DE10200273A1

DE10200273A1 - Elektrisch gesteuertes Gasventil

Info

Publication number: DE10200273A1
Application number: DE10200273A
Authority: DE
Inventors: Siegfried Berger
Original assignee: Karl Dungs GmbH and Co KG
Current assignee: Karl Dungs GmbH and Co KG
Priority date: 2002-01-07
Filing date: 2002-01-07
Publication date: 2003-07-24

Abstract

Ein insbesondere als Sicherheitsventil verwendbares Ventil (1) für brennbares Gas weist einen Membranstellantrieb auf, der über eine Rollmembran (19) gegen den Innenraum (5) des Ventilgehäuses (2) abgedichtet ist. Sowohl die Membran (25) als auch die Rollmembran (19) führen die Ventilspindel (11) in Radialrichtung. Der Stellantrieb (16) weist nur eine gasbeaufschlagte Arbeitskammer (45) auf, die zum Öffnen des Ventils mit Gas geflutet wird - seine andere Kammer (39) ist belüftet. Schließt das Magnetventil (46), ist die einzige Arbeitskammer (45) drucklos.

Description

Die Erfindung betrifft ein insbesondere als Gassicherheitsventil einsetzbares Gasventil mit geringem Stromverbrauch.

In vielen Fällen stellt sich die Aufgabe, ein Gasventil, an das erhöhte Sicherheitsanforderungen gestellt werden und das somit als Gassicherheitsventil bezeichnet wird, mit einer elektrischen Betätigungseinrichtung zu versehen. Damit ist eine elektrische Betätigungseinrichtung vorzusehen, die die zur Betätigung des Ventilverschlussglieds erforderlichen Kräfte, insbesondere auch die zur Überwindung von Vorspannkräften erforderlichen Zugkräfte aufbringen kann. Je größer das betreffende Gassicherheitsventil ist desto kräftiger muss der Magnetantrieb sein. Dies stellt insbesondere dann ein Hindernis dar, wenn die Steuerschaltung den Strombedarf eines kräftigen Magnetantriebs nicht decken kann. Dies ist beispielsweise dann der Fall, wenn die Steuerschaltung batteriegestützt und über lange Zeit ohne Wartung arbeiten soll.

Ein Gassicherheitsventil muss darüber hinaus so beschaffen sein, dass erhöhter Eingangsgasdruck nicht zum Öffnen des Gasventils führen kann, dass ein Gegendruck von einer definierten Größe, beispielsweise 50 Millibar oder 150 Millibar ertragen wird, ohne dass das Ventil öffnet und dass das Ventil automatisch schließt, wenn es kein Erregungssignal mehr erhält.

Beispielsweise aus der DE 26 06 167 C2 ist ein Dampfventil bekannt, das als Pilotventil ausgebildet ist. Dieses Ventil weist ein Ventilgehäuse mit einem Eingang und einem Ausgang und einem Innenraum auf. In dem Innenraum ist ein Ventilsitz angeordnet, dem ein Ventilverschlussglied zugeordnet ist. Dieses somit in dem Innenraum angeordnete Ventilverschlussglied ist zwischen dem Ventilsitz und dem Eingang des Ventils angeordnet und über eine Verbindungsstange mit einem druckbetätigten Stellantrieb in Form eines Membranantriebs verbunden. Konzentrisch zu der Verbindungsstange ist eine Druckfeder angeordnet, die die Membran des Membranantriebs von dem Ventilgehäuse weg vorspannt und somit das Ventilverschlussglied über die Zugstange gegen den Ventilsitz drückt. Die Membran ist in einem Membrangehäuse untergebracht, das von der Membran in zwei Arbeitskammern unterteilt wird. Die erste nimmt die Druckfeder auf und ist mit dem Ausgang des Ventilgehäuses verbunden. Die zweite von der Membran in dem Membrangehäuse abgeteilte Kammer ist die Arbeitskammer. Diese ist über eine Wasservorlage mit einem Bypasskanal verbunden, der von dem Eingang des Ventilgehäuses zu dem Ausgang desselben führt. In diesem Bypasskanal ist ein elektrisch gesteuertes Ventil 20 angeordnet, das einen Steuerkanal bildet. Von diesem zweigt der zweite Teil des Bypasskanals ab. Dieser enthält eine Drossel, so dass sein Durchflusswiderstand geringer ist als der Durchflusswiderstand des übrigen Bypasskanals. Bei geöffnetem Pilotventil kommt in dem Bypasskanal eine Bypassströmung zustande, die über die Wasservorlage einen Druck auf die Unterseite der Membran erzeugt und somit das Ventilverschlussglied von seinem Ventilsitz weg drückt. Sobald das Pilotventil schließt, bricht der Druck in dem Bypasskanal zusammen, wodurch die Druckbeaufschlagung der Membran weg fällt und die Druckfeder das Ventil schließt.

Bei diesem Aufbau sind die an ein Gassicherheitsventil zu stellenden Forderungen nur schwer zu erfüllen. Insbesondere die Druckbeaufschlagung der Membran auf beiden Seiten fordert erhöhten Aufwand für die Sicherstellung der Dichtigkeit des Membranstellantriebs.

Ein ähnliches Stellgerät ist aus der DE 43 28 617 C2 bekannt. Bei dieser ist das Ventilverschlussglied stromabwärtig zu dem Ventilsitz angeordnet. Zur Abdichtung zwischen dem Ventil und der Ventilspindel ist ein Faltenbalg vorgesehen. Die Steuerung des Stellgeräts erfolgt wiederum über einen Bypasskanal, dessen Besonderheit darin besteht, dass er über einen Volumenstromregler gespeist wird.

Dieses Konzept ist nicht als Gassicherheitsventil geeignet. Erhöhter Eingangsdruck führt, wenn er die Kraft von vorhandenen Schließfedern übersteigt, zum unerwünschten Öffnen des Ventils.

Weiter ist aus der DE 10 00 600 A1 ein Gasventil für Gasbrenner bekannt, das über ein elektrisches Pilotventil gesteuert ist. Dieses sitzt in einer Stellmembran eines Membranantriebs und verbindet beide Arbeitskammern miteinander bzw. druckentlastet eine der Arbeitskammern.

Bei diesem Membranantrieb sind beide Kammern gasgefüllt, wobei die außen liegende Kammer bei geschlossenem Ventil unter Eingangsdruck steht. Deshalb muss das Gehäuse des Membranantriebs vollständig auf den höchsten denkbaren Eingangsdruck ausgelegt sein.

Hiervon ausgehend ist es Aufgabe der Erfindung, ein Pilot gesteuertes Gassicherheitsventil zu schaffen, das mit einfachen Mitteln eine hohe Sicherheit erreicht.

Diese Aufgabe wird mit dem Ventil nach Anspruch 1 gelöst:
Das erfindungsgemäße Ventil weist einen druckbetätigten Stellantrieb auf, der über eine Ausgleichsmembran von dem Innenraum des Gehäuses getrennt ist. Der einzige von dem Eingang des Ventils Gas zu dem Stellantrieb führende Kanal ist der Steuerkanal. Weitere Gasverbindungen sind nicht vorgesehen. In dem Steuerkanal sitzt das Pilotventil. Ist dieses geschlossen, kann auf keinem Weg von der Eingangsseite des Ventils her Gas in den Stellantrieb gelangen und diesen unter Druck setzen. Des Weiteren ist das Ventilverschlussglied auf der stromaufwärtige Seite des Ventilsitzes angeordnet, wobei es eine größere aktive Fläche aufweist als die Ausgleichsmembran. Dadurch wirkt eine Druckerhöhung an der Eingangsseite des Ventils bei geschlossenem Ventil Schließkraft vergrößernd, so dass das Ventil relativ leicht hohe Sicherheitsanforderungen erfüllt.

Der Stellantrieb ist vorzugsweise als Membranantrieb ausgeführt. Dies ermöglicht die Erzeugung von hohen Stellkräften zur Überwindung auch kräftiger Schließfedern mit geringen Eingangsdrücken des Ventils. Kräftige Schließfedern wiederum gestatten die Erzielung einer hohen Gegendruckfestigkeit, was zu einer zur Einstufung des Gasventils in eine hohe Sicherheitsklasse erforderlich ist.

Die Membran teilt in ihrem Antriebsgehäuse eine Arbeitskammer ab. Vorzugsweise ist diese auf der der Ausgleichmembran zugewandten Seite der Membran angeordnet. Jedoch weist die Membran eine größere aktive Fläche auf als die Ausgleichsmembran. Die Flächendifferenz ist dabei so bemessen, dass die bei Druckbeaufschlagung entstehende Differenzkraft die Vorspanneinrichtung, z. B. in Form einer Schließfeder überwinden kann.

Die Membran ist vorzugsweise als Doppelmembran ausgebildet, um die Arbeitskammer sicher nach außen abzudichten. Außerdem ergibt die Doppelmembran eine gute Radialführung, auch wenn sie als Rollmembran ausgebildet ist. Die einen kleineren Durchmesser aufweisende Ausgleichsmembran ist ebenfalls vorzugsweise als Rollmembran ausgebildet. Die Radialführung der Ventilspindel und des Ventilverschlussglieds kann somit durch die Ausgleichsmembran und die Membran des Stellantriebs erfolgen. Damit ist zwischen dem Stellantrieb und dem Ventilverschlussglied keine sonstige Radialführung, beispielsweise in Form einer Gleitbuchse oder dergleichen erforderlich, so dass die Axialbewegung des Ventilverschlussglieds reibungsarm stattfinden kann.

Die zwischen der Ausgleichsmembran und der Membran des Stellantriebs vorhandene Arbeitskammer ist vorzugsweise über einen dauernd offenen Druckentlastungskanal mit der Ausgangsseite des Ventils verbunden. Damit wird nach Schließen des Pilotventils schnell jeder vorhandene Gasdruck in der Arbeitskammer abgebaut. Der Strömungswiderstand des Druckentlastungskanals ist jedoch größer als der des Steuerkanals bei offenem Pilotventil. Dadurch baut sich in der Arbeitskammer bei offenem Pilotventil ein Druck auf, obwohl der Entlastungskanal offen ist.

Weitere Einzelheiten vorteilhafter Ausführungsformen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen, der Zeichnung oder der Beschreibung.

In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung veranschaulicht. Es zeigen:
Fig. 1 das erfindungsgemäße Ventil in einer schematisierten Schnittdarstellung,
Fig. 2 das Ventil nach Fig. 1 in einer schematisierten Darstellung und
Fig. 3 das Pilotventil in einer Prinzipdarstellung.
In Fig. 1 ist ein Ventil 1 veranschaulicht, das als Gassicherheitsventil zu verwenden ist. Das Ventil 1 weist ein Ventilgehäuse 2 mit einem Eingang 3 und einem Ausgang 4 auf und es umschließt einen Innenraum 5. Dieser ist durch eine Trennwand 6 unterteilt, die eine Durchgangsöffnung 7 aufweist, die als Ventilsitz 8 dient.
Dem kreisförmigen Ventilsitz 8 ist ein Ventilverschlussglied 9 zugeordnet, das im Ruhezustand auf dem Ventilsitz 8 aufsitzt. Der Durchmesser der sich dabei ergebenden kreisförmigen Berührungslinie ist zugleich der Durchmesser der aktiven Fläche A9 des Ventilverschlussglieds 9.
Das Ventilverschlussglied 9 ist von einer Ventilspindel 11 getragen, die sich durch das Ventilverschlussglied 9 hindurch erstreckt und axial beweglich gelagert ist. Dazu erstreckt sich ihr Ende in eine unterhalb des Ventilverschlussglieds 9 angeordnete endseitig verschlossene Buchse 12, in der sie mit reichlich Spiel sitzt.
Das Ventilgehäuse 2 ist an seiner oberhalb des Ventilsitzes 8 gelegenen Seite mit einer Öffnung versehen, in der eine untere Halbschale 14 eines Antriebsgehäuses 15 sitzt. Dieses gehört zu einem Stellantrieb 16 zur Betätigung der Ventilspindel 11 und des Ventilverschlussglieds 9. Die Halbschale 14 weist ein zentrales, koaxial zu der Ventilspindel 11 angeordnetes Rohrstück 17 auf, das eine Durchgangsöffnung 18 festlegt. An deren Wandung liegt eine als Ausgleichsmembran 19 dienende Rollmembran an, die den Innenraum 5 gegen den Stellantrieb 16 abdichtet. Dazu erstreckt sich die Ausgleichsmembran 19 ausgehend von einem verdickten äußeren Rand 21, der zwischen dem Ventilgehäuse 2 und der Halbschale 14 fest geklemmt ist, radial nach innen bis zu dem Rohrstück 17. Hier ist die Ausgleichsmembran 19 im Querschnitt u-förmig gewölbt, um mit ihrem einen Teil an der Wandung der Durchgangsöffnung 18 und mit ihrem anderen Teil an einer äußeren, zylindrischen Fläche eines Zwischenstücks 22 anzuliegen. Von dort ausgehend erstreckt sich die Ausgleichsmembran 19 wiederum radial nach innen und endet in einem verdickten Wulst 23. Dieser ist zwischen der Stirnseite des auf der Ventilspindel 11 sitzenden Zwischenstücks 22 und einem weiteren, auf der Ventilspindel 11 sitzenden Zwischenstück 24 fest geklemmt. Die beiden Zwischenstücke 22, 24 sind miteinander verschraubt. Der mittlere Durchmesser der Ausgleichsmembrane 19 bestimmt die aktive Fläche A19 der Durchgangsmembran. Diese ist kleiner als die Fläche A9.
An dem oberen, von dem Ventilverschlussglied 9 abliegenden Ende der Ventilspindel 11 ist eine Membran 25 befestigt, die einen steifen Membranteller 26 enthält. Dieser ist von einem flexiblen Membrankörper 27 umgeben, der sich über beide Flachseiten des Membrantellers 26 erstreckt. Der der Ausgleichsmembran 19 zugewandte Teil des Membrankörpers 27 weist dabei einen inneren verdickten, eine Zentralöffnung umgebenden Rand auf, der zwischen dem Zwischenstück 22 und dem Membranteller 26 fest geklemmt ist. Der auf der anderen Seite liegende Teil des Membrankörpers ist durchgehend ausgebildet, überwölbt dabei kuppelförmig einen mittleren Zentralabschnitt des Membrantellers 26 und ist von einer Druckscheibe 28 gegen den Membranteller 26 gedrückt. An dem äußeren Rand des Membrantellers 23 wölben sich zwei Membranabschnitte 29, 31, zu dem äußeren Rand der Halbschale 14. Die Membranabschnitte 29, 31 sind dabei nach Art einer Rollmembran ausgebildet, wobei jedoch der als flache Scheibe ausgebildete Membranteller 26 keinen zylindrischen Rand aufweist. Zwischen den Membranabschnitten 29, 31 ist ein Luftpolster vorhanden. Die Membranabschnitte 29, 31 können Teil des gleichen Membrankörpers 27 und somit an dem Rand des Membrantellers 26 miteinander verbunden sein. Alternativ können sie auch separat, d. h. unter einander unverbunden ausgebildet sein.
Ihr äußerer, sich nach außen erstreckender Rand ist zwischen einem Flansch 32 der Halbschale 14 und einem Flansch 33 einer Abdeckhaube 34 gasdicht fest geklemmt. Die Abdeckhaube 34 weist einen zentralen, rohrartigen Fortsatz 35 auf, der eine Druckfeder 36 beherbergt. Diese dient als Vorspannelement für das Ventilverschlussglied 9, um dieses gegen den Ventilsitz 8 zu drücken. Die Druckfeder 36 stützt sich mit einem Ende an der Druckscheibe 28 und mit ihrem anderen Ende an einem in dem Fortsatz 35 axial verschiebbar gelagerten Tassenschieber 37 ab. Letzterer ist axial von einer Verstelleinrichtung 38 positioniert, die endseitig an dem Fortsatz 35 befestigt ist. Sie gestattet eine Einstellung der Axialposition der Druckfeder und somit eine Einstellung der Vorspannung mit der das Ventilverschlussglied 9 an dem Ventilsitz 8 anliegt. Was nur werksseitig eingestellt werden darf, um die Sicherheitsfunktion des Ventils zu gewährleisten. Alternativ kann eine Feder so gewählt werden, dass auf eine Einstellvorrichtung verzichtet werden kann.
Die Abdeckhaube 34 liegt mit der Membran 25 einen Raum 39 fest, der über einen Atmungsstopfen 41 belüftet ist. Letzterer weist eine Atmungsbohrung 42 auf.
Ausgehend von dem Eingang 3 führt über eine entsprechende Bohrung 43 ein Steuerkanal 44 in den als Arbeitskammer 45 dienenden Zwischenraum zwischen der Membran 25, der Halbschale 14 und der Ausgleichsmembran 19. In dem Steuerkanal 44 ist ein Magnetventil 46 angeordnet, das als Pilotventil dient. Aus der Arbeitskammer 45 führt ein Entlastungskanal 47 zu dem Ausgang 4. Dieser Entlastungskanal weist einen größeren Strömungswiderstand auf als der Steuerkanal 44 bei geöffnetem Ventil 46.
Das Magnetventil 46 bildet ein Pilotsteuerventil, das in Fig. 3 gesondert veranschaulicht ist. Es weist einen Ventilkörper 48 auf, der mit einem Durchgangskanal 49 versehen ist. In diesem ist ein Ventilsitz 51 ausgebildet, dem eine Ventilspindel 52 zugeordnet ist. Diese ist axial beweglich gelagert und über einen Magnetantrieb 53 betätigbar. Zu diesem gehört ein Elektromagnet 54, der die Ventilspindel 52 gegen die Kraft einer Schließfeder 55 von dem Ventilsitz 51 abhebt.
Das insoweit beschriebene Ventil 1 arbeitet wie folgt:
Im Folgenden wird auf die schematisierte Darstellung der Fig. 2 Bezug genommen. In Fig. 2 ist das Ventil 1 geschlossen veranschaulicht. Das Magnetventil 46 ist geschlossen. An dem Eingang 3 steht Gasdruck an. Der Ausgang 4 ist hingegen drucklos, genauso der Zwischenraum 45, da er über den Entlastungskanal 47 mit dem Ausgang verbunden ist. Die Druckfedern 36 drücken das Ventilverschlussglied 9 gegen den Ventilsitz 8. Zusätzlich lastet Eingangsdruck auf dem Ventilverschlussglied 9 und drückt dieses gegen den Ventilsitz 8. Diese Zusatzkraft wird zum Teil von der gegen die Ausgleichsmembran 19 wirkenden Kraft kompensiert. Jedoch weist die Ausgleichsmembran 19 einen geringeren aktiven Durchmesser auf als das Ventilverschlussglied 9, so dass mit steigendem Eingangsdruck die Schließkraft des Ventilverschlussglieds 9 zunimmt. Die Zunahme ist jedoch wegen der teilweisen Kompensation durch die Ausgleichsmembran 19 eingeschränkt, wodurch die zur Überwindung dieser Schließkraft erforderliche Betätigungskraft des Ventils 1 nicht zu groß wird. Dadurch kann der Stellantrieb 16 relativ klein dimensioniert werden und eine geringe Ansprechzeit haben.
Zum Öffnen des Ventils 1 wird das Magnetventil 46 erregt, so dass die Ventilspindel 52 (Fig. 3) von dem Ventilsitz 51 abgehoben wird. Damit gelingt über den Steuerkanal 44 Gas in die Arbeitskammer 45. Zugleich beginnt Gas durch den Entlastungskanal 47 abzuströmen. Aufgrund dessen Strömungswiderstands staut sich jedoch das über den Steuerkanal 44 zuströmende Gas in der Arbeitskammer 45, so dass es zum Druckaufbau kommt. Der Druck wirkt sowohl gegen die Ausgleichsmembran 19 als auch gegen die Membran 25. Der aus der Arbeitskammer 45 heraus gegen die Ausgleichsmembran 19 wirkende Druck wird jedoch durch den aus dem Innenraum 5 heraus gegen die Ausgleichsmembran 19 wirkenden Druck kompensiert. Die Membran 25 weist außerdem eine größere aktive Fläche auf als das Ventilverschlussglied 9, so dass sie dieses gegen die Kraft des Gasdrucks und gegen die Kraft der Schließfeder 36 von dem Ventilsitz 8 abheben kann. Das Ventil 1 öffnet somit. Wie weit sich das Ventil öffnet, hängt von der Höhe des verfügbaren Eingangsdruckes ab. Möglich ist auch eine Lösung bei der ein Gasdruckwächter den Eingangsdruck überwacht und dessen elektrischer Schalter nur bei Vorhandensein eines minimalen notwendigen Gasdruckes den Steuerkreis des Pilotventils schließt. Damit ist sichergestellt, dass das Ventil entweder ganz auf oder ganz zu ist.
Wenn der Elektromagnet 54 des Magnetventils 46 entregt wird, schließt das Magnetventil 46. Somit kommt der Gaszustrom zu der Arbeitskammer 45 zum Erliegen. Der Druck baut sich damit durch den Gasabfluss über den Entlastungskanal 47 schnell ab. Mit dem eintretenden Druckabfall in der Arbeitskammer 45 fällt die auf die Membran 25 ausgeübte Druckkraft weg und die Schließfeder 36 drückt das Ventilverschlussglied wieder gegen den Ventilsitz 8. Das Ventil 1 ist somit wieder geschlossen.
Das Ventil 1 weist eine erhöhte Sicherheit gegen fehlerhaftes Öffnen oder offen bleiben auf:
Bei geschlossenem Magnetventil 46 wirkt der Gasdruck schließend auf den Ventilteller 9. Damit kann das Ventil in eine hohe Sicherheitsklasse eingestuft und beispielsweise als A-Ventil qualifiziert werden.
Die Ventilspindel 11 ist durch die Ausgleichsmembran 19 und die Membran 25 gewissermaßen schwimmend, äußerst reibungsarm gelagert. Die Gefahr der Verklemmung oder des Hängenbleibens in Offen-Position besteht somit nicht. Damit kann sicher gestellt werden, dass die Schließfeder 36 das Ventil 1 sicher schließt.
Bei geschlossenem Magnetventil 46 ist der Stellantrieb 16 gasfrei. Damit unterbindet ein schließendes Magnetventil 46 jeden Gasaustritt aus dem Stellantrieb 16, falls dieser defekt ist.
Ein insbesondere als Sicherheitsventil verwendbares Ventil 1 für brennbares Gas weist einen Membranstellantrieb auf, der über eine Rollmembran 19 gegen den Innenraum 5 des Ventilgehäuses 2 abgedichtet ist. Sowohl die Membran 25 als auch die Rollmembran 19 führen die Ventilspindel 11 in Radialrichtung. Der Stellantrieb 16 weist nur eine gasbeaufschlagte Arbeitskammer 45 auf, die zum Öffnen des Ventils mit Gas geflutet wird - seine andere Kammer 39 ist belüftet. Schließt das Magnetventil 46 ist die einzige Arbeitskammer 45 drucklos.

Claims

1. Ventil (1), insbesondere für brennbares Gas,
mit einem einen Innenraum (5) umschließenden Ventilgehäuse (2), das einen Eingang (3), einen Ausgang (4) und einen Ventilsitz (8) aufweist,
mit einem Ventilverschlussglied (9), das in dem Innenraum (5) angeordnet und zwischen dem Ventilsitz (8) und dem Eingang (3) angeordnet ist,
mit einem druckbetätigten Stellantrieb (16), der mit dem Ventilverschlussglied (9) über ein Verbindungsglied (11) verbunden ist,
mit einem elektrischen Pilotventil (46) das zur Steuerung des Stellantriebs (16) in einem Steuerkanal (44) angeordnet ist, der von einer Druckquelle (3) zu dem Stellantrieb (16) führt,
mit einer Ausgleichsmembrane (19), die zwischen dem Verbindungsglied (11) und dem Gehäuse (2) angeordnet ist, um dieses gegen den Stellantrieb (16) abzudichten, deren aktive Fläche kleiner ist als die aktive Fläche des Ventilverschlussglieds (9).

2. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Stellantrieb (16) ein Membraneantrieb ist.

3. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Stellantrieb (16) ein Antriebsgehäuse (14, 34) aufweist, das mit dem Ventilgehäuse (2) verbunden ist und einen Durchgang (18) aufweist, durch den das Verbindungsglied (11) führt.

4. Ventil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Antriebsgehäuse (14, 34) eine Membrane (25) vorgesehen ist, die mit dem Verbindungsglied (11) starr verbunden ist und die das Antriebsgehäuse (14, 34) zur Umgebung hin dicht abschließt.

5. Ventil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Membrane (25) und der Ausgleichsmembrane (19) eine Arbeitskammer (45) gebildet ist, die mit dem Steuerkanal (44) verbunden ist.

6. Ventil nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Membrane (25) eine größere aktive Fläche aufweist als die Ausgleichsmembrane (19).

7. Ventil nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Membrane (25) eine größere aktive Flächen aufweist als das Ventilverschlussglied (9).

8. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Ventilverschlussglied (9) axial fest mit dem Verbindungsglied (11) verbunden ist.

9. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zu dem Stellantrieb (16) eine Vorspanneinrichtung (36) gehört, die das Ventilverschlussglied (9) gegen den Ventilsitz (8) drückt.

10. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausgleichsmembrane (19) eine Rollmembrane ist.

11. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Membrane (25) eine als Doppelmembrane ausgebildet ist, die ausgehend von einem zentralen Teller (26) zwei sich zu dem Antriebsgehäuse (14, 34) erstreckende Abschnitte (29, 31) aufweist, zwischen denen ein Luftpolster eingeschlossen ist.

12. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Stellantrieb () über einen Druckentlastungskanal (47) mit dem Ausgang (4) verbunden ist.

13. Ventil nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Druckentlastungskanal (47) einen größeren Strömungswiderstand aufweist als der Steuerkanal (44) bei offenem Pilotventil (46).

14. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Pilotventil (46) einen Magnetantrieb (53), eine von diesem betätigte Ventilspindel (11) und eine Vorspanneinrichtung (36) aufweist, die das Ventilverschlussglied (9) in Schließrichtung vorspannt.