DE102004020265A1 - Laserüberwachung unter Verwendung sowohl der reflektierten als auch der durchgelassenen Interferenzstrukturen eines Etalons - Google Patents

Laserüberwachung unter Verwendung sowohl der reflektierten als auch der durchgelassenen Interferenzstrukturen eines Etalons Download PDF

Info

Publication number
DE102004020265A1
DE102004020265A1 DE102004020265A DE102004020265A DE102004020265A1 DE 102004020265 A1 DE102004020265 A1 DE 102004020265A1 DE 102004020265 A DE102004020265 A DE 102004020265A DE 102004020265 A DE102004020265 A DE 102004020265A DE 102004020265 A1 DE102004020265 A1 DE 102004020265A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
etalon
power
reflected
light emitted
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE102004020265A
Other languages
English (en)
Inventor
Michael B. North Tucson Morris
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Agilent Technologies Inc
Original Assignee
Agilent Technologies Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Agilent Technologies Inc filed Critical Agilent Technologies Inc
Publication of DE102004020265A1 publication Critical patent/DE102004020265A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
    • G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
    • G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
    • G01J2009/0257—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods multiple, e.g. Fabry Perot interferometer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

Ein Lasersignal wird überwacht. Das Lasersignal wird zu einem Etalon weitergeleitet. Licht, das durch das Etalon durchgelassen wird, wird erfaßt. Licht, das von dem Etalon reflektiert wird, wird erfaßt. Von dem erfaßten Licht, das durch das Etalon durchgelassen wird, und dem Licht, das von dem Etalon reflektiert wird, wird ein Verhältnis berechnet.

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Signal-Test und -Messung und bezieht sich insbesondere auf Laserüberwachung unter Verwendung sowohl der reflektierten als auch der durchgelassenen Interferenzstrukturen eines Etalons.
  • Wenn Geräte verwendet werden, die die Wellenlänge oder Frequenz von optischen Signalen messen, wie z. B. optische Spektrumanalysatoren oder Wellenlängenmeßgeräte, ist eine Kalibrierung wichtig, um sicherzustellen, daß genaue Messungen durchgeführt werden. Wenn eine Kalibrierung durchgeführt wird, werden Kalibrierungsreferenzen verwendet, um einen Satz von genauen bekannten Frequenzen oder Wellenlängen zu liefern.
  • Fabry-Perot-Etalons wurden als Kalibrierungsreferenz verwendet, um einzelne Referenzpunkte über einen größeren Bereich von Wellenlängen zu liefern, als typischerweise verfügbar ist, wenn eine Gasabsorptionszelle verwendet wird. Siehe beispielsweise USPN 6,421,120 B1, erteilt am 6. Juli 2002 an Kenneth R. Wildnauer für EXTENDED WAVE-LENGTH CALIBRATION REFERENCE.
    •
  • Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein verbessertes Verfahren zum Überwachen eines Lasersignals und ein verbessertes System zum Überwachen eines Lasersignals zu schaffen.
  • Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 sowie ein System gemäß Anspruch 7 und 17 gelöst.
  • Gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird ein Lasersignal überwacht. Das Lasersignal wird an ein Etalon weitergeleitet. Licht, das durch das Etalon durchgelassen wird, wird erfaßt. Licht, das von dem Etalon reflektiert wird, wird erfaßt. Von dem erfaßten Licht, das durch das Etalon durchgelassen wird, und dem Licht, das von dem Etalon reflektiert wird, wird ein Verhältnis berechnet.
    •
  • Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend Bezug nehmend auf beiliegende Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 ein Blockdiagramm, das Laserwellenlängenüberwachung darstellt, unter Verwendung sowohl der reflektierten als auch der durchgelassenen Interferenzstrukturen eines Etalons gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
  • 2 beispielhafte Diagramme von Signalverhältnissen für reflektierte und durchgelassene Interferenzstrukturen eines Etalons während Laserwellenlängenüberwachung gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
  • 3 ein beispielhaftes Diagramm des verbesserten Dynamikbereichs der Übertragungsspitze, wenn ein Verhältnis gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung verwendet wird; und
  • 4 ein Blockdiagramm, das Laserwellenlängenüberwachung unter Verwendung sowohl der reflektierten als auch durchgelassenen Interferenzstrukturen eines Etalons gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung darstellt.
  • 1 zeigt ein Etalon 23, das verwendet wird, um einen abstimmbaren Laser 21 zu überwachen. Das Etalon 23 ist beispielsweise ein Fabry-Perot-Etalon. Ein Fabry-Perot- Etalon umfaßt zwei reflektierende Oberflächen mit einem Übertragungsmedium zwischen den beiden reflektierenden Oberflächen. Ein Detektor 25 erfaßt Licht, das durch das Etalon 23 durchgelassen wird. Ein Detektor 26 erfaßt Licht, das von dem Etalon 23 reflektiert wird.
  • Wenn das Etalon ein wenig kompliziertes Fabry-Perot-Etalon ist, kann das Licht, das durch den Detektor 25 und durch den Detektor 26 erfaßt wird, beinahe wie eine Sinuswelle aussehen, aber mit einem schlechten Randkontrast. Wenn das Etalon 23 ein hochkompliziertes Fabry-Perot-Etalon ist, kann das Licht, das durch den Detektor 25 und durch den Detektor 26 erfaßt wird, sehr steile Spitzen oder Senken aufweisen, die einzelne Referenzpunkte liefern.
  • Eine Überwachungsvorrichtung 27 verwendet ein Verhältnis des reflektierten Lichts, das durch den Detektor 26 erfaßt wird, und des durchgelassenen Lichts, das durch den Detektor 26 erfaßt wird, um die Wellenlänge des abstimmbaren Lasers 21 zu verfolgen. Die Übertragungsspitzen des Etalons 23 werden größer und schmaler, wenn das Übertragungssignal, das durch den Detektor 25 erfaßt wird, durch die reflektierten Signale dividiert wird, die durch den Detektor 26 erfaßt werden. Die steileren Spitzen können verwendet werden, um das Etalon 23 zu sperren oder mit anderen Referenzen zu vergleichen, um absolute Wellenlängenmessungen zu liefern.
  • Das Dividieren des reflektierten Signals, das durch den Detektor 26 erfaßt wird, durch das übertragene Signal, das durch den Detektor 25 erfaßt wird, erzeugt ein sinusförmiges Signal, das ideal ist zum Verfolgen der relativen Wellenlänge des abstimmbaren Lasers 21. Das sinusförmige Signal liefert einen guten Kontrast zum Interpolieren zwischen Spitzen.
  • Obwohl das Etalon 23 ein hochkompliziertes Fabry-Perot-Etalon oder ein anderer Etalontyp sein kann, gibt es Vor teile beim Verwenden eines wenig komplizierten Fabry-Perot. Beispielsweise sind wenig komplizierte Fabry-Perot-Etalons normalerweise weniger aufwendig als hochkomplizierte Fabry-Perot-Etalons, da wenig komplizierte Fabry-Perot-Etalons leichter auszurichten sind, im allgemeinen nur einen Hohlraum erfordern und keine äußerst hohen reflektiven Beschichtungen erfordern.
  • Das durchgelassene Signal (Pt[λ]), das durch den Detektor 25 erfaßt wird, kann beschrieben werden, wie es nachfolgend durch die Gleichung 1 ausgeführt ist:
  • Gleichung 1
    Figure 00040001
  • Bei der Gleichung 1 stellt Pt[λ] die erfaßte Leistung dar, T stellt den Durchlässigkeitsgrad dar, F ist der Kompliziertheitskoeffizient, n der Brechungsindex in dem Hohlraum des Etalons 23, d die Hohlraumlänge, θ der Winkel, in dem der einfallende Strahl durch den Hohlraum verläuft, und λ ist die Wellenlänge.
  • Das reflektierte Signal Pt[λ], das durch den Detektor 26 erfaßt wird, kann beschrieben werden, wie es nachfolgend in der Gleichung 2 ausgeführt ist:
  • Gleichung 2
    Figure 00040002
  • Bei der Gleichung 2 stellt Pt[λ] die erfaßte Leistung dar, R stellt das Reflexionsvermögen dar, F ist der Kompliziertheitskoeffizient, n der Brechungsindex in dem Hohlraum des Etalons 23, d ist die Hohlraumlänge, θ ist der Winkel, in dem der Einfallsstrahl durch den Hohlraum verläuft, und λ ist die Wellenlänge.
  • Die Überwachungseinrichtung 27 verwendet das Verhältnis, das gebildet wird, wenn das durchgelassene Signal, das durch den Detektor 25 erfaßt wird, durch die reflektierten Signale dividiert wird, die durch den Detektor 26 erfaßt werden, um das Etalon 23 zu sperren oder mit einer anderen Referenz zu vergleichen, um absolute Wellenlängenmessungen zu liefern. Dieses Verhältnis ist in der nachfolgenden Gleichung 3 gezeigt:
  • Gleichung 3
    Figure 00050001
  • In 2 gibt der Signalverlauf 33 ein beispielhaftes Diagramm des Verhältnisses der Gleichung 3, wobei die x-Achse 32 die Wellenlänge in Nanometern (nm) darstellt und die y-Achse 31 Dezibel (dB) darstellt.
  • Die Überwachungseinrichtung 27 verwendet das Verhältnis, das gebildet wird, wenn die reflektierten Signale, die durch den Detektor 26 erfaßt werden, durch das gesendete Signal dividiert werden, das durch den Detektor 25 erfaßt wird, beispielsweise für die Interpolation, wenn die relative Wellenlänge verfolgt wird. Dieses Verhältnis ist in der nachfolgenden Gleichung 4 gezeigt:
  • Gleichung 4
    Figure 00060001
  • In 2 ist der Signalverlauf 36 ein beispielhaftes Diagramm des Verhältnisses von Gleichung 4, wobei die x-Achse 34 die Wellenlänge in Nanometern (nm) darstellt und die y-Achse 35 Dezibel (dB) darstellt. Der Signalverlauf 36 kann durch die Überwachungseinrichtung 27 beispielsweise auf einer Anzeige 28 (in 1 gezeigt) angezeigt werden.
  • 3 zeigt ein Beispieldiagramm des verbesserten Dynamikbereichs der Übertragungsspitze, wenn ein Verhältnis verwendet wird. Das Diagramm stellt den Fall dar, wo die Kompliziertheit (F) gleich 10 ist, und das Reflexionsvermögen (R) gleich dem Durchlässigkeitsgrad (T) ist. In 4 stellt der Signalverlauf 44 das Verhältnis Pt/Pr dar. Der Signalverlauf 43 stellt Pt dar. Die X-Achse 43 stellt ∂/π dar. Die Y-Achse 35 stellt Dezibel (dB) dar.
  • Die steileren Spitzen können verwendet werden, um ein Etalon zu sperren oder mit einer anderen Referenz zu vergleichen, um absolute Wellenlängenmessungen zu liefern. Dies ist durch 4 dargestellt. 4 zeigt ein Etalon 13, das verwendet wird, um einen abstimmbaren Laser 11 zu überwachen. Das Etalon 13 ist beispielsweise ein Fabry-Perot-Etalon. Ein Detektor 15 erfaßt Licht, das durch das Etalon 13 durchgelassen wird. Ein Detektor 16 erfaßt Licht, das von dem Etalon 13 reflektiert wird. Ein Detektor 14 erfaßt Licht durch eine Gasabsorptionszelle 12. Die Gasabsorptionszelle 12 liefert Absorptionsleitungen in einem speziellen Teil des Spektrums, das zumindest einen Teil der periodischen Antwort des Etalons 13 überlappt. Die Gasabsorptionszelle 12 ist beispielsweise mit Acetyl, Methan, Hydrogencyanid, Kohlenstoffmonoxid, Hydrogeniodid oder Wasserdampf gefüllt. Die Gasabsorptionszelle 12 wirkt als eine Referenz zum Liefern absoluter Wellenlängenmessungen.
  • Eine Überwachungseinrichtung 17 verwendet ein Verhältnis des reflektierten Lichts, das durch den Detektor 16 erfaßt wird, und des durchgelassenen Lichts, das durch den Detektor 16 erfaßt wird, um die Wellenlänge des abstimmbaren Lasers 11 zu verfolgen. Die Übertragungsspitzen des Etalons 13 werden größer und schmaler, wenn das durchgelassene Signal, das durch den Detektor 15 erfaßt wird, durch die reflektierten Signale dividiert wird, die durch den Detektor 16 erfaßt werden. Die steileren Spitzen können verwendet werden, um das Etalon 13 zu sperren oder mit dem Signal zu vergleichen, das durch den Detektor 14 erfaßt wird.

Claims (20)

  1. Verfahren zum Überwachen eines Lasersignals (11, 21), das folgende Schritte umfaßt: (a) Weiterleiten des Lasersignals (11, 21) an ein Etalon (13, 23); (b) Erfassen von Licht, das durch das Etalon (13, 23) durchgelassen wird; (c) Erfassen von Licht, das von dem Etalon (13, 23) reflektiert wird; und (d) Berechnen eines Verhältnisses von erfaßtem Licht, das durch das Etalon (13, 23) durchgelassen wird, zu dem Licht, das von dem Etalon (13, 23) reflektiert wird.
  2. Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem bei (d) das Verhältnis gleich ist der Leistung des Lichts, das durch das Etalon (13, 23) durchgelassen wird, dividiert durch die Leistung des Lichts, das von dem Etalon (13, 23) reflektiert wird.
  3. Verfahren gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem bei (d) das Verhältnis gleich ist der Leistung des Lichts, das von dem Etalon (13,23) reflektiert wird, dividiert durch die Leistung des Lichts, das durch das Etalon (13,23) durchgelassen wird.
  4. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem bei (d) das Verhältnis nachfolgend dargestellt ist:
    Figure 00090001
    wobei Pt[λ] die erfaßte Leistung des Lichts darstellt, das durch das Etalon (13,23) durchgelassen wird, Pr[λ] die erfaßte Leistung des Lichts darstellt, das von dem Etalon (13,23) reflektiert wird, T den Durchlässigkeitsgrad des Etalons (13,23) darstellt, R das Reflexionsvermögen des Etalons (13,23) darstellt, F ein Kompliziertheitskoeffizient des Etalons (13,23) ist, n ein Brechungsindex in einem Hohlraum des Etalons (13,23) ist, d eine Hohlraumlänge ist, θ ein Winkel ist, in dem ein einfallender Strahl durch den Hohlraum verläuft, und λ eine Wellenlänge des Lasersignals (11, 21) ist.
  5. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem bei (d) das Verhältnis nachfolgend dargestellt ist:
    Figure 00090002
    wobei Pt[λ] die erfaßte Leistung des Lichts darstellt, das durch das Etalon (13,23) durchgelassen wird, Pr[λ] die erfaßte Leistung des Lichts darstellt, das von dem Etalon (13,23) reflektiert wird, T den Durchlässigkeitsgrad des Etalons (13,23) darstellt, R das Reflexionsvermögen des Etalons (13,23) darstellt, F ein Kompliziertheitskoeffizient des Etalons (13,23) ist, n ein Brechungsindex in einem Hohlraum des Etalons (13,23) ist, d eine Hohlraumlänge ist, θ ein Winkel ist, in dem ein einfallender Strahl durch den Hohlraum verläuft, und λ eine Wellenlänge des Lasersignals (11, 21) ist.
  6. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem das Etalon (13,23) ein Fabry-Perot-Etalon ist.
  7. System, das ein Lasersignals (11, 21) überwacht, wobei das System folgende Merkmale umfaßt: ein Etalon (13,23), das das Lasersignal (11, 21) empfängt; einen ersten Detektor (15, 25), der Licht erfaßt, das durch das Etalon (13,23) durchgelassen wird; einen zweiten Detektor (16, 26), der Licht erfaßt, das von dem Etalon (13,23) reflektiert wird; und eine Überwachungseinrichtung (17, 27), die ein Verhältnis berechnet von dem erfaßten Licht, das durch das Etalon (13,23) durchgelassen wird, zu dem Licht, das von dem Etalon (13,23) reflektiert wird.
  8. System gemäß Anspruch 7, bei dem das Verhältnis gleich der Leistung des Lichts ist, das durch das Etalon (13,23) durchgelassen wird, dividiert durch die Leistung des Lichts, das von dem Etalon (13,23) reflektiert wird.
  9. System gemäß Anspruch 7, bei dem das Verhältnis gleich der Leistung des Lichts ist, das von dem Etalon (13,23) reflektiert wird, dividiert durch die Leistung des Lichts, das durch das Etalon (13,23) durchgelassen wird.
  10. System gemäß einem der Ansprüche 7 bis 9, bei dem bei das Verhältnis nachfolgend dargestellt ist:
    Figure 00100001
    wobei Pt[λ] die erfaßte Leistung des Lichts darstellt, das durch das Etalon (13,23) durchgelassen wird, Pr[λ) die erfaßte Leistung des Lichts darstellt, das von dem Etalon (13,23) reflektiert wird, T den Durchlässigkeitsgrad des Etalons (13,23) darstellt, R das Reflexionsvermögen des Etalons (13,23) darstellt, F ein Kompliziertheitskoeffizient des Etalons (13,23) ist, n ein Brechungsindex in einem Hohlraum des Etalons (13,23) ist, d eine Hohlraumlänge ist, θ ein Winkel ist, in dem ein einfallender Strahl durch den Hohlraum verläuft, und λ eine Wellenlänge des Lasersignals (11, 21) ist.
  11. System gemäß einem der Ansprüche 7 bis 10, bei dem bei das Verhältnis nachfolgend dargestellt ist:
    Figure 00110001
    wobei Pt[λ] die erfaßte Leistung des Lichts darstellt, das durch das Etalon (13,23) durchgelassen wird, Pr[λ] die erfaßte Leistung des Lichts darstellt, das von dem Etalon (13,23) reflektiert wird, T den Durchlässigkeitsgrad des Etalons (13,23) darstellt, R das Reflexionsvermögen des Etalons (13,23) darstellt, F ein Kompliziertheitskoeffizient des Etalons (13,23) ist, n ein Brechungsindex in einem Hohlraum des Etalons (13,23) ist, d eine Hohlraumlänge ist, θ ein Winkel ist, in dem ein einfallender Strahl durch den Hohlraum verläuft, und λ eine Wellenlänge des Lasersignals (11, 21) ist.
  12. System gemäß einem der Ansprüche 7 bis 11, bei dem das Etalon (13,23) ein Fabry-Perot-Etalon ist.
  13. System gemäß einem der Ansprüche 7 bis 12, bei dem das System zusätzlich folgende Merkmale umfaßt: eine Referenzvorrichtung (12), die das Lasersignal (11, 12) empfängt; und einen Detektor (16), der Licht erfaßt, das durch die Referenzvorrichtung (12) durchgelassen wird.
  14. System gemäß Anspruch 13, bei dem die Referenzvorrichtung (12) eine Gaszelle ist.
  15. System gemäß Anspruch 13 oder 14, bei dem die Überwachungseinrichtung (17, 27) ein Verhältnis verwendet, das gleich der Leistung des Lichts ist, das durch das Etalon (13,23) durchgelassen wird, dividiert durch die Leistung des Lichts, das von dem Etalon (13,23) reflektiert wird, um das Etalon (13,23) mit der Referenzvorrichtung (12) zu vergleichen.
  16. System gemäß einem der Ansprüche 13 bis 15, bei dem die Überwachungseinrichtung (17, 27) ein Verhältnis verwendet, das gleich der Leistung des Lichts ist, das durch das Etalon (13,23) durchgelassen wird, dividiert durch die Leistung des Lichts, das von dem Etalon (13,23) reflektiert wird, um das Etalon (13,23) mit der Referenzvorrichtung (12) zu vergleichen, und die Überwachungseinrichtung (17, 27) ein Verhältnis verwendet, das gleich der Leistung des Lichts ist, das von dem Etalon (13,23) reflektiert wird, dividiert durch die Leistung des Lichts, das durch das Etalon (13,23) durchgelassen wird, zum Interpolieren zwischen Spitzen.
  17. System, das ein Lasersignal überwacht, wobei das System folgende Merkmale umfaßt: eine Meßeinrichtung zum Empfangen des Lasersignals (11, 21); eine erste Erfassungseinrichtung (15, 25) zum Erfassen von Licht, das durch die Meßeinrichtung durchgelassen wird; eine zweite Detektoreinrichtung (16, 26) zum Erfassen von Licht, das von der Meßeinrichtung (11, 21) reflektiert wird; und eine Vorrichtungseinrichtung zum Berechnen eines Verhältnisses von dem erfaßtem Licht, das durch die Meßeinrichtung durchgelassen wird, zu dem Licht, das von der Meßeinrichtung reflektiert wird.
  18. System gemäß Anspruch 17, bei dem das Verhältnis gleich ist wie die Leistung des Lichts, das durch die Meßeinrichtung durchgelassen wird, dividiert durch die Leistung des Lichts, das von der Meßeinrichtung (11, 21) reflektiert wird.
  19. System gemäß Anspruch 17 oder 18, bei dem das Verhältnis gleich der Leistung des Lichts ist, das von der Meßeinrichtung (11, 21) reflektiert wird, dividiert durch die Leistung des Lichts, die durch die Meßeinrichtung (11, 21) durchgelassen wird.
  20. System gemäß einem der Ansprüche 17 bis 19, bei dem das System zusätzlich folgende Merkmale umfaßt: eine Referenzeinrichtung (12) zum Empfangen des Lasersignals (11, 21); und eine dritte Detektoreinrichtung zum Erfassen von Licht, das durch die Referenzvorrichtung (12) durchgelassen wird.
DE102004020265A 2003-09-23 2004-04-26 Laserüberwachung unter Verwendung sowohl der reflektierten als auch der durchgelassenen Interferenzstrukturen eines Etalons Ceased DE102004020265A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/668,499 US7042579B2 (en) 2003-09-23 2003-09-23 Laser monitoring using both the reflected and transmitted interference patterns of an etalon
US10/668499 2003-09-23

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102004020265A1 true DE102004020265A1 (de) 2005-04-14

Family

ID=34313498

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102004020265A Ceased DE102004020265A1 (de) 2003-09-23 2004-04-26 Laserüberwachung unter Verwendung sowohl der reflektierten als auch der durchgelassenen Interferenzstrukturen eines Etalons

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7042579B2 (de)
DE (1) DE102004020265A1 (de)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7355723B2 (en) * 2006-03-02 2008-04-08 Symphony Acoustics, Inc. Apparatus comprising a high-signal-to-noise displacement sensor and method therefore
US7583390B2 (en) * 2006-03-02 2009-09-01 Symphony Acoustics, Inc. Accelerometer comprising an optically resonant cavity
US7359067B2 (en) * 2006-04-07 2008-04-15 Symphony Acoustics, Inc. Optical displacement sensor comprising a wavelength-tunable optical source
US7554674B2 (en) * 2007-05-23 2009-06-30 Symphony Acoustics, Inc. Optical displacement sensor
US8154734B2 (en) 2008-04-25 2012-04-10 Symphony Acoustics, Inc. Optical interferometric sensor
DE102008050867B4 (de) * 2008-09-30 2011-12-08 Carl Zeiss Laser Optics Gmbh Verfahren zum Messen eines Spektrums einer schmalbandigen Lichtquelle sowie Spektrometeranordnung
US10476230B2 (en) * 2012-12-31 2019-11-12 Infinera Corporation Etalon-based wavelength locking apparatus and alignment method
CN105092032B (zh) * 2015-06-30 2018-07-13 北京师范大学 基于f-p标准具的瞬态高分辨率光谱仪
CN107346989B (zh) * 2016-05-06 2019-10-29 福州高意通讯有限公司 一种多通道激光波长相关性监测器及监测方法
US11333556B2 (en) * 2017-05-23 2022-05-17 Simmonds Precision Products, Inc. Wavelength determination using an optical filter having complementary transmission and reflection coefficients
CN109084904A (zh) * 2018-09-28 2018-12-25 中国计量大学 一种基于三f-p标准具的高精度波长测量装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6259712B1 (en) * 1998-10-01 2001-07-10 International Business Machines Corporation Interferometer method for providing stability of a laser
US6421120B1 (en) * 1999-10-29 2002-07-16 Agilent Technologies, Inc. Extended wavelength calibration reference
US6587484B1 (en) * 2000-10-10 2003-07-01 Spectrasensor, Inc,. Method and apparatus for determining transmission wavelengths for lasers in a dense wavelength division multiplexer
TW533631B (en) * 2002-05-27 2003-05-21 Ind Tech Res Inst Wavelength monitoring device and method of tunable laser sources

Also Published As

Publication number Publication date
US7042579B2 (en) 2006-05-09
US20050062976A1 (en) 2005-03-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69433154T2 (de) Optische Reflexionsmessung im Zeitbereich
DE69210864T2 (de) Optisches Zeitbereichsflektometer
DE19754910C2 (de) Wellenlängendetektion an Faser-Bragg-Gitter-Sensoren
DE60103482T2 (de) Lichtinterferenz
DE60100085T2 (de) Vorrichtung zur Kalibrierung von Wellenlängenmesseinrichtungen
DE69831405T2 (de) Verteiltes sensorsystem
DE19611290C2 (de) Gassensor
DE69333054T2 (de) Genaue Wellenlängeneichung eines Spektrometers
DE60310712T2 (de) Verfahren und System zur Wellenlängenmodulationsspektrometrie
DE4139032A1 (de) Wellenlaengenstabilisator fuer schmalbandlaser
DE102004020265A1 (de) Laserüberwachung unter Verwendung sowohl der reflektierten als auch der durchgelassenen Interferenzstrukturen eines Etalons
EP0422155B1 (de) Wellenlängenstabilisierung, insbesondere für interferometrische längenmessung
DE102007059551A1 (de) Einrichtung zur Messung der Eigenschaften einer Lichtleitfaser
DE3750494T2 (de) Radiometer mit Fabry-Perot-Abtastung und kohärenter Schwankungsabbildung.
DE19514386A1 (de) Optischer Frequenzgenerator
EP0692705B1 (de) Verfahren zur Auswertung optisch rückgestreuter Signale zur Bestimmung eines streckenabhängigen Messprofils eines Rückstreumediums
DE69801979T2 (de) Messung optischer Verluste
DE4402054A1 (de) Gaslaser und Gasnachweis damit
DE2054084A1 (de) Verfahren und Gerat zur Unter druckung von Interferenzfehlern bei Zweistrahl Infrarotmessungen
DE3627198A1 (de) Anordnung zur zeitlich aufgeloesten optischen rueckstreumessung an lichtwellenleitern
EP0174496A2 (de) Verfahren zur Bestimmung der Strahlungswellenlänge und der wellenlängenkorrigierten Strahlungsleistung monochromatischer Lichtquellen, sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE19911671A1 (de) Schmalbandmodul-Prüfvorrichtung
DE60219550T2 (de) Verfahren und System zur optischen Spektrumsanalyse mit Korrektur einer ungleichmässigen Abtastrate
DE3751180T2 (de) Abbildender Kohärenzmesser.
DE69318534T2 (de) Gerät zur messung der optischen wellenlänge

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: AGILENT TECHNOLOGIES, INC. (N.D.GES.D. STAATES, US

8131 Rejection