DE102004005376B4

DE102004005376B4 - Location system of transport units

Info

Publication number: DE102004005376B4
Application number: DE200410005376
Authority: DE
Inventors: Markus Dierkes; Kai Millarg; Stephan Eisen
Original assignee: INTELLION AG
Current assignee: INTELLION AG
Priority date: 2004-02-03
Filing date: 2004-02-03
Publication date: 2011-12-22
Anticipated expiration: 2024-02-04
Also published as: DE102004005376A1

Abstract

Vorrichtung zur Ortung von Transporteinheiten mit einer Trägerschiene (1), mit mehreren an der Trägerschiene (1) befestigten Sendeeinheiten und/oder Empfangseinheiten (12a, b, c, d, 39, 40, 51), mit Mitteln zur Befestigung (20, 21, 22, 31a, b, c, d, 32) der Trägerschiene (1) an einer Decke (23) oder Wand, wobei die Trägerschiene (1) Mittel zur elektrischen Versorgung und/oder Ansteuerung (16, 35, 36, 37, 41) der Sendeeinheiten und/oder Empfangseinheiten aufweist, wobei wenigstens eine Sendeeinheit und/oder Empfangseinheit mit Mitteln zur Funkübertragung von Signalen (12a, b, c, d, 39) und wenigstens eine Sendeeinheit und/oder Empfangseinheit mit Mitteln zur Übertragung von Ultraschall (40, 51) vorgesehen sind, wobei die Trägerschiene (1) in Längsrichtung ein im Wesentlichen dreieckförmiges Querschnittsprofil aufweist.Device for locating transport units with a carrier rail (1), with a plurality of transmitting units and / or receiving units (12a, b, c, d, 39, 40, 51) fastened to the carrier rail (1), with means for fastening (20, 21 , 22, 31a, b, c, d, 32) of the support rail (1) on a ceiling (23) or wall, the support rail (1) having means for electrical supply and / or control (16, 35, 36, 37, 41) of the transmission units and / or reception units, at least one transmission unit and / or reception unit with means for radio transmission of signals (12a, b, c, d, 39) and at least one transmission unit and / or reception unit with means for transmission of ultrasound ( 40, 51) are provided, the carrier rail (1) having an essentially triangular cross-sectional profile in the longitudinal direction.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Ortung von Transporteinheiten sowie ein Verfahren zu dessen Anbringung. Ortungssysteme für Transporteinheiten, beispielsweise Losboxen, finden insbesondere dort Anwendung, wo ein Herstellungsprozess nicht kontinuierlich ablaufen kann. Beispielsweise ist dies bei so genannten build-to-customer-Herstellungsverfahren beispielsweise in der Automobil-, Computer- oder Halbleiterindustrie der Fall. Darüber hinaus sind solche logistischen Systeme jedoch nicht auf Herstellungsverfahren beschränkt, sondern ähnliche Anforderungen sind beispielsweise bei Bibliotheken, Aktenlagersystemen und dergleichen gegeben. Die Transporteinheit nimmt zum Beispiel gleichartig zu behandelnde Werkstücke auf.The present invention relates to a device for locating transport units and a method for its attachment. Locating systems for transport units, for example, Losboxen, find particular application where a manufacturing process can not run continuously. For example, this is the case in so-called build-to-customer manufacturing processes, for example in the automotive, computer or semiconductor industries. In addition, however, such logistical systems are not limited to manufacturing methods, but similar requirements are given for example in libraries, file storage systems and the like. The transport unit takes, for example, similar to be treated workpieces.

Aus der DE 196 41 127 A1 Ist beispielsweise eine Reinraumdecke mit Filtereinheiten bekannt, die in einer Deckentragvorrichtung angeordnet sind und Filterelemente mit Tragrahmen aufweisen, die an Haltern der Deckentragvorrichtung abgestützt sind. Gemäß einer Ausführungsform weist die Tragvorrichtung wenigstens eine Empfangs/Sende-Diode, beispielsweise eine IR-Diode, sowie eine mit dieser verbundenen Sende-Empfangselektronik auf. Mittels der Sende-Empfänger-Einheit können im Reinraum befindliche Geräte, Vorrichtungen und dergleichen ferngesteuert und/oder mit Daten versorgt werden. Es ist auch möglich, von den Geräten, Vorrichtungen und dergleichen entsprechende Signale an die Sende-Empfangs-Einheit zu senden.From the DE 196 41 127 A1 For example, a clean room ceiling with filter units is known, which are arranged in a ceiling support device and having filter elements with support frame, which are supported on holders of the ceiling support device. According to one embodiment, the carrying device has at least one receiving / transmitting diode, for example an IR diode, and a transceiver connected thereto. By means of the transceiver unit located in the clean room devices, devices and the like can be remotely controlled and / or supplied with data. It is also possible to send signals corresponding to the devices, devices and the like to the transceiver unit.

Die DE 100 07 021 A1 offenbart eine Überwachungseinrichtung mit einer Kamera, die auf einer profilierten Schiene ortsveränderlich gehalten wird.The DE 100 07 021 A1 discloses a monitoring device with a camera which is held in place on a profiled rail.

Aus der DE 298 19 840 U1 ist ferner eine Haltevorrichtung für Sensoren zur Endlagen- und Grenzwerterfassung von beweglichen Maschinenteilen bekannt, wobei wenigstens ein Sensor beweglich an der Haltevorrichtung angeordnet ist. Der Sensor kann zum Beispiel ein optischer, akustischer, induktiver oder kapazitiver Sensor sein kann. Ebenfalls wird die Aufnahme von Kabelführungen oder sonstigen Kabeln in einem ausreichend großen Schienenkörper beschrieben.From the DE 298 19 840 U1 Furthermore, a holding device for sensors for end position and limit detection of moving machine parts is known, wherein at least one sensor is movably arranged on the holding device. The sensor may be, for example, an optical, acoustic, inductive or capacitive sensor. Also, the inclusion of cable guides or other cables in a sufficiently large rail body is described.

Die DE 79 16 322 U1 offenbart einen opto-elektronischen Abstandstaster mit einer V-Lichtschranke, die aus einem ein Im wesentlichen paralleles Lichtbündel unter einem definierten Winkel aussendenden Lichtsender und einem ein im wesentlichen paralleles Bündel unter einem definierten Winkel empfangenden und ein von dessen Lichtintensität abhängiges elektrisches Ausgangssignal liefernden Lichtempfänger besteht. Der Lichtsender und der Lichtempfänger sind an einer beispielsweise an der Decke eines Gebäudes befestigbaren Montageschiene in Längsrichtung der Schiene verschiebbar angeordnet. Ferner weist die Montageschiene einen sich in ihrer Längsrichtung erstreckenden Hohlraum zur Unterbringung der elektrischen Anschlusskabel auf.The DE 79 16 322 U1 discloses an opto-electronic distance sensor with a V-light barrier, which consists of a light emitter emitting a substantially parallel light beam at a defined angle and a light receiver receiving a substantially parallel beam at a defined angle and an electrical output signal dependent on its light intensity. The light emitter and the light receiver are displaceably arranged in the longitudinal direction of the rail on a mounting rail fastened, for example, to the ceiling of a building. Furthermore, the mounting rail has a cavity extending in its longitudinal direction for accommodating the electrical connection cables.

Vollautomatische, starre Transportsystemen haben sich für diese mehr kundenspezifisch bzw. individuell ausgerichteten Herstellungsverfahren bzw. Transportsysteme als ungeeignet erwiesen. Vielmehr erfordern diese eine hohe Flexibilität in der Zustellung von Transporteinheiten zur nächsten Bearbeitungsstelle, wie es beispielswelse der Fall Ist, wenn es gilt, dringend zu bearbeitende Transporteinheiten vorzuziehen und beschleunigt zu bearbeiten. Neben einer weitreichenden Planung der Transportvorgänge ist die möglichst genaue Ortung der einzelnen Transporteinheiten eine wesentliche Grundvoraussetzung für derartige logistische Systeme. Die Ortung wird üblicherweise durch eine Anordnung von elektromagnetischen oder akustischen Sendern und Empfängern erreicht. Die Anordnung des Ortungssystems ist dabei so gewählt, dass der von den Transporteinheiten erreichbare Bewegungsraum im Wesentlichen durch die Anordnung abgedeckt wird, um eine genaue Ortung zu ermöglichen. Dazu werden beispielsweise die Sender bzw. Empfänger gleichmäßig und jeweils einzeln an Decken montiert und jeweils mit den zugehörigen Stromversorgungs- bzw. Ansteuerungsleitungen versehen. Die Verlegung und Anbringung der Sender bzw. Empfänger ist sehr zeit- und kostenintensiv. Die zugehörige Verkabelung ist aufwendig und bei der Anbringung ist gegebenenfalls zu berücksichtigen, dass die Verkabelung durch auftretende Reflexion die Ortung negativ beeinflussen kann, was teilweise die Zuführung über abgehängte Decken erforderlich macht. Ferner ist es meist erforderlich, dass das Ortungssystem leicht und damit schnell montiert werden kann, damit die Montage den weiteren Betriebsablauf nicht unnötig lange unterbricht oder dessen Wartung durch die Montage bzw. durch das fertig montierte System nicht behindert wird. Insbesondere bei Betrieben zur Herstellung von Halbleitern wie z. B. Wafern gestaltet sich die Anbringung im Vergleich besonders diffizil, da der erforderliche hohe Reinheitsgrad der Betriebsräume die Montage aufgrund der damit auftretenden Verunreinigungen und der Vielzahl der vorzusehenden Durchbrüche in den Reinraum erschwert.Fully automatic, rigid transport systems have proven to be unsuitable for these more customized or customized manufacturing processes or transport systems. Rather, these require a high degree of flexibility in the delivery of transport units to the next processing point, as is the case, for example, if it is preferable to urgently to be processed transport units and accelerated to edit. In addition to a far-reaching planning of the transport processes, the most accurate location of the individual transport units is an essential prerequisite for such logistical systems. The location is usually achieved by an arrangement of electromagnetic or acoustic transmitters and receivers. The arrangement of the locating system is chosen so that the achievable by the transport units movement space is essentially covered by the arrangement to allow accurate location. For this example, the transmitter or receiver are uniformly and individually mounted on ceilings and each provided with the associated power supply or control lines. The installation and installation of the transmitter or receiver is very time consuming and costly. The associated wiring is complex and when mounting is possibly to take into account that the wiring can negatively influence the detection by reflection occurring, which sometimes makes the supply via suspended ceilings required. Furthermore, it is usually necessary that the positioning system can be mounted easily and thus quickly so that the assembly does not interrupt the further operation unnecessarily long or its maintenance is not hindered by the assembly or by the fully assembled system. In particular, in operations for the production of semiconductors such. B. wafers, the attachment made in comparison particularly difficult, since the required high degree of purity of the operating rooms complicates the assembly due to the resulting impurities and the plurality of openings to be provided in the clean room.

Vor dem Hintergrund der oben beschriebenen Nachteile ist es daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zur Ortung von Transporteinheiten und ein zugehöriges Befestigungsverfahren zu schaffen, das preiswert hergestellt werden kann, dessen Montage und Wartung im Vergleich leicht, schnell und kostengünstig durchgeführt werden kann und wodurch die Ortung verbessert wird.Against the background of the drawbacks described above, it is therefore an object of the present invention to provide a device for locating transport units and an associated fastening method, which can be produced inexpensively, the installation and maintenance of which can be performed easily, quickly and inexpensively in comparison and the location is improved.

Diese Aufgabe wird durch eine gattungsgemäße Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1, durch die Verwendung der Vorrichtung gemäß des Anspruchs 15 sowie durch ein Verfahren gemäß Anspruch 16 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.This object is achieved by a generic device having the features of the claim 1, solved by the use of the device according to claim 15 and by a method according to claim 16. Advantageous embodiments emerge from the subclaims.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Ortung von Transporteinheiten weist eine Trägerschiene auf. Trägerschiene im Sinne der Erfindung umfasst dabei Tragwerke, die eine im Wesentlichen lang gestreckte Ausdehnung haben, wobei auch gekrümmte oder auch abgewinkelte Formgebungen umfasst sind. Darüber hinaus kann die Trägerschiene ein- und mehrteilig sein. Die Trägerschiene ist beispielsweise etwa 4,5 m lang, um sie bei der Montage noch ausreichend gut handhaben zu können. Gekrümmte bzw. abgewinkelte Formen können erforderlich sein, damit das Ortungssystem über bzw. entlang gekrümmten bzw. abgewinkelten Wegen bzw. Lagerstellen der Transporteinheiten montierbar ist. Die im Wesentlichen lang gestreckte Formgebung der Trägerschiene weist den Vorteil auf, dass diese leicht zu handhaben ist und im Allgemeinen eine Befestigung an zwei Punkten ausreicht um die Trägerschiene stabil zu befestigen. Eine flächige Ausdehnung des Tragwerks würde zusätzliche Befestigungen erforderlich machen. Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist ferner wenigstens eine an der Trägerschiene befestigte Sendeeinheit und/oder Empfangseinheit auf, beispielsweise handelt es sich um Infrarotsender bzw. Empfänger. In Abhängigkeit der Ausstattung der Transporteinheit, welche es zu orten gilt, kann lediglich eine oder mehrere Sendereinheiten oder alternativ eine oder mehrere Empfangseinheiten oder wiederum beide vorgesehen sein. Dabei kann auch die Kombination von beiden in einer Einheit vorgesehen sein, beispielsweise handelt es sich um WLAN-Access-Points gemäß der vom Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) verabschiedeten Standards 802.11b oder 802.11g. die mit entsprechenden Sende- und Empfangseinheiten der Transporteinheiten kommunizieren. Die Vorrichtung weist Mittel zur Befestigung der Trägerschiene an einer Decke oder Wand auf. Beispielsweise handelt es sich um Mittel für eine Schraubbefestigung der Trägerschiene, oder es sind Löcher in der Trägerschiene vorgesehen mit deren Hilfe die letztere an der Decke befestigbar ist. Dadurch wird erreicht, dass die Trägerschiene zusammen mit den Sende- bzw. Empfangseinheiten an der Decke oder Wand montierbar ist. Dadurch kann eine Vormontage bzw. Justierung dieser Einheiten vor der endgültigen Befestigung der Trägerschiene und damit des Ortungssystems durchgeführt werden. Die Trägerschiene ist beispielsweise aus Kunststoff, um sie preiswert herstellen zu können und um sie aufgrund des damit verbundenen geringen Gewichts leicht handhaben zu können. Die Trägerschiene weist ferner Mittel zur elektrischen Versorgung und/oder Ansteuerung der Sendeeinheiten und/oder Empfangseinheiten auf. Beispielsweise handelt es sich um elektrische Versorgungsleitungen, Synchronisationsleitungen oder Netzteile für die Empfangs- bzw. Sendeeinheiten. Ferner können Ethernetleitungen, Switche oder Hubs vorgesehen sein, um die Sendeeinheiten bzw. Empfangseinheiten über standardisierte Netzwerkprotokolle, wie TCP/IP oder IPX, ansteuern oder auswerten zu können. Die Switche oder Hubs sowie die zugehörigen Netzwerkleitungen sind beispielsweise derart gestaltet, dass sie zusätzlich zur Datenübertragung die Stromversorgung der angebundenen Empfangs- bzw. Sendeeinheiten oder sonstigen elektronischen Vorrichtungen übernehmen können, um die Anzahl der Leitungen und elektronischen Bauteile reduzieren zu können. Es können ferner Leitungen vorgesehen sein. die eine Ansteuerung der Sende- oder Empfangseinheiten nach dem RS-485 Standard ermöglichen, die insbesondere bei einer Auslegung gemäß der ISO-Norm 8482 eine Länge von vorteilhaft bis zu 500 m aufweisen dürfen. Sind mehrere Sende- bzw. Empfangseinheiten an der Trägerschiene befestigt, kann deren Abstand im Vergleich sehr genau eingehalten werden und es können diese gemeinsam und damit schnell montiert werden. Mehrere Tragerschienen können beispielsweise linienförmig entlang eines Ganges in einer Betriebshalle angeordnet sein, um beispielsweise die Ortung einer Transporteinheit innerhalb des Ganges vornehmen zu können. Um eine im Vergleich flächendeckende Ortung durchführen zu können, kann die Trägerschiene seitliche Ausleger aufweisen oder mehrere Trägerschienen können netzartig angeordnet sein.The device according to the invention for locating transport units has a carrier rail. Carrier rail in the context of the invention comprises supporting structures, which have a substantially elongated extension, wherein also curved or angled forms are included. In addition, the carrier rail can be one or more parts. The support rail is for example about 4.5 m long, in order to handle it sufficiently well during assembly can. Curved or angled shapes may be required so that the locating system can be mounted over or along curved or angled paths or bearings of the transport units. The substantially elongated shape of the support rail has the advantage that it is easy to handle and in general a fastening at two points sufficient to stably fix the support rail. An areal extension of the structure would require additional fixings. The device according to the invention also has at least one transmitting unit and / or receiving unit attached to the carrier rail, for example infrared transmitters and receivers. Depending on the equipment of the transport unit, which is to be located, only one or more transmitter units or alternatively one or more receiver units or in turn both can be provided. The combination of the two may also be provided in one unit, for example WLAN access points in accordance with the 802.11b or 802.11g standards adopted by the Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE). which communicate with corresponding transmitting and receiving units of the transport units. The device has means for attaching the carrier rail to a ceiling or wall. For example, there are means for a screw fastening the support rail, or holes are provided in the support rail with the aid of which the latter can be fastened to the ceiling. This ensures that the carrier rail can be mounted together with the transmitting or receiving units on the ceiling or wall. As a result, a pre-assembly or adjustment of these units before the final attachment of the support rail and thus the positioning system can be performed. The support rail is for example made of plastic in order to produce inexpensive and easy to handle because of the associated low weight can. The carrier rail further comprises means for electrical supply and / or control of the transmitting units and / or receiving units. For example, these are electrical supply lines, synchronization lines or power supplies for the receiving or transmitting units. Furthermore, Ethernet lines, switches or hubs may be provided in order to be able to control or evaluate the transmission units or reception units via standardized network protocols, such as TCP / IP or IPX. The switches or hubs and the associated network lines are designed, for example, in such a way that, in addition to the data transmission, they can take over the power supply of the connected receiving or transmitting units or other electronic devices in order to be able to reduce the number of lines and electronic components. It can also be provided lines. enable a control of the transmitting or receiving units according to the RS-485 standard, which may have a length of advantageously up to 500 m, especially in a design according to ISO standard 8482. If several transmitting or receiving units are fastened to the carrier rail, their spacing can be maintained very accurately in comparison and they can be mounted together and thus quickly. For example, a plurality of support rails may be arranged linearly along a corridor in an operating hall, in order to be able to locate, for example, a transport unit within the corridor. In order to be able to carry out area-wide localization in comparison, the carrier rail can have lateral arms or a plurality of carrier rails can be arranged like a net.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung umfassen die Sendeeinheit und/oder Empfangseinheit Mittel zur Funkübertragung von Signalen. Beispielsweise handelt es sich um einen oder mehrere Funksender. Dieser dient beispielsweise zur Auslösung einer Laufzeitmessung, oder dessen ortsabhängige Intensität wird zur Ermittlung der Position der Transporteinheit herangezogen. Ferner können die Funkübertragungsmittel zum Empfang und zur Übermittlung von Daten an die oder von der Transporteinheit vorgesehen sein, um beispielsweise die von der Transporteinheit gesammelten Daten an eine zentrale Auswertstelle für die Ermittlung der Position der Transporteinheit weiterzuleiten. Die Befestigung der elektromagnetischen Übertragungsmittel an der Trägerschiene weist den Vorteil auf, dass die Montage erleichtert wird, insbesondere wenn weitere Sende- oder Empfangsmittel an der Trägerschiene vorgesehen sind. Durch die Anordnung der Funksender bzw. Empfänger an der Trägerschiene wird erreicht, dass die relative Position zueinander durch die Anbringung an der Schiene unabhängig von den Raumbedingungen definiert vorgegeben werden kann. Durch diese von den Raumbedingungen unabhängige Befestigung werden die Auswertung bei der Ortung und die Montage des gesamten Ortungssystems erleichtert.According to a further embodiment of the device according to the invention, the transmitting unit and / or receiving unit comprise means for the radio transmission of signals. For example, it is one or more radio transmitters. This serves, for example, to trigger a transit time measurement, or its location-dependent intensity is used to determine the position of the transport unit. Furthermore, the radio transmission means may be provided for receiving and transmitting data to or from the transport unit in order, for example, to forward the data collected by the transport unit to a central evaluation point for determining the position of the transport unit. The attachment of the electromagnetic transmission means to the support rail has the advantage that the assembly is facilitated, in particular if further transmitting or receiving means are provided on the support rail. The arrangement of the radio transmitter or receiver on the support rail ensures that the relative position to each other can be defined defined by the attachment to the rail regardless of the room conditions. This fixing, which is independent of the room conditions, facilitates the evaluation during locating and installation of the entire locating system.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung weisen die Sendeeinheit und/oder Empfangseinheit Mittel zur akustischen Übertragung von Signalen auf. Aufgrund der im Vergleich geringen Ausbreitungsgeschwindigkeit von akustischen Signalen wird erreicht, dass bei Laufzeitmessungen zur Ortsbestimmung der Transporteinheit schon bei im Vergleich geringen Abständen zwischen den einzelnen Sendern eine relativ genaue Zeitauflösung und damit Ortsbestimmung der Transporteinheit möglich. Gleichzeitig wirken sich Abweichungen von der exakten und meist vorbestimmten Position der Sendeeinheiten weniger nachteilig auf die Ortsbestimmungen der Transporteinheit aus. Dadurch wird in vorteilhafter Weise die Montage der Vorrichtung erleichtert. In an advantageous embodiment of the device according to the invention, the transmitting unit and / or receiving unit have means for the acoustic transmission of signals. Due to the comparatively low propagation speed of acoustic signals is achieved that at runtime measurements for determining the location of the transport unit already at relatively small distances between the individual transmitters a relatively accurate time resolution and thus localization of the transport unit possible. At the same time, deviations from the exact and usually predetermined position of the transmitting units have a less detrimental effect on the location of the transport unit. As a result, the assembly of the device is facilitated in an advantageous manner.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung weisen die Sendeeinheit und/oder Empfangseinheit Mittel zur Übertragung von Ultraschall auf. Beispielsweise sind Ultraschallsender oder Ultraschallantennen vorgesehen. Diese weisen den Vorteil auf, dass sie im Vergleich eine starke Sendeleistung und breites Abstrahlverhalten außerhalb des Hörbereichs aufweisen, was einerseits die Genauigkeit der Ortsbestimmung verbessert. Andererseits sind die Sender oder Empfänger nicht bezüglich ihres Abstrahlverhaltens auszurichten bzw. justieren und die Montage wird erleichtert. Diese Sende- und Empfangscharakteristik ermöglicht eine Integration der Einheiten in die Trägerschiene, was die Montage zusätzlich erleichtert. Beispielsweise sind an der Trägerschiene drei Ultraschallsender und eine kombinierte Funksende- und Funkempfangseinheit vorgesehen. Ferner strahlen Ultraschallsender vorteilhaft sehr schmalbandig ab, was die Identifikation des abstrahlenden Senders bei der Ortungsauswertung anhand seiner Frequenz erleichtert.According to a further embodiment of the device according to the invention, the transmitting unit and / or receiving unit have means for transmitting ultrasound. For example, ultrasound transmitters or ultrasound antennas are provided. These have the advantage that they have in comparison a strong transmission power and wide radiation behavior outside the listening area, which on the one hand improves the accuracy of the location. On the other hand, the transmitter or receiver are not aligned with respect to their radiation behavior or adjust and assembly is facilitated. This transmission and reception characteristic allows integration of the units in the carrier rail, which also facilitates the assembly. For example, three ultrasound transmitters and a combined radio transmitter and radio receiver unit are provided on the carrier rail. Furthermore, ultrasound transmitters advantageously radiate very narrowband, which facilitates the identification of the emitting transmitter in locating evaluation on the basis of its frequency.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung sind die Sendeeinheiten und/oder Empfangseinheiten gleichmäßig zueinander beabstandet. Beispielsweise wird die Regelmäßigkeit der Abstände auch über mehrere hintereinander angeordnete Trägerschienen beibehalten. Beispielsweise weisen die Ultraschallsendeeinheiten einen Abstand von 1,6 m auf, elektromagnetische Sende- bzw. Empfangseinheiten weisen einen regelmäßigen Abstand von 4,8 m untereinander auf, wobei letztere mittig zwischen den Ultraschallsendeeinheiten angeordnet sind. Dadurch wird erreicht, dass die Ortung genau durchgeführt werden kann. Ferner vermeidet ein genauer und vorbestimmter Abstand Zwischen den Sendern, dass die Ortsbestimmung der Transporteinheit aufgrund Positionsabweichungen einzelner Sender korrigiert werden muss. Der Rechenaufwand bei der Ortsbestimmung wird aufgrund des standardisierten Sender- bzw. Empfängerabstandes vorteilhaft reduziert, da durch Eingabe weniger Parameter, wie z. B. die Position eines Senders, in eine zentrale Auswerteinheit die Position ermittelt werden kann.In a further advantageous embodiment, the transmitting units and / or receiving units are uniformly spaced from each other. For example, the regularity of the distances is maintained over a plurality of carrier rails arranged one behind the other. For example, the ultrasonic transmitting units have a distance of 1.6 m, electromagnetic transmitting or receiving units have a regular distance of 4.8 m between them, the latter being arranged centrally between the ultrasonic transmitting units. This ensures that the location can be performed accurately. Furthermore, a precise and predetermined distance between the transmitters avoids that the location of the transport unit due to positional deviations of individual transmitters must be corrected. The computational effort in determining the location is advantageously reduced due to the standardized transmitter or receiver distance, since by entering fewer parameters, such. B. the position of a transmitter, the position can be determined in a central processing unit.

Die gleichmäßige Anbringung an der Trägerschiene weist ferner den Vorteil auf, dass so der Abstand unabhängig von den Montagegegebenheiten, wie hinderliche Versorgungskanäle oder mangelnde Befestigungsmöglichkeiten, eingehalten werden kann, für weitere Sende- bzw. Empfangseinheiten übernommen werden kann. Dadurch wird die Montage erleichtert.The uniform attachment to the support rail also has the advantage that so the distance regardless of the mounting conditions, such as cumbersome supply channels or lack of mounting options, can be met, can be adopted for more transmitting or receiving units. This facilitates assembly.

Erfindungsgemäß weist die Trägerschiene in Längsrichtung ein im Wesentlichen dreieckförmiges Querschnittsprofil auf. Dadurch wird erreicht, dass die Trägerschiene besonders tragfähig und verwindungsfest ist. Ferner werden so bei entsprechender Ausrichtung der Schiene Reflexionen in Richtung der Transporteinheit vermieden, die zu einer Ungenauigkeit in der Ortsbestimmung führen können. Ferner weist die Trägerschiene somit eine solche Kontur auf, die laminare Luftströmungen nur geringfügig behindert. Dies ist insbesondere bei Reinräumen von Vorteil, die in der Halbleiterindustrie vorgesehen sind.According to the invention, the carrier rail has a substantially triangular cross-sectional profile in the longitudinal direction. This ensures that the carrier rail is particularly stable and torsion-resistant. Furthermore, reflections in the direction of the transport unit are thus avoided with appropriate alignment of the rail, which can lead to an inaccuracy in the location. Furthermore, the support rail thus has such a contour that obstructs laminar air currents only slightly. This is particularly advantageous in clean rooms, which are provided in the semiconductor industry.

Bei einer weiteren Ausführungsform sind die längs der Trägerschiene verlaufenden Außenflächen in Querrichtung zum Verlauf der Trägerschiene gekrümmt. Dadurch sind die Reflexionen an der Trägerschiene von der von den Sendern ausgehenden Abstrahlung vorteilhaft in breiten Winkeln gestreut. Ferner hat sich gezeigt, dass die Auswirkung auf eine laminare Luftströmung bei einer derartigen Formgebung am geringsten ist.In a further embodiment, the outer surfaces extending along the carrier rail are curved in the transverse direction to the course of the carrier rail. As a result, the reflections on the carrier rail are advantageously scattered at broad angles by the radiation emitted by the transmitters. Further, it has been found that the effect on laminar air flow is lowest in such a design.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist die Trägerschiene einen Hohlraum Oder mehrere Hohlräume auf, beispielsweise aufgrund eines Querschnittprofils mit Hohlraum oder aufgrund dessen, dass Durchbrüche in der Schiene vorgesehen sind. Dadurch wird vorteilhaft das Gewicht der Vorrichtung reduziert, was die Handhabung der Vorrichtung bei der Montage verbessert und die Anforderungen an die Befestigungsmittel verringert.According to a further embodiment, the carrier rail has a cavity or a plurality of cavities, for example due to a cross-sectional profile with a cavity or due to the fact that openings are provided in the rail. This advantageously reduces the weight of the device, which improves the handling of the device during assembly and reduces the requirements for the fastening means.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung sind die Mittel zur elektrischen Versorgung und/der Ansteuerung der Sendeeinheiten und/oder Empfangseinheiten im Wesentlichen in dem Hohlraum bzw. in den Hohlräumen angeordnet. Beispielsweise sind die Netzteile oder sonstige Ansteuerelektronik für die Sende- bzw. Empfangseinheiten innerhalb des von der Trägerschiene vorgegebenen Volumens angeordnet. Dadurch wird beispielsweise und in vorteilhafter Weise erreicht, dass differenzierte, für die Sende- bzw. Empfangseinheiten vorgesehene Spannungen in unmittelbarer Nahe zu diesen erzeugt werden. Damit reduziert sich die Anzahl der zur Vorrichtung zuführenden, Strom führenden Leitungen. Ferner kann der Hohlraum dazu genutzt werden, die Verbindungsleitungen für die Datenübertragung darin anzuordnen. Durch Anbringung dieser Vorrichtungsteile innerhalb des von der Trägerschiene vorgegebenen Volumens stören diese entgegen einer Anbringung außen an der Trägerschiene nicht nachteilig eine die Schiene umgebende Luftströmung einer im zugehörigen Raum angebrauchten Lüftungsanlage. Der Hohlraum kann beispielsweise mit Kupfer ausgekleidet oder der Kunststoff der Trägerschiene kann mit Kupfer bedampft sein, damit die Empfangseinheiten gegenüber den Netzteilen oder sonstige Ansteuerelektroniken abgeschirmt sind. Die Hohlräume sind beispielsweise bei einer an der Decke oder Wand montierten Trägerschiene von unten zugänglich, beispielsweise weil das Querschnittsprofil der Trägerschiene entlang dieser Richtung durchbrochen ist, um die Wartung der in den Hohlräumen angeordneten Ansteuerelektronik zu erleichtern. Es kann ferner ein Tragelement vorgesehen sein. auf der die Mittel zur elektrischen Versorgung oder Ansteuerung der Sende- oder Empfangseinheiten im Wesentlichen im Hohlraum angeordnet sind. Im Wartungsfall können durch Entfernen des Tragelements somit die Mittel zur elektrischen Versorgung oder Ansteuerung der Sende- oder Empfangseinheiten im Wesentlichen entnommen werden und schnell ausgetauscht werden; der sonstige Betrieb wird nur unwesentlich gestört. In einer weiteren Ausgestaltung können Teile der Mittel zur elektrischen Versorgung oder Ansteuerung der Sende- oder Empfangseinheiten in unterschiedlichen Hohlräumen der Trägerschiene angeordnet sein. Dadurch können die jeweiligen Teile voneinander separiert angeordnet werden, um beispielsweise elektromagnetische Wechselwirkungen zwischen den Teilen zu reduzieren. in einer Ausführungsform ist die Trägerschiene von einem Hohlraum in Längsrichtung durchzogen, der an jedem Ende der Trägerschiene zugänglich ist. Dadurch ist die Trägerschiene besonders leicht in ihrem Innern zu verkabeln. In einer weiteren Ausführungsform ist ein die Trägerschiene durchziehender erster Hohlraum vorgesehen, in dem die Verkabelung angeordnet ist. In einem zweiten Hohlraum sind die im Vergleich voluminösen Teile der Mittel zur elektrischen Versorgung oder Ansteuerung der Sende- oder Empfangseinheiten angeordnet. Dadurch kann die Verkabelung leicht in die Trägerschiene eingebracht bzw. eingezogen werden, beispielsweise über an den Enden der Trägerschiene vorgesehene Öffnungen. Die anderen voluminösen Teile der Mittel zur elektrischen Versorgung oder Ansteuerung der Sende- oder Empfangseinheiten behindern durch ihre separierte Anordnung das Einbringen der Verkabelung nicht. Dadurch kann die Montage besonders schnell vorgenommen werden.In a further advantageous embodiment, the means for the electrical supply and / or the control of the transmitting units and / or receiving units are arranged substantially in the cavity or in the cavities. For example, the power supply units or other control electronics for the transmitting or receiving units are arranged within the volume predetermined by the carrier rail. As a result, it is achieved, for example and in an advantageous manner, that differentiated voltages provided for the transmitting or receiving units are generated in immediate proximity to them. This reduces the number of supplying to the device, current carrying lines. Furthermore, the cavity can be used to, the Arrange connection lines for data transmission in it. By attaching these parts of the device within the volume specified by the carrier rail, these interfere against attachment to the outside of the carrier rail, not adversely affecting the rail surrounding air flow of a used in the associated room ventilation system. The cavity may, for example, lined with copper or the plastic of the carrier rail may be vapor-deposited with copper, so that the receiving units are shielded from the power supplies or other control electronics. The cavities are accessible from below, for example, when mounted on the ceiling or wall support rail, for example, because the cross-sectional profile of the support rail is broken along this direction to facilitate the maintenance of arranged in the cavities control electronics. It may further be provided a support member. on which the means for electrical supply or control of the transmitting or receiving units are arranged substantially in the cavity. In the case of maintenance, by removing the support element, the means for electrical supply or control of the transmitting or receiving units can thus be essentially removed and exchanged quickly; the other operation is disturbed only insignificantly. In a further embodiment, parts of the means for electrical supply or control of the transmitting or receiving units may be arranged in different cavities of the carrier rail. Thereby, the respective parts can be separated from each other, for example, to reduce electromagnetic interactions between the parts. In one embodiment, the carrier rail is traversed by a longitudinal cavity which is accessible at each end of the carrier rail. As a result, the carrier rail is particularly easy to wire in its interior. In a further embodiment, a first cavity extending through the carrier rail is provided, in which the wiring is arranged. In a second cavity, the comparatively voluminous parts of the means for electrical supply or control of the transmitting or receiving units are arranged. As a result, the wiring can be easily introduced or retracted into the carrier rail, for example via openings provided at the ends of the carrier rail. The other bulky parts of the means for electrical supply or control of the transmitting or receiving units hinder by their separated arrangement, the introduction of the wiring not. As a result, the assembly can be made very quickly.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung ist der Hohlraum bzw. sind die Hohlräume mit einer Abdeckung versehen. Beispielsweise sind Endkappen vorgesehen, um die Durchbrüche für einen die Trägerschiene durchziehenden Hohlraum zu verschließen oder es ist eine Abdeckung vorgesehen, die entlang der Trägerschiene den Hohlraum in seiner Längsrichtung verschließt, Dadurch wird das Eindringen von Schmutz in den Hohlraum unterbunden bzw. falls erforderlich ein Austreten von Staubpartikeln vermieden. Beispielsweise ist der Durchbruch mit einer in Nuten gleitenden und somit verschiebbaren Abdeckung versehen. Oder es ist eine Abdeckung vorgesehen, die durch Vorspannung in den Durchbrüchen klemmend gehalten wird. Die klemmende Halterung wird beispielsweise dadurch unterstützt, dass die Trägerschiene an den an der Abdeckung anliegenden Seiten mit einer oder mehrerer entlang dieser Seite verlaufenden, vorspringenden Lippen versehen ist, die jeweils ihrerseits in eine an der Abdeckung vorgesehenen Nut einrasten. Die Abdeckung kann ferner bündig mit der Außenseite der Schiene abschließen, um Reflexionen der von den Sendeeinheiten ausgehenden Abstrahlung zu vermeiden, die ansonsten beispielsweise an Vorsprüngen und Kanten nachteilig auftreten kennen und um gegebenenfalls laminare Luftströmungen nicht zu stören. Um eine möglichst vollständige und effektive Abschirmung der in dem Hohlraum angeordneten elektronischen Vorrichtungsteile zu gewährleisten, besteht die Abdeckung beispielsweise aus Metall. Ferner kann vorgesehen sein, dass das vorgenannte Tragelement Teil der Abdeckung oder an dieser befestigt ist, ferner kann die Abdeckung als Tragelement fungieren, insbesondere um elektronische Vorrichtungsteile außen an der Trägerschiene befestigen zu können. Dadurch kann mit Entfernen der Abdeckung gleichzeitig die im Hohlraum angeordneten sowie außen an der Trägerschiene befestigten elektronischen Vorrichtungsteile weitgehend entfernt werden. Dadurch kann die Montage und insbesondere die Wartung schnell vorgenommen werden.According to a further embodiment, the cavity or the cavities are provided with a cover. For example, end caps are provided to close the openings for a carrier rail passing through the cavity or there is a cover which closes along the support rail cavity in its longitudinal direction, thereby preventing the ingress of dirt into the cavity or, if necessary, an escape avoided by dust particles. For example, the opening is provided with a sliding in grooves and thus movable cover. Or it is provided a cover which is clamped by bias in the openings. The clamping support is for example supported by the fact that the support rail is provided on the adjacent to the cover pages with one or more along this side extending, projecting lips, each of which in turn engage in a groove provided on the cover. The cover can also be flush with the outside of the rail to avoid reflections emanating from the transmitting units radiation, otherwise known to adversely occur, for example, at projections and edges and not to interfere with laminar air currents if necessary. In order to ensure the most complete and effective shielding of the electronic device parts arranged in the cavity, the cover consists, for example, of metal. Furthermore, it can be provided that the aforementioned support member is part of the cover or attached to this, further, the cover can act as a support member, in particular to attach electronic device parts outside of the support rail can. As a result, the removal of the cover at the same time the arranged in the cavity and outside of the support rail mounted electronic device parts are largely removed. As a result, the assembly and in particular the maintenance can be made quickly.

Eine weitere Ausgestaltung sieht eine aus Metall bestehende Trägerschiene vor. Dadurch wird in vorteilhafter Weise eine abschirmende Wirkung der Trägerschiene erreicht, insbesondere bei in dem Hohlraum angeordneten Spannungsversorgungen oder Übertragungsleitungen. Ferner kann so die Trägerschiene zur Wärmeableitung für die in der Trägerschiene angeordneten elektronischen Komponenten herangezogen werden. Beispielsweise sind zu kühlende Transistoren mit der Trägerschiene verschraubt. Gemäß einer Abwandlung der erfindungsgemäßen Vorrichtung besteht die Trägerschiene aus Aluminium, dadurch ist sie im Vergleich leichter und korrosionsbeständiger.A further embodiment provides a carrier rail made of metal. As a result, a shielding effect of the carrier rail is achieved in an advantageous manner, in particular when arranged in the cavity power supplies or transmission lines. Furthermore, the carrier rail can thus be used for heat dissipation for the electronic components arranged in the carrier rail. For example, transistors to be cooled are screwed to the carrier rail. According to a modification of the device according to the invention, the support rail made of aluminum, thus it is lighter in comparison and more corrosion resistant.

Eine weitere Ausführungsform sieht vor, dass im Wesentlichen längs der Trägerschiene ein oder mehrere Flansche vorgesehen sind. Beispielsweise sind an den Flanschen die Mittel zur elektrischen Versorgung und/oder Ansteuerung der Sendeeinheiten und/oder Empfangseinheiten befestigt. So werden in einer Ausführungsform die Versorgungsleitungen an dem Flansch oder zwischen den Flanschen klemmend gehalten oder der Flansch ist abgewinkelt, in Form eines Kabelkanals gestaltet. Die Flansche können innerhalb eines die Trägerschiene durchziehenden Hohlraums oder außen an der Trägerschiene vorgesehen sein. In einer weiteren Ausgestaltung dienen der Flansch oder die Flansche zur Befestigung einer Abtrennung, mit der ein Hohlraum in zwei Abschnitte zerteilt werden kann. Durch die Flansche kann die Vorrichtung schnell und preiswert vormontiert werden.A further embodiment provides that one or more flanges are provided substantially along the carrier rail. For example, the means for the electrical supply and / or control of the transmitting units and / or receiving units are attached to the flanges. So In one embodiment, the supply lines to the flange or between the flanges are clamped or the flange is angled, designed in the form of a cable channel. The flanges may be provided within a carrier rail passing through the cavity or outside of the carrier rail. In a further embodiment, the flange or the flanges are used for fastening a partition with which a cavity can be divided into two sections. Through the flanges, the device can be pre-assembled quickly and inexpensively.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung sind Verbindungsmittel zur Verbindung mit einer oder mehreren weiteren Tragerschienen vorgesehen. Beispielsweise ist an den beiden Schmalseiten der Trägerschiene jeweils eine Verbindung zu einer weiteren Trägerschiene vorgesehen. Dabei können bekannte Verbindungssysteme Verwendung finden. Es kann sich um eine Steckverbindung handeln, die einerseits die beiden Trägerschienen zueinander ausrichtet oder andererseits fest miteinander verbindet sowie eine Kombination aus beidem. Beispielsweise ist eine Nut mit abgewinkelten Flanschen in beiden Tragerschienen vorgesehen, in die ein Metallplättchen so einschiebbar ist, dass es die beiden Nuten miteinander verbindet. In jedem Teil des Metallplättchens, das in der Nut der jeweiligen Trägerschiene angeordnet ist, kann eine Bohrung mit Gewinde vorgesehen sein. In die Bohrung ist beispielsweise von außen eine Schraube einschraubbar. Beim Einschrauben wird das Metallplättchen gegen die abgewinkelten Flansche gepresst und fixiert das Plättchen auf diese Weise an der jeweiligen Trägerschiene und verbindet damit zwei Trägerschienen an deren Schmalseiten miteinander.According to a further embodiment connecting means are provided for connection to one or more further support rails. For example, in each case a connection to a further carrier rail is provided on the two narrow sides of the carrier rail. In this case, known connection systems can be used. It may be a plug-in connection, on the one hand aligns the two carrier rails to each other or on the other hand firmly connected together and a combination of both. For example, a groove is provided with angled flanges in both support rails, in which a metal plate is inserted so that it connects the two grooves together. In each part of the metal plate, which is arranged in the groove of the respective carrier rail, a threaded bore may be provided. For example, a screw can be screwed into the bore from the outside. When screwing the metal plate is pressed against the angled flanges and fixes the plate in this way to the respective support rail and thus connects two carrier rails on the narrow sides of each other.

Ferner ist beispielsweise ein Vorsprung an einem Ende der Trägerschiene vorgesehen, der in eine komplementäre Vertiefung an einem Ende einer weiteren Trägerschiene eingreift oder das andere Ende der Trägerschiene umgreift, um die Trägerschienen vereinfacht zueinander ausrichten zu können. So sind beispielsweise die Trägerschienen jeweils mit zwei unterschiedlichen aber zueinander komplementären Enden versehen, um die Verbindung der Trägerschienen untereinander zu vereinfachen. Die Verbindungsmittel können auch ein Verbindungsmodul umfassen, mit dem zwei der Trägerschienen jeweils miteinander verbunden sind, so dass es zwischen den Trägerschienen angeordnet ist.Further, for example, a projection is provided at one end of the support rail, which engages in a complementary recess at one end of another support rail or the other end of the support rail engages in order to align the support rails simplified to each other. Thus, for example, the carrier rails are each provided with two different but mutually complementary ends in order to simplify the connection of the carrier rails with each other. The connection means may also comprise a connection module, with which two of the support rails are each connected to each other, so that it is arranged between the support rails.

Eine weitere Ausgestaltung sieht vor, dass die Verbindungsmittel elektrische oder optische Kupplungen für die Mittel zur elektrischen Versorgung und/oder Ansteuerung der Sendeeinheiten und/oder Empfangseinheiten umfassen. Beispielsweise handelt es sich um weibliche bzw. männliche Stecker, die fest mit der jeweiligen Trägerschiene verbunden sind oder die in dem Verbindungsmodul angeordnet sind. Es können beispielsweise RJ-45 Kupplungen für eine Ethernet-Verbindung zwischen den Schienen vorgesehen sein. Es ergibt sich somit, dass mit der mechanischen Verbindung zweier Schienen eine elektrische Verbindung einhergeht, was die Montage zusätzlich erleichtert. Die Kupplungen können vorteilhaft so gestaltet sein, dass eine Berührung der offen liegenden Kontakte weitgehend nicht möglich ist. Dadurch werden Beschädigungen an den Mittel zur elektrischen Versorgung oder Ansteuerung bzw. den Sende- oder Empfangseinheiten durch vom Berührenden ausgehende, statische Entladungen vermieden.A further embodiment provides that the connecting means comprise electrical or optical couplings for the means for electrical supply and / or control of the transmitting units and / or receiving units. By way of example, these are female or male plugs which are firmly connected to the respective carrier rail or which are arranged in the connection module. For example, RJ-45 couplings may be provided for an Ethernet connection between the rails. It thus follows that with the mechanical connection of two rails, an electrical connection is accompanied, which also facilitates the assembly. The couplings can advantageously be designed so that a contact of the exposed contacts is largely impossible. As a result, damage to the means for electrical supply or control or the transmitting or receiving units are avoided by emanating from the touching static charges.

Eine weitere Ausgestaltung sieht vor, dass ein Anschlussmodul für die Mittel zur elektrischen Versorgung und/oder Ansteuerung der Sendeeinheiten und/oder Empfangseinheiten vorgesehen ist, an dem wenigstens eine Trägerschiene befestigbar ist. Das Anschlussmodul ist vorgesehen, um beispielsweise wesentliche Teile der Mittel zur elektrischen Versorgung und/oder Ansteuerung der Sendeeinheiten und/oder Empfangseinheiten aufzunehmen oder um beispielsweise die zugehörigen Ansteuerleitungen und Stromversorgungsleitungen aus der Decke bzw. Wand der Vorrichtung insbesondere in die Trägerschiene hinein zuzuführen. Das Anschlussmodul kann so für mehrere Sende- oder Empfangseinheiten die elektrische Versorgung oder Ansteuerung vornehmen. Die Anzahl der Versorgungs- oder Ansteuerungsmittel kann so vorteilhaft reduziert werden. Die Anzahl der durch Decken und Wanden in den jeweiligen Raum vorzusehenden Durchbrüche für die Zuführung von Strom- und Netzwerkleitungen zu den einzelnen Sende- oder Empfangseinheiten wird in vorteilhafter Weise auf ein Minimum reduziert, da Durchbrüche für die Zuführung zu jeder einzelnen Sende- bzw. Empfangseinheit vorteilhaft entfallen kann. Es ist beispielsweise an der Schmalseite der Trägerschiene und an seinem Ende befestigbar und es sind dabei die gleichen Befestigungsmittel vorgesehen, die zur Verbindung mehrerer Trägerschienen untereinander verwendet werden, um die Vielzahl der Teile, die zur Montage verwendet werden, nicht zu erhöhen. Das Anschlussmodul kann in einer weiteren Ausgestaltung zwischen Zwei Trägerschienen oder an einem Ende einer Trägerschiene angeordnet und an diesen befestigt sein. Dadurch kann das Anschlussmodul an beliebiger Stelle zwischen den Tragerschienen angeordnet werden. Damit kann die Leitungszuführung an nahezu beliebiger Stelle vorgenommen werden, und den Gegebenheiten angepasst werden. Somit kann beispielsweise die Zuführung an Stellen vorgenommen werden, an denen die Decke oder Wand frei von Versorgungsleitungen oder Lüftungsrohren für das Gebäude ist. Eine Problematik die insbesondere bei Reinräumen der Halbleiterindustrie gegeben ist. Ferner entfallen so mechanischen Manipulationen, wie Durchbrüche oder dergleichen, an der Trägerschiene, die gegebenenfalls deren mechanische Stabilität negativ beeinflussen könnten. In einer Ausführungsform ist ein Anschlussmodul am Ende einer Trägerschiene vorgesehen, um die Zuführung aus einer Decke oder Wand zu ermöglichen. Zwischen weiteren, mit der ersten Trägerschiene verbundenen Tragerschienen sind ein oder mehrere Anschlussmodule vorgesehen, um die Ansteuerung oder Versorgung der an der Schiene angebrachten Sende- oder Empfangseinheiten sicherzustellen.A further embodiment provides that a connection module for the means for electrical supply and / or control of the transmitting units and / or receiving units is provided, on which at least one support rail can be fastened. The connection module is provided to accommodate, for example, essential parts of the means for electrical supply and / or control of the transmitting units and / or receiving units or to feed, for example, the associated control lines and power supply lines from the ceiling or wall of the device in particular in the carrier rail. The connection module can thus make the electrical supply or control for several transmitting or receiving units. The number of supply or drive means can be advantageously reduced. The number of breakthroughs to be provided by ceilings and walls in the respective space for the supply of power and network lines to the individual transmitting or receiving units is advantageously reduced to a minimum since breakthroughs for the supply to each individual transmitting or receiving unit can advantageously be omitted. It can be fastened, for example, to the narrow side of the carrier rail and at its end, and the same fastening means are used here, which are used to connect a plurality of carrier rails to one another, in order not to increase the multiplicity of parts used for assembly. The connection module can be arranged in a further embodiment between two carrier rails or at one end of a carrier rail and secured thereto. As a result, the connection module can be arranged at any point between the support rails. Thus, the line feed can be made at almost any point, and adapted to the circumstances. Thus, for example, the supply can be made at locations where the ceiling or wall is free of supply lines or ventilation pipes for the building. A problem which is given especially in clean rooms of the semiconductor industry. Furthermore, eliminated as mechanical manipulations, such as breakthroughs or the like, on the support rail, which could possibly adversely affect their mechanical stability. In one embodiment, a connection module is provided at the end of a support rail to allow for delivery from a ceiling or wall. Between another, connected to the first carrier rail support rails one or more connection modules are provided to ensure the control or supply of mounted on the rail transmitting or receiving units.

Bei einer weiteren Ausgestaltung ermöglichen die Mittel zur Befestigung an einer Decke oder Wand eine von der Wand oder Decke beabstandete Befestigung der Trägerschiene. Beispielsweise handelt es sich um Stangen, die an einem Ende an der Wand oder Decke befestigt sind und am anderen Ende mit der Trägerschiene verbunden sind. In vorteilhafter Weise wird die Befestigung derart vorgenommen, dass die Mittel zur Befestigung erst an der Decke bzw. Wand befestigt werden und danach die Befestigung der Befestigungsmittel an der Trägerschiene vorgenommen wird, so dass eine weitgehende Vormontage der Trägerschiene mit den weiteren Vorrichtungsteilen außerhalb des Raumes vorgenommen werden kann, in dem die Trägerschiene bestimmungsgemäß befestigt werden soll. Durch die beabstandete Montage kann erreicht werden, dass bei zu hohem Abstand für die Sendeleistung bzw. Empfangsleistung zwischen zu ortender Transporteinheit und Decke bzw. der Stelle der Wand an dem die Vorrichtung befestigt werden soll, der Abstand reduziert wird. Sind an der Decke oder Wand Wartearbeiten vorzunehmen, beispielsweise der Austausch von Filtermatten eines Lüftungssytems, bleibt diese trotz der Vorrichtung weitgehend zugänglich. Ferner wird durch die Beabstandung erreicht, dass die Laufzeiten von an der Decke oder Wand reflektierten Abstrahlungen sich deutlich von reflexionsfreien Abstrahlungen des Senders unterscheiden, was insbesondere der Fall sein kann, wenn die Richtcharakteristik der Sender nicht ausreichend beschränkt ist. Die reflektierte und die Ortung nachteilig beeinflussende Abstrahlung kann so leicht und vorteilhaft bei der Ermittlung der Position der Transporteinheit vernachlässigt werden.In a further embodiment, the means for attachment to a ceiling or wall allow a distance from the wall or ceiling mounting the support rail. For example, there are rods which are attached at one end to the wall or ceiling and are connected at the other end to the support rail. Advantageously, the attachment is made such that the means for attachment are first attached to the ceiling or wall and then the attachment of the fastener is made to the support rail, so that made a substantial pre-assembly of the support rail with the other device parts outside the room can be, in which the support rail is intended to be attached. Due to the spaced mounting can be achieved that at too high a distance for the transmission power or reception power to be located between transport unit and ceiling or the location of the wall to which the device is to be attached, the distance is reduced. Are waiting to be done on the ceiling or wall, for example, the replacement of filter mats a ventilation system, this remains largely accessible despite the device. Furthermore, it is achieved by the spacing that the propagation times of radiations reflected on the ceiling or wall are clearly different from reflection-free radiations of the transmitter, which may in particular be the case if the directional characteristic of the transmitters is not sufficiently limited. The reflected and the location adversely affecting radiation can be so easily and advantageously neglected in determining the position of the transport unit.

Zur leichten Einstellung eines Abstandes zwischen Decke bzw. Wand und Trägerschiene sind gemäß einer weiteren Ausführungsform die Mittel zur Befestigung bezüglich dieses Abstandes verstellbar. Beispielsweise kann eine Gewindestange vorgesehen sein, längs der die Befestigung an der Trägerschiene schraubend verstellt werden kann oder es kann ein Stab mit Bohrung und Innengewinde vorgesehen sein, in die ein an der Trägerschiene oder Decke befestigtes Schraubelement mit korrespondierendem Außengewinde einschraubbar ist. Durch Variation der Einschraubtiefe kann der Abstand eingestellt werden. Um die Einstellung mit angebrachter Schiene vornehmen zu können, ist der Stab beispielsweise drehbeweglich an der Schiene befestigt.For easy adjustment of a distance between the ceiling or wall and support rail, the means for fixing with respect to this distance are adjustable according to a further embodiment. For example, a threaded rod can be provided, along which the attachment to the carrier rail can be adjusted by screwing or it can be a rod with a bore and internal thread provided, in which a fastened to the support rail or ceiling screw with a corresponding external thread can be screwed. By varying the screwing the distance can be adjusted. In order to make the adjustment with attached rail, the rod, for example, rotatably mounted on the rail.

Bei einer weiteren Ausführungsform sind die Mittel zur Befestigung entlang der Trägerschiene befestigbar. Beispielsweise ist eine Verschiebbarkeit in Längsrichtung der Trägerschiene möglich. Dies wird dadurch erreicht, dass die Trägerschiene mit einer Nut versehen, die einen Befestigungsfuß der Befestigungsmittel aufzunehmen vermag. Die Nut ist ferner mit Flanschen versehen, die den Befestigungsfuß soweit umgreifen, dass der Fuß zwar längs der Nut verschiebbar ist, jedoch in senkrechter Richtung zur Nut gehalten wird. Durch die Nut entlang der Längsseite der Trägerschiene sind die Mittel zur Befestigung an beliebiger Stelle der Nut einklemm- oder einrastbar. Dadurch wird die Montage in besonders vorteilhafter Weise erleichtert und beschleunigt. Die Befestigungsmittel können zuerst an der Decke oder Wand befestigt werden, falls erforderlich können sie dann ausgerichtet werden, abfolgend kann dann die Trägerschiene, beispielsweise schon vormontiert, durch eine Andrückbewegung an den Befestigungsmitteln fixiert werden.In a further embodiment, the means for attachment along the support rail can be fastened. For example, a displacement in the longitudinal direction of the support rail is possible. This is achieved in that the carrier rail provided with a groove which is capable of receiving a mounting foot of the fastening means. The groove is further provided with flanges which engage around the mounting foot so far that the foot is indeed displaceable along the groove, but is held in the direction perpendicular to the groove. Through the groove along the longitudinal side of the carrier rail, the means for fixing at any point of the groove are clamped or latched. As a result, the assembly is facilitated and accelerated in a particularly advantageous manner. The fasteners can first be attached to the ceiling or wall, if necessary, they can then be aligned, then the carrier rail, for example, already pre-assembled, can then be fixed by a pressing movement on the fastening means.

Durch die Verschiebbarkeit der Befestigungsmittel längs der Schiene, kann die Trägerschiene flexibel an Decken oder Wänden montiert werden. Somit kann beispielsweise die Befestigung an Stellen vorgenommen werden, an denen die Decke oder Wand frei von Versorgungsleitungen oder Lüftungsrohren für das Gebäude ist.Due to the displaceability of the fastening means along the rail, the support rail can be flexibly mounted on ceilings or walls. Thus, for example, the attachment can be made in places where the ceiling or wall is free of supply lines or ventilation pipes for the building.

In einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind vorteilhaft Ultraschallsender vorgesehen. Beispielsweise handelt es sich um Piezostrahler. Diese können vorteilhaft in breitem Abstrahlverhalten und mit großer Leistung Signalsequenzen abstrahlen. Dadurch kann vorteilhaft im Vergleich mit wenigen Sendern eine genaue Ortung durchgeführt werden. Darüber hinaus ist die Abstrahlung von Piezostrahler sehr schmalbandig, wodurch die Kodierung, die Auswertung, insbesondere die Frequenzanalyse der empfangenen Signalsequenzen vereinfacht wird. Ferner sind Ultraschallsender im Vergleich preiswert kommerziell erhältlich, und deren Abstrahlung ist einfach, beispielsweise durch entsprechende Geometrie des Piezokristalls, auf bestimmte Frequenzen zu justieren. Ultraschall eignet sich ferner vorteilhaft zur Durchführung von Laufzeitmessungen aus denen die Position der Transporteinheit ermittelt wird, da die Ausbreitungsgeschwindigkeit von Ultraschall im Vergleich gering ist und damit die Anforderungen an die Zeitauflösung der Laufzeitmessung vergleichsweise gering sind. Durch Ultraschall entsteht ferner keine elektromagnetische Strahlungsbelastung, was beispielsweise bei den in der Halbleiterindustrie verwendeten, empfindlichen Messgeräten und Apparaturen von Vorteil ist.In one embodiment of the device according to the invention, ultrasound transmitters are advantageously provided. For example, these are piezo radiators. These can advantageously emit signal sequences in a wide radiation behavior and with high power. As a result, an accurate location can be advantageously carried out in comparison with a few transmitters. In addition, the radiation of piezoelectric emitters is very narrow band, whereby the coding, the evaluation, in particular the frequency analysis of the received signal sequences is simplified. Furthermore, ultrasound transmitters are inexpensive commercially available in comparison, and their radiation is easy to adjust, for example, by appropriate geometry of the piezoelectric crystal to certain frequencies. Ultrasound is also advantageous for carrying out transit time measurements from which the position of the transport unit is determined, since the propagation speed of ultrasound is low in comparison and thus the demands on the time resolution of the transit time measurement are comparatively low. Ultrasound also produces no electromagnetic radiation load, which is advantageous, for example, in the sensitive measuring devices and equipment used in the semiconductor industry.

Die erfindungsgemäße Verwendung sieht vor, dass die zuvor beschriebene Vorrichtung zur Ortung einer Transporteinheit bei Halbleiterherstellung oder Bearbeitung verwendet wird. Beispielsweise umfasst die Transporteinheit einen oder mehrere Wafer. Die Halbleiterherstellung ist teuer und erfolgt unter hohen Reinheitsanforderungen. Jegliche Montagen in den Reinräumen wirken sich besonders nachteilig auf den Produktionsbetrieb aus. Daher sind Wartung und Einrichtung der Vorrichtung auf ein Minimum bezüglich Umfang und Zeitaufwand zu reduzieren. Die Montagezeit kann so bis auf die Hälfte reduziert werden. Ferner greift die erfindungsgemäße Vorrichtung nicht nachteilig in die vorhandene Infrastruktur und Raumgegebenheiten ein. Wartungsarbeiten an den Lüftungssystemen können ungehindert durchgeführt werden. Ferner wird die Zugänglichkeit von an der Decke bzw. Wand angebrachten Versorgungs- und Lüftungsvorrichtungen gewahrt. Die Vorrichtung behindert außerdem die in dem Gebäude gegebenenfalls vorgesehene Luftströmung eines Belüftungssystems nicht. The use according to the invention provides that the device described above is used for locating a transport unit in semiconductor production or processing. For example, the transport unit comprises one or more wafers. Semiconductor manufacturing is expensive and requires high purity. Any installations in the clean rooms are particularly detrimental to the production operation. Therefore, the maintenance and installation of the device must be reduced to a minimum in terms of size and time. The assembly time can be reduced to half. Furthermore, the device according to the invention does not disadvantageously interfere with the existing infrastructure and spatial conditions. Maintenance work on the ventilation systems can be carried out unhindered. Furthermore, the accessibility of attached to the ceiling or wall supply and ventilation devices is maintained. The device also does not obstruct the air flow of a ventilation system, if any, provided in the building.

Die Anzahl der durch Decken und Wänden in den Reinraum vorzusehenden Durchbrüche für die Zuführung von Strom- und Netzwerkleitungen zu den Sende- oder Empfangseinheiten wird in vorteilhafter Weise auf ein Minimum reduziert. Eine Vielzahl von Durchbrüchen erweist sich insbesondere in Reinräumen als negativ, da der in den Reinräumen üblicherweise vorgesehene Überdruck eine Abdichtung jedes Durchbruchs erforderlich macht. Dies stört den weiteren Betriebsablauf, ist teuer und ein Leck ist schwierig auszumachen.The number of openings to be provided by ceilings and walls in the clean room for the supply of power and network cables to the transmitting or receiving units is advantageously reduced to a minimum. A variety of breakthroughs proves to be negative, especially in clean rooms, as the usually provided in the clean rooms overpressure makes a seal each breakthrough required. This disturbs the further operation, is expensive and a leak is difficult to identify.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Befestigung eines Ortungssystems für Transporteinheiten sieht vor, dass in einem ersten Schritt die Mittel zur Befestigung an einer Decke oder Wand befestigt werden. Beispielsweise werden Schraubelemente mit Außengewinde an einer Decke oder Wand befestigt, auf die ihrerseits Stäbe mit Innengewinde aufgeschraubt sind. In einem zweiten Schritt werden die Mittel zur Befestigung bezüglich des Abstands zwischen Trägerschiene und Decke oder Wand justiert, indem die Stäbe tiefer auf die Schraubelemente aufgeschraubt werden oder umgekehrt herausgedreht werden. Beispielsweise wird die Ausrichtung mit einem Laserstrahl vorgenommen. In einem nächsten Schritt werden die Befestigungsmittel an der Trägerschiene befestigt. Beispielsweise weisen die Befestigungsmittel einen Fuß auf, der seinerseits an der Trägerschiene befestigbar ist. Beispielsweise wird der Fuß der Befestigungsmittel in eine Nut der Trägerschiene eingerastet oder eingeklemmt. Durch dieses Befestigungsverfahren kann die Befestigung im Vergleich schnell und kostengünstig vorgenommen werden, dies ist insbesondere der Fall, wenn die Trägerschiene weitgehend vormontiert ist, d. h. die Sendeeinheiten oder Empfangseinheiten und die Mittel zu deren elektrischer? Versorgung oder Ansteuerung sind weitgehend bereits an der Trägerschiene befestigt.The method according to the invention for fastening a locating system for transport units provides that, in a first step, the means for fastening are fastened to a ceiling or wall. For example, screw elements are fastened with external thread on a ceiling or wall, on which in turn rods are screwed with internal thread. In a second step, the means for fixing with respect to the distance between the support rail and ceiling or wall are adjusted by the rods are screwed deeper on the screw or vice versa unscrewed. For example, the alignment is done with a laser beam. In a next step, the fastening means are fastened to the carrier rail. For example, the fastening means on a foot, which in turn is fastened to the support rail. For example, the foot of the fastener is snapped or clamped in a groove of the carrier rail. By this fastening method, the attachment in comparison can be made quickly and inexpensively, this is especially the case when the support rail is largely pre-assembled, d. H. the transmitting units or receiving units and the means for their electrical? Supply or control are largely already attached to the support rail.

Zu den Figuren:To the figures:

1 zeigt einen Querschnitt der erfindungsgemäßen Trägerschiene; 1 shows a cross section of the carrier rail according to the invention;

2 zeigt im Querschnitt eine Abdeckung zu der in 1 gezeigten Trägerschiene; 2 shows in cross section a cover to the in 1 shown carrier rail;

3 zeigt in perspektivischer Schnittansicht eine Ausführungsform der Trägerschiene mit Abdeckung und daran angebrachter, kombinierter elektromagnetischer Sende- und Empfangseinheit in einer weiteren Ausführungsform; 3 shows a perspective sectional view of an embodiment of the carrier rail with cover and mounted thereon, combined electromagnetic transmitting and receiving unit in a further embodiment;

4 zeigt in perspektivischer Schnittansicht eine Abdeckung mit daran angeordneter, elektromagnetischer Sende- und Empfangseinheit; 4 shows a perspective sectional view of a cover with arranged thereon, electromagnetic transmitting and receiving unit;

5 zeigt in Schnittansicht die erfindungsgemäße Tragerschiene mit einem Tragelement und daran befestigtem Switch; 5 shows a sectional view of the carrier rail according to the invention with a support element and switch attached thereto;

6 zeigt in Schnittansicht die Trägerschiene mit einer Abdeckung, Tragelement und daran befestigter, elektromagnetischer Sende- und Empfangseinheit in einer weiteren Ausführungsform; 6 shows a sectional view of the support rail with a cover, support member and fixed thereto, electromagnetic transmitting and receiving unit in a further embodiment;

7 zeigt die Befestigung der Trägerschiene an einer Decke; 7 shows the attachment of the carrier rail to a ceiling;

8 zeigt in perspektivischer Explosionsdarstellung zwei Trägerschienen, die über ein Anschlussmodul miteinander verbunden si 8th shows in perspective exploded view two carrier rails, which are connected to each other via a connection module si

9 zeigt in Schnittansicht die Trägerschiene mit einer Abdeckung, Tragelement und daran befestigter Ultraschallsendeeinheit. 9 shows in sectional view the carrier rail with a cover, support member and attached thereto ultrasonic transmitting unit.

10 zeigt in Schnittansicht die Trägerschiene mit einer Abdeckung, Tragelement und daran befestigter, elektromagnetischer Sende- und Empfangseinheit in einer weiteren Ausführungsform; 10 shows a sectional view of the support rail with a cover, support member and fixed thereto, electromagnetic transmitting and receiving unit in a further embodiment;

1 zeigt einen Querschnitt durch eine erfindungsgemäße Trägerschiene 1. Diese weist im Wesentlichen ein dreieckförmiges Profil mit quer zur Längsrichtung gekrümmten Außenflächen 3 auf. Das Profil umschließt zwei Hohlräume 5a, 5b, in denen die Sende- oder Empfangseinheiten oder deren Mittel zur Ansteuerung oder Versorgung angeordnet werden können. Es ist ein Durchbruch 4 vorgesehen, durch den der Hohlraum 5b zugänglich ist. Die Trägerschiene 1 weist Flansche 2a auf, die längs der Trägerschiene 1 verlaufen und geeignet geformt sind, um Kabel aufnehmen zu können. Es sind ferner Flanschpaare 2b vorgesehen, die jeweils zwei nahezu ringförmig zueinander angeordnete Flansche mit einem dazwischen verbleibenden, die Trägerschiene entlang verlaufenden Schlitz aufweisen. In den Schlitz jedes Flanschenpaares 2b ist die Abtrennung 50 seitlich einschiebbar oder aus Richtung des Durchbruchs 4 einschnappbar. Die ringförmige Ausgestaltung der Flanschenpaare 2b ermöglicht es, Schrauben zwischen die Flansche des Flanschenpaares 2b senkrecht zum Trägerschienenquerschnitt einzuschrauben, um beispielsweise Endkappen an der Trägerschiene 1 einfach und sicher befestigen zu können. Die Abtrennung 50 separiert die Hohlräume 50 und 5b. Dadurch können Teile der Mittel zur Ansteuerung oder Versorgung voneinander beabstandet werden, um elektromagnetische Wechselwirkungen zwischen diesen zu minimieren. Ferner kann einer der Hohlräume einen geschlossenen, die Trägerschiene gleichförmig durchziehenden Kabelkanal bilden, durch den leicht Kabel eingeführt und eingezogen werden können, ohne dass weitere voluminösere Teile der Mittel zur Ansteuerung oder Versorgung die Verkabelung behindern. 1 shows a cross section through a carrier rail according to the invention 1 , This has essentially a triangular profile with curved transversely to the longitudinal direction of the outer surfaces 3 on. The profile encloses two cavities 5a . 5b in which the transmitting or receiving units or their means for control or supply can be arranged. It is a breakthrough 4 provided by the cavity 5b is accessible. The carrier rail 1 has flanges 2a on, along the support rail 1 run and are shaped to accommodate cables can. There are also flange pairs 2 B provided, each two have almost annularly arranged flanges with a remaining therebetween, the support rail extending along slot. In the slot of each pair of flanges 2 B is the separation 50 inserted laterally or from the direction of the opening 4 snapped. The annular configuration of the flanged pairs 2 B allows screws between the flanges of the pair of flanges 2 B Screw in perpendicular to the carrier rail cross section, for example, end caps on the support rail 1 easy and safe to attach. The separation 50 separates the cavities 50 and 5b , This allows portions of the drive or supply means to be spaced apart to minimize electromagnetic interactions therebetween. Further, one of the cavities may form a closed, uniformly extending support rail through the cable channel through which cables can easily be inserted and retracted without further bulkier parts of the means of control or supply obstructing the wiring.

Die Trägerschiene 1 weist eine Nut 6 mit Flanschen 7 auf, um über nicht gezeigte Befestigungsmittel die Trägerschiene 1 an einer Decke oder Wand zu befestigen. Im Bereich des Durchbruchs 4 weist die Trägerschiene 1 eine vorstehende Kante oder Lippe 8a, die mit einer Nut 110 an der in 2 gezeigten Abdeckung 10 korrespondiert und durch diese klemmend gehalten wird, wenn die Abdeckung 10 in den Durchbruch 4 eingebracht wird. Die Fixierung wird durch eine Vorspannung der Abdeckung 10 bzw. der Trägerschiene 1 oder elastisch federnde Abschnitte im Bereich der Nut 110 erreicht. Bei der Fixierung der Abdeckung 10 an der Trägerschiene 1 kommt es auf eine sichere einrastende Verbindung an, dabei kann sowohl die Position der Nut alternativ an der Abdeckung 10 oder an der Trägerschiene 1 vorgesehen sein; entsprechendes gilt für die vorstehende Kante oder Lippe 8a. Darüber hinaus können auch andere bekannte wechselseitig einrastende Verbindunssysteme Verwendung finden. In die Trägerschiene 1 eingebracht, schließt die Abdeckung 10 bündig mit der Trägerschiene 1 ab.The carrier rail 1 has a groove 6 with flanges 7 on to not shown fasteners the carrier rail 1 to attach to a ceiling or wall. In the area of the breakthrough 4 has the carrier rail 1 a protruding edge or lip 8a that with a groove 110 at the in 2 shown cover 10 corresponds and is clamped by this when the cover 10 in the breakthrough 4 is introduced. The fixation is achieved by a bias of the cover 10 or the carrier rail 1 or elastically resilient portions in the region of the groove 110 reached. When fixing the cover 10 on the carrier rail 1 it depends on a secure latching connection, it can both the position of the groove alternatively on the cover 10 or on the carrier rail 1 be provided; the same applies to the protruding edge or lip 8a , In addition, other known mutual interlocking Verbindunssysteme can be used. Into the carrier rail 1 inserted, closes the cover 10 flush with the carrier rail 1 from.

3 zeigt ebenfalls Trägerschiene 1 mit im wesentlichen dreieckförmigem Profit und quer zur Längsrichtung gekrümmten Außenflächen 3, die einen Hohlraum 5 umschließen. Es sind ferner Flansche 2 als Kabelführungen vorgesehen. Eine Nut 6 mit daran angebrachten Flanschen 7 dient zur Aufnahme und Befestigung von nicht gezeigten Befestigungsmitteln. Der Durchbruch der Trägerschiene 1 ist mit einer Abdeckung 10 verschlossen. In dieser Ausführungsform weist die Abdeckung 10 zwei Lippen 11b auf. die beim Einbringen der Abdeckung 10 in den Durchbruch jeweils in eine korrespondierende Nut 8b der Trägerschiene 1 einrasten und so die Abdeckung 10 an der Trägerschiene 1 fixieren. An der Abdeckung 10 ist eine Tragelement 13a befestigt, an der eine kombinierte Funksende- und Empfangseinheit 12a zum Datenaustausch mit der nicht gezeigten Transporteinheit befestigt ist. 3 also shows carrier rail 1 with substantially triangular profit and transverse to the longitudinal direction curved outer surfaces 3 that have a cavity 5 enclose. They are also flanges 2 provided as cable guides. A groove 6 with attached flanges 7 serves for receiving and fixing fasteners, not shown. The breakthrough of the carrier rail 1 is with a cover 10 locked. In this embodiment, the cover 10 two lips 11b on. when inserting the cover 10 in the breakthrough in each case in a corresponding groove 8b the carrier rail 1 snap into place and so the cover 10 on the carrier rail 1 fix. At the cover 10 is a support element 13a attached to the one combined radio transmitter and receiver unit 12a is attached to the data exchange with the transport unit, not shown.

4 zeigt eine Abdeckung 10 in Detailansicht. Die Abdeckung 10 ist in einen Durchbruch der Trägerschiene 1 eingebracht und schließt die Trägerschiene 1 bündig ab. Die Trägerschiene 1 weist zur Fixierung der Abdeckung 10 zwei Lippen oder längs der Trägerschiene 1 verlaufende Vorsprünge 8a auf, die jeweils in eine an der Abdeckung 10 vorgesehene Nut 1a einrasten. Die Abdeckung 10 ist mit einem Tragelement 13a versehen, die verschiebbar in zwei Nuten der Abdeckung 10 gehalten wird. An dem Tragelement 13a ist eine kombinierte Funksende- und Empfangseinheit 12b mit seiner zugehörigen Leiterplatte 15a befestigt. Die Antenne der kombinierte Funksende- und Empfangseinheit 12b ragt aufgrund einer in der Abdeckung 10 vorgesehenen Aussparung 14 zur Verbesserung ihres Abstrahlverhaltens aus der Trägerschiene 1 und der Abdeckung 10 heraus. 4 shows a cover 10 in detail view. The cover 10 is in a breakthrough of the carrier rail 1 inserted and closes the carrier rail 1 flush off. The carrier rail 1 indicates the fixation of the cover 10 two lips or along the support rail 1 extending projections 8a on, each in one on the cover 10 provided groove 1a engage. The cover 10 is with a support element 13a fitted, slidable in two grooves of the cover 10 is held. On the support element 13a is a combined radio transmitter and receiver unit 12b with its associated circuit board 15a attached. The antenna of the combined radio transmitter and receiver unit 12b protrudes due to a in the cover 10 provided recess 14 to improve their radiation behavior from the carrier rail 1 and the cover 10 out.

5 zeigt die Trägerschiene 1 im Querschnitt. Es sind Flansche 2 als Kabelführungen sowie eine Nut 6 zur Befestigung der Trägerschiene 1 an einer Decke vorgesehen. Die Trägerschiene 1 weist einen Hohlraum 5 auf. Der Hohlraum 5 wird durch eine Abdeckung 10 verschlossen, die durch oben beschriebene Lippe-Nut-Wechselwirkung an der Trägerschiene 1 fixiert ist. An der Abdeckung 10 ist ein Tragelement 13a befestigt. An dieser ist ein Mittel zur elektrischen Ansteuerung der Sendeeinheiten oder Empfangseinheiten z. B. ein Switch 16 befestigt. 5 shows the carrier rail 1 in cross section. They are flanges 2 as cable guides and a groove 6 for fastening the carrier rail 1 provided on a ceiling. The carrier rail 1 has a cavity 5 on. The cavity 5 is through a cover 10 closed by the above-described lip-groove interaction on the support rail 1 is fixed. At the cover 10 is a support element 13a attached. At this is a means for electrical control of the transmitting units or receiving units z. A switch 16 attached.

6 zeigt eine Trägerschiene 1 mit einer Abdeckung 10 in einer weiteren Ausführungsform. Die Trägerschiene 1 weist einen Hohlraum 5 auf. Die Trägerschiene 1 bzw. deren Hohlraum 5 wird durch eine Abdeckung 10 verschlossen. An der Abdeckung 10 ist ein Tragelement 13b an zwei Seiten über jeweils eine Nut 18 und einen Flansch 17 befestigt. Das Tragelement 13b dient zur Befestigung einer weiteren kombinierten Funksende- und Empfangseinheit 12c mit zugehöriger Keramikantenne und Leiterplatte 15b. Das Tragelement 13b ist so gestaltet, dass es teilweise in einer Aussparung 19 der Abdeckung 10 angeordnet ist und mit dieser bündig abschließt. Die zwischen den Aussparungen 19 vorgesehene Formgebung stimmt mit der der Abdeckung 10 überein, so dass keine, beispielsweise einen Luftstrom hindernde Vorsprünge auftreten. Das Tragelement 13b besteht vorwiegend aus Funksignale nicht abschirmenden Materialien. beispielsweise aus Acrylnitril-Butadien-Styro- oder Polyvinylchlorid-Kunststoff. 6 shows a carrier rail 1 with a cover 10 in a further embodiment. The carrier rail 1 has a cavity 5 on. The carrier rail 1 or their cavity 5 is through a cover 10 locked. At the cover 10 is a support element 13b on two sides via one groove each 18 and a flange 17 attached. The support element 13b serves to attach another combined radio transmitter and receiver unit 12c with associated ceramic antenna and printed circuit board 15b , The support element 13b is designed so that it is partially in a recess 19 the cover 10 is arranged and terminates flush with this. The between the recesses 19 intended shaping agrees with that of the cover 10 match, so that no, for example, an air flow hindering projections occur. The support element 13b consists mainly of radio signals non-shielding materials. for example, acrylonitrile-butadiene-styrene or polyvinyl chloride plastic.

7 zeigt die Befestigung der Trägerschiene 1 an einer Decke 23 mit den Befestigungsmitteln 21, 20 und 22. Die Trägerschiene 1 weist eine Nut 6 mit Flanschen 7 auf. In die Nut 6 kann ein Fuß 22 der Befestigungsmittel eingebracht werden. Der Fuß 22 ist drehbeweglich an einer Stange 20 befestigt. In der gezeigten Stellung ist der Fuß 22 klemmend an den Flanschen 7 befestigt. In gelöster Stellung ist der Fuß 22 entlang der Nut 6 verschiebbar. In einer gegenüber der gezeigten, um 90° gedrehten Ausrichtung des Fußes 22 ist dieser der Nut 6 entnehmbar. Das andere Ende des Stabes 20 ist an der Decke 23 über das Schraubelement 21 befestigt. Der Stab 20 weist ein Bohrung mit Innengewinde auf, in das das Schraubelement 21 ein- und ausschraubbar ist und somit eine Justierung des Abstandes zwischen Decke 23 und Trägerschiene 1 vorgenommen werden kann. 7 shows the attachment of the carrier rail 1 on a blanket 23 with the fasteners 21 . 20 and 22 , The carrier rail 1 has a groove 6 with flanges 7 on. In the groove 6 can a foot 22 the fastening means are introduced. The foot 22 is rotatable on a pole 20 attached. In the position shown is the foot 22 clamped to the flanges 7 attached. In the released position is the foot 22 along the groove 6 displaceable. In a relation to the shown, rotated by 90 ° orientation of the foot 22 this is the groove 6 removable. The other end of the bar 20 is on the ceiling 23 over the screw element 21 attached. The rod 20 has a bore with internal thread, in which the screw 21 can be screwed in and out and thus an adjustment of the distance between the ceiling 23 and support rail 1 can be made.

8 zeigt die Verbindung zweier Tragerschienen 1 und 1b über ein Anschlussmodul 30. Das Anschlussmodul 30 weist vorteilhaft ein mit den Trägerschienen 1, 1b übereinstimmendes Querschnittsprofil in Längsrichtung auf. Die Trägerschienen 1 und 1b sind jeweils über Verbindungsmittel 33 an dem Anschlussmodul 30 befestigt. Es ist eine Nut 6 mit abgewinkelten Flanschen 7 am Anschlussmodul 30 und den Trägerschienen 1, 1b vorgesehen, in die ein Metallplättchen 33 so einschiebbar ist, dass es die beiden Nuten 6 miteinander verbindet. In jedem Abschnitt des Metallplättchens 33, das in der Nut 6 angeordnet ist, sind Bohrungen mit Gewinde vorgesehen. In die Bohrungen sind von außen Schrauben einschraubbar. Beim Einschrauben wird das Metallplättchen 33 gegen die abgewinkelten Flansche 7 gepresst und fixiert das Plättchen 33 auf diese Weise an der jeweiligen Trägerschiene 1, 1b bzw. am Anschlussmodul 30 und verbindet damit zwei Trägerschienen 1, 1b über das Anschlussmodul 30 an deren Schmalseiten miteinander. 8 zeigt gegenüber 7 zwei weitere, alternative Befestigungsmöglichkeiten. Die Mittel zur Befestigung der Trägerschienen umfassen einen Stab 31a. Der Stab 31a ist an dem von der Trägerschiene wegweisenden Ende 31c mit einem Gewinde versehen. Damit ist er an einer Decke oder Wand befestigbar. Am gegenüberliegenden Ende ist der Stab 31a mit einem drehbeweglich gelagerten Fuß 31b versehen. Der Fuß 31b ist in ein in der Nut 6 der Trägerschiene verschiebbar gelagertes Metallplättchen 31d einschraub- oder einschiebbar. Im eingeschraubten bzw. eingeschobenen Zustand werden die Flansche 7 der Nut 6 zwischen dem Metallplättchen 31d und dem Fuß 31b klemmend gehalten und somit die Trägerschiene 1 an den Befestigungsmitteln befestigt. Alternativ kann die Trägerschiene mit der Öse 32 an der Decke befestigt werden. 8th shows the connection of two support rails 1 and 1b via a connection module 30 , The connection module 30 Advantageously, one with the carrier rails 1 . 1b matching cross-sectional profile in the longitudinal direction. The carrier rails 1 and 1b are each about connecting means 33 on the connection module 30 attached. It is a groove 6 with angled flanges 7 on the connection module 30 and the carrier rails 1 . 1b provided in which a metal plate 33 so insertable is that it's the two grooves 6 connects with each other. In every section of the metal plate 33 that in the groove 6 is arranged, holes are provided with thread. Screws can be screwed into the holes from the outside. When screwing in the metal plate 33 against the angled flanges 7 pressed and fixed the plate 33 in this way on the respective support rail 1 . 1b or at the connection module 30 and thus connects two carrier rails 1 . 1b via the connection module 30 on the narrow sides of each other. 8th shows opposite 7 two more, alternative mounting options. The means for fixing the support rails comprise a rod 31a , The rod 31a is at the end facing away from the carrier rail end 31c threaded. So he is attachable to a ceiling or wall. At the opposite end is the staff 31a with a rotatably mounted foot 31b Mistake. The foot 31b is in one in the groove 6 the carrier rail slidably mounted metal plate 31d screwed or inserted. In the screwed or retracted state, the flanges 7 the groove 6 between the metal plate 31d and the foot 31b clamped and thus the support rail 1 attached to the fasteners. Alternatively, the carrier rail with the eyelet 32 be attached to the ceiling.

Der Hohlraum der Trägerschiene 1b ist mit einer Abdeckung 38 versehen. Die Abdeckung 38 dient gleichzeitig als Tragelement für den Funksender 39 und den Ultraschallsender 40. Im und am Anschlussmodul 30 sind wesentliche Teile der Mittel zur elektrischen Versorgung oder Ansteuerung der Sende- oder Empfangseinheiten angeordnet. Das Anschlussmodul 30 ist durch die Abdeckung 34 verschlossen. Diese dient ferner als Tragelement für das im Hohlraum des Anschlussmoduls befestigte Switch 35 und die Bus-Schnittstelle 36. An der Abdeckung 34 bzw. am Tragelement ist ferner ein Ansteuerungselement 37 mit integrierter Logik befestigt. Dieser dient zur Kommunikation mit den Sende- oder Empfangseinheiten. Die Mittel zur elektrischen Versorgung oder Ansteuerung der Sende- oder Empfangseinheiten umfassen ferner Antennen-, Synchronisations- und Ethernetleitungen 41. Diese sind im Hohlraum der Tragerschienen 1, 1b und des Anschlussmoduls 30 angeordnet. Die Leitungen sind mit elektrischen Kupplungen 42 zur Auftrennung im Bereich der Verbindung zwischen Trägerschiene 1b und Anschlussmodul 30 versehen.The cavity of the carrier rail 1b is with a cover 38 Mistake. The cover 38 also serves as a support element for the radio transmitter 39 and the ultrasound transmitter 40 , In and on the connection module 30 are essential parts of the means for electrical supply or control of the transmitting or receiving units arranged. The connection module 30 is through the cover 34 locked. This also serves as a support element for the fastened in the cavity of the connection module switch 35 and the bus interface 36 , At the cover 34 or on the support element is also a drive element 37 attached with integrated logic. This is used for communication with the transmitting or receiving units. The means for electrical supply or control of the transmitting or receiving units further comprise antenna, synchronization and Ethernet lines 41 , These are in the cavity of the support rails 1 . 1b and the connection module 30 arranged. The cables are with electrical couplings 42 for separation in the area of the connection between carrier rail 1b and connection module 30 Mistake.

9 zeigt einen Querschnitt durch eine erfindungsgemäße Trägerschiene 1. Diese weist im Wesentlichen ein dreieckförmiges Profil mit quer zur Längsrichtung gekrümmten Außenflächen 3 auf. Des Profil umschließt einen Hohlraum 5, in dem die Sende- oder Empfangseinheiten oder deren Mittel zur Ansteuerung oder Versorgung angeordnet werden können. Es ist ein Durchbruch 4 vorgesehen, durch den der Hohlraum 5 zugänglich ist. Die Trägerschiene 1 weist Flansche 20 auf, die längs der Trägerschiene 1 verlaufen und geeignet geformt sind, um Kabel aufnehmen zu können. Es sind ferner Flanschpaare 2b vorgesehen, die jeweils zwei nahezu ringförmig zueinander angeordnete Flansche mit einem dazwischen verbleibenden, die Trägerschiene entlang verlaufenden Schlitz aufweisen. in den Schlitz jedes Flanschenpaares 2b ist eine nicht gezeigte Abtrennung einschiebbar. Die ringförmige Ausgestaltung der Flanschenpaare 2b ermöglicht es. Schrauben zwischen die Flansche des Flanschenpaares 2b senkrecht zum Trägerschienenquerschnitt einzuschrauben, um beispielsweise Endkappen an der Trägerschiene 1 einfach und sicher befestigen zu können. Im Bereich des Durchbruchs 4 weist die Trägerschiene 1 eine Nut 52 auf. die mit einer Lippe 53 an der Abdeckung 10 korrespondiert und durch diese klemmend gehalten wird, wenn die Abdeckung 10 in den Durchbruch 4 eingebracht wird. In die Trägerschiene 1 eingebracht, schließt die Abdeckung 10 bündig mit der Trägerschiene 1 ab. An der Abdeckung 10 ist eine Tragelement 13c befestigt, an der ein Ultraschallsender 51 zum Aussenden von Ultraschallpulsen zur Ortung einer nicht gezeigten Transporteinheit befestigt ist. Die Abdeckung 10 weist einen Durchbruch auf, um den Ultraschallsender 51 bündig aufzunehmen. 9 shows a cross section through a carrier rail according to the invention 1 , This has essentially a triangular profile with curved transversely to the longitudinal direction of the outer surfaces 3 on. The profile encloses a cavity 5 in which the transmitting or receiving units or their means for control or supply can be arranged. It is a breakthrough 4 provided by the cavity 5 is accessible. The carrier rail 1 has flanges 20 on, along the support rail 1 run and are shaped to accommodate cables can. There are also flange pairs 2 B provided, each having two almost annularly arranged flanges with a remaining therebetween, the support rail extending along slot. into the slot of each pair of flanges 2 B a partition, not shown, can be inserted. The annular configuration of the flanged pairs 2 B allows. Screws between the flanges of the pair of flanges 2 B Screw in perpendicular to the carrier rail cross section, for example, end caps on the support rail 1 easy and safe to attach. In the area of the breakthrough 4 has the carrier rail 1 a groove 52 on. the one with a lip 53 on the cover 10 corresponds and is clamped by this when the cover 10 in the breakthrough 4 is introduced. Into the carrier rail 1 inserted, closes the cover 10 flush with the carrier rail 1 from. At the cover 10 is a support element 13c attached to the an ultrasonic transmitter 51 is attached for emitting ultrasonic pulses for locating a transport unit, not shown. The cover 10 has a breakthrough to the ultrasonic transmitter 51 flush.

10 zeigt eine Trägerschiene 1 mit einer Abdeckung 10 in einer weiteren Ausführungsform. Die Trägerschiene 1 weist zwischen den gekrümmten Außenflächen 3 einen Hohlraum 5 auf. Der Hohlraum 5 ist über den Durchbruch 4 zugänglich. Der Durchbruch 4 bzw. der Hohlraum 5 wird durch eine Abdeckung 10 verschlossen. Die Abdeckung 1D weist an seinen zu den gekrümmten Außenflächen 3 parallel verlaufenden Selten jeweils Vorsprünge 11c auf. Diese werden von den vorspringenden Kanten 8a der Trägerschiene 1 beim Einbringen der Abdeckung 10 in den Durchbruch hintergriffen. und die Abdeckung 10 wird so an der Trägerschiene rastend fixiert. Die Abdeckung 10 ist so gestaltet und die Fixierungsmittel 8a, 11c sind so angeordnet, dass die Abdeckung 10 die Trägerschiene 1 im Wesentlichen bündig verschließt. An der Abdeckung 10 ist ein Tragelement 13d durch die Schraubverbindung 60 befestigt. Das Tragelement 13b dient zur Befestigung eines Funksenders 12d. Die Abdeckung 10 besteht vorwiegend aus Funksignale nicht abschirmenden Materialien, beispielsweise aus Acrylnitril-Butadien-Styro- oder Polyvinylchlorid-Kunststoff, ein Durchbruch für den Funksender 12d kann somit vorteilhaft entfallen. 10 shows a carrier rail 1 with a cover 10 in a further embodiment. The carrier rail 1 points between the curved outer surfaces 3 a cavity 5 on. The cavity 5 is about the breakthrough 4 accessible. The breakthrough 4 or the cavity 5 is through a cover 10 locked. The cover 1D indicates its to the curved outer surfaces 3 parallel Rare each projections 11c on. These are by the projecting edges 8a the carrier rail 1 when inserting the cover 10 in the breakthrough behind. and the cover 10 is thus fixed to the carrier rail latching. The cover 10 is designed and the fixative 8a . 11c are arranged so that the cover 10 the carrier rail 1 essentially flush closes. At the cover 10 is a support element 13d through the screw connection 60 attached. The support element 13b serves for mounting a radio transmitter 12d , The cover 10 consists mainly of non-shielding radio signals materials, such as acrylonitrile-butadiene-styrene or polyvinyl chloride plastic, a breakthrough for the radio transmitter 12d can thus be advantageously eliminated.

Claims

Device for locating transport units with a carrier rail ( 1 ), with several on the support rail ( 1 ) attached transmitting units and / or receiving units ( 12a , b, c, d, 39 . 40 . 51 ), with means for attachment ( 20 . 21 . 22 . 31a , b, c, d, 32 ) of the carrier rail ( 1 ) on a ceiling ( 23 ) or wall, wherein the carrier rail ( 1 ) Means for electrical supply and / or control ( 16 . 35 . 36 . 37 . 41 ) of the transmitting units and / or receiving units, wherein at least one transmitting unit and / or receiving unit having means for the radio transmission of signals ( 12a , b, c, d, 39 ) and at least one transmitting unit and / or receiving unit with means for transmitting ultrasound ( 40 . 51 ) are provided, wherein the support rail ( 1 ) has a substantially triangular cross-sectional profile in the longitudinal direction.

Device according to the preceding claim, with a plurality of transmitting and / or receiving units, wherein the transmitting units and / or receiving units ( 12a , b, c, 39 . 40 . 51 ) are equally spaced from each other.

Device according to one of the preceding claims, wherein the length of the support rail ( 1 ) outer surfaces ( 3 ) transversely to the course of the carrier rail ( 1 ) are curved.

Device according to one of the preceding claims, wherein the carrier rail ( 1 ) one or more cavities ( 5 . 5a . 5b ) having.

Device according to the preceding claim, wherein the means for the electrical supply and / or control of the transmitting units and / or receiving units ( 16 . 35 . 36 . 41 ) substantially in the cavity ( 5 . 5a . 5b ) are arranged.

Device according to one of the preceding claims 4 or 5, wherein the cavity ( 5 . 5a . 5b ) a cover ( 10 ) having.

Device according to one of the preceding claims, wherein the carrier rail ( 1 ) consists of metal.

Device according to one of the preceding claims, wherein substantially along the carrier rail ( 1 ) or cover ( 10 ) one or more flanges ( 2 . 2a . 2 B ) are provided.

Device according to one of the preceding claims, wherein the carrier rail ( 1 ) Connecting means ( 33 . 30 ) for connection to one or more further carrier rails ( 1b ) having.

Device according to one of the preceding claims, wherein the connecting means comprise electrical or optical couplings ( 42 ) for the means for electrical supply and / or control of the transmitting units and / or receiving units ( 16 . 35 . 36 . 37 . 41 ).

Device according to one of the preceding claims, with a connection module ( 30 ) for the means for electrical supply and / or control of the transmitting units and / or receiving units ( 16 . 35 . 36 . 37 . 41 ), on which at least one carrier rail ( 1 . 1b ) is attached.

Device according to one of the preceding claims, wherein the means for fixing ( 20 . 21 . 22 . 31a , b, c, 32 ) on a ceiling ( 23 ) or wall a distance from the ceiling or wall spaced attachment of the support rail ( 1 ) enable.

Device according to the preceding claim, wherein the means for fixing ( 20 . 21 . 22 . 31a , b, c, d, 32 ) with respect to the distance between the support rail ( 1 ) and ceiling ( 23 ) or wall are adjustable.

Device according to one of the preceding claims, wherein the means for fixing ( 20 . 21 . 22 . 31a , b, c, d, 32 ) along the carrier rail ( 1 ) are fastened.

Use of the device according to any preceding device claims 1 to 14 for locating a transport unit in semiconductor manufacturing or semiconductor processing.

Method for fixing the device according to one of claims 1 to 14, wherein in a first step the means for fastening ( 20 . 21 . 22 . 31a , b, c, d 32 ) on a ceiling ( 23 ) or wall, in a second step the means for fixing ( 20 . 21 . 22 . 31a , b, c, 32 ) with respect to the distance between the support rail ( 1 ) and ceiling ( 23 ) or wall, in a third step one or more carrier rails ( 1 . 1b ) on the means of attachment ( 20 . 21 . 22 . 31a , b, c, d, 32 ) are attached.