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Hintergrund der Erfindung
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1. Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Tablettüberführungsvorrichtung nach dem
Oberbegriff von Anspruch 1. Eine solche Tablettüberführungsvorrichtung ist aus der
offengelegten koreanischen Patentanmeldung
KR 10 2000 0 052 473 A bekannt.
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Die
Erfindung betrifft insbesondere eine verbesserte Tablettüberführungsvorrichtung,
die Halbleitervorrichtungen während
des Überführungsvorganges
eines Handling- bzw. Transporttabletts nicht vom Transporttablett
getrennt sicher überführen kann durch
Ergreifen eines fixierten bzw. feststehenden Tabletts durch ein
erstes Fixierelement, Korrigieren der Rechts-/Links-Neigung des
eingespannten fixierten Tabletts durch ein Korrekturmittel und Bedecken des
oberen Teils des Transporttabletts mit dem eingespannten fixierten
Tablett.
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2. Beschreibung des Standes der Technik
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Die
Druckschrift
US 6 082
547 A offenbart eine Trägeranordnung,
die als Vorrichtung zum Überführen eines
Transporttabletts geeignet ist, auf dem elektronische Bauteile montiert
sind. Die bekannte Trägeranordnung
weist einen Kunststoffrahmen auf, an dem Fixiermittel in der Gestalt
von Federelementen befestigt sind, die derart ausgelegt sind, ein
Tablett relativ zum Hauptrahmen zu fixieren und zu halten, und zwar
indem zumindest zwei gegenüberliegende
Seitenkanten des fixierten Tabletts eingespannt werden.
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Die
Druckschrift
US 5 203
452 A offenbart eine Trägerstruktur,
in der einzelne Segmente zur Aufnahme von elektronischen Bauteilen
nebeneinander als Matrix angeordnet sind. Dabei ist vorgesehen, dass
mehrere Trägerstrukturen
untereinander angeordnet werden können.
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Die
Druckschrift
US
2003/0 209 466 A1 offenbart ein Tablett für elektronische
Bauteile, das derart ausgelegt ist, dass mehrere Tabletts übereinander gestapelt
werden können.
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WO 2004/029 584 A1 beschreibt
eine automatisierte Vorrichtung zur Handhabung und Einbettung von
Gewebeproben auf Trägern
zur Weiterverarbeitung in einem Mikrotom.
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Im
allgemeinen werden an Halbleitervorrichtungen, die in Fertigungslinien
hergestellt wurden, vor dem Ausliefern Tests zur Feststellung von
Fehlern durchgeführt.
Es wird eine horizontale Handhabungsvorrichtung bzw. ein Handler
verwendet, um logische Vorrichtungen zu testen, wie z. B. Quad-Flat-Packages (QFP), Ball-Grid-Arrays
(BGA), Pin-Grid-Arrays (PGA) und Bauelemente mit kleinen Abmessungen
bzw. Small-Outline-Packages (SOP), die Nichtspeicher-Halbleiterbauelemente
unter den Halbleiterbauelementen sind.
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Der
horizontale Handler bewegt automatisch zwischen den Verfahren bzw.
Bearbeitungsgängen die
Vorrichtungen in horizontaler Richtung auf einem Tablett, befestigt
die Vorrichtungen auf einem horizontal angeordneten Testsockel einer
Teststelle, führt einen
gewünschten
Test daran durch, klassifiziert die Vorrichtungen gemäß den Testergebnissen
in verschiedene Niveaus und entlädt
die Vorrichtungen auf das Tablett.
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Andererseits
gab es in letzter Zeit einen steigenden Bedarf an Halbleitervorrichtungen,
die sicher in einer speziellen Temperaturumgebung, wie z. B. in einer
Hoch- oder Tieftemperaturumgebung, sowie in einer Normaltemperaturumgebung
betrieben werden. Folglich ist der horizontale Handler auch erforderlich,
um Leistungsparameter der Halbleitervorrichtungen bei einer von
Benutzern gewünschten Temperatur
zu testen.
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Um
die Halbleitervorrichtungen bei Hoch- oder Tieftemperatur zu testen,
muss das Tablett, auf dem die Halbleitervorrichtungen angeordnet
sind, sicher überführt werden.
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In
dem Fall, dass die klein bemessenen Halbleitervorrichtungen durch
ein Transporttablett überführt werden,
das im Handler getestet werden soll, werden die Halbleitervorrichtungen
oft verstreut oder vom Transporttablett gestoßen.
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Dies
resultiert aus der kleinen Größe (geringem
Gewicht) der Halbleitervorrichtungen.
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Eine
herkömmliche
Tablettüberführungsvorrichtung
wurde in der koreanischen offengelegten Patentanmeldung
KR 10 2000 0 052 473
A offenbart.
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Die
herkömmliche
Tablettüberführungsvorrichtung
zum Überführen des
Tabletts in den Handler wird nun mit Bezug auf 1 erklärt.
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1 ist
eine schematische perspektivische Ansicht, die die herkömmliche
Tablettüberführungsvorrichtung
darstellt.
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Mit
Bezug auf 1 wird eine Basisplatte 10 in
Richtung der X-Achse durch Drehung einer Kugelspindel 11 bewegt,
die auf der Basisplatte 10 in Richtung der X-Achse installiert
ist. Zwei Tafeln erster und zweiter Trägerplatten 20 und 30 sind
auf Linearführungen 12 installiert,
die sich in Richtung der Z-Achse auf einer Oberfläche der
Basisplatte 10 erstrecken.
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Die
ersten und zweiten Trägerplatten 20 und 30 werden
hier in Richtung der Z-Achse
durch Antreiben erster und zweiter Zylinder 21 und 31 bewegt,
die unter ihnen angeordnet sind. Eine Vielzahl von Führungsstiften 22 sind
in geeigneter Weise an den Kanten des oberen Teils der ersten Trägerplatte 30 angeordnet
und führen
dadurch die Kanten des Tabletts 1, so dass es sicher an
der ersten Trägerplatte 30 montiert
ist.
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Haken 32 sind
zusätzlich
an den Kanten des unteren Teils der zweiten Trägerplatte 30 angeordnet,
um das Tablett 1 festzuklemmen.
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Eine
Hakenvorrichtung 33, die mit den oberen Teilen der Haken 32 der
zweiten Trägerplatte 30 verbunden
ist, dreht die Haken 32 zur Innenseite/Außenseite
der zweiten Trägerplatte 30.
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Ein
Zylinder 34, der mit einem Ende der Hakenvorrichtung 33 verbunden
ist, treibt die Hakenvorrichtung 33 an.
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Die
Hakenvorrichtung 33 enthält einen H-förmigen Rahmen 33a,
vier Stifte 33b, die so installiert sind, dass sie einander
an beiden Enden des Rahmens 33a gegenüberliegen, und vier Wellen 33c,
die drehbar mit je einem Stift 33b verbunden sind. Die Haken 32 werden
durch die Hakenvorrichtung 33 in der Vorwärts-/Rückwärtsrichtung
gedreht, um das Tablett 1 festzuklemmen/freizugeben.
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Die
ersten und zweiten Trägerplatten 20 und 30 erfassen
die An- bzw. Abwesenheit des Tabletts 1 durch Näherungssensoren 23 und 35,
die an ihren Außenseiten
angeordnet sind.
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Die
herkömmliche
Tablettüberführungsvorrichtung
kann das leere Tablett 1 durch Verwendung der ersten Trägerplatte 20,
und das Tablett 1, auf dem elektronische Komponenten (nicht
dargestellt) angeordnet sind, durch Verwendung der zweiten Trägerplatte 30 überführen.
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Die
zweite Trägerplatte
der herkömmlichen Tablettüberführungsvorrichtung
verwendet die Haken, die durch die Hakenvorrichtung gedreht werden, um
das Tablett festzuklemmen. Die Haken halten jedoch nicht das ganze
Tablett präzise,
sondern stützen
die Bodenfläche
des Tabletts. Folglich wird die Position des Tabletts, wenn es überführt wird,
durch Erschüttern
der Vorrichtung geändert.
Als Folge kann eine Aufnahmevorrichtung zur Aufnahme der elektronischen
Bauteile die elektronischen Bauelemente nicht präzise aufnehmen.
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Zusätzlich überführt die
herkömmliche
Tablettüberführungsvorrichtung
gleichzeitig das Tablett, auf dem die elektronischen Bauelemente
angeordnet sind, und das leere Tablett in den festgeklemmten und
montierten Zuständen.
Deshalb ist die herkömmliche
Tablettüberführungsvorrichtung
aufgrund der komplizierten Struktur nicht leicht zu installieren.
Das Gewicht der Vorrichtung nimmt auch zu.
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Die
herkömmliche
Tablettüberführungsvorrichtung
verwendet ferner viele Komponenten zum Überführen des Tabletts, was die
Herstellungskosten erhöht.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung hat es geschafft, die obigen Probleme zu lösen. Folglich
ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Tablettüberführungsvorrichtung
zu schaffen, die es verhindern kann, dass auf einem Transporttablett
angeordnete Halbleitervorrichtungen während des Überführungsvorganges des Transporttabletts
durch die Überführungsvorrichtung
verstreut oder getrennt werden, indem sie ein fixiertes Tablett
durch erste und zweite Fixierelemente erfasst, die Rechts-/Links-Neigung des
festgeklemmten Tabletts durch ein Korrekturmittel korrigiert und
den oberen Teil des Transporttabletts bedeckt.
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Um
die oben beschriebene Aufgabe der Erfindung zu lösen, ist eine Tablettüberführungsvorrichtung
zum Überführen eines
Tabletts, auf dem elektronische Bauelemente angeordnet sind, vorgesehen, enthaltend:
einen Hauptrahmen; mindestens ein Fixiermittel, das am Grundrahmen
installiert ist, um ein fixiertes Tablett zu halten, wobei das Fixiermittel
eine erste Fixiereinheit, die auf einer Seite des Grundrahmens installiert
ist, um ein Ende des fixierten Tabletts zu halten, und eine zweite
Fixiereinheit, die auf der anderen Seite des Grundrahmens installiert
ist, um das andere Ende des fixierten Tabletts zu halten; zweite
optische Sensoren, welche an beiden Seiten des Hauptrahmens installiert
sind, um das Vorhandensein/die Abwesenheit des Transporttabletts
zu erfassen, mindestens ein Korrekturmittel, das im Grundrahmen
installiert ist, um Rechts-/Links-Neigungen des durch das Fixiermittel
gehaltenen fixierten Tabletts zu korrigieren; ein Greifermittel,
das am Hauptrahmen installiert ist und eine Greifereinheit zum Ergreifen
des Transporttabletts, eine Antriebseinheit zum Antrieb der Greifereinheit
und eine Führungseinheit
zum Führen
der Greifereinheit enthält, wobei
die Greifereinheit eine Vielzahl von Greifern zum Ergreifen des
Transporttabletts und eine Vielzahl von Greiferplatten enthält, an denen
die Greifer installiert sind, wobei die Greifer an den Greiferplatten
befestigt sind und die Greiferplatten die Greifer bewegen; und mindestens
einen am oberen Teil des Hauptrahmens installierten ersten optischen
Sensor, zum Wahrnehmen der Greiferplatten.
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Die
erste Fixiereinheit enthält:
einen Stift, der auf einer Seite des Grundrahmens installiert ist;
eine Spannfeder, deren eines Ende am Stift angebracht ist; ein erstes
Fixierelement, das am anderen Ende der Spannfeder installiert ist,
um ein Ende des fixierten Tabletts direkt elastisch zu ergreifen,
wobei ein Schlitz innerhalb des ersten Fixierelements gebildet ist;
und ein Gleitelement, das so installiert ist, dass es in den Schlitz
gleitbar ist, um das bewegte erste Fixierelement zu führen.
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Eine
Hakenbacke ist an einem Ende des ersten Fixierelements gebildet,
so dass das fixierte Tablett daran eingehakt und festgeklemmt werden
kann.
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Die
zweite Fixiereinheit enthält:
ein zweites Fixierelement, das auf der anderen Seite eines Grundrahmens
installiert ist, um das andere Ende des fixierten Tabletts direkt
zu halten, und ein Befestigungselement zum Installieren des zweiten
Fixierelements am Grundrahmen.
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Das
zweite Fixierelement ist "L"-förmig ausgebildet.
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Das
Korrekturmittel enthält:
eine Platte, die am oberen Teil des Grundrahmens installiert ist;
eine Druckfeder, die am unteren Teil der Platte installiert ist;
einen Abstandshalter, der im unteren Teil der Druckfeder installiert
ist, um das fixierte Tablett durch die Elastizität der Druckfeder direkt elastisch
zu korrigieren; und ein Befestigungselement, um die Platte, die
Druckfeder und den Abstandshalters am Grundrahmen zu kuppeln und
zu installieren.
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Die
Vielzahl der Greiferplatten ist an den rechten und linken Seiten
des Hauptrahmens angeordnet und die Vielzahl der Greifer ist an
den rechten und linken Seiten des Grundrahmens zum Ergreifen des
Transporttabletts angeordnet und an der Vielzahl der Greiferplatten
installiert.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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Die
vorliegende Erfindung wird mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen
besser verständlich, die
nur zur Darstellung gegeben sind und daher die vorliegende Erfindung
nicht beschränken,
und in denen
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1 eine
schematische perspektivische Ansicht ist, die eine herkömmliche
Tablettüberführungsvorrichtung
darstellt;
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2 eine
perspektivische Ansicht ist, die einen demontierten Zustand einer
Greifereinheit einer Tablettüberführungsvorrichtung
gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt;
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3 eine
perspektivische Ansicht ist, die erste und zweite Fixiereinheiten
eines Fixiermittels der Tablettüberführungsvorrichtung
zeigt;
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4a eine
perspektivische Ansicht ist, die einen Zustand darstellt, in dem
ein feststehendes Tablett an der ersten und zweiten Fixiereinheit
der Tablettüberführungsvorrichtung
fixiert ist;
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4b eine
perspektivische Ansicht ist, die einen Zustand darstellt, in dem
ein feststehendes Tablett an der ersten und zweiten Fixiereinheit
fixiert ist und Greifer in der Tablettüberführungsvorrichtung geöffnet sind;
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4c eine
perspektivische Ansicht ist, die einen Zustand darstellt, in dem
ein Transporttablett durch die geöffneten Greifer der Tablettüberführungsvorrichtung
eingeklemmt ist;
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4d eine
perspektivische Ansicht ist, die einen Zustand darstellt, in dem
das Transporttablett durch die geschlossenen Greifer der Tablettüberführungsvorrichtung
festgeklemmt ist;
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5a eine
Ansicht von links ist, die einen Zustand darstellt, in dem das feststehende
Tablett an der ersten und zweiten Fixiereinheit der Tablettüberführungsvorrichtung
fixiert ist;
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5b eine
Ansicht von links ist, die einen fixierten Zustand des feststehenden
Tabletts an der ersten und zweiten Fixiereinheit der Tablettüberführungsvorrichtung
darstellt;
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6a eine
Vorderansicht ist, die einen Zustand darstellt, in dem das Transporttablett
durch die geöffneten
Greifer der Tablettüberführungsvorrichtung
eingeklemmt ist; und
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6b eine
Vorderansicht ist, die einen Zustand darstellt, in dem das Transporttablett
durch die geschlossenen Greifer der Tablettüberführungsvorrichtung festgeklemmt
ist.
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Detaillierte Beschreibung
der bevorzugten Ausführungsformen
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Es
wird nun eine Tablettüberführungsvorrichtung
gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung im Detail mit Bezug auf die beiliegenden
Zeichnungen beschrieben.
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2 ist
eine perspektivische Ansicht, die einen demontierten Zustand einer
Greifereinheit der Tablettüberführungsvorrichtung
gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt, und 3 ist eine perspektivische Ansicht,
die eine erste und zweite Fixiereinheit eines Fixiermittels der
Tablettüberführungsvorrichtung
zeigt.
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4a ist
eine perspektivische Ansicht, die einen Zustand zeigt, in dem ein
fixiertes Tablett an der ersten und zweiten Fixiereinheit der Tablettüberführungsvorrichtung
fixiert ist, 4b ist eine perspektivische
Ansicht, die einen Zustand darstellt, in dem das fixierte Tablett
an der ersten und zweiten Fixiereinheit fixiert ist und Greifer
in der Tablettüberführungsvorrichtung
geöffnet
sind, 4c ist eine perspektivische
Ansicht, die einen Zustand darstellt, in dem ein Transporttablett
durch die geöffneten
Greifer der Tablettüberführungsvorrichtung
festgeklemmt ist, und 4d ist eine perspektivische
Ansicht, die einen Zustand darstellt, in dem das Transporttablett durch
die geschlossenen Greifer der Tablettüberführungsvorrichtung festgeklemmt
ist.
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5a ist
eine Ansicht von links, die einen Zustand darstellt, in dem das
fixierte Tablett an der ersten und zweiten Fixiereinheit der Tablettüberführungsvorrichtung
fixiert ist, und 5b ist eine Ansicht von links,
die einen fixierten Zustand des fixierten Tabletts an der ersten
und zweiten Fixiereinheit der Tablettüberführungsvorrichtung darstellt.
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6a ist
eine Vorderansicht, die einen Zustand darstellt, in dem das Transporttablett
durch die geöffneten
Greifer der Tablettüberführungsvorrichtung
eingeklemmt ist, und 6b ist eine Vorderansicht, die
einen Zustand darstellt, in dem das Transporttablett durch die geschlossenen
Greifer der Tablettüberführungsvorrichtung
festgeklemmt ist.
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Wie
in den 2 bis 6b dargestellt, enthält eine
Tablettüberführungsvorrichtung 100 einen Hauptrahmen 110,
ein Fixiermittel, das am oberen Teil eines Grundrahmens 110a installiert
ist, um ein fixiertes Tablett T1 zu halten und zu fixieren, ein
Korrekturmittel 140 zum Korrigieren des fixierten Tabletts T1,
das durch das Fixiermittel F fixiert ist, ein Greifermittel 200,
das am oberen Teil des Hauptrahmens 110 installiert ist,
um ein Transporttablett T2 zu ergreifen und es an den unteren Teil
des fixierten Tabletts T1 anzuheften, und einen Sensor 300 zum
Erfassen der Greifermittel 200 und des Transporttabletts
T2, das durch die Greifermittel 200 festgeklemmt ist.
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Eine
kurze Backeneinheit 111 ist an einem Ende des Grundrahmens 110a gebildet,
und eine Befestigungsnut 111a ist an der kurzen Backeneinheit 111 gebildet.
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Das
Fixiermittel enthält
eine erste Fixiereinheit 120, die an einer Seite des Grundrahmens 110a installiert
ist, um ein Ende des fixierten Tabletts T1 zu halten, und eine zweite
Fixiereinheit 130, die an der anderen Seite des Grundrahmens 110a installiert
ist, um das andere Ende des fixierten Tabletts T1 zu halten.
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Die
erste Fixiereinheit 120 enthält einen Stift 121,
der an einer Seite des Grundrahmens 110a installiert ist,
eine Spannfeder 122, deren eines Ende am Stift 121 angebracht
ist, ein erstes Fixierelement 123, das am anderen Ende
der Spannfeder 122 installiert ist, um ein Ende des fixierten
Tabletts T1 direkt elastisch zu ergreifen, wobei ein Schlitz 123a innerhalb
des ersten Fixierelements 123 gebildet ist, und ein Gleitelemente 124 so
installiert ist, dass es in den Schlitz 123A gleitbar ist,
um das bewegte erste Fixierelement 123 zu führen.
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Eine
Hakenbacke 123b ist an einem Ende des ersten Fixierelements 123 so
gebildet, dass das fixierte Tablett T1 daran eingehakt und festgeklemmt werden
kann. Folglich kann ein Ende des fixierten Tabletts T1 sicher gehalten
und fixiert werden.
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Die
zweite Fixiereinheit 130 enthält ein zweites Fixierelement 131,
das an der anderen Seite des Grundrahmens 110a installiert
ist, um das andere Ende des fixierten Tabletts T1 direkt zu halten,
und ein Befestigungselement 132 zum Befestigen des zweiten
Fixierelements 131 am Grundrahmen 110a.
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Die
zweite Fixiereinheit 130 ist durch das Befestigungselement 132 mit
der Befestigungsnut 111a gekuppelt, die an der kurzen Backeneinheit 111 des Grundrahmens 110a gebildet
ist, und ist so an der kurzen Backeneinheit 111 angebracht.
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Das
zweite Fixierelement 131 ist "L"-förmig ausgebildet,
um das andere Ende des fixierten Tabletts T1 sicher zu halten und
zu fixieren.
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Mindestens
ein Korrekturmittel 140 ist im Zentrum des Grundrahmens 110a installiert,
um das fixierte Tablett T1 zu halten und um die Rechts-/Links-Neigung des fixierten
Tabletts T1 zu korrigieren.
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Das
Korrekturmittel 140 enthält eine Platte 141,
die am oberen Teil des Grundrahmens 110a installiert ist,
wobei eine Druckfeder 142 am unteren Teil der Platte 141 angebracht
ist, einen Abstandshalter 143, der am unteren Teil der
Druckfeder 142 angebracht ist, um das fixierte Tablett
T1 durch die Elastizität
der Druckfeder 142 direkt elastisch zu korrigieren, und
ein Befestigungsmittel 144, um die Platte 141,
die Druckfeder 142 und den Abstandshalters 143 mit
dem Grundrahmen 110a zu verbinden und an diesem anzubringen.
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Die
Greifermittel 200 enthalten eine Greifereinheit 210 zum
Ergreifen des Transporttabletts T2, eine Antriebseinheit 220 zum
Antrieb der Greifereinheit 210 und eine Führungseinheit 230 zum
Führen der
Greifereinheit 210.
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Die
Greifereinheit 210 enthält
eine Vielzahl von Greifern 211 zum Ergreifen des Transporttabletts T2
und eine Vielzahl von Greiferplatten 212, an denen die
Greifer 211 installiert sind. Die Greiferplatten 212 bewegen
hier die Greifer 211.
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Die
Vielzahl von Greifern 211, die an der rechten Seite angeordnet
sind, und die Vielzahl von Greifern 211, die an der linken
Seite angeordnet sind, sind an den rechten und linken Seiten des
Hauptrahmens 110 so installiert, dass sie einander gegenüberliegen,
um gleichzeitig das rechte und linke Ende des Transporttabletts
T2 zu ergreifen.
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Die
Vielzahl der Greiferplatten 212, die an der rechten Seite
des Hauptrahmens 110 angeordnet sind, und die Vielzahl
der Greiferplatten 212, die an der linken Seite des Hauptrahmens
angeordnet sind, sind so installiert, dass sie einander gegenüberliegen.
Die Greifer 211, die an der rechten Seite des Grundrahmens 110a angeordnet
sind, sind hier an den Greiferplatten 212 an der rechten
Seite des Hauptrahmens 110 angeordnet, und die Greifer,
die an der linken Seite des Grundrahmens 110a angeordnet
sind, sind an den Greiferplatten 212 installiert, die an
der linken Seite des Hauptrahmens 110 angeordnet sind.
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Die
Antriebseinheit 220 enthält eine Kugelspindel 221 zum
Bewegen der Greifereinheit 210, und einen Zylinder 222 zum
Antreiben der Kugelspindel 221.
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Die
mehreren Kugelspindeln 221 sind an den rechten und linken
Seiten des Zylinders 222 installiert, damit sie zueinander
symmetrisch sind, und werden durch das Antreiben des Zylinders 222 in
der gleichen Richtung gedreht.
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Gewinde
bzw. Spiralen (nicht dargestellt), die an den äußeren Umfangsflächen jeder
Kugelspindel 221 gebildet sind, sind hier symmetrisch zueinander,
und so werden die Kugelspindeln 221 in der gleichen Richtung
gedreht, so dass die Greiferplatten 212, die an den Kugelspindeln 221 installiert sind
und bewegt werden, geöffnet
oder geschlossen werden können.
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Die
Führungseinheit 230 enthält eine
Stange 231 zum Bewegen der Greiferplatte 212 der
Greifereinheit 210 und einen Führungsblock 232 zum
Führen
der Stange 231. Die Greiferplatte 212 kann durch die
Stange 231 horizontal bewegt werden.
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Der
Sensor 300 ist ein optischer Sensor. Es ist mindestens
ein optischer Sensor 300 installiert, der einen ersten
und zweiten optischen Sensor 310 und 320 aufweist.
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Der
erste optische Sensor 310 ist am oberen Teil des Hauptrahmens 110 zum
Erfassen der Greiferplatte 212 installiert. Mehrere erste
optische Sensoren 310 sind installiert, um die mehreren
Greiferplatten 212 gleichzeitig wahrzunehmen. Die zweiten optischen
Sensoren 320 sind an beiden Seiten des Hauptrahmens 110 installiert,
um das Vorhandensein/die Abwesenheit des Transporttabletts T2 wahrzunehmen.
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Ein
Geschwindigkeitssteuerventil 400 zum Steuern eines Druckluftvolumens
und das Zuführen von
Druckluft zum Zylinder 222 ist an einer Seite des Hauptrahmens 110 installiert.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung kann die Tablettüberführungsvorrichtung 100 bei
Stapelvorrichtungen (nicht dargestellt) angewendet werden, um die
Transporttabletts T, auf denen Halbleitervorrichtungen im üblichen
Handler angeordnet sind, zu stapeln.
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Die
Struktur und der Betrieb der Tablettüberführungsvorrichtung 100 wird
nun detaillierter beschrieben.
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Die
Tablettüberführungsvorrichtung 100 ist so
installiert, dass sie die Transporttabletts T2 auf die/von der Vielzahl
der Stapelvorrichtungen des Handlers be- oder entlädt.
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Ein
fixiertes Tablett T1 ist an der ersten und zweiten Fixiereinheit 120 und 130 des
Fixiermittels fixiert, das am Grundrahmen 110a der Tablettüberführungsvorrichtung 100 installiert
ist. Ein Ende des fixierten Tabletts T1 ist in die zweite Fixiereinheit 130 eingesetzt,
und das andere Ende davon ist in die erste Fixiereinheit 120 eingesetzt.
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Die
zweite Fixiereinheit 130 ist "L"-förmig ausgebildet,
und die Hakenbacke 123b ist an einem Ende des ersten Fixierelements 123 der
ersten Fixiereinheit 120 gebildet und ergreift dadurch
sicher das fixierte Tablett T1. Das elastische Element 122 ist an
der ersten Fixiereinheit 120 installiert, so dass das fixierte
Tablett T1 durch die ersten und zweiten Fixiereinheiten 120 und 130 elastisch
gehalten und fixiert werden kann.
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Das
feststehende Tablett T1, das durch die ersten und zweiten Fixiereinheiten 120 und 130 fixiert ist,
wird dank des im mittleren Teil des Grundrahmens 110a installierten
Korrekturmittels 140 nicht zur rechten/linken Seite geneigt,
sondern horizontal gehalten.
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Wenn
der Zylinder 222 des Greifermittels 200 angetrieben
wird, werden die Kugelspindeln 221, die mit beiden Seiten
des Zylinders 222 verbunden sind, gedreht. Die Vielzahl
der Greiferplatten 212 wird vom Zylinder 222 mehr
entfernt, und so wird die Vielzahl der Greifer 211, die
an den Greiferplatten 212 angebracht sind, geöffnet.
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Die
geöffneten
Greifer 211 werden durch die Kugelspindeln 211 geschlossen,
die in der Rückwärtsrichtung
durch einen umgekehrten Antrieb des Zylinders 222 gedreht
werden, um das Transporttablett T2 festzuklemmen, auf dem die elektronischen Bauteile
angeordnet sind.
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Wenn
das Transporttablett T2 durch den zweiten optischen Sensor 320 wahrgenommen
wird, werden die Greifer 211 geschlossen. Der Schließbetrieb
der Greifer 211 wird durch den ersten optischen Sensor 310 gestoppt.
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Der
obere Teil des Transporttabletts T2 wird mit dem unteren Teil des
fixierten Tabletts T1 bedeckt. Als Folge können die elektronischen Bauteile, die
auf dem Transporttablett T2 angeordnet sind, sicher in den fixierten
Positionen angeordnet werden.
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Bei
der Tablettüberführungsvorrichtung 100 wird
das Transporttablett T2 in eine vorbestimmte Position bewegt, wenn
das Transporttablett T2, auf dem die elektronischen Bauteile montiert
sind, festgeklemmt wird.
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Die
Tablettüberführungsvorrichtung 100 kann
bei den Stapelvorrichtungen des üblichen Handlers
angewendet werden, um das Transporttablett, auf dem die elektronischen
Bauteile angeordnet sind, genau zu be- oder entladen.
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Wie
zuvor erörtert,
verhindert gemäß der vorliegenden
Erfindung die Tablettüberführungsvorrichtung,
dass die Halbleitervorrichtungen, die auf dem Transporttablett angeordnet
sind, während
des Überführungsbetriebes
des Transporttabletts verstreut oder getrennt werden, indem die
Neigung des fixierten Tabletts durch das Korrekturmittel korrigiert
wird und der obere Teil des Transporttabletts mit dem fixierten
Tablett bedeckt wird.