DE102004022679A1

DE102004022679A1 - Micromachined differential pressure sensor test canula has straight passage with transparent seal and dimensions to fit over sensor

Info

Publication number: DE102004022679A1
Application number: DE200410022679
Authority: DE
Inventors: Claus Dr.-Ing. Dietrich; Jörg Dr.-Ing. Kiesewetter; Stefan Kreissig; Michael Dipl.-Phys. Teich; Uwe Thieme; Holm Geißler
Original assignee: SUSS MicroTec Test Systems GmbH
Current assignee: Cascade Microtech Dresden GmbH
Priority date: 2004-05-05
Filing date: 2004-05-05
Publication date: 2005-11-24

Abstract

A micromachined differential pressure sensor test canula has a straight passage (1) with transparent seal (5), maximum width (7) greater than the largest of the pressure sensor, smallest less than the smallest space (7) between the differential pressure sensor electrical connections and contour matched to the membrane (17).

Description

Die Erfindung betrifft eine Kanüle eines Probers für Differenzdrucksensoren zur Beaufschlagung eines einzelnen Sensorelements (Membran) mit einem dynamisch erzeugten Druck, wobei die Kanüle zumindest nahezu senkrecht zur Oberfläche des Differenzdrucksensors positionierbar ist.The The invention relates to a cannula a prober for Differential pressure sensors for acting on a single sensor element (Membrane) with a dynamically generated pressure, wherein the cannula at least almost perpendicular to the surface the differential pressure sensor is positionable.

Derartige, mikromechanische Drucksensoren werden üblicherweise mit den technologischen Verfahren der Halbleitertechnologie im Waferverband gefertigt und umfassen im Wesentlichen eine in das Halbleitersubstrat geätzte Sensorkammer, die auf einer Seite mit einer als Sensorelement dienenden Membran abgeschlossen ist, und elektrische Anschlüsse für die Spannungsversorgung und den Abgriff der Messwerte. Die Membran stellt das druckempfindliche Element dar, welches unter Druckbeaufschlagung aus seiner Ruhelage ausgelenkt wird und damit eine elektrische Spannungsänderung indiziert, die ein Maß für die Druckänderung darstellt.such, Micromechanical pressure sensors are commonly used with technological processes manufactured and include the semiconductor technology in the wafer association essentially a sensor chamber etched into the semiconductor substrate, on one side with a membrane serving as a sensor element is completed, and electrical connections for the power supply and the tapping of the measured values. The membrane represents the pressure-sensitive Element is, which under pressure from its rest position is deflected and thus an electrical voltage change indexed, which is a measure of the pressure change represents.

Die erforderliche Funktionsprüfung oder ggf. auch Kalibrierung der Drucksensoren erfolgt sowohl im Waferverband als auch vereinzelt in so genannten Druckprobern, in denen die zu testenden Drucksensoren von einem, gegebenenfalls temperaturregelbaren Chuck aufgenommen werden, einzeln an ihren elektrischen Anschlüssen mit Sondennadeln kontaktiert und mit einem definierten Druck beaufschlagt werden. Hierzu wird mittels einer Kanü le, die mit einem definierten Abstand über der Membran jedes Drucksensors positioniert ist, eine Gasströmung in Richtung der Membran erzeugt, deren aus der Auslenkung folgenden elektrischen Signale über die Sondennadeln abgegriffen und ausgewertet werden.The required functional test or possibly calibration of the pressure sensors takes place both in Wafer dressing as well as occasionally in so-called pressure testers, in where the pressure sensors to be tested of one, optionally temperature adjustable Chuck, individually with their electrical connections Probe needles are contacted and subjected to a defined pressure. For this purpose, by means of a Kanü le, at a defined distance above the diaphragm of each pressure sensor is positioned, a gas flow generated in the direction of the membrane, whose from the deflection following electrical signals over the probe needles are tapped and evaluated.

Diese berührungslose Druckmessung ist für die Testung der Drucksensoren im Waferverband infolge der immer kleiner werdenden Abstände untereinander und infolge ihrer in diesem Stadium oft bereits vorhandenen Integration in elektronische Schaltungen oder komplexe Bauelemente erforderlich. Aufgrund dieser Tatsachen und zur Gewährleistung reproduzierbarer Prüfungen oder Kalibriermessungen ist eine sehr präzise Druckbeaufschlagung notwendig, was unter anderem wiederum eine sehr präzise Positionierung der Kanüle über der einzelnen Membran verlangt.These contactless Pressure measurement is for the Testing of the pressure sensors in the wafer association as a result of the ever smaller expectant distances among themselves and as a result of their already existing at this stage often Integration into electronic circuits or complex components required. Because of these facts and to guarantee reproducible tests or calibration measurements, a very precise pressurization is necessary, which, among other things, a very precise positioning of the cannula over the single membrane required.

So sind Druckprober bekannt, bei denen eine sehr dünne Kanüle zur Druckbeaufschlagung schräg zwischen den Sondennadeln hindurch bis über die Membran geführt wird und deren Endpositionierung in der Draufsicht durch ein Mikroskop kontrolliert werden kann, in dessen Abbildung die Außenkontur der Kanüle relativ zur Lage der Membran gut erkennbar ist. Hierfür ist ein präziser Manipulator für die Kanüle erforderlich, der die Positionierung zwischen den Sondennadeln hindurch trotz deren von Sensor zu Sensor eventuell wechselnder Lage zueinander und mikrometergenau gewährleistet.So Druckprober are known in which a very thin cannula for pressurization diagonally between through the probe needles to about guided the membrane is and their final positioning in plan view through a microscope can be controlled, in its figure, the outer contour the cannula is clearly visible relative to the position of the membrane. This is a more precise Manipulator for the cannula required despite the positioning between the probe needles their from sensor to sensor possibly changing position to each other and guaranteed to the micrometer.

Ein wesentlicher Nachteil dieser Druckprober ist jedoch eine ungleichmäßige Druckverteilung über der einzelnen Membran, was zur Verfälschung oder Verschiebung der Messwerte führt. Diese Druckverteilung ergibt sich zum einen aus der im Vergleich zur Membran geringen Größe der Kanüle und zum anderen aus der infolge der Kanülengröße und -lage resultierenden, seitlich gerichteten Gasströmung.One However, a major disadvantage of this Druckprober is an uneven pressure distribution over the single membrane, resulting in adulteration or Displacement of the measured values leads. This pressure distribution results on the one hand from the comparison to the membrane small size of the cannula and the other due to the cannula size and location resulting, laterally directed gas flow.

Aus der deutschen Patentschrift 100 00 133 C2 hingegen ist eine Anordnung bekannt, die eine Kanüle mit einer dem Sensorelement vergleichbar großen Austrittsöffnung senkrecht über einem Sensorelement mit einem definierten, geringen Abstand zu diesem positioniert und somit den erforderlichen Druck dynamisch als Staudruck über dem Sensorelement erzeugt. Die senkrecht über der Membran stehende Kanüle ermöglicht zwar, bei vergleichbarer oder geringerer Größe des Kanülenquerschnitts im Vergleich zur Membran, eine definierte Druckverteilung über der Membran, verhindert aber die direkte Sicht auf den Differenzdrucksensor zur Positionierung der Kanüle.Out the German patent 100 00 133 C2, however, is an arrangement known to be a cannula with a sensor element comparably sized outlet opening vertically above a Sensor element with a defined, small distance to this positioned and thus the required pressure dynamically as backpressure over the Sensor element generated. Although the cannula, which is perpendicular to the membrane, allows Comparable or smaller size of the cannula cross section in comparison to the membrane, a defined pressure distribution across the membrane prevented but the direct view of the differential pressure sensor for positioning the cannula.

Um die Positionierung der Kanüle ohne Beschädigung des umgebenden Messaufbaus überhaupt zu ermöglichen, ist die Größe der Kanüle so weit zu reduzieren, dass bei einer noch akzeptablen Druckverteilung über der Fläche der Membran an der Kanüle vorbei der Differenzdrucksensor beobachtbar ist. Da die Druckverteilung über der Membran einer Glockekurve folgt, ist eine Optimierung der Größe des Kanülenquerschnitts für verschiedene Membrangrößen und -konturen schwierig. Um eine Berührung der Sondennadeln durch die Kanüle bei deren Absenken auf einen geringen Kanülen-Sensor-Abstand zu vermeiden, können die Sondennadeln im Bereich der dem Sensorelement zugewandten Öffnung der Kanüle angeordnet sein. Das jedoch ist stets ein sehr spezieller, auf einen bestimmten Sensor- und Schaltungstyp angepasster Messaufbau, der nur bei einer großen Anzahl absolut gleichförmiger, am besten automatisierter Messungen in Betracht käme.Around the positioning of the cannula without damage of the surrounding measurement setup at all to enable the size of the cannula is so far to reduce that at an even more acceptable pressure distribution over the area the membrane on the cannula past the differential pressure sensor is observable. Because the pressure distribution over the Membrane follows a bell curve, is an optimization of the size of the cannula cross section for different Membrane sizes and contours difficult. To get a touch of Probe needles through the cannula when lowering it to avoid a small needle-to-sensor distance, can the probe needles arranged in the region of the sensor element facing the opening of the cannula be. However, this is always a very special, to a certain Sensor and circuit type adapted test setup, which only for a large number absolutely uniform, the best automated measurements would be considered.

Unabhängig davon wie die Messumgebung gestaltet ist, erfordert die genaue Positionierung der Kanüle in dieser Anordnung die gleichzeitige Beobachtung von zwei, ungefähr rechtwinklig zueinander stehenden seitlichen Positionen. Diese aufwendige Positionierung ist für die Stückprüfung im Waferverband nicht akzeptabel und in Probern auch oft möglich, da die beiden erforderlichen, seitlichen Beobachtungspositionen infolge des Proberaufbaus nicht vorhanden sind.Independently of how the measurement environment is designed requires accurate positioning the cannula in this arrangement the simultaneous observation of two, approximately at right angles mutually standing lateral positions. This elaborate positioning is for the piece inspection in Wafer dressing unacceptable and in Probern often also possible because the two required lateral observation positions due to of the trial setup are not available.

Somit liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Kanüle zur Druckbeaufschlagung für die Messung von Differenzdrucksensoren in einem Prober darzustellen, die eine gleichmäßige Druckverteilung sowie eine schnelle und dennoch präzise Positionierung über dem Sensorelement des Differenzdrucksensors ermöglicht.Consequently The invention is based on the object, a cannula for pressurizing for the measurement of differential pressure sensors in a sampler representing a even pressure distribution as well as a fast yet precise positioning above the Sensor element of the differential pressure sensor allows.

Die Aufgabenstellung wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Kanüle einen geradlinigen Durchgang aufweist, der an seiner ersten, dem Differenzdrucksensor abgewandten Seite mit einem durchsichtigen Verschluss druckdicht abgeschlossen ist und einen solchen Querschnitt aufweist, dass dessen geringste Ausdehnung größer ist als die größte Ausdehnung des Differenzdrucksensors und dessen größte Ausdehnung geringer als der geringste Abstand zwischen den elektrischen Anschlüssen des Differenzdrucksensors, und dass die Kanüle eine den Durchgang nicht einengende, seitliche Druckzuführung aufweist.The Task is inventively achieved in that the cannula a rectilinear passage, which at its first, the Differential pressure sensor opposite side with a transparent Closure pressure-tight is completed and such a cross-section has that its smallest extent is greater than the largest extent the differential pressure sensor and its largest extent less than the smallest distance between the electrical connections of the differential pressure sensor, and that the cannula a non-constricting, lateral pressure feed has the passage.

Der geradlinige, durch die Gaszuführung nicht eingeengte Durchgang der Kanüle und der durchsichtige Verschluss auf der dem Sensorelement abgewandten und damit einem Beobachter zugewandten Seite der Kanüle ermöglicht es, den Positionierungsprozess der Kanüle relativ zum Differenzdrucksensor mit einer direkten Sicht durch die Kanüle zu beobachten und so die optimale Position der Kanüle einzustellen. Da der Kanülenquerschnitt erfindungsgemäß größer ist, als die Membran, aber dennoch kleiner als der Abstand deren elektrischer Anschlüsse, können sowohl die Membrankontur als auch die Pads der elektrischen Anschlüsse als Bezugspunkte für die Positionierung dienen, so dass die Kanüle nach ihrer Positionierung in einem angehobenen Zustand mittig über die Membran und somit trotz der größeren Kanüle genau zwischen die elektrischen Anschlüsse berührungslos abgesenkt werden kann.Of the rectilinear, by the gas supply not narrowed passage of the cannula and the transparent closure facing away from the sensor element and allowing an observer-facing side of the cannula to the positioning process of the cannula relative to the differential pressure sensor with a direct view through the cannula and so on optimal position of the cannula adjust. As the cannula cross section is larger according to the invention, as the membrane, but still smaller than the distance of their electrical Connections, can both the membrane contour and the pads of the electrical connections as Reference points for Serve the positioning, allowing the cannula after positioning in a raised state centered over the membrane and thus despite the larger cannula exactly between the electrical connections contactless can be lowered.

Sofern entsprechend einer besonders vorteilhaften Ausführungsform die Kontur des Kanülenquerschnitts der Kontur der Membran angepasst ist, kann die präzise Positionierung der Kanüle in der senkrechten Durchsicht mittels der zentrischen Lage beider Konturen vorgenommen und kontrolliert werden.Provided According to a particularly advantageous embodiment, the contour of the cannula cross-section The contour of the membrane is adapted to the precise positioning the cannula in a vertical look through the centric position of both Contours are made and controlled.

Der vergrößerte Kanülenquerschnitt ermöglicht auch die Verwendung eines Mikroskops, welches stets ein Bestandteil eines Probers für mikromechanische und mikroelektronische Bauelemente ist, für die Beobachtung des Differenzdrucksensors durch den Durchgang der Kanüle. Zu diesem Zweck wird ein Mikroskop mit kleiner Apertur verwendet, so dass die Beobachtung auch durch den relativ langen Durchgang möglich ist. Dabei liegt die Mittellängsachse der Kanüle im wesentlichen auf der optischen Achse des Mikroskops.Of the enlarged cannula cross-section allows also the use of a microscope, which is always an ingredient a prober for Micromechanical and microelectronic devices is for observation of the differential pressure sensor through the passage of the cannula. To this Purpose is a microscope with a small aperture, so that the observation is also possible through the relatively long passage. Here lies the central longitudinal axis the cannula essentially on the optical axis of the microscope.

Des Weiteren kann durch den im Vergleich zur Membrangröße größeren Kanülenquerschnitt und insbesondere bei dessen angepassten Kontur ein viel gleichmäßigerer Druckverlauf über der Membran eingestellt werden, als es mit den bekannten Kanülen möglich ist. Denn dadurch befinden sich die stark abgefallenen, seitlichen Bereiche der Glockenkurve der Druckverteilung nicht mehr über der Membran und die Flanken der Kurve lediglich über dem Randbereich.Of Further, by the larger compared to the membrane size cannula cross section and especially at its adapted contour a much more uniform Pressure curve over the membrane can be adjusted as it is possible with the known cannulas. Because this is the heavily fallen, lateral areas the bell curve of the pressure distribution no longer over the membrane and the flanks the curve just over the edge area.

Für die Druckverteilung über der Membran ist es unerheblich, ob die Gaszuführung mit einem stumpfen Winkel oder nahezu rechtwinklig in den Durchgang der Kanüle mündet, sollte jedoch erfahrungsgemäß in solch einem Abstand zu der dem Sensor zugewandten Mündung angeordnet sein, dass sich in diesem Abschnitt der Kanüle eine gleichmäßige Strömung einstellen kann.For the pressure distribution over the Membrane, it does not matter if the gas supply at an obtuse angle or almost perpendicularly opens into the passage of the cannula, should However, experience shows in such be arranged at a distance from the sensor facing the mouth, that yourself in this section of the cannula set a uniform flow can.

Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass der durchsichtige Verschluss der Kanüle durch ein auswechselbares, mit zumindest einem Dichtelement versehenes Sichtfenster gebildet ist. So können je nach Membrangröße oder -kontur auch Sichtfenster mit speziellen Skalen zur präzisen Positionierung oder auch Sichtfenster mit speziellen Filtern eingesetzt werden.A Another embodiment of the invention provides that the transparent Closure of the cannula by an exchangeable, provided with at least one sealing element Viewing window is formed. So can depending on diaphragm size or contour also viewing window with special scales for precise positioning or viewing windows are used with special filters.

Darüber hinaus ist es dienlich, wenn der Durchgang der Kanüle einen ersten Abschnitt mit einem ersten Querschnitt und einen zweiten Abschnitt mit einem zweiten, im Vergleich zum ersten, größeren Querschnitt aufweist, wobei der erste Abschnitt an jenem dem Differenzdrucksensor zugewandten Ende der Kanüle angeordnet ist. Diese Erweiterung der Kanüle dient der Anpassung der Kanüle an die Apertur des Mikroskops. Da der nutzbare Öffnungswinkel des Objektivs durch die Weite und Länge des Durchgangs begrenzt wird, verbessert die Erweiterung der Kanüle die Auflösung des Mikroskops.Furthermore It is useful if the passage of the cannula has a first section a first cross section and a second section with a second, compared to the first, larger cross section wherein the first portion at that the differential pressure sensor facing end of the cannula is arranged. This extension of the cannula serves to adapt the cannula to the aperture of the microscope. Because the usable aperture angle of the lens through the vastness and length the passage is limited, the extension of the cannula improves the resolution of the cannula Microscope.

In besonders vorteilhafter Weise kann die Höhenposition der Kanüle gemessen und eingestellt werden, wenn an der Stelle des Eintritts der Druckzuführung in die Kanüle eine Messstelle zur Messung des Staudruckes innerhalb der Kanüle angeordnet ist. Der grundsätzlichen Aufgabe des erfindungsgemäßen geradlinigen Durchganges entsprechend ist die Anordnung der Messstelle dabei so auszuführen, dass die Durchsicht durch den Durchgang nicht behindert wird. Da die Kanüle zur Druckbeaufschlagung, wie beschrieben, gleichmäßig bis auf einen sehr geringen Abstand über die Membran abgesenkt wird und die Membran aufgrund ihrer nur um einen Bruchteil aus ihrer Ruhelage ausgelenkt wird, ist der Staudruck, der sich über der Membran in der Kanüle aufbaut, ein Maß für den Abstand zwischen der Messstelle innerhalb der Kanüle und der Membran. Mit einer unter den entsprechenden Messbedingungen aufgenommenen Kennlinie ist somit die Höhenposition der Kanüle einstellbar und bei Hinterlegung der Kennlinie in einem Regelkreis gegebenenfalls auch regelbar.In a particularly advantageous manner, the height position of the cannula can be measured and adjusted if, at the point of entry of the pressure feed into the cannula, a measuring point for measuring the back pressure within the cannula is arranged. The fundamental task of the rectilinear passage according to the invention is accordingly to carry out the arrangement of the measuring point so that the view through the passage is not hindered. Since the cannula for pressurization, as described, is lowered uniformly to a very small distance over the membrane and the membrane is deflected due to their only a fraction of its rest position, the dynamic pressure that builds up on the membrane in the cannula, a measure of the distance between the Measuring point within the cannula and the membrane. With a recorded under the corresponding measurement conditions characteristic thus the height position of the cannula is adjustable and optionally deposited when depositing the characteristic in a control loop.

Die senkrechte Durchsicht durch die Kanüle auf die Oberfläche des Differenzdrucksensors ermöglicht somit bei genauer Einstellung oder zumindest Kenntnis der Ausrichtung der Kanüle zur Sensoroberfläche und bei Vorhandensein von beispielsweise mit einem Imagingsystem auswertbaren Bezugspunkten auf der beobachteten Sensoroberfläche grundsätzlich auch die Automatisierung der Kanülenpositionierung.The vertical view through the cannula on the surface of the Differential pressure sensor allows thus with exact attitude or at least knowledge of the alignment the cannula to the sensor surface and in the presence of, for example, an imaging system evaluable reference points on the observed sensor surface in principle also the automation of needle positioning.

In weiteren vorteilhaften Ausgestaltungen der Erfindung ist die Kanüle aus zumindest zwei Teillängen ausgeführt, welche druckdicht aneinander fügbar sind. Besonders günstig erweist es sich hierbei, wenn die Teilung der Kanüle unterhalb des Eintritts der Druckzuführung erfolgt.In Further advantageous embodiments of the invention, the cannula is at least two partial lengths executed which pressure-tight joined together are. Very cheap it proves this, if the division of the cannula below the entrance of the pressure feed he follows.

Diese Teilung der Kanüle gestattet es zum einen, den unteren, der Membran zugewandten Teil der Kanüle auszutauschen und so mit geringem Material- und Zeitaufwand den Kanülenquerschnitt und gegebenenfalls auch dessen Kontur den zu testenden Differenzdrucksensoren anzupassen. Es können durch entsprechend gestaltete Einzelteile parallel zur Anpassung an den Sensor auch Anpassungen an die Apertur des Mikroskops vorgenommen werden, indem Kanülenunterteile mit verschiedenen Querschnitts- und Erweiterungskombinationen verwendet werden. So kann die Kanüle sehr flexibel den vom Anwender geforderten Konfigurationen angepasst werden und die Anpassung kann vor Ort durch den Anwender selbst geschehen.These Division of the cannula allows it on the one hand, the lower, the membrane-facing part of the cannula exchange and so with little material and time Cannula section and possibly also its contour to be tested differential pressure sensors adapt. It can by correspondingly designed items parallel to the adaptation to the Sensor also made adjustments to the aperture of the microscope be by cannula bottoms be used with different cross-section and expansion combinations. So can the cannula be flexibly adapted to the configurations required by the user and the customization can be done on-site by the user himself.

Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert werden. Die zugehörige Zeichnung zeigt in der Figur die schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Kanüle in der vertikalen Schnittdarstellung.The Invention will be explained in more detail with reference to an embodiment. The associated Drawing shows in the figure, the schematic representation of a Cannula according to the invention in the vertical sectional view.

Die in der Fig. dargestellte Kanüle weist einen geradlinigen Durchgang 1 auf. Die Kanüle ist in 3 Teile unterteilt, den unteren 2, den mittleren 3 und den oberen Teil 4, deren Verbindungen miteinander im Bereich des Durchganges 1 mittels Dichtungselementen 5 druckdicht ausgeführt sind.The cannula shown in the figure has a straight passage 1 on. The cannula is in 3 Parts divided, the lower 2 , the middle one 3 and the upper part 4 whose connections with each other in the area of the passage 1 by means of sealing elements 5 are executed pressure-tight.

Im unteren Teil der Kanüle weist der Durchgang 1 einen rechteckigen Querschnitt mit 2 verschiedenen Abmessungen auf. Der Bereich des Durchganges 1 mit dem ersten, kleineren Querschnitt 6 erstreckt sich über ungefähr ein Drittel der Länge des unteren Teiles 2 der Kanüle, vom unteren Ende an gemessen. Die Erweiterung 8 auf den sich daran anschließenden zweiten, größeren Querschnitt 7, der konzentrisch zum kleineren Querschnitt 6 angeordnet ist, erfolgt sprunghaft. Der Durchgang 1 mit dem größerem Querschnitt 7 setzt sich im mittleren Teil 3 der Kanüle fort.In the lower part of the cannula shows the passage 1 a rectangular cross-section with 2 different dimensions. The area of the passage 1 with the first, smaller cross-section 6 extends over about one third of the length of the lower part 2 the cannula, measured from the lower end. The extension 8th on the adjoining second, larger cross-section 7 concentric to the smaller cross section 6 is arranged, takes place abruptly. The passage 1 with the larger cross section 7 sits down in the middle part 3 the cannula.

Im mittleren Teil 3 der Kanüle erfolgt durch einen rechtwinklig zum Durchgang 1 angeordneten Kanal 9 die Druckzuführung in den Durchgang 1. Im Bereich des Eintritts des Kanals 9 in den Durchgang 1 ist eine nicht näher dargestellte Messstelle 10 realisiert, mit welcher der Staudruck im unteren Teil 2 der Kanüle messbar ist.In the middle part 3 the cannula is perpendicular to the passageway 1 arranged channel 9 the pressure feed into the passage 1 , In the area of entry of the canal 9 in the passage 1 is a measuring point not shown in more detail 10 realized with which the dynamic pressure in the lower part 2 the cannula is measurable.

Oberhalb des Kanaleintritts schließt ein entspiegeltes Sichtfenster 11 aus Glas den Durchgang 1 druckdicht ab, indem es mittels eines Dichtungselementes 5 in eine erneute Erweiterung 12 des Durchganges 1 nach oben nahezu bündig mit dem mittleren Teil 3 der Kanüle abschließend eingesetzt ist. Da sich diese erneute Erweiterung 12 bis zum oberen Abschluss des mittleren Teiles 3 der Kanüle erstreckt, ist das Sichtfenster 11 auswechselbar, wenn das obere Teil 4 der Kanüle demontiert ist.Above the channel entrance closes an anti-reflective window 11 made of glass the passage 1 pressure-tight, by means of a sealing element 5 in a new extension 12 of the passage 1 upwards almost flush with the middle part 3 the cannula is finally inserted. Because this renewed expansion 12 to the upper end of the middle part 3 the cannula extends is the viewing window 11 interchangeable when the upper part 4 the cannula is dismantled.

Das obere Teil 4 der Kanüle, das im montierten Zustand das Sichtfenster 11 mittels eines weiteren Dichtungselements 5 in die erneute Erweiterung 12 des mittleren Teils 3 presst, setzt den Durchgang 1 des mittleren Teils 3 geradlinig, mit einer abschließenden konischen Erweiterung 13 bis zum oberen Abschluss der Kanüle fort, so dass eine ungehinderte Durchsicht durch die gesamte Kanüle für das oberhalb des Durchganges 1 angeordnete Mikroskop 14 gewährleistet ist.The upper part 4 the cannula, which in the assembled state, the viewing window 11 by means of a further sealing element 5 in the renewed expansion 12 of the middle part 3 presses, sets the passage 1 of the middle part 3 straight, with a final conical extension 13 Continue to the upper end of the cannula, allowing unobstructed viewing through the entire cannula for the above-the-passage 1 arranged microscope 14 is guaranteed.

Die Kanüle ist mit einem definierten ersten Abstand 15, im Ausführungsbeispiel im Bereich von einigen 10 μm, senkrecht über der Oberfläche des zu prüfenden Differenzdrucksensors 16 positioniert. Dabei ist der rechteckige Querschnitt des unteren Teiles 2 der Kanüle so groß gewählt, dass er geringfügig größer ist als der rechteckige Querschnitt der Membran 17 des Differenzdrucksensors 16. Die Kanüle ist gleichzeitig so angeordnet, dass beide Querschnitte mit dem genannten ersten Abstand 15 genau mittig übereinander liegen. Die mit einem zweiten Abstand 18 zur Membran 17 vorhandenen elektrischen Anschlüsse 19 des Differenzdrucksensors 16 sind mit Sondennadeln 20 kontaktiert, die infolge dieses sensorspezifischen, zweiten Abstandes und der Größe der Kanüle einen ausreichend großen Abstand zur Kanüle aufweisen.The cannula is at a defined first distance 15 , in the embodiment in the range of a few 10 microns, vertically above the surface of the differential pressure sensor to be tested 16 positioned. Here is the rectangular cross section of the lower part 2 the cannula is chosen so large that it is slightly larger than the rectangular cross-section of the membrane 17 of the differential pressure sensor 16 , The cannula is at the same time arranged so that both cross sections with said first distance 15 exactly in the middle of each other. The one with a second distance 18 to the membrane 17 existing electrical connections 19 of the differential pressure sensor 16 are with probe needles 20 contacted, as a result of this sensor-specific, second distance and the size of the cannula have a sufficiently large distance from the cannula.

11: Durchgangpassage
22: unterer Teillower part
33: mittlerer Teilmiddle part
44: oberer Teilupper part
55: Dichtungselementesealing elements
66: erster, kleinerer QuerschnittFirst, smaller cross section
77: zweiter, größerer Querschnittsecond, larger cross-section
88th: Erweiterungextension
99: Kanalchannel
1010: Messstellemeasuring point
1111: Sichtfensterwindow
1212: erneute Erweiterungagain extension
1313: konische Erweiterungconical extension
1414: Mikroskopmicroscope
1515: erster Abstandfirst distance
1616: DifferenzdrucksensorDifferential Pressure Sensor
1717: Membranmembrane
1818: zweiter Abstandsecond distance
1919: elektrische Anschlüsseelectrical connections
2020: Sondennadelprobe needle

Claims

Cannula of a probe for differential pressure sensors for acting on a single sensor element (membrane) with a dynamically generated pressure, wherein the cannula is positionable at least almost perpendicular to the surface of the differential pressure sensor, characterized in that the cannula is a rectilinear passage ( 1 ), which is pressure-sealed at its first, the differential pressure sensor side with a transparent closure and has such a cross-section that its smallest extent is greater than the largest dimension of the differential pressure sensor and its maximum extent is less than the smallest distance between the electrical Connections of the differential pressure sensor, and that the cannula a the passage ( 1 ) has non-constricting, lateral pressure feed.

Cannula of a probe for differential pressure sensors according to claim 1, characterized in that the contour of the cannula cross section of the contour of the membrane ( 17 ) is adjusted.

Cannula of a probes for differential pressure sensors according to any one of claims 1 or 2, characterized in that the transparent closure of the cannula by a replaceable res, with at least one sealing element ( 5 ) provided viewing window ( 11 ) is formed.

Cannula of a probe for differential pressure sensors according to one of claims 1 to 3, characterized in that the passage ( 1 ) of the cannula has a first section with a first cross-section ( 6 ) and a second section with a second, compared to the first, larger cross-section ( 7 ), wherein the first portion at that the differential pressure sensor ( 16 ) facing the end of the cannula is arranged.

Cannula of a probe for differential pressure sensors according to one of claims 1 to 4, characterized in that at the point of entry of the pressure feed into the cannula a measuring point ( 10 ) for measuring the back pressure within the passage ( 1 ) is arranged.

cannula a prober for Differential pressure sensors according to one of claims 1 to 5, characterized that the cannula from at least two partial lengths accomplished is which pressure-tight are joined together.

cannula a prober for Differential pressure sensors according to claim 6, characterized in that that the division of the cannula takes place below the entrance of the pressure supply.