DE102004044357B4 - Vorrichtung zur Durchführung der Oberflächenbehandlung von Bauteilen in der Plasmatechnik - Google Patents

Vorrichtung zur Durchführung der Oberflächenbehandlung von Bauteilen in der Plasmatechnik Download PDF

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Abstract

Vorrichtung zur Durchführung der Oberflächenbehandlung von Bauteilen in einer Plasmakammer mit
einem in eine Drehbewegung versetzbaren Rotationskörper (1),
zwei durch eine Trennwand (16) abgeteilte Bauteil-Aufnahmekammern (13, 14), die entlang einer Querschnittsrichtung im Rotationskörper (1) vorgesehen und diametral zueinander angeordnet sind,
einem Lagerkörper (9), in dem der Rotationskörper (1) angeordnet ist, wobei der Lagerkörper (9) drei um 90° zueinander versetzte Öffnungen (10, 11, 12) aufweist, derart, dass in zwei um 180° verdrehten Arbeitsstellungen die Bauteile-Aufnahmekammern (13, 14) mit zwei der Öffnungen (10, 11) des Lagerkörpers (9) derart in Verbindung stehen, dass ein zu behandelndes Bauteil (2) in die Aufnahmekammern (13, 14) aufgenommen bzw. abgegeben werden kann, und sich an die dritte Öffnung (12) des Lagerkörpers (9) eine Prozesskammer (7) anschließt,
wobei die Öffnungen (10, 11, 12) gegenüber dem Rotationskörper (1) mit Dichtelementen (4) abgedichtet sind,
Mitteln zur Drehung des Rotationskörpers (1) in einer Drehrichtung (15) in...

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Durchführung der Oberflächenbehandlung von Bauteilen in einer Plasmakammer, in die das zu behandelnde Bauteil eingebracht, die Plasmakammer verschlossen und mit Prozessgas gefüllt wird und wobei danach in der mit Prozessgas gefüllten Plasmakammer mit elektrischer Energie das Prozessgas gezündet und nach der Behandlung das behandelte Bauteil aus der Plasmakammer entnommen wird.
  • Vorbehandlungsverfahren, wie Beflammung, Corona oder Niederdruck-Plasmatechnik, werden in verschiedenen Branchen eingesetzt, um Oberflächen zu modifizieren. Durch diese Vorbehandlungsverfahren ist es möglich, qualitativ hochwertige Materialverbunde zu schaffen.
  • Aus der DE 195 03 718 A1 ist eine Vorrichtung dieser Art bekannt, bei der das zu behandelnde Bauteil in eine Plasmakammer eingebracht wird. Dabei ist ein in eine Drehbewegung versetzbarer Rotationskörper vorgesehen, wobei der Rotationskörper in vier um 90° versetzte Arbeitsstellungen in einem Lagerkörper (Gehäuse) einstellbar ist und wobei der Lagerkörper mit drei in rechten Winkel zueinander stehenden Öffnungen versehen ist. Zudem zeigt die bekannte Vorrichtung eine Prozesskammer, eine Vakuumpumpe und Elektroden bzw. Antennen zur Zuführung elektrischer Energie.
  • Aus der EP 1 127 173 B1 , der US 5 216 223 A , der DE 198 35 154 A1 und der EP 0 490 028 B1 sind Vorrichtungen zur Vakuumbehandlung von Bauteilen bekannt, die für den Behandlungsprozess Schleusen- und Beladungsvorrichtungen aufweisen.
  • Alle diese Vorbehandlungsvorrichtungen haben Vor- und Nachteile. Insofern wird zur Vorbehandlung einer Oberfläche versucht, eine Vorrichtung einzusetzen, die auch die wirt schaftlichen Maßstäbe erfüllt. Die Niederdruck Plasmatechnik stellt von den Anwendungsmöglichkeiten und Effekten der Oberflächenbearbeitung die beste Vorrichtung dar, vor allem durch die geringe Temperaturbelastung der Oberfläche. Größter Nachteil ist der hohe Kostenaufwand für die zur Vakuumerzeugung notwendige Anlagentechnik und die Zubringe- und Entnahmeeinrichtungen für die Bauteile.
  • Bei Kleinteilen werden oft Trommelverfahren angewendet, um eine gleichmäßige Oberflächenbehandlung im Niederdruck-Plasma zu erreichen. Die Teile werden als Schüttgut in Gitterkörbe eingefüllt und die Trommel während des Plasmaprozesses gedreht.
  • Nachteil dieser Vorrichtung ist ein grosses Totvolumen innerhalb der Anlage, sowie eine aufwändige Anlagentechnik für Drehdurchführungen etc. Zudem ist eine solche Anlagentechnik auch nur schwer automatisierbar und erfordert beim Be- und Entladen in der Regel Bedienungspersonal.
    •
  • Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung der eingangs erwähnten Art zur Durchführung der Plasmatechnik für die Oberflächenbehandlung von Bauteilen zu schaffen, die nicht nur mit einfachem technischem Aufbau realisierbar ist, sondern auch mehr oder weniger automatisch betrieben werden kann.
  • Diese Aufgabe wird nach der Erfindung gelöst mit einer Vorrichtung mit einem in eine Drehbewegung versetzbaren Rotationskörper,
    zwei durch eine Trennwand abgeteilte Bauteil-Aufnahmekammern, die entlang einer Querschnittsrichtung im Rotationskörper vorgesehen und diametral zueinander angeordnet sind,
    einem Lagerkörper, in dem der Rotationskörper angeordnet ist,
    wobei der Lagerkörper drei um 90° zueinander versetzte Öffnungen aufweist, derart, dass in zwei um 180° verdrehten Arbeitsstellungen die Bauteile-Aufnahmekammern mit zwei der Öffnungen des Lagerkörpers derart in Verbindung stehen, dass ein zu behandelndes Bauteil in die Aufnahmekammern aufgenommen bzw. abgegeben werden kann, und sich an die dritte Öffnung des Lagerkörpers eine Prozesskammer anschließt,
    wobei die Öffnungen gegenüber dem Rotationskörper mit Dichtelementen abgedichtet sind, Mitteln zur Drehung des Rotationskörpers in einer Drehrichtung in vier um 90° zueinander versetzte Arbeitsstellungen,
    einer Vakuumpumpe, die an die Prozesskammer angeschlossen ist, sowie
    einem Anschluss zur Zuführung eines Prozessgases in die Prozesskammer,
    wobei die Prozesskammer eine Elektrode oder eine Antenne zur Zuführung elektrischer Energie und Erzeugung eines Plasmas aufweist, wobei während der Behandlung des Bauteils die das Bauteil enthaltende Bauteil-Aufnahmekammer mit der Prozesskammer in Verbindung steht.
  • Der Rotationskörper mit dem Lagerkörper und der zugeordneten Prozesskammer schafft allein durch die Drehbewegung des Rotationskörpers aufeinander folgende Arbeitsstellungen zum Beladen und Entladen der Bauteile bzw. für die Behandlung derselben, so dass das Behandlungsverfahren allein durch die Fortschaltung des Rotationskörpers bestimmt wird. Die Prozesskammer bleibt dauernd mit der Vakuumpumpe verbunden und der Anschluss für das Prozessgas ist nicht in den Fortschaltungszyklus des Rotationskörpers einbezogen, auch wenn die Einschaltung der Vakuumpumpe und die Einführung von Prozessgas sowie die Ansteuerung der in der Prozesskammer befindlichen Elektrode oder Antenne von der Behandlungs-Arbeitsstellung des Rotationskörpers abhängig gemacht wird.
  • Ist die Vorrichtung so erweitert, dass in der vertikalen Arbeitsstellung der Bauteil-Aufnahmekammern des Rotationskörpers der zugeordneten oberen Öffnung des Lagerkörpers eine Zubringereinrichtung für die Bauteile zugeordnet ist, während der unteren Öffnung des Lagerkörpers eine Bauteil-Aufnahme – und/oder Bauteil-Abführeinrichtung zugeordnet ist, dann kann das Verfahren zumindest teilweise oder gar voll automatisch ablaufen, wobei diese Einrichtungen einfach bleiben und kein Bedienungspersonal erfordern.
  • Die Vorrichtung bleibt dadurch voll abgedichtet, dass der Winkelbereich der Öffnungen des Lagerkörpers an den Winkelbereich der Bauteil-Aufnahmekammern und der Prozesskammer angepasst ist und dass der Winkelbereich der Öffnungen und der Bauteil-Aufnahmekammern etwas kleiner als 90° ist.
  • Dichtungselemente sorgen dafür, dass die Bauteil-Aufnahmekammern des Rotationskörpers nur über die Öffnungen des Lagerkörpers nach aussen bzw. mit der Prozesskammer in Verbindung kommen können.
  • Eine besonders einfache Lösung ergibt sich nach einer Ausgestaltung dadurch, dass der Rotationskörper als Kugel ausgebildet ist, die in einem Lagerkörper mit hohlkugelförmiger Aufnahme verdrehbar gelagert ist.
  • Ist nach einer Weiterbildung vorgesehen, dass die Bauteil-Aufnahmekammern in einer Einfüll- und Entleer-Arbeitsstellung vertikal übereinander stehen, wobei eine Befüllung der oben liegenden Bauteil-Aufnahmekammer mit Bauteilen erfolgt und die Entleerung durch ein Herausfallen der bearbeiteten Bauteile aus der unten liegenden Aufnahmekammer erfolgt, wobei in der Einfüll- und Entleer-Arbeitsstellung der Rotationskörper die Öffnung der Prozesskammer verschließt.
  • Die Be- und Entladung der Bauteile wird dadurch eingeleitet, dass die Bauteil-Aufnahmekammern in einer Einfüll- und Entleer-Arbeitsstellung um 45° gegenüber der vertikalen Stellung geneigt sind, wobei eine Befüllung der nach oben ausgerichteten Bauteil-Aufnahmekammer mit Bauteilen erfolgt und die Entleerung durch ein Herausfallen der bearbeiteten Bauteile aus der nach unten ausgerichteten Aufnahmekammer erfolgt, wobei in der Einfüll- und Entleer-Arbeitsstellung der Rotationskörper die Öffnung der Prozesskammer verschließt.
  • Bei der Behandlung von kleinen Bauteilen, z.B. auch Schüttgut ist nach einer Weiterbildung vorgesehen, die dadurch gekennzeichnet ist,
    dass die Elektrode in der Prozesskammer durchlöchert ist und die Öffnung des Lagerkörpers verschließt, wobei das Plasma durch die Löcher der Elektrode in die Bauteil-Aufnahmekammer gelangt.
  • Ferner sind Mittel vorgesehen, so dass der Rotationskörper im Lagerkörper in gleichbleibenden oder ungleichförmigen Zeitabständen um 90° in Drehrichtung weitergedreht wird. Die Vorrichtung kann auch so ausgebildet sein, dass Mittel zur Veränderung der Drehzahl des Rotationskörpers vorgesehen sind, wobei der Rotationskörper im Lagerkörper kontinuierlich in Drehrichtung verdreht wird. Die Vorrichtung zur Durchführung einer Oberflächenbehandlung von Bauteilen kann für eine dauernd ablaufende Behandlung nach einer Abwandlung auch so aufgebaut sein, wie im nebengeordneten Anspruch 9 aufgezeigt.
    •
  • Die Erfindung wird anhand von in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 im Querschnitt einen mit Bauteil-Aufnahmekammern versehenen und in einem Lagerkörper drehbar gelagerten Rotationskörper in der vertikalen Einfüll- und Ausbring-Arbeitsstellung,
  • 2 im Querschnitt die Vorrichtung bei um 90° verdrehtem Rotationskörper in der Behandlungs-Arbeitsstellung,
  • 3 eine Anordnung der Vorrichtung nach 1 in einer um 45° entgegen der Drehrichtung versetzten Stellung der Bauteil-Aufnahmekammern, die bei der Behandlung von kleinen Bauteilen bevorzugt wird.
  • 4 die der 2 entsprechende Behandlungs-Arbeitsstellung bei der Anordnung des Rotationskörpers und Lagerkörpers nach 3 und
  • 5 die Weiterbildung der Vorrichtung mit Eingangs- und Ausgangsschleuse und einer Dauer-Plasmakammer mit Rotations- und Lagerkörpern nach 1.
  • Wie der Schnitt nach 1 zeigt, ist der z.B. als Walze oder Kugel ausgebildete Rotationskörper 1 in dem Hohlraum eines Lagerkörpers 9 drehbar gelagert, wobei die (nicht gezeigte) Drehachse durch den Mittelpunkt des runden Querschnitts (nach 1) des Rotationskörpers 1 verläuft. Der Rotationskörper 1 weist in diametraler Richtung zwei Bauteil-Aufnahmekammern 13 und 14 auf, die durch eine Trennwand 16 abgeteilt sind.
  • Wie der Pfeil 17 über der oben liegenden Öffnung 10 andeutet, wird die Bauteil-Aufnahmekammer 13 mit dem zu behandelnden Bauteil 2 gefüllt. Dies kann im freien Fall aus einer Zubringereinrichtung erfolgen. Nimmt nach der Behandlung der Rotationskörper 1 die um 180° verdrehte Stellung ein, dann fällt das Bauteil 2 aus der nun untenliegenden Bauteil-Aufnahmekammer 13 heraus und wird über eine in Richtung 18 anschließende (nicht gezeigte) Bauteil-Aufnahme- und/oder Bauteil-Abführeinrichtung aufgenommen und/oder weitergeleitet. Diese Vorgänge sind daher leicht automatisierbar.
  • Für eine eindeutige Funktion der Vorrichtung ist es erforderlich, dass die Dichtungselemente 4 im Lagerkörper 9 die Öffnungen 10, 11 und 12 einwandfrei abdichten.
  • Zwischen den Öffnungen 10 und 11 in vertikaler Richtung des Lagerkörpers 9 schließt sich mittig horizontal die Öffnung 12 an, die zu einer Prozesskammer 7 führt, die denselben Querschnitt aufweist, wie die Bauteil-Aufnahmekammern 13 und 14. In der Prozesskammer 7 ist eine Elektrode 3 oder eine Antenne eingebaut, über die die elektrische Energie zur Zündung des über den Anschluss 6 eingebrachten Prozessgases eingeleitet wird. Die Prozesskammer 7 wird vorher durch eine Vakuumpumpe 5 auf Unterdruck gebracht. Mit 8 ist die Einführung für die Elektrode 3 oder Antenne bezeichnet. Mit 15 ist die Drehrichtung des Rotationskörpers 1 gekennzeichnet.
  • Wird nach dem Einbringen des Bauteils 2 in die Bauteil-Aufnahmekammer 13 der Rotationskörper 1 um 90° in Drehrichtung 15 verdreht, dann nimmt die Vorrichtung die in 2 gezeigte Behandlungs-Arbeitsstellung ein, in der die Prozesskammer 7 mit der Bauteil-Aufnahmekammer 13 verbunden ist. Die Behandlung des Bauteils 2 kann dann nach bekanntem Verfahrensablauf durchgeführt werden.
  • Wird der Rotationskörper 1 um weitere 90° in Drehrichtung 15 weiterverstellt, dann fällt das behandelte Bauteil über die untere Öffnung 11 des Lagerkörpers 9 heraus und wird in Richtung 18 weiterbearbeitet z. B. aufgenommen und abtransportiert.
  • Mittlerweile steht die Bauteil-Aufnahmekammer 14 oben und wird aus Richtung 17 bestückt. Es bleibt noch zu erwähnen, dass die Vorrichtung kontinuierlich oder schrittweise arbeiten kann. Dabei kann der Rotationskörper 1 eine schrittweise jeweils um 90° fortschreitende oder eine kontinuierliche Dhehbewegung durchführen. Dies hängt in erster Linie vom Behandlungsverfahren der Bauteile 2 ab. Die Vorrichtung bleibt im Aufbau gleich, es sind lediglich die Rotation des Rotationskörpers 1 und die Funktionen der Einrichtungen der Prozesskammer 7 auf das gewünschte Verfahren abzustellen.
  • Damit die Behandlung der Bauteile 2 über die Prozesskammer 7 nicht durch die Aussenatmosphäre beeinträchtigt wird, ist der Winkelbereich zwischen den Öffnungen 10, 11 und 12 sowie der Bauteil-Aufnahmekammern so angepasst, dass keine Überlappungen mit der Prozesskammer 7 auftreten. Dies bedeutet, der Winkelbereich der Öffnungen 10, 11 und 12 ist kleiner als 90° und der Abstand zwischen denselben größer als 90°. Die Prozesskammer 7 hat denselben Winkelbereich kleiner 90° wie die Öffnungen 10, 11 und 12.
  • Wird die Elektrode 3 als Abschluss der Prozesskammer 7 verwendet, dann können auch kleine Bauteile 2 beim Weiterdrehen des Rotationskörpers 1 nicht in die Prozesskammer 7 gelangen. Wenn die Elektrode 3 für den Durchtritt des Plasmas in die davor angeordnete Bauteil-Bearbeitungskammer entsprechend durchlöchert ist.
  • Wie die 3 und 4 zeigen, kann die Vorrichtung auch entgegen der Drehrichtung 15 um 45° verdreht aufgebaut werden. Dann kann sicher auf den Abschluss der Prozesskammer 7 mit der Elektrode 3 verzichtet werden. Wie die Richtungen 17 und 18 zeigen, wird dadurch das Einbringen (3) der Bauteile 2 in die Bauteil-Aufnahmekammer 13 ebenso wenig beeinflusst, wie die Behandlung (4) der Bauteile 2 über die Prozesskammer 7. Selbstverständlich können die behandelten Bauteile 2 aus der Bauteil-Aufnahmekammer 14 in Richtung 18 allein durch ihr Eigengewicht herausfallen.
  • Bei den in den 1 bis 4 gezeigten Vorrichtungen wird die Drehbewegung des Rotationskörpers 1 vorzugsweise in 90°-Schritten vorgenommen. Dabei kann ein gleichbleibender Fortschaltzyklus mit gleichbleibenden Schaltpausen angewendet werden. Auch eine kontinuierliche Weiterschaltung mit unterschiedlichen Drehzahlen ist möglich. Diese Betriebsweisen hängen von den nötigen Behandlungszeiten ab.
  • Für eine kontinuierliche Betriebsweise kann eine Vorrichtung mit Rotationskörpern 1 und Lagerkörpern 9 so erweitert werden, wie 5 zeigt.
  • Wie im oberen Teil der 5 gezeigt ist, bildet eine Vorrichtung nach 1 eine Eingangsschleuse ES, der über die Richtung 17 und die Öffnung 10 des Lagerkörpers 1 die Bauteile 2 zugeführt werden. Nach dem Einbringen der Bauteile 2 wird in der folgenden Arbeitsstellung über eine Vorvakuum-Kammer 7' mit der Vakuumpumpe 5' ein Vorvakuum erzeugt, wenn eine Bauteil-Bearbeitungskammer 13 oder 14 über die Öffnung 12 in Verbindung mit der Vorvakuum-Kammer 7' kommt. Dreht der Rotationskörper 1 weiter, dann gelangt das Bauteil 2 über die Öffnung 11 in Richtung 18 in den Plasmaraum 20 einer Dauer-Plasmakammer PK, der dauernd über den Anschluss 6' Prozessgas und über die diametral angeordneten Elektroden 3' und 3'' elektrische Energie zugeführt wird. Die Elektroden 3' und 3'' sind über Durchführungen 8' und 8'' im Kammergehäuse 21 in den Plasmaraum 20 eingeführt. Mit einer Vakuumpumpe 5''' kann von Zeit zu Zeit oder dauernd zumindest ein Teil des verbrauchten Plasmas aus dem Plasmaraum 20 abgesaugt werden.
  • Der Plasmaraum 20 wird von den Bauteilen 2' passiert, wobei die Behandlung vorgenommen wird. Am unteren Ende des Plasmaraumes 20 ist eine aus Rotationskörper 1' und Lagerkörper 9' gebildete Ausgangsschleuse AS angeordnet. die synchron mit der Eingangsschleuse ES verdreht wird so dass das aus dem Plasmaraum 20 fallende Bauteil 2' über die Öffnung 10' in die Bauteil-Aufnahmekammer 13' fallen kann.
  • Die dritte Öffnung 12' der Ausgangsschleuse AS ist in Drehrichtung 15 um 180° versetzt, so dass daran wieder eine Vorvakuumkammer 7'' mit Vakuumpumpe 5'' angebracht werden kann. Eine Bauteil-Aufnahmekammer 13' oder 14' wird daher vor Einlauf in die Verbindungsstellung mit dem Plasmaraum 20 über die Öffnung 10' auf ein Vorvakuum gebracht. Auf diese Weise wird der Plasmaraum 20, der dauernd Vakuum führt, gegenüber der Aussenatmosphäre entkoppelt und dies sowohl bei der Eingangsschleuse ES als auch bei der Ausgangsschleuse AS. Über die Fortschaltung der Eingangsschleuse ES und der Ausgangsschleuse AS können die Betriebsbedingungen für den Plasmaprozess variiert werden.
  • Die Vorrichtung nach 5 kann selbstverständlich ähnlich den 3 und 4 um 45° entgegen der Drehrichtung 15 versetzt angeordnet und betrieben werden.
  • In allen Ausführungsbeispielen kann als Rotationskörper 1 bzw. 1' eine Kugel verwendet werden, die in einem Lagerkörper 9 bzw. 9' mit hohlkugelförmiger Aufnahme verdreht wird (ähnlich dem Aufbau von Kugelventilen).

Claims (13)

  1. Vorrichtung zur Durchführung der Oberflächenbehandlung von Bauteilen in einer Plasmakammer mit einem in eine Drehbewegung versetzbaren Rotationskörper (1), zwei durch eine Trennwand (16) abgeteilte Bauteil-Aufnahmekammern (13, 14), die entlang einer Querschnittsrichtung im Rotationskörper (1) vorgesehen und diametral zueinander angeordnet sind, einem Lagerkörper (9), in dem der Rotationskörper (1) angeordnet ist, wobei der Lagerkörper (9) drei um 90° zueinander versetzte Öffnungen (10, 11, 12) aufweist, derart, dass in zwei um 180° verdrehten Arbeitsstellungen die Bauteile-Aufnahmekammern (13, 14) mit zwei der Öffnungen (10, 11) des Lagerkörpers (9) derart in Verbindung stehen, dass ein zu behandelndes Bauteil (2) in die Aufnahmekammern (13, 14) aufgenommen bzw. abgegeben werden kann, und sich an die dritte Öffnung (12) des Lagerkörpers (9) eine Prozesskammer (7) anschließt, wobei die Öffnungen (10, 11, 12) gegenüber dem Rotationskörper (1) mit Dichtelementen (4) abgedichtet sind, Mitteln zur Drehung des Rotationskörpers (1) in einer Drehrichtung (15) in vier um 90° zueinander versetzte Arbeitsstellungen, einer Vakuumpumpe (5), die an die Prozesskammer (7) angeschlossen ist, sowie einem Anschluss (6) zur Zuführung eines Prozessgases in die Prozesskammer (7), wobei die Prozesskammer (7) eine Elektrode (3) oder eine Antenne zur Zuführung elektrischer Energie und Erzeugung eines Plasmas aufweist, wobei während der Behandlung des Bauteils die das Bauteil enthaltende Bauteil-Aufnahmekammer (13, 14) mit der Prozesskammer (7) in Verbindung steht.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Winkelbereich zwischen den Öffnungen (10, 11, 12) größer als 90° ist, so dass beim Drehen der Bauteile-Aufnahmekammern (13, 14) keine Aussenluft über eine der Bauteile-Aufnahmekammern (13, 14) in die Prozesskammer (7) durch eine Überlappung zwischen den Öffnungen (10, 12) oder (11, 12) eintreten kann.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Rotationskörper (1) als Kugel ausgebildet ist, die in einem Lagerkörper (9) mit hohlkugelförmiger Aufnahme verdrehbar gelagert ist.
  4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Bauteil-Aufnahmekammern (13, 14) in einer Einfüll- und Entleer-Arbeitsstellung vertikal übereinander stehen, wobei eine Befüllung der oben liegenden Bauteil-Aufnahmekammer (13 bzw. 14) mit Bauteilen (2) erfolgt und die Entleerung durch ein Herausfallen der bearbeiteten Bauteile (2) aus der unten liegenden Aufnahmekammer (14 bzw. 13) erfolgt, wobei in der Einfüll- und Entleer-Arbeitsstellung der Rotationskörper (1) die Öffnung (12) der Prozesskammer (7) verschließt.
  5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Bauteil-Aufnahmekammern (13, 14) in einer Einfüll- und Entleer-Arbeitsstellung um 45° gegenüber der vertikalen Stellung geneigt sind, wobei eine Befüllung der nach oben ausgerichteten Bauteil-Aufnahmekammer (13 bzw. 14) mit Bauteilen (2) erfolgt und die Entleerung durch ein Herausfallen der bearbeiteten Bauteile (2) aus der nach unten ausgerichteten Aufnahmekammer (14 bzw. 13) erfolgt, wobei in der Einfüll- und Entleer-Arbeitsstellung der Rotationskörper (1) die Öffnung (12) der Prozesskammer (7) verschließt.
  6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrode (3) in der Prozesskammer (7) durchlöchert ist und die Öffnung (12) des Lagerkörpers (9) verschließt, wobei das Plasma durch die Löcher der Elektrode (3) in die Bauteil-Aufnahmekammer (13, 14) gelangt.
  7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel vorgesehen sind, so dass der Rotationskörper (1) im Lagerkörper (9) in gleichbleibenden oder ungleichförmigen Zeitabständen um 90° in Drehrichtung (15) weitergedreht wird.
  8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel zur Veränderung der Drehzahl des Rotationskörpers (1) vorgesehen sind, wobei der Rotationskörper (1) im Lagerkörper (9) kontinuierlich in Drehrichtung (15) verdreht wird.
  9. Vorrichtung zur Durchführung einer Oberflächenbehandlung von Bauteilen die aus einer Eingangsschleuse (ES), einer Dauer-Plasmakammer (PK) und einer Ausgangsschleuse (AS) besteht, wobei die Eingangsschleuse (ES) und die Ausgangsschleuse (AS) jeweils aus • einem in eine Drehbewegung versetzbaren Rotationskörper (1, 1') • zwei durch eine Trennwand (16) abgeteilte Bauteil-Aufnahmekammern (13, 13', 14, 14'), die entlang einer Querschnittsrichtung im Rotationskörper (1, 1') vorgesehen sind und diametral zueinander angeordnet sind, • einem Lagerkörper (9, 9'), in dem der Rotationskörper (1, 1') angeordnet ist, – wobei der Lagerkörper (9, 9') eine erste Öffnung (10, 10'), eine zweite Öffnung (11, 11') und eine dritte Öffnung (12, 12') aufweist, wobei die erste zur dritten und die dritte zur zweiten Öffnung jeweils um 90° zueinander versetzt sind, derart, dass in zwei um 180° verdrehten Arbeitsstellungen die Bauteile-Aufnahmekammern (13, 13', 14, 14') mit der ersten (10, 10') und zweiten Öffnung (11, 11') des Lagerkörpers (9, 9') derart in Verbindung stehen, dass ein zu behandelndes Bauteil (2, 2', 2'') in die Aufnahmekammern (13, 13', 14, 14') aufgenommen bzw. abgegeben werden kann, und sich an die dritte Öffnung (12, 12') des Lagerkörpers (9, 9') eine Vorvakuumkammer (7', 7'') anschließt, – wobei die erste, zweite und dritte Öffnung (10, 10', 11, 11', 12, 12') gegenüber dem Rotationskörper (1, 1') mit Dichtelementen (4, 4') abgedichtet sind, • Mitteln zur Drehung des Rotationskörpers (1, 1') in einer Drehrichtung (15, 15') in vier um 90 ° zueinander versetzte Arbeitsstellungen • Vakuumpumpen (5, 5''), die an die Vorvakuumkammer (7, 7'') angeschlossen sind, bestehen und die Dauer-Plasmakammer (PK) zwischen der zweiten Öffnung (11) der Eingangsschleuse (ES) und der ersten Öffnung (10') der Ausgangsschleuse (AS) angeordnet ist.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel vorgesehen sind, um die Eingangsschleuse (ES) und die Ausgangsschleuse (AS) synchron zu verstellen.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausgangsschleuse (AS) eine gegenüber der Eingangsschleuse (ES) um 180° versetzte dritte Öffnung (12') innerhalb des Lagerkörpers (9') aufweist, der eine zweite Vorvakuum-Kammer (7'') mit Vakuumpumpe (5'') zugeordnet ist.
  12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Dauer-Plasmakammer (PK) diametral angeordnete Elektroden (3', 3'') mit Durchführungen (8', 8'') und einen Anschluss (6') für Prozessgas aufweist und dass mit einer Vakuumpumpe (5''') zumindest ein Teil verbrauchtes Prozessgas aus der Dauer-Plasmakammer (PK) abgesaugt wird.
  13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Dauer-Plasmakammer (PK) ein Kammergehäuse (21) aufweist, das an den Querschnitt der Ausgangsseite der Eingangsschleuse (ES) und den Querschnitt der Eingangsseite der Ausgangsschleuse (AS) angepasst ist.
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