DE102004014277A1 - Verfahren zum laserthermischen Trennen von Flachgläsern - Google Patents

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Verfahren zum Trennen von Flachglas durch thermisches Anritzen mittels eines Laserstrahls und anschließendes Kühlen der so erzeugten Erwärmungslinie, wobei die Wärmeeinbringung für das thermische Anritzen durch repetierendes vielfaches Bestreichen der Glasoberfläche mit dem Laserstrahl erfolgt.
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DE200410014277 DE102004014277A1 (de) 2004-03-22 2004-03-22 Verfahren zum laserthermischen Trennen von Flachgläsern
DE200550010998 DE502005010998D1 (de) 2004-03-22 2005-03-18 Verfahren zum laserthermischen trennen von flachgläsern
CA 2559184 CA2559184C (en) 2004-03-22 2005-03-18 Method for laser-induced thermal separation of plane glass
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EP20050715091 EP1727772B1 (de) 2004-03-22 2005-03-18 Verfahren zum laserthermischen trennen von flachgläsern
AT05715091T ATE499329T1 (de) 2004-03-22 2005-03-18 Verfahren zum laserthermischen trennen von flachgläsern
CN2005800093005A CN101018746B (zh) 2004-03-22 2005-03-18 用于平面玻璃的激光感应热分割的方法
US11/526,897 US20070151962A1 (en) 2004-03-22 2006-09-22 Method for laser-induced thermal separation of plate glass

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006062019A1 (de) 2006-12-29 2008-07-03 Näbauer, Anton, Dr. Verfahren zur Herstellung von mechanisch stabilen Dünnschicht Photovoltaik Solarmodulen unter Verwendung von Glas
DE202009007760U1 (de) 2009-06-02 2009-08-27 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Vorrichtung zur Herstellung elastisch verformbarer Glasplatten
WO2010139297A1 (de) 2009-06-02 2010-12-09 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Verfahren und vorrichtung zur herstellung elastisch verformbarer glasplatten

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006024825A1 (de) * 2006-05-23 2007-11-29 Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Randbeschneiden eines Floatglasbandes
US8011207B2 (en) * 2007-11-20 2011-09-06 Corning Incorporated Laser scoring of glass sheets at high speeds and with low residual stress
CN101498805B (zh) * 2008-01-30 2011-12-28 财团法人工业技术研究院 用于微位相差膜热处理的多光束激光装置
US8053704B2 (en) * 2008-05-27 2011-11-08 Corning Incorporated Scoring of non-flat materials
US8051679B2 (en) * 2008-09-29 2011-11-08 Corning Incorporated Laser separation of glass sheets
US8347651B2 (en) * 2009-02-19 2013-01-08 Corning Incorporated Method of separating strengthened glass
US8245540B2 (en) * 2009-02-24 2012-08-21 Corning Incorporated Method for scoring a sheet of brittle material
US8269138B2 (en) * 2009-05-21 2012-09-18 Corning Incorporated Method for separating a sheet of brittle material
EP2480507A1 (de) 2009-08-28 2012-08-01 Corning Incorporated Laserschneidverfahren für artikel aus chemisch verstärkten glassubstraten
US8932510B2 (en) * 2009-08-28 2015-01-13 Corning Incorporated Methods for laser cutting glass substrates
US8426767B2 (en) * 2009-08-31 2013-04-23 Corning Incorporated Methods for laser scribing and breaking thin glass
JP2013505890A (ja) * 2009-09-29 2013-02-21 ピコドリル エスアー 基板を切断する方法及び切断のための装置
US8946590B2 (en) * 2009-11-30 2015-02-03 Corning Incorporated Methods for laser scribing and separating glass substrates
US20110127242A1 (en) * 2009-11-30 2011-06-02 Xinghua Li Methods for laser scribing and separating glass substrates
TWI438162B (zh) * 2010-01-27 2014-05-21 Wintek Corp 強化玻璃切割方法及強化玻璃切割預置結構
KR20130010899A (ko) 2010-03-05 2013-01-29 세이지 일렉트로크로믹스, 인크. 유리 기판에 전기변색 소자의 적층체
TWI494284B (zh) * 2010-03-19 2015-08-01 Corning Inc 強化玻璃之機械劃割及分離
FR2962682B1 (fr) 2010-07-16 2015-02-27 Saint Gobain Vitrage electrochimique a proprietes optiques et/ou energetiques electrocommandables
US8864005B2 (en) 2010-07-16 2014-10-21 Corning Incorporated Methods for scribing and separating strengthened glass substrates
US8720228B2 (en) * 2010-08-31 2014-05-13 Corning Incorporated Methods of separating strengthened glass substrates
US8584490B2 (en) 2011-02-18 2013-11-19 Corning Incorporated Laser cutting method
US9034458B2 (en) 2011-05-27 2015-05-19 Corning Incorporated Edge-protected product and finishing method
KR101800223B1 (ko) * 2011-06-08 2017-11-22 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 판형상 유리의 절단방법 및 그 절단장치
US8677783B2 (en) * 2011-11-28 2014-03-25 Corning Incorporated Method for low energy separation of a glass ribbon
US9272941B2 (en) 2012-04-05 2016-03-01 Sage Electrochromics, Inc. Method of cutting a panel using a starter crack and a glass panel including a starter crack
US10351460B2 (en) 2012-05-22 2019-07-16 Corning Incorporated Methods of separating strengthened glass sheets by mechanical scribing
US9938180B2 (en) 2012-06-05 2018-04-10 Corning Incorporated Methods of cutting glass using a laser
US9610653B2 (en) 2012-09-21 2017-04-04 Electro Scientific Industries, Inc. Method and apparatus for separation of workpieces and articles produced thereby
US9212081B2 (en) 2012-11-21 2015-12-15 Corning Incorporated Methods of cutting a laminate strengthened glass substrate
US20140144965A1 (en) * 2012-11-29 2014-05-29 James William Brown Method to manipulate brittle material sheet compound shape
US20150165560A1 (en) * 2013-12-17 2015-06-18 Corning Incorporated Laser processing of slots and holes
CN103831539B (zh) 2014-01-10 2016-01-20 合肥鑫晟光电科技有限公司 激光打孔方法及激光打孔系统
CN103896483B (zh) * 2014-03-27 2016-08-17 深圳市华星光电技术有限公司 一种玻璃基板切割设备及切割方法
EP2990172A1 (de) 2014-08-26 2016-03-02 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Teilen von plattenförmigen Objekten aus spröden Werkstoffen
CN105525487A (zh) * 2014-09-30 2016-04-27 绥中明晖工业技术有限公司 洗衣机操作显示屏玻璃弯曲钢化印刷方法
US9399593B2 (en) * 2014-10-10 2016-07-26 Corning Incorporated Thermal barriers to guide glass cutting and prevent crackout
DE102015117676A1 (de) 2014-10-20 2016-05-04 Plasmatreat Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Trennen eines dünnwandigen Produkts aus einem anorganischen, nicht-metallischen, vorzugsweise amorphen Material, insbesondere eines Flachglases
US10017411B2 (en) 2014-11-19 2018-07-10 Corning Incorporated Methods of separating a glass web
US10357843B2 (en) * 2014-11-19 2019-07-23 Corning Incorporated Apparatuses and methods for scoring a glass article
WO2016125609A1 (ja) * 2015-02-03 2016-08-11 セントラル硝子株式会社 脆性材料の切断方法、脆性材料の切断装置、切断脆性材料の製造方法及び切断脆性材料
US11512016B2 (en) 2017-03-22 2022-11-29 Corning Incorporated Methods of separating a glass web
EP3695944B1 (de) 2019-02-12 2024-04-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und vorrichtung zum teilen von plattenförmigen objekten aus spröden werkstoffen
CN110854042A (zh) * 2019-11-12 2020-02-28 苏州迈为科技股份有限公司 太阳能电池裂片方法和系统

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2813302C2 (de) * 1978-03-28 1979-09-13 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V., 8000 Muenchen Verfahren und Vorrichtung zum geradlinigen Schneiden von Flachglas mit Hilfe von thermisch induzierten Spannungen
EP0448168A1 (de) * 1990-03-21 1991-09-25 Koninklijke Philips Electronics N.V. Verfahren zum Spalten einer spröden Platte sowie Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens
US5609284A (en) * 1992-04-02 1997-03-11 Fonon Technology Limited Method of splitting non-metallic materials
US5984159A (en) * 1997-04-14 1999-11-16 Schott Glas Method and apparatus for cutting through a flat workpiece made of brittle material, especially glass
DE19962906A1 (de) * 1999-12-23 2001-04-12 Schott Spezialglas Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Schneiden von im wesentlichen flachen Werkstücken aus sprödbrüchigem Material
US6252197B1 (en) * 1998-12-01 2001-06-26 Accudyne Display And Semiconductor Systems, Inc. Method and apparatus for separating non-metallic substrates utilizing a supplemental mechanical force applicator
US6407360B1 (en) * 1998-08-26 2002-06-18 Samsung Electronics, Co., Ltd. Laser cutting apparatus and method
US20020179667A1 (en) * 1999-12-31 2002-12-05 Dirk Hauer Method and device for the separation of flat workpieces made from a brittle material

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2139613B (en) * 1983-05-13 1987-03-04 Glaverbel Method and apparatus for cutting glass
JPH0639572A (ja) * 1991-01-11 1994-02-15 Souei Tsusho Kk ウェハ割断装置
JPH09107168A (ja) * 1995-08-07 1997-04-22 Mitsubishi Electric Corp 配線基板のレーザ加工方法、配線基板のレーザ加工装置及び配線基板加工用の炭酸ガスレーザ発振器
US6373026B1 (en) * 1996-07-31 2002-04-16 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Laser beam machining method for wiring board, laser beam machining apparatus for wiring board, and carbonic acid gas laser oscillator for machining wiring board
BE1011208A4 (fr) * 1997-06-11 1999-06-01 Cuvelier Georges Procede de decalottage de pieces en verre.
US6608297B2 (en) * 1997-07-23 2003-08-19 Xeros, Inc. Scanner document speed encoder
DE10004876C2 (de) * 2000-02-04 2003-12-11 Schott Glas Verfahren und Vorrichtung zum Durchtrennen von flachen Werkstücken aus Quarzkristall in flache Scheiben für Schwingquarze
JP4566349B2 (ja) * 2000-07-03 2010-10-20 中村留精密工業株式会社 硬質脆性板の割断方法及び装置
DE10196861D2 (de) * 2000-12-15 2003-10-30 Lzh Laserzentrum Hannover Ev Verfahren zum Durchtrennen von Bauteilen aus Glas, Keramik, Glaskeramik oder dergleichen durch Erzeugung eines thermischen Spannungsrisses an dem Bauteil entlang einer Trennzone
JP4659301B2 (ja) * 2001-09-12 2011-03-30 浜松ホトニクス株式会社 レーザ加工方法
KR100794284B1 (ko) * 2001-09-29 2008-01-11 삼성전자주식회사 비금속 기판 절단 방법

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2813302C2 (de) * 1978-03-28 1979-09-13 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V., 8000 Muenchen Verfahren und Vorrichtung zum geradlinigen Schneiden von Flachglas mit Hilfe von thermisch induzierten Spannungen
EP0448168A1 (de) * 1990-03-21 1991-09-25 Koninklijke Philips Electronics N.V. Verfahren zum Spalten einer spröden Platte sowie Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens
US5609284A (en) * 1992-04-02 1997-03-11 Fonon Technology Limited Method of splitting non-metallic materials
US5984159A (en) * 1997-04-14 1999-11-16 Schott Glas Method and apparatus for cutting through a flat workpiece made of brittle material, especially glass
US6112967A (en) * 1997-04-14 2000-09-05 Schott Glas Method and apparatus for cutting through a flat workpiece made of brittle material, especially glass
US6407360B1 (en) * 1998-08-26 2002-06-18 Samsung Electronics, Co., Ltd. Laser cutting apparatus and method
US20020125232A1 (en) * 1998-08-26 2002-09-12 Choo Dae-Ho Laser cutting apparatus and method
US20030209528A1 (en) * 1998-08-26 2003-11-13 Choo Dae-Ho Laser cutting apparatus and method
US6252197B1 (en) * 1998-12-01 2001-06-26 Accudyne Display And Semiconductor Systems, Inc. Method and apparatus for separating non-metallic substrates utilizing a supplemental mechanical force applicator
DE19962906A1 (de) * 1999-12-23 2001-04-12 Schott Spezialglas Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Schneiden von im wesentlichen flachen Werkstücken aus sprödbrüchigem Material
US20020179667A1 (en) * 1999-12-31 2002-12-05 Dirk Hauer Method and device for the separation of flat workpieces made from a brittle material

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Glastechn. Ber.,Feb. 1955, 28.Jg.,H.2,S.57,58 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006062019A1 (de) 2006-12-29 2008-07-03 Näbauer, Anton, Dr. Verfahren zur Herstellung von mechanisch stabilen Dünnschicht Photovoltaik Solarmodulen unter Verwendung von Glas
DE202009007760U1 (de) 2009-06-02 2009-08-27 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Vorrichtung zur Herstellung elastisch verformbarer Glasplatten
WO2010139297A1 (de) 2009-06-02 2010-12-09 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Verfahren und vorrichtung zur herstellung elastisch verformbarer glasplatten
DE102009023602A1 (de) 2009-06-02 2010-12-16 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung elastisch verformbarer Glasplatten
DE102009023602B4 (de) * 2009-06-02 2012-08-16 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Vorrichtung zum industriellen Herstellen elastisch verformbarer großflächiger Glasplatten in hoher Stückzahl

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Publication number Publication date
CN101018746A (zh) 2007-08-15
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CA2559184A1 (en) 2005-10-06
EP1727772A1 (de) 2006-12-06
ATE499329T1 (de) 2011-03-15
EP1727772B1 (de) 2011-02-23
US20070151962A1 (en) 2007-07-05

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