DE1017875B - Process for the production of metal foils - Google Patents

Process for the production of metal foils

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DE1017875B
DE1017875B DEC10106A DEC0010106A DE1017875B DE 1017875 B DE1017875 B DE 1017875B DE C10106 A DEC10106 A DE C10106A DE C0010106 A DEC0010106 A DE C0010106A DE 1017875 B DE1017875 B DE 1017875B
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Germany
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metal
nickel
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gaseous
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DEC10106A
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German (de)
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Peter Pawlyk
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Commonwealth Engineering Company of Ohio
Original Assignee
Commonwealth Engineering Company of Ohio
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/01Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes on temporary substrates, e.g. substrates subsequently removed by etching

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Description

DEUTSCHESGERMAN

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von Metallfolien, vor allem Nickelfolien, durch thermische Zersetzung zersetzbarer metallhaltiger gasförmiger Verbindungen, insbesondere von Metallcarbonylen, wobei das auf einer Unterlage niedergeschlagene Metall von dieser in Form einer Folie abgehoben wird.The invention relates to a method for the production of metal foils, especially nickel foils, by thermal decomposition of decomposable metal-containing gaseous compounds, in particular of Metal carbonyls, the metal deposited on a base from this in the form of a Slide is lifted off.

Es ist bereits bekannt, die Zersetzung thermisch zersetzbarer metallhaltiger gasförmiger Verbindungen in der Weise durchzuführen, daß diese über eine Flache geleitet werden, die mindestens auf die Zersetzungstemperatur der Verbindungen erhitzt worden ist.It is already known the decomposition of thermally decomposable metal-containing gaseous compounds to be carried out in such a way that these are passed over a surface which at least corresponds to the decomposition temperature the connections has been heated.

Es ist auch bereits ein Verfahren zum Herstellen von Goldfolien bekanntgeworden, bei dem das Gold durch Kathodenzerstäubung in Hochvakuum auf ein Metallband aufgebracht wird. Um die nach diesem Verfahren hergestellten dünnen Goldniederschläge von dem Metallband abheben zu können, mußte dieses vor dem Niederschlagen des Metalls mit einem bei Er- ao wärmung flüssig werdenden Lack behandelt, und es mußte zum Abheben ein kompliziertes Abhebeverfahren angewandt werden.A method for producing gold foils has also already become known, in which the gold is applied to a metal strip by cathode sputtering in a high vacuum. To those after this To be able to lift thin gold precipitates produced by the process from the metal strip, this had to be done before the metal is deposited with a varnish that becomes liquid when heated, and it a complicated lifting procedure had to be used to lift off.

Es ist ferner nicht mehr neu, auf einem sich kontinuierlich bewegenden Metallband in der Weise einen Metallfilm niederzuschlagen, daß das Metallband in einer geschlossenen Überzugskammer mit gasförmigem Metallcarbonyl bei einer Temperatur in Berührung gebracht wird, bei der das Metallcarbonyl zersetzt wird. Das Abheben des niedergeschlagenen Metallfilms von der Unterlage, auf der er abgelagert worden ist, ist jedoch auch bei den letztgenannten Verfahren bisher mit großen Schwierigkeiten verbunden gewesen.Furthermore, it is no longer new to be on a continuously moving metal belt like one Metal film deposit that the metal tape in a closed coating chamber with gaseous Metal carbonyl is brought into contact at a temperature at which the metal carbonyl is decomposed. The lifting of the deposited metal film from the substrate on which it was deposited has been, however, has hitherto been associated with great difficulties even in the latter method been.

Demgegenüber betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren, bei dessen Durchführung der abgelagerte Metallfilm, selbst wenn er sehr dünn ist, leicht von der Unterlage, auf der er niedergeschlagen worden ist, in Form einer Folie abgehoben werden kann. Die Erfindung geht von dem erwähnten bekannten Verfahren aus, durch thermische Zersetzung von gasförmigen, in der Hitze zersetzbaren Metallverbindungen auf einem bewegten Metallband einen Metallniederschlag aufzubringen, und besteht darin, daß das Metallband zunächst z. B. durch Erhitzen in einer oxydierend wirkenden Atmosphäre oxydiert und darauf in einer geschlossenen, vorzugsweise durch Hindurchleiten eines inerten Gases von Luft befreiten Überzugskammer der Einwirkung der gasförmigen Metallverbindung oder eines aus dieser und inertem Trägergas, z.B. Kohlendioxyd, bestehenden Gemisches ausgesetzt, dabei zumindest auf deren Zersetzungstemperatur erhitzt und sodann der gebildete Metallfilm, z. B. Nickelfilm, in Form einer zusammen-Verfahren zur Herstellung
von Metallfolien
In contrast, the present invention relates to a method by which the deposited metal film, even if it is very thin, can easily be lifted off in the form of a foil from the substrate on which it has been deposited. The invention is based on the aforementioned known method of applying a metal deposit by thermal decomposition of gaseous metal compounds which can be decomposed in the heat on a moving metal band, and consists in that the metal band is initially z. B. is oxidized by heating in an oxidizing atmosphere and then exposed to the action of the gaseous metal compound or a mixture of this and an inert carrier gas, e.g. carbon dioxide, in a closed coating chamber, preferably freed of air by passing an inert gas through it, at least to their The decomposition temperature is heated and then the metal film formed, e.g. B. nickel film, in the form of a co-manufacturing process
of metal foils

Anmelder:
The Commonwealth Engineering
Applicant:
The Commonwealth Engineering

Company of Ohio,
Dayton, Ohio (V. St. A.)
Company of Ohio,
Dayton, Ohio (V. St. A.)

Vertreter: Dr.-Ing. M. Louis, Patentanwalt,
Essen, Stubertal 1
Representative: Dr.-Ing. M. Louis, patent attorney,
Essen, Stubertal 1

Peter Pawlyk, Dayton, Ohio (V. St. A.),
ist als Erfinder genannt worden
Peter Pawlyk, Dayton, Ohio (V. St. A.),
has been named as the inventor

hängenden Folie von der oxydierten Oberfläche des Metallbandes abgehoben wird.hanging foil is lifted from the oxidized surface of the metal strip.

Nickelfolien können gemäß der Erfindung beispielsweise durch thermische Zersetzung von Nickelcarbonyl nach folgenden Verfahrensschritten hergestellt werden:Nickel foils can according to the invention, for example, by thermal decomposition of nickel carbonyl be manufactured according to the following process steps:

1. Entfernung der Luft aus der geschlossenen Überzugskammer durch Hindurchleiten von inertem Gas.1. Remove the air from the closed coating chamber by passing an inert gas through it.

2. Inberührungbringen der sich bewegenden oxydierten Oberfläche eines endlosen Metallbandes mit in der Hitze zersetzbarem gasförmigem Nickelcarbonyl.2. Bringing the moving oxidized into contact Surface of an endless metal strip with gaseous nickel carbonyl which is heat-decomposable.

3. Erhöhung der Temperatur des endlosen, sich bewegenden Metallbandes und Inumlaufsetzen des in der Hitze zersetzbaren und mit dem Metallband in Berührung stehenden Nickelcarbonyle, um die gasförmige Metallverbindung zu zersetzen und deren metallischen Bestandteil auf der oxydierten Metallbandoberfläche als dünnen Metallfilm niederzuschlagen, und Abheben des so abgelagerten Nickelfilms von dem oxydierten Metallband in Form eines ununterbrochenen, aus Nickelfolie bestehenden Bleches.3. Raising the temperature of the endless moving metal belt and circulating the one in the Heat decomposable nickel carbonyls, which are in contact with the metal strip, to the gaseous To decompose metal compound and its metallic component on the oxidized metal strip surface deposited as a thin metal film, and lifting the so deposited nickel film from the oxidized Metal band in the form of a continuous sheet made of nickel foil.

Nach dem Verfahren kann beispielsweise aus einem Nickelcarbonyldampf ein Nickelfilm auf einem mit einer Aluminiumoxydoberfläche versehenen Aluminiumband abgelagert werden. In ähnlicher Weise wird auch bei einer Kupferoxyd- oder Magnesiumoxyd-According to the method, for example, a nickel film can be formed from a nickel carbonyl vapor on a with aluminum tape provided with an aluminum oxide surface be deposited. In a similar way, a copper oxide or magnesium oxide

709 756/255709 756/255

oberfläche das Metall in einer solchen Weise niedergeschlagen, daß der Metallfilm leicht von dem Band entfernt werden kann.surface the metal is deposited in such a way that the metal film is easily removed from the tape can be removed.

Die Erfindung ist an Hand der Zeichnung in Form eines Beispiels näher erläutert.The invention is explained in more detail with reference to the drawing in the form of an example.

Fig. 1 veranschaulicht schematisch eine für die Durchführung des der Erfindung zugrunde liegenden Verfahrens geeignete Vorrichtung, die eine Überzugskammer und Schuhe zum Abheben der Metallfolie aufweist, ίο1 schematically illustrates one for carrying out the one on which the invention is based A device suitable for the process, which has a coating chamber and shoes for lifting off the metal foil, ίο

Fig. 2 in vergrößertem Maßstab einen Schnitt durch die Abhebeschuhe,2 shows, on an enlarged scale, a section through the lifting shoes,

Fig. 3 einen Querschnitt nach der Linie 3-3 der Fig. 1,Fig. 3 shows a cross section along the line 3-3 of Fig. 1,

■ Fig. 4 eine schematische Ansicht eines neuartigen Teils, das für die Einleitung des Abhebens des Metallfilms von der Unterlage verwendet werden kann.Fig. 4 is a schematic view of a novel part used for initiating lift-off of the metal film can be used by the pad.

In Fig. 1 stellt 1 eine Quelle von Trägergas dar, das durch eine ein Ventil 5 und ein Manometer 7 aufweisende Leitung 3 mit einem Nickelcarbonyl enthaltenden Verdampfer 9 verbunden ist. Der Verdampfer 9 ist in Öl 11 eingetaucht, das sich in einem Behälter 13 befindet, der mit einem Erhitzer 15, mit einer Thermostatregelung 17 und einem Rührer 19 versehen ist, der über einen Riemen 21 von dem Motor 23 angetrieben wird. Eine mit einer Pumpe 27 versehene Auslaßleitung 25 des Verdampfers gestattet es, in der erforderlichen Weise ein Gemisch aus Trägergas und verdampftem Carbonyl der Kammer 29 zuzuführen. In Fig. 1, 1 represents a source of carrier gas which is passed through a valve 5 and a manometer 7 having Line 3 is connected to an evaporator 9 containing nickel carbonyl. The evaporator 9 is immersed in oil 11, which is located in a container 13 with a heater 15, with a thermostat control 17 and a stirrer 19 is provided, which via a belt 21 of the motor 23 is driven. An outlet line 25 of the evaporator provided with a pump 27 allows to supply a mixture of carrier gas and vaporized carbonyl to chamber 29 as required.

Die Wände aus Isoliermaterial aufweisende Kammer 29 ist in der dargestellten Weise mit Einlaßöffnungen 31,33 und Auslaßöffnungen 35, 37 versehen; infolgedessen kann Überzugsgas in die Kammer eintreten, um mit beiden Seiten eines endlosen Bandes 39 in Berührung zu kommen. Zersetzte und unzersetzte Gase können von den Auslaß öffnungen 35, 37 durch die Pumpe 27 zu der Leitung 25 geführt werden, um sie in den Kreislauf zurückzuführen, oder durch die ein Ventil 42 aufweisende Leitung 41 abgeführt werden. Jede der genannten Leitungen kann erforderlichenfalls in geeigneter und in Fachkreisen bekannter Weise mit einer Wärmeisolation versehen werden.The chamber 29, which has walls made of insulating material, is provided with inlet openings as shown 31, 33 and outlet openings 35, 37; Consequently coating gas may enter the chamber to contact both sides of an endless belt 39 get. Decomposed and undecomposed gases can from the outlet openings 35, 37 through the Pump 27 can be fed to line 25 to recirculate it, or through the a Valve 42 having line 41 are discharged. Any of the aforementioned lines can, if necessary be provided with thermal insulation in a suitable manner known to those skilled in the art.

Das endlose Band 39 wird außerhalb der Vorrichtung über die Rollen 43, 45, 47, 48 geführt. Die Rolle 49 wird in der dargestellten Weise durch den Räderkasten 51 und den Motor 53 angetrieben. Es kann natürlich, falls es erwünscht ist, auch irgendeine der anderen Rollen angetrieben werden. Die Rollen sind vorzugsweise mit Gummi überzogen, damit eine gute Griffigkeit und Wärmeisolation für das Band 39 gewährleistet ist.The endless belt 39 is guided over the rollers 43, 45, 47, 48 outside the device. The role 49 is driven in the manner shown by the gear case 51 and the motor 53. It can of course, any of the other rollers may also be driven if so desired. The roles are preferably covered with rubber, so that a good grip and thermal insulation for the band 39 is guaranteed is.

Innerhalb der Vorrichtung läuft das Band 39 über die Rollen 55, 57, 59, 61, 63, 65. Es besteht aus Aluminium und ist mit einer Oxydoberfläche versehen, die in der Weise erzeugt werden kann, daß das Band eine Zeitlang der Luft ausgesetzt wird, wobei die Temperatur der Luft, der das Band ausgesetzt wird, in geeigneter Weise beispielsweise auf etwa 27° C erhöht werden kann, um die Oxydation der Oberfläche zu beschleunigen. Solche Oxydfilme sind sehr gleichmäßig und stellen eine ausgezeichnete Berührungsfläche für den auf ihnen niederzuschlagenden Metallfilm dar.Within the device, the belt 39 runs over the rollers 55, 57, 59, 61, 63, 65. It is made of aluminum and is provided with an oxide surface which can be produced in such a way that the tape exposed to air for a period of time, the temperature of the air to which the tape is exposed in a suitable manner, for example, to about 27 ° C can be increased to the oxidation of the surface to accelerate. Such oxide films are very uniform and provide an excellent contact surface for the metal film to be deposited on them.

Die Rollen 57, 63 sind in einer in den Behältern 67 und 69 enthaltenen Flüssigkeit, z. B. Quecksilber, eingetaucht, die dazu dient, das Entweichen von Gas aus dem Innern des Systems zu verhindern. Feste, nach unten abgebogene Wandteile 71,73 erstrecken sich von den Wandabschnitten 75, 77 in die Behälter.The rollers 57, 63 are immersed in a liquid contained in the containers 67 and 69, e.g. B. Mercury, immersed, which serves to prevent the escape of gas from inside the system. Festivals, after Wall parts 71, 73 bent downwards extend from the wall sections 75, 77 into the container.

Von den Wärmeisolierwänden 75, 77 gehen in der Nähe der Rollen 59,61 federnde Hemmbleche aus, wie in Fig. 3 bei 79 dargestellt ist. Zwischen der Rolle 59 und der Kammer 29 befindet sich ferner ein anderer Satz von Hemmblechen 80 (Fig. 3), die entgegengesetzt zu den Hemmblechen 79 angeordnet sind. In ähnlicher Weise sind Sätze von Hemmblechen, wie bei 81 gezeigt ist, in dem Bandauslaß der Kammer angebracht. Diese Hemmbleche wirken dem Entweichen von Gas aus dem System entgegen, indem sie einen langen Strömungsweg gewährleisten. Dementsprechend kann unter den im nachstehenden erwähnten Arbeitsbedingungen praktisch kein Gas aus der Vorrichtung entweichen.From the heat insulating walls 75, 77 go out in the vicinity of the rollers 59, 61 spring retarding plates, as shown in FIG. 3 at 79. There is also another between the roller 59 and the chamber 29 Set of chucks 80 (Fig. 3) arranged opposite to chucks 79. In Similarly, as shown at 81, sets of baffles are in the tape outlet of the chamber appropriate. These baffles counteract the escape of gas from the system by ensure a long flow path. Accordingly, among those mentioned below Working conditions practically no gas escape from the device.

Am Ausgang des Systems umfaßt ein Paar an Federn befestigter Rollen 83,85 das Band 39. Sie drücken gegen die Nickelüberzüge und dienen ferner als Stützpunkt für das Abheben der Überzüge von dem Band. Die Abhebekraft wird durch Schälschuhe 87, 89 ausgeübt, die dicht auf dem Band 39 aufliegen und sich von dem Band ausgehend nach oben verjüngen. In der Nähe jedes Schälschuhes sind HaspelnAt the exit of the system, a pair of spring-mounted rollers 83,85 comprise the band 39. They press against the nickel coatings and also serve as a support point for the coatings to lift off the tape. The lifting force is exerted by peeling shoes 87, 89, which lie tightly on the belt 39 and tapering upwards from the band. There are reels near each peeling shoe

95, 97 angebracht, und zwischen jedem Schuh und jedem Haspelmechanismus sind federbelastete Rollen95, 97, and between each shoe and each reel mechanism are spring loaded rollers

96, 98 angeordnet, damit der auf dem Haspelmechanismus aufzuwindende Film während seines Laufes gehalten wird. Jeder Haspelmechanismus wird, wie bei 99 und 100 dargestellt ist, durch einen Räderkasten und Motor angetrieben.96, 98 arranged so that the film to be wound on the reel mechanism during its run is held. Each reel mechanism is, as shown at 99 and 100, by a gear box and motor driven.

Eine Erhitzung des Bandes 39 ist für die Ablagerung von Nickel aus den in das System eintretenden Carbonyl dämp fen von wesentlicher Bedeutung. Infolgedessen ist die Kammer 29 von einer Induktionserhitzungsanlage 101 umgeben, die von einer nicht dargestellten elektrischen Energiequelle beliefert wird,Heating the belt 39 is responsible for the deposition of nickel from those entering the system Carbonyl is essential. As a result, the chamber 29 is from an induction heating system 101 surrounded, which is supplied by an electrical energy source, not shown,

Wenn man die Handhabung der beschriebenen Vorrichtung zur Ausführung des der Erfindung zugrunde liegenden Verfahrens allgemein betrachtet, so ist es vorteilhaft, zuerst U-förmige Teile 93, 94 quer über das Band in dichter Verbindung mit diesem zu legen und das Band 39 langsam anzutreiben, bis die Teile 93,94 sich am Auslaß ende der Überzugskammer 29 befinden. Diese Teile 93,94 können leicht so angß* bracht werden, daß sie durch die federnden Hemmbleche der Leitungen hindurchgehen, und werden in einer solchen Länge und aus solchem Material, z. B. nichtrostendem Stahl, zur Anwendung gebracht, daß sie der beim Durchgang eintretenden geringen Biegung widerstehen. Wenn die Teile 93, 94 sich an der angegebenen Stelle befinden, wird die Temperatur des Bandes 39 vermittels der Induktionserhitzungsanlage 101 auf eine geeignete Temperatur erhöht und ein Gemisch aus Carbonylgas und Trägergas in die Überzugskammer geleitet. Die Bedingungen, unter denen das Verfahren durchgeführt werden kann, sind aus den unten aufgeführten Beispielen ersichtlich.If one considers the handling of the device described for carrying out the invention Generally considered, it is advantageous to first cross-over U-shaped parts 93, 94 to lay the tape in close contact with this and slowly drive the tape 39 until the parts 93,94 are located at the outlet end of the coating chamber 29. These parts 93,94 can easily be are brought so that they go through the resilient stopping plates of the lines, and are in of such a length and made of such material, e.g. B. stainless steel, applied that they withstand the slight bend in the passage. When the parts 93, 94 are attached to the are located, the temperature of the strip 39 by means of the induction heating system 101 is raised to a suitable temperature and a mixture of carbonyl gas and carrier gas is introduced into the Coating chamber headed. The conditions under which the process can be carried out are can be seen from the examples below.

Wenn das erste Nickel auf dem Band 39 und den Teilen 93,94 niedergeschlagen ist, wird das Band langsam in Bewegung gesetzt, bis die Teile 93, 94 aus der Kammer herausgetreten sind. Die Teile 93,94 werden alsdann von jeder Seite des Bandes entfernt, wobei der Nickelfilm von dem Band abgehoben wird. Diese freien Enden des Nickelfilms werden alsdann auf einen besonderen Haspelmechanismus aufgewunden, worauf das Band in Tätigkeit gesetzt wird. Danach kann das Ablagern des Nickels und das Aufwinden des Nickelfilms im wesentlichen automatisch fortschreiten.When the first nickel has deposited on the band 39 and parts 93, 94, the band becomes slowly set in motion until the parts 93, 94 have emerged from the chamber. The parts 93,94 are then removed from each side of the tape, lifting the nickel film from the tape. These free ends of the nickel film are then wound onto a special reel mechanism, whereupon the tape is put into action. The nickel can then be deposited and wound up of the nickel film progress substantially automatically.

Nachstehend sind einige Beispiele für die Arbeitsbedingungen der beschriebenen Vorrichtung und desBelow are some examples of the working conditions of the device and the described

der Erfindung zugrunde liegenden Verfahrens aufgeführt. the method underlying the invention listed.

Beispiel IExample I.

Bandtemperatur 190° CBelt temperature 190 ° C

Kohlendioxydstrom 9,44 l/minCarbon dioxide flow 9.44 l / min

Verdampfertemperatur 27° CEvaporator temperature 27 ° C

Überzugszeit 1 MinuteCoating time 1 minute

Dicke des Nickelfilms 1,5 mmThickness of the nickel film 1.5 mm

Beispiel IIExample II

Bandtemperatur 190° CBelt temperature 190 ° C

Kohlendioxydstrom 9,44 l/minCarbon dioxide flow 9.44 l / min

Verdampfertemperatur 27° CEvaporator temperature 27 ° C

Uberzugszeit 5 SekundenCoating time 5 seconds

Dicke des Nickelfilms 0,1 mmNickel film thickness 0.1 mm

Beispiel IIIExample III

Bandtemperatur 149° CBelt temperature 149 ° C

Kohlendioxydstrom 1 l/minCarbon dioxide flow 1 l / min

Verdampf er temperatur 13° CEvaporator temperature 13 ° C

Überzugszeit 1 MinuteCoating time 1 minute

Dicke des Nickelfilms 0,1 mmNickel film thickness 0.1 mm

Beispiel IVExample IV

Bandtemperatur 204° CBelt temperature 204 ° C

Kohlendioxydstrom 5 l/minCarbon dioxide flow 5 l / min

Verdampfertemperatur 29° CEvaporator temperature 29 ° C

Überzugszeit 10 SekundenCoating time 10 seconds

Dicke des Nickelfilms 3 mmThickness of the nickel film 3 mm

Aus den vorgenannten Beispielen ist ersichtlich, daß die Überzugszeit beträchtlich geändert werden kann, was in einfacher Weise durch Änderung der Geschwindigkeit des Bandes und/oder der Länge der Kammer erreicht werden kann.From the above examples it can be seen that the coating time can be changed considerably can do that in a simple manner by changing the speed of the belt and / or the length of the Chamber can be reached.

In Verbindung mit den vorgenannten Beispielen ist ferner zu beachten, daß die Überzugskammer vorzugsweise in üblicher Weise durch einfaches Hindurchleiten eines inerten Gases, z. B. eines Kohlendioxydstrotns, von Luft gereinigt wird, bevor das Band auf die für das Überziehen notwendige Temperatur erhitzt wird.It should also be noted in connection with the aforementioned examples that the coating chamber is preferably in the usual way by simply passing an inert gas, e.g. B. a carbon dioxide stream, is cleaned of air before the tape is heated to the temperature required for coating is heated.

Die vorgenannten Arbeitsbedingungen ergeben sehr zufriedenstellende Nickelfilme. Die Arbeitsbedingungen können jedoch beispielsweise innerhalb folgender Bereiche schwanken:The aforementioned working conditions give very satisfactory nickel films. Working conditions can, however, fluctuate within the following ranges, for example:

Bandtemperatur 148 bis 205° CBelt temperature 148 to 205 ° C

Kohlendioxydstrom 0,5 bis 20 l/minCarbon dioxide flow 0.5 to 20 l / min

Verdampfertemperatur 0 bis 38° CEvaporator temperature 0 to 38 ° C

Die Bandgeschwindigkeiten können beispielsweise ίο in dem Bereich von etwa 0,6 bis 30 m/min und die Kammerlängen in dem Bereich von etwa 0,9 bis 6 m schwanken. An Stelle des Kohlendioxyds können natürlich auch andere Trägergase, z. B. Stickstoff, verwendet werden.The belt speeds can for example be in the range of about 0.6 to 30 m / min and the Chamber lengths vary in the range from about 0.9 to 6 m. Instead of carbon dioxide you can of course other carrier gases, e.g. B. nitrogen, can be used.

Claims (2)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Verfahren zur Herstellung von Metallfolien, insbesondere Nickelfolien, durch thermische Zersetzung von gasförmigen, in der Hitze zersetzbaren Metallverbindungen, vorzugsweise von Metallcarbonylen, beispielsweise Nickelcarbonyl, auf einem bewegten Metallband, dadurch gekennzeichnet, daß das Metallband zunächst z. B. durch Erhitzen in einer oxydierend wirkenden Atmosphäre oxydiert und darauf in einer geschlossenen, vorzugsweise durch Hindurchleiten eines inerten Gases von Luft befreiten Überzugskammer der Einwirkung der gasförmigen Metallverbindung oder eines aus dieser und inertem Trägergas, z. B. Kohlendioxyd, bestehenden Gemisches ausgesetzt, dabei zumindest auf deren Zersetzungstemperatur erhitzt und sodann der gebildete Metallfilm, z. B. Nickelfilm, in Form einer zusammenhängenden Folie von der oxydierten Oberfläche des Metallbandes abgehoben wird.1. Process for the production of metal foils, in particular nickel foils, by thermal decomposition of gaseous metal compounds decomposable in the heat, preferably of metal carbonyls, for example nickel carbonyl, on a moving metal belt, characterized in that that the metal band initially z. B. by heating in an oxidizing atmosphere oxidized and then in a closed, preferably by passing an inert The air is removed from the coating chamber of the action of the gaseous metal compound or one of these and an inert carrier gas, e.g. B. carbon dioxide, exposed to existing mixture, heated at least to their decomposition temperature and then the metal film formed, for. B. Nickel film, in the form of a continuous foil from the oxidized surface of the metal strip is lifted. 2. Metallband zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es aus Aluminium besteht.2. Metal strip for performing the method according to claim 1, characterized in that it is made of aluminum. In Betracht gezogene Druckschriften: Britische Patentschriften Nr. 454 919, 497 240; schweizerische Patentschrift Nr. 297 853.References considered: British Patent Nos. 454,919, 497,240; Swiss patent specification No. 297 853. Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings © 709 755/255 10.57© 709 755/255 10.57
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CH297853A (en) * 1949-10-21 1954-04-15 Quarzhuette Silectra Jimmy E G Process for generating metal deposits on the surfaces of inorganic and organic bodies by thermal decomposition of metal compounds.

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