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Die
Erfindung betrifft eine Fluid-Transport-Vorrichtung, eine Sensor-Anordnung,
eine Fluid-Misch-Vorrichtung und ein Verfahren zum Herstellen einer
Fluid-Transport-Vorrichtung.
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Aus
dem Stand der Technik sind Bauelemente bekannt, deren Funktionalität auf der
Verwendung von akustischen Wellen beruht.
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[1]
offenbart einen Positionsdetektor basierend auf akustischen Oberflächenwellen.
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Aus
[2] ist ein Mikromechanik-Sensor-Element bekannt, das ein schwingfähiges Element
und eine Molekül-Kopplungsschicht
aufweist, die derart eingerichtet ist, dass an der Molekül-Kopplungsschicht
Moleküle
binden können.
Infolge der Kopplung der Molekühle
an der Molekül-Kopplungsschicht wird
die Kapazität
des schwingfähigen
Elements verändert,
wodurch ein Sensorereignis elektrisch detektiert werden kann.
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Die
Biotechnologie und die Gentechnologie haben in den letzten Jahren
zunehmend an Bedeutung gewonnen. Eine Grundtechnik im Rahmen dieser
Technologien ist es, biologische Molekühle wie DNA oder RNA, Proteine,
Polypeptide, etc. nachweisen zu können.
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Pharma-Screening
und Health-Care-Anwendungen im Life-Science-Bereich erfordern eine Kette von unterschiedlichen
chemischen Reaktionen zur Aufbereitung von zu untersuchenden Makromolekühlen in
einer zu untersuchenden Reagenz. Da solche Untersuchungen sehr häufig mit
sehr ähnlichen Randbedingungen
durchgeführt
werden, birgt das Vereinfachen und Automatisieren solcher Untersuchungen
ein enormes Einsparpotential. Das Ziel solcher Automatisierungsprozesse
ist ein Lab-on-Chip, anschaulich ein in einem Substrat monolithisch
integriertes Labor, bei dem alle erforderlichen Reaktionen auf einem
einzigen möglichst
kleinen Substrat stattfinden und die Reagenzien in ihren einzelnen Reaktionsstufen
von einem Reaktor zum nächsten transportiert
werden. Eine wichtige Voraussetzung zur Realisierung eines solchen
Lab-on-Chip ist die Möglichkeit,
die Reagenzien auf dem Chip zu transportieren bzw. unterschiedliche
Reagenzien durch Zusammenführung
bereits auf dem Sensor-Chip zu mischen bzw. zu einer chemischen
Reaktion zu bringen.
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Im
Weiteren werden aus dem Stand der Technik bekannte Verfahren beschrieben,
mit denen ein Fluid (insbesondere eine Flüssigkeit) transportiert werden
kann.
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[3]
offenbart ein Verfahren zur gezielten Manipulation kleiner Materiemengen
auf Festkörperoberflächen, bei
dem Oberflächenwellen
generiert werden und der Impuls der Oberflächenwellen mit der Materienmenge
in Wechselwirkung gebracht wird, um eine Bewegung in der gewünschten
Richtung zu bewirken. Anders ausgedrückt offenbart [3] das Bilden
variabler Oberflächenwellen-Bäuche, mittels
welcher eine lokale Bewegung einer Flüssigkeit hervorgerufen wird.
Hierbei wird ein Array von Elektroden planar auf ein piezoelektrisches
Material aufgebracht. Mittels Variierens des Abstandes und der Länge der
Elektroden kann auf diese Weise ein Impulsübertrag der von den Elektroden
erzeugten horizontalen Wellenfronten auf die Flüssigkeit erreicht werden. [4]
bis [9] offenbaren ähnliche
Vorrichtungen.
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Bei
einem anderen Verfahren zum Bewegen von Fluiden wird Elektrophorese
ausgenutzt. Bei einem solchen Elektrophorese-Verfahren wird die Eigenschaft ausgenutzt,
dass elektrische Multipole (Monopole, Dipole, Quadrupole,...) in
einer Flüssigkeit
durch ein elektrisches Feld beschleunigt werden können, womit
ein Transport dieser Multipole bewirkt wird. Dieses Verfahren setzt
somit polare Eigenschaften der zu untersuchenden Teilchen voraus
und kann aufgrund der geringen Beweglichkeit der meisten elektrischen
Multipole in Flüssigkeiten
keine ausreichend großen
Durchsatzgeschwindigkeiten erreichen.
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Bei
einem anderen Verfahren zum Transport von Flüssigkeiten werden Kapillarkräfte ausgenutzt. Kapillarkräfte können einen
laminaren Strom einer Flüssigkeit
durch eine enge Öffnung
führen,
sofern ein Konzentrationsgefälle
zwischen den beiden Seiten der Öffnung
existiert. Somit ist dieses Verfahren auf eine dauerhafte Senke
für die
zu transportierenden Teilchen auf der einen Seite der Öffnung angewiesen,
was eine universelle Einsetzbarkeit des Verfahrens verhindert bzw.
zu hohen Implementierungskosten führt.
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Bei
einem anderen Verfahren zum Transport von Flüssigkeiten werden Mikropumpen
verwendet, die aus mikromechanisch gefertigten Membranen (z.B. in
Siliziumtechnologie) gebildet sind. Solche Mikropumpen eignen sich
zwar zum Transport von Flüssigkeiten,
allerdings ist ihre Integration als Lab-on-Chip aufwendig und teuer.
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Bei
einem anderen Verfahren zum Transport von Flüssigkeiten werden konventionelle
Pumpen verwendet, die in einem makroskopischen Analysesystem integriert
sind. Dieses Verfahren ist nicht für die Untersuchung sehr geringer
Flüssigkeitsmengen geeignet.
Allerdings stehen insbesondere bei biotechnologischen Verfahren
häufig
nur sehr geringe Flüssigkeitsmengen
in der Größenordnung
von hundert Mikroliter und weniger zur Verfügung.
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Der
Erfindung liegt insbesondere das Problem zugrunde, einen effizienten
Transport von Fluiden selbst bei geringen Volumina zu ermöglichen.
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Das
Problem wird durch eine Fluid-Transport-Vorrichtung, durch eine
Sensor-Anordnung, durch eine Fluid-Misch-Vorrichtung und durch ein Verfahren
zum Herstellen einer Fluid-Transport-Vorrichtung mit den Merkmalen
gemäß den unabhängigen Patentansprüchen gelöst.
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Die
erfindungsgemäße Fluid-Transport-Vorrichtung
enthält
ein Substrat, eine erste elektrisch leitfähige Schicht auf dem Substrat,
eine piezoelektrische Schicht auf der ersten elektrisch leitfähigen Schicht
und eine zweite elektrisch leitfähige
Schicht auf der piezoelektrischen Schicht. Ferner enthält die Fluid-Transport-Vorrichtung
der Erfindung einen Fluid-Transport-Bereich, entlang welchem ein
zugeführtes
Fluid bewegbar ist. Mittels einer Steuer-Einheit sind der ersten
elektrisch leitfähigen
Schicht und der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht elektrische Steuer-Signale
zuführbar,
mittels welche die piezoelektrische Schicht derart anregbar ist,
dass das zugeführte
Fluid eine Kraft zum Bewegen des Fluid entlang des Fluid-Transport-Bereichs
erzeugbar ist.
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Die
erfindungsgemäße Sensor-Anordnung zum
Erfassen von in einem Fluid möglicherweise
enthaltenden Partikeln enthält
ein Sensor-Element, an dem in Anwesenheit von in einem Fluid möglicherweise
enthaltenden Partikeln (insbesondere Moleküle) ein Sensor-Signal generierbar
ist. Die Sensor-Anordnung enthält
ferner eine Fluid-Transport-Vorrichtung mit den oben beschriebenen
Merkmalen, wobei mittels der Fluid-Transport-Vorrichtung zu untersuchendes Fluid
zu dem Sensor-Element transportierbar ist, so dass in dem Fluid
möglicherweise
enthaltende Partikel an dem Sensor-Element erfassbar sind.
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Bei
der erfindungsgemäßen Fluid-Misch-Vorrichtung
zum Mischen eines ersten Fluids mit einem zweiten Fluid ist eine
erste Fluid-Transport-Vorrichtung mit den oben beschriebener. Merkmalen
bereitgestellt, der das erste Fluid zuführbar ist. Ferner ist eine
zweite Fluid-Transport-Vorrichtung mit den oben beschriebenen Merkmalen
bereitgestellt, der das zweite Fluid zuführbar ist. Mittels der ersten Fluid-Transport-Vorrichtung ist das
erste Fluid zu einem Misch-Bereich transportierbar, wobei mittels
der zweiten Fluid-Transport-Vorrichtung
das zweite Fluid zu dem Misch-Bereich transportierbar ist, so dass
in dem Misch-Bereich erstes Fluid und zweites Fluid mischbar sind.
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Ferner
ist ein Verfahren zum Herstellen einer Fluid-Transport-Vorrichtung geschaffen, bei
dem eine erste elektrisch leitfähige
Schicht auf einem Substrat gebildet wird, eine piezoelektrische
Schicht auf der ersten elektrisch leitfähigen Schicht gebildet wird,
eine zweite elektrisch leitfähige
Schicht auf der piezoelektrischen Schicht gebildet wird, ein Fluid-Transport-Bereich
gebildet wird, entlang welchem ein zugeführtes Fluid bewegbar ist, und
eine Steuer-Einheit
gebildet wird, mittels welcher der ersten elektrisch leitfähigen Schicht
und der zweiten elektrisch leitfähigen
Schicht elektrische Steuer-Signale zuführbar sind, mittels welcher
die piezoelektrische Schicht derart anregbar ist, dass auf zugeführtes Fluid
eine Kraft zum Bewegen des Fluids entlang des Fluid-Transport-Bereichs
erzeugbar ist.
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Unter
einem Fluid wird im Rahmen dieser Beschreibung insbesondere eine
Flüssigkeit
verstanden, jedoch funktioniert das Prinzip der Erfindung grundsätzlich auch
mit anderen Materiearten, wie zum Beispiel Gasen oder einem Granulat.
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Eine
Grundidee der Erfindung ist darin zu sehen, über einem Substrat (z.B. ein
elektronischer Chip) eine erste elektrisch leitfähige Schicht (z.B. eine erste
Metalllage), darüber
eine piezoelektrische Schicht (z.B. aus Quarz, Zinnoxid ZnO, Aluminiumnitrid
AlN) und darüber
eine zweite elektrisch leitfähige Schicht
(z.B. eine zweite Metalllage) vorzusehen und diesen vertikalen Schichtstapel
unter Verwendung des Piezo-Effekts zum Erzeugen von Wellen zu verwenden,
mittels welcher Wellen auf ein Fluid (insbesondere eine Flüssigkeit) ein
mechanischer Impuls ausgeübt
wird, womit die Flüssigkeit
entlang eines Fluid-Transport-Bereichs bewegt wird. Gemäß der erfindungsgemäßen Konfiguration
aus zwei vertikal übereinander
gebildeten Elektroden und einer dazwischen angeordneten piezoelektrischen
Schicht können
akustische Wellenfronten bei beliebigen Frequenzen erzeugt werden.
Dies stellt einen wesentlichen Vorteil gegenüber der aus [3] bekannten rein planaren
Anordnung von Elektroden dar, bei der nur bei durch den Abstand
der Elektroden vorgegebenen Frequenzen (Ort der Elektrode entspricht
einem Wellenbauch) Wellen überzeugt
werden können.
Erfindungsgemäß ist eine
horizontale Anregung des Piezoelektrikums zwischen den beiden Elektroden
durch eine geeignete Wahl der Anregungsfrequenz der an den Elektroden
bereitgestellten Steuer-Signale ermöglicht. Insbesondere mittels
Einstellens einer Phasendifferenz zwischen einer Mehrzahl solcher
Elektrodenpaare kann eine beliebige Wellenlänge erzeugt und zusätzlich hinsichtlich
ihrer Amplitude eingestellt werden.
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Anschaulich
sind mit der Erfindung zwei flächige
Metall-Elektroden
zum Ansteuern eines dazwischen angeordneten piezoelektrischen Mediums
geschaffen, wodurch durch das gesamte Piezoelektrikum wirkende Wellen
(Bulk Acoustic Waves) generiert werden können. Bei dem Verfahren gemäß [3] wird
im Gegensatz dazu nur eine akustische Oberflächenwelle erzeugt (Surface
Acoustic Waves).
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In
einer Konfiguration der Fluid-Transport-Vorrichtung, bei der diese
in einer Sensor-Anordnung enthalten ist, werden für die Auswertung
der Sensor-Signale der Sensoren auch Schaltungen eingesetzt, die
vorzugsweise in der Nähe
der Sensoren angeordnet sind (insbesondere in dem Substrat integriert
sind), wodurch die Signalwege kurz gehalten sind. Es können erfindungsgemäß auch Ansteuerschaltungen
für die
Fluid-Transport-Vorrichtung in der Nähe der piezoelektrischen Elemente
untergebracht werden. Da einzelne Aktuatoren erfindungsgemäß frei und
ohne die Randbedingung der Einhaltung von durch den Abstand vom
nächsten
Nachbar-Aktuator
vorgegebenen Wellenlängen
angesteuert werden können,
ergibt sich ein wesentlich größerer Raum
möglicher
Wellenmuster, die an die Fluid-Transport-Vorrichtung angelegt werden
können. Die
Transport-Vorrichtung wird vorzugsweise zusammen mit einer integrierten
Schaltung ausgeführt,
so dass auch die Beschränkung
der bei externer Elektronik aufgrund der hohen Zahl der dafür notwendigen
elektrischen Verbindungsmittel zwischen Elektronik und Fluid-Transport-Vorrichtung entfällt.
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Anschaulich
kann ein Aspekt der Erfindung darin gesehen werden, dass ein Apparat
zur Präparation,
zum Transport und zur Bestimmung der Inhaltsstoffe von Flüssigkeiten
auf Festkörperoberflächen geschaffen
ist. Ein solcher Apparat stellt eine Kombination einer Fluid-Transport-Vorrichtung
(zum definierten Transport von Fluiden), einer Fluid-Misch-Vorrichtung (zum
Mischen von zwei oder mehr Fluiden, insbesondere um eine chemische
Reaktion zu bewirken) und einer Sensor-Anordnung (zum Erfassen von
in einem Fluid möglicherweise enthaltenen
Partikeln) dar und kann als Lab-on-Chip bezeichnet
werden.
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Erfindungsgemäß ist eine
effiziente Realisierung einer Fluid-Transport-Vorrichtung geschaffen, die
mit einfachen technologischen Mitteln realisiert ist und somit ein
einfaches System zur Aufbereitung und Analyse einer Flüssigkeitsprobe
auf einem Chip darstellt.
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Ein
wichtiger Aspekt der Erfindung ist das Ausnutzen einer oberhalb
einer ersten Elektrode vorgesehenen zweiten Elektrode zur freien
Erzeugung von Wellen. Im Gegensatz zu bisherigen Realisierungen,
insbesondere im Gegensatz zu [3] bis [9], ist die Frequenz der erzeugten
Wellen erfindungsgemäß nicht
mehr durch den Abstand eines Paares von in nur einer Metallebene
definierten Elektroden vorgegeben. Durch die erfindungsgemäße Verwendung
einer zweiten Gegenelektrode in einer zweiten Metallebene unterhalb
eines piezoelektrischen Materials können die Anregungsfrequenzen
frei vorgegeben werden, wobei ein Betrieb bei oder nahe der Resonanzfrequenz
(aufgrund der dann nur geringen Verluste) besonders vorteilhaft
ist. Ferner können
die variabel angesteuerten Elektroden mit einer darunter liegenden
integrierten Schaltung gekoppelt werden, insbesondere als System-on-Chip
oder als Chip-to-Chip-Verbindung mit Durchkontaktierung, um so eine
konfigurierbare Ansteuerung mit einer intelligenten Schaltung kostengünstig und
platzsparend zu vereinigen. Somit sind nützliche Anwendungen für Lab-on-Chip
Applikationen ermöglicht.
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Im
Gegensatz zu den in [3] bis [9] offenbarten Fluid-Transport-Verfahren
werden erfindungsgemäß zwei vertikal
angeordnete Elektroden mit einer dazwischen angeordneten piezoelektrischen
Schicht eingesetzt. Bei dieser Lösung
werden im Volumen des Festkörpers
angeregte Wellen (BAW, "Bulk Acoustic
Waves") verwendet,
im Gegensatz dazu wird gemäß [3] lediglich
eine Oberflächenakustikwelle
("Surface Acoustic
Wave", SAW) verwendet.
Auf diese Weise kann erfindungsgemäß eine homogene Integration
von Transport- und Sensortechnologie in einem Lab-on-Chip vereint
werden. Andererseits ist durch die Kombination mit einer integrierten
Schaltung eine wesentlich erhöhte
Flexibilität
hinsichtlich der Art der Auslenkung der einzelnen Elektroden und somit
auch hinsichtlich der Kontrolle der Bewegung der Flüssigkeit
geschaffen.
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Eine
Realisierung der erfindungsgemäßen Anordnung
in CMOS-Technologie
ist bevorzugt.
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Im
Gegensatz zu Elektrophorese-Verfahren zum Bewegen von Fluiden ist
erfindungsgemäß auch ein
Fluid-Transport mit nichtpolaren Teilchen möglich, ohne dass eine hohe
Wartezeit beim Bewegen von Fluiden anfällt, so dass keine großen elektrischen
Felder und lange Distanzen zur Herstellung eines ausreichenden Konzentrationsgradienten
erforderlich sind.
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Gegenüber den
auf Kapillarkräften,
Mikropumpen bzw. herkömmlichen
Pumpen beruhenden Fluid-Transport-Vorrichtungen ist mit der erfindungsgemäßen Fluid-Transport-Vorrichtung
der Herstellungsaufwand verringert, sind die Kosten reduziert, und
es sind externe Komponenten und zusätzliche Flüssigkeitsvolumina des Reagenz
als Tot-Volumen zum Pumpen eingespart.
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Bevorzugte
Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
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Im
Weiteren werden bevorzugte Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Fluid-Transport-Vorrichtung
beschrieben.
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Die
Steuer-Einheit der Fluid-Transport-Vorrichtung kann derart eingerichtet
sein, dass mittels der Steuer-Signale die piezoelektrische Schicht
derart anregbar ist, dass auf zugeführtes Fluid eine Kraft zum
Bewegen des Fluids entlang des Fluid-Transport-Bereichs in einer
Richtung parallel zu der ersten elektrisch leitfähigen Schicht, parallel zu
der piezoelektrischen Schicht und parallel zu der zweiten elektrisch
leitfähigen
Schicht erzeugbar ist. Mit anderen Worten sind gemäß dieser
Ausgestaltung die Steuersignale so eingestellt, dass mittels Anlegens
der Steuer-Signale an die ersten und zweiten elektrisch leitfähigen Bereiche
erzeugte akustische Wellen eine solche mechanische Kraft bzw. einen
solchen Impuls auf ein Fluid in dem Fluid-Transport-Bereich ausüben, dass
dieses Fluid auf einer (z.B. planen) Oberfläche der Fluid-Transport-Vorrichtung,
d.h. senkrecht zu der Schicht-Anordnung aus den beiden elektrisch
leitfähigen
Schichten und der piezoelektrischen Schicht, eine Kraft erfährt, die
eine horizontale Bewegung des Fluids bewirkt.
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Das
Substrat der Fluid-Transport-Vorrichtung kann ein elektronischer
Chip sein, in welchem die Steuer-Einheit monolithisch integriert
ist. Anders ausgedrückt
kann die Steuer-Einheit als integrierter elektrischer Schaltkreis
in dem Substrat vorgesehen sein, wobei als Substrat ein Silizium-Substrat,
insbesondere ein Silizium-Chip verwendet werden kann.
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Darüber hinaus
kann eine Reflexions-Schicht zwischen dem Substrat und der ersten elektrisch
leitfähigen
Schicht vorgesehen sein, welche Reflexions-Schicht zum Reflektieren
von mittels der piezoelektrischen Schicht generierten akustischen
Wellen eingerichtet ist. Eine solche Reflexions-Schicht vermeidet oder verringert das
Eindringen von akustischen Wellen in das Innere des Substrats. Eine
solche Reflexions-Schicht kann mehrere Teilschichten aufweisen,
wobei die Gesamtanordnung der Teilschichten bewirkt, dass eine von
der piezoelektrischen Schicht generierte mechanische Welle zumindest
teilweise reflektiert wird, womit vermieden ist, dass eine solche
Welle einen in dem Substrat möglicherweise
enthaltenen integrierten Schaltkreis negativ beeinflusst.
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Bei
der Fluid-Transport-Vorrichtung kann die Reflexions-Schicht als akustischer
Bragg-Filter mit mindestens zwei Schichten mit unterschiedlichen Werten
der Ausbreitungsgeschwindigkeit akustischer Wellen realisiert sein.
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Die
Reflexions-Schicht kann somit als akustischer Bragg-Filter realisiert
sein, d.h. als eine Anordnung aus mindestens zwei Schichten mit
unterschiedlichen (vorzugsweise stark unterschiedlichen) Werten
der Ausbreitungsgeschwindigkeit akustischer Wellen, wobei die Dicke
der Teilschichten vorzugsweise ungefähr λ/4 beträgt. Dabei ist λ die Wellenlänge einer
akustischen Welle.
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Bei
der Fluid-Transport-Vorrichtung kann ein Hohlraum in einem Substrat
unterhalb der ersten elektrisch leitfähigen Schicht vorgesehen sein.
Dieser Hohlraum kann in dem Substrat als Durchgangsloch (d.h. das
Substrat vollständig
durchdringend) oder als Sackloch (d.h. das Substrat nicht vollständig durchdringend,
aber einen Graben in dem Substrat bildend) realisiert sein. Ein
solcher Hohlraum hat anschaulich die Wirkung, dass akustische Wellen
in dem Bereich oberhalb des Hohlraums verbleiben und nicht in unerwünschte Bereiche
geführt
werden. Auf diese Weise trägt
der Hohlraum zur Erhöhung
der Güte
der Fluid-Transport-Vorrichtung
bei.
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Die
erste elektrisch leitfähige
Schicht und/oder die zweite elektrisch leitfähige Schicht können in
eine Mehrzahl von (vorzugsweise mechanisch nichtzusammenhängende)
Bereiche aufgeteilt sein, wobei die Steuer-Einheit derart eingerichtet
ist, dass in jedem Bereich ein separates Steuer-Signal anlegbar
ist. Mit anderen Worten kann die erste elektrisch leitfähige Schicht
als nicht durchgehende Schicht vorgesehen sein, d.h. als eine Anordnung
von nichtzusammenhängenden
Teilbereichen vorgesehen sein. Auch die zweite elektrisch leitfähige Schicht kann
in eine Mehrzahl von Teilbereiche aufgeteilt sein, die nicht zusammenhängen, d.h.
mechanisch und/oder elektrisch voneinander getrennt sind.
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Vorzugsweise
sind jeweils ein Teilbereich der ersten elektrisch isolierenden
Schicht und ein Teilbereich der zweiten elektrisch isolierenden
Schicht übereinander,
und durch die piezoelektrische Schicht voneinander getrennt, angeordnet.
Anders ausgedrückt
können
die Teilbereiche der beiden elektrisch leitfähigen Schichten zu Paaren gruppiert
sein, wobei jedes Paar einen Teilbereich der ersten elektrisch leitfähigen Schicht
und einen Teilbereich der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht
enthält.
Mittels der Steuer-Einheit kann an die beiden Teilbereiche einer solchen
Gruppe jeweils ein Steuer-Signal angelegt werden. D.h., dass alle
Teilbereiche oder ein Teil der Teilbereiche der ersten elektrisch
leitfähigen
Schicht auf unterschiedlichen elektrischen Potentialen liegen können, und
dass alle Teilbereiche oder ein Teil der Teilbereiche der zweiten
elektrisch leitfähigen Schicht
auf unterschiedlichen elektrischen Potentialen liegen können. Dadurch
kann eine ortsabhängige Verteilung
von akustischen Wellen erzeugt werden, insbesondere mittels Vorsehens
einer Phasenverschiebung zwischen den elektrischen Anregungssignalen
an den jeweiligen Teilbereich-Paaren, so dass sich über die
Anordnung von Teilbereichen der ersten und zweiten elektrisch leitfähigen Schichten
hinweg ein mechanischen Kraftprofil ergibt, mit welchem ein besonders
effektives mechanisches Führen
des Fluids in dem Fluid-Transport-Bereich
ermöglicht
ist.
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Mittels
geeigneten Vorsehens der Phasenverschiebungen zwischen benachbarten
Elektrodenbereich-Paaren kann eine gewünschte Wellenlänge bzw.
Frequenz einer akustischen Welle erzeugt werden, womit eine hohe
Flexibilität
beim Bewegen des Fluids ermöglicht
ist.
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Somit
kann die Steuer-Einheit derart angerichtet sein, dass in jedem Bereich
der ersten elektrisch leitfähigen
Schicht und/oder der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht ein separates
Steuer-Signal derart anlegbar ist, und dass die Steuer-Signale jeweils
zwischen benachbarten Bereichen eine vorgebbare Phasenverschiebung
aufweisen. Die Steuer-Signale können
elektrische Wechselsignale aufweisen, zum Beispiel mit einem Sinusprofil,
mit einem Sägezahnprofil
oder mit einem Stufenprofil.
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Bei
der Fluid-Transport-Vorrichtung kann der Fluid-Transport-Bereich mittels einer
Kapillare, mittels eines Grabens oder mittels eines hydrophilen
Bereichs realisiert werden, welcher hydrophile Bereich von einem
hydrophoben Bereich begrenzt ist.
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Somit
kann der Fluid-Transport-Bereich als eine Kapillare, d.h. als eine
röhrenartige
Struktur vorgesehen sein, entlang welcher die zu transportierende
Flüssigkeit
geführt
wird, wobei mittels einer unterhalb der Kapillare gebildeten Anordnung
aus den beiden elektrisch leitfähigen
Schichten und der dazwischen angeordneten piezoelektrischen Schicht
eine mechanische Kraft auf die Teilchen des Fluids in der Kapillare
ausgeübt
wird.
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Bei
Vorsehen des Fluid-Transport-Bereichs als Graben, d.h. als kanalartige
Struktur in einer Oberflächenschicht
der Fluid-Transport-Vorrichtung, kann die Bewegung der Flüssigkeit
von außen
sichtbar und somit optisch überwachbar
realisiert werden. In einen solchen Kanal-Bereich kann auch von
extern sehr einfach Fluid injiziert werden, z.B. mit einer Mikro-Pipette.
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Eine
andere Realisierung des Fluid-Transport-Bereichs kann darin bestehen,
dass ein hydrophiler Bereich auf einer zum Beispiel planen Oberfläche vorgesehen
wird, und dieser hydrophile Bereich von einem hydrophoben Bereich
begrenzt wird. Ein Fluid auf Wasserbasis wird sich dann vorzugsweise auf
dem hydrophilen Bereich bewegen, wohingegen eine Bewegung auf dem
hydrophoben Bereich vermieden ist. Dadurch kann ohne Vorsehen eines
Höhenprofils
einem zu transportierenden Fluid ein Transportweg vorgegeben werden.
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Der
Fluid-Transport-Bereich kann zum Beispiel eine eindimensionale geradlinige
Ortskurve beschreiben oder kann auch gekrümmte oder beliebige andere
Ortskurven beschreiben, zum Beispiel eine kreisförmige Bahn.
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Im
Weiteren wird die erfindungsgemäße Sensor-Anordnung
näher beschrieben.
Ausgestaltungen der Sensor-Anordnung gelten auch für die Fluid-Transport-Vorrichtung
und umgekehrt.
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Das
Sensor-Element der Sensor-Anordnung kann in dem Substrat integriert
sein.
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Somit
kann bei der erfindungsgemäßen Sensor-Anordnung
die Fluid-Transport-Vorrichtung und zusätzlich das Sensor-Element monolithisch
in dem Substrat integriert vorgesehen sein, womit ein miniaturisiertes
Lab-on-Chip erreicht ist. Aufgrund kurzer Signalwege können Sensor-Signale
im Wesentlichen störungsfrei
transportiert werden, wodurch eine hohe Nachweissensitivität erreicht
ist.
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Das
Sensor-Element kann zum Beispiel nach dem Fängermolekül-Prinzip ausgestaltet sein. In diesem
Fall kann das Sensor-Element
eine oder mehrere Goldelektroden aufweisen, auf denen Fängermoleküle (zum
Beispiel DNA-Halbstränge)
immobilisiert sind. Alternativ zu Gold kann auch ein elektrisch
isolierendes Material wie Siliziumoxid oder Siliziumnitrid verwendet
werden. Wenn in dem Fluid zu den Fängermolekülen komplementäre Moleküle (zum
Beispiel DNA-Halbstränge
mit einer zu der Sequenz der Fängermoleküle passenden
Basensequenz) enthalten sind, kommt zu Hybridisierungsereignissen,
d.h. zu Bindungen zwischen den Fängermolekülen und
den zu erfassenden Partikeln, wodurch sich die elektrischen/optischen
Eigenschaft in einem Umgebungsbereich des Sensor-Elements verändern. Diese
veränderten
Eigenschaften können elektrisch
und/oder optisch detektiert werden und dienen als Sensor-Signal.
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Im
Weiteren wird die erfindungsgemäße Fluid-Misch-Vorrichtung
näher beschrieben.
Ausgestaltungen der Fluid-Misch-Vorrichtung
gelten auch für die
Fluid-Transport-Vorrichtung und umgekehrt.
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Die
erste Fluid-Transport-Vorrichtung und die zweite Fluid-Transport-Vorrichtung
der Fluid-Misch-Vorrichtung können
auf und/oder in einem gemeinsamen Substrat integriert sein. Dadurch
ist eine miniaturisierte Lab-on-Chip Anordnung geschaffen, da zum
Bilden der Fluid-Transport-Vorrichtung und der Misch-Vorrichtung
ein gemeinsames Substrat verwendet wird.
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Mit
der Fluid-Misch-Vorrichtung ist eine miniaturisierte Anordnung geschaffen,
mit der zwei Fluide miteinander in Wirkverbindung gebracht werden
können,
indem sie mittels separater Fluid-Transport-Vorrichtungen in einem
Misch-Bereich zusammengeführt werden,
wodurch sich beim Zusammenführen Wirbel
ergeben, die ein besonders effektives und vor allem schnelles und
somit kostengünstiges
Durchmischen der beiden Flüssigkeiten
ermöglichen.
Dadurch können
zum Beispiel zwei Reaktionspartner für eine beabsichtigte chemische
Reaktion effektiv zusammengeführt
werden und eine chemische Reaktion selbst bei geringen Mengen mit
hoher Reaktionsgeschwindigkeit durchgeführt werden.
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Die
Ausgestaltungen sind für
die erfindungsgemäße Fluid-Transport-Vorrichtung
beschrieben. Selbstverständlich
gelten diese Ausgestaltungen auch für das Verfahren zum Herstellen
einer Fluid-Transport-Vorrichtung.
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Ausführungsbeispiele
der Erfindung sind in Figuren dargestellt und werden im Weiteren
näher erläutert.
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Es
zeigen:
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1A, 1B Querschnittsansichten
einer Fluid-Transport-Vorrichtung
gemäß einem
ersten Ausführungsbeispiel
der Erfindung,
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1C eine
Draufsicht der in 1A, 1B gezeigten
Fluid-Transport-Vorrichtung
gemäß dem ersten
Ausführungsbeispiel
der Erfindung,
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2, 3 Querschnittsansichten
einer Fluid-Transport-Vorrichtung
gemäß einem
zweiten Ausführungsbeispiel
der Erfindung,
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4, 5 Querschnittsansichten
einer Fluid-Transport-Vorrichtung
gemäß einem
dritten Ausführungsbeispiel
der Erfindung,
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6 eine
Querschnittsansicht einer Fluid-Transport-Vorrichtung gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel
der Erfindung,
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7 eine
andere Querschnittsansicht der Fluid-Transport-Vorrichtung gemäß dem vierten Ausführungsbeispiel
der Erfindung, aufgenommen entlang einer in 6 gezeigten
Schnittlinie I-I',
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8 eine
Fluid-Transport-Vorrichtung gemäß einem
fünften
Ausführungsbeispiel
der Erfindung,
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9 Steuer-Signale,
die an Elektroden-Bereiche der in 8 gezeigten
Fluid-Transport-Vorrichtung gemäß dem fünften Ausführungsbeispiel
der Erfindung angelegt werden,
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10 eine
Sensor-Anordnung gemäß einem
ersten Ausführungsbeispiel
der Erfindung,
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11 eine
Querschnittsansicht einer Fluid-Misch-Vorrichtung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel
der Erfindung,
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12 eine
Draufsicht der Fluid-Misch-Vorrichtung gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel
der Erfindung,
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13 eine
Sensor-Anordnung gemäß einem
zweiten Ausführungsbeispiel
der Erfindung,
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14 eine
Querschnittsansicht einer Fluid-Misch-Vorrichtung gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel
der Erfindung,
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15 eine
Draufsicht der Fluid-Misch-Vorrichtung gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der
Erfindung.
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Gleiche
oder ähnliche
Komponenten in unterschiedlichen Figuren sind mit gleichen Bezugsziffern
versehen.
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Die
Darstellungen in den Figuren sind schematisch und nicht maßstäblich.
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Im
Weiteren wird bezugnehmend auf 1A bis 1C eine
Fluid-Transport-Vorrichtung 100 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel
der Erfindung beschrieben.
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In 1A ist
eine schematische Querschnittsansicht der Fluid-Transport-Vorrichtung 100 gezeigt.
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Die
Fluid-Transport-Vorrichtung 100 enthält einen Silizium-Chip 101 und
eine darauf gebildete Reflexions-Schicht 102, die aus einer
Mehrzahl von Teilschichten gebildet ist, und die zum Reflektieren von
mittels einer piezoelektrischen Schicht 104 generierten
akustischen Wellen eingerichtet ist. Auf der Reflexions-Schicht 102 ist
eine erste Metallschicht 103 gebildet, welche mittels eines
ersten Anschlusses 106 mit einem elektrischen Steuer-Signal
versorgbar ist. Auf der ersten Metallschicht 103 ist eine piezoelektrische
Schicht 104 gebildet (zum Beispiel aus Zinnoxid, ZnO, oder
aus Aluminiumnitrid, AlN). Auf der piezoelektrischen Schicht 104 ist
eine zweite Metallschicht 105 gebildet, welcher mittels
eines zweiten Anschlusses 107 ein anderes elektrisches Steuer-Signal
bereitstellbar ist.
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Die
Oberfläche
der Fluid-Transport-Vorrichtung 100 bildet einen Fluid-Transport-Bereich,
entlang welchem ein zugeführtes
Fluid (nicht gezeigt in der Figur) bewegbar ist. In dem Silizium-Chip 100 ist als
monolithisch integrierter Schaltkreis eine Steuer-Einheit (nicht
gezeigt in der Figur) vorgesehen, mittels welcher der ersten Metallschicht 103 und
der zweiten Metallschicht 105 jeweils ein elektrisches Steuer-Signal
zuführbar
ist. Mittels dieser Steuer-Signale ist die piezoelektrische Schicht 104 derart
zum Bilden von Wellen anregbar, dass eine Kraft zum Bewegen des
zugeführten
Fluids entlang des Fluid-Transport-Bereichs erzeugbar ist.
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Anders
ausgedrückt
werden von der Steuer-Einheit in dem Silizium-Chip 101 über die
ersten Anschlüsse 106, 107 der
ersten Metallschicht 103 und der zweiten Metallschicht 105 jeweils
ein elektrisches Steuer-Signal bereitgestellt, womit in der piezoelektrischen
Schicht 104 akustische Wellen (Bulk Acoustic Waves, BAW)
angeregt werden, deren Gruppenwellenfront einen Impuls auf die Flüssigkeit in
dem Fluid-Transport-Bereich induziert, womit das Fluid in einer
Richtung senkrecht zu der Papierebene von 1A bewegt
werden kann.
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Im
Weiteren wird bezugnehmend auf 1B eine
Detailansicht der in 1A schematisch gezeigten Fluid-Transport-Vorrichtung 100 beschrieben.
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Der
erste Anschluss 106 zum Koppeln der ersten Metallschicht 103 mit
der Steuer-Einheit ist in 1B mittels
einer ersten Durchkontaktierung 111 aus einem elektrisch
leitfähigen
Material und mittels einer dritten Durchkontaktierung 114 aus
einem elektrisch leitfähigen
Material realisiert, wobei die erste Durchkontaktierung 111 eine
Durchkontaktierung durch die aktiven Schichten der Fluid-Transport-Vorrichtung 100 bildet
und die dritte Durchkontaktierung 114 eine Durchkontaktierung
durch den Silizium-Chip 101 bildet. In ähnlicher Weise ist der zweite
Anschluss 107 in 1B mittels
einer zweiten Durchkontaktierung 112 zum Durchführen durch
die aktiven Schichten und mittels einer vierten Durchkontaktierung 115 zum
Durchkontaktieren durch den Silizium-Chip 101 realisiert.
Ferner ist eine Isolationsstruktur 113 zum elektrischen
Isolieren der leitfähigen Komponenten
der Fluid-Transport-Vorrichtung 100 voneinander vorgesehen.
-
In 1C ist
eine Draufsicht 120 der Fluid-Transport-Vorrichtung 100 gezeigt.
-
Im
Weiteren wird bezugnehmend auf 2, 3 eine
Fluid-Transport-Vorrichtung 200 gemäß einem
zweiten Ausführungsbeispiel
der Erfindung beschrieben.
-
Die
in 2 gezeigte Fluid-Transport-Vorrichtung 200 unterscheidet
sich von der in 1A gezeigten Fluid-Transport-Vorrichtung 100 im
Wesentlichen dadurch, dass in den Silizium-Chip 101 ein Sackloch-Hohlraum 201 eingebracht
ist, d.h. ein Hohlraum unter dem Resonator/Piezomaterial, womit das
Resonanzverhalten der Fluid-Transport-Vorrichtung 200 verbessert
ist. Eine Reflexions-Schicht 102 ist bei der Hohlraum-Konfiguration
gemäß 2 entbehrlich.
-
In 3 ist
eine Detailansicht der in 2 schematisch
gezeigten Fluid-Transport-Vorrichtung 200 gezeigt, bei
der insbesondere die Durchkontaktierungen 111, 112, 114, 115 und
die Isolationsstruktur 113 gezeigt sind.
-
Die
in 2, 3 gezeigte Schichtenfolge wird
hergestellt, indem der Silizium-Chip 101 mittels Ätzens in
einem Zentralbereich gedünnt
wird, womit der Sackloch-Hohlraum 201 gebildet wird.
-
Im
Weiteren wird bezugnehmend auf 4, 5 eine
Fluid-Transport-Vorrichtung 400 gemäß einem
dritten Ausführungsbeispiel
der Erfindung beschrieben.
-
Die
in 4 gezeigte Fluid-Transport-Vorrichtung 400 unterscheidet
sich von der in 2 gezeigten Fluid-Transport-Vorrichtung 200 im
Wesentlichen dadurch, dass der Sackloch-Hohlraum 201 durch
einen Durchgangsloch-Hohlraum 401 ersetzt ist, welcher
den Silizium-Chip 101 vollständig durchdringt. Dies ist
mit einer Rückseitenätzung des
Silizium-Chips 101 bis zum Resonator/Piezomaterial ermöglicht.
Die in 4 gezeigte Fluid-Transport-Vorrichtung 400 weist
ein besonders gutes Resonanzverhalten auf.
-
In 5 ist
nochmals die Fluid-Transport-Vorrichtung 400 gezeigt, bei
der insbesondere die in 4 nicht gezeigten Details (Komponenten 111 bis 115)
dargestellt sind.
-
Im
Weiteren wird bezugnehmend auf 6 eine Fluid-Transport-Vorrichtung 600 gemäß einem vierten
Ausführungsbeispiel
der Erfindung beschrieben.
-
6 zeigt
eine Querschnittsansicht der Fluid-Transport-Vorrichtung 600, bei der eine
Analyselösung 602 als
zu transportierendes Fluid aufgebracht ist. Die Anordnung aus den
Schichten 102 bis 105 ist lateral durch eine Kompartimentierung 601 begrenzt, womit
ein Kanal bzw. Graben gebildet ist, entlang welchem die Analyselösung 602 in
einer zu der Papierebene von 6 senkrechten
Richtung bewegt werden kann. Hierfür werden Bulk-akustische Wellen mittels
der Schichten 103 bis 105 angeregt, womit ein solcher
Impulsübertrag
bzw. Energieübertrag
auf die Analyselösung 602 erfolgt,
dass diese entlang einer vorgebbaren Richtung bewegt wird. Insbesondere
ist in dem Substrat 101 eine CMOS-Ansteuerschaltung (nicht gezeigt) als
integrierter Schaltkreis vorgesehen, mittels welcher den Metallschichten 103, 105 elektrische
Steuer-Signale bereitgestellt werden können.
-
In 7 ist
eine andere Querschnittsansicht der Fluid-Transport-Vorrichtung 600 entlang
einer in 6 gezeigten Schnittlinie I-I' gezeigt.
-
Aus
der Querschnittsansicht von 7 geht hervor,
dass die erste Metallschicht 103 bei der Fluid-Transport-Vorrichtung 600 in
eine Mehrzahl von erste Metallschicht-Teilbereiche 703 aufgeteilt
ist und dass die zweite Metallschicht 105 in eine Mehrzahl von
zweite Metallschicht-Teilbereiche 704 aufgeteilt ist. Die
ersten Metallschicht-Teilbereiche 703 sind voneinander
elektrisch entkoppelt, wobei mittels des in dem Silizium-Chip 101 integrierten
Steuer-Schaltkreises 701 jedem ersten Metallschicht-Teilbereich 703 ein
separates Ansteuer-Signal
bereitstellbar ist. Die piezoelektrische Schicht 104 ist
auch in 7 als durchgehende, zusammenhängende Schicht
vorgesehen. Die zweite Metallschicht 105 ist bei der Fluid-Transport-Vorrichtung 600 in
eine Mehrzahl von zweite Metallschicht-Teilbereiche 704 aufgeteilt,
wobei jedem der zweiten Metallschicht-Teilbereiche 704 mittels
des integrierten Steuer-Schaltkreises 701 ein separates
Steuer-Signal bereitstellbar
ist. Anders ausgedrückt
bilden jeweils ein erster Metallschicht-Teilbereich 703 und
ein zweiter Metallschicht-Teilbereich 704 gemeinsam mit
einem dazwischen angeordneten Abschnitt der piezoelektrischen Schicht 104 eine
sandwichartige Einheit, wobei das Zusammenwirken einer Vielzahl
solcher Einheiten einen starken Impuls auf die Flüssigkeit
bewirkt.
-
Somit
kann mittels Anlegens von Steuer-Signalen an jedes Paar aus einem
ersten Metallschicht-Teilbereich 703 und einem zweiten
Metallschicht-Teilbereich 704 eine ortsabhängige Kraft
auf die Analyselösung 602 ausgeübt werden,
so dass diese entlang der Bewegungsrichtung 702 transportiert
wird. Ferner ist in 7 eine Isolationsbegrenzung 700 gezeigt.
-
Es
zeigen 6, 7 einen Querschnitt der Anordnung
der Aktuatoren für
die erfindungsgemäße Fluid-Transport- Vorrichtung. Hierbei
ist eine Reihe von Aktuatoren mit senkrecht zu der Transportrichtung 702 beliebig
langen (zum Beispiel auch gekrümmten)
und in der Transportrichtung 702 möglichst kurzen Einzelbauelementen
(jeweils gebildet aus einem ersten Metallschicht-Teilbereich 703,
einem zweiten Metallschicht-Teilbereich 704 und einem dazwischen
angeordneten Abschnitt der durchgehenden piezoelektrischen Schicht 104)
durch eine darunter liegende integrierte Schaltung 701 mit
einem über
den Transportzeitraum periodischen Signal ansteuerbar. Flüssigkeiten 602 werden
entlang der Transportrichtung 702 durch den Kanal bzw.
Graben transportiert, der durch Komponenten 601, 700 gebildet
ist. Somit wird die Analyselösung 602 in
begrenzten Bereichen gehalten. Alternativ oder ergänzend zu dem
Definieren begrenzter Bereiche kann auch die Oberflächeneigenschaft
(z.B. hydrophob/hydrophil bei einer wässrigen Flüssigkeit) zum Diskriminieren zwischen
von der Flüssigkeit
bedeckten Bereichen und solchen Bereichen dienen, die von der Flüssigkeit
frei bleiben.
-
Im
Weiteren wird bezugnehmend auf 8 eine Fluid-Transport-Vorrichtung 800 gemäß einem fünften Ausführungsbeispiel
der Erfindung beschrieben.
-
In 8 ist
eine Fluid-Transport-Vorrichtung 800 gezeigt, welche im
Wesentlichen der in 7 gezeigten Fluid-Transport-Vorrichtung 600 entspricht,
bei welcher jedoch die Isolationsbegrenzung 701 nicht gezeigt
ist. Bei dem in 8 gezeigten Betriebszustand
der Fluid-Transport-Vorrichtung 800 sind Steuer-Signale
an die ersten Metallschicht-Teilbereiche 703 bzw. an die
zweiten Metallschicht-Teilbereiche 704 angelegt, infolge
welcher sich die Flüssigkeit 602 gemäß 8 von
links nach rechts bewegt, was durch die Bewegungsrichtung 801 gekennzeichnet
ist.
-
Im
Weiteren wird bezugnehmend auf 9 beschrieben,
auf welche Art die Steuer-Signale an die einzelnen Metallschicht- Teilbereiche 703, 704 angelegt
werden, um die in 8 gezeigte Bewegung der Analyselösung 602 entlang
Bewegungsrichtung 801 zu erzielen.
-
In
einem ersten Diagramm 900 aus 9 ist für einen
ersten Zeitpunkt t1 entlang einer Abszisse 901 der Ort
x, d.h. die Anordnung der ersten und zweiten Metallschicht-Teilbereiche 703, 704 der
Fluid-Transport-Vorrichtung 800 in einer Verlaufsrichtung
von links nach rechts gemäß 8 aufgetragen. Entlang
einer Ordinate 902 ist eine Potentialdifferenz aufgetragen,
die zwischen einen jeweiligen ersten Metallschicht-Teilbereich 703 und
den zugehörigen zweiten
Metallschicht-Teilbereich 704 angelegt ist. In einem zweiten
Diagramm 910, welches der Potentialverteilung zu einem
anderen Zeitpunkt t2 entspricht, sind die elektrischen Spannungen,
die an den Paaren der von ersten Metallschicht-Teilbereichen 703 und zweiten
Metallschicht-Teilbereichen 704 anliegen, gegenüber dem
Diagramm 900 verschoben. Wiederum ist in dem zweiten Diagramm 910 entlang
einer Abszisse 911 der Ort x und entlang einer Ordinate 912 die
Spannung aufgetragen.
-
Die
Periode der Ansteuer-Signale zwischen den Einzelbauelementen 703, 704 ist
zeitlich versetzt zueinander, so dass auf die Flüssigkeit 602 ein Impulsübertrag
parallel zur Oberfläche
in Richtung verzögerter
Phase ausgeübt
wird. Dieser Effekt wird zum Transport der Flüssigkeit 602 ausgenutzt.
Dabei kann vor allem vorteilhaft ausgenutzt werden, dass mit der
Fluid-Transport-Vorrichtung 800 beliebige Wellenlängen und
somit Wellenfronten gebildet werden können, was auf die vertikale
Schichtenfolge aus einem jeweiligen ersten Metallschicht-Teilbereich 703,
einem Teil der piezoelektrischen Schicht 104 und einem
zweiten Metallschicht-Teilbereich 704, sowie aus der Aufteilung
der ersten und zweiten Metallschichten 102, 104 in
erste und zweite Metallschicht-Teilbereiche 703, 704 resultiert.
Daraus resultiert dann eine Bewegung der Flüssigkeit in horizontaler Richtung.
-
Dadurch
ist erfindungsgemäß eine deutlich erhöhte Flexibilität bei der
Verwendung der Fluid-Transport-Vorrichtung
für verschiedene
Anwendungen geschaffen.
-
Im
Weiteren wird bezugnehmend auf 10 eine
Sensor-Anordnung 1000 gemäß einem
ersten Ausführungsbeispiel
der Erfindung beschrieben.
-
Die
Sensor-Anordnung 1000 enthält eine Mehrzahl erfindungsgemäßer Fluid-Transport-Vorrichtungen 1001 bis 1007,
wobei zwischen jeweils zwei Fluid-Transport-Vorrichtungen ein Sensor-Element 1008 bis 1014 vorgesehen
ist. Somit kann zum Beispiel an einem Eingang einer ersten Fluid-Transport-Vorrichtung 1001 ein
Fluid eingefüllt
werden, durch die erste Fluid-Transport-Vorrichtung 1001 hindurchgeführt werden
und somit in das erste Sensor-Element 1008 eingebracht
werden. Hier kann ein möglicherweise
auftretendes Sensorereignis detektiert werden. Danach wird die Analyselösung mittels der
zweiten Fluid-Transport-Vorrichtung 1002 zu
einem zweiten Sensor-Element 1009 transportiert, wo ein
anderes Sensorereignis detektiert werden kann, usw.
-
Es
kann auch ein Teil der Sensor-Elemente 1008 bis 1014 zum
Beispiel durch ein Reaktorelement ersetzt werden, in dem eine Analyseflüssigkeit, welche
mittels der Fluid-Transport-Vorrichtungen 1001 bis 1007 durch
die Sensor-Anordnung 1000 bewegt wird, einer chemischen
Reaktion unterzogen wird, indem beispielsweise die Analyselösung mit
einer anderen Flüssigkeit
(nicht gezeigt in der Figur) gemischt wird, welche andere Flüssigkeit
einen chemischen Reaktionspartner zu einer in der ersten Flüssigkeit
enthaltenen Substanz aufweisen kann. Mittels der Sensor-Elemente 1008 bis 1014 kann dann
auch detektiert, ob und in welchem Umfang eine chemische Reaktion
stattgefunden hat, z.B. indem chemische Reaktionsprodukte mittels
der Sensor-Elemente 1008 bis 1014 detektiert werden.
-
Auf
diese Weise, d.h. mittels gemeinsamen Vorsehens und Koppelns von
Fluid-Transport-Vorrichtungen, Fluid-Misch-Vorrichtungen und Sensor-Anordnungen,
können
komplexe biochemische Behandlungen erfindungsgemäß realisiert werden, zum Beispiel
auch eine Polymerasekettenreaktion (PCR), mittels einer geeigneten
Kombination aus Fluid-Transport-Vorrichtungen,
Sensor-Anordnungen, Fluid-Misch-Vorrichtungen, ggf. ergänzt um zusätzliche
andere Komponenten.
-
Mit
der Vorrichtung aus 10 wird ein Transport eines
Flüssigkeitstropfens
in definierten Bahnen über
arrayförmig
angeordnete Reaktoren unter Verwendung erfindungsgemäßer Fluid-Transport-Vorrichtungen
realisiert. In 10 ist ein derartiges Array
mit einer Darstellung des erfindungsgemäßen Verfahrens gezeigt. Hierbei
befinden sich die Fluid-Transport-Vorrichtungen 1001 bis 1007 vorzugsweise
unterhalb der Flüssigkeits-Kanäle, da speziell
zur Ausführung
von hochauflösenden
Sensoren mit der beschriebenen Technologie eine Verbindung des Sensors
mit der Transport-Vorrichtung nicht immer vorteilhaft ist, da so
eine Ausbreitung von Oberflächenwellen über die
ganze Fläche
des Arrays nicht in jedem Fall möglich
ist. Die Präparation
von Sensoren mit Fängermolekülen für eine spätere Reaktion
mit Targetmolekülen
nach dem obigen Verfahren ist möglich.
-
Im
Weiteren wird bezugnehmend aus 11 eine
Fluid-Misch-Vorrichtung 1100 gemäß einem
ersten Ausführungsbeispiel
der Erfindung beschrieben.
-
Der
Aufbau der Fluid-Misch-Vorrichtung 1100 ähnelt in
wesentlichen Teilen der in 1 gezeigten
Fluid-Transport-Vorrichtung 100,
wobei mittels eines Oszillator-Schaltkreises 1101 ein Wechselsignal
zwischen die erste Metallschicht 103 und die zweite Metallschicht 105 angelegt
wird. Mit der Fluid-Misch-Vorrichtung 1100 können zwei
Reagenzien (zum Beispiel zum Durchführen einer chemischen Reaktion)
gemischt werden. Hierbei werden die beiden Reagenzien in zwei Kanälen an ein
Reaktorelement herangeführt.
Dabei kommt es durch eine ausreichend hohe Geschwindigkeit der zu
mischenden Fluide beim Aufeinandertreffen zu Turbulenzen in dem
Gemisch, was eine effiziente und vor allem schnelle Durchmischung
gewährleistet.
-
In 12 ist
eine Draufsicht der Fluid-Misch-Vorrichtung 1100 aus 11 gezeigt.
-
Im
Weiteren wird bezugnehmend auf 13 eine
Sensor-Anordnung 1300 gemäß einem
zweiten Ausführungsbeispiel
der Erfindung beschrieben.
-
Die
Sensor-Anordnung 1300 ist gebildet aus einer erfindungsgemäßen Fluid-Transport-Vorrichtung
(nicht gezeigt in der Figur), wobei mittels der Fluid-Transport-Vorrichtung
entlang eines ersten Injektionskanals 1301 ein Fluid transportiert
werden kann. In einem zweiten Injektionskanal 1302 ist
eine zweite Flüssigkeit
enthalten. Der erste Injektionskanal 1301 und der zweite
Injektionskanal 1302 kreuzen sich in einem Kreuzungsbereich,
wobei in dem Kreuzungsbereich die Flüssigkeiten in den beiden Injektionskanälen 1301, 1302 zusammentreffen.
Bei Durchpumpen einer Elektrolytlösung durch den ersten Injektionskanal 1301 wird
ein in dem Kreuzungsbereich befindlicher Teil einer Analyselösung des zweiten
Injektionskanals 1302 von der Bewegung der Elektrolytlösung mitgerissen
und wird entlang des zweiten Injektionskanals 1302 einem
Sensor-Element (nicht gezeigt in der Figur) zugeführt, wo
eine definierte Menge der abgezweigten Analyseflüssigkeit untersucht und ein
Sensorereignis detektiert werden kann.
-
Im
Weiteren wird bezugnehmend auf 14, 15 eine
Fluid-Misch-Vorrichtung 1400 gemäß einem
zweiten Ausführungsbeispiel
der Erfindung beschrieben.
-
Die
in 14 gezeigte Fluid-Misch-Vorrichtung 1400 ist
von ihrem Aufbau her ähnlich
wie die in 1 gezeigte Fluid-Transport-Vorrichtung 100.
-
Wie
in der Draufsicht 1500 aus 15 gezeigt,
können
zum Mischen zweier Fluide Wirbel erzeugt werden, so dass eine besonders
gute Durchmischung der beiden Flüssigkeiten
ermöglicht
ist. Anders ausgedrückt
ist in 14, 15 ein
Verfahren zum Bewegen von Flüssigkeiten
auf einer Sensoroberfläche
gezeigt, womit eine Beschleunigung von ansonsten diffusionsbegrenzten
Reaktionen an der Sensoroberfläche
erfolgt.
-
In
diesem Dokument sind folgende Veröffentlichungen zitiert:
- [1] DE
19944452 A1
- [2] DE 10113254
A1
- [3] WO 01/94017 A1
- [4] WO 02/057014 A1
- [5] WO 02/085520 A2
- [6] WO 02/064821 A2
- [7] WO 03/012389 A2
- [8] WO 03/018181 A1
- [9] WO 02/082053 A2
-
- 100
- Fluid-Transport-Vorrichtung
- 101
- Silizium-Chip
- 102
- Reflexions-Schichtenfolge
- 103
- erste
Metallschicht
- 104
- piezoelektrische
Schicht
- 105
- zweite
Metallschicht
- 106
- erster
Anschluss
- 107
- zweiter
Anschluss
- 111
- erste
Durchkontaktierung
- 112
- zweite
Durchkontaktierung
- 113
- Isolationsstruktur
- 114
- dritte
Durchkontaktierung
- 115
- vierte
Durchkontaktierung
- 120
- Draufsicht
- 200
- Fluid-Transport-Vorrichtung
- 201
- Sackloch-Hohlraum
- 400
- Fluid-Transport-Vorrichtung
- 401
- Durchgangsloch-Hohlraum
- 600
- Fluid-Transport-Vorrichtung
- 601
- Kompartimentierung
- 602
- Analyselösung
- 700
- Isolationsbegrenzung
- 701
- integrierter
Steuer-Schaltkreis
- 702
- Bewegungsrichtung
- 703
- erste
Metallschicht-Teilbereiche
- 704
- zweite
Metallschicht-Teilbereiche
- 800
- Fluid-Transport-Vorrichtung
- 801
- Bewegungsrichtung
- 900
- erstes
Diagramm
- 901
- Abszisse
- 902
- Ordinate
- 910
- zweites
Diagramm
- 911
- Abszisse
- 912
- Ordinate
- 1000
- Sensor-Anordnung
- 1001
- erste
Fluid-Transport-Vorrichtung
- 1002
- zweite
Fluid-Transport-Vorrichtung
- 1003
- dritte
Fluid-Transport-Vorrichtung
- 1004
- vierte
Fluid-Transport-Vorrichtung
- 1005
- fünfte Fluid-Transport-Vorrichtung
- 1006
- sechste
Fluid-Transport-Vorrichtung
- 1007
- siebte
Fluid-Transport-Vorrichtung
- 1008
- erstes
Sensor-Element
- 1009
- zweites
Sensor-Element
- 1010
- drittes
Sensor-Element
- 1011
- viertes
Sensor-Element
- 1012
- fünftes Sensor-Element
- 1013
- sechstes
Sensor-Element
- 1014
- siebtes
Sensor-Element
- 1100
- Fluid-Misch-Vorrichtung
- 1101
- Oszillator-Schaltkreis
- 1200
- Draufsicht
- 1300
- Sensor-Anordnung
- 1301
- erster
Injektionskanal
- 1302
- zweiter
Injektionskanal
- 1303
- Elektrolytlösung
- 1304
- Analyselösung
- 1400
- Fluid-Misch-Vorrichtung
- 1500
- Draufsicht