DE102004032016A1 - Fabry-Pérot-Faserinterferometer - Google Patents

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Abstract

Ein Fabry-PErot-Faserinterferometer zur Absolutmessung von Verschiebungen weist mindestens einen Lichtwellenleiter (1) mit einem Ende zur Emission von Messlicht und zur Aufnahme von reflektiertem Messlicht und ein dem einen Ende des ersten Lichtwellenleiters gegenüberliegendes reflektierendes Element (3), dessen Lage relativ zu dem einen Ende des Lichtwellenleiters in Richtung von dessen Achse veränderbar ist, auf. Das reflektierende Element ist in der Richtung senkrecht zur Achse des Lichtwellenleiters an mindestens einer Stelle fixiert und folgt an einer anderen Stelle den zu messenden Verschiebungen, wobei es zwischen der fixierten Stelle (4) und der verschiebbaren Stelle eine durchgehend reflektierende Oberfläche (6) aufweist. Das eine Ende des Lichtwellenleiters ist zur Durchführung einer Messung senkrecht zu seiner Achse über eine dem Abstand zwischen der fixierten Stelle und der verschiebbaren Stelle entsprechende Strecke sowie über ein dem Faserinterferometer eigentümliches Identifikationsmuster (9) verschiebbar.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Fabry-Pérot-Faserinterferometer nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • Faseroptische Sensoren nach dem Fabry-Pérot-Faserinterferometer-Prinzip werden primär zur genauen Anzeige meist geringer Verschiebungen als – zumindest an der Messstelle – kleines und unkompliziertes Bauteil zur mittelbaren oder unmittelbaren Überwachung bau- und geophysikalischer Messgrößen verwendet. Hierbei werden Interferenzen ausgewertet, die bei der Überlagerung von Laserstrahlen mit ihren durch Reflexion am Messort entstandenen Sekundärstrahlen gebildet werden. Bei Einsatz von Lichtleitfasern zum gleichzeitigen Führen des Primär- und Sekundärstrahls ist dieses Messprinzip auch für lange Wegstrecken und schwer zugängliche Messstellen einsetzbar. Ein weiterer Vorteil besteht in dem Fehlen elektrischer Lei tungsverbindungen, so dass galvanisch bzw. elektrostatisch bedingte Störgrößen z.B. bei Blitzschlag auch bei großen Entfernungen zwischen Sensor- und Auswerteeinheit entfallen.
  • Als gravierender Nachteil muss andererseits die Begrenzung der Messstrecke bei Intervall- bzw. sporadischer Auswertung auf Werte unterhalb der Wellenlänge der verwendeten Laserstrahlung betrachtet werden. Größere Weglängen zwingen, um etwaige Interferenzdurchgänge durch Wegänderung zu registrieren, zur zeitlich lückenlosen Dokumentation des Messsignals.
  • Alle Lösungsansätze zu diesem Problem machen von der Maßnahme Gebrauch, mindestens eine weitere Information zu gewinnen oder zu erzeugen und diese schaltungs- oder rechentechnisch mit dem ursprünglichen Interferometersignal zu verknüpfen, um so zu eindeutigen und möglichst absoluten Werten zu gelangen. Als absolut messendes Fabry-Pérot-Faserinterferometer ist das Mehrwellenlängenverfahren bekannt geworden (H. Schäfer; Diplomarbeit: Faseroptische Interferometer zur eindeutigen Dehnungsmessung; Technische Universität Berlin). Hierbei werden mindestens sechs Laser mit festen zueinander unterschiedlichen Wellenlängen verwendet, die über die Schwebungswellenlänge die Berechnung absoluter Wegänderungen zulassen. Ein anderes System verwendet nur drei Laserquellen mit verschiedenen Wellenlängen, allerdings zum Preis einer aufwendigen Stabilisierung der Wellenlänge dieser Laser (M. Schmidt, N. Fürstenau; Fiber-Optic Extrinsic Fabry-Perot Interferometer Sensors with Tree-Wavelength Digital Phase Demodulation; Deutsches Institut für Luft- und Raumfahrttechnik). Ein dritter Lösungsansatz verwendet eine Weißlichtquelle in Verbindung mit einem speziellen Fizeau-Interferometer und einer CCD-Zeile als Detektorelement (Fa. FISO).
  • Diese Lösungsansätze beschränken sich ausschließlich auf die elektronische und rechentechnische Auswertung, erhöhen aber gleichzeitig auch den Aufwand an optischen Komponenten.
  • In der älteren, jedoch nicht vorveröffentlichten Patentanmeldung De 103 30 363.4 wird daher ein Fabry-Pérot-Faserinterferometer zur Absolutmessung von Verschiebungen mit mindestens einem ersten Lichtwellenleiter mit einem Ende zur Emission von Messlicht und zur Aufnahme von reflektiertem Messlicht, und mit einem dem einen Ende des ersten Lichtwellenleiters gegenüberliegenden ersten reflektierenden Element, dessen Lage relativ zu dem einen Ende des ersten Lichtwellenleiters in Richtung von dessen Achse veränderbar ist, vorgeschlagen, bei dem das erste reflektierende Element derart verformbar ist, dass es in der Richtung senkrecht zur Achse des ersten Lichtwellenleiters an mindestens einer Stelle fixiert ist und an einer anderen Stelle den zu messenden Verschiebungen folgt, wobei das erste reflektierende Element zwischen der fixierten Stelle und der verschiebbaren Stelle eine durchgehend reflektierende Oberfläche aufweist, und dass das eine Ende des ersten Lichtwellenleiters zur Durchführung einer Messung senkrecht zu seiner Achse über eine zumindest dem Abstand zwischen der fixierten und der verschiebbaren Stelle entsprechende Strecke verschiebbar ist. Hierdurch wird bei einem Messvorgang der gesamte zu messende Verschiebeweg erfasst, so dass insoweit ein Messergebnis wie bei einer kontinuierlichen Messung erhalten wird. Daher ist es unbeachtlich, ob sich der Verschiebeweg innerhalb einer Wellenlänge befindet oder mehrere Wellenlängen des Messlichts überspannt.
  • Bei Verwendung mehrer mit einer gemeinsamen Auswerteeinheit verbundener Fabry-Pérot-Faserinterferometer ergeben sich Probleme hinsichtlich der Identifizierung und Zuweisung der in der Auswerteeinheit endenden Lichtwellenleiter zu der im Messstellenplan angegebenen räumlichen Lage der zugehörigen Interferometer. Die Lichtwellenleiter werden nach Anbringen der Interferometer am zu messenden Objekt zu der Auswerteeinheit geführt, wobei deren Länge mehrere zehn bis mehrere hundert Meter betragen kann. Eine Zugänglichkeit zum Interferometer bzw. Lichtwellenleiterende an der Messstelle ist häufig nicht mehr gegeben, beispielsweise dann, wenn es in eine Betonstruktur eines Bauwerks eingebettet wurde.
  • Fabry-Pérot-Faserinterferometer erzeugen als Messsignal ein durch Interferenz von emittiertem und reflektiertem Licht hervorgerufenes amplitudenveränderliches optisches Signal, das durch den Lichtwellenleiter zur Auswerteeinheit gelangt und dort entsprechend verarbeitet wird. Das Messsignal enthält aber keine Information über die Identität und damit die geometrische Lage des jeweiligen Interferometers. Eine eindeutige fehlerfreie und jederzeit überprüfbare Zuordnung der Interferometer zu den in der Auswerteeinheit empfangenen optischen Signalen ist dadurch nicht möglich.
  • Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, das in der Patentanmeldung 103 30 363.4 vorgeschlagene Fabry-Pérot-Faserinterferometer in der Weise zu erweitern, dass die Möglichkeit seiner eindeutigen und zu jedem beliebigen Zeitpunkt durchführbaren Identifizierung erhalten wird.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass ein während der Verschiebung des einen Endes des mindestens einen ersten Lichtwellenleiters durch von diesem oder einem synchron mit diesem verschiebbaren zweiten Lichtwellenleiter emittiertes Licht erfassbares, reflektierendes Identifikationsmuster vorgesehen ist. Hierdurch kann gleichzeitig mit einer Verschiebungsmessung auch eine Identifizierung des jeweiligen Messkopfes/Interferometers durchgeführt werden.
  • Die Erfindung wird im Folgenden anhand von in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 eine Prinzipdarstellung eines absolut messenden Fabry-Pérot-Faserinterferometers, das in der Patentanmeldung 103 30 363.4 beschrieben ist,
  • 2 eine vereinfachte perspektivische Ansicht des Fabry-Pérot-Faserinterferometers nach 1,
  • 3 eine Prinzipdarstellung eines absolut messenden Fabry-Pérot-Faserinterferometers mit zwei Lichtwellenleitern und zwei reflektierenden Elementen, das ebenfalls in der Patentanmeldung 103 30 363.4 beschrieben ist und
  • 4 eine vereinfachte perspektivische Ansicht eines Fabry-Pérot-Faserinterferometers mit einem Identifikationsmuster gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung.
  • Das absolut messende Fabry-Pérot-Faserinterferometer nach den 1 und 2 weist einen Lichtwellenleiter 1 auf, der an einer Halterung 2 befestigt ist, die ausschließlich senkrecht zur Achse des Lichtwellenleiters 1 bewegbar ist. Der Lichtwellenleiter 1 ist zumindest über den Bereich zwischen der ausgezogen dargestellten Lage und der strichliert dargestellten Lage 1' verschiebbar. Während eines Messvorgangs emittiert der Lichtwellenleiter 1 an seiner unteren Stirnfläche Laserlicht und nimmt über dieselbe Stirnfläche reflektiertes Laserlicht auf, so dass Interferenzbilder entstehen, die zur Bestimmung des Abstands einer reflektierenden Fläche von der Stirnfläche verwendet werden können.
  • Der Stirnfläche des Lichtwellenleiters 1 gegenüber befindet sich ein reflektierendes Element 3, das bandförmig ausgebildet und an seinen Querrändern durch eine Einspannung 4 fixiert ist. Das Element 3 kann beispielsweise auch kreisförmig ausgebildet und entlang seines Umfangs eingespannt sein. Es ist zwischen seinen eingespannten Rändern verformbar und in der Mitte zwischen diesen Rändern, d.h. an der Stelle 5 mit einem nicht gezeigten verschiebbaren Gegenstand, dessen Verschiebung gemessen werden soll, starr gekoppelt. Die Größe der Verschiebung des Gegenstands kann daher über den Abstand des reflektierenden Elements 3 an der Stelle 5 von der Stirnfläche des Lichtwellenleiters 1 ermittelt werden. Die Verformung des reflektierenden Elements 3 erfolgt in der Weise, dass unabhängig vom Verformungsgrad und unabhängig von der Lage des Lichtwellenleiters 1 zwischen den beiden dargestellten Positionen das von der Stirnfläche emittierte Laserlicht stets zu dieser Stirnfläche zurück reflektiert wird.
  • Zur Durchführung eines Messvorgangs wird der Lichtleiter 1 beispielsweise aus der strichliert dargestellten Lage in die ausgezogen dargestellte Lage verschoben. Hierbei erfasst er eine Auslenkung des reflektierenden Elements 3 um den Weg A. Da der Abstand zwischen der Stirnfläche des Lichtwellenleiters 1 und dem reflektierenden Element 3 an der Einspannung 4 zumindest während der Messung konstant ist, kann der gemessene Weg A direkt zur Bestimmung der Verschiebung des mit dem Element 3 gekoppelten Gegenstands verwendet werden. Die Abtastung des reflektierenden Elements 3 erfolgt hierbei kontinuierlich, wobei alle Interferenzdurchgänge erfasst werden, so dass der Weg A unabhängig von seiner Länge, d.h. unabhängig davon, ob diese Länge größer als eine Wellenlänge des Laserlichts ist oder nicht, bei jedem Messvorgang eigenständig bestimmt wird.
  • Um definierte Endpunkte für einen Messvorgang zu erhalten, weist das Element 3 nur innerhalb des Bereichs, der sich zwischen den beiden Endstellungen des Lichtwellenleiters 1 erstreckt, eine reflektierende Oberfläche 6 auf. Damit kann sichergestellt werden, dass der Abtastbereich des Lichtwellenleiters 1 für alle Messvorgänge gleich ist.
  • Zur weiteren Erhöhung der Messgenauigkeit und zur Funktionskontrolle des absolut messenden Fabry-Pérot-Faserinterferometers können gemäß 3 ein weiterer Lichtwellenleiter 7 sowie ein mit diesem zusammenwirkendes, weiteres reflektierendes Element 8 vorgesehen sein. Das Element 8 ist gegenüber der Einspannung 4 fixiert und der Lichtwellenleiter 7 ist synchron mit dem Lichtwellenleiter 1 zwischen der jeweiligen strichliert und ausgezogen dargestellten Position bewegbar. Die dem Lichtwellenleiter 7 zugewandte, re flektierende Oberfläche des Elements 8 verläuft parallel zur Bewegungsrichtung des Lichtwellenleiters 7 und ist eben. Das über den Lichtwellenleiter 7 empfangene Messsignal ermöglicht eine Kontrolle der Abtastung des reflektierenden Elements 3 durch den Lichtwellenleiter 1 hinsichtlich etwaiger Abweichungen in der Kinematik der Abtastbewegung.
  • Weiterhin besteht die Möglichkeit, mehrere Lichtwellenleiter 1 senkrecht zu ihrer Bewegungsrichtung hintereinander anzuordnen und gemeinsam gegenüber dem Element 3 zu bewegen, so dass dieses entlang mehrerer paralleler Spuren abgetastet wird. Durch Mittelung bzw. Berücksichtigung aller so erhaltenen Messergebnisse kann die Messgenauigkeit zusätzlich erhöht werden.
  • Das in 4 wiedergegebene Fabry-Pérot-Faserinterferometer stellt eine erfindungsgemäße Weiterentwicklung des in 1 und 2 gezeigten Fabry-Pérot-Faserinterferometers dar. Die Weiterentwicklung besteht darin, dass das reflektierende Element 3 zusätzlich zu der durchgehend reflektierenden Oberfläche 6 ein reflektierendes Identifikationsmuster 9 beträgt, das bei der periodischen Abtastbewegung des Lichtwellenleiters 1 ebenfalls von diesem abgetastet wird. Das Identifikationsmuster 9 besteht aus Bereichen mit unterschiedlichen Reflexionsvermögen, so dass das von diesem in den Lichtwellenleiter 1 reflektierte Licht ein entsprechendes optisches Signal darstellt. Jedem Interferometer ist ein eigenes Identifikationsmuster zugeordnet, so dass die Auswerteeinheit jedes Interferometer anhand des empfangenen optischen Signals identifizieren kann.
  • Im Fall von 4 sind die reflektierende Oberfläche 6 und das Identifikationsmuster 9 in Verschiebungsrichtung des Lichtwellenleiters 1 hintereinander angeordnet und der Lichtwellenleiter 1 tastet bei jeder Verschiebung sowohl die Oberfläche 6 als auch das Identifikationsmuster 9 ab, so dass bei jedem Abtastvorgang automatisch der eigentliche Messwert und das Identifikationsmuster untrennbar miteinander gekoppelt zu der Auswerteeinheit übertragen werden.
  • Das Identifikationsmuster 9 kann auch seitlich neben der Oberfläche 6 verlaufen und wird dann durch einen zweiten Lichtwellenleiter, der synchron mit dem Lichtwellenleiter 1 verschoben wird, abgetastet. Auch besteht die Möglichkeit, das Identifikationsmuster 9 in die Oberfläche 6 zu integrieren, indem diese aus Bereichen mit unterschiedlichem Reflexionsvermögen besteht. Weiter kann bei einem Interferometer nach 3 das Identifikationsmuster auf dem reflektierenden Element 8 angeordnet sein, so dass es von dem Lichtwellenleiter 7 abgetastet wird.

Claims (7)

  1. Fabry-Pérot-Faserinterferometer zur Absolutmessung von Verschiebungen mit mindestens einem ersten Lichtwellenleiter (1) mit einem Ende zur Emission von Messlicht und zur Aufnahme von reflektiertem Messlicht, und mit einem dem einen Ende des ersten Lichtwellenleiters (1) gegenüberliegenden ersten reflektierenden Element (3), dessen Lage relativ zu dem einen Ende des ersten Lichtwellenleiters (1) in Richtung von dessen Achse veränderbar ist, derart, dass es in der Richtung senkrecht zur Achse des ersten Lichtwellenleiters (1) an mindestens einer Stelle fixiert ist und an einer anderen Stelle (5) den zu messenden Verschiebungen folgt, wobei das erste reflektierende Element (3) zwischen der fixierten Stelle und der verschiebbaren Stelle (5) eine durchgehend reflektierende Oberfläche (6) aufweist, wobei dass das eine Ende des ersten Lichtwellenleiters (1) zur Durchführung einer Messung senkrecht zu seiner Achse über eine zumindest dem Abstand zwischen der fixierten Stelle und der verschiebbaren Stelle (5) entsprechende Strecke verschiebbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass ein während der Verschiebung des einen Endes des mindestens einen ersten Lichtwellenleiters (1) durch von diesem oder einem synchron mit diesem verschiebbaren zweiten Lichtwellenleiter (7) emittiertes Licht erfassbares, reflektierendes Identifikationsmuster (9) vorgese hen ist.
  2. Fabry-Pérot-Faserinterferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein zweites reflektierendes Element (8) vorgesehen ist, wobei der zweite Lichtwellenleiter (7) ein dem zweiten reflektierenden Element (8) zugewandtes Ende zur Emission von Licht und zur Aufnahme von reflektiertem Licht vorgesehen sind.
  3. Fabry-Pérot-Faserinterferometer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Identifikationsmuster (9) auf einem der reflektierenden Elemente (3, 8) angeordnet ist.
  4. Fabry-Pérot-Faserinterferometer nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Identifikationsmuster (9) getrennt von der durchgehend reflektierenden Oberfläche (6) oder in diese integriert ausgebildet ist.
  5. Fabry-Pérot-Faserinterferometer nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Identifikationsmuster (9) aus Bereichen mit unterschiedlichem Reflexionsvermögen besteht.
  6. Fabry-Pérot-Faserinterferometer nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das von dem Identifikationsmuster (9) reflektierte Licht von dem das Licht emittierenden Ende des Lichtwellenleiters (1, 7) aufnehmbar ist.
  7. Fabry-Pérot-Faserinterferometer nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass eine Auswerteeinheit zur gemeinsamen Auswertung des von der durchgehend reflektierenden Oberfläche (6) und des von dem Identifikationsmuster (9) reflektierten Lichts vorgesehen ist.
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