gering zu halten. Die verschiedenen Linien werden direkt auf die Brandmeldezentrale geschaltet. Wenn ein Rauchmelder in einer Linie ausgelöst hat, wird in der Brandmeldezentrale ein entsprechendes Signal ausgegeben. Der Benutzer, z. B. die Feuerwehr, kann anhand von Linienkarten oder eines Displays die Position des Brandes ausfindig machen, wobei die einzelnen Rauchmelder zum Teil ergänzend eine optische Warnanlage, z. B. LED aufweisen, so dass einzelne Fehlfunktionen bis auf die einzelnen Melder zurückverfolgt werden können.
  • Bei älteren Systemen sind in der Regel mehrere Rauchmelder oder Hitzemelder in Reihe geschaltet und lassen einen definierten Strom zu. Bei Auslösen eines Melders ändert sich hierbei dessen Widerstand um einen vorgegebenen Wert, so dass diese Widerstandsänderung als Brandmeldesignal erkannt werden kann. Bei einem Fehlverhalten im Melder oder einem Bruch in der Zuleitung ändert sich der Strom um einen Wert außerhalb des Auslösebereichs, so dass eine Störung erkannt werden kann.
  • Bei neueren Brandmeldeanlagen sind zum Teil Bussysteme vorgesehen, so dass jeder Melder seine eigene Adresse besitzt und somit die Position des Brandes direkt erkannt werden kann, ohne einzelne Linien abzusuchen.
  • Herkömmliche Rauchmelder sind im Allgemeinen als I-Melder, optische Melder oder Brandgasmelder ausgebildet. I-Melder sind Ionisationsmelder, die durch den Rauch zusätzlich entstehende Ionen detektieren und hierdurch Alarm auslösen. Der radioaktive Anteil in den Meldern ist jedoch problematisch, da der Rauchmelder hierdurch in der Entsorgung teuer und beim Transport problematisch ist.
  • Optische Rauchmelder verwenden Strahlung, insbesondere IR-Strahlung. Gelangt Rauch in den Strahl zwischen einen Sende- und Empfangsteil, wird der Empfang je nach Rauchdichte gedämpft. Je nach eingestellter Alarmschwelle, die durch die Rauchdichte und Zeitdauer des geänderten Signals festgelegt werden kann, löst der Rauchmelder Alarm aus.
  • Brandgasmelder registrieren kleinste Spuren von Kohlenmonoxid, wobei wiederum über die Einstellung definierter Schwellwerte ein Alarm ausgelöst werden kann.
  • Derartige herkömmliche Rauchmelder sind in ihrer Herstellung relativ aufwendig und somit kostspielig. Weiterhin treten bei der Herstellung baubedingte Variationen auf, die zum Teil eine aufwendige Eichung auf Schwellwerte erfordern, die bei jedem Rauchmelder separat zu erfolgen hat.
  • Der erfindungsgemäße Rauchmelder weist demgegenüber einige Vorteile auf. Indem die Messeinrichtung eine mikromechanisch ausgebildete Messstruktur eines Messchips aufweist, ist eine kostengünstige, hochsensitive Lösung möglich. Hierbei können aufgrund der standardisierten bekannten Prozesstechniken, insbesondere der Ausbildung in Oberflächenmikromechanik (OMM), weitgehend identische und baugleiche Messstrukturen hergestellt werden, so dass die baubedingten Toleranzen gering sind.
  • Erfindungsgemäß können hierbei unterschiedliche Messprinzipien angewendet werden. Zum einen ist eine Detektion von CO2 in der Umgebungsluft möglich. Ergänzend kann auch die Konzentration an Rauchpartikeln ermittelt werden. Bei diesem physikalischen Messprinzip werden ein CO2-Sensor mit einer IR-Strahlungsquelle, z. B. einer im Niederstrombereich betriebenen Glühwendel oder einer IR-LED, sowie mikromechanisch ausgebildete IR-Strahlungsdetektoren und unterschiedliche Filtereinrichtungen zur Auswahl verschiedener Wellenlängenbereiche verwendet. Die IR-Strahlung wird durch den Messraum geleitet, mit den unterschiedlichen Strahlungsfiltern gefiltert und von den IR-Strahlungsdetektoren empfangen. Der Gehalt an CO2 kann somit durch einen relativen Vergleich der Absorption der IR-Strahlung in den unterschiedlichen Wellenlängenbereichen ermittelt werden. Die Detektion von Rauchpartikeln kann zusätzlich als zeitliche Verschiebung beider Messsignale gegenüber früheren Messsignalen oder einem vorgegebenen Referenzwert erfolgen.
  • Weiterhin kann ein chemisches Messprinzip verwendet werden, bei dem der ohmsche Widerstandswert einer dem Messraum ausgesetzten Widerstandseinrichtung durch das CO2 und oder die Rauchpartikel verändert wird. Hierbei können z. B. eine mikromechanisch ausgebildete dünne Schicht, z. B. Leiterschicht, undotierte Siliziumschicht oder polykristalline Siliziumschicht, verwendet werden. Das auf der Schicht haftende oder in diese eindringende Gas bzw. die sich auf der Schicht ablagernden Rauchpartikel beeinflussen hierbei den ohmschen Widerstand, dessen Änderung durch die Auswerteeinrichtung ermittelt werden kann.
  • Erfindungsgemäß kann weiterhin eine kapazitive Messung vorgenommen werden, indem ein Zwischenraum zwischen Kondensatorplatten der mikromechanischen Messstruktur Teil des Messraums bzw. mit dem Messraum verbunden ist und somit die Umgebungsluft die Kapazität beeinflusst. Die in der Umgebungsluft vorhandenen Rauchpartikel verändern hierbei das Dielektrikum des Kondensators. Es kann insbesondere ein mikromechanisch ausgebildeter Kondensator mit einer Kammstruktur verwendet werden, der als solches bereits bei Beschleunigungssensoren bekannt ist und eine große Fläche der Kondensatorplatten ermöglicht.
  • Der erfindungsgemäße Rauchmelder kann sowohl – entsprechend herkömmlichen Systemen – in einer Linie mit weiteren Rauchmeldern geschaltet sein als auch eine Busschnittstelle für einen Datenbus aufweisen. Weiterhin ist grundsätzlich auch die Verwendung als Einzelgerät, z. B. in einem Privathaushalt möglich, so dass die Schnittstelle bzw. Ausgabeeinrichtung ein Warnsignal für z. B. eine optische oder akustische Warneinrichtung liefert.
  • Die Erfindung wird im Folgenden anhand der beiliegenden Zeichnungen an einigen Ausführungsformen erläutert. Es zeigen:
  • 1 ein Blockschaltbild eines erfindungsgemäßen Rauchmelders mit einer physikalischen bzw. optischen Messeinrichtung mit mikromechanischer Messstruktur,
  • 2 ein Blockschaltbild eines erfindungsgemäßen Rauchmelders gemäß einer weiteren Ausführungsform mit mikromechanisch ausgebildeter chemischer Messeinrichtung mit ohmscher Widerstandseinrichtung,
  • 3 ein Blockschaltbild eines erfindungsgemäßen Rauchmelders gemäß einer weiteren Ausführungsform mit mikromechanisch ausgebildeter kapazitiver Messstruktur.
  • Ein Rauchmelder 1 weist gemäß der ersten Ausführungsform der 1 ein Substrat 2, z. B. eine Leiterplatte 2, eine auf der Leiterplatte 2 befestigte IR-Lichtquelle 3, z. B. eine im Niederstrombereich betriebene Glühwendel 3, zwei Filterplättchen 4a und 4b und einen mikrostrukturierten Messchip 5 auf. Auf dem mikrostrukturierten Messchip 5 sind zwei lichtempfindliche Messstrukturen 6a, 6b ausgebildet; die Elemente 3, 4a, b, 5 und 6a, b bilden hierbei eine optische Messeinrichtung 8. Die Filterplättchen 4a, 4b sind im optischen Pfad zwischen der Lichtquelle 3 und den Messstrukturen 6a, 6b angeordnet; sie können z. B. in Fenster eines auf den Messchip 5 gesetzten Kappenchips oder eines den Messchip 5 aufnehmenden Gehäuses geklebt sein. Die Filterplättchen 4a, 4b weisen im infraroten Wellenlängenbereich unterschiedliche Absorptionscharakteristiken auf. Hierbei kann z. B. das erste Filterplättchen 4a IR-Strahlung IR lediglich in einem Wellenlängenbereich von z. B. 4 μm bis 5 μm durchlassen, der für die Absorption infraroter Strahlung durch CO2 relevant ist, und das zweite Filterplättchen 4b IR-Strahlung IR in einem anderen Wellenlängenbereich bzw. Referenzwellenlängenbereich durchlassen. Die von der IR-Lichtquelle 3 ausgesendete IR-Strahlung IR tritt durch einen Messraum 7 zwischen der Lichtquelle 3 und den Filterplättchen 4a, 46, erfährt dort in Abhängigkeit der CO2-Konzentration und der Konzentration an Rauchpartikeln eine charakteristische Absorption und gelangt nachfolgend durch die Filterplättchen 4a, 4b und zu den Messstrukturen 6a, 6b.
  • Die Messstrukturen 6a, 6b sind zumindest weitgehend identisch ausgebildet, gleich dimensioniert und durch die Ausbildung auf dem gleichen Substrat des Messchips 5 auch thermisch gekoppelt. In Abhängigkeit von der CO2-Konzentration und Konzentration an Rauchpartikeln ergeben sich somit unterschiedliche Messsignale U1 und U2, wobei das zweite Filterplättchen 4b eine Referenzmessung zur Normierung des Messsignals des ersten Filterplättchens 4a ermöglicht; hierzu können z. B. Differenz- oder Relativwerte der beiden Messungen betrachtet werden. Derartige Messprinzipien zur Bestimmung einer Gaskonzentration sind als solche bekannt und werden daher hier nicht detaillierter beschrieben. Erfindungsgemäß ist erkannt worden, dass durch die Messanordnung ergänzend auch Rauchpartikel detektiert werden können, da diese eine Absorption nicht nur in kleinen Wellenlängenbereichen – wie es für einzelne Gase charakteristisch ist – sondern in größeren Wellenlängenbereichen bzw. über den gesamten Spektralbereich bewirken. Eine allgemeine Abschwächung der Messsignale beider Messstrukturen 6a, 6b kann somit einer Absorption durch Partikel und eine relative Abschwächung des Messsignals U1 des ersten Filterplättchens 6a gegenüber dem Messsignals U2 des zweiten Filterplättchens 6b einer erhöhten CO2-Konzentration zugeordnet werden.
  • Die Messstrukturen 6a, 6b können z. B. lichtempfindliche Widerstände (LDR) sein. Weiterhin können z. B. auch Thermopile-Strukturen ausgebildet sein, bei denen auf durch Unterätzen des Chipsubstrates ausgebildeten Membranen miteinander kontaktierte Leiterbahnen aus unterschiedlichen Materialien ausgebildet und mit einer IR-Strahlung absorbierenden Absorberschicht bedeckt sind. Die Thermopile-Struktur erwärmt sich somit bei Auftreffen von IR-Strahlung auf der Absorberschicht im Bereich der Membran, die von dem Substratmaterial bzw. Bulkmaterial weitgehend thermisch entkoppelt ist. Durch den Temperaturgradienten gegenüber den Leiterbahnbereichen im Substrat kann aufgrund unterschiedlicher Seebeck-Koeffizienten der Leiterbahnmaterialien die Intensität der einfallenden IR-Strahlung mit hoher Genauigkeit ermittelt werden.
  • Auf dem Messchip 5 kann hierbei ein Kappenchip mittels einer Sealglas-Verbindung befestigt sein, so dass zwischen dem Messchip 5 und dem Kappenchip ein Vakuumraum gebildet wird, in dem die beiden Messstrukturen 6a, 6b ausgebildet sind.
  • Hierbei können die Filterplättchen 4a, 4b z. B. auf der Oberseite des Kappenchips befestigt sein.
  • Die Messsignale U1, U2 der Messstrukturen 6a, 6b werden von einer Auswerteeinrichtung ausgelesen, die in der gezeigten Ausführungsform der 1 durch einen Auswerte-ASIC 10 und einen nachfolgenden Mikrocontroller 12 gebildet wird. Alternativ zu einem Auswerte-ASIC 10 kann z. B. auch ein einfacher Differenzverstärker aus diskreten Bauelementen vorgesehen sein. Der Auswerte-ASIC 10 oder Differenzverstärker und der Mikrocontroller 12 können hierbei ebenfalls auf dem Substrat 2 befestigt sein. Der Mikrocontroller 12 ist mit einer Schnittstelle 14 versehen, die einen Anschluss an einen Datenbus 16 der Brandmeldeanlage erlaubt. An den Datenbus 16 sind weitere Rauchmelder 1 sowie eine die Signale der Rauchmelder 1 aufnehmende Brandmeldezentrale 18 vorgesehen.
  • Der Auswerte-ASIC 10 nimmt die Messsignale U1, U2 der Messstrukturen 6a, 6b, d.h. z. B. bei Verwendung von LDRs als Messstrukturen 6a, 6b an diesen abfallende Spannungen oder, bei Verwendung von Thermopile-Strukturen als Messstrukturen 6a, 6b, die erzeugten Thermospannungen auf und wertet sie aus. Die Auswertung erfolgt z. B. über einen Differenzvergleich der beiden durch die Messstrukturen 6a, 6b gebildeter Widerstandselemente und gegebenenfalls einen zusätzlichen Vergleich mit Referenzwerten oder Messwerten vorheriger Messungen; hierdurch kann auf die CO2-Konzentration und gegebenenfalls die Konzentration der Rauchpartikel 9 in der in dem Messraum 7 aufgenommenen Luft geschlossen werden.
  • Die Ausgangssignale des Auswerte-ASICs 10 bzw. Differenzverstärkers werden vorteilhafterweise nachfolgend von einen Mikrocontroller 12 aufgenommen und ergänzend ausgewertet, woraufhin der Mikrocontroller 12 über die Schnittstelle 14 entsprechende Signale an die Brandmeldezentrale 18 ausgibt. Hierzu kann z. B. auch überprüft werden, ob der Rauch über einen Zeitraum detektiert wird, der eine vorgegebene Mindestdauer überschreitet. Bei Erkennen eines Brandfalls wird entsprechend ein Brandsignal F ausgegeben. Bei Verwendung eines Auswerte-ASICs 10 kann der Mikrocontroller 12 grundsätzlich auch entfallen, wenn anstelle eines Datenbusses 16 einfache elektrische Leitungen zur Brandmeldezentrale 18 verlegt werden. Hierbei können z. B. – in an sich bekannter Weise – mehrere Rauchmelder 1 in einer Linie zusammengeschaltet sein, z. B. in Reihenschaltung, die in Abhängigkeit von dem ermittelten Zustand ihren ohmschen Widerstand verändern.
  • Vorteilhafterweise sind die Lichtquelle 3, Filterplättchen 4a, 4b und der Messchip 5 mit den Messstrukturen 6a, 6b in einem Gehäuse vorgesehen, das durch das Substrat 2 und einen aufgesetzten Deckel gebildet wird, wobei die Lichtquelle 3 und der Messchip 5 an entgegengesetzten Enden des Gehäuses angeordnet sein können, so dass der Messraum 7 hinreichend groß ist. Der Messraum ist durch entsprechende Öffnungen im Gehäuse mit dem Außenraum verbunden, um die Umgebungsluft detektieren zu können. Ergänzend können Spiegel- bzw. Reflektoreinrichtungen vorgesehen sein, um den optischen Pfad im Messraum 7 zu vergrößern. Die Reflektoreinrichtungen können auch eine bündelnde Wirkung zur Erhöhung des Signals aufweisen. Hierzu kann z. B. der aufgesetzte Deckel innen verspiegelt sein.
  • Bei der Ausführungsform der 2 weist der Rauchmelder 1 anstelle der optischen Messeinrichtung 8 eine chemische Messeinrichtung 20 mit einer als Widerstandseinrichtung dienenden Heizwendel 22 auf, die wiederum mikromechanisch auf einem Messchip 5 ausgebildet ist. Hierbei ist die Heizwendel 22 in einem oberhalb des Messchips 5 gebildeten Messraum 7 vorgesehen, der wiederum mit dem Außenraum verbunden ist. Die Heizwendel 22 verändert je nach Gasen und/oder Partikeln der Luft im Messraum 7 ihren Widerstandswert. Die unterschiedlichen Gase und Partikel setzen sich auf der Oberfläche 22a der Heizwendel 22 ab und verändern so deren ohmschen Widerstand. Diese Veränderung wird über die abfallende Messspannung U1 als Messsignal von dem Auswerte-ASIC 10 detektiert und von dem ASIC 10 und/oder dem Mikrocontroller 12 ausgewertet. Anstelle des Auswerte-ASIC 10 können wiederum auch diskrete Bauelemente wie z. B. Differenzverstärker vorgesehen sein. Die Widerstandseinrichtung 22 kann statt als Heizwendel auch z. B. als Leiterabschnitt, oder aus undotiertem Silizium, gegebenenfalls auch polykristallinem Silizium gefertigt sein. Indem die Widerstandseinrichtung 22 als ein oder mehrere (parallel oder in Reihe geschaltete) dünne Schicht(en) ausgebildet ist, ergibt sich eine hohe relative Oberfläche, so dass durch Absorption von CO2 und/oder Partikeln auftretende Effekte eine größere relative Änderung des Messsignals, d.h. der an der Widerstandseinrichtung 22 abfallenden Messspannung U1, bewirken. Die Ausbildung von dünnen Schichten durch OMM ist hierbei hinreichend bekannt und wird daher hier nicht detaillierter beschrieben.
  • Grundsätzlich ist es erfindungsgemäß hierbei möglich, dünne Schichten aus unterschiedlichen Materialien auszubilden, die unterschiedliches Absorptionsverhalten für CO2 und Rauchparikel 9 aufweisen, und deren Widerstandsänderungen miteinander zu vergleichen. Hierdurch kann zum einen die Messgenauigkeit erhöht werden und zum anderen gegebenenfalls eine Differenzierung der Änderung des Messsignals auf CO2 und Rauchpartikel erfolgen.
  • Bei der Ausführungsform der 3 ist eine kapazitive Messeinrichtung 23 vorgesehen, die einen auf dem Messchip 5 ausgebildeten Kondensator 24 aufweist. Der Messraum 7 ist hierbei zwischen den Kondensatorplatten 24a, 24b des Kondensators 24 gebildet und bildet somit dessen Dielektrikum.
  • Der Kondensator 24 ist erfindungsgemäß wiederum mikromechanisch realisiert, wobei die Kondensatorplatten 24a, 24b vorteilhafterweise in einer Kammstruktur ausgebildet sind, so dass eine hohe Fläche und eine hohe Kapazität zur Erzielung eines hohen Messsignals ausgebildet werden. Auch bei dieser Ausführungsform hat der zwischen den Kondensatorplatten 24a, 24b gebildete Messraum 7 eine Verbindung zum Außenraum, damit der Rauch im Außenraum bzw. der Umgebungsluft detektiert werden kann.
  • Bei Raucheinwirkung gelangen Rauchpartikel 9 zwischen die Kondensatorplatten 24a, 24b, wodurch sich die sich die Dielektrizitätskonstante des Kondensators 24 und somit auch die Gesamtkapazität C verändern. Diese Änderung wird mittels eines in dem Auswerte-ASIC 10 ausgebildeten Ladungs-/Spannungswandlers erfasst und in dem Auswerte-ASIC 10 weiterverarbeitet. Hierzu können gegebenenfalls weitere Logikteile für die Bewertung des Messsignals in dem Auswerte-ASIC 10 vorgesehen sein, wobei die Weiterverarbeitung der gemessenen Werte in dem Mikrocontroller 12 erfolgen kann.

Claims (14)

  1. Rauchmelder, der aufweist: eine Messeinrichtung (8, 20, 23) mit einem Messchip (5), der eine mikromechanische Messstruktur (6a, 6b, 22, 24) zur Detektion von Kohlendioxid und/oder Rauchpartikeln (9) in einem Messraum (7) aufweist, wobei der Messraum (7) mit einem Außenraum außerhalb des Rauchmelders (1) verbunden ist, und eine Auswerteeinrichtung (10, 12), die Messsignale (U1, U2) von der Messstruktur (6a, 6b, 22, 24) aufnimmt, eine Konzentration an CO2 und/oder Rauchpartikeln (9) ermittelt und bei Erkennen eines Brandfalls ein Brandsignal (F) über eine Schnittstelle (14) ausgibt.
  2. Rauchmelder nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinrichtung einen Auswerte-ASIC (10) aufweist, der die Messsignale (U1, U2) aufnimmt und auswertet.
  3. Rauchmelder nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Auswerte-ASIC (10) und der Messchip (5) als gemeinsamer Chip (5) ausgebildet sind.
  4. Rauchmelder nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinrichtung diskrete Bauelemente aufweist, die die Messsignale (U1, U2) aufnehmen.
  5. Rauchmelder nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinrichtung (10) einen Mikrocontroller (12) aufweist, der die Messsignale (U1, U2) von der Messstruktur (6a, 6b, 22, 24) oder Ausgangssignale des Auswerte-ASICs (10) oder der diskreten Bauelemente aufnimmt, verarbeitet und bei Erkennen des Brandfalls das Brandsignal (F) über die Schnittstelle (14) ausgibt.
  6. Rauchmelder nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messeinrichtung eine optische Messeinrichtung (8) mit einer IR-Strahlungsquelle (3) zum Aussenden von IR-Strahlung (IR), einer Filtereinrichtung (4a, 4b) und mikromechanischen Strahlungsdetektoren (6a, 6b) aufweist, der Messraum (7) im optischen Pfad zwischen der IR-Strahlungsquelle (3) und den Strahlungsdetektoren (6a, 6b) angeordnet ist, und die Filtereinrichtung (4a, 4b) im optischen Pfad zwischen der IR-Strahlungsquelle (3) und der Strahlungsdetektoreinrichtung (6a, 6b) angeordnet ist und Filterdetektoren (6a, b) aufweist, die IR-Strahlung in unterschiedlichen Wellenlängenbereichen absorbieren.
  7. Rauchmelder nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsdetektoren (6a, 6b) lichtempfindliche Widerstände (6a, 6b) sind.
  8. Rauchmelder nach Anspruch G, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsdetektoren auf einer mikromechanisch ausgebildeten Membran aufgetragene Thermopile-Strukturen aufweisen.
  9. Rauchmelder nach einem der Ansprüche G bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinrichtung (10, 12) aus unterschiedlichen Messsignalen (U1, U2) der Strahlungsdetektoren (6a, 6b) zum einen eine CO2-Konzentration als relative Änderung des zweiten Messsignals (U2) gegenüber dem ersten Messsignal (U1) und zum anderen eine Rauchpartikel-Konzentration aus einer Änderung beider Messsignale (U1, U2) gegenüber Referenzwerten oder früheren Messsignalen (U1, U2) ermittelt.
  10. Rauchmelder nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Messeinrichtung eine chemische Messeinrichtung (20) ist, die eine Widerstandseinrichtung (22) aufweist, deren Oberfläche (22a) dem Messraum (7) ausgesetzt ist, die Auswerteeinrichtung (10, 12) aus dem Messsignal (U1) den ohmschen Widerstandswert der Widerstandseinrichtung (22) ermittelt und überprüft, ob der gemessene Widerstandswert von einem vorgegebenen Referenzwert oder früheren Messwerten abweicht und aus einer Abweichung auf die Konzentration an CO2 und/oder Rauchpartikeln (9) schließt.
  11. Rauchmelder nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Widerstandseinrichtung (22) eine dem Messraum (7) ausgesetzte dünne Schicht aufweist.
  12. Rauchmelder nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Messstruktur (24) einen Kondensator (24) aufweist, wobei der Zwischenraum zwischen seinen Kondensatorplatten (24a, 24b) Teil des Messraums (7) ist, wobei die Auswerteeinrichtung (10, 12) aus dem Messsignal (U1) eine Änderung der Kapazität des Kondensators (24) ermittelt und hieraus auf eine Änderung der Konzentration an Rauchpartikeln (9) schließt.
  13. Rauchmelder nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schnittstelle (14) eine Busschnittstelle (14) zum Anschluss an einen zu einer Brandmeldezentrale (18) verlaufenden Datenbus (16) ist.
  14. Rauchmelder nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Schnittstelle (14) ein Anschluss an eine Reihenschaltung mehrerer Rauchmelder ist und über die Schnittstelle in Abhängigkeit davon, ob ein Brandfall detektiert ist, ein unterschiedlicher ohmscher Widerstand eingestellt wird.
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