DE102004011100A1 - Bewegungssensor und Verfahren zur Herstellung eines Bewegungssensors - Google Patents
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Abstract
Es wird ein Bewegungssensor, insbesondere ein Drehzahlsensor für die Raddrehung eines Kraftfahrzeuges, sowie ein Verfahren zur Herstellung eines Bewegungssensors vorgeschlagen, welcher eine über ein elektrisches Kabel (24) anschließbare integrierte Schaltung (32) mit einem Messwertgeber und einer elektronischen Schaltungsanordnung zur Aufbereitung der Messsignale aufweist. Der Sensor besitzt einen durch Gießen oder Spritzgießen von thermoplastischem Kunststoff, vorzugsweise von Polyamid, in MID-Technik hergestellten Grundbaustein (10), in den ein Dauermagnet (16) integriert ist. Eine gehäuselose integrierte Schaltung (32) ist in Flip-Chip-Technik auf das MID-Bauelement aufgebracht. Die Anordnung aus dem Grundbaustein (10) mit der integrierten Schaltung (32) und dem Dauermagnet (16) sowie dem Anschlussende des Kabels (24) sind in einem weiteren Verfahrensschritt mit einem äußeren Verguss (42) umhüllt und zu einer widerstandsfähigen und gegen Umgebungseinflüsse gut geschützten Baueinheit zusammengefügt.
Description
- Die Erfindung betrifft einen Bewegungssensor, insbesondere einen Drehzahlsensor für die Raddrehung eines Kraftfahrzeuges, sowie ein Verfahren zur Herstellung eines Bewegungssensors, wie er grundsätzlich aus der
DE 197 22 507 A bekannt ist. Der dort beschriebene Sensor besitzt ein vorgefertigtes Gehäuseteil, in welches eine integrierte Schaltung einschließlich eines magnetoresistiven Elements und eines Permanentmagneten eingelegt und nach der Verbindung mit den Litzen eines zweiadrigen Kabels mit Kunststoff umspritzt sind. Auf diese Weise erhält man eine gegen Umwelteinflüsse resistente Anordnung, welche jedoch zu ihrer Herstellung eine größere Zahl von Arbeitsschritten benötigt und wegen der Verwendung eines vorgefertigten Gehäuses einen verhältnismäßig großen Einbauraum benötigt. - Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Bewegungssensor und ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Sensors anzugeben, welche einerseits einen geringeren Fertigungsaufwand verursachen und andererseits einen kleineren Einbauraum beanspruchen. Dies wird erreicht durch die kennzeichnenden Merkmale der Ansprüche 1 und 15.
- Hierbei hat es sich als vorteilhaft erwiesen, den Grundbaustein als oberflächlich metallisiertes Spritzgussteil auszubilden, aus dessen Metallisierung mindestens eine Leiterbahn durch Laserstrukturierung (Laserablation) herausgearbeitet oder durch stromlose Metallisierung einer von zwei zur Herstellung des Spritzgussteils verwendeten Kunststoffkomponenten hergestellt ist. Eine andere vorteilhafte Ausgestaltung des Grundbausteins sieht vor, diesen mit heiß aufgeprägten Leiterbahnen, vorzugsweise in Form einer Metallisierung aus Cu mit Beimengungen von Pt, Al, Au Ag und/oder Ni auf einer Kunststofffolie zu versehen, welche beim Heißprägen mit dem Kunststoff des Grundbausteins verbunden wird.
- Ein Dauermagnet, welcher Teil der Messwertgebervorrichtung ist, wird vorzugsweise in den Grundbaustein mit eingegossen, wodurch sich eine exakte und sichere Positionierung des Dauermagneten ergibt. Andererseits kann dieser Dauermagnet jedoch auch nachträglich in eine vorgeformte Aussparung in dem Grundbaustein eingefügt, vorzugsweise eingeklebt, oder oberflächlich an der Stirnseite des Grundbausteins gehalten werden, zweckmäßigerweise unter Einfügung einer ferromagnetischen Homogenisierungsscheibe zwischen dem Dauermagnet und der integrierten Schaltung. Im Falle der seitlichen Abtastung einer Bewegung kann der Dauermagnet auch seitlich ausgerichtet mit dem Grundbaustein verbunden werden. Der Dauermagnet kann dabei auch nachträglich nach dem Einfügen in den Grundbaustein oder nach der Fertigstellung des Sensors aufmagnetisiert werden.
- Die integrierte Schaltung ist vorzugsweise als sogenannter Nacktchip in Flip-Chip-Technik ausgebildet und mit der Stirnseite des Grundbausteins verbunden, wobei Kontakthügel der integrierten Schaltung mit Anschlussstellen der Leiterbahnen kontaktiert sind und zwischen der integrierten Schaltung und dem Grundbaustein eine Unterfüllung aus wärmehärtbarem Kunststoff eingebracht ist, um eine sichere und dauerhafte Verbindung der integrierten Schaltung mit dem Grundbaustein zu gewährleisten.
- Der Grundbaustein ist aus thermoplastischen Kunststoffen, insbesondere aus Polyamid oder aus LCP (Liquid Cristal Polymer)-Kunststoffen durch Spritzgießen hergestellt, ebenso wie ein äußerer Verguss, welcher die Gesamtanordnung mit Ausnahme des Bereichs der integrierten Schaltung und des den Dauermagneten aufnehmenden Abschnittes des Grundbausteins umgibt. Dieser Teil des Sensors ist zweckmäßigerweise von einer vorgefertigten, becherförmigen Kunststoffabdeckung umhüllt, welche zumindest mit ihrem Öffnungsrand in den äußeren Verguss des Sensors hineinreicht und darin gehalten ist. Die Verwendung einer derartigen becherförmigen Kunststoffabdeckung mit dünner Wandstärke hat den Vorteil, dass bei kompakter Bauweise und kleinem Luftspalt zum Dauermagnet der IC vor Umwelteinflüssen und während der Montage gut geschützt ist und kein Druck und keine Verspannung an dem IC entstehen.
- Das elektrische Anschlusskabel des Bewegungssensors ist zweckmäßigerweise durch eine Crimpvorrichtung kontaktiert und gehalten, welche beim Spritzgießen des Grundbausteines in diesen integriert wird. Hierdurch ist in Verbindung mit dem abschließenden äußeren Verguss des Sensors, welcher die Enden des Anschlusskabels überdeckt, eine sichere, dauerhafte und dichte Verbindung des Anschlusskabels mit dem Sensor gewährleistet. Statt einer Crimpvorrichtung kann jedoch auch eine Lötverbindung oder eine andere Kaltkontaktiertechnik, beispielsweise ein Stecker, zur Verbindung des Anschlusskabels mit den Leiterbahnen des Grundbausteins verwendet werden.
- Weitere Einzelheiten und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen und der Beschreibung der in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele.
- Es zeigen:
-
1 eine perspektivische Darstellung einer ersten Ausführungsform des Kunststoffgrundkörpers eines erfindungsgemäßen Bewegungssensors, -
2 die Gestaltung zweier auf den Kunststoffgrundkörper gemäß1 aufzubringender Leiterbahnen, -
3a eine perspektivische Darstellung einer ersten metallisierbaren Spritzgusskomponente im Falle der Herstellung des Kunststoffgrundkörpers des Sensor-Grundbausteins aus zwei verschiedenen Kunststoffkomponenten, -
3b eine perspektivische Darstellung der zweiten Spritzgusskomponente des Kunststoffgrundkörpers des Sensor-Grundbausteins, -
3c eine perspektivische Darstellung des Kunststoffgrundkörpers des Sensor-Grundbausteins nach dem stromlosen Aufbringen einer Metallisierung auf die erste Kunststoffkomponente, -
4 eine Darstellung eines fertig bestückten Grundbausteins des Bewegungssensors mit integrierter Schaltung, einem in den Kunststoffgrundkörper eingespritzten Dauermageten, einem die Leiterbahnen überbrückenden Kondensator und einem Anschlusskabel, -
5 eine Darstellung eines Grundbausteins mit einer becherförmigen Abdeckung über der integrierten Schaltung und dem den Dauermagneten aufnehmenden Vorderteil des Grundbausteins, -
6 eine Darstellung eines fertigen Bewegungssensors mit den Konturen des äußeren Vergusses vor dem Abtrennen und Auftrennen der Crimpleiste und -
7 eine perspektivische Darstellung eines fertig vergossenen Bewegungssensors mit einem Geberrad. - In
1 ist mit10 ein Grundbaustein für einen Drehzahlsensor zur Ermittlung der Raddrehung eines Kraftfahrzeuges bezeichnet. Der Grundbaustein weist in dieser Ausführungsform einen durch Spritzgießen aus Polyamid hergestellten Kunststoffgrundkörper12 auf, in dem am rechten Ende eine Crimpvorrichtung14 und am gegenüberliegenden linken Ende ein Dauermagnet16 eingespritzt sind. Die Crimpvorrichtung14 ist Teil einer Crimpleiste18 und mit ihren Kontaktenden20 durch die Vergussmasse hindurch bis zur Oberfläche des Kunststoffgrundkörpers12 geführt, während ihre Crimpenden22 für die Verklemmung mit den abisolierten Enden der Litzen eines Anschlusskabels24 aus dem Kunststoffkörper12 stirnseitig herausragen. Die Crimpleiste18 dient dabei lediglich dem Zusammenhalt der Crimpvorrichtung14 während des Vergusses, die Teile der Crimpleiste18 zwischen den Crimpenden22 werden vor dem abschließenden Verguss entfernt. - Bei der in
1 dargestellten Ausführung sind der Dauermagnet16 und die Crimpvorrichtung14 vor dem Spritzen des Kunststoffgrundkörpers12 als Einlegeteile in die Spritzgießform eingebracht und somit nach der Fertigstellung des Kunststoffgrundkörpers12 in diesem geschützt und korrekt positioniert gehalten. Der Durchmesser und die Länge des Dauermagneten16 bestimmen dabei im Wesentlichen die Form des sensierenden Endes26 des Grundbausteins10 , wobei insbesondere für diesen Teil des Sensors eine Minimierung der Abmessungen angestrebt wird, um den benötigten Einbauraum klein zu halten. Der Dauermagnet16 könnte auch in eine Aussparung im Kunststoffgrundkörper12 nachträglich eingefügt werden oder bei der Herstellung des abschließenden äußeren Vergusses42 des Sensors in diesen eingespritzt oder in anderer Form daran gehalten und gesichert werden. -
2 zeigt die Gestaltung und den Verlauf von zwei Leiterbahnen28 und30 auf im Wesentlichen mit Kupfer beschichtete Kunststofffolie, welche in der dargestellten Form auf den Kunststoffgrundkörper12 heiß aufgeprägt werden. Hierbei verbindet sich die Kunststofffolie der Leiterbahnen28 und30 dauerhaft mit dem Kunststoffgrundkörper12 , wobei im Bereich der Kontaktenden20 der Crimpvorrichtung14 die Kupferbeschichtung der Leiterbahnen28 und30 direkt mit den Kontaktenden20 der Crimpvorrichtung14 durch Prägen, Kleben oder Löten verbunden wird. - Die entgegengesetzten Enden der Leiterbahnen
28 und30 bilden abgewinkelte Anschlussstellen34 und36 für den späteren Anschluss einer integrierten Schaltung32 . - In den folgenden Figuren sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen wie in den
1 und2 . - In
3 ist eine andere Gestaltung des Grundbausteins10 dargestellt. Dieser ist hierbei ohne Crimpvorrichtung als Zweikomponenten-Spritzgussteil mit aufmetallisierten Leiterbahnen28 ,30 und mit metallisierten Aussparungen15 für die Aufnahme der anzulötenden Enden des nicht dargestellten Anschlusskabels ausgebildet. - Hierbei wird zunächst gemäß
3a ein inneres Spritzgussteil11 aus einer stromlos metallisierbaren ersten Kunststoffkomponente hergestellt mit Rippen27 und29 entsprechend den später durch die Metallisierung aufzubringenden Leiterbahnen28 und30 sowie mit metallisierbaren Aussparungen15 zur Aufnahme der Enden des Anschlusskabels24 . Die stromlos abgeschiedene Metallschicht kann gegebenenfalls noch galvanisch verstärkt werden. - In einem zweiten Spritzgießschritt wird dann gemäß
3b der Kunststoffgrundkörper12 mit der zweiten, nicht metallisierbaren Kunststoffkomponente in seiner endgültigen Form unter Einschluss des Dauermagneten16 hergestellt. Der nicht sichtbare Dauermagnet ist dabei in das sensierende Ende26 des Spritzgussteils eingegossen. -
3c zeigt den fertigen Grundbaustein10 nach der Metallisierung des Kunststoffgrundkörpers12 mit den Leiterbahnen28 und30 und deren Anschlussstellen34 und36 für die integrierte Schaltung32 sowie den metallisierten Aussparungen15 zum Einlöten der Kabelenden. - In
4 ist ein Grundbaustein10 mit durch Heißprägen aufgebrachten Leiterbahnen28 und30 dargestellt, deren Kontaktfahnen31 mit den Kontaktenden20 der Crimpvorrichtung14 verbunden sind. Die Crimpenden22 werden mit den Enden zweier Litzen des Anschlusskabels24 oder den Kontaktenden eines Steckers verbunden. - Anstelle von heiß aufgeprägten Leiterbahnen
28 ,30 können diese auch dadurch hergestellt werden, dass das Spritzgussteil zunächst auf seiner gesamten Oberfläche eine Metallisierung erhält, aus welcher die Leiterbahnen28 und30 durch Laserablation herausgearbeitet sind. Hierbei ist es grundsätzlich ausreichend, eine der beiden Leiterbahnen28 oder30 frei zu legen, die zweite Leiterbahn wird dann von der verbleibenden Metallisierung gebildet. Als Werkstoff für das Spritzgussteil12 können wiederum Polyamid oder LCP(Liquid Crystal Polymer) Werkstoffe verwendet werden. Hierbei ist es auch möglich, die Enden des Anschlusskabels24 direkt an die Kontaktfahnen31 der Leiterbahnen28 und30 anzulöten oder Anschlussstifte eines Steckers oder einer Crimpvorrichtung14 durch Einpressen in Löcher im Kunststoffgrundkörper12 mit den Kontaktfahnen31 zu verbinden. - Am entgegengesetzten, sensierenden Ende
26 des Grundbausteins10 ist eine integrierte Schaltung32 mit Gold-Anschlusshöckern37 auf ihrer in der Figur nicht sichtbaren Innenseite mit den Anschlussstellen34 und36 der Leiterbahnen28 und30 verbunden. Außerdem sind die Leiterbahnen28 und30 zwischen dem Anschluss der integrierten Schaltung32 und der Crimpvorrichtung14 durch einen Kondensator38 überbrückt, welcher eventuell über das Anschlusskabel24 eindringende hochfrequente Störungen von der integrierten Schaltung32 fernhält. Diese ist in bekannter Weise mit wenigstens einem Hallelement bestückt, welches auf das durch äußere ferromagnetische Teile veränderliche Magnetfeld des Dauermagneten16 mit einer veränderlichen Hallspannung reagiert. Bei der bevorzugten Anwendung des erfindungsgemäßen Bewegungssensor als Drehzahlsensor für die Raddrehung eines Kraftfahrzeuges ist das sensierende Ende26 des Bewegungssensors einem als Zahnkranz47 ausgebildeten, sich mit dem Rad des Kraftfahrzeuges drehenden ferromagnetischen Teil benachbart, wobei das durch den Wechsel von Zähnen und Zahnlücken veränderliche Magnetfeld des Dauermagneten16 die Ausgangsspannung des Bewegungssensors bestimmt. Der Dauermagnet16 ist hierbei Teil der Messwertgebervorrichtung. Diese kann jedoch auch durch ein äußeres magnetisches Impulsrad oder dergleichen angeregt werden, der Dauermagnet als Teil der Messwertgebervorrichtung entfällt dann. - Die elektrische Kontaktierung der integrierten Schaltung
32 mit den Anschlussstellen34 ,36 der Leiterbahnen28 ,30 und ihre Befestigung auf der Stirnseite des Grundbausteins10 erfolgen durch Flip-Chip-Technik, wobei aus Gold bestehende Anschlusshöcker37 des IC-Bauelements32 drahtlos mit den Anschlussstellen34 und36 verbunden werden. Diese Verbindung kann entweder direkt oder unter Einfügung eines isotrop elektrisch leitenden Klebstoffs erfolgen. Die aktive Seite der integrierten Schaltung zeigt bei der Flip-Chip-Kontaktierung zu den Anschlussstellen34 ,36 hin und wird zusätzlich durch dünnflüssigen, wärmehärtbaren Kunststoff, einen sogenannten Underfiller, mit der Stirnseite des Grundbausteins10 mechanisch verbunden. -
5 zeigt den fertig bestückten Grundbaustein10 , wobei die integrierte Schaltung32 und das den Dauermagneten16 aufnehmende sensierende Ende26 des Grundbausteins10 von einer vorgefertigten, becherförmigen, dünnwandigen Kunststoffabdeckung40 aus Polyamid umhüllt sind. - Die
6 und7 zeigen schließlich die Fertigstellung des Bewegungssensors durch einen äußeren Spritzverguss42 aus Polyamid, welcher den Rand41 am offenen Ende der becherförmigen Kunststoffabdeckung40 sowie das Ende des Anschlusskabels24 überdeckt. Hierbei sind in6 lediglich die Konturen des abschließenden Vergusses dargestellt, während in7 die endgültige Gestalt des Bewegungssensors mit dem äußeren Verguss42 sichtbar ist, welche zusätzlich eine Anschlusslasche44 mit einer Befestigungsbuchse46 für die Montage des Sensors aufweist. - Mit dem erfindungsgemäßen Bewegungssensor und dem Verfahren zur Herstellung eines derartigen Sensors, insbesondere eines Drehzahlsensors für die Raddrehung eines Kraftfahrzeuges, erzielt man eine kompakte, robuste und dauerhaft geschützte Anordnung, welche den hohen Qualitätsanforderungen für Sensoren genügt und nur einen sehr geringen Einbauraum benötigt, so dass beispielsweise der Einbau im Bereich des Radlagers eines Kraftfahrzeugrades ohne Schwierigkeiten möglich wird. Das als Messelement verwendete Hallelement ist Teil der integrierten Schaltung
32 und somit ebenfalls gut geschützt in der becherförmigen Kunststoffabdeckung40 untergebracht - Der für die Erzeugung des veränderlichen Magnetfeldes verwendete Dauermagnet
16 kann mit geringer Luftspaltweite in unmittelbarer Nähe eines ferromagnetischen, beispielsweise als Zahnkranz47 ausgebildeten Geberteils angeordnet werden. Das oder die Hallelemente in der integrierten Schaltung32 reagieren auf die entstehenden Magnetfeldänderungen und wandeln diese in elektrische Signale um, welche über das Anschlusskabel24 zu angeschlossenen Steuereinheiten gelangen. Als Geberteil kann an Stelle eines Impulsrades selbstverständlich auch ein Linearelement dienen, an Stelle von Hallelementen sind zum Beispiel magnetoresistive Elemente verwendbar. Die Messsignale können zur Bestimmung der Geschwindigkeit, der Beschleunigung, des Beschleunigungsgradienten und/oder eines Verdrehwinkels dienen. Die Form des äußeren Vergusses42 des Sensors ist in der Regel durch den Anbauort bestimmt.
Claims (19)
- Bewegungssensor, insbesondere Drehzahlsensor für die Raddrehung eines Kraftfahrzeuges, welcher eine vorzugsweise über ein elektrisches Kabel anschließbare integrierte Schaltung mit einer Messwertgeberanordnung und einer elektronischen Schaltungsanordnung zur Aufbereitung der Messsignale aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass eine gehäuselose integrierte Schaltung (
32 ) in Flip-Chip-Technik auf einen mit Leiterbahnen (28 ,30 ) versehenen, als MID (Molded-Interconnect-Device)- Bauelement ausgebildeten Grundbaustein (10 ) aufgebracht und gemeinsam mit den Leiterbahnen (28 ,30 ) und gegebenenfalls weiteren Elementen (16 ,38 ) durch eine diamagnetische oder paramagnetische Abdeckung (40 ,42 ) umschlossen ist. - Bewegungssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundbaustein (
10 ) als oberfächlich metallisiertes Spritzgussteil ausgebildet ist. - Bewegungssensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein Kunststoffgrundkörper (
12 ) des Grundbausteins (10 ) aus wenigstens zwei verschiedenen Kunststoffkomponenten hergestellt ist, von denen wenigstens eine an ihrer Oberfläche zur Ausbildung wenigstens einer Leiterbahn (28 ,30 ) metallisierbar ist. - Bewegungssensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Kunststoffkomponenten LCP (Liquid Cristal Polymer)-Kunststoffe sind.
- Bewegungssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass aus einer Metallisierung des Grundbausteins (
10 ) wenigstens eine Leiterbahn (28 ,30 ) durch Laserstrukturierung (Laser Ablation) herausgearbeitet ist. - Bewegungssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundbaustein (
10 ) heiß aufgeprägte Leiterbahnen (28 ,30 ) besitzt. - Bewegungssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Dauermagnet (
16 ) in den Grundbaustein (10 ) eingefügt ist. - Bewegungssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die integrierte Schaltung (
32 ) zusammen mit einem Dauermagnet (16 ) von einer becherförmigen, diamagnetischen oder paramagnetischen Abdeckung, vorzugsweise von einer Kunststoffabdeckung (40 ), umhüllt ist. - Bewegungssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die integrierte Schaltung (
32 ) Anschlusshöcker (37 ) aus Gold besitzt und mit diesen auf Anschlussstellen (34 ,36 ) der Leiterbahnen (28 ,30 ) befestigt und kontaktiert ist. - Bewegungssensor nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Anschlusshöcker (
37 ) der integrierten Schaltung (32 ) mit den Anschlussstellen (34 ,36 ) der Leiterbahnen (28 ,30 ) auf dem Grundkörper (10 ) direkt oder durch einen isotrop elektrisch leitenden Klebstoff verbunden sind. - Bewegungssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die integrierte Schaltung (
32 ) durch eine Kunststoff-Unterfüllung mechanisch mit dem Grundbaustein (10 ) verbunden ist. - Bewegungssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in einen durch Gießen oder Spritzgießen von thermoplastischem Kunststoff hergestellten Kunststoffgrundkörper (
12 ) des Grundbausteins (10 ) eine Anschlussvorrichtung (14 ) integriert ist. - Bewegungssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahnen (
28 ,30 ) im Bereich zwischen der integrierten Schaltung (32 ) und den Kontaktfahnen (31 ) für den Außenanschluss durch einen Kondensator (38 ) überbrückt sind. - Bewegungssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die integrierte Schaltung (
32 ) und der den Dauermagneten (16 ) aufnehmende Teil des Grundbausteins (10 ) von einer vorgefertigten, becherförmigen, diamagnetischen oder paramagnetischen Abdeckung (40 ), vorzugsweise von einer Kunststoffabdeckung umgeben sind, die zumindest mit ihrem Öffnungsrand (41 ) in einen äußeren Verguss (42 ) des Sensors hineinreicht, welcher die becherförmige Abdeckung (40 ) mit dem Grundbaustein (10 ) zu einer Einheit verbindet. - Verfahren zur Herstellung eines Bewegungssensors, insbesondere eines Drehzahlsensors für die Raddrehung eines Kraftfahrzeuges, welcher eine vorzugsweise über ein elektrisches Kabel anschließbare integrierte Schaltung mit einer Messwertgeberanordnung und einer elektronischen Schaltungsanordnung zur Aufbereitung der Messsignale aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass durch Gießen oder Spritzgießen von thermoplastischem Kunststoff ein Grundbaustein (
10 ,12 ) hergestellt wird, dass auf den Grundbaustein (10 ,12 ) Leiterbahnen (28 ,30 ) für die Verbindung mit einer gehäuselosen integrierten Schaltung (32 ) aufgebracht werden, dass die integrierte Schaltung (32 ) drahtlos in Flip-Chip-Technik mit den Leiterbahnen (28 ,30 ;34 ,36 ) verbunden und die Anordnung anschließend zumindest teilweise in einem weiteren Gieß- oder Spritzgießprozess mit einem äußeren Verguss (42 ) umhüllt wird. - Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Kunststoffgrundkörper (
12 ) des Grundbausteins (10 ) in wenigstens zwei Arbeitsschritten aus wenigstens zwei unterschiedlichen thermoplastischen Kunststoffkomponenten gespritzt wird, von denen wenigstens eine stromlos metallisierbar und wenigstens eine weitere nicht metallisierbar ist. - Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass zunächst ein Spritzgussteil (
11 ) aus einer metallisierbaren Kunststoffkomponente hergestellt und dieses anschließend mit einer nicht metallisierbaren Kunststoffkomponente zum Kunststoffgrundkörper umspritzt wird. - Verfahren nach Anspruch 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahnen (
28 ,30 ) durch stromlose Metallisierung der metallisierbaren Kunststoffkomponente auf den Kunststoffgrundkörper (12 ) aufgebracht werden. - Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass ein Dauermagnet (
16 ) beim Spritzgießvorgang des Kunststoffgrundkörpers (12 ) mit einem nicht metallisierbaren Kunststoff umspritzt wird.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004011100A DE102004011100A1 (de) | 2004-03-06 | 2004-03-06 | Bewegungssensor und Verfahren zur Herstellung eines Bewegungssensors |
US10/573,628 US20070001664A1 (en) | 2004-03-06 | 2005-01-07 | Movement sensor and method for producing a movement sensor |
PCT/EP2005/050059 WO2005085875A1 (de) | 2004-03-06 | 2005-01-07 | Bewegungssensor und verfahren zur herstellung eines bewegungssensors |
EP05701460A EP1725879A1 (de) | 2004-03-06 | 2005-01-07 | Bewegungssensor und verfahren zur herstellung eines bewegungssensors |
CN200580007181XA CN1930481B (zh) | 2004-03-06 | 2005-01-07 | 运动传感器和制造运动传感器的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004011100A DE102004011100A1 (de) | 2004-03-06 | 2004-03-06 | Bewegungssensor und Verfahren zur Herstellung eines Bewegungssensors |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102004011100A1 true DE102004011100A1 (de) | 2005-09-22 |
Family
ID=34877509
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102004011100A Withdrawn DE102004011100A1 (de) | 2004-03-06 | 2004-03-06 | Bewegungssensor und Verfahren zur Herstellung eines Bewegungssensors |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070001664A1 (de) |
EP (1) | EP1725879A1 (de) |
CN (1) | CN1930481B (de) |
DE (1) | DE102004011100A1 (de) |
WO (1) | WO2005085875A1 (de) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005053973A1 (de) * | 2005-11-11 | 2007-05-31 | Siemens Ag | Sensorbaugruppe |
DE102006029980A1 (de) * | 2006-06-29 | 2008-01-03 | Robert Bosch Gmbh | Sensoranordnung |
US7516646B2 (en) | 2007-01-31 | 2009-04-14 | Honda Motor Co., Ltd. | Impact test apparatus |
DE102006019428B4 (de) * | 2005-09-28 | 2010-04-15 | Mitsubishi Denki K.K. | Ansaugluft-Steuervorrichtung für einen Verbrennungsmotor |
US7965075B2 (en) | 2005-09-13 | 2011-06-21 | Robert Bosch Gmbh | Base module for a motion sensor |
US8043047B2 (en) | 2006-01-25 | 2011-10-25 | Siemens Vdo Automotive Ag | Compressor casing for an exhaust gas turbocharger |
DE102011002739A1 (de) * | 2011-01-17 | 2012-07-19 | Zf Friedrichshafen Ag | Verfahren zum Herstellen einer Sensorvorrichtung, Verfahren zum Herstellen einer Sensorbaugruppe, Sensorvorrichtung und Sensorbaugruppe |
DE102011003239A1 (de) | 2011-01-27 | 2012-08-02 | Zf Friedrichshafen Ag | Sensormodul, Montageelement und Verfahren zum Herstellen eines Sensormoduls |
DE102011081222A1 (de) * | 2011-08-19 | 2013-02-21 | Zf Friedrichshafen Ag | Verfahren zur Herstellung einer Sensorbaugruppe sowie eine solche |
DE102013224366A1 (de) | 2013-11-28 | 2015-05-28 | Robert Bosch Gmbh | Verbindungsanordnung und Verfahren zum Herstellen einer Verbindungsanordnung |
DE102013226045A1 (de) * | 2013-12-16 | 2015-06-18 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Mechanisch überbestimmt verbauter Drehzahlsensor mit elastischer Umspritzung |
WO2015117717A1 (de) * | 2014-02-06 | 2015-08-13 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur herstellung einer sensoreinheit für ein fahrzeug und sensoreinheit für ein fahrzeug |
DE102014208595A1 (de) * | 2014-05-08 | 2015-11-12 | Zf Friedrichshafen Ag | Kunststoffumspritzte Anordnung zum Halten zumindest eines Sensors |
WO2017054960A1 (de) * | 2015-10-01 | 2017-04-06 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum herstellen einer sensoranordnung für ein getriebesteuergerät |
WO2019057463A1 (de) * | 2017-09-19 | 2019-03-28 | Robert Bosch Gmbh | Halter für eine sensoreinheit |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007036264A1 (de) * | 2007-08-02 | 2009-02-05 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Bewegungssensors |
DE102007041892A1 (de) * | 2007-09-04 | 2009-03-05 | Robert Bosch Gmbh | Elektrische Schaltanordnung mit einem MID-Schaltungsträger und einer damit verbundenen Verbindungsschnittstelle |
DE102007046304A1 (de) * | 2007-09-27 | 2009-04-02 | Robert Bosch Gmbh | Sensor und zugehöriges Herstellungsverfahren |
US8587297B2 (en) * | 2007-12-04 | 2013-11-19 | Infineon Technologies Ag | Integrated circuit including sensor having injection molded magnetic material |
DE102008042091A1 (de) | 2007-12-04 | 2009-06-10 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Magnetfeldsensors und nach dem Verfahren hergestellter Sensor |
US8497468B2 (en) * | 2007-12-20 | 2013-07-30 | Heidenhain Corporation | Encoder having an overmolded cover, encoder system with an encoder having an overmolded cover, and method for manufacturing an encoder having an overmolded cover |
US20110187359A1 (en) * | 2008-05-30 | 2011-08-04 | Tobias Werth | Bias field generation for a magneto sensor |
US8610430B2 (en) | 2008-05-30 | 2013-12-17 | Infineon Technologies Ag | Bias field generation for a magneto sensor |
US8174256B2 (en) | 2008-05-30 | 2012-05-08 | Infineon Technologies Ag | Methods and systems for magnetic field sensing |
US8058870B2 (en) * | 2008-05-30 | 2011-11-15 | Infineon Technologies Ag | Methods and systems for magnetic sensing |
CN202075298U (zh) * | 2011-05-04 | 2011-12-14 | 博世汽车部件(苏州)有限公司 | 轮速传感器 |
RU2495437C2 (ru) * | 2011-07-06 | 2013-10-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский (Приволжский) Федеральный Университет" (ФГАОУ ВПО КФУ) | Датчик угловой скорости и угловых перемещений и способ его работы |
JP5633752B2 (ja) * | 2011-10-28 | 2014-12-03 | 株式会社デンソー | 回転検出装置 |
DE102011121412A1 (de) * | 2011-12-17 | 2013-06-20 | Continental Automotive Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Sensors und Sensor |
DE102012200918B4 (de) * | 2012-01-23 | 2024-05-29 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Herstellen einer thermoplastischen Vorrichtung mit einer Steckerkavität |
US10234513B2 (en) * | 2012-03-20 | 2019-03-19 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with integral ferromagnetic material |
US9812588B2 (en) | 2012-03-20 | 2017-11-07 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with integral ferromagnetic material |
US9153369B2 (en) | 2012-04-23 | 2015-10-06 | Infineon Technologies Ag | Bias field generator including a body having two body parts and holding a packaged magnetic sensor |
DE102013013960C5 (de) * | 2013-08-23 | 2020-04-16 | Baumer Electric Ag | Sensorgehäuse für einen kabelgebundenen Sensor und kabelgebundener Sensor |
KR20150073246A (ko) * | 2013-12-20 | 2015-07-01 | 현대자동차주식회사 | 변속단 감지스위치 |
US9250272B2 (en) * | 2014-02-12 | 2016-02-02 | National Instruments Corporation | Low profile current measurement connector |
US9664705B2 (en) * | 2014-02-19 | 2017-05-30 | Sensata Technologies, Inc. | Speed sensor |
DE102014010628A1 (de) * | 2014-07-21 | 2016-01-21 | Krallmann Kunststoffverarbeitung Gmbh | Kunststoff-Bauteil mit zumindest einem elektrischen Kontaktelement und Verfahren zu seiner Herstellung |
FR3040213B1 (fr) * | 2015-08-18 | 2017-09-15 | Continental Automotive France | Procede de fabrication d'un capteur de mesure pour vehicule automobile |
DE102016210519B4 (de) * | 2016-06-14 | 2020-09-10 | Robert Bosch Gmbh | Sensoranordnung und Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung |
JP7031607B2 (ja) * | 2016-12-15 | 2022-03-08 | 日本精機株式会社 | 移動体検出装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2550337B1 (fr) * | 1983-08-03 | 1986-11-07 | Renault | Sonde de mesure de niveau de liquide dans un reservoir ou une conduite |
DE4218793A1 (de) * | 1992-06-06 | 1993-12-09 | Bayerische Motoren Werke Ag | Steckkontaktteil für Kraftfahrzeuge |
DE4340177A1 (de) * | 1993-11-25 | 1995-06-01 | Mannesmann Kienzle Gmbh | Meßwertgeber |
US5414355A (en) * | 1994-03-03 | 1995-05-09 | Honeywell Inc. | Magnet carrier disposed within an outer housing |
DE19757006A1 (de) * | 1997-12-20 | 1999-07-01 | Bosch Gmbh Robert | Messwertaufnehmer und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
JP3794937B2 (ja) * | 2001-05-30 | 2006-07-12 | 株式会社日立製作所 | 回転検出装置 |
DE10134646A1 (de) * | 2001-07-17 | 2003-02-06 | Bosch Gmbh Robert | Sensorelement |
EP1329727A1 (de) * | 2001-10-18 | 2003-07-23 | Nsk Ltd | Sensor zur Bestimmung der Drehgeschwindigkeit |
JP2003307523A (ja) * | 2002-04-16 | 2003-10-31 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 回転検出センサ |
DE10217700A1 (de) * | 2002-04-20 | 2003-11-06 | Festo Ag & Co | Spritzgegossener Schaltungsträger und damit ausgestattete elektrische Schaltungsanordnung |
-
2004
- 2004-03-06 DE DE102004011100A patent/DE102004011100A1/de not_active Withdrawn
-
2005
- 2005-01-07 CN CN200580007181XA patent/CN1930481B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-01-07 EP EP05701460A patent/EP1725879A1/de not_active Withdrawn
- 2005-01-07 WO PCT/EP2005/050059 patent/WO2005085875A1/de active Application Filing
- 2005-01-07 US US10/573,628 patent/US20070001664A1/en not_active Abandoned
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7965075B2 (en) | 2005-09-13 | 2011-06-21 | Robert Bosch Gmbh | Base module for a motion sensor |
DE102006019428B4 (de) * | 2005-09-28 | 2010-04-15 | Mitsubishi Denki K.K. | Ansaugluft-Steuervorrichtung für einen Verbrennungsmotor |
DE102006019428C5 (de) * | 2005-09-28 | 2014-12-11 | Mitsubishi Denki K.K. | Ansaugluft-Steuervorrichtung für einen Verbrennungsmotor |
DE102005053973A1 (de) * | 2005-11-11 | 2007-05-31 | Siemens Ag | Sensorbaugruppe |
US8043047B2 (en) | 2006-01-25 | 2011-10-25 | Siemens Vdo Automotive Ag | Compressor casing for an exhaust gas turbocharger |
DE102006029980A1 (de) * | 2006-06-29 | 2008-01-03 | Robert Bosch Gmbh | Sensoranordnung |
US7516646B2 (en) | 2007-01-31 | 2009-04-14 | Honda Motor Co., Ltd. | Impact test apparatus |
DE102011002739A1 (de) * | 2011-01-17 | 2012-07-19 | Zf Friedrichshafen Ag | Verfahren zum Herstellen einer Sensorvorrichtung, Verfahren zum Herstellen einer Sensorbaugruppe, Sensorvorrichtung und Sensorbaugruppe |
DE102011003239A1 (de) | 2011-01-27 | 2012-08-02 | Zf Friedrichshafen Ag | Sensormodul, Montageelement und Verfahren zum Herstellen eines Sensormoduls |
DE102011003239B4 (de) | 2011-01-27 | 2023-06-07 | Zf Friedrichshafen Ag | Sensormodul, Montageelement und Verfahren zum Herstellen eines Sensormoduls |
DE102011081222B4 (de) | 2011-08-19 | 2022-12-15 | Zf Friedrichshafen Ag | Sensorbaugruppe |
DE102011081222A1 (de) * | 2011-08-19 | 2013-02-21 | Zf Friedrichshafen Ag | Verfahren zur Herstellung einer Sensorbaugruppe sowie eine solche |
DE102013224366A1 (de) | 2013-11-28 | 2015-05-28 | Robert Bosch Gmbh | Verbindungsanordnung und Verfahren zum Herstellen einer Verbindungsanordnung |
US10060770B2 (en) | 2013-12-16 | 2018-08-28 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Rotational speed sensor which is installed in a mechanically overdetermined manner with an elastic injection-moulded encapsulation |
DE102013226045A1 (de) * | 2013-12-16 | 2015-06-18 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Mechanisch überbestimmt verbauter Drehzahlsensor mit elastischer Umspritzung |
WO2015117717A1 (de) * | 2014-02-06 | 2015-08-13 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur herstellung einer sensoreinheit für ein fahrzeug und sensoreinheit für ein fahrzeug |
DE102014208595A1 (de) * | 2014-05-08 | 2015-11-12 | Zf Friedrichshafen Ag | Kunststoffumspritzte Anordnung zum Halten zumindest eines Sensors |
WO2017054960A1 (de) * | 2015-10-01 | 2017-04-06 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum herstellen einer sensoranordnung für ein getriebesteuergerät |
WO2019057463A1 (de) * | 2017-09-19 | 2019-03-28 | Robert Bosch Gmbh | Halter für eine sensoreinheit |
US11248937B2 (en) | 2017-09-19 | 2022-02-15 | Robert Bosch Gmbh | Holder for a sensor unit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1930481B (zh) | 2010-08-11 |
CN1930481A (zh) | 2007-03-14 |
WO2005085875A1 (de) | 2005-09-15 |
US20070001664A1 (en) | 2007-01-04 |
EP1725879A1 (de) | 2006-11-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8141 | Disposal/no request for examination | ||
R005 | Application deemed withdrawn due to failure to request examination |
Effective date: 20110308 |