DE102004002484A1 - Piezoaktor mit einer elektrisch leitfähigen Kontaktfahne - Google Patents

Piezoaktor mit einer elektrisch leitfähigen Kontaktfahne Download PDF

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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/872Connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. external electrodes

Abstract

Ein insbesondere für ein Einspritzventil einer Brennkraftmaschine vorgesehener Piezoaktor (10) weist einen Aktorkörper (12) aus einem piezoelektrischen Material auf, der im Betrieb des Piezoaktors (10) expandiert und kontrahiert, sowie mindestens eine am Aktorkörper (12) angebrachte, elektrisch leitfähige Kontaktfahne (20), die expandierbar und kontrahierbar ist. Die elektrisch leitfähige Kontaktfahne (20) ist erfindungsgemäß mit einer strukturierten Folie (26) gestaltet.

Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor, insbesondere für ein Einspritzventil einer Brennkraftmaschine, mit einem Aktorkörper aus einem piezoelektrischen Material, der im Betrieb des Piezoaktors expandiert und kontrahiert und mindestens einer am Aktorkörper angebrachten, elektrisch leitfähigen Kontaktfahne, die expandierbar und kontrahierbar ist.
  • Piezoaktoren der eingangs genannten Art werden unter anderem bei Brennkraftmaschinen als Stellglied für Kraftstoffeinspritzsysteme verwendet. Der Piezoaktor ist üblicherweise aus mehreren zu einem stapelförmigen Aktorkörper angeordneten Piezoelementen aufgebaut, zwischen denen metallische Innenelektroden angeordnet sind. Wird an diesen Innenelektroden eine elektrische Spannung angelegt, so reagieren die Piezoelemente mit einer Gitterverzerrung. Als Folge davon expandiert und kontrahiert jedes Piezoelement und damit der Aktorkörper in einer Richtung, die durch die Anordnung der Piezoelemente und der Innenelektroden bestimmt ist.
  • Die elektrische Kontaktierung der Innenelektroden wird bei bekannten Piezoaktoren über eine Grundmetallisierung sichergestellt, die sich streifenförmig über den Aktorkörper hinweg erstreckt und an der eine streifenförmige, elektrisch leitfähige Kontaktfahne über zumindest eine ihrer Kanten angelötet ist. Die Kontaktfahne erstreckt sich ebenfalls über die gesamte Höhe der stapelförmig angeordneten Piezoelemente. Eine vom Aktorkörper wegweisende Außenkante der Kontaktfahne ist mit einem starren elektrischen Anschlusselement verbunden.
  • Mit Hilfe der Kontaktfahne soll ein eventuell in der zugehörigen Grundmetallisierung auftretender Riss elektrisch überbrückt werden. Auf diese Weise soll die Zyklenzahl, d.h. die Zahl einer einmaligen Expansion und Kontraktion des Piezoaktors bzw. des Aktorkörpers in einer bestimmten Richtung, erhöht werden.
  • Bei bekannten Piezoaktoren ist die Kontaktfahne in Form einer mit Kupfer kaschierten Kunststofffolie oder in Gestalt eines Drahtgebildes, Siebes oder Gewebes ausgebildet.
  • Aufgabe und Lösung der Erfindung
  • Aufgabe der Erfindung ist es, einen Piezoaktor zu schaffen, der gegenüber einem bekannten Piezoaktor eine weiterverbesserte elektrische Kontaktierung und damit eine noch höhere Zyklenzahl und Lebensdauer aufweist. Erfindungsgemäß soll dabei insbesondere eine kostengünstige Außenelektrode mit einer elektrisch leitfähigen Kontaktfahne geschaffen werden, die auch für Piezoaktoren mit unterschiedlichen Innenelektrodendesigns, wie z.B. Interdigitales- oder Eckendesign, als elektrische Verbindung genutzt werden kann.
  • Die Aufgabe ist erfindungsgemäß mit einem eingangs genannten Piezoaktor, insbesondere für ein Einspritzventil einer Brennkraftmaschine, gelöst, bei dem die elektrisch leitfähige Kontaktfahne mit einer strukturierten Folie gestaltet ist.
  • Erfindungsgemäß ist die Außenelektrode an einem Aktorkörper aus piezoelektrischem Material eines Piezoaktors mit einer Folie gestaltet, in bzw. an der gezielt eine Struktur ausgebildet ist, die einerseits eine Expansion und Kontraktion der elektrischen Kontaktfahne zulässt und andererseits dauerhaft eine elektrische Verbindung zwischen den Innenelektroden des Aktorkörpers und einer elektrischen Leitung zum Anlegen einer elektrischen Spannung am Aktorkörper sicherstellt. Durch die Struktur der Folie ist die elektrisch leitfähige Kontaktfahne dehnungstolerant und kann dennoch beispielsweise durch Feinstanzen oder Laserschneiden kostengünstig hergestellt werden. Insbesondere Kann eine gute Dehnungstoleranz in Längsrichtung einer länglichen elektrisch leitfähigen Kontaktfahne hergestellt werden, sodass der Aktorkörper in seiner Expansions- und Kontraktionsrichtung weitgehend Bewegungsfreiheit hat.
  • Die derart gestaltete elektrisch leitfähige Kontaktfahne kann mit ihrer strukturierten Folie an dem Aktorkörper insbesondere an dessen Grundmetallisierung kostengünstig durch einen Lötprozess und/oder durch Kleben mit einem duktilen Leitpolymer befestigt werden.
  • Zur Kontaktierung einer elektrischen Zuleitung an der elektrisch leitfähigen Kontaktfahne kann beispielsweise eine Steckerzuführung durch Widerstands- oder Laserschweißen mit dem vom Aktorkörper abgewandten Rand der strukturierten Folie verbunden werden.
  • Die Struktur der erfindungsgemäßen Folie ist besonders vorteilhaft mit Löchern und/oder Schlitzen gestaltet, die insbesondere als Durchgangslöcher und/oder Durchgangsschlitze innerhalb der Folie einzelne Bereiche ausbilden, in denen die Folie leicht zusammengedrückt oder auseinandergezogen werden kann.
  • Die Löcher oder Schlitze sind besonders vorteilhaft in einer als Band gestalteten Folie im Wesentlichen quer zur Längserstreckung des Bandes ausgebildet. Das Band weist dadurch in seiner Längsrichtung eine vergleichsweise geringe Dehnsteifigkeit auf, und kann durch den benachbarten Aktorkörper leicht expandiert und kontrahiert werden.
  • Darüber hinaus sind in der strukturierten Folie vorteilhaft mindestens zwei Reihen von Löchern oder Schlitzen nebeneinander ausgebildet. Zwischen den Löchern oder Schlitzen verbleiben dann Stege, die die Stabilität der Folie erhöhen und die Handhabung der Folie insbesondere bei deren Montage erleichtern.
  • Die Löcher oder Schlitze der beiden Reihen können jeweils einander gegenüberliegend angeordnet sein, wodurch zwischen den beiden Reihen ein vergleichsweise steifer Steg verbleibt. Alternativ können die Löcher oder Schlitze der beiden Reihen jeweils versetzt zueinander gegenüberliegend angeordnet sein. Der zwischen den beiden Reihen verbleibende Steg ist dann im Wesentlichen wellig oder zickzack-förmig gestaltet, sodass auch dieser Steg in Längsrichtung des Bandes zumindest geringfügig expandierbar und kontrahierbar ist.
  • Die Löcher oder Schlitze der erfindungsgemäßen Folie sind ferner vorteilhaft zumindest an einem Seitenrand der Folie und insbesondere des Bandes offen gestaltet. Zwischen derartigen Löchern oder Schlitzen verbleiben in der Folie „Zähne", derart, dass die Folie insgesamt mit einer Kammstruktur gestaltet ist. Die einzelnen Zähne dieser Kammstruktur sind vergleichsweise leicht beweglich, sodass die Folie an ihrem Seitenrand mit den offenen Löchern oder Schlitzen besonders leicht expandierbar und kontrahierbar ist. Alternativ können die Löcher oder Schlitze der Folie bis weit an den Seitenrand der Folie und insbesondere des Bandes herangeführt sein, wobei zwischen den derart ausgebildeten „Zähnen" noch jeweils ein kleiner Verbindungssteg am Seitenrand verbleiben kann. Die schmalen Verbindungsstege verbessern die Handhabbarkeit der derart gestalteten Folie während deren Montage und können dennoch vergleichsweise leicht expandiert und kontrahiert werden.
  • Ein derart mit einer Kammerstruktur versehener Seitenrand einer erfindungsgemäßen Folie und insbesondere eines erfindungsgemäßen Bandes kann dann vorteilhaft an dem Aktorkörper und insbesondere an einer streifenförmigen Grundmetallisierung an diesem befestigt sein. Das an seinem Seitenrand nahezu frei expandier- und kontrahierbare Band lässt dem Aktorkörper bei dessen Expansion und Kontraktion die erforderliche Freiheit. Dennoch stellt das Band dauerhaft eine sichere elektrisch leitende Verbindung zwischen der Grundmetallisierung des Aktorkörpers und der anzuschließenden elektrischen Leitung her.
  • Die Flexibilität der erfindungsgemäßen strukturierten Folie kann im Bedarfsfall besonders groß sein, indem die Löcher oder Schlitze der Folie durch Kanäle, insbesondere in Längsrichtung des Bandes miteinander verbunden sind. Die an dem Band zwischen den Löchern oder Schlitzen und Kanälen verbleibenden Finger bzw. Zähne einer derartigen erfindungsgemäßen Folie können mit einem ihrer Enden auf einem einzelnen Streifen einer Grundmetallisierung an dem zugehörigen Aktorkörper befestigt werden, während die anderen Enden der Finger bzw. Zähne durch das Material der Folie miteinander verbunden sind und an ihnen dann die anzuschließende elektrische Leitung angeschweißt werden kann.
  • Bei einer weiteren vorteilhaften Alternative einer erfindungsgemäßen strukturierten Folie sind deren Löcher oder Schlitze meanderförmig gestaltet.
  • Wie erwähnt, ist es ein wichtiger Aspekt bei der erfindungsgemäßen strukturierten Folie, dass in ihr mehrere voneinander geringfügig beabstandete Finger bzw. Streifen ausgebildet sind, die einzeln vergleichsweise biegeelastisch sind und mit einem Ende an einer zugehörigen Grundmetallisierung am Aktorkörper und an ihrem anderen Ende an einer zu kontaktierenden elektrischen Leitung befestigt sind. Die Grundmetallisierung kann dabei als einzelner Streifen ausgebildet sein, an dem an einer Streifenseite eine Reihe von Fingern bzw. Streifen absteht oder an beiden Streifenseiten jeweils eine Reihe von Fingern bzw. Streifen einer strukturierten Folie angebracht ist. Bei einer bandförmigen Folie können die einzelnen Finger bzw. Streifen in der Mitte der Folie in deren Längsrichtung miteinander verbunden sein oder es kann an einem oder beiden Rändern des Bandes eine Verbindung zwischen den Fingern bzw. Streifen vorgesehen sein. Derartige Verbindungen verbessern die Handhabbarkeit der erfindungsgemäßen strukturierten Folie insbesondere während deren Montage. Die Dehnungstoleranz der Folie kann erfindungsgemäß durch eine entsprechende Ausgestaltung der Löcher oder Schlitze sowie der dazwischenliegenden Streifen bzw. Finger entsprechend den zu erfüllenden Vorgaben eingestellt werden. Durch eine insbesondere versetzte Anordnung der Löcher oder Schlitze kann die Dauerhaltbarkeit der erfindungsgemäßen strukturierten Folie insbesondere hinsichtlich einer eventuellen Rissbildung erhöht werden.
  • Die erfindungsgemäße strukturierte Folie und die damit ausgebildeten elektrisch leitfähigen Kontaktfahnen sind für verschiedene Innenelektrodendesigns geeignet. Insbesondere können mit einer derartigen strukturierten Folie vorteilhaft interdigitale- oder Eckendesigns von Innenelektroden realisiert werden. Bei allen Varianten der erfindungsgemäßen strukturierten Folie ist gewährleistet, dass selbst bei einer eventuellen Rissfortpflanzung aus der Keramik des piezoelektrischen Materials des Piezoaktors in die erfindungsgemäße strukturierte Folie hinein die elektrische Anbindung der angeschlossenen Leitung und somit die Funktion des Piezoaktors bestehen bleibt.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele erfindungsgemäße Piezoaktoren anhand der beigefügten schematischen Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:
  • 1 die Draufsicht eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Piezoaktors,
  • 2 die Draufsicht eines zweiten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Piezoaktors,
  • 3a bis 3c Seitenansichten und eine Detailansicht eines ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen strukturierten Folie,
  • 4a bis 4c Seitenansichten und eine Detailansicht eines zweiten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen strukturierten Folie,
  • 5a bis 5c Seitenansichten und eine Detailansicht eines dritten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen strukturierten Folie,
  • 6a bis 6c Seitenansichten und eine Detailansicht eines vierten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen strukturierten Folie,
  • 7a bis 7c Seitenansichten und eine Detailansicht eines fünften Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen strukturierten Folie,
  • 8a bis 8d Seitenansichten und eine Detailansicht eines sechsten und siebten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen strukturierten Folie, und
  • 9a bis 9c Seitenansichten und eine Detailansicht eines achten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen strukturierten Folie.
  • Detaillierte Beschreibung der Ausführungsbeispiele
  • In den 1 und 2 ist jeweils ein Piezoaktor 10 dargestellt, der einen aus einzelnen Piezoelementen aufgebauten quaderförmigen Aktorkörper 12 und im Aktorkörper 12 angeordnete Innenelektroden 14 umfasst. Die Innenelektroden 14 sind jeweils als dünne Schichten zwischen den Piezoelementen angeordnet und ragen jeweils bis an die Seitenflächen des quaderförmigen Aktorkörpers 12. Die Innenelektroden 14 sind über Außenelektroden 16 kontaktiert, die mittels einer an der jeweiligen Seitenfläche des Aktorkörpers 12 angeordneten Grundmetallisierung 18 und einer daran angebrachten Kontaktfahne 20 gebildet sind. An den jeweiligen Kontaktfahnen 20 der Außenelektroden 16 ist jeweils eine zugehörige elektrische Leitung 22 angelötet, die durch eine den Aktorkörper 12 umgebende Isolationsschicht 24 hindurchgeführt ist und zur elektrischen Kontaktierung der Außenelektroden 16 und damit auch der Innenelektroden 14 dient. Durch Anlegen einer elektrischen Spannung an die Leitungen 22 reagiert das piezoelektrische Material des Aktorkörpers 12 mit einer Gitterverzerrung, wodurch der Aktorkörper 12 in Richtung der Blickachse auf die 1 und 2 expandiert und kontrahiert wird.
  • Damit insbesondere diese Expansion und Kontraktion des Aktorkörpers 12 während des Betriebs des Piezoaktors 10 nicht behindert wird, sind die Kontaktfahnen 20 der Außenelektroden 16 jeweils mit einer strukturierten Folie 26 gestaltet, die in Form eines Bandes an der jeweils zugehörigen Grundmetallisierung 18 über die gestapelten Piezoelemente des Aktorkörpers 12 hinweg angelötet ist.
  • In den 3a bis 3c ist ein erstes Ausführungsbeispiel einer solchen strukturierten Folie 26 näher veranschaulicht. 3a zeigt die Seitenansicht des Aktorkörpers 12 und einer daran ausgebildeten streifenförmigen Grundmetallisierung 18. Wie in 3b zu erkennen ist, ist an dieser Grundmetallisierung 18 eine strukturierte Folie 26 mit einem Seitenrandbereich angelötet. In der strukturierten Folie 26 ist quer zu deren Längsrichtung eine Vielzahl Schlitze 28 ausgebildet, die sich von einem offenen Seitenrand 30 der strukturierten Folie 26 zu einem geschlossenen Seitenrand 32 hin erstrecken. Am offenen Seitenrand 30 sind auf diese Weise voneinander beabstandete Finger gebildet, die am geschlossenen Seitenrand 32 an Rundungen 34 zusammenlaufen und dort miteinander verbunden sind. Aufgrund der Schlitze 28 ist die strukturierte Folie 26 insbesondere an ihrem offenen Seitenrand 30 in Längsrichtung leicht expandier- und kontrahierbar. Der geschlossene Seitenrand 32 und der zugehörige Seitenrandbereich ist hingegen vergleichsweise steif und kann gut mit einer Leitung 22 kontaktiert werden.
  • In den 4a bis 4c ist ein zweites Ausführungsbeispiel einer strukturierten Folie 26 veranschaulicht, die ebenfalls mit einem Seitenrandbereich des Seitenrandes 30 an einer einzelnen bandförmigen Grundmetallisierung 18 angebracht ist. Die strukturierte Folie 26 gemäß den 4a bis 4c weist ferner ebenfalls Schlitze 28 auf, die an einem geschlossenen Seitenrand 32 an Rundungen 34 auslaufen. An dem gegenüberliegenden Seitenrand 30 sind die Schlitze 28 jedoch nicht offen, wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß den 3a bis 3c, sondern die Schlitze 28 sind durch schmale Verbindungsstege 36 miteinander verbunden. Die Verbindungsstege 36 erhöhen die Stabilität der strukturierten Folie 26 und tragen dazu bei, dass die Folie 26 besser verarbeitet werden kann. Dennoch sind die Verbindungsstege 36 vergleichsweise leicht verformbar, sodass die strukturierte Folie 26 gemäß den 4a bis 4c ebenfalls an dem Seitenrand 30 vergleichsweise leicht expandiert und kontrahiert werden kann.
  • In den 5a bis 5c und 6a bis 6c sind Ausführungsbeispiele strukturierter Folien 26 dargestellt, bei denen die strukturierte Folie 26 an zwei nebeneinander parallel verlaufenden Streifen von Grundmetallisierungen 18 mit ihren jeweiligen Seitenrandbereichen angelötet ist. An der strukturierten Folie 26 sind dabei zwei Reihen von Schlitzen 28 nebeneinander ausgebildet, wobei sich die Schlitze 28 jeweils bis an einen der Seitenränder 30 und 32 der strukturierten Folie 26 erstrecken und zur Mitte der strukturierten Folie 26 hin an Rundungen 34 auslaufen. Die Schlitze 28 der beiden Reihen gemäß 5a und 5c sind dabei jeweils einander gegenüberliegend angeordnet und erstrecken sich quer zur Längsrichtung der strukturierten Folie 26.
  • Bei dem in den 6a bis 6c veranschaulichten Ausführungsbeispiel einer strukturierten Folie 26 sind die Schlitze 28 der beiden Reihen hingegen jeweils zueinander in Längsrichtung versetzt, sodass in der Mitte der strukturierten Folie 26 ein leicht wellenförmiger bzw. zickzackförmiger Streifen 38 an Folienmaterial verbleibt. An diesem Streifen 38, der vergleichsweise steif ist, kann entsprechend gut die Leitung 22 angeschlossen werden.
  • In den 7a bis 7c und 8a bis 8d sind Ausführungsbeispiele einer strukturierten Folie 26 veranschaulicht, deren Schlitze 28 jeweils quer zur Längsrichtung der Folie 26 in deren Innenbereich ausgebildet sind, während die Seitenränder 30 und 32 beide geschlossen sind. Die Schlitze 28 laufen bei diesen Ausführungsbeispielen jeweils in der Nähe der Seitenränder 30 und 32 an Rundungen 34 aus. Die derart gestalteten strukturierten Folien 26 sind an ihrem Mittenbereich jeweils an einer einzigen streifenförmigen Grundmetallisierung 18 angelötet. Damit die strukturierte Folie 26 in diesem Mittenbereich besonders leicht expandierbar und kontrahierbar ist, sind bei dem Ausführungsbeispielen gemäß den 8a bis 8d die Schlitze 28 in der Mitte der Folie 26 zusätzlich durch Kanäle 40 verbunden. Die einzelnen dabei verbleibenden Finger der strukturierten Folie 26 sind dann einander gegenüberliegend angeordnet. Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 8d einer strukturierten Folie 26 sind solche Finger zueinander versetzt angeordnet. Die Finger können ferner nach Art eines Reißverschlusses ineinandergreifend angeordnet sein.
  • In den 9a bis 9c ist schließlich ein Ausführungsbeispiel einer strukturierten Folie 26 dargestellt, bei der sich ein einzelner mäanderförmiger Schlitz 28 über die Längsrichtung der Folie 26 hinweg zwischen deren Seitenrandbereichen erstreckt. Die derart gestaltete Folie 26 ist in ihrem Mittenbereich an einer einzelnen streifenförmigen Grundmetallisierung 18 angelötet und mit ihren beiden, dann geschlossenen Seitenrändern 30 und 32 an der zugehörigen Leitung 22 befestigt.

Claims (12)

  1. Piezoaktor (10), insbesondere für ein Einspritzventil einer Brennkraftmaschine, mit einem Aktorkörper (12) aus einem piezoelektrischen Material, der im Betrieb des Piezoaktors (10) expandiert und kontrahiert, und mindestens einer am Aktorkörper (12) angebrachten, elektrisch leitfähigen Kontaktfahne (20), die expandierbar und kontrahierbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrisch leitfähige Kontaktfahne (20) mit einer strukturierten Folie (26) gestaltet ist.
  2. Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die strukturierte Folie (26) an dem Aktorkörper (12) insbesondere an einer Grundmetallisierung (18) angelötet ist.
  3. Piezoaktor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die strukturierte Folie (26) an dem Aktorkörper (12) insbesondere an einer Grundmetallisierung (18) mit einem duktilen Leitpolymer angeklebt ist.
  4. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die strukturierte Folie (26) an einer elektrischen Leitung (22) angeschweißt ist, insbesondere durch einen Widerstands- oder Laserschweißprozess.
  5. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die strukturierte Folie (26) mit Löchern und/oder Schlitzen (28), insbesondere mit Durchgangslöchern und/oder Durchgangsschlitzen versehen ist.
  6. Piezoaktor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Folie (26) als Band gestaltet ist, in dem die Löcher oder Schlitze (28) im Wesentlichen quer zur Längsrichtung des Bandes verlaufen.
  7. Piezoaktor nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass in der strukturierten Folie (26) mindestens zwei Reihen von Löchern oder Schlitzen (28) nebeneinander ausgebildet sind.
  8. Piezoaktor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Löcher oder Schlitze (28) der beiden Reihen jeweils einander gegenüberliegend angeordnet sind.
  9. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Löcher oder Schlitze (28) zumindest an einem Seitenrand (30) der Folie (26) und insbesondere des Bandes offen sind.
  10. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die strukturierte Folie (26) als Band gestaltet ist, das mit mindestens einem seiner Seitenrandbereiche an dem Aktorkörper (12), insbesondere an einer Grundmetallisierung (18) befestigt ist.
  11. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 5 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Löcher oder Schlitze (28) der Folie (26) durch Kanäle (38), insbesondere in Längsrichtung des Bandes miteinander verbunden sind.
  12. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 5 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Löcher oder Schlitze (28) meanderförmig gestaltet sind.
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