DE102008040921A1

DE102008040921A1 - Reference body for testing of optical or tactile measuring sensors for surface measurement of measuring objects, has outer form realized by ring body at axis to form inner cylinder, where body exhibits recess adjacent to inner cylinder

Info

Publication number: DE102008040921A1
Application number: DE200810040921
Authority: DE
Inventors: Ralf Kochendoerfer; Tobias Gnausch; Jonathan Becker
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2008-08-01
Filing date: 2008-08-01
Publication date: 2010-02-04

Abstract

The reference body (1) has an outer form realized by a ring body (3) at a central axis (7) with defined inner dimension (d1) and outer dimension to form a defined inner cylinder (z1), where the ring body exhibits a recess (5) adjacent to the inner cylinder. The recess is arranged relative to a position along the center axis adjacent to an upper side (10) of the reference body. The ring body has a defined inner dimension different from the inner dimension of the axis to form another inner cylinder, where the reference body is made of metallic material.

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung betrifft einen Referenzkörper zur Überprüfung von optischen oder taktilen Messsonden gemäß Anspruch 1.The The invention relates to a reference body for verification of optical or tactile probes according to claim 1.

Optische oder taktile Messsonden können zur Oberflächenvermessung von Messobjekten eingesetzt werden. So wird etwa in DE 100 57 540 A1 eine optische Messsonde beschrieben, mit der insbesondere die Innenwand einer Bohrung vermessen werden kann. Hierfür wird die optische Messsonde in die Bohrung eingeführt und in eine um ihre eigene Achse rotierende Bewegung versetzt. Dabei tastet die Messsonde die Innenwand optisch ab und überprüft, ob eine Formabweichung des Innenzylinders von seiner Idealform vorliegt. Daher wird die Messsonde auch als „rotierender Tastarm” bezeichnet.Optical or tactile probes can be used for surface measurement of DUTs. So will be in about DE 100 57 540 A1 described an optical probe with which in particular the inner wall of a hole can be measured. For this purpose, the optical probe is inserted into the bore and placed in a rotating about its own axis movement. The probe optically scans the inner wall and checks whether there is any deviation in the shape of the inner cylinder from its ideal shape. Therefore, the probe is also called a "rotating probe arm".

Um ein genaues Oberflächenbild des Messobjektes erzielen zu können, ist es vorher notwendig, dass die Messsonde selbst auf ihre Messgenauigkeit überprüft und eingestellt wird. Zur Überprüfung von Messsonden können sogenannte Referenzkörper verwendet werden.Around achieve an exact surface image of the measurement object If necessary, it is necessary that the probe itself beforehand checked for their accuracy and set becomes. For checking probes can so-called reference body can be used.

Unter einem Referenzkörper wird allgemein ein Gegenstand verstanden, der eine streng definierte Form aufweist, die mit höchster Genauigkeit hergestellt und kalibriert ist. Beispielsweise ist aus DE 34 12 303 A1 ein Referenzkörper bekannt, der die Form einer Stufenpyramide oder eines Stufenkegels aufweist, bestehend aus mehreren quadratischen Platten mit unterschiedlichen Seitenlängen. Dieser Referenzkörper ist gemäß der Lehre der Schrift vorgesehen für eine Röntgendurchstrahlungsprüfung von Werkstoffen.A reference body is generally understood to mean an article having a strictly defined shape, which is manufactured and calibrated with the highest accuracy. For example, it is off DE 34 12 303 A1 a reference body known, which has the form of a stepped pyramid or a stepped cone, consisting of a plurality of square plates with different side lengths. This reference body is provided according to the teaching of the document for an X-ray examination of materials.

Durch Messen eines Referenzkörpers mit einer genau definierten äußeren Form kann daher eine Messsonde selbst überprüft und ggf. neu eingestellt werden. Dabei ist es bei einer Vermessung von z. B. einer Bohrung wünschenswert, dass nicht nur die Genauigkeit der Messsonde für die Messung des Innendurchmessers der Bohrung überprüft wird, sondern auch das dynamische Messverhalten der Messsonde. Darunter wird die Linearität der Messsonde verstanden, also das Messverhalten der Messsonde bei unterschiedlich großen Durchmessern.By Measuring a reference body with a well-defined outer Therefore, a measuring probe can check itself and possibly set again. It is in a survey from Z. B. a bore desirable that not only the accuracy the measuring probe for the measurement of the inside diameter of the Bore is checked, but also the dynamic Measuring behavior of the measuring probe. Below is the linearity understood the probe, so the measurement behavior of the probe at different diameters.

Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention

Der erfindungsgemäße Referenzkörper hat den Vorteil, dass mit dem Referenzkörper sowohl die Kalibrierung der Messung für den Durchmesser als auch die der Linearität der Messsonde ermöglicht wird. Hierfür ist die äußere Form des Referenzkörpers durch einen Ringkörper um eine mittlere Achse mit einem ersten, definierten Innendurchmesser und einem Außendurchmesser realisiert, wodurch ein definierter erster Innenzylinder gebildet wird. Zusätzlich weist der Ringkörper eine erste Aussparung angrenzend zum ersten Innenzylinder auf.Of the Reference body according to the invention has the Advantage that with the reference body both the calibration the measurement for the diameter as well as the linearity the probe is enabled. This is the outer one Shape of the reference body by a ring body about a central axis having a first, defined inner diameter and an outer diameter realized, whereby a defined first inner cylinder is formed. In addition, the Ring body a first recess adjacent to the first Inner cylinder on.

Vorteilhafterweise ist es weder notwendig, den Referenzkörper für die beiden unterschiedlichen Überprüfungen auszutauschen noch muss man mit demselben Referenzkörper zwei Messvorgänge nacheinander ausführen. Beide Überprüfungen können mit einem Messvorgang zeitlich parallel durchgeführt werden.advantageously, it is not necessary to use the reference body for to exchange the two different reviews one still has to use the same reference body to perform two measuring procedures in succession To run. Both reviews can be performed in parallel with a measuring operation.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben und in der Beschreibung beschrieben.advantageous Further developments of the invention are in the subclaims specified and described in the description.

Zeichnungdrawing

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnungen und der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:embodiments The invention will be apparent from the drawings and the following Description explained in more detail. Show it:

1 ein erstes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Referenzkörpers in Draufsicht, 1 a first embodiment of the reference body according to the invention in plan view,

2 den Referenzkörper aus 1 im Querschnitt entlang der Linie A-A, 2 the reference body 1 in cross-section along the line AA,

3 den Referenzkörper aus 1 in perspektivischer Sicht, 3 the reference body 1 in a perspective view,

4 ein zweites Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Referenzkörpers in Draufsicht, und 4 A second embodiment of the reference body according to the invention in plan view, and

5 den Referenzkörper aus 4 im Querschnitt entlang der Linie B-B. 5 the reference body 4 in cross section along the line BB.

Beschreibung der AusführungsbeispieleDescription of the embodiments

Ein erstes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Referenzkörpers ist in den 1 bis 3 dargestellt, wobei der Referenzkörper 1 in 1 in Draufsicht, in 2 im Querschnitt entlang der Linie A-A und in 3 in perspektivischer Sicht gezeigt ist.A first embodiment of the reference body according to the invention is in the 1 to 3 shown, wherein the reference body 1 in 1 in plan view, in 2 in cross section along the line AA and in 3 is shown in perspective view.

Es sei zunächst darauf hingewiesen, dass in dieser Schrift der Begriff „definiert” in Bezug zu einer geometrischen Größe (beispielsweise eine äußere Form oder ein Durchmesser) verwendet wird, wenn diese geometrische Größe kalibriert ist. Somit ist diese geometrische Größe hochgenau hergestellt und/oder bekannt, und kann daher als eine Referenzgröße herangezogen werden.It First, it should be noted that in this document the term "defined" in relation to a geometric one Size (for example, an outer shape or a diameter) is used when this geometric size calibrated. Thus, this is geometric size highly accurately manufactured and / or known, and can therefore be used as a Reference size be used.

Grundsätzlich weist der erfindungsgemäße Referenzkörper 1 zur Überprüfung von optischen oder taktilen Messsonden eine definierte äußere Form auf, wobei die äußere Form durch einen Ringkörper 3 realisiert ist. Insbesondere aus 1 ist in Draufsicht gut erkennbar, dass der Referenzkörper 1 eine Ringform aufweist. In der Draufsicht blickt man auf eine Oberseite 10 des Referenzkörpers 1. Der Ringkörper 3 verläuft, wie in 2 erkennbar, um eine mittlere Achse 7 und hat einen ersten, definierten Innendurchmesser d1 und einen Außendurchmesser a. Dadurch wird ein erster definierter Innenzylinder z1 gebildet, wobei der Ringkörper 1 eine erste Aussparung 5 angrenzend zum ersten Innenzylinder z1 aufweist.Basically, the reference body according to the invention 1 for checking optical or tactile probes on a defined outer shape, wherein the outer shape by an annular body 3 is realized. In particular from 1 is clearly visible in plan view that the reference body 1 has a ring shape. In the top view, you look at an upper side 10 of the reference body 1 , The ring body 3 runs, as in 2 recognizable around a middle axis 7 and has a first, defined inner diameter d1 and an outer diameter a. As a result, a first defined inner cylinder z1 is formed, wherein the annular body 1 a first recess 5 has z1 adjacent to the first inner cylinder.

Die Aussparung 5 wird in diesem Zusammenhang auch als „Flick” bezeichnet und ist ein wesentliches Element des erfindungsgemäßen Referenzkörpers 1.The recess 5 is referred to in this context as a "flick" and is an essential element of the reference body according to the invention 1 ,

Einerseits kann durch Vermessung des Referenzkörpers 1 mit dem definierten Innenzylinder z1 die Messung einer zu überprüfenden Messsonde kontrolliert und verglichen werden. Bei Bedarf kann dann die Durchmesser-Messung der Messsonde korrigiert bzw. kalibriert werden. Andererseits ist es aufgrund der Aussparung 5 im Referenzkörper 1 gleichzeitig möglich, das dynamische Verhalten der Messsonde zu bestimmen. Das dynamische Verhalten der Messsonde wird aus Durchmesseränderung des Innenzylinders z1 in Höhe des Flicks, also der Aussparung 5, gewonnen und kalibriert. Hierfür liegt der vergrößerte Durchmesser durch die Aussparung 5 ebenfalls kalibriert vor.On the one hand, by measuring the reference body 1 with the defined inner cylinder z1, the measurement of a measuring probe to be tested is checked and compared. If required, then the diameter measurement of the probe can be corrected or calibrated. On the other hand, it is due to the recess 5 in the reference body 1 simultaneously possible to determine the dynamic behavior of the probe. The dynamic behavior of the probe becomes the diameter change of the inner cylinder z1 at the level of the flick, ie the recess 5 , recovered and calibrated. For this, the enlarged diameter is through the recess 5 also calibrated before.

Übrigens ist vorteilhafterweise die Herstellung der Aussparung 5 einfach. So ist es nicht notwendig, für die Herstellung der Aussparung 5 zusätzliches Material kontrolliert auf den Referenzkörper 1 aufzubringen. Vielmehr reicht z. B. ein einfaches Einfräsen oder Einschleifen an der Innenwand des Ringkörpers 3 aus, um eine zuverlässige Aussparung 5 zu erzielen.Incidentally, advantageously, the production of the recess 5 easy. So it is not necessary for the production of the recess 5 additional material checked on the reference body 1 applied. Rather, z. B. a simple milling or grinding on the inner wall of the ring body 3 out to a reliable recess 5 to achieve.

Vorteilhaft ist die erste Aussparung 5 bezüglich ihrer Position entlang der mittleren Achse 7 angrenzend zu einer Oberseite 10 des Referenzkörpers 1 angeordnet. Daher ist die Aussparung 5 auch in Draufsicht gemäß 1 erkennbar. Hingegen geht aus 2 hervor, dass die Oberseite 10 des Referenzkörpers 1 parallel zu einer Rückseite 15 des Referenzkörpers 1 verläuft, die voneinander einen Abstand h, nämlich die Höhe des Referenzkörpers 1, aufweist. Da die Aussparung 5 direkt an der Oberseite 10 des Referenzkörpers 1 angeordnet ist, braucht die zu überprüfende Messsonde nicht tief in den Innenzylinder z1 eingeführt zu werden. Ausserdem wird durch diese Position der Aussparung 5 auch ihre Herstellung weiter vereinfacht. Die Bearbeitung der Innenwand erfolgt nämlich direkt an der Oberseite 10 des Referenzkörpers 1, sodass eine zügige Bearbeitung gewährleistet werden kann.Advantageously, the first recess 5 with respect to their position along the central axis 7 adjacent to a top 10 of the reference body 1 arranged. Therefore, the recess 5 also in plan view according to 1 recognizable. On the other hand goes out 2 forth that the top 10 of the reference body 1 parallel to a back 15 of the reference body 1 runs, the distance from each other h, namely the height of the reference body 1 , having. Because the recess 5 right at the top 10 of the reference body 1 is arranged, the test probe to be tested does not need to be deeply inserted into the inner cylinder z1. In addition, this position of the recess 5 also their production further simplified. The processing of the inner wall is namely directly on the top 10 of the reference body 1 so that a speedy processing can be guaranteed.

Im übrigen besteht der Referenzkörper 1 aus einem metallischen Material. Dadurch wird einerseite eine gute Bearbeitung bei der Fertigung des Referenzkörpers 1 ermöglicht, andererseits wird ein mechanisch stabiler Referenzkörper 1 erzielt. Auch bietet solch ein Referenzkörper 1 gute optische Eigenschaften bei einer optischen Abtastung und gute mechanische Eigenschaften bei einer taktilen Abtastung.Otherwise, the reference body exists 1 from a metallic material. This one side is a good processing in the production of the reference body 1 allows, on the other hand, a mechanically stable reference body 1 achieved. Also offers such a reference body 1 good optical properties in an optical scan and good mechanical properties in a tactile scan.

Ein zweites Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Referenzkörpers 1 ist in den 4 bis 5 dargestellt, wobei der Referenzkörper 1 in 4 in Draufsicht und in 5 im Querschnitt entlang der Linie B-B gezeigt ist.A second embodiment of the reference body according to the invention 1 is in the 4 to 5 shown, wherein the reference body 1 in 4 in plan view and in 5 is shown in cross section along the line BB.

Zusätzlich zu den bisher aus dem ersten Ausführungsbeispiel bekannten Merkmalen weist nun der Ringkörper 3 einen zweiten, vom ersten unterschiedlichen, definierten Innendurchmesser d2 auf. Dadurch wird ein zweiter Innenzylinder z2 gebildet. Hier in diesem Beispiel gemäß 5 ist der zweite Innendurchmesser d2 kleiner als der erste Innendurchmesser d1.In addition to the features previously known from the first embodiment, now has the ring body 3 a second, different from the first, defined inner diameter d2. As a result, a second inner cylinder z2 is formed. Here in this example according to 5 the second inner diameter d2 is smaller than the first inner diameter d1.

Mit einem Referenzring 3 gemäß zweitem Ausführungsbeispiel ist es möglich, Messungen einer Messsonde auf zwei unterschiedlich grosse Durchmesser zu überprüfen, ohne dabei den Referenzring 3 austauschen zu müssen.With a reference ring 3 According to the second embodiment, it is possible to check measurements of a probe on two different diameters, without losing the reference ring 3 to have to exchange.

Weiter ist ein Freistich 20 zwischen dem ersten z1 und dem zweiten Innenzylinder z2 angeordnet. Bei einem Freistich 20 handelt es sich allgemein um eine Abtragung an einer rotationssymmetrischen Innenkante mit einer bestimmten Form und festgelegten Maßen. Der Freistich 20 gibt einerseits bei der Herstellung des Referenzkörpers 1 dem eingesetzten Werkzeug den erforderlichen Freiraum. Andererseits bietet er, wenn der Referenzkörper 1 aus mehreren Teilen zusammengesetzt wird, dem anliegenden Teil beim Zusammenbau den erforderlichen Freiraum.Next is an underdog 20 arranged between the first z1 and the second inner cylinder z2. With an underdog 20 it is generally a removal on a rotationally symmetrical inner edge with a specific shape and dimensions. The underdog 20 on the one hand in the production of the reference body 1 the tool required the necessary space. On the other hand, it offers when the reference body 1 is composed of several parts, the adjoining part during assembly the necessary space.

Vorteilhafterweise weist der Ringkörper 3 eine zweite Aussparung 25 angrenzend zum zweiten Innenzylinder z2 auf. So kann die Linearität der Messsonde nicht nur bezüglich des ersten Innendurchmessers d1, sondern auch bezüglich des zweiten Innendurchmessers d2 überprüft werden.Advantageously, the ring body 3 a second recess 25 adjacent to the second inner cylinder z2. Thus, the linearity of the probe can be checked not only with respect to the first inner diameter d1, but also with respect to the second inner diameter d2.

Dabei ist die zweite Aussparung 25 bezüglich ihrer Position entlang der mittleren Achse 7 angrenzend zum ersten Innenzylinder z1 oder angrenzend zum Freistich 20 des Referenzkörpers 1 angeordnet. Diese beiden alternativen Anordnungen der zweiten Aussparung 25 bieten, analog wie im Falle der ersten Aussparung 5, die besten Vorteile bei der Herstellung und beim Einsatz des Referenzkörpers 1.Here is the second recess 25 with respect to their position along the central axis 7 adjacent to the first inner cylinder z1 or adjacent to the undercut 20 of the reference body 1 arranged. These two alternative arrangements of the second recess 25 offer, as in the case of the first recess 5 the best benefits in the Production and use of the reference body 1 ,

Bei einem dritten, zeichnerisch nicht dargestellten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Referenzkörpers 1 sind alle technischen Merkmale vorhanden wie beim zweiten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Referenzkörpers 1 bis auf den Unterschied, dass die zweite Aussparung 25 bezüglich ihrer Position entlang der mittleren Achse 7 angrenzend zu einer Rückseite 15 des Referenzkörpers 1 angeordnet ist. So ist die erste Aussparung 5 angrenzend zur Vorderseite 10, die zweite Aussparung 25 angrenzend zur Rückseite 15 des Referenzkörpers 1 angeordnet.In a third, not graphically illustrated embodiment of the reference body according to the invention 1 all technical features are present as in the second embodiment of the reference body according to the invention 1 except for the difference that the second recess 25 with respect to their position along the central axis 7 adjacent to a back 15 of the reference body 1 is arranged. So that's the first recess 5 adjacent to the front 10 , the second recess 25 adjacent to the back 15 of the reference body 1 arranged.

Sowohl für das erste als auch für das zweite sowie für das dritte Ausführungsbeispiel gelten folgende technische Merkmale:
Durch das Vorsehen einer Aussparung 5, 25 vergrößert sich der Durchmesser des Innenzylinders z1, z2 an der jeweiligen Stelle. Dies führt an den jeweiligen Stellen im Falle des ersten Innenzylinders z1 zu einem Durchmesser d5 größer als Innendurchmesser d1, im Falle des zweiten Innenzylinders z2 zu einem Durchmesser d25 größer als Innendurchmesser d2. Der Durchmesserunterschied an den jeweiligen Stellen, also (d5–d1) im Falle des ersten Innenzylinders z1, und (d25–d2) im Falle des zweiten Innenzylinders z2, sollte in etwa der maximalen Toleranz der Bauteile entsprechen, welche man mit der Messsonde überprüfen will. In der Praxis haben sich Aussparungen 5, 25 mit einer Breite, also einer Ausdehnung in radialer Richtung, von 5 bis 15 μm, insbesondere von 4 bis 8 μm, als geeignet herausgestellt. Bei solch einer Breite ist die Aussparung 5, 25 einerseits breit genug, dass sie messtechnisch von der Messsonde detektiert wird, andererseits ist sie nicht unnötig zu breit.The following technical features apply to both the first and the second and the third embodiment:
By providing a recess 5 . 25 increases the diameter of the inner cylinder z1, z2 at the respective location. This leads at the respective points in the case of the first inner cylinder z1 to a diameter d5 greater than the inner diameter d1, in the case of the second inner cylinder z2 to a diameter d25 greater than the inner diameter d2. The diameter difference at the respective points, ie (d5-d1) in the case of the first inner cylinder z1, and (d25-d2) in the case of the second inner cylinder z2, should correspond approximately to the maximum tolerance of the components which one wants to check with the measuring probe , In practice, recesses have 5 . 25 with a width, ie an extent in the radial direction, of 5 to 15 .mu.m, in particular from 4 to 8 .mu.m, found to be suitable. With such a width, the recess 5 . 25 on the one hand wide enough that it is detected by the measuring probe by measurement, on the other hand it is not unnecessarily too wide.

Betreffend der Tiefe der Aussparungen 5, 25, also der Ausdehnung der Aussparungen 5, 25 in axialer Richtung, sollte darauf geachtet werden, dass sie hinrei chend tief genug ist, dass die Aussparungen 5, 25 sowohl mit optischen als auch mit taktilen Messsonden vermessen werden können. Je nach Typ der Messsonde sollte daher die erste 5 und/oder die zweite Aussparung 25 eine Tiefe T von 2 bis 6 mm aufweisen, insbesondere eine Tiefe von 3 bis 5 mm. Aufgrund von praktischen Erfahrungen wird dabei eine Tiefe von etwa 4 mm empfohlen.Regarding the depth of the recesses 5 . 25 , ie the extent of the recesses 5 . 25 in the axial direction, care should be taken that it is sufficiently deep enough that the recesses 5 . 25 can be measured with both optical and tactile probes. Depending on the type of probe, therefore, the first 5 and / or the second recess should 25 have a depth T of 2 to 6 mm, in particular a depth of 3 to 5 mm. Due to practical experience, a depth of about 4 mm is recommended.

Weiter ist es vorteilhaft, wenn die erste 5 und/oder die zweite Aussparung 25 über die gesamte Tiefe T parallel zur mittleren Achse 7 verläuft. In Draufsicht wie in 1 oder 4 verläuft also die Aussparung 5, 25 senkrecht in die Zeichnungsebene hinein ohne eine laterale Komponente im Verlauf. Durch diese Maßnahme wird auch dann eine korrekte Messung gewährleistet, wenn beim Vermessen nicht genau dieselbe Position bezüglich der Höhe h durch die Messsonde getroffen wird.Further, it is advantageous if the first 5 and / or the second recess 25 over the entire depth T parallel to the central axis 7 runs. In plan view as in 1 or 4 So runs the recess 5 . 25 perpendicular to the plane of the drawing without a lateral component in the course. By this measure, a correct measurement is guaranteed even if not exactly the same position with respect to the height h is taken by the measuring probe during the measurement.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

- DE 10057540 A1 [0002]
- DE 3412303 A1 [0004]

Claims

Reference body ( 1 ) for checking optical or tactile probes, wherein the reference body ( 1 ) has a defined outer shape, characterized in that the outer shape by an annular body ( 3 ) about a central axis ( 7 ) is realized with a first, defined inner diameter (d1) and an outer diameter (a) and thereby a first defined inner cylinder (z1) is formed, wherein the annular body ( 1 ) a first recess ( 5 ) adjacent to the first inner cylinder (z1).

Reference body ( 1 ) according to claim 1, characterized in that the first recess ( 5 ) with respect to their position along the central axis ( 7 ) adjacent to a top ( 10 ) of the reference body ( 1 ) is arranged.

Reference body ( 1 ) according to claim 1 or 2, characterized in that the annular body ( 3 ) has a second, different from the first, defined inner diameter (d2) and thereby a second inner cylinder (z2) is formed.

Reference body ( 1 ) according to claim 3, characterized in that an undercut ( 20 ) is arranged between the first (z1) and the second inner cylinder (z2).

Reference body ( 1 ) according to claim 3 or 4, characterized in that the annular body ( 3 ) a second recess ( 25 ) adjacent to the second inner cylinder (z2).

Reference body ( 1 ) according to claim 5, characterized in that the second recess ( 25 ) with respect to their position along the central axis ( 7 ) adjacent to the first inner cylinder (z1) or adjacent to the undercut ( 20 ) or adjacent to a back side ( 15 ) of the reference body ( 1 ) is arranged.

Reference body ( 1 ) according to one of claims 1 to 6, characterized in that the first ( 5 ) and / or the second recess ( 25 ) has a width of 5 to 15 .mu.m, in particular 4 to 8 .mu.m.

Reference body ( 1 ) according to one of claims 1 to 7, characterized in that the first ( 5 ) and / or the second recess ( 25 ) has a depth (T) of 2 to 6 mm, in particular 3 to 5 mm.

Reference body ( 1 ) according to one of claims 1 to 8, characterized in that the first ( 5 ) and / or the second recess ( 25 ) over the entire depth (T) parallel to the central axis ( 7 ) runs.

Reference body ( 1 ) according to one of claims 1 to 9, characterized in that the reference body ( 1 ) consists of a metallic material.